JP3400735B2 - 傾き調整装置およびボンディング装置 - Google Patents
傾き調整装置およびボンディング装置Info
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- H01L24/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、所定の部材の傾
きを調整する傾き調整装置および半導体チップのボンデ
ィングを行うボンディング装置に関するものである。
きを調整する傾き調整装置および半導体チップのボンデ
ィングを行うボンディング装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体素子等と配線基板とを接合
するボンディング装置においてヘッド部とステージ部と
の平行度を調整する手段として、ヘッド部を傾ける場合
とステージ部を傾ける場合がある。前者については、例
えば特開平９−１２９６７７号公報では図９に示すよう
に、ボンディングツールのホルダ上部板５とホルダ下部
板１７との間の四隅に配置した調節ねじ６でヘッド部を
傾けて平行度を調整する。ただし、図９の（ａ）は全体
を示す斜視図、（ｂ）はホルダを示す側面図である。
するボンディング装置においてヘッド部とステージ部と
の平行度を調整する手段として、ヘッド部を傾ける場合
とステージ部を傾ける場合がある。前者については、例
えば特開平９−１２９６７７号公報では図９に示すよう
に、ボンディングツールのホルダ上部板５とホルダ下部
板１７との間の四隅に配置した調節ねじ６でヘッド部を
傾けて平行度を調整する。ただし、図９の（ａ）は全体
を示す斜視図、（ｂ）はホルダを示す側面図である。
【０００３】また図１０に示すようなマイクロメータヘ
ッドを使った機構でヘッド部を傾けるものもある。図１
０に示した例ではベース３１に対して軸受け３７を中心
にして回転する中間板３３の傾きをマイクロメータヘッ
ド３２調節し、中間板３３に対して軸受け３４を中心に
して回転するツールホルダ３５の傾きをマイクロメータ
ヘッド３８で調整することによって平行度を調整する。
ッドを使った機構でヘッド部を傾けるものもある。図１
０に示した例ではベース３１に対して軸受け３７を中心
にして回転する中間板３３の傾きをマイクロメータヘッ
ド３２調節し、中間板３３に対して軸受け３４を中心に
して回転するツールホルダ３５の傾きをマイクロメータ
ヘッド３８で調整することによって平行度を調整する。
【０００４】後者については、例えば前記特開平９−１
２９６７７号公報では図９に示すようにステージのベー
ス上部板２０の下に配置されたベース下部機構２４の上
下する３つの独立なアクチュエータ２５で３点の高さを
独立に変えることで傾きを調整する。
２９６７７号公報では図９に示すようにステージのベー
ス上部板２０の下に配置されたベース下部機構２４の上
下する３つの独立なアクチュエータ２５で３点の高さを
独立に変えることで傾きを調整する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の調整ねじを用い
て手動でヘッド部を傾ける手段では、調整の際の移動量
が定量的でないので、平行度の調整が感覚的もしくは熟
練的な作業となる。ボンディング装置では、製造工程中
の品種切替にともなってヘッド部に付属する部品の交換
が生じ、品種切替時にヘッド部とステージ部の平行度調
整に長い作業時間が費やされてしまう。あるいはマイク
ロメータヘッドを用いた機構では、軸受けを介する構造
のため機械的剛性が低くなり、また、平行度調整の自動
化を考える場合、アクチュエータが配置しにくい、つま
りヘッド部が複雑で大きくなってしまう構造といえる。
て手動でヘッド部を傾ける手段では、調整の際の移動量
が定量的でないので、平行度の調整が感覚的もしくは熟
練的な作業となる。ボンディング装置では、製造工程中
の品種切替にともなってヘッド部に付属する部品の交換
が生じ、品種切替時にヘッド部とステージ部の平行度調
整に長い作業時間が費やされてしまう。あるいはマイク
ロメータヘッドを用いた機構では、軸受けを介する構造
のため機械的剛性が低くなり、また、平行度調整の自動
化を考える場合、アクチュエータが配置しにくい、つま
りヘッド部が複雑で大きくなってしまう構造といえる。
【０００６】一方、ステージ部を傾ける手段では、ステ
ージ下部にベアリング、ガイド、カムフォロアなどの機
構部品を用いるため剛性低下が起きやすく、ヘッド部か
ら大きなボンディング荷重が負荷されるとステージ部が
変位してしまう恐れがある。また、３つのアクチュエー
タで３点の高さを独立に調整するため調整量の計算が複
雑になる。
ージ下部にベアリング、ガイド、カムフォロアなどの機
構部品を用いるため剛性低下が起きやすく、ヘッド部か
ら大きなボンディング荷重が負荷されるとステージ部が
変位してしまう恐れがある。また、３つのアクチュエー
タで３点の高さを独立に調整するため調整量の計算が複
雑になる。
【０００７】この発明は、上記のような問題点を解決す
るためになされたもので、構造が簡単で、剛性が高く、
自動化に適した傾き調整装置、およびボンディング装置
を得ることを目的とする。
るためになされたもので、構造が簡単で、剛性が高く、
自動化に適した傾き調整装置、およびボンディング装置
を得ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る傾き調整
装置は、固定支持部材、ベース部材、一定方向には変形
し易くこれと垂直な方向には変形し難い弾性構造部材、
固定支持部材とベース部材の一端部とを連結する１つの
第１の球面ジョイント、ベース部材の他端部と弾性構造
部材の端部とを連結する２つ以上の第２の球面ジョイン
ト、および一定方向とは垂直な方向に弾性構造部材を駆
動する駆動手段からなり、駆動手段により弾性構造部材
を介して第２の球面ジョイントを変位させてベース部材
の傾きを調整するようにしたものである。
装置は、固定支持部材、ベース部材、一定方向には変形
し易くこれと垂直な方向には変形し難い弾性構造部材、
固定支持部材とベース部材の一端部とを連結する１つの
第１の球面ジョイント、ベース部材の他端部と弾性構造
部材の端部とを連結する２つ以上の第２の球面ジョイン
ト、および一定方向とは垂直な方向に弾性構造部材を駆
動する駆動手段からなり、駆動手段により弾性構造部材
を介して第２の球面ジョイントを変位させてベース部材
の傾きを調整するようにしたものである。
【０００９】請求項２に係る傾き調整装置は、請求項１
記載のものにおいて、弾性構造部材を予め弾性変形させ
て取り付け、第１、第２の球面ジョイントに予圧を与え
るようにしたものである。請求項３に係る傾き調整装置
は、請求項１または請求項２記載のものにおいて、弾性
構造部材を板ばねとしたものである。
記載のものにおいて、弾性構造部材を予め弾性変形させ
て取り付け、第１、第２の球面ジョイントに予圧を与え
るようにしたものである。請求項３に係る傾き調整装置
は、請求項１または請求項２記載のものにおいて、弾性
構造部材を板ばねとしたものである。
【００１０】請求項４に係るボンディング装置は、請求
項１から請求項３のいずれかに記載の傾き調整装置にヘ
ッド部をスライド可能に取り付けたものである。請求項
５に係るボンディング装置は、請求項１から請求項３の
いずれかに記載の傾き調整装置にステージ部を取り付け
たものである。
項１から請求項３のいずれかに記載の傾き調整装置にヘ
ッド部をスライド可能に取り付けたものである。請求項
５に係るボンディング装置は、請求項１から請求項３の
いずれかに記載の傾き調整装置にステージ部を取り付け
たものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】実施の形態１．以下、この発明の
一実施の形態について図１〜図４を参照しながら説明す
る。図１は、この発明の実施の形態１における傾き調整
装置とボンディング装置を示す斜視図、図２はその側面
図である。これらの図において、４８は固定支持部材
で、図示しない手段により固定されている。４６は傾き
調整対象のベース部材であるベース板、４３は弾性構造
部材としての板ばねであり、水平方向、つまり図のＸＹ
平面方向の板形状となっているので、Ｘ、Ｙ方向には変
形し難く、鉛直方向、つまり図のＺ方向には変形し易い
ように配置されている。４４は板ばね４３をＸ、Ｙ方向
に駆動する駆動手段としてのＸＹテーブルであり、板ば
ね４３の基部４３ａがＸＹテーブル４４に取り付けられ
ている。
一実施の形態について図１〜図４を参照しながら説明す
る。図１は、この発明の実施の形態１における傾き調整
装置とボンディング装置を示す斜視図、図２はその側面
図である。これらの図において、４８は固定支持部材
で、図示しない手段により固定されている。４６は傾き
調整対象のベース部材であるベース板、４３は弾性構造
部材としての板ばねであり、水平方向、つまり図のＸＹ
平面方向の板形状となっているので、Ｘ、Ｙ方向には変
形し難く、鉛直方向、つまり図のＺ方向には変形し易い
ように配置されている。４４は板ばね４３をＸ、Ｙ方向
に駆動する駆動手段としてのＸＹテーブルであり、板ば
ね４３の基部４３ａがＸＹテーブル４４に取り付けられ
ている。
【００１２】４１は固定支持部材４８とベース板４６の
一端部とを連結する第１の球面ジョイントとしての固定
側球面ジョイント、４２はベース板４６と板ばね４３を
連結する第２の球面ジョイントとしての移動側球面ジョ
イントであり、ベース板４６の他端部、すなわち固定側
球面ジョイント４１が設けられている位置とは反対側の
端部と、板ばね４３の基部４３ａから延びた端部４３ｂ
とを連結するように、２つの移動側球面ジョイント４２
が互いに離れて設けられている。固定側および移動側球
面ジョイント４１、４２により、ベース板４６を支持し
ている。板ばね４３はＸＹテーブル４４の移動方向と垂
直な方向つまりＺ方向にあらかじめたわませて取りつけ
られており、これにより固定側球面ジョイント４１およ
び可動側球面ジョイント４２に予圧を与えて隙間をなく
している。
一端部とを連結する第１の球面ジョイントとしての固定
側球面ジョイント、４２はベース板４６と板ばね４３を
連結する第２の球面ジョイントとしての移動側球面ジョ
イントであり、ベース板４６の他端部、すなわち固定側
球面ジョイント４１が設けられている位置とは反対側の
端部と、板ばね４３の基部４３ａから延びた端部４３ｂ
とを連結するように、２つの移動側球面ジョイント４２
が互いに離れて設けられている。固定側および移動側球
面ジョイント４１、４２により、ベース板４６を支持し
ている。板ばね４３はＸＹテーブル４４の移動方向と垂
直な方向つまりＺ方向にあらかじめたわませて取りつけ
られており、これにより固定側球面ジョイント４１およ
び可動側球面ジョイント４２に予圧を与えて隙間をなく
している。
【００１３】４９はヘッド部、４７はベース板４６に設
けられたガイドで、ヘッド部４９がガイド４７を介して
スライド可能にベース板４６に取り付られている。５０
はヘッド部４９の下端に取り付けられたツールで、半導
体チップ（図示せず）を吸着、加熱する。５１は半導体
チップを接合する対象を固定するためのステージ部で、
ツール５０の下方に配置されている。５２は外部からヘ
ッド部４９をＺ方向に駆動するＺ軸外部駆動手段であ
り、Ｚ軸外部駆動手段５２に駆動されたヘッド部４９が
ガイド４７に案内されてその方向に直線運動する。
けられたガイドで、ヘッド部４９がガイド４７を介して
スライド可能にベース板４６に取り付られている。５０
はヘッド部４９の下端に取り付けられたツールで、半導
体チップ（図示せず）を吸着、加熱する。５１は半導体
チップを接合する対象を固定するためのステージ部で、
ツール５０の下方に配置されている。５２は外部からヘ
ッド部４９をＺ方向に駆動するＺ軸外部駆動手段であ
り、Ｚ軸外部駆動手段５２に駆動されたヘッド部４９が
ガイド４７に案内されてその方向に直線運動する。
【００１４】次に、ベース板４６の傾き調整、すなわち
ツール５０とステージ部５１の平行度を調整する動作に
ついて図３を参照しながら説明する。図３（ａ）はＸＹ
テーブル４４の移動前の状態、図３（ｂ）は移動後の状
態を示す。図３（ａ）の状態からＸＹテーブル４４をＸ
Ｙ方向に移動させることによりＸＹテーブル４４に連結
された板ばね４３および移動側球面ジョイント４２が固
定側球面ジョイント４１に対してＸＹ方向に変位するた
め、その結果固定側球面ジョイント４１を回転中心とし
てベース板４６が傾けられる。ベース板４６に取りつけ
られたガイド４７によって直線運動するように規制され
たヘッド部４９が、ベース板４６が傾くことにともなっ
て図３（ｂ）のように傾けられ、その結果ツール５０と
ステージ部５１の平行度の調整ができる。
ツール５０とステージ部５１の平行度を調整する動作に
ついて図３を参照しながら説明する。図３（ａ）はＸＹ
テーブル４４の移動前の状態、図３（ｂ）は移動後の状
態を示す。図３（ａ）の状態からＸＹテーブル４４をＸ
Ｙ方向に移動させることによりＸＹテーブル４４に連結
された板ばね４３および移動側球面ジョイント４２が固
定側球面ジョイント４１に対してＸＹ方向に変位するた
め、その結果固定側球面ジョイント４１を回転中心とし
てベース板４６が傾けられる。ベース板４６に取りつけ
られたガイド４７によって直線運動するように規制され
たヘッド部４９が、ベース板４６が傾くことにともなっ
て図３（ｂ）のように傾けられ、その結果ツール５０と
ステージ部５１の平行度の調整ができる。
【００１５】テーブル４４の移動量は、たとえば次のよ
うに求められる。図４において、固定側ジョイント４１
の中心点と移動側ジョイント４２の中心点４２ａの距離
をＬとする。ツール５０の表面とステージ部５１の表面
をレーザ変位計などで測定することによりツール５０の
表面の方向を表す法線ベクトルＰｔ、ステージ部５１の
表面の方向を表す法線ベクトルＰｓを、両者ともその大
きさＬとして求める。法線ベクトルＰｓと法線ベクトル
Ｐｔの差ＰΔをＰΔ＝Ｐｓ−Ｐｔより求める。このＰΔ
の水平成分をテーブル４のＸＹ方向の移動量とすればよ
い。これによりヘッド部とステージ部の平行度を簡単に
調整でき、高精度なボンディングができる。
うに求められる。図４において、固定側ジョイント４１
の中心点と移動側ジョイント４２の中心点４２ａの距離
をＬとする。ツール５０の表面とステージ部５１の表面
をレーザ変位計などで測定することによりツール５０の
表面の方向を表す法線ベクトルＰｔ、ステージ部５１の
表面の方向を表す法線ベクトルＰｓを、両者ともその大
きさＬとして求める。法線ベクトルＰｓと法線ベクトル
Ｐｔの差ＰΔをＰΔ＝Ｐｓ−Ｐｔより求める。このＰΔ
の水平成分をテーブル４のＸＹ方向の移動量とすればよ
い。これによりヘッド部とステージ部の平行度を簡単に
調整でき、高精度なボンディングができる。
【００１６】この実施の形態のように、Ｚ軸外部駆動手
段５２により荷重を加える場合はボンディング荷重の反
力がベース板４６や固定側および移動側球面ジョイント
４１、４２にほとんど加わらないので、図１、図２に示
したようなヘッド部４９の重量を固定側球面ジョイント
４１で支える構成が適している。なお、上記では移動側
球面ジョイント４２を２つとしたが、３つ以上でもよ
く、例えば板ばね４３の端部４３ｂを三叉状にして３つ
設けるようにしてもよい。
段５２により荷重を加える場合はボンディング荷重の反
力がベース板４６や固定側および移動側球面ジョイント
４１、４２にほとんど加わらないので、図１、図２に示
したようなヘッド部４９の重量を固定側球面ジョイント
４１で支える構成が適している。なお、上記では移動側
球面ジョイント４２を２つとしたが、３つ以上でもよ
く、例えば板ばね４３の端部４３ｂを三叉状にして３つ
設けるようにしてもよい。
【００１７】実施の形態２．図５は、この発明の実施の
形態２における傾き調整装置とボンディング装置を示す
側面図である。この実施の形態では、ヘッド部４９に組
み込まれたＺ軸内部駆動手段５３により荷重を加える場
合について示す。すなわち、図５においてはＺ軸内部駆
動手段５３によってヘッド部４９を介してツール５０に
ボンディング荷重を加えるが、その反力としてベース板
４６に加わるＺ軸正方向（上向き）の力を固定側球面ジ
ョイント４１で受けることができる。その他については
実施の形態１の場合と同様であるので説明を省略する。
形態２における傾き調整装置とボンディング装置を示す
側面図である。この実施の形態では、ヘッド部４９に組
み込まれたＺ軸内部駆動手段５３により荷重を加える場
合について示す。すなわち、図５においてはＺ軸内部駆
動手段５３によってヘッド部４９を介してツール５０に
ボンディング荷重を加えるが、その反力としてベース板
４６に加わるＺ軸正方向（上向き）の力を固定側球面ジ
ョイント４１で受けることができる。その他については
実施の形態１の場合と同様であるので説明を省略する。
【００１８】実施の形態３．図６は、この発明の実施の
形態３における傾き調整装置とボンディング装置を示す
側面図である。この実施の形態では、傾き調整装置をボ
ンディングステージに適用した例を示す。すなわち、図
６のボンディングステージは、ステージ部５１が取りつ
けられたベース板４６を、板ばね４３を介して、ＸＹ方
向に移動するＸＹテーブル４４に連結されている移動側
球面ジョイント４２と、固定支持材４８に連結されてい
る固定側球面ジョイント４１とで支持した構成になって
いる。ＸＹテーブル４４で移動側球面ジョイント４２を
固定側球面ジョイント４１に対して相対移動させ、ベー
ス板４６を傾けることによってステージ部５１を傾け、
ツール５０との平行度の調整を行うものである。その他
については実施の形態１の場合と同様であるので説明を
省略する。
形態３における傾き調整装置とボンディング装置を示す
側面図である。この実施の形態では、傾き調整装置をボ
ンディングステージに適用した例を示す。すなわち、図
６のボンディングステージは、ステージ部５１が取りつ
けられたベース板４６を、板ばね４３を介して、ＸＹ方
向に移動するＸＹテーブル４４に連結されている移動側
球面ジョイント４２と、固定支持材４８に連結されてい
る固定側球面ジョイント４１とで支持した構成になって
いる。ＸＹテーブル４４で移動側球面ジョイント４２を
固定側球面ジョイント４１に対して相対移動させ、ベー
ス板４６を傾けることによってステージ部５１を傾け、
ツール５０との平行度の調整を行うものである。その他
については実施の形態１の場合と同様であるので説明を
省略する。
【００１９】実施の形態４．図７は、この発明の実施の
形態４における傾き調整装置とボンディング装置を示す
斜視図である。弾性構造部材は１つのＸＹテーブルに連
結されている必要はなく、この実施の形態で示したよう
な構造であってもよい。すなわち、ＸＹテーブル４４は
２つのＹ軸テーブル４４ａ、４４ｂと１つのＸ軸テーブ
ル４４ｃからなり、２つの可動側球面ジョイント４２は
弾性構造部材としての別個の２つの板ばね４３でそれぞ
れ別のＹ軸テーブル４４ａ、４４ｂに連結されている。
このようにすると前記の傾き動作による平行度調整に加
えて、それぞれのＹ軸テーブル４４ａ、４４ｂを相対移
動させることにより図示のθ軸方向に回転させることが
可能になる。その他については実施の形態１の場合と同
様であるので説明を省略する。
形態４における傾き調整装置とボンディング装置を示す
斜視図である。弾性構造部材は１つのＸＹテーブルに連
結されている必要はなく、この実施の形態で示したよう
な構造であってもよい。すなわち、ＸＹテーブル４４は
２つのＹ軸テーブル４４ａ、４４ｂと１つのＸ軸テーブ
ル４４ｃからなり、２つの可動側球面ジョイント４２は
弾性構造部材としての別個の２つの板ばね４３でそれぞ
れ別のＹ軸テーブル４４ａ、４４ｂに連結されている。
このようにすると前記の傾き動作による平行度調整に加
えて、それぞれのＹ軸テーブル４４ａ、４４ｂを相対移
動させることにより図示のθ軸方向に回転させることが
可能になる。その他については実施の形態１の場合と同
様であるので説明を省略する。
【００２０】実施の形態５．図８は、この発明の実施の
形態５における傾き調整装置の弾性構造部材を示す斜視
図である。弾性構造部材は板ばねである必要はなく、た
とえばこの実施の形態に示すようにコイルばね５４と直
動ガイド５５を用いて構成してもよい。図８においては
可動側球面ジョイント４２と剛体アーム５６を直動ガイ
ド５５を介して連結する。直動ガイド５５の保持部５５
ｂは剛体アーム５６に固定され、直動ガイド５５のシャ
フト５５ａが可動側球面ジョイント４２に連結されてい
る。可動側球面ジョイント４２は直動ガイド５５により
移動方向が規制され、さらにコイルばね５４のばね力に
よってベース板４６に押しつけられている。直動ガイド
５５のシャフト５５ａは図示しないＸＹテーブルの移動
方向に対して垂直なＺ方向に運動できるよう取りつけら
れている。そして、ＸＹテーブルにより剛体アーム５６
がＸＹ方向に駆動されるようになっている。このように
構成すると直動ガイド５５の働きによりＸＹテーブルの
移動方向には変形し難く、垂直な方向には変形し易く、
さらに球面ジョイントに対して予圧を加えられる弾性構
造部材を構成できる。その他については実施の形態１の
場合と同様であるので説明を省略する。
形態５における傾き調整装置の弾性構造部材を示す斜視
図である。弾性構造部材は板ばねである必要はなく、た
とえばこの実施の形態に示すようにコイルばね５４と直
動ガイド５５を用いて構成してもよい。図８においては
可動側球面ジョイント４２と剛体アーム５６を直動ガイ
ド５５を介して連結する。直動ガイド５５の保持部５５
ｂは剛体アーム５６に固定され、直動ガイド５５のシャ
フト５５ａが可動側球面ジョイント４２に連結されてい
る。可動側球面ジョイント４２は直動ガイド５５により
移動方向が規制され、さらにコイルばね５４のばね力に
よってベース板４６に押しつけられている。直動ガイド
５５のシャフト５５ａは図示しないＸＹテーブルの移動
方向に対して垂直なＺ方向に運動できるよう取りつけら
れている。そして、ＸＹテーブルにより剛体アーム５６
がＸＹ方向に駆動されるようになっている。このように
構成すると直動ガイド５５の働きによりＸＹテーブルの
移動方向には変形し難く、垂直な方向には変形し易く、
さらに球面ジョイントに対して予圧を加えられる弾性構
造部材を構成できる。その他については実施の形態１の
場合と同様であるので説明を省略する。
【００２１】
【発明の効果】以上の説明のように、本発明の請求項１
に係る傾き調整装置によれば、簡単な構造で安価かつ自
動化に適した装置が実現できる。また、荷重を加えたと
きに反力を受ける場合でも、第１の球面ジョイントでそ
の反力を受けることができるため剛性を高くできる。ま
た、請求項２に係る傾き調整装置によれば、弾性構造部
材をあらかじめ弾性変形させて取りつけることにより予
圧をあたえておくので、第１、第２の球面ジョイント部
の隙間をなくすことができ、そのため高精度の装置が実
現できる。また、請求項３に係る傾き調整装置によれ
ば、弾性構造部材として板ばねを用いることで部品が少
なくでき構造が簡単になる。
に係る傾き調整装置によれば、簡単な構造で安価かつ自
動化に適した装置が実現できる。また、荷重を加えたと
きに反力を受ける場合でも、第１の球面ジョイントでそ
の反力を受けることができるため剛性を高くできる。ま
た、請求項２に係る傾き調整装置によれば、弾性構造部
材をあらかじめ弾性変形させて取りつけることにより予
圧をあたえておくので、第１、第２の球面ジョイント部
の隙間をなくすことができ、そのため高精度の装置が実
現できる。また、請求項３に係る傾き調整装置によれ
ば、弾性構造部材として板ばねを用いることで部品が少
なくでき構造が簡単になる。
【００２２】また、請求項４、請求項５に係るボンディ
ング装置によれば、請求項１から請求項３のいずれかの
傾き調整装置を用いるので、ヘッド部とステージ部の平
行度調整を自動で行うボンディング装置が構成でき、ボ
ンディング工程での品種切替にともなう調整作業の時間
が短縮されて生産性が向上する。
ング装置によれば、請求項１から請求項３のいずれかの
傾き調整装置を用いるので、ヘッド部とステージ部の平
行度調整を自動で行うボンディング装置が構成でき、ボ
ンディング工程での品種切替にともなう調整作業の時間
が短縮されて生産性が向上する。
【図１】 この発明の実施の形態１における傾き調整装
置とボンディング装置を示す斜視図である。
置とボンディング装置を示す斜視図である。
【図２】 図１の傾き調整装置とボンディング装置の側
面図である。
面図である。
【図３】 図１の傾き調整装置の動作を説明するための
斜視図である。
斜視図である。
【図４】 図１の傾き調整装置の動作を説明するための
斜視図である。
斜視図である。
【図５】 この発明の実施の形態２における傾き調整装
置とボンディング装置の側面図である。
置とボンディング装置の側面図である。
【図６】 この発明の実施の形態３における傾き調整装
置とボンディング装置の側面図である。
置とボンディング装置の側面図である。
【図７】 この発明の実施の形態４における傾き調整装
置とボンディング装置の斜視図である。
置とボンディング装置の斜視図である。
【図８】 この発明の実施の形態５における傾き調整装
置の弾性構造部材の斜視図である。
置の弾性構造部材の斜視図である。
【図９】 従来の傾き調整装置とボンディング装置の斜
視図である。
視図である。
【図１０】 従来の別の傾き調整装置とボンディング装
置の斜視図である。
置の斜視図である。
４１ 固定側球面ジョイント、４２ 移動側球面ジョイ
ント、４３ 板ばね、４３ｂ 端部、４４ ＸＹテーブ
ル、４６ ベース板、４７ ガイド、４８ 固定支持部
材、４９ ヘッド部、５０ ツール、５１ ステージ
部、５４ コイルばね、５５ 直動ガイド。
ント、４３ 板ばね、４３ｂ 端部、４４ ＸＹテーブ
ル、４６ ベース板、４７ ガイド、４８ 固定支持部
材、４９ ヘッド部、５０ ツール、５１ ステージ
部、５４ コイルばね、５５ 直動ガイド。
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(72)発明者 岸 利信
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号
三菱電機株式会社内
(72)発明者 永井 清春
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号
三菱電機株式会社内
(56)参考文献 特開 平５−275488（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−232213（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/52
H01L 21/60
H05K 13/04
B23P 21/00
B23Q 3/00
B25J 15/00
Claims (5)
- 【請求項１】 固定支持部材、ベース部材、一定方向に
は変形し易くこれと垂直な方向には変形し難い弾性構造
部材、上記固定支持部材と上記ベース部材の一端部とを
連結する１つの第１の球面ジョイント、上記ベース部材
の他端部と上記弾性構造部材の端部とを連結する２つ以
上の第２の球面ジョイント、および上記一定方向とは垂
直な方向に上記弾性構造部材を駆動する駆動手段からな
り、上記駆動手段により上記弾性構造部材を介して上記
第２の球面ジョイントを変位させて上記ベース部材の傾
きを調整するようにした傾き調整装置。 - 【請求項２】 弾性構造部材を予め弾性変形させて取り
付け、第１、第２の球面ジョイントに予圧を与えるよう
にした請求項１記載の傾き調整装置。 - 【請求項３】 弾性構造部材を板ばねとした請求項１ま
たは請求項２記載の傾き調整装置。 - 【請求項４】 ヘッド部とステージ部を備え、上記ヘッ
ド部で吸着した半導体チップを上記ステージ部上でボン
ディングするボンディング装置において、請求項１から
請求項３のいずれかに記載の傾き調整装置に上記ヘッド
部をスライド可能に取り付けたことを特徴とするボンデ
ィング装置。 - 【請求項５】 ヘッド部とステージ部を備え、上記ヘッ
ド部で吸着した半導体チップを上記ステージ部上でボン
ディングするボンディング装置において、請求項１から
請求項３のいずれかに記載の傾き調整装置に上記ステー
ジ部を取り付けたことを特徴とするボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3805099A JP3400735B2 (ja) | 1999-02-17 | 1999-02-17 | 傾き調整装置およびボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3805099A JP3400735B2 (ja) | 1999-02-17 | 1999-02-17 | 傾き調整装置およびボンディング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000236004A JP2000236004A (ja) | 2000-08-29 |
| JP3400735B2 true JP3400735B2 (ja) | 2003-04-28 |
Family
ID=12514706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3805099A Expired - Fee Related JP3400735B2 (ja) | 1999-02-17 | 1999-02-17 | 傾き調整装置およびボンディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3400735B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11456202B2 (en) | 2020-10-22 | 2022-09-27 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Stage structure for semiconductor fabrication process, system of picking up semiconductor chip, and method of controlling tilting angle of pickup head |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100773466B1 (ko) | 2006-07-25 | 2007-11-05 | 엘지전자 주식회사 | 요축 및 피치축 각도 조절이 가능한 박막증착장치 |
| KR102582980B1 (ko) * | 2021-08-12 | 2023-09-26 | 주식회사 엠아이이큅먼트코리아 | 정밀 가압장치를 구비한 플립칩 레이저 본딩기 |
-
1999
- 1999-02-17 JP JP3805099A patent/JP3400735B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11456202B2 (en) | 2020-10-22 | 2022-09-27 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Stage structure for semiconductor fabrication process, system of picking up semiconductor chip, and method of controlling tilting angle of pickup head |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000236004A (ja) | 2000-08-29 |
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