JP3382057B2 - リニアアクチュエータ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、往復振動を可動子に生
じさせるリニアアクチュエータ、殊に往復式電気かみそ
りの駆動源としてのリニアアクチュエータに関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】往復式電気かみそりでは、その可動刃を
直線往復運動させなくてはならないが、この直線往復運
動を得るために、モータの回転を往復運動に変換してい
たのではこの運動変換部における機械的ロスが存在する
ために、ドイツ特許公報第１１５１３０７号には、電磁
石からなる固定子に対する通電制御により、可動鉄芯で
構成された可動子を往復振動させるリニアアクチュエー
タを用いたものが提案されている。また、可動子を鉄芯
ではなく永久磁石で構成したリニアモータタイプのリニ
アアクチュエータも提案されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、可動鉄芯あ
るいは永久磁石である可動子の往復動方向の長さは固定
子との関係であまり長くすることができない。一方、ス
ムーズな往復動を可動子に行わせるにあたっては、可動
子の支持構造によるものの、一般的には往復動方向の長
さを長くする方が有利である。このために、可動子を樹
脂成形品で形成し、可動鉄芯あるいは永久磁石はこの樹
脂成形品に埋め込むことが考えられる。

【０００４】このようにした場合、電気かみそりにおけ
る可動刃が着脱自在に装着される連結部を可動子に形成
することも容易に行うことができるとともに軽量化の点
でも有利であるが、永久磁石あるいは可動鉄芯を除けば
樹脂成形品だけで構成された可動子では、次の問題を有
している。すなわち固定子と可動子との対向面には往復
動方向の磁気推進力のほかに、固定子側への吸引力が作
用するのであるが、この吸引力によって可動子が撓み変
形を起こし、エアギャップが変化したり、固定子と接触
する事態が生じたりしてしまい、可動子の円滑な動作が
望めなくなる。

【０００５】本発明は上記の問題点に鑑みて発明したも
のであって、その目的とするところは剛性が高くて安定
した動作を長期にわたり得ることができるリニアアクチ
ュエータを提供するにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】しかして本発明に係るリ
ニアアクチュエータは、電磁石からなる固定子と、永久
磁石を備える可動子と、上記固定子を支持するとともに
上記可動子を往復動自在に支持するフレームとからな
り、電磁石への通電制御によって可動子を往復振動させ
るリニアアクチュエータであって、上記可動子は樹脂製
部と、固定子にエアギャップを介して対向する永久磁石
の背後に位置するとともに高剛性材料からなる剛性部と
で形成されて、剛性部と永久磁石との間にバックヨーク
が配されており、剛性部はその往復振動方向の中央部に
固定子と反対側に向けて突出する突出部を備えて、この
突出部に樹脂製部で且つ他部材への振動伝達部が形成さ
れていることに特徴を有している。

【０００７】ここにおける剛性部は非金属高剛性材料か
らなるものでも、金属材料からなるものでもよいが、後
者の場合には板金で形成されていることが好ましい。ま
た剛性部は形状的には往復振動方向の両端部が固定子側
に屈曲されているものであることが好ましく、上記突出
部はその厚みを他の部分より大としておくと、なお良
い。

【０００８】剛性部と永久磁石との間にバックヨークを
配したものでは、バックヨークは可動子の往復振動方向
両端部で剛性部に結合しておくことが好ましく、剛性部
とバックヨークとの間に、樹脂製部の樹脂が流入する部
分である隙間を設けておくことも好ましい。さらに、同
一方向に同一位相で往復振動する複数の可動子を備えた
ものでは、各可動子の剛性部同志を互いに連結しておく
とよい。

【０００９】可動子として、２つの可動子を設ける場合
には、第１の可動子と、この第１の可動子を囲む枠状の
第２の可動子とで構成するとよい。そして、可動子の動
作検出用センサーによる被検知部を可動子に設けるにあ
たっては、第２の可動子の樹脂製部に被検知部を一体に
設けるとよい。特に、被検知部は第１の可動子と第２の
可動子との間に懸架されたばね部材から第１の可動子の
樹脂製部によって隔離された部分に設けたり、第２の可
動子における他部材への振動伝達部を外れたところに設
けたりすることが好ましい。

【００１０】第１の可動子と第２の可動子の各往復動の
相互規制用のリンクとの係合部を設ける場合には、各可
動子の樹脂製部に係合部を一体に形成するとよい。

【００１１】

【作用】本発明にあっては、樹脂製部と、固定子にエア
ギャップを介して対向する永久磁石の背後に位置すると
ともに高剛性材料からなる剛性部とで可動子を形成して
いることから、樹脂製部を有するものであるとはいえ、
剛性部の存在によって可動子に変形が生じることがな
く、エアギャップの管理が容易となる。

【００１２】そして剛性部を板金で形成した時には、必
要な形状と強度の剛性部を容易に得ることができ、剛性
部として往復振動方向の両端部が固定子側に屈曲された
ものを用いれば、固定子に向けての撓みがより生じにく
いものとなる。また、電気かみそりの可動刃のような他
部材への振動伝達部を設ける場合には、往復振動方向の
中央部に固定子と反対側に向けて突出する突出部を設け
て、この突出部に樹脂製の振動伝達部を形成しておくこ
とで、強度が必要な部分を適切に補強することができ
る。突出部の厚みを他の部分より大としておくと、なお
好ましい強度を得ることができる。

【００１３】剛性部と永久磁石との間にバックヨークを
配したものでは、バックヨークは可動子の往復振動方向
両端部で剛性部に結合しておくことで、バックヨークが
剛性部を補強することになる。また、剛性部とバックヨ
ークとの間に、樹脂製部の樹脂が流入する部分である隙
間を設けておくと、樹脂製部の成形が容易となる。さら
に、同一方向に同一位相で往復振動する複数の可動子を
備えたものでは、各可動子の剛性部同志を互いに連結し
ておくと、複数の可動子の剛性向上を効果的に行うこと
ができる。

【００１４】また可動子として、２つの可動子を設ける
場合には、第１の可動子と、この第１の可動子を囲む枠
状の第２の可動子とで構成すると、可動子の駆動に際し
て可動子に偶力が作用しにくいものとなる。そして、可
動子の動作検出用センサーによる被検知部を可動子に設
けるにあたっては、第２の可動子の樹脂製部に被検知部
を一体に設けると、部品数の削減を図ることができ、特
に、第１の可動子と第２の可動子との間に懸架されたば
ね部材から第１の可動子の樹脂製部によって隔離された
部分に被検知部を設ければ、ばね部材の部分から生じた
塵埃が被検知部に影響を及ぼしにくくなる。第２の可動
子における他部材への振動伝達部を外れたところに被検
知部を一体に設ける時には、被検知部を設けるために厚
みを薄くしなくてはならない部分が振動伝達部の強度低
下の原因となってしまうことがない。

【００１５】第１の可動子と第２の可動子の各往復動の
相互規制用のリンクとの係合部を設ける場合には、各可
動子の樹脂製部に係合部を一体に形成すると、この係合
部を別部品として用意する必要がなくなる。

【００１６】

【実施例】以下本発明を添付図面に示す実施例に基づい
て詳述すると、図示例は往復式電気かみそりの３つの可
動刃６１，６１，６３の駆動源としてのリニアアクチュ
エータを示しており、固定子１と２つの可動子２１，２
２、そしてフレーム３とから構成されている。

【００１７】固定子１は、図１１に示すように、磁性材
料の焼結体あるいは磁性材料の鉄板の積層体で形成した
Ｅ字形ヨーク１０と、このヨーク１０の中央片に巻回さ
れたコイル１１と、ヨーク１０の両側端面に配したイン
シュレータ１３とからなるもので、ヨーク１０の両端面
からは夫々ピン１２が突設されている。このピン１２
は、後述するようにフレーム３への固定用であるが、ヨ
ーク１０が積層体である場合、積層固定用のものを流用
することができる。

【００１８】上記固定子１が固着されるフレーム３は、
図１０に示すように、一対の両側板３０，３０の各端部
の下部間を夫々底板３１，３１で連結した断面Ｕ字形に
構成されたもので、上記固定子１はそのピン１２が側板
３０に形成された固定溝３２にはめ付けられて溶接やか
しめによってフレーム３に固定される。フレーム３の両
側板３０，３０に夫々形成された窓３４，３４は、後述
するセンサー３９，３８の取付用であり、底板３１から
突設されたピン３３はリンク５５の中央を受けるための
ものである。

【００１９】２種の可動子２１，２２のうちの可動子２
１は、図４に示すように、合成樹脂製の被駆動体２３の
下面に非磁性金属プレートからなる剛性部２５が一体化
されているとともに、この剛性部２５の下面にバックヨ
ーク２６を介して永久磁石２０が固着されたもので、被
駆動体２３は、平面形状が口字形の枠状に構成されてお
り、また剛性部２５とバックヨーク２６と永久磁石２０
は被駆動体２３の両側片の各下面に設けられている。つ
まり、可動子２１は２つの可動子を一体にしたものとな
っている。

【００２０】ここにおける上記両剛性部２５，２５は板
金製のもので、図５及び図６に示すように、夫々可動子
２１の往復動方向の両端が固定子１側に向けて屈曲され
て、端部にボス２５ｂが突設されているとともに、上面
に上方へ突出する凸部２５ａが設けられており、さらに
２つの剛性部２５，２５が一対のブリッジ２５ｃ，２５
ｃによって相互に連結された一体物として形成されたも
のとなっている。

【００２１】永久磁石２０が接着固定されたバックヨー
ク２６は、剛性部２５にレーザー溶接などの手法で固着
され、樹脂製部２３は永久磁石２０が取り付けられた剛
性部２５のインサート成形によって形成される。枠状に
形成された樹脂製部２３は、その一側片上に可動刃６１
が上下動自在に装着される連結部２４が一体に形成され
ている。また、一側にはスリットを有する薄肉の被検知
片２８が一体に形成され、他側の外面には永久磁石２９
が埋め込まれ、下面からは連結突起２１ａが一体に突設
されている。

【００２２】他方の可動子２１も、図７に示すように、
板金製の剛性部２５にバックヨーク２６を介して永久磁
石２０を取り付けるとともに樹脂製部２３を一体に成形
したもので、ここにおける剛性部２５は、図８及び図９
に示すように、２枚のＬ字状板金部材を溶接で貼り合わ
せることで、中央に上方へ立ち上がる突出部２５ａを備
えたものとして形成されており、下方に屈曲された両端
部の端面にはボス２５ｂを備えている。そして永久磁石
２０が下面に接着されたバックヨーク２６が溶接によっ
て下面側に固定されているのであるが、この時、バック
ヨーク２６と剛性部２５とは図８に示すように可動子２
２の往復動方向の両端と中央部とにおいて溶接され、一
部には両者の間に隙間２５ｄが設けられる。この隙間２
５ｄは、一体成形される樹脂製部２３を成形する際の樹
脂の流れを良くするためのものである。そして、この可
動子２１においても、樹脂製部２３に可動刃６１を上下
動自在に連結する連結部２４と、下方に突出する連結突
起２２ａが一体に形成される。図中２７は後述するばね
５を受けるばね受け部であり、厚みが他の部分の倍とな
っている上記突出部２５ａが一対のばね受け部２７，２
７の間に存在しているために、この部分の強度は高くな
っている。

【００２３】そして上記両可動子２１，２２は、その両
端が前記フレーム３に板ばね４，４を介して連結され
る。ここにおける板ばね４は、金属板４’からの打ち抜
きによって形成されるとともに、フレーム３への固定部
に支持板４０及び取付板４５が、可動子２１，２２への
固定部に連結板４３が夫々取り付けられたもので、可動
子２２に連結される中央の板ばね部４１と、可動子２１
に連結される左右一対の板ばね部４２，４２とが支持板
４０の部分において一体につながっている。

【００２４】図１０及び図１１に示すように、取付板４
５をフレーム３の両端に溶接等の手段で固定し、各連結
板４３を可動子２１，２２の剛性部２５の端部のボス２
５ｂに溶接やかしめ等の手段で固定した時、両可動子２
１，２２はフレーム３から吊り下げられた形態となると
ともに、平面形状が口字形の可動子２１内に可動子２２
が位置する。また、可動子２１内面のばね受け部と可動
子２２のばね受け部２７，２７との間には、可動子２
１，２２の往復動方向において、圧縮コイルばねからな
る対のばね部材５，５が配設される。さらに、フレーム
３に装着されたリンク５５に設けられた一対の軸５６，
５７のうちの軸５６が可動子２１の連結突起２１ａの下
面の長溝に係合し、軸５７が可動子２２の連結突起２２
ａの下面の長溝に係合する。

【００２５】フレーム３への可動子２１，２２と板ばね
４とのブロックの取り付けは、フレーム３の開口してい
る上面側から行われ、フレーム３の両側板３０，３０の
上端間は可動子２１，２２の取付後に連結プレート３
５，３５の溶接固定で相互に連結される。この連結プレ
ート３５は、図１から明らかなように、電気かみそりの
ハウジング６の取付板６６へのビス６７による固定部と
もなっている。前記固定子１は、フレーム３への可動子
２１，２２の装着後にフレーム３に前述のようにして取
り付けられる。この後、板ばね４における金属板４’の
不要部分が除去されて、図３に示すリニアアクチュエー
タが構成される。

【００２６】このリニアアクチュエータの可動子２１，
２２に設けられた永久磁石２０は、前記固定子１に所定
のギャップを介して上下に対向するとともに、可動子２
１，２２の往復動方向に着磁されており、このために固
定子１のコイル１１に流す電流の方向に応じて、可動子
２１，２２は板ばね４を撓ませつつ左右に移動するもの
であり、コイル１１に流す電流の方向を適宜なタイミン
グで切り換えることによって、可動子２１，２に往復振
動を行わせることができる。

【００２７】また、ここでは可動子２１に設けた永久磁
石２０の磁極の並びと、可動子２２に設けた永久磁石２
０の磁極の並びとを逆としているために、またリンク５
５によって両可動子２１，２２が相互に動きを規制する
ために、両可動子２１，２２は位相が１８０°ずれた状
態の往復振動を常時行う。この時、両可動子２１，２２
間に懸架されたばね部材５，５が圧縮伸長されるととも
に板ばね４が撓むために、可動子２１，２２には板ばね
４とばね部材５とのばね系（厳密には磁気吸引力による
ばね定数成分が更に加わる）が作用しているのである
が、可動子２１，２２の往復振動駆動は、上記ばね系と
可動部分の質量とで定まる固有振動数で往復振動するよ
うにしている。なお、可動子２１の固有振動数と可動子
２２の固有振動数とが同じとなるようにしているのはも
ちろんである。

【００２８】上記往復振動駆動を可能とするために、こ
のリニアアクチュエータでは、可動子２１にセンシング
用磁石２９を取り付けるとともにフレーム３にセンシン
グ用巻線からなるセンサー３９を取り付けて、可動子２
１の振動に伴ってセンサー３９に電流が誘起されるよう
にしており、また可動子２１に設けた前記被検知片２８
のスリットを光学的に検出するセンサー３８をフレーム
３に取り付けてある。そして可動子２１の往復動に伴っ
てセンサー３９に誘起される電流（図１３中のイ）の電
圧から、可動子２１の移動方向を判別し、被検知片２８
のスリットによってセンサー３８がオンとなる時間か
ら、可動子２１の移動速度を検出するとともに、この移
動速度から、可動子２１の振幅を判別している。

【００２９】ここで、センサー３９出力から判別するこ
とができる移動方向の反転時から所定時間ｔ０経過時か
ら検出した移動方向に応じた方向の電流を所定時間（ｔ
１−ｔ０）だけコイル１１に電流を流すとともに、検出
した可動子２１の速度から、例えば負荷の増大による振
幅の減少を検出した時には、駆動電流（図１３中のハ）
の電流量（図示例では通電時間ｔ１−ｔ０）を増加させ
ることで、振幅を所要の値に保つようにしている。コイ
ル１１への通電を止めたならば、一対のばね部材５，５
のばね力が等しくなっているために、可動子２１，２２
はその往復動ストロークの中間位置で停止する。これ
は、電気かみそりにおいて、外刃６２，６４が装着され
た外刃フレーム６５の着脱の際に都合が良い。

【００３０】上記センサー３８で検出される被検知片２
８は、ばね部材５との間に樹脂製部２３における壁が存
在している上に、その上方も樹脂製部２３によって覆わ
れているために、ばね部材５，５で生じた錆粉が付着し
てセンサー３８の検出能を低下させることがない。ま
た、樹脂製部２３に埋め込んだセンシング用の磁石２９
の漏れ磁束が可動子２１の内面に上記錆粉を吸着するた
めに、鉄錆が飛散することもない。また、磁石２９は可
動子２１の往復動方向の中央に位置して両ばね部材５，
５からの錆粉に作用する。

【００３１】被検知片２８を樹脂製部２３に一体に設け
る関係上、被検知片２８が位置する部分の樹脂製部２３
の厚みは薄くしなくてはならないが、被検知片２８は可
動子２１の往復動方向の連結部２４が存在している中央
部ではなく、端部寄りに設けているために、上記樹脂製
部２３の連結部２４付近が厚みによる強度不足を招くこ
とがない。磁石２９については可動子２１の往復動方向
の中央部に配しているが、この場合の磁石２９は樹脂製
部２３の補強として作用する。

【００３２】上記実施例では、２つの可動子２１，２２
を有するものを示したが、可動子が１つだけのもの、可
動子の数が更に多いものであってもよいのはもちろんで
あり、またここでは可動子２１，２２をフレームから板
ばね４，４で吊り下げ支持したものを示したが、フレー
ム３に設けたガイドレールに沿って往復動するものであ
ってもよい。

【００３３】

【発明の効果】以上のように本発明においては、可動子
に樹脂製部を設けているために、可動子の形状を任意の
ものにすることが容易にできる上に、電気かみそりの可
動刃との連結部に要求される機能にあったものとするこ
とが容易にできるものであり、しかも固定子にエアギャ
ップを介して対向する永久磁石の背後に位置するに高剛
性材料からなる剛性部を設けるとともに、この両者の間
にバックヨークを介在させており、しかも剛性部はその
往復振動方向の中央部に固定子と反対側に向けて突出す
る突出部を備えて、この突出部に樹脂製部で且つ他部材
への振動伝達部を形成していることから、樹脂製部を有
するものであるとはいえ、可動子に変形が生じることが
なく、エアギャップの管理が容易となり、長期にわたり
安定した動作を得ることができる上に振動伝達部に必要
な強度を簡便に得ることができるものである。

【００３４】そして剛性部を板金で形成した時には、必
要な形状と強度の剛性部を容易に得ることができると同
時に剛性部を設けることによるコストアップを最小に抑
えることができる。剛性部として、往復振動方向の両端
部が固定子側に屈曲されたものを用いれば、固定子に向
けての撓みがより生じにくくなるものであって、必要と
する方向の強度を最小量の剛性部で得ることができる。

【００３５】また、突出部の厚みを他の部分より大とし
ておくと、振動伝達部についてなお好ましい強度を得る
ことが簡単にできる。

【００３６】剛性部と永久磁石との間にバックヨークを
配したものでは、バックヨークは可動子の往復振動方向
両端部で剛性部に結合しておくことで、バックヨークが
剛性部の撓みを規制する存在となるために剛性部自体の
強度を殊更高くする必要がなくなる。また、剛性部とバ
ックヨークとの間に、樹脂製部の樹脂が流入する部分で
ある隙間を設けておくと、樹脂製部の成形が容易とな
る。

【００３７】さらに、同一方向に同一位相で往復振動す
る複数の可動子を備えたものでは、各可動子の剛性部同
志を互いに連結しておくと、複数の可動子の剛性向上を
相乗的に得ることができる上に、複数の可動子が並ぶ方
向の強度向上も得ることができる。また可動子として、
２つの可動子を設ける場合には、第１の可動子と、この
第１の可動子を囲む枠状の第２の可動子とで構成する
と、第１の可動子と第２の可動子の重心を同一位置付近
におくことができ、可動子の駆動に際して可動子に偶力
が作用しにくくすることができ、可動子の往復振動の安
定化に寄与することになる。

【００３８】そして、可動子の動作検出用センサーによ
る被検知部を可動子に設けるにあたっては、第２の可動
子の樹脂製部に被検知部を一体に設けると、被検知部を
別途部品として装着する必要がなくなり、部品数の削減
を図ることができる。殊に、第１の可動子と第２の可動
子との間に懸架されたばね部材から第１の可動子の樹脂
製部によって隔離された部分に被検知部を設ける時に
は、ばね部材の部分から生じた塵埃が被検知部に、つま
りはセンサーの動作に影響を及ぼしにくくなり、安定し
た検知動作を得ることができる。

【００３９】第２の可動子における他部材への振動伝達
部を外れたところに被検知部を一体に設ける時には、被
検知部を設けるために厚みを薄くしなくてはならない部
分が振動伝達部の強度低下の原因となってしまうことが
ないものとなる。第１の可動子と第２の可動子の各往復
動の相互規制用のリンクとの係合部を設ける場合には、
各可動子の樹脂製部に係合部を一体に形成すると、この
係合部を別部品として用意する必要がなくなり、部品数
の削減を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施例を備えた電気かみそりの縦断面図であ
る。

【図２】同上の電気かみそりの横断面図である。

【図３】同上の斜視図である。

【図４】同上の可動子の斜視図である。

【図５】同上の可動子の剛性部の斜視図である。

【図６】同上の可動子の剛性部の分解斜視図である。

【図７】同上の他の可動子の斜視図である。

【図８】同上の可動子の剛性部の斜視図である。

【図９】同上の可動子の剛性部の分解斜視図である。

【図１０】同上の組立途中の状態を示す分解斜視図であ
る。

【図１１】同上の組立途中の状態を示す分解斜視図であ
る。

【図１２】同上のブロック回路図である。

【図１３】同上の動作説明図である。

【図１４】同上の動作制御の説明図である。

【符号の説明】

１ 固定子 １１ コイル ２０ 永久磁石 ２１ 可動子 ２２ 可動子 ２５ 剛性部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 薮内 英一 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工 株式会社内 (72)発明者 清水 順治 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工 株式会社内 (72)発明者 山田 富男 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工 株式会社内 (72)発明者 棚橋 正雄 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工 株式会社内 (56)参考文献 特開 昭55−84190（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−39128（ＪＰ，Ａ) 欧州特許出願公開674979（ＥＰ，Ａ １) 欧州特許出願公開349077（ＥＰ，Ａ １) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H02K 33/16

Claims (14)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電磁石からなる固定子と、永久磁石を備
   える可動子と、上記固定子を支持するとともに上記可動
   子を往復動自在に支持するフレームとからなり、電磁石
   への通電制御によって可動子を往復振動させるリニアア
   クチュエータであって、上記可動子は樹脂製部と、固定
   子にエアギャップを介して対向する永久磁石の背後に位
   置するとともに高剛性材料からなる剛性部とで形成され
   て、剛性部と永久磁石との間にバックヨークが配されて
   おり、剛性部はその往復振動方向の中央部に固定子と反
   対側に向けて突出する突出部を備えて、この突出部に樹
   脂製部で且つ他部材への振動伝達部が形成されているこ
   とを特徴とするリニアアクチュエータ。
2. 【請求項２】 剛性部は非金属高剛性材料からなること
   を特徴とする請求項１記載のリニアアクチュエータ。
3. 【請求項３】 剛性部は金属材料からなることを特徴と
   する請求項１記載のリニアアクチュエータ。
4. 【請求項４】 剛性部は板金で形成されていることを特
   徴とする請求項３記載のリニアアクチュエータ。
5. 【請求項５】 剛性部はその往復振動方向の両端部が固
   定子側に屈曲されていることを特徴とする請求項１記載
   のリニアアクチュエータ。
6. 【請求項６】 突出部はその厚みが他の部分より厚みが
   大であることを特徴とする請求項１記載のリニアアクチ
   ュエータ。
7. 【請求項７】 バックヨークは可動子の往復振動方向両
   端部で剛性部に結合されていることを特徴とする請求項
   １記載のリニアアクチュエータ。
8. 【請求項８】 剛性部とバックヨークとの間に、樹脂製
   部の樹脂が流入する部分である隙間を設けていることを
   特徴とする請求項１記載のリニアアクチュエータ。
9. 【請求項９】 同一方向に同一位相で往復振動する複数
   の可動子を備えるとともに、各可動子の剛性部同志が互
   いに連結されていることを特徴とする請求項１記載のリ
   ニアアクチュエータ。
10. 【請求項１０】 可動子として、第１の可動子と、この
    第１の可動子を囲む枠 状の第２の可動子とを備えている
    ことを特徴とする請求項１記載のリニアアクチュエー
    タ。
11. 【請求項１１】 第２の可動子の樹脂製部に可動子の動
    作検出用センサーによる被検知部が一体に設けられてい
    ることを特徴とする請求項１０記載のリニアアクチュエ
    ータ。
12. 【請求項１２】 被検知部は第１の可動子と第２の可動
    子との間に懸架されたばね部材から第１の可動子の樹脂
    製部によって隔離された部分に設けられていることを特
    徴とする請求項１１記載のリニアアクチュエータ。
13. 【請求項１３】 被検知部は第２の可動子における他部
    材への振動伝達部を外れたところに設けられていること
    を特徴とする請求項１２記載のリニアアクチュエータ。
14. 【請求項１４】 第１の可動子と第２の可動子の各往復
    動の相互規制用のリンクとの係合部が各可動子の樹脂製
    部に一体に形成されていることを特徴とする請求項１０
    記載のリニアアクチュエータ。