JP3372466B2 - 偏光板の製造方法 - Google Patents

偏光板の製造方法

Info

Publication number
JP3372466B2
JP3372466B2 JP36564597A JP36564597A JP3372466B2 JP 3372466 B2 JP3372466 B2 JP 3372466B2 JP 36564597 A JP36564597 A JP 36564597A JP 36564597 A JP36564597 A JP 36564597A JP 3372466 B2 JP3372466 B2 JP 3372466B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polarizing
rod
resin layer
forming
shaped
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP36564597A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH11183727A (ja
Inventor
栄樹 小室
透 木練
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP36564597A priority Critical patent/JP3372466B2/ja
Priority to US09/207,659 priority patent/US6251297B1/en
Publication of JPH11183727A publication Critical patent/JPH11183727A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3372466B2 publication Critical patent/JP3372466B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/30Polarising elements
    • G02B5/3025Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state
    • G02B5/3058Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state comprising electrically conductive elements, e.g. wire grids, conductive particles
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/18Diffraction gratings
    • G02B5/1809Diffraction gratings with pitch less than or comparable to the wavelength
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/204Filters in which spectral selection is performed by means of a conductive grid or array, e.g. frequency selective surfaces

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Polarising Elements (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信、光記録、
センサなどに用いられる偏光板に関し、特に、誘電体の
中や、誘電体表面の上に金属を島状に分散配列させて光
学異方性を発生させる共鳴吸収効果タイプの偏光板に関
するものであり、信頼性が高く、しかも、製造工程の面
から安価に大量生産できる偏光板に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、液晶表示装置などに用いられ
る直線偏光板として、樹脂フィルムをベースとし、ヨウ
素や染料を使用した直線偏光フィルムがよく知られてい
る。このものは、ベースフィルムを延伸することによっ
て、ヨウ素や染料の二色性物質を配向させ、偏光特性を
得ている。
【0003】また、特開昭56−169140号公報に
は、ハロゲン化銀などの金属化合物をガラス中に分散さ
せた後、加熱延伸させることにより、微細なハロゲン化
銀粒子を回転楕円体形状に変形させるとともに、延伸方
向と回転楕円体の長軸方向とが一致するように配向さ
せ、その後、ガラス表面のハロゲン化銀粒子を還元処理
してなる偏光板の製造方法が提案されている。この製造
方法により製造される偏光板は、上記の樹脂フィルムを
用いた偏光板より損失が少なく、耐久性も高いために、
光通信の分野で盛んに使用されるようになっている。
【0004】このような棒状の金属偏光微粒子がガラス
マトリックなどに配向されてなるタイプの偏光板は、い
わゆる共鳴吸収効果を用いて偏光を取り出すものであ
り、偏光が生じる原理は、図5に示される通りである。
すなわち、入射光20は、符号21と符号22の2つの
直交する成分に分解することができ、図5に示される偏
光ガラス50では、金属偏光微粒子30の長軸方向と同
じ振動成分を有する光21の成分は吸収され、金属偏光
微粒子30の短軸方向と同じ振動成分を有する光22の
成分は偏光ガラスを透過することにより、偏光特性が生
じる。
【0005】しかしながら、上記特開昭56−1691
40号公報に提案されている技術は、ガラスの溶融、熱
処理、延伸、研削、研磨工程および還元焼成といったよ
うに、多くの工程を必要とする。しかも各工程の作業は
極めて複雑である。またガラスを加熱延伸する際、ハロ
ゲン化銀粒子を均一な大きさにそろえることが難しいと
考えられる。従って製法上、大面積の偏光ガラスを供給
することは極めて困難である。
【0006】ところで、本願発明が対象としている偏光
板とは全く構造および作用を異にする偏光板にグリット
型偏光板がある。グリット型偏光板60は、図6に示さ
れるように誘電体基板61上に、複数の金属細線63を
格子状に形成したものである。この偏光板60は金属細
線63と並行方向の偏光成分を反射し、金属細線と直交
する成分を透過し赤外域で偏光特性を得るよう作用す
る。また、グリット型偏光板60では、光の回折を避け
るために格子のピッチは波長の1/2以下でなければな
らず、また金属細線63の線幅は透過方向の偏光成分の
吸収を小さくするためにより細いものが望まれる。
【0007】このようなグリット型偏光板について、特
開昭7−294730号公報には、量産性を考慮して、
鋸歯状の断面を持ったストライプ状パターンを有するス
タンパーを用い、このスタンパーから射出成形、2P法
などにより、多数のレプリカを作り、さらに斜め蒸着に
より、鋸歯状の略垂直壁面に格子細線となる金属薄膜を
形成する旨の提案がなされている。このようなグリット
型の偏光板では、上述したように格子のピッチの高い精
度も含め、極めて細い金属細線の形成が要求され、数n
mの値の線幅制御が必要となる。しかしながら、斜め蒸
着により金属薄膜を各壁面に、それぞれ均一に成膜させ
ることは極めて困難であり、金属薄膜の厚さにバラツキ
が生じた場合には、格子の線幅および格子ピッチが均一
にならず、偏光特性などに悪影響を及ぼす。また、極め
て特殊な形状のスタンパーの作製作業も必要である。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】このような実状のもと
に本発明は創案されたものであり、その目的は、共鳴吸
収効果タイプの偏光板を対象にし、安価、かつ大量生産
が可能であり、しかも消光比が高く、性能および信頼性
が極めて高い共鳴吸収効果タイプの偏光板の製造方法を
提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明は、透光性のある偏光マトリックス層の中
に、複数の棒状の偏光棒状体がその長軸方向を一定方向
に向けて配列された形態を有する共鳴吸収効果タイプの
偏光板の製造方法において、該偏光板の製造方法は、
(1)棒状の偏光棒状体の配列パターンに対応する凹凸
パターンを有する成形型を準備する成形型準備工程と、
(2)基板の上に直接または間接に樹脂層を形成し、当
該樹脂層に上記成形型を押しつけて、当該樹脂層に凹凸
パターンを形成する樹脂層凹凸パターン形成工程と、
(3)この凹凸パターンを利用して、棒状の偏光棒状体
を配列状態に形成させる偏光棒状体形成工程と、(4)
形成された棒状の偏光棒状体を埋めるように透光性のあ
る偏光マトリックス層を形成する偏光マトリックス層形
成工程と、を有してなるように構成される。
【0010】また、本発明は、透光性のある偏光マトリ
ックス層の中に、複数の棒状の偏光棒状体がその長軸方
向を一定方向に向けて配列された形態を有する共鳴吸収
効果タイプの偏光板の製造方法において、該偏光板の製
造方法は、(1)棒状の偏光棒状体の配列パターンに対
応する凹凸パターンを有する成形型を準備する成形型準
備工程と、(2)基板の上に直接または間接に樹脂層を
形成し、当該樹脂層に上記成形型を押しつけて、当該樹
脂層に凹凸パターンを形成する樹脂層凹凸パターン形成
工程と、(3)この凹凸パターンを利用して、棒状の偏
光棒状体を配列状態に形成させる偏光棒状体形成工程
と、(4)形成された棒状の偏光棒状体を埋めるように
透光性のある偏光マトリックス層を形成する偏光マトリ
ックス層形成工程と、を有し、前記形成された偏光マト
リックス層を基板とし、上記(2)〜(4)の工程を繰
り返して偏光棒状体を含有する偏光マトリックス層を積
層してなるように構成される。
【0011】本発明のより好ましい態様として、前記樹
脂層凹凸パターン形成工程(2)においては、予め基板
の上に直接、樹脂層が形成されており、前記偏光棒状体
形成工程(3)においては、樹脂層凹凸パターンに沿っ
て樹脂層のエッチング処理が行われ露出された基板の上
に、棒状の偏光棒状体が堆積形成され、しかる後、残余
の樹脂層が除去されてなるように構成される。
【0012】本発明のより好ましい態様として、前記樹
脂層凹凸パターン形成工程(2)においては、予め基板
と樹脂層との間に、偏光棒状体を形成するための導電性
物質が介在されており、前記偏光棒状体形成工程(3)
においては、樹脂層凹凸パターンに沿って樹脂層および
導電性物質のエッチング処理が行われ、しかる後、残余
の樹脂層が除去されてなるように構成される。
【0013】本発明のより好ましい態様として、前記樹
脂層凹凸パターン形成工程において、樹脂層に成形型を
押しつける前に、予め樹脂層を軟化させてなるように構
成される。
【0014】本発明のより好ましい態様として、前記偏
光棒状体は銀からなるように構成される。
【0015】本発明のより好ましい態様として、前記偏
光棒状体は、その長軸長さが、偏光板に入射される波長
以下に設定されて構成される。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を図面を参照しつつ説明する。本発明の製造対象となる
偏光板は、図3に示されるように、透光性のある偏光マ
トリックス層6の中に、複数の棒状の偏光棒状体5がそ
の長軸方向を一定方向に向けて配列された形態を有する
共鳴吸収効果タイプのものである。共鳴吸収効果タイプ
の偏光板1においては、一般に、偏光棒状体5の長軸長
さは、偏光板1に入射される波長λ以下に設定される。
偏光棒状体5の長軸長さが波長λよりも長くなると、偏
光特性が生じにくくなるからである。偏光棒状体5の長
軸長さの下限は、通常、10nm程度とされる。10n
m以下の場合、導電電子への平均自由行程の制限が共鳴
ピークを広げてしまうため、好ましくない。偏光棒状体
5のアスペクト比は、通常、1.5:1〜40:1程度
に設定され、また、偏光棒状体5が偏光マトリックス層
6に含有される割合は、通常、0.01wt%〜数wt
%程度とされる。アスペクト比は、長軸長さと短軸長さ
の比で定義される。棒状の偏光棒状体5の代表的形態と
しては、直方体、楕円体などが例示できる。
【0017】図1(A)〜(F)には、本発明の偏光板
の製造方法の好適な一例が示されており、この図に基づ
いて、本発明の偏光板の製造方法を説明する。
【0018】(1)成形型準備工程 まず最初に、説明図の順番が逆になるが図1(B)示さ
れるような成形用の成形型4を準備する。この成形型4
は、図示のごとく後述する棒状の偏光棒状体の配列パタ
ーンに対応する凹凸パターン41を有している。
【0019】成形型4の材料としては、特に制限はな
く、金属、誘電体、半導体等を用いることができる。成
形型4表面の凹凸パターン41の作製には、微細パター
ンを精度よく作製できるEB描画装置を使用することが
できる。大面積のパターンを作製する場合、EB描画装
置を用いた凹凸パターン形成作業は時間がかかる。しか
しながら、一度成形型4を作製すれば、その成形型を何
度も使用できるため、大量生産には適している。
【0020】(2)樹脂層凹凸パターン形成工程 図1(A)に示すように、基板2の上に直接、樹脂層3
を形成する。本実施の形態においては、樹脂層3の好適
な一例として熱可塑性ポリマーを使用している。形成方
法は、スピンコート等の塗布方法や蒸着法等の真空成膜
方法が用いられる。樹脂層3の膜厚は、通常、30〜5
00nm程度とされる。
【0021】次に、予め作製しておいた上記の凹凸パタ
ーン形成用の成形型4と、樹脂層(熱可塑性ポリマー)
3および基板2を加熱し、熱可塑性ポリマーがある程度
流動的になったところで、成形型4を樹脂層3の上に押
し付ける。温度を下げた後、樹脂層3の表面に押し込ん
だ成形型4を樹脂層3から剥離させ、樹脂層3の上に成
形型4の表面形状(凹凸パターン)を転写する(図1
(B))。
【0022】樹脂層3の好適材質として用いられる熱可
塑性ポリマーは、成形型4が押しつけられた際に、成形
型4表面の凹凸パターンが確実に転写されるように、加
熱された際に柔らかく流動的になるものを選定すればよ
い。
【0023】(3)偏光棒状体形成工程 その後、ドライエッチング法にて樹脂層3の表面全体を
エッチングしていき、樹脂層3の凹部相当部分の膜厚を
ゼロにし、基板2の表面を所定のパターン形状に沿って
露出させる(図1(C))。ドライエッチング法として
は、反応性イオンエッチングを用いることが好適である
が、他のドライエッチング法を用いてもよい。この基板
2の上に、真空スパッタ法、真空蒸着法等を用いて偏光
棒状体5の材料となる導電性物質5aを成膜させる(図
1(D))。次いで、溶剤を用いて基板2の上に残って
いる樹脂層3を溶かして、樹脂層3とともに樹脂層3の
上に形成されている余分な導電性物質5aを除去する
(図1(E))。
【0024】偏光棒状体5の材料となる導電性物質5a
は、例えば、導電性のよい金、銀、銅、アルミニウムな
どの金属材料が用いられる。これらの中でも、特に、銀
を用いるのがよい。
【0025】樹脂層3を溶かすために用いられる溶剤と
しては、熱可塑性ポリマーが溶解し、基板2や導電性物
質5aを侵食しないものであれば良く、特に限定される
ものではない。
【0026】(4)偏光マトリックス層形成工程 このようにして形成された棒状の偏光棒状体5を埋める
ように透光性のある偏光マトリックス層6が真空スパッ
タ法や真空蒸着法等で成膜される。偏光マトリックス層
6としては、透光性のあるガラス、セラミックス等が好
適に用いられるが特にこれらに限定されるものではな
い。以上のようにして、1層分の偏光層(単層偏光層1
0)が完成する(図1(F))。1層だけでは十分な偏
光特性を示さないこともあるため、図1(A)から図1
(F)の工程を繰り返し行うことにより、単層偏光層1
0を複数層積層して、図3に示すような偏光層11を作
製する。積層する層の数は、用いる偏光棒状体5(導電
性物質5a)の種類、成形型4のパターン形状、要求さ
れる透過率、消光比等により適宜決定される。
【0027】なお、上記の成形型4を用いる方法では、
成形型4の凹凸パターン41の転写により偏光棒状体5
が形成されるので、そのアスペクト比の均一化は極めて
優れたものとなる。また、偏光マトリックス層6中の偏
光棒状体5の分散度合いも極めて均一なものとすること
ができる。また、成形型4の凹凸パターン41の作り方
次第では、偏光棒状体5のアスペクト比分布を所定範囲
に設定することができ、これにより幅広い波長域での偏
光作用が可能になる。
【0028】図2(A)〜(E)には、本発明の偏光板
の製造方法の他の好適な一例が示される。この図に基づ
いて、以下、第2の実施形態を説明する。
【0029】(1)成形型準備工程 上記図1に示される第1の実施形態と同じであるので、
ここでの説明は省略する。
【0030】(2)樹脂層凹凸パターン形成工程 図2(A)に示すように、基板2の上に真空スパッタ
法、真空蒸着法等で導電性物質5a(後に、偏光棒状体
5となる)を成膜し、この導電性物質5aの上に樹脂層
3を形成する。本実施の形態においては、樹脂層3の好
適な一例として熱可塑性ポリマーを使用している。形成
方法は、スピンコート等の塗布方法や蒸着法等の真空成
膜方法が用いられる。
【0031】次に、予め作製しておいた上記凹凸パター
ン形成用の成形型4と、樹脂層(熱可塑性ポリマー)3
および導電性物質5aと基板2を加熱し、熱可塑性ポリ
マーがある程度流動的になったところで、成形型4を樹
脂層3の上に押し付ける。温度を下げた後、樹脂層3に
押し込んだ成形型4を樹脂層3から剥離させ、樹脂層3
の上に成形型4の表面形状(凹凸パターン)を転写する
(図2(B))。
【0032】(3)偏光棒状体形成工程 その後、ドライエッチング法にて凹凸パターンの表面を
エッチングし、凹凸パターンの凹部が位置する樹脂層3
および導電性物質5aをそれぞれ完全に除去し(樹脂層
3および導電性物質5aのドライエッチングは、通常、
それぞれ、独自のエッチング条件により行われる)、凹
部が位置する基板の表面を露出させる(図2(C))。
次いで、溶剤を用いて導電性物質5a上に残っている熱
可塑性ポリマー3を完全に除去する(図2(D))。
【0033】(4)偏光マトリックス層形成工程 このようにして形成された棒状の偏光棒状体5を埋める
ように透光性のある偏光マトリックス層6が真空スパッ
タ法や真空蒸着法等で成膜される。以上のようにして、
1層分の偏光層(単層偏光層10)が完成する(図2
(E))。1層だけでは十分な偏光特性を示さないこと
もあるため、図2(A)から図2(E)の工程を繰り返
し行うことにより、単層偏光層10を複数層積層して、
図3に示すような偏光層11を作製する。積層する層の
数は、前述したように、用いる偏光棒状体5(導電性物
質5a)の種類、成形型4のパターン形状、要求される
透過率、消光比等により適宜決定される。
【0034】このようにして形成された偏光層11中に
含有される偏光棒状体5の長軸の方向は図3に示される
ように、一様にそろっている。偏光層11の作用を図3
に基づいて簡単に説明する。図3において、光がx軸方
向に入射する際、偏光棒状体5の長手方向(z軸方向)
に振動する光は偏光層11を通過する際に吸収され、そ
れと直交する方向(y軸方向)に振動する光は偏光層1
1でほとんど吸収されない。このとき、吸収されず透過
する光の強度における、吸収される光の強度に対する比
を消光比といい、消光比が大きいほど偏光層11を通過
した光の直線偏光性が大きくなる。
【0035】
【実施例】(実施例1)以下、本発明の具体的実施例を
示し、本発明をさらに詳細に説明する。
【0036】偏光板サンプルの作製 本実施例では、図1に示す工程により偏光板を作製し
た。成形型4として二酸化ケイ素(SiO2 )をベース
素材として用い、この成形型4の表面に、電子ビーム描
画法を用い、図4に示されるような凹凸パターンを形成
した。図4(A)は、成形型4の平面図、図4(B)
は、成形型4の正面図を示している。
【0037】図4において、成形型4の凸部4aの形状
はL1=300nm、L2=25nm、高さD=80n
m、そして凸部4a同士の間隔はP1=P2=1000
nmとした。成形型4の全体の大きさは、2cm×2c
mとした。従って、図4において描かれている凸部4a
の個数は、あくまで説明のための便宜上のものであり、
実際の個数とは異なる。
【0038】このような成形型4を用いて、以下の手法
で具体的に偏光板を作製した。
【0039】初めにアルミノケイ酸ガラス基板2の上
に、熱可塑性ポリマーからなる樹脂層3を形成した。熱
可塑性ポリマーとしては、ポリメタクリル酸メチル(P
MMA)を用い、スピンコート法により、成膜厚さは、
約100nmとした。
【0040】次に、成形型4と、樹脂層3が形成された
基板2を、ともに180℃に加熱した後、成形型4を樹
脂層3の上に押しつけた。成形型4を樹脂層3の上に押
しつけた状態で温度を室温まで下げた後、成形型4を樹
脂層3から剥離し、樹脂層3の表面上に成形型4の凹凸
パターンを転写した。
【0041】その後、酸素を導入した反応性イオンエッ
チング法にて樹脂層3の表面をエッチングし、樹脂層3
の凹部の膜厚をゼロとし、この凹部の部分における基板
2の表面を露出させた。
【0042】次に、この基板2の上に、真空スパッタ法
で導電性物質5aを形成した。本実施例では、導電性物
質5aを銀とし、堆積厚さを約30nmとした。次に、
アセトンを用い、いわゆるリフトオフ工程で、基板2上
に残っている樹脂層3およびこの上に形成されている導
電性物質5aを除去した。基板2上に残った偏光棒状体
5(導電性物質5aと同じ)を電子顕微鏡で観察した結
果、成形型4の表面パターンとほぼ同じ大きさの銀が形
成されていることが確認できた。
【0043】この後に透光性のある偏光マトリックス層
6を真空スパッタ法で作製した。偏光マトリックス層6
としては、アルミノケイ酸ガラスを用い、堆積厚さP3
(図3)は約1000nmとした。このようにして、一
層分の偏光層(単層偏光層10)を作製した。本実施例
では、単層偏光層10を15層積層することにより、偏
光層11を作製した。
【0044】偏光板サンプルの評価 このようにして作製した偏光板のサンプルについて、波
長850nmのレーザ光源を用いて消光比の測定を行っ
たところ、消光比が33dBという高い値が得られた。
また、同じレーザ光源を用いて透過率の測定を行ったと
ころ、レーザから出射される光の偏波面を偏光層11の
透過軸(図3のy軸)と一致させた場合、偏光層を通過
した光の透過率は80%であった。
【0045】なお、上記の製造方法に従って単層偏光層
10を1層のみとしたサンプルを作製し、このサンプル
における消光比および透過率を測定したところ、消光比
2dB、透過率97%であった。このことから、単層偏
光層10を適度に積層したほうが消光比を大きくとれる
ことが確認できた。
【0046】
【発明の効果】上記の結果より本発明の効果は明らかで
ある。すなわち、本発明は、透光性のある偏光マトリッ
クス層の中に、複数の棒状の偏光棒状体がその長軸方向
を一定方向に向けて配列された形態を有する共鳴吸収効
果タイプの偏光板の製造方法において、(1)棒状の偏
光棒状体の配列パターンに対応する凹凸パターンを有す
る成形型を準備する成形型準備工程と、(2)基板の上
に直接または間接に樹脂層を形成し、当該樹脂層に上記
成形型を押しつけて、当該樹脂層に凹凸パターンを形成
する樹脂層凹凸パターン形成工程と、(3)この凹凸パ
ターンを利用して、棒状の偏光棒状体を配列状態に形成
させる偏光棒状体形成工程と、(4)形成された棒状の
偏光棒状体を埋めるように透光性のある偏光マトリック
ス層を形成する偏光マトリックス層形成工程と、を有し
てなるように構成されているので、安価、かつ大量生産
が可能であり、しかも消光比が高く、性能および信頼性
が極めて高い共鳴吸収効果タイプの偏光板が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)〜(F)は、本発明の偏光板の製造方法
の一例を経時的に示した概略断面図である。
【図2】(A)〜(E)は、本発明の偏光板の製造方法
の一例を経時的に示した概略断面図である。
【図3】単層偏光層10を複数層備えてなる偏光板の概
略斜視図である。
【図4】(A)は、成形型の概略平面図でおり、(B)
は、成形型4の概略正面図である。
【図5】共鳴吸収効果タイプの偏光板の概略斜視図であ
る。
【図6】グリット型偏光板の概略斜視図である。
【符号の説明】
1…偏光板 2…基板 3…樹脂層 4…成形型 5a…導電性物質 5…偏光棒状体 6…偏光マトリックス層 10…単層偏光層 11…偏光層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 5/30

Claims (10)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 透光性のある偏光マトリックス層の中
    に、複数の棒状の偏光棒状体がその長軸方向を一定方向
    に向けて配列された形態を有する共鳴吸収効果タイプの
    偏光板の製造方法において、 該偏光板の製造方法は、 (1)棒状の偏光棒状体の配列パターンに対応する凹凸
    パターンを有する成形型を準備する成形型準備工程と、 (2)基板の上に直接または間接に樹脂層を形成し、当
    該樹脂層に上記成形型を押しつけて、当該樹脂層に凹凸
    パターンを形成する樹脂層凹凸パターン形成工程と、 (3)この凹凸パターンを利用して、棒状の偏光棒状体
    を配列状態に形成させる偏光棒状体形成工程と、 (4)形成された棒状の偏光棒状体を埋めるように透光
    性のある偏光マトリックス層を形成する偏光マトリック
    ス層形成工程と、を有してなり、 前記樹脂層凹凸パターン形成工程(2)においては、予
    め基板の上に直接、樹脂層が形成されており、 前記偏光棒状体形成工程(3)においては、樹脂層凹凸
    パターンに沿って樹脂層のエッチング処理が行われ露出
    された基板の上に、棒状の偏光棒状体が堆積形成され、
    しかる後、残余の樹脂層が除去されてなる、 ことを特徴
    とする偏光板の製造方法。
  2. 【請求項2】 透光性のある偏光マトリックス層の中
    に、複数の棒状の偏光棒状体がその長軸方向を一定方向
    に向けて配列された形態を有する共鳴吸収効果タイプの
    偏光板の製造方法において、 該偏光板の製造方法は、 (1)棒状の偏光棒状体の配列パターンに対応する凹凸
    パターンを有する成形型を準備する成形型準備工程と、 (2)基板の上に直接または間接に樹脂層を形成し、当
    該樹脂層に上記成形型を押しつけて、当該樹脂層に凹凸
    パターンを形成する樹脂層凹凸パターン形成工程と、 (3)この凹凸パターンを利用して、棒状の偏光棒状体
    を配列状態に形成させる偏光棒状体形成工程と、 (4)形成された棒状の偏光棒状体を埋めるように透光
    性のある偏光マトリックス層を形成する偏光マトリック
    ス層形成工程と、を有してなり、 前記樹脂層凹凸パターン形成工程(2)においては、予
    め基板と樹脂層との間に、偏光棒状体を形成するための
    導電性物質が介在されており、 前記偏光棒状体形成工程(3)においては、樹脂層凹凸
    パターンに沿って樹脂層および導電性物質のエッチング
    処理が行われ、しかる後、残余の樹脂層が除去されてな
    る、 ことを特徴とする偏光板の製造方法。
  3. 【請求項3】 透光性のある偏光マトリックス層の中
    に、複数の棒状の偏光棒状体がその長軸方向を一定方向
    に向けて配列された形態を有する共鳴吸収効果タイプの
    偏光板の製造方法において、 該偏光板の製造方法は、 (1)棒状の偏光棒状体の配列パターンに対応する凹凸
    パターンを有する成形型を準備する成形型準備工程と、 (2)基板の上に直接または間接に樹脂層を形成し、当
    該樹脂層に上記成形型を押しつけて、当該樹脂層に凹凸
    パターンを形成する樹脂層凹凸パターン形成工程と、 (3)この凹凸パターンを利用して、棒状の偏光棒状体
    を配列状態に形成させる偏光棒状体形成工程と、 (4)形成された棒状の偏光棒状体を埋めるように透光
    性のある偏光マトリックス層を形成する偏光マトリック
    ス層形成工程と、を有してなり、 前記樹脂層凹凸パターン形成工程において、樹脂層に成
    形型を押しつける前に、予め樹脂層を軟化させてなる
    とを特徴とする偏光板の製造方法。
  4. 【請求項4】 透光性のある偏光マトリックス層の中
    に、複数の棒状の偏光棒状体がその長軸方向を一定方向
    に向けて配列された形態を有する共鳴吸収効果タイプの
    偏光板の製造方法において、 該偏光板の製造方法は、 (1)棒状の偏光棒状体の配列パターンに対応する凹凸
    パターンを有する成形型を準備する成形型準備工程と、 (2)基板の上に直接または間接に樹脂層を形成し、当
    該樹脂層に上記成形型を押しつけて、当該樹脂層に凹凸
    パターンを形成する樹脂層凹凸パターン形成工程と、 (3)この凹凸パターンを利用して、棒状の偏光棒状体
    を配列状態に形成させる偏光棒状体形成工程と、 (4)形成された棒状の偏光棒状体を埋めるように透光
    性のある偏光マトリックス層を形成する偏光マトリック
    ス層形成工程と、を有してなり、 前記偏光棒状体は銀からなる ことを特徴とする偏光板の
    製造方法。
  5. 【請求項5】 透光性のある偏光マトリックス層の中
    に、複数の棒状の偏光棒状体がその長軸方向を一定方向
    に向けて配列された形態を有する共鳴吸収効果タイプの
    偏光板の製造方法において、 該偏光板の製造方法は、 (1)棒状の偏光棒状体の配列パターンに対応する凹凸
    パターンを有する成形型を準備する成形型準備工程と、 (2)基板の上に直接または間接に樹脂層を形成し、当
    該樹脂層に上記成形型を押しつけて、当該樹脂層に凹凸
    パターンを形成する樹脂層凹凸パターン形成工程と、 (3)この凹凸パターンを利用して、棒状の偏光棒状体
    を配列状態に形成させる偏光棒状体形成工程と、 (4)形成された棒状の偏光棒状体を埋めるように透光
    性のある偏光マトリックス層を形成する偏光マトリック
    ス層形成工程と、を有してなり、 前記偏光棒状体は、その長軸長さが、偏光板に入射され
    る波長以下に設定されてなる ことを特徴とする偏光板の
    製造方法。
  6. 【請求項6】 透光性のある偏光マトリックス層の中
    に、複数の棒状の偏光棒状体がその長軸方向を一定方向
    に向けて配列された形態を有する共鳴吸収効果タイプの
    偏光板の製造方法において、 該偏光板の製造方法は、 (1)棒状の偏光棒状体の配列パターンに対応する凹凸
    パターンを有する成形型を準備する成形型準備工程と、 (2)基板の上に直接または間接に樹脂層を形成し、当
    該樹脂層に上記成形型を押しつけて、当該樹脂層に凹凸
    パターンを形成する樹脂層凹凸パターン形成工程と、 (3)この凹凸パターンを利用して、棒状の偏光棒状体
    を配列状態に形成させる偏光棒状体形成工程と、 (4)形成された棒状の偏光棒状体を埋めるように透光
    性のある偏光マトリックス層を形成する偏光マトリック
    ス層形成工程と、を有し、前記樹脂層凹凸パターン形成工程(2)においては、予
    め基板の上に直接、樹脂層が形成されており、 前記偏光棒状体形成工程(3)においては、樹脂層凹凸
    パターンに沿って樹脂層のエッチング処理が行われ露出
    された基板の上に、棒状の偏光棒状体が堆積形成され、
    しかる後、残余の樹脂層が除去されてなり、 前記形成された偏光マトリックス層を基板とし、上記
    (2)〜(4)の工程を繰り返して偏光棒状体を含有す
    る偏光マトリックス層を積層してなることを特徴とする
    偏光板の製造方法。
  7. 【請求項7】 透光性のある偏光マトリックス層の中
    に、複数の棒状の偏光棒状体がその長軸方向を一定方向
    に向けて配列された形態を有する共鳴吸収効果タイプの
    偏光板の製造方法において、 該偏光板の製造方法は、 (1)棒状の偏光棒状体の配列パターンに対応する凹凸
    パターンを有する成形型を準備する成形型準備工程と、 (2)基板の上に直接または間接に樹脂層を形成し、当
    該樹脂層に上記成形型を押しつけて、当該樹脂層に凹凸
    パターンを形成する樹脂層凹凸パターン形成工程と、 (3)この凹凸パターンを利用して、棒状の偏光棒状体
    を配列状態に形成させる偏光棒状体形成工程と、 (4)形成された棒状の偏光棒状体を埋めるように透光
    性のある偏光マトリックス層を形成する偏光マトリック
    ス層形成工程と、を有し、前記樹脂層凹凸パターン形成工程(2)においては、予
    め基板と樹脂層との間に、偏光棒状体を形成するための
    導電性物質が介在されており、 前記偏光棒状体形成工程(3)においては、樹脂層凹凸
    パターンに沿って樹脂層および導電性物質のエッチング
    処理が行われ、しかる後、残余の樹脂層が除去されてな
    り、 前記形成された偏光マトリックス層を基板とし、上記
    (2)〜(4)の工程を繰り返して偏光棒状体を含有す
    る偏光マトリックス層を積層してなることを特徴とする
    偏光板の製造方法。
  8. 【請求項8】 透光性のある偏光マトリックス層の中
    に、複数の棒状の偏光棒状体がその長軸方向を一定方向
    に向けて配列された形態を有する共鳴吸収効果タイプの
    偏光板の製造方法において、 該偏光板の製造方法は、 (1)棒状の偏光棒状体の配列パターンに対応する凹凸
    パターンを有する成形型を準備する成形型準備工程と、 (2)基板の上に直接または間接に樹脂層を形成し、当
    該樹脂層に上記成形型を押しつけて、当該樹脂層に凹凸
    パターンを形成する樹脂層凹凸パターン形成工程と、 (3)この凹凸パターンを利用して、棒状の偏光棒状体
    を配列状態に形成させる偏光棒状体形成工程と、 (4)形成された棒状の偏光棒状体を埋めるように透光
    性のある偏光マトリックス層を形成する偏光マトリック
    ス層形成工程と、を有し、前記樹脂層凹凸パターン形成工程において、樹脂層に成
    形型を押しつける前に 、予め樹脂層は軟化されており、 前記形成された偏光マトリックス層を基板とし、上記
    (2)〜(4)の工程を繰り返して偏光棒状体を含有す
    る偏光マトリックス層を積層してなることを特徴とする
    偏光板の製造方法。
  9. 【請求項9】 透光性のある偏光マトリックス層の中
    に、複数の棒状の偏光棒状体がその長軸方向を一定方向
    に向けて配列された形態を有する共鳴吸収効果タイプの
    偏光板の製造方法において、 該偏光板の製造方法は、 (1)棒状の偏光棒状体の配列パターンに対応する凹凸
    パターンを有する成形型を準備する成形型準備工程と、 (2)基板の上に直接または間接に樹脂層を形成し、当
    該樹脂層に上記成形型を押しつけて、当該樹脂層に凹凸
    パターンを形成する樹脂層凹凸パターン形成工程と、 (3)この凹凸パターンを利用して、棒状の偏光棒状体
    を配列状態に形成させる偏光棒状体形成工程と、 (4)形成された棒状の偏光棒状体を埋めるように透光
    性のある偏光マトリックス層を形成する偏光マトリック
    ス層形成工程と、を有し、前記偏光棒状体は銀からなり、 前記形成された偏光マトリックス層を基板とし、上記
    (2)〜(4)の工程を繰り返して偏光棒状体を含有す
    る偏光マトリックス層を積層してなることを特徴とする
    偏光板の製造方法。
  10. 【請求項10】 透光性のある偏光マトリックス層の中
    に、複数の棒状の偏光棒状体がその長軸方向を一定方向
    に向けて配列された形態を有する共鳴吸収効果タイプの
    偏光板の製造方法において、 該偏光板の製造方法は、 (1)棒状の偏光棒状体の配列パターンに対応する凹凸
    パターンを有する成形型を準備する成形型準備工程と、 (2)基板の上に直接または間接に樹脂層を形成し、当
    該樹脂層に上記成形型を押しつけて、当該樹脂層に凹凸
    パターンを形成する樹脂層凹凸パターン形成工程と、 (3)この凹凸パターンを利用して、棒状の偏光棒状体
    を配列状態に形成させる偏光棒状体形成工程と、 (4)形成された棒状の偏光棒状体を埋めるように透光
    性のある偏光マトリックス層を形成する偏光マトリック
    ス層形成工程と、を有し、前記偏光棒状体は、その長軸長さが、偏光板に入射され
    る波長以下に設定されてなり、 前記形成された偏光マトリックス層を基板とし、上記
    (2)〜(4)の工程を繰り返して偏光棒状体を含有す
    る偏光マトリックス層を積層してなることを特徴とする
    偏光板の製造方法。
JP36564597A 1997-12-22 1997-12-22 偏光板の製造方法 Expired - Fee Related JP3372466B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP36564597A JP3372466B2 (ja) 1997-12-22 1997-12-22 偏光板の製造方法
US09/207,659 US6251297B1 (en) 1997-12-22 1998-12-09 Method of manufacturing polarizing plate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP36564597A JP3372466B2 (ja) 1997-12-22 1997-12-22 偏光板の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11183727A JPH11183727A (ja) 1999-07-09
JP3372466B2 true JP3372466B2 (ja) 2003-02-04

Family

ID=18484771

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP36564597A Expired - Fee Related JP3372466B2 (ja) 1997-12-22 1997-12-22 偏光板の製造方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US6251297B1 (ja)
JP (1) JP3372466B2 (ja)

Families Citing this family (52)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6912087B1 (en) * 1998-05-14 2005-06-28 Corning Incorporated Ultra-thin glass polarizers and method of making same
DE10114815B4 (de) * 2001-03-26 2005-12-08 Wolf-Gernot Dr. Drost Farbige dichroitische Polarisatoren und Verfahren zu ihrer Herstellung
US6661952B2 (en) * 2001-05-04 2003-12-09 Ut Battelle, Llc Sub-wavelength efficient polarization filter (SWEP filter)
EP1438611A1 (en) * 2001-10-09 2004-07-21 Koninklijke Philips Electronics N.V. Optical devices
JP4011392B2 (ja) * 2002-05-07 2007-11-21 Sriスポーツ株式会社 管状体および該管状体の製造方法
US6897089B1 (en) * 2002-05-17 2005-05-24 Micron Technology, Inc. Method and system for fabricating semiconductor components using wafer level contact printing
US6876784B2 (en) * 2002-05-30 2005-04-05 Nanoopto Corporation Optical polarization beam combiner/splitter
US20040047039A1 (en) * 2002-06-17 2004-03-11 Jian Wang Wide angle optical device and method for making same
US7386205B2 (en) * 2002-06-17 2008-06-10 Jian Wang Optical device and method for making same
US7283571B2 (en) * 2002-06-17 2007-10-16 Jian Wang Method and system for performing wavelength locking of an optical transmission source
US6859303B2 (en) 2002-06-18 2005-02-22 Nanoopto Corporation Optical components exhibiting enhanced functionality and method of making same
CN1692291A (zh) 2002-08-01 2005-11-02 纳诺普托公司 精密相位延迟装置和其制造方法
US6867132B2 (en) * 2002-09-17 2005-03-15 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Large line conductive pads for interconnection of stackable circuitry
US6920272B2 (en) * 2002-10-09 2005-07-19 Nanoopto Corporation Monolithic tunable lasers and reflectors
US7013064B2 (en) * 2002-10-09 2006-03-14 Nanoopto Corporation Freespace tunable optoelectronic device and method
JP2004241397A (ja) * 2003-01-23 2004-08-26 Dainippon Printing Co Ltd 薄膜トランジスタおよびその製造方法
EP1597616A4 (en) * 2003-02-10 2008-04-09 Nanoopto Corp UNIVERSAL BROADBAND POLARIZER, DEVICES COMPRISING THE POLARIZER, AND METHOD FOR MANUFACTURING THE POLARIZER
US20040258355A1 (en) * 2003-06-17 2004-12-23 Jian Wang Micro-structure induced birefringent waveguiding devices and methods of making same
TWI223103B (en) * 2003-10-23 2004-11-01 Ind Tech Res Inst Wire grid polarizer with double metal layers
US20060056024A1 (en) * 2004-09-15 2006-03-16 Ahn Seh W Wire grid polarizer and manufacturing method thereof
US7961393B2 (en) 2004-12-06 2011-06-14 Moxtek, Inc. Selectively absorptive wire-grid polarizer
US7570424B2 (en) * 2004-12-06 2009-08-04 Moxtek, Inc. Multilayer wire-grid polarizer
US7800823B2 (en) 2004-12-06 2010-09-21 Moxtek, Inc. Polarization device to polarize and further control light
KR20070074787A (ko) * 2005-06-13 2007-07-18 삼성전자주식회사 계조 전압 발생 장치 및 액정 표시 장치
DE102005063524B4 (de) * 2005-07-08 2011-01-27 Grau, Günter, Dr. Vorrichtung zur Messung und Erzeugung der Polarisation von Licht
JP4275691B2 (ja) * 2005-10-17 2009-06-10 旭化成株式会社 ワイヤグリッド偏光板の製造方法
JP4935209B2 (ja) * 2005-10-27 2012-05-23 ソニー株式会社 偏光素子及びその製造方法
JP2007178977A (ja) * 2005-12-16 2007-07-12 Arisawa Mfg Co Ltd 偏光ガラス
JP4920997B2 (ja) * 2006-03-06 2012-04-18 株式会社リコー 偏光制御素子および偏光制御方法および偏光制御装置
JP4619977B2 (ja) * 2006-03-31 2011-01-26 財団法人光産業技術振興協会 偏光板
JP4559999B2 (ja) * 2006-03-31 2010-10-13 財団法人光産業技術振興協会 偏光板
US8755113B2 (en) 2006-08-31 2014-06-17 Moxtek, Inc. Durable, inorganic, absorptive, ultra-violet, grid polarizer
JP4949876B2 (ja) * 2007-01-30 2012-06-13 株式会社リコー 偏光制御素子
JP4488033B2 (ja) * 2007-02-06 2010-06-23 ソニー株式会社 偏光素子及び液晶プロジェクター
JP2009216745A (ja) 2008-03-07 2009-09-24 Hoya Corp 偏光素子
JP5010511B2 (ja) * 2008-03-18 2012-08-29 株式会社リコー 偏光制御素子、偏光制御装置
JP2009229634A (ja) * 2008-03-21 2009-10-08 Hoya Corp 偏光素子
JP4640446B2 (ja) * 2008-05-26 2011-03-02 ソニー株式会社 液晶装置、カラーフィルタ基板及びアレイ基板
JP5606052B2 (ja) 2009-01-13 2014-10-15 キヤノン株式会社 光学素子
US20100302481A1 (en) * 2009-06-01 2010-12-02 Baum Alexandra Absorbing wire grid polarizer
US8248696B2 (en) 2009-06-25 2012-08-21 Moxtek, Inc. Nano fractal diffuser
JP5387424B2 (ja) 2010-01-22 2014-01-15 セイコーエプソン株式会社 液晶プロジェクター
JP5425025B2 (ja) * 2010-09-08 2014-02-26 三菱電機株式会社 偏波制御素子
US8611007B2 (en) 2010-09-21 2013-12-17 Moxtek, Inc. Fine pitch wire grid polarizer
US8913321B2 (en) 2010-09-21 2014-12-16 Moxtek, Inc. Fine pitch grid polarizer
US20150077851A1 (en) 2010-12-30 2015-03-19 Moxtek, Inc. Multi-layer absorptive wire grid polarizer
US8913320B2 (en) 2011-05-17 2014-12-16 Moxtek, Inc. Wire grid polarizer with bordered sections
US8873144B2 (en) 2011-05-17 2014-10-28 Moxtek, Inc. Wire grid polarizer with multiple functionality sections
US8922890B2 (en) 2012-03-21 2014-12-30 Moxtek, Inc. Polarizer edge rib modification
KR101961427B1 (ko) 2012-10-29 2019-03-25 삼성디스플레이 주식회사 액정 표시 장치 및 이를 제조하는 방법
JP6047051B2 (ja) * 2013-03-28 2016-12-21 日立マクセル株式会社 光学素子および光学装置
US9348076B2 (en) 2013-10-24 2016-05-24 Moxtek, Inc. Polarizer with variable inter-wire distance

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4304584A (en) 1980-04-28 1981-12-08 Corning Glass Works Method for making polarizing glasses by extrusion
JPS5842003A (ja) * 1981-09-07 1983-03-11 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 偏光板
JP2693289B2 (ja) * 1991-08-09 1997-12-24 シャープ株式会社 光メモリ
JPH07294730A (ja) 1994-04-27 1995-11-10 Kyocera Corp 偏光素子の製造方法
JP3372258B2 (ja) * 1995-08-04 2003-01-27 インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン リソグラフィ・プロセス用のスタンプ
DE69516528T2 (de) * 1995-08-04 2000-11-23 Ibm Lithografie oder dünnschicht modifizierung
US5772905A (en) * 1995-11-15 1998-06-30 Regents Of The University Of Minnesota Nanoimprint lithography
US5943156A (en) * 1997-04-25 1999-08-24 Tdk Corporation Polarizing plate and method of manufacturing polarizing plate

Also Published As

Publication number Publication date
US6251297B1 (en) 2001-06-26
JPH11183727A (ja) 1999-07-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3372466B2 (ja) 偏光板の製造方法
US7113336B2 (en) Microlens including wire-grid polarizer and methods of manufacture
US20040174596A1 (en) Polarization optical device and manufacturing method therefor
KR100806513B1 (ko) 전도성층의 패턴화 방법, 이를 이용한 편광소자의 제조방법 및 이 방법에 의하여 제조된 편광소자
US5114513A (en) Optical device and manufacturing method thereof
JP3229871B2 (ja) 微細形状転写方法および光学部品の製造方法
US4256787A (en) Orientation of ordered liquids and their use in devices
US20060072194A1 (en) Wire grid polarizer and fabrication method thereof
JP4442760B2 (ja) 無機物の選択的パターン形成方法及びグリッド型偏光素子
CN110531446B (zh) 一种实现圆二色性的u型结构及其制备方法
JPH0990122A (ja) グリッド型偏光子の製造方法
US7666492B2 (en) Multilayer structure and method for manufacturing the same
JP2002372620A (ja) 偏光制御素子及びその製造方法
JP3898597B2 (ja) 偏光子および偏光子の製造方法
JP3486334B2 (ja) 偏光子の作製方法
JP4280567B2 (ja) 偏光光学素子とその製造方法
JP2006349706A (ja) 偏光素子
JP2010117646A (ja) 機能性グリッド構造体及びその製造方法
JP4280518B2 (ja) 偏光光学素子とその製造方法
JP3491043B1 (ja) 光ファイバープローブの製造方法と微細材料加工方法
CN1241036C (zh) 在衬底表面优先沉积材料的方法
JP2008158460A (ja) 偏光素子の製造方法
JP2000171632A (ja) 偏光子及びこれを用いた導波型光デバイス
US20220082750A1 (en) Wire-grid polarizer and process for producing the same
JPS60155552A (ja) 平板マイクロレンズの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20021105

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees