JP3298250B2 - 自動検査方法及び自動検査装置 - Google Patents
自動検査方法及び自動検査装置Info
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- G01—MEASURING; TESTING
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光透過領域を有する被
検査物の自動検査方法、及びかかる自動検査方法の実施
に適した自動検査装置に関する。
検査物の自動検査方法、及びかかる自動検査方法の実施
に適した自動検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えばトリニトロン（登録商標）に用い
られる色選別機構であるアパーチャーグリルは、通常、
図７の（Ａ）に模式的な一部平面図を、また、図７の
（Ｂ）に長手方向の一部拡大断面図を示すように、帯状
の金属薄板を連続的に簾状にエッチング加工して開口部
を形成した後、所定の寸法に加工することによって作製
される。尚、図７の（Ａ）において、アパーチャーグリ
ルの外形線を破線で示した。
られる色選別機構であるアパーチャーグリルは、通常、
図７の（Ａ）に模式的な一部平面図を、また、図７の
（Ｂ）に長手方向の一部拡大断面図を示すように、帯状
の金属薄板を連続的に簾状にエッチング加工して開口部
を形成した後、所定の寸法に加工することによって作製
される。尚、図７の（Ａ）において、アパーチャーグリ
ルの外形線を破線で示した。
【０００３】アパーチャーグリルの開口部の形状が規格
内に収まっているかは、従来、目視検査、あるいは又、
開口部を透過した平行光の透過率を測定することによっ
て判断している。
内に収まっているかは、従来、目視検査、あるいは又、
開口部を透過した平行光の透過率を測定することによっ
て判断している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の検査
方法では、開口部における大きな欠陥は判別し得るが、
小さな欠陥を判別することは困難である。また、アパー
チャーグリルの断面形状の欠陥を検出することは極めて
困難である。
方法では、開口部における大きな欠陥は判別し得るが、
小さな欠陥を判別することは困難である。また、アパー
チャーグリルの断面形状の欠陥を検出することは極めて
困難である。
【０００５】光源及びカメラを固定し、光源とカメラの
間に形成された空間にアパーチャーグリルを通過させ
て、カメラでアパーチャーグリルの開口部を撮影し、ア
パーチャーグリルの開口部の欠陥を検出する方法も考え
られるが、カメラによって得られる画像情報量が少な
く、欠陥を発見することは困難である。また、アパーチ
ャーグリルの断面形状の欠陥を検出することは殆ど不可
能に近い。
間に形成された空間にアパーチャーグリルを通過させ
て、カメラでアパーチャーグリルの開口部を撮影し、ア
パーチャーグリルの開口部の欠陥を検出する方法も考え
られるが、カメラによって得られる画像情報量が少な
く、欠陥を発見することは困難である。また、アパーチ
ャーグリルの断面形状の欠陥を検出することは殆ど不可
能に近い。
【０００６】従って、本発明の目的は、アパーチャーグ
リルのような光透過領域を有する被検査物の欠陥、特に
かかる被検査物の断面形状の欠陥を確実に且つ迅速にし
かも自動的に検査し得る自動検査方法、及びかかる自動
検査方法の実施に適した自動検査装置を提供することに
ある。
リルのような光透過領域を有する被検査物の欠陥、特に
かかる被検査物の断面形状の欠陥を確実に且つ迅速にし
かも自動的に検査し得る自動検査方法、及びかかる自動
検査方法の実施に適した自動検査装置を提供することに
ある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、光透過領
域を有する被検査物の自動検査方法であって、被検査物
の一方の側に光源を配置し、被検査物の他方の側に光セ
ンサを配置し、光源からの光が被検査物の光透過領域に
入射する入射角を変化させて、各入射角において被検査
物の光透過領域を透過した光を光センサで受光し、被検
査物に関する画像情報を得た後、得られた各入射角にお
ける画像情報に基づき被検査物の欠陥を検出することを
特徴とする本発明の自動検査方法によって達成すること
ができる。
域を有する被検査物の自動検査方法であって、被検査物
の一方の側に光源を配置し、被検査物の他方の側に光セ
ンサを配置し、光源からの光が被検査物の光透過領域に
入射する入射角を変化させて、各入射角において被検査
物の光透過領域を透過した光を光センサで受光し、被検
査物に関する画像情報を得た後、得られた各入射角にお
ける画像情報に基づき被検査物の欠陥を検出することを
特徴とする本発明の自動検査方法によって達成すること
ができる。
【０００８】本発明の自動検査方法においては、光源か
らの光が被検査物の光透過領域に入射する入射角を変化
させるために、光源を被検査物の光透過領域に対して相
対的に移動させることができる。また、被検査物の光透
過領域に対する相対的な光源の移動に対応して、光セン
サを移動させることができる。光センサは、１つの一次
元ラインセンサ、複数の一次元ラインセンサ、あるいは
二次元ラインセンサから構成することができる。
らの光が被検査物の光透過領域に入射する入射角を変化
させるために、光源を被検査物の光透過領域に対して相
対的に移動させることができる。また、被検査物の光透
過領域に対する相対的な光源の移動に対応して、光セン
サを移動させることができる。光センサは、１つの一次
元ラインセンサ、複数の一次元ラインセンサ、あるいは
二次元ラインセンサから構成することができる。
【０００９】上記の目的を達成するための、光透過領域
を有する被検査物を自動的に検査する本発明の第１の態
様に係る自動検査装置は、（イ）被検査物の一方の側に
配置された光源と、（ロ）被検査物の他方の側に配置さ
れた光センサと、（ハ）光源からの光が被検査物の光透
過領域に入射する入射角を変化させる入射角変更手段
と、（ニ）各入射角において被検査物の光透過領域を透
過した光を光センサで受光して得られた被検査物に関す
る画像情報の画像情報処理を行う画像情報処理手段、と
から成ることを特徴とする。
を有する被検査物を自動的に検査する本発明の第１の態
様に係る自動検査装置は、（イ）被検査物の一方の側に
配置された光源と、（ロ）被検査物の他方の側に配置さ
れた光センサと、（ハ）光源からの光が被検査物の光透
過領域に入射する入射角を変化させる入射角変更手段
と、（ニ）各入射角において被検査物の光透過領域を透
過した光を光センサで受光して得られた被検査物に関す
る画像情報の画像情報処理を行う画像情報処理手段、と
から成ることを特徴とする。
【００１０】本発明の第１の態様に係る自動検査装置に
おいては、入射角変更手段を、被検査物の光透過領域に
対して光源を相対的に移動させる光源移動機構とするこ
とができる。また、被検査物の光透過領域に対する相対
的な光源の移動に対応して、光センサを移動させるセン
サ移動機構を備えることができる。
おいては、入射角変更手段を、被検査物の光透過領域に
対して光源を相対的に移動させる光源移動機構とするこ
とができる。また、被検査物の光透過領域に対する相対
的な光源の移動に対応して、光センサを移動させるセン
サ移動機構を備えることができる。
【００１１】更に、上記の目的を達成するための、光透
過領域を有する被検査物を自動的に検査する本発明の第
２の態様に係る自動検査装置は、（イ）被検査物の一方
の側に配置され、被検査物の光透過領域に入射する入射
角がそれぞれ異なる複数の光源と、（ロ）被検査物の他
方の側に配置された光センサと、（ハ）各入射角におい
て被検査物の光透過領域を透過した光を光センサで受光
して得られた被検査物に関する画像情報の画像情報処理
を行う画像情報処理手段、とから成ることを特徴とす
る。
過領域を有する被検査物を自動的に検査する本発明の第
２の態様に係る自動検査装置は、（イ）被検査物の一方
の側に配置され、被検査物の光透過領域に入射する入射
角がそれぞれ異なる複数の光源と、（ロ）被検査物の他
方の側に配置された光センサと、（ハ）各入射角におい
て被検査物の光透過領域を透過した光を光センサで受光
して得られた被検査物に関する画像情報の画像情報処理
を行う画像情報処理手段、とから成ることを特徴とす
る。
【００１２】本発明の第１あるいは第２の態様に係る自
動検査装置においては、光センサは、１つの一次元ライ
ンセンサ、複数の一次元ラインセンサ、あるいは二次元
ラインセンサから構成することができる。
動検査装置においては、光センサは、１つの一次元ライ
ンセンサ、複数の一次元ラインセンサ、あるいは二次元
ラインセンサから構成することができる。
【００１３】
【作用】例えば、図１の（Ａ）に示す被検査物１０の模
式的な断面形状が、正常な断面形状であるとする。ま
た、図１の（Ｂ）及び（Ｃ）に示す断面形状は、異常な
断面形状であるとする。或る一定の入射角θkにて被検
査物１０の光透過領域１２に光源からの光が入射した場
合、得られた画像情報（便宜上、図１の（Ａ），（Ｂ）
及び（Ｃ）において、矢印Ａk，Ｂk及びＣkで表わす）
は同じと仮定する。ところが、この場合、或る一定の入
射角θ0及びθnにて被検査物１０の光透過領域１２に光
源からの光を入射させた場合、得られた画像情報（便宜
上、図１の（Ａ），（Ｂ）及び（Ｃ）において、矢印Ａ
0，Ａn，Ｂ0，Ｂn，Ｃ0及びＣnで表わす）が異なる。
式的な断面形状が、正常な断面形状であるとする。ま
た、図１の（Ｂ）及び（Ｃ）に示す断面形状は、異常な
断面形状であるとする。或る一定の入射角θkにて被検
査物１０の光透過領域１２に光源からの光が入射した場
合、得られた画像情報（便宜上、図１の（Ａ），（Ｂ）
及び（Ｃ）において、矢印Ａk，Ｂk及びＣkで表わす）
は同じと仮定する。ところが、この場合、或る一定の入
射角θ0及びθnにて被検査物１０の光透過領域１２に光
源からの光を入射させた場合、得られた画像情報（便宜
上、図１の（Ａ），（Ｂ）及び（Ｃ）において、矢印Ａ
0，Ａn，Ｂ0，Ｂn，Ｃ0及びＣnで表わす）が異なる。
【００１４】従って、光源及びカメラを固定し、光源と
カメラの間に形成された空間に被検査物を通過させて、
光源から被検査物への入射角をθkとし、カメラで被検
査物の光透過領域を撮影して、光透過領域の欠陥を検出
する方法では、被検査物の断面形状の欠陥を検出するこ
とは殆ど不可能である。
カメラの間に形成された空間に被検査物を通過させて、
光源から被検査物への入射角をθkとし、カメラで被検
査物の光透過領域を撮影して、光透過領域の欠陥を検出
する方法では、被検査物の断面形状の欠陥を検出するこ
とは殆ど不可能である。
【００１５】然るに、本発明においては、被検査物の光
透過領域を入射角の異なる光で複数回照射して、被検査
物を恰も異なる角度から見た画像情報を複数得る。そし
て、これらの複数の画像情報に基づき画像情報処理を行
うことで、図１の（Ａ），（Ｂ）及び（Ｃ）で示した断
面形状の相違を識別することができる。従って、高い精
度にて光透過領域の形状や被検査物の断面形状を得るこ
とができる。
透過領域を入射角の異なる光で複数回照射して、被検査
物を恰も異なる角度から見た画像情報を複数得る。そし
て、これらの複数の画像情報に基づき画像情報処理を行
うことで、図１の（Ａ），（Ｂ）及び（Ｃ）で示した断
面形状の相違を識別することができる。従って、高い精
度にて光透過領域の形状や被検査物の断面形状を得るこ
とができる。
【００１６】
【実施例】以下、図面を参照して、好ましい実施例に基
づき本発明を説明する。本発明の自動検査装置は、光透
過領域（例えば、開口部）を有する被検査物（例えば、
アパーチャーグリル）を自動的に検査するのに適した自
動検査装置である。実施例１及び実施例２の自動検査装
置は、本発明の第１の態様に係る自動検査装置に関す
る。また、実施例３の自動検査装置は、本発明の第２の
態様に係る自動検査装置に関する。
づき本発明を説明する。本発明の自動検査装置は、光透
過領域（例えば、開口部）を有する被検査物（例えば、
アパーチャーグリル）を自動的に検査するのに適した自
動検査装置である。実施例１及び実施例２の自動検査装
置は、本発明の第１の態様に係る自動検査装置に関す
る。また、実施例３の自動検査装置は、本発明の第２の
態様に係る自動検査装置に関する。
【００１７】（実施例１の自動検査装置）図２に模式的
に示す本発明の第１の態様に係る自動検査装置に関する
実施例１の自動検査装置においては、入射角変更手段
は、被検査物１０の光透過領域１２に対して光源２０を
相対的に移動させる光源移動機構である。光センサ３０
は１つの一次元ラインセンサから成る。被検査物１０の
光透過領域１２に対する相対的な光源２０の移動に対応
して、光センサ３０を移動させるセンサ移動機構３２が
備えられている。一次元ラインセンサにおけるセンサ素
子の数は、最低、検査すべき光透過領域１２の数であれ
ばよいが、検査すべき光透過領域１２の数の３倍程度で
あることが望ましい。また、光源２０及び光センサ３０
の長さは、被検査物１０の幅方向において光透過領域１
２の全てをカバーする長さとする。
に示す本発明の第１の態様に係る自動検査装置に関する
実施例１の自動検査装置においては、入射角変更手段
は、被検査物１０の光透過領域１２に対して光源２０を
相対的に移動させる光源移動機構である。光センサ３０
は１つの一次元ラインセンサから成る。被検査物１０の
光透過領域１２に対する相対的な光源２０の移動に対応
して、光センサ３０を移動させるセンサ移動機構３２が
備えられている。一次元ラインセンサにおけるセンサ素
子の数は、最低、検査すべき光透過領域１２の数であれ
ばよいが、検査すべき光透過領域１２の数の３倍程度で
あることが望ましい。また、光源２０及び光センサ３０
の長さは、被検査物１０の幅方向において光透過領域１
２の全てをカバーする長さとする。
【００１８】長尺帯状の被検査物１０及び自動検査装置
の配置関係を模式的に図２の（Ａ）に示す。被検査物１
０には、陰極線管の色選別機構であるアパーチャーグリ
ルが形成されている。即ち、この被検査物１０には、連
続的に簾状にエッチング加工することによって光透過領
域１２が形成されている。送り装置に取り付けられた被
検査物１０は、進行、停止を繰り返しながら図２の
（Ａ）の矢印の方向に送られ、検査後、巻取り装置に巻
き取られる。被検査物の停止中に、光透過領域１２の検
査が自動的に行われる。尚、被検査物１０の移動方向を
被検査物の長手方向と呼び、長手方向と直角の方向を幅
方向と呼ぶ。実施例１においては、光透過領域１２は、
長手方向に延びた帯状（ストライプ状）の開口部であ
る。
の配置関係を模式的に図２の（Ａ）に示す。被検査物１
０には、陰極線管の色選別機構であるアパーチャーグリ
ルが形成されている。即ち、この被検査物１０には、連
続的に簾状にエッチング加工することによって光透過領
域１２が形成されている。送り装置に取り付けられた被
検査物１０は、進行、停止を繰り返しながら図２の
（Ａ）の矢印の方向に送られ、検査後、巻取り装置に巻
き取られる。被検査物の停止中に、光透過領域１２の検
査が自動的に行われる。尚、被検査物１０の移動方向を
被検査物の長手方向と呼び、長手方向と直角の方向を幅
方向と呼ぶ。実施例１においては、光透過領域１２は、
長手方向に延びた帯状（ストライプ状）の開口部であ
る。
【００１９】被検査物１０の一方の側に光源２０が配置
されている。また、被検査物１０の他方の側には１つの
一次元ラインセンサから成る光センサ３０が配置されて
いる。光源２０及び光センサ３０は、被検査物１０の幅
方向に直線状に配置されている。
されている。また、被検査物１０の他方の側には１つの
一次元ラインセンサから成る光センサ３０が配置されて
いる。光源２０及び光センサ３０は、被検査物１０の幅
方向に直線状に配置されている。
【００２０】光源２０は平行光を射出し得る点光源の集
合から成ることが好ましい。また、光源２０にはルーバ
ーを配設することが望ましい。入射角変更手段は、被検
査物１０の光透過領域１２に対して光源２０を相対的に
移動させる光源移動機構である。具体的には、実施例１
における入射角変更手段は、図２の（Ｂ）に示すよう
に、図２の紙面に垂直な軸線２２の回りに光源２０を回
動させるモータ及びギアの組み合わせ（図示せず）から
成る。光源２０の回転によって、光源からの光の光透過
領域１２への入射角が変化する。
合から成ることが好ましい。また、光源２０にはルーバ
ーを配設することが望ましい。入射角変更手段は、被検
査物１０の光透過領域１２に対して光源２０を相対的に
移動させる光源移動機構である。具体的には、実施例１
における入射角変更手段は、図２の（Ｂ）に示すよう
に、図２の紙面に垂直な軸線２２の回りに光源２０を回
動させるモータ及びギアの組み合わせ（図示せず）から
成る。光源２０の回転によって、光源からの光の光透過
領域１２への入射角が変化する。
【００２１】図２の（Ｂ）の模式図に示すように、光セ
ンサ３０はセンサ移動機構３２に取り付けられている。
センサ移動機構３２は、例えば、光センサ３０を取り付
ける支持台３４と、レール３６と、モータ及びギアの組
み合わせあるいはエアーシリンダー等の支持台移動装置
（図示せず）から構成されている。支持台移動装置によ
ってレール３６上の支持台３４を移動させることによ
り、光センサ３０を移動させることができる。
ンサ３０はセンサ移動機構３２に取り付けられている。
センサ移動機構３２は、例えば、光センサ３０を取り付
ける支持台３４と、レール３６と、モータ及びギアの組
み合わせあるいはエアーシリンダー等の支持台移動装置
（図示せず）から構成されている。支持台移動装置によ
ってレール３６上の支持台３４を移動させることによ
り、光センサ３０を移動させることができる。
【００２２】光センサ３０は、被検査物１０の光透過領
域１２に対する相対的な光源２０の移動に対応して、移
動させられる。入射角変更手段による光源２０の移動状
態と、センサ移動機構３２による光センサ３０の移動状
態の関係を、被検査物１０の模式的な断面図を含む図３
の（Ａ）に示す。実施例１においては、光源２０の所定
の部分２０Ａと、光センサ３０の所定のセンサ素子３０
Ａとが、常に所定の光透過領域１２Ａを通る軸線３８Ａ
上に乗るように、光源２０と光センサ３０とは配置され
ており、且つ、光源２０と光センサ３０とは相対的に移
動させられる。尚、図３に関しては、後に詳述する。
域１２に対する相対的な光源２０の移動に対応して、移
動させられる。入射角変更手段による光源２０の移動状
態と、センサ移動機構３２による光センサ３０の移動状
態の関係を、被検査物１０の模式的な断面図を含む図３
の（Ａ）に示す。実施例１においては、光源２０の所定
の部分２０Ａと、光センサ３０の所定のセンサ素子３０
Ａとが、常に所定の光透過領域１２Ａを通る軸線３８Ａ
上に乗るように、光源２０と光センサ３０とは配置され
ており、且つ、光源２０と光センサ３０とは相対的に移
動させられる。尚、図３に関しては、後に詳述する。
【００２３】実施例１の自動検査装置には、更に、画像
情報処理手段４０が備えられている。種々の入射角にお
ける被検査物１０の光透過領域１２を透過した光を光セ
ンサ３０にて受光する。これによって得られ各入射角に
おける被検査物１０に関する画像情報に基づき、画像情
報処理手段４０は画像情報処理を行う。画像情報処理
は、具体的には、例えば、得られた複数の画像情報の加
算演算処理、微分演算処理あるいは重み付け演算処理で
ある。画像情報における光分布強度の微分演算処理によ
って光透過領域１２の縁部を識別することができる。ま
た、画像情報における光強度の関係から光強度分布を求
め、この光強度分布の面積重心の位置を計算することに
よって、光透過領域１２の中心を求めることができる。
画像情報処理手段４０にはＣＲＴ等の表示装置４２が設
けられており、画像情報処理結果や検査結果を表示する
ことができる。
情報処理手段４０が備えられている。種々の入射角にお
ける被検査物１０の光透過領域１２を透過した光を光セ
ンサ３０にて受光する。これによって得られ各入射角に
おける被検査物１０に関する画像情報に基づき、画像情
報処理手段４０は画像情報処理を行う。画像情報処理
は、具体的には、例えば、得られた複数の画像情報の加
算演算処理、微分演算処理あるいは重み付け演算処理で
ある。画像情報における光分布強度の微分演算処理によ
って光透過領域１２の縁部を識別することができる。ま
た、画像情報における光強度の関係から光強度分布を求
め、この光強度分布の面積重心の位置を計算することに
よって、光透過領域１２の中心を求めることができる。
画像情報処理手段４０にはＣＲＴ等の表示装置４２が設
けられており、画像情報処理結果や検査結果を表示する
ことができる。
【００２４】以下、実施例１の自動検査装置を用いた、
光透過領域を有する被検査物の自動検査方法を、被検査
物１０の模式的な断面図である図３を参照して説明す
る。
光透過領域を有する被検査物の自動検査方法を、被検査
物１０の模式的な断面図である図３を参照して説明す
る。
【００２５】図２に示したように、送り装置に取り付け
られた被検査物１０は、進行、停止を繰り返しながら矢
印の方向に送られる。被検査物１０の停止中に、光透過
領域１２の検査が自動的に行われる。先ず、被検査物１
０の進行を停止させて、一定の入射角θ1にて光源から
の光を被検査物１０の光透過領域１２に入射させる（図
３の（Ａ）参照）。尚、このときの光源２０及び光セン
サ３０の配置状態を、便宜上、初期配置状態と呼ぶ。被
検査物１０の光透過領域１２を透過した光は、光センサ
３０によって受光される。これによって得られた入射角
θ1における被検査物１０に関する一次元の画像情報
は、画像情報処理手段４０に送られ、画像情報処理手段
４０内の記憶装置（例えばメモリー）に記憶される。
られた被検査物１０は、進行、停止を繰り返しながら矢
印の方向に送られる。被検査物１０の停止中に、光透過
領域１２の検査が自動的に行われる。先ず、被検査物１
０の進行を停止させて、一定の入射角θ1にて光源から
の光を被検査物１０の光透過領域１２に入射させる（図
３の（Ａ）参照）。尚、このときの光源２０及び光セン
サ３０の配置状態を、便宜上、初期配置状態と呼ぶ。被
検査物１０の光透過領域１２を透過した光は、光センサ
３０によって受光される。これによって得られた入射角
θ1における被検査物１０に関する一次元の画像情報
は、画像情報処理手段４０に送られ、画像情報処理手段
４０内の記憶装置（例えばメモリー）に記憶される。
【００２６】次いで、被検査物１０の進行を停止させた
まま、入射角変更手段によって、被検査物１０の光透過
領域１２に対して、光源２０を相対的に移動（回転）さ
せる。これと同時に、光透過領域１２に対する相対的な
光源２０の移動に対応して、光センサ３０をセンサ移動
機構３２によって移動させる。
まま、入射角変更手段によって、被検査物１０の光透過
領域１２に対して、光源２０を相対的に移動（回転）さ
せる。これと同時に、光透過領域１２に対する相対的な
光源２０の移動に対応して、光センサ３０をセンサ移動
機構３２によって移動させる。
【００２７】その後、再び、一定の入射角θ2にて光源
からの光を被検査物１０の光透過領域１２に入射させ
る。被検査物１０の光透過領域１２を透過した光は、光
センサ３０によって受光される。これによって得られた
入射角θ2における被検査物に関する一次元の画像情報
も、画像情報処理手段４０に送られ、画像情報処理手段
４０内の記憶装置に記憶される。
からの光を被検査物１０の光透過領域１２に入射させ
る。被検査物１０の光透過領域１２を透過した光は、光
センサ３０によって受光される。これによって得られた
入射角θ2における被検査物に関する一次元の画像情報
も、画像情報処理手段４０に送られ、画像情報処理手段
４０内の記憶装置に記憶される。
【００２８】更に、被検査物１０の進行を停止させたま
ま、入射角変更手段による光源２０の相対的な移動、光
センサ３０のセンサ移動機構３２による移動、入射角θ
（＝θ3，・・・，θk，・・・，θn）における被検査
物１０に関する画像情報の取得、及び画像情報処理手段
４０内の記憶装置への画像情報の記憶を、合計ｎ回（例
えば１０回）繰り返す。尚、ｋ回目及びｎ回目におい
て、入射角θk及びθnで光源からの光を被検査物１０の
光透過領域１２に入射させた状態を、図３の（Ｂ）及び
（Ｃ）に示す。
ま、入射角変更手段による光源２０の相対的な移動、光
センサ３０のセンサ移動機構３２による移動、入射角θ
（＝θ3，・・・，θk，・・・，θn）における被検査
物１０に関する画像情報の取得、及び画像情報処理手段
４０内の記憶装置への画像情報の記憶を、合計ｎ回（例
えば１０回）繰り返す。尚、ｋ回目及びｎ回目におい
て、入射角θk及びθnで光源からの光を被検査物１０の
光透過領域１２に入射させた状態を、図３の（Ｂ）及び
（Ｃ）に示す。
【００２９】こうして、被検査物１０の幅方向に亙っ
て、被検査物１０に関する光の入射角θが異なる複数
（例えばｎ＝１０）の一次元の画像情報が得られる。言
い換えれば、幅方向に関し、被検査物１０を恰も異なる
種々の角度から見た一次元の画像情報を複数得ることが
できる。
て、被検査物１０に関する光の入射角θが異なる複数
（例えばｎ＝１０）の一次元の画像情報が得られる。言
い換えれば、幅方向に関し、被検査物１０を恰も異なる
種々の角度から見た一次元の画像情報を複数得ることが
できる。
【００３０】所望の回数（ｎ回）の画像情報の取得が完
了したならば、被検査物１０を図２の（Ａ）に示した矢
印の方向に所定の距離だけ移動させると同時に、入射角
変更手段による光源２０の移動及び光センサ３０のセン
サ移動機構３２による移動を行い、光源２０及び光セン
サ３０を初期配置状態とする。そして、入射角θ（＝θ
1，・・・，θk，・・・θn）における被検査物１０に
関する画像情報の取得、及び画像情報処理手段４０内の
記憶装置への画像情報の記憶を、合計ｎ回（例えば１０
回）繰り返す。更に、このような操作を被検査物１０の
長手方向において逐次繰り返す。
了したならば、被検査物１０を図２の（Ａ）に示した矢
印の方向に所定の距離だけ移動させると同時に、入射角
変更手段による光源２０の移動及び光センサ３０のセン
サ移動機構３２による移動を行い、光源２０及び光セン
サ３０を初期配置状態とする。そして、入射角θ（＝θ
1，・・・，θk，・・・θn）における被検査物１０に
関する画像情報の取得、及び画像情報処理手段４０内の
記憶装置への画像情報の記憶を、合計ｎ回（例えば１０
回）繰り返す。更に、このような操作を被検査物１０の
長手方向において逐次繰り返す。
【００３１】所望の長さの被検査物の検査が完了した時
点で（このとき、被検査物の幅方向の検査は複数回行わ
れている）、あるいは被検査物の幅方向の検査が１回完
了した時点で、画像情報処理手段４０内の記憶装置に記
憶された各入射角における画像情報に基づき、画像情報
処理手段４０によって画像情報処理を行い、被検査物の
欠陥を検出する。
点で（このとき、被検査物の幅方向の検査は複数回行わ
れている）、あるいは被検査物の幅方向の検査が１回完
了した時点で、画像情報処理手段４０内の記憶装置に記
憶された各入射角における画像情報に基づき、画像情報
処理手段４０によって画像情報処理を行い、被検査物の
欠陥を検出する。
【００３２】そのために、例えば、得られた複数の画像
情報の加算演算処理、微分演算処理あるいは重み付け演
算処理を行う。即ち、１回の幅方向の検査において得ら
れた各入射角における画像情報を加算演算処理して、合
成された画像情報を得る。そして、合成された画像情報
における光分布強度を微分演算処理することで、光透過
領域１２の縁部を識別することができる。各光透過領域
の長手方向におけるこうして得られた各光透過領域の縁
部に相当する画像情報に乱れが存在する場合、即ち、例
えば直線性が欠落している場合、かかる光透過領域１２
の縁部に欠けや凹凸等の欠陥が存在するといえる。
情報の加算演算処理、微分演算処理あるいは重み付け演
算処理を行う。即ち、１回の幅方向の検査において得ら
れた各入射角における画像情報を加算演算処理して、合
成された画像情報を得る。そして、合成された画像情報
における光分布強度を微分演算処理することで、光透過
領域１２の縁部を識別することができる。各光透過領域
の長手方向におけるこうして得られた各光透過領域の縁
部に相当する画像情報に乱れが存在する場合、即ち、例
えば直線性が欠落している場合、かかる光透過領域１２
の縁部に欠けや凹凸等の欠陥が存在するといえる。
【００３３】また、合成された画像情報から光強度分布
を求め、この光強度分布の面積重心の位置を計算するこ
とによって、光透過領域１２の中心部を求めることがで
きる。こうして求められた光透過領域１２の中心部を長
手方向に結んだ線に直線性が欠落している場合、被検査
物の直線性欠如という欠陥が存在するといえる。
を求め、この光強度分布の面積重心の位置を計算するこ
とによって、光透過領域１２の中心部を求めることがで
きる。こうして求められた光透過領域１２の中心部を長
手方向に結んだ線に直線性が欠落している場合、被検査
物の直線性欠如という欠陥が存在するといえる。
【００３４】これらの画像情報処理結果や検査結果は、
図４に示すように、画像情報処理手段４０に設けられた
ＣＲＴ等の表示装置４２に表示される。図４に、各入射
角における被検査物１０の長手方向に沿った画像情報及
び複数の画像情報の加算演算処理、微分演算処理あるい
は重み付け演算処理等の画像情報処理結果を概念的に示
す。かかる画像情報処理結果と予め設けた欠陥判定基準
とを比較して、被検査物の欠陥の有無を判定することが
できる。
図４に示すように、画像情報処理手段４０に設けられた
ＣＲＴ等の表示装置４２に表示される。図４に、各入射
角における被検査物１０の長手方向に沿った画像情報及
び複数の画像情報の加算演算処理、微分演算処理あるい
は重み付け演算処理等の画像情報処理結果を概念的に示
す。かかる画像情報処理結果と予め設けた欠陥判定基準
とを比較して、被検査物の欠陥の有無を判定することが
できる。
【００３５】図４に示すように、例えば、入射角θ＝θ
kにおける画像情報にはさほど欠陥が認められないとし
ても、画像情報処理を行った結果によれば、被検査物の
直線性の欠如や凹凸といった欠陥を明確に識別すること
ができる。
kにおける画像情報にはさほど欠陥が認められないとし
ても、画像情報処理を行った結果によれば、被検査物の
直線性の欠如や凹凸といった欠陥を明確に識別すること
ができる。
【００３６】（実施例２の自動検査装置）図５に模式的
に示す本発明の第１の態様に係る自動検査装置に関する
実施例２の自動検査装置においても、入射角変更手段
は、実施例１と同様に被検査物１０の光透過領域１２に
対して光源２０を相対的に移動させる光源移動機構であ
る。光源２０は、平行光を射出し得る点光源の二次元的
な集合、あるいは面光源から成ることが好ましい。ま
た、光源２０にはルーバーを配設することが望ましい。
に示す本発明の第１の態様に係る自動検査装置に関する
実施例２の自動検査装置においても、入射角変更手段
は、実施例１と同様に被検査物１０の光透過領域１２に
対して光源２０を相対的に移動させる光源移動機構であ
る。光源２０は、平行光を射出し得る点光源の二次元的
な集合、あるいは面光源から成ることが好ましい。ま
た、光源２０にはルーバーを配設することが望ましい。
【００３７】図５に示すように、光センサ３０は長手方
向に配列された複数の一次元ラインセンサから成る。被
検査物１０の光透過領域１２に対する相対的な光源２０
の移動に対応して、光センサ３０を一体的に移動させる
センサ移動機構が備えられている。一次元ラインセンサ
の数は被検査物１０の大きさに応じて適宜選択すればよ
い。尚、図５においては、３つの一次元ラインセンサを
描いた。光源２０及び光センサ３０の長さは、被検査物
１０の幅方向において光透過領域１２の全てをカバーす
る長さとする。光センサ３０が複数の一次元ラインセン
サから成る点を除き、実施例２の自動検査装置は実施例
１の自動検査装置と同様の構造とすることができ、詳細
な説明は省略する。
向に配列された複数の一次元ラインセンサから成る。被
検査物１０の光透過領域１２に対する相対的な光源２０
の移動に対応して、光センサ３０を一体的に移動させる
センサ移動機構が備えられている。一次元ラインセンサ
の数は被検査物１０の大きさに応じて適宜選択すればよ
い。尚、図５においては、３つの一次元ラインセンサを
描いた。光源２０及び光センサ３０の長さは、被検査物
１０の幅方向において光透過領域１２の全てをカバーす
る長さとする。光センサ３０が複数の一次元ラインセン
サから成る点を除き、実施例２の自動検査装置は実施例
１の自動検査装置と同様の構造とすることができ、詳細
な説明は省略する。
【００３８】以下、実施例２の自動検査装置を用いた、
光透過領域を有する被検査物の自動検査方法を説明す
る。
光透過領域を有する被検査物の自動検査方法を説明す
る。
【００３９】図５に示したように、送り装置に取り付け
られた被検査物１０は、進行、停止を繰り返しながら矢
印の方向に送られる。被検査物１０の停止中に、光透過
領域１２の検査が自動的に行われる。先ず、被検査物１
０の進行を停止させて、光源２０及び光センサ３０を初
期配置状態として、一定の入射角θ1にて光源からの光
を被検査物１０の光透過領域１２に入射させる。被検査
物１０の光透過領域１２を透過した光は、複数の一次元
ラインセンサから成る光センサ３０によって受光され
る。これによって得られた入射角θ1における被検査物
１０に関する二次元的な画像情報は、画像情報処理手段
４０に送られ、画像情報処理手段４０内の記憶装置（例
えばメモリー）に記憶される。
られた被検査物１０は、進行、停止を繰り返しながら矢
印の方向に送られる。被検査物１０の停止中に、光透過
領域１２の検査が自動的に行われる。先ず、被検査物１
０の進行を停止させて、光源２０及び光センサ３０を初
期配置状態として、一定の入射角θ1にて光源からの光
を被検査物１０の光透過領域１２に入射させる。被検査
物１０の光透過領域１２を透過した光は、複数の一次元
ラインセンサから成る光センサ３０によって受光され
る。これによって得られた入射角θ1における被検査物
１０に関する二次元的な画像情報は、画像情報処理手段
４０に送られ、画像情報処理手段４０内の記憶装置（例
えばメモリー）に記憶される。
【００４０】次いで、被検査物１０の進行を停止させた
まま、入射角変更手段によって、被検査物１０の光透過
領域１２に対して光源２０を相対的に移動（回転）させ
る。これと同時に、光透過領域１２に対する相対的な光
源２０の移動に対応して、光センサ３０をセンサ移動機
構３２によって移動させる。
まま、入射角変更手段によって、被検査物１０の光透過
領域１２に対して光源２０を相対的に移動（回転）させ
る。これと同時に、光透過領域１２に対する相対的な光
源２０の移動に対応して、光センサ３０をセンサ移動機
構３２によって移動させる。
【００４１】その後、再び、一定の入射角θ2にて光源
からの光を被検査物１０の光透過領域１２に入射させ
る。被検査物１０の光透過領域１２を透過した光は光セ
ンサ３０によって受光される。これによって得られた入
射角θ2における被検査物に関する二次元的な画像情報
も、画像情報処理手段４０に送られ、画像情報処理手段
４０内の記憶装置に記憶される。
からの光を被検査物１０の光透過領域１２に入射させ
る。被検査物１０の光透過領域１２を透過した光は光セ
ンサ３０によって受光される。これによって得られた入
射角θ2における被検査物に関する二次元的な画像情報
も、画像情報処理手段４０に送られ、画像情報処理手段
４０内の記憶装置に記憶される。
【００４２】更に、被検査物１０の進行を停止させたま
ま、入射角変更手段による光源２０の相対的な移動、光
センサ３０のセンサ移動機構３２による移動、入射角θ
（＝θ3，・・・，θk，・・・，θn）における被検査
物１０に関する二次元的な画像情報の取得、及び画像情
報処理手段４０内の記憶装置への画像情報の記憶を、合
計ｎ回（例えば１０回）繰り返す。
ま、入射角変更手段による光源２０の相対的な移動、光
センサ３０のセンサ移動機構３２による移動、入射角θ
（＝θ3，・・・，θk，・・・，θn）における被検査
物１０に関する二次元的な画像情報の取得、及び画像情
報処理手段４０内の記憶装置への画像情報の記憶を、合
計ｎ回（例えば１０回）繰り返す。
【００４３】こうして、被検査物１０の幅方向及び長手
方向の或る長さに亙って、被検査物１０に関する光の入
射角θが異なる複数（例えばｎ＝１０）の画像情報が得
られる。言い換えれば、被検査物１０の幅方向及び長手
方向の或る長さに関し、被検査物を恰も異なる種々の角
度から見た二次元的な画像情報を複数得ることができ
る。
方向の或る長さに亙って、被検査物１０に関する光の入
射角θが異なる複数（例えばｎ＝１０）の画像情報が得
られる。言い換えれば、被検査物１０の幅方向及び長手
方向の或る長さに関し、被検査物を恰も異なる種々の角
度から見た二次元的な画像情報を複数得ることができ
る。
【００４４】所望の回数（ｎ回）の画像情報の取得が完
了したならば、被検査物１０を図５の矢印の方向に所定
の距離だけ移動させると同時に、入射角変更手段による
光源２０の移動及び光センサ３０のセンサ移動機構３２
による移動を行い、光源２０及び光センサ３０を初期配
置状態とする。そして、入射角θ（＝θ1，・・・，θ
k，・・・θn）における被検査物１０に関する画像情報
の取得、及び画像情報処理手段４０内の記憶装置への画
像情報の記憶を、合計ｎ回（例えば１０回）繰り返す。
更に、このような操作を被検査物１０の長手方向におい
て逐次繰り返す。
了したならば、被検査物１０を図５の矢印の方向に所定
の距離だけ移動させると同時に、入射角変更手段による
光源２０の移動及び光センサ３０のセンサ移動機構３２
による移動を行い、光源２０及び光センサ３０を初期配
置状態とする。そして、入射角θ（＝θ1，・・・，θ
k，・・・θn）における被検査物１０に関する画像情報
の取得、及び画像情報処理手段４０内の記憶装置への画
像情報の記憶を、合計ｎ回（例えば１０回）繰り返す。
更に、このような操作を被検査物１０の長手方向におい
て逐次繰り返す。
【００４５】所望の長さの被検査物の検査が完了した時
点で（このとき、被検査物の幅方向の検査は複数回行わ
れている）、あるいは被検査物の幅方向の検査が１回完
了した時点で、画像情報処理手段４０内の記憶装置に記
憶された各入射角における画像情報に基づき、実施例１
と同様に、画像情報処理手段４０によって画像情報処理
を行い、被検査物の欠陥を検出する。
点で（このとき、被検査物の幅方向の検査は複数回行わ
れている）、あるいは被検査物の幅方向の検査が１回完
了した時点で、画像情報処理手段４０内の記憶装置に記
憶された各入射角における画像情報に基づき、実施例１
と同様に、画像情報処理手段４０によって画像情報処理
を行い、被検査物の欠陥を検出する。
【００４６】画像情報処理結果や検査結果は、図４に示
したと同様に、画像情報処理手段４０に設けられたＣＲ
Ｔ等の表示装置４２に表示される。画像情報処理結果と
予め設けた欠陥判定基準とを比較して、被検査物の欠陥
の有無を判定することができる。
したと同様に、画像情報処理手段４０に設けられたＣＲ
Ｔ等の表示装置４２に表示される。画像情報処理結果と
予め設けた欠陥判定基準とを比較して、被検査物の欠陥
の有無を判定することができる。
【００４７】実施例２の自動検査装置においては複数の
一次元ラインセンサから光センサを構成するので、実施
例１の自動検査装置よりも効率良く被検査物の検査を行
うことができる。
一次元ラインセンサから光センサを構成するので、実施
例１の自動検査装置よりも効率良く被検査物の検査を行
うことができる。
【００４８】尚、光センサを複数の一次元ラインセンサ
から構成する代わりに、二次元ラインセンサから構成し
てもよい。この場合の自動検査方法は、実施例２にて説
明した自動検査方法と同様とすることができる。
から構成する代わりに、二次元ラインセンサから構成し
てもよい。この場合の自動検査方法は、実施例２にて説
明した自動検査方法と同様とすることができる。
【００４９】（実施例３の自動検査装置）実施例３の自
動検査装置においては、実施例１あるいは実施例２と異
なり、図６に示すように、複数の光源２０が、被検査物
の一方の側に配置されている。各光源２０から射出され
た光の光透過領域１２への入射角が異なるように、各光
源２０は配置されている。各光源２０は固定されてい
る。
動検査装置においては、実施例１あるいは実施例２と異
なり、図６に示すように、複数の光源２０が、被検査物
の一方の側に配置されている。各光源２０から射出され
た光の光透過領域１２への入射角が異なるように、各光
源２０は配置されている。各光源２０は固定されてい
る。
【００５０】実施例３の自動検査装置においては、光セ
ンサ３０は固定されており、複数の光源２０に対応した
複数の一次元ラインセンサから成る。即ち、１つの光源
２０に対応して、１つの一次元ラインセンサが配置され
ている。複数の一次元ラインセンサを一体化してもよい
し、それぞれの一次元ラインセンサを間隔を開けて配列
しても、被検査物の幅方向にずらして配列してもよい。
一次元ラインセンサを被検査物の幅方向にずらして配置
する場合、図３の（Ａ）に示したと同様に、所定の光源
２０Ａと、一次元ラインセンサの所定のセンサ素子３０
Ａとが、常に所定の光透過領域１２Ａを通る軸線３８Ａ
上に乗るように、各光源とそれに対応した一次元ライン
センサとを配置することが望ましい。
ンサ３０は固定されており、複数の光源２０に対応した
複数の一次元ラインセンサから成る。即ち、１つの光源
２０に対応して、１つの一次元ラインセンサが配置され
ている。複数の一次元ラインセンサを一体化してもよい
し、それぞれの一次元ラインセンサを間隔を開けて配列
しても、被検査物の幅方向にずらして配列してもよい。
一次元ラインセンサを被検査物の幅方向にずらして配置
する場合、図３の（Ａ）に示したと同様に、所定の光源
２０Ａと、一次元ラインセンサの所定のセンサ素子３０
Ａとが、常に所定の光透過領域１２Ａを通る軸線３８Ａ
上に乗るように、各光源とそれに対応した一次元ライン
センサとを配置することが望ましい。
【００５１】尚、光源２０及び光センサ３０の長さは、
被検査物１０の幅方向において光透過領域１２の全てを
カバーする長さとする。また、光源２０及び光センサ３
０は、被検査物１０の幅方向に直線状に配置されてい
る。光源２０の数、及び光センサ３０を構成する一次元
ラインセンサの数は、被検査物の１回当りの検査におい
て、幾つ画像情報を取得するかに依存して決定すればよ
い。尚、図６においては、それぞれ３つの光源２０ａ，
２０ｂ，２０ｃ及び一次元ラインセンサ３０ａ，３０
ｂ，３０ｃを描いた。
被検査物１０の幅方向において光透過領域１２の全てを
カバーする長さとする。また、光源２０及び光センサ３
０は、被検査物１０の幅方向に直線状に配置されてい
る。光源２０の数、及び光センサ３０を構成する一次元
ラインセンサの数は、被検査物の１回当りの検査におい
て、幾つ画像情報を取得するかに依存して決定すればよ
い。尚、図６においては、それぞれ３つの光源２０ａ，
２０ｂ，２０ｃ及び一次元ラインセンサ３０ａ，３０
ｂ，３０ｃを描いた。
【００５２】実施例１あるいは実施例２と同様に、実施
例３においても、画像情報処理手段が備えられている。
画像情報処理手段は、各入射角において被検査物の光透
過領域を透過した光を光センサで受光して得られた被検
査物に関する画像情報の画像情報処理を行う。
例３においても、画像情報処理手段が備えられている。
画像情報処理手段は、各入射角において被検査物の光透
過領域を透過した光を光センサで受光して得られた被検
査物に関する画像情報の画像情報処理を行う。
【００５３】実施例３の自動検査装置においても、送り
装置に取り付けられた被検査物１０は、進行、停止を繰
り返しながら図６の矢印の方向に送られ、検査後、巻取
り装置に巻き取られる。被検査物の停止中に、光透過領
域１２の検査が自動的に行われる。
装置に取り付けられた被検査物１０は、進行、停止を繰
り返しながら図６の矢印の方向に送られ、検査後、巻取
り装置に巻き取られる。被検査物の停止中に、光透過領
域１２の検査が自動的に行われる。
【００５４】以下、実施例３の自動検査装置を用いた、
光透過領域を有する被検査物の自動検査方法を説明す
る。
光透過領域を有する被検査物の自動検査方法を説明す
る。
【００５５】図６に示したように、送り装置に取り付け
られた被検査物１０は、進行、停止を繰り返しながら矢
印の方向に送られる。被検査物１０の停止中に、光透過
領域１２の検査が自動的に行われる。先ず、被検査物１
０の進行を停止させて、一定の入射角θ1を有する第１
の光源２０ａからの光を被検査物１０の光透過領域１２
に入射させる。被検査物１０の光透過領域１２を透過し
た光は第１の一次元ラインセンサ３０ａによって受光さ
れる。これによって得られた入射角θ1における被検査
物１０に関する一次元の画像情報は、画像情報処理手段
４０に送られ、画像情報処理手段４０内の記憶装置（例
えばメモリー）に記憶される。
られた被検査物１０は、進行、停止を繰り返しながら矢
印の方向に送られる。被検査物１０の停止中に、光透過
領域１２の検査が自動的に行われる。先ず、被検査物１
０の進行を停止させて、一定の入射角θ1を有する第１
の光源２０ａからの光を被検査物１０の光透過領域１２
に入射させる。被検査物１０の光透過領域１２を透過し
た光は第１の一次元ラインセンサ３０ａによって受光さ
れる。これによって得られた入射角θ1における被検査
物１０に関する一次元の画像情報は、画像情報処理手段
４０に送られ、画像情報処理手段４０内の記憶装置（例
えばメモリー）に記憶される。
【００５６】次いで、被検査物１０を光源及び一次元ラ
インセンサの間隔分だけ移動させた後に停止させて、再
び、一定の入射角θ2を有する第２の光源２０ｂからの
光を被検査物１０の光透過領域１２に入射させる。被検
査物１０の光透過領域１２を透過した光は第２の一次元
ラインセンサ３０ｂによって受光される。これによって
得られた入射角θ2における被検査物に関する一次元の
画像情報も、画像情報処理手段４０に送られ、画像情報
処理手段４０内の記憶装置に記憶される。
インセンサの間隔分だけ移動させた後に停止させて、再
び、一定の入射角θ2を有する第２の光源２０ｂからの
光を被検査物１０の光透過領域１２に入射させる。被検
査物１０の光透過領域１２を透過した光は第２の一次元
ラインセンサ３０ｂによって受光される。これによって
得られた入射角θ2における被検査物に関する一次元の
画像情報も、画像情報処理手段４０に送られ、画像情報
処理手段４０内の記憶装置に記憶される。
【００５７】更に、被検査物１０を光源及び一次元ライ
ンセンサの間隔分だけ移動させた後に停止させて、第
３、第４、・・・第ｎの光源（入射角＝θ3，θ4，・・
・，θn）、及び第３、第４、・・・第ｎの一次元ライ
ンセンサによる被検査物１０に関する一次元の画像情報
の取得、及び画像情報処理手段４０内の記憶装置への画
像情報の記憶を、合計ｎ回（例えば１０回）繰り返す。
ンセンサの間隔分だけ移動させた後に停止させて、第
３、第４、・・・第ｎの光源（入射角＝θ3，θ4，・・
・，θn）、及び第３、第４、・・・第ｎの一次元ライ
ンセンサによる被検査物１０に関する一次元の画像情報
の取得、及び画像情報処理手段４０内の記憶装置への画
像情報の記憶を、合計ｎ回（例えば１０回）繰り返す。
【００５８】こうして、被検査物１０の幅方向に亙っ
て、被検査物１０に関する光の入射角θが異なる複数
（例えばｎ＝１０）の画像情報が得られる。言い換えれ
ば、幅方向に関し、被検査物を恰も異なる種々の角度か
ら見た一次元の画像情報を複数得ることができる。
て、被検査物１０に関する光の入射角θが異なる複数
（例えばｎ＝１０）の画像情報が得られる。言い換えれ
ば、幅方向に関し、被検査物を恰も異なる種々の角度か
ら見た一次元の画像情報を複数得ることができる。
【００５９】所望の回数（ｎ回）の画像情報の取得が完
了したならば、被検査物の別の位置において、入射角θ
（＝θ1，・・・，θk，・・・，θn）における被検査
物１０に関する一次元の画像情報の取得、及び画像情報
処理手段４０内の記憶装置への画像情報の記憶を、合計
ｎ回（例えば１０回）繰り返す。更に、このような操作
を被検査物１０の長手方向において逐次繰り返す。尚、
被検査物の或る部分における幅方向の検査を行いなが
ら、同時に、他の光源及び一次元ラインセンサの組を用
いて被検査物の他の部分における幅方向の検査を行うこ
ともできる。
了したならば、被検査物の別の位置において、入射角θ
（＝θ1，・・・，θk，・・・，θn）における被検査
物１０に関する一次元の画像情報の取得、及び画像情報
処理手段４０内の記憶装置への画像情報の記憶を、合計
ｎ回（例えば１０回）繰り返す。更に、このような操作
を被検査物１０の長手方向において逐次繰り返す。尚、
被検査物の或る部分における幅方向の検査を行いなが
ら、同時に、他の光源及び一次元ラインセンサの組を用
いて被検査物の他の部分における幅方向の検査を行うこ
ともできる。
【００６０】所望の長さの被検査物の検査が完了した時
点で（このとき、被検査物の幅方向の検査は複数回行わ
れている）、あるいは被検査物の幅方向の検査が１回完
了した時点で、画像情報処理手段４０内の記憶装置に記
憶された各入射角における画像情報に基づき、実施例１
と同様の画像情報処理を画像情報処理手段４０によって
行い、被検査物の欠陥を検出する。
点で（このとき、被検査物の幅方向の検査は複数回行わ
れている）、あるいは被検査物の幅方向の検査が１回完
了した時点で、画像情報処理手段４０内の記憶装置に記
憶された各入射角における画像情報に基づき、実施例１
と同様の画像情報処理を画像情報処理手段４０によって
行い、被検査物の欠陥を検出する。
【００６１】尚、光センサを複数の一次元ラインセンサ
から構成する代わりに、二次元ラインセンサから構成し
てもよい。この場合の自動検査方法も、基本的には実施
例３にて説明した自動検査方法と同様とすることができ
る。
から構成する代わりに、二次元ラインセンサから構成し
てもよい。この場合の自動検査方法も、基本的には実施
例３にて説明した自動検査方法と同様とすることができ
る。
【００６２】以上、好ましい実施例に基づき本発明を説
明したが、本発明はこれらの実施例に限定されるもので
はない。実施例１及び実施例２において、光センサ３０
は、十分な長さを有しているならば、固定されていても
よい。また、実施例１及び実施例２における入射角変更
手段は他の任意の形式とすることができる。例えば、光
源２０を固定しておき、光源にルーバーを配設し、ルー
バーの角度を変更することによって光源からの光の光透
過領域への入射角を変化させることができる。あるいは
又、光源と被検査物との間に鏡を置き、かかる鏡を回動
させてもよい。
明したが、本発明はこれらの実施例に限定されるもので
はない。実施例１及び実施例２において、光センサ３０
は、十分な長さを有しているならば、固定されていても
よい。また、実施例１及び実施例２における入射角変更
手段は他の任意の形式とすることができる。例えば、光
源２０を固定しておき、光源にルーバーを配設し、ルー
バーの角度を変更することによって光源からの光の光透
過領域への入射角を変化させることができる。あるいは
又、光源と被検査物との間に鏡を置き、かかる鏡を回動
させてもよい。
【００６３】被検査物として、陰極線管の色選別機構で
あるアパーチャーグリルを例にとり説明したが、千鳥状
に配置された光透過領域を有する被検査物、光を透過す
る支持体（例えばフィルム）上に形成されたライン及び
スペース等の各種パターン等から構成された被検査物に
対しても、本発明の自動検査方法を適用することができ
る。
あるアパーチャーグリルを例にとり説明したが、千鳥状
に配置された光透過領域を有する被検査物、光を透過す
る支持体（例えばフィルム）上に形成されたライン及び
スペース等の各種パターン等から構成された被検査物に
対しても、本発明の自動検査方法を適用することができ
る。
【００６４】
【発明の効果】本発明により、高精度、容易、且つ速や
かに光透過領域の形状や被検査物の断面形状を得ること
ができ、被検査物の検査を高精度で行うことができる。
かに光透過領域の形状や被検査物の断面形状を得ること
ができ、被検査物の検査を高精度で行うことができる。
【図１】本発明の自動検査方法の原理を説明するための
被検査物の模式的な断面図である。
被検査物の模式的な断面図である。
【図２】実施例１における被検査物及び自動検査装置の
配置関係を模式的に示す図である。
配置関係を模式的に示す図である。
【図３】実施例１の自動検査装置を用いた、光透過領域
を有する被検査物の自動検査方法を説明するための被検
査物の模式的な断面図である。
を有する被検査物の自動検査方法を説明するための被検
査物の模式的な断面図である。
【図４】実施例１における画像情報処理結果や検査結果
を模式的に示す図である。
を模式的に示す図である。
【図５】実施例２における被検査物及び自動検査装置の
配置関係を模式的に示す図である。
配置関係を模式的に示す図である。
【図６】実施例３における被検査物及び自動検査装置の
配置関係を模式的に示す図である。
配置関係を模式的に示す図である。
【図７】アパーチャーグリルの模式的な一部平面図及び
一部断面図である。
一部断面図である。
１０ 被検査物 １２ 光透過領域 ２０ 光源 ２２ 軸線 ３０ 光センサ ３２ センサ移動機構 ３４ 支持台 ３６ レール ３８ 軸線 ４０ 画像情報処理手段 ４２ 表示装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 9/42 G01N 21/956 G01N 21/88 G01B 11/24
Claims (16)
- 【請求項１】平面形状が矩形の開口部を有するアパーチ
ャーグリルの一方の側に光源を配置し、アパーチャーグ
リルの他方の側に光センサを配置し、光源からの光がア
パーチャーグリルの開口部に入射する入射角を変化させ
て、各入射角においてアパーチャーグリルの開口部を透
過した光を光センサで受光し、アパーチャーグリルの開
口部に関する画像情報を得た後、得られた各入射角にお
ける該画像情報に基づきアパーチャーグリルにおける開
口部の断面形状の欠陥を検出する自動検査方法であっ
て、 得られた各入射角における前記画像情報を加算演算処理
して得られた合成画像情報における光強度分布を微分演
算処理することによって開口部の縁部を識別することを
特徴とする自動検査方法 。 - 【請求項２】平面形状が矩形の開口部を有するアパーチ
ャーグリルの一方の側に光源を配置し、アパーチャーグ
リルの他方の側に光センサを配置し、光源からの光がア
パーチャーグリルの開口部に入射する入射角を変化させ
て、各入射角においてアパーチャーグリルの開口部を透
過した光を光センサで受光し、アパーチャーグリルの開
口部に関する画像情報を得た後、得られた各入射角にお
ける該画像情報に基づきアパーチャーグリルにおける開
口部の断面形状の欠陥を検出する自動検査方法であっ
て、 得られた各入射角における前記画像情報を加算演算処理
して得られた合成画像情報を開口部の長手方向に沿って
複数の画像情報に区分し、該区分された複数の画像情報
のそれぞれにおける光強度分布を求め、該光強度分布の
面積重心の位置を計算することで、開口部の長手方向と
は直角の方向における開口部の中心を開口部の長手方向
に沿って求めることを特徴とする自動検査方法。 - 【請求項３】 光源からの光がアパーチャーグリルの開口
部に入射する入射角を変化させるために、光源をアパー
チャーグリルの開口部に対して相対的に移動させること
を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の自動検査方
法。 - 【請求項４】アパーチャーグリルの開口部 に対する相対
的な光源の移動に対応して、光センサを移動させること
を特徴とする請求項３に記載の自動検査方法。 - 【請求項５】 光センサは１つの一次元ラインセンサから
成ることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか
１項に記載の自動検査方法。 - 【請求項６】 光センサは複数の一次元ラインセンサから
成ることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか
１項に記載の自動検査方法。 - 【請求項７】 光センサは二次元ラインセンサから成るこ
とを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に
記載の自動検査方法。 - 【請求項８】平面形状が矩形の開口部を有するアパーチ
ャーグリルにおける開口部の断面形状の欠陥を 自動的に
検査する自動検査装置であって、 （イ）アパーチャーグリルの一方の側に配置された光源
と、 （ロ）アパーチャーグリルの他方の側に配置された光セ
ンサと、 （ハ）光源からの光がアパーチャーグリルの開口部に入
射する入射角を変化させる入射角変更手段と、 （ニ）各入射角においてアパーチャーグリルの開口部を
透過した光を光センサで受光して得られたアパーチャー
グリルの開口部に関する画像情報の画像情報処理を行う
画像情報処理手段、 とから成り、 該画像情報処理は、得られた各入射角における前記画像
情報を加算演算処理して得られた合成画像情報における
光強度分布を微分演算処理することによって開口部の縁
部を識別する処理から成る ことを特徴とする自動検査装
置。 - 【請求項９】平面形状が矩形の開口部を有するアパーチ
ャーグリルにおける開口部の断面形状の欠陥を自動的に
検査する自動検査装置であって、 （イ）アパーチャーグリルの一方の側に配置された光源
と、 （ロ）アパーチャーグリルの他方の側に配置された光セ
ンサと、 （ハ）光源からの光がアパーチャーグリルの開口部に入
射する入射角を変化させる入射角変更手段と、 （ニ）各入射角においてアパーチャーグリルの開口部を
透過した光を光センサで受光して得られたアパーチャー
グリルの開口部に関する画像情報の画像情報処理を行う
画像情報処理手段、 とから成り、 該画像情報処理は、得られた各入射角における前記画像
情報を加算演算処理して得られた合成画像情報を開口部
の長手方向に沿って複数の画像情報に区分し、該区分さ
れた複数の画像情報のそれぞれにおける光強度分布を求
め、該光強度分布の面積重心の位置を計算することで、
開口部の長手方向とは直角の方向における開口部の中心
を開口部の長手方向に沿って求める処理から成ることを
特徴とする自動検査装置。 - 【請求項１０】 入射角変更手段は、アパーチャーグリル
の開口部に対して光源を相対的に移動させる光源移動機
構であることを特徴とする請求項８又は請求項９に記載
の自動検査装置。 - 【請求項１１】アパーチャーグリルの開口部 に対する相
対的な光源の移動に対応して、光センサを移動させるセ
ンサ移動機構を有することを特徴とする請求項１０に記
載の自動検査装置。 - 【請求項１２】平面形状が矩形の開口部を有するアパー
チャーグリルにおける開口部の断面形状の欠陥を 自動的
に検査する自動検査装置であって、 （イ）アパーチャーグリルの一方の側に配置され、アパ
ーチャーグリルの開口部に入射する入射角がそれぞれ異
なる複数の光源と、 （ロ）アパーチャーグリルの他方の側に配置された光セ
ンサと、 （ハ）各入射角においてアパーチャーグリルの開口部を
透過した光を光センサで受光して得られたアパーチャー
グリルの開口部に関する画像情報の画像情報処理を行う
画像情報処理手段、 とから成り、該画像情報処理は、得られた各入射角における前記画像
情報を加算演算処理して得られた合成画像情報における
光強度分布を微分演算処理することによって開口部の縁
部を識別する処理から成る ことを特徴とする自動検査装
置。 - 【請求項１３】平面形状が矩形の開口部を有するアパー
チャーグリルにおける開口部の断面形状の欠陥を自動的
に検査する自動検査装置であって、 （イ）アパーチャーグリルの一方の側に配置され、アパ
ーチャーグリルの開口部に入射する入射角がそれぞれ異
なる複数の光源と、 （ロ）アパーチャーグリルの他方の側に配置された光セ
ンサと、 （ハ）各入射角においてアパーチャーグリルの開口部を
透過した光を光センサで受光して得られたアパーチャー
グリルの開口部に関する画像情報の画像情報処理を行う
画像情報処理手段、 とから成り、 該画像情報処理は、得られた各入射角における前記画像
情報を加算演算処理して得られた合成画像情報を開口部
の長手方向に沿って複数の画像情報に区分し、該区分さ
れた複数の画像情報のそれぞれにおける光強度分布を求
め、該光強度分布の面積重心の位置を計算することで、
開口部の長手方向とは直角の方向における開口部の中心
を開口部の長手方向に沿って求める処理から成ることを
特徴とする自動検査装置。 - 【請求項１４】 光センサは１つの一次元ラインセンサか
ら成ることを特徴とする請求項８乃至請求項１３のいず
れか１項に記載の自動検査装置。 - 【請求項１５】 光センサは複数の一次元ラインセンサか
ら成ることを特徴とする請求項８乃至請求項１３のいず
れか１項に記載の自動検査装置。 - 【請求項１６】 光センサは二次元ラインセンサから成る
ことを特徴とする請求項８乃至請求項１３のいずれか１
項に記載の自動検査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20876693A JP3298250B2 (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 自動検査方法及び自動検査装置 |
| US08/279,873 US5528359A (en) | 1993-07-30 | 1994-07-25 | Image scanning apparatus and method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20876693A JP3298250B2 (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 自動検査方法及び自動検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0745197A JPH0745197A (ja) | 1995-02-14 |
| JP3298250B2 true JP3298250B2 (ja) | 2002-07-02 |
Family
ID=16561740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20876693A Expired - Fee Related JP3298250B2 (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 自動検査方法及び自動検査装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5528359A (ja) |
| JP (1) | JP3298250B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| JPH08166353A (ja) * | 1994-12-12 | 1996-06-25 | Sharp Corp | 膜部材の膜質検査方法および装置 |
| JP3003562B2 (ja) * | 1995-04-25 | 2000-01-31 | 関西日本電気株式会社 | 蛍光面検査装置 |
| JPH09172299A (ja) * | 1995-12-20 | 1997-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板認識装置 |
| US5734476A (en) * | 1996-12-31 | 1998-03-31 | Pitney Bowes Inc. | Method for dimensional weighing with optics |
| KR100324321B1 (ko) * | 1999-05-25 | 2002-02-16 | 김영환 | 반도체 장치의 트랜치 깊이 및 경사면의 경사도 측정장치 및 방법 |
| US6624885B1 (en) * | 1999-06-10 | 2003-09-23 | Aradigm Corporation | Method and device for non-destructive analysis of perforation in a material |
| US7301621B2 (en) * | 1999-06-10 | 2007-11-27 | Aradigm Corporation | Method and device for non-destructive analysis of perforations in a material |
| US7148960B2 (en) * | 1999-06-10 | 2006-12-12 | Aradigm Corporation | Method and device for non-destructive analysis of perforations in a material |
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| US6992771B2 (en) * | 2001-11-28 | 2006-01-31 | Battelle Memorial Institute | Systems and techniques for detecting the presence of foreign material |
| US8852164B2 (en) | 2006-02-09 | 2014-10-07 | Deka Products Limited Partnership | Method and system for shape-memory alloy wire control |
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| US11027058B2 (en) | 2006-02-09 | 2021-06-08 | Deka Products Limited Partnership | Infusion pump assembly |
| EP2532376B1 (en) | 2006-02-09 | 2019-09-18 | DEKA Products Limited Partnership | Pumping fluid delivery systems using force application assembly |
| US11364335B2 (en) | 2006-02-09 | 2022-06-21 | Deka Products Limited Partnership | Apparatus, system and method for fluid delivery |
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| US10010669B2 (en) | 2006-02-09 | 2018-07-03 | Deka Products Limited Partnership | Systems and methods for fluid delivery |
| US11497846B2 (en) | 2006-02-09 | 2022-11-15 | Deka Products Limited Partnership | Patch-sized fluid delivery systems and methods |
| CA2919786C (en) | 2007-12-31 | 2019-10-22 | Deka Products Limited Partnership | Infusion pump assembly |
| US8881774B2 (en) | 2007-12-31 | 2014-11-11 | Deka Research & Development Corp. | Apparatus, system and method for fluid delivery |
| US8900188B2 (en) | 2007-12-31 | 2014-12-02 | Deka Products Limited Partnership | Split ring resonator antenna adapted for use in wirelessly controlled medical device |
| US10188787B2 (en) | 2007-12-31 | 2019-01-29 | Deka Products Limited Partnership | Apparatus, system and method for fluid delivery |
| US9456955B2 (en) | 2007-12-31 | 2016-10-04 | Deka Products Limited Partnership | Apparatus, system and method for fluid delivery |
| US10080704B2 (en) | 2007-12-31 | 2018-09-25 | Deka Products Limited Partnership | Apparatus, system and method for fluid delivery |
| EP3679969A3 (en) | 2007-12-31 | 2020-09-30 | DEKA Products Limited Partnership | Infusion pump assembly |
| US8066672B2 (en) | 2008-10-10 | 2011-11-29 | Deka Products Limited Partnership | Infusion pump assembly with a backup power supply |
| US8262616B2 (en) | 2008-10-10 | 2012-09-11 | Deka Products Limited Partnership | Infusion pump assembly |
| US8223028B2 (en) | 2008-10-10 | 2012-07-17 | Deka Products Limited Partnership | Occlusion detection system and method |
| US8267892B2 (en) | 2008-10-10 | 2012-09-18 | Deka Products Limited Partnership | Multi-language / multi-processor infusion pump assembly |
| US8708376B2 (en) | 2008-10-10 | 2014-04-29 | Deka Products Limited Partnership | Medium connector |
| US8016789B2 (en) | 2008-10-10 | 2011-09-13 | Deka Products Limited Partnership | Pump assembly with a removable cover assembly |
| US9180245B2 (en) | 2008-10-10 | 2015-11-10 | Deka Products Limited Partnership | System and method for administering an infusible fluid |
| JP5961111B2 (ja) | 2009-07-15 | 2016-08-02 | デカ・プロダクツ・リミテッド・パートナーシップ | 注入ポンプアセンブリのための装置、システム、および方法 |
| US11524151B2 (en) | 2012-03-07 | 2022-12-13 | Deka Products Limited Partnership | Apparatus, system and method for fluid delivery |
| CA3130345A1 (en) | 2013-07-03 | 2015-01-08 | Deka Products Limited Partnership | Apparatus, system and method for fluid delivery |
| JP2017508151A (ja) * | 2014-02-24 | 2017-03-23 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーＲｅｎｉｓｈａｗ Ｐｕｂｌｉｃ Ｌｉｍｉｔｅｄ Ｃｏｍｐａｎｙ | 視覚プローブを使用して物体を検査する方法 |
| DE102014115540A1 (de) * | 2014-10-24 | 2016-04-28 | Sick Ag | Kamera und Verfahren zur Erfassung von Objekten |
| US11523972B2 (en) | 2018-04-24 | 2022-12-13 | Deka Products Limited Partnership | Apparatus, system and method for fluid delivery |
| CN113720773A (zh) * | 2020-07-30 | 2021-11-30 | 北京科益虹源光电技术有限公司 | 激光晶体的检测装置、***、方法及图像处理方法 |
| JP7394799B2 (ja) * | 2021-02-10 | 2023-12-08 | Ｔｏｗａ株式会社 | 検査装置、樹脂成形装置、切断装置、樹脂成形品の製造方法、及び、切断品の製造方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US3873211A (en) * | 1974-01-23 | 1975-03-25 | Eastman Kodak Co | Hole measurer controller |
| JPS59159004A (ja) * | 1983-03-01 | 1984-09-08 | N C Sangyo Kk | 孔径測定装置 |
| JPS63159701A (ja) * | 1986-12-24 | 1988-07-02 | Toshiba Corp | シヤドウマスクのスリツト幅検査装置 |
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-
1993
- 1993-07-30 JP JP20876693A patent/JP3298250B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-07-25 US US08/279,873 patent/US5528359A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5528359A (en) | 1996-06-18 |
| JPH0745197A (ja) | 1995-02-14 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |