JP7394799B2 - 検査装置、樹脂成形装置、切断装置、樹脂成形品の製造方法、及び、切断品の製造方法 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 87
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims description 39
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims description 39
- 238000000465 moulding Methods 0.000 title claims description 22
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 19
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 9
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000005338 frosted glass Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
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- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
- G01N2021/8812—Diffuse illumination, e.g. "sky"
- G01N2021/8816—Diffuse illumination, e.g. "sky" by using multiple sources, e.g. LEDs
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/061—Sources
- G01N2201/06146—Multisources for homogeneisation, as well sequential as simultaneous operation
- G01N2201/06153—Multisources for homogeneisation, as well sequential as simultaneous operation the sources being LED's
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
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- G01N2201/063—Illuminating optical parts
- G01N2201/0636—Reflectors
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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Description
図1は、本実施の形態に従う検査装置10を模式的に示す図である。検査装置10に含まれる同軸照明100に関しては、図1において、その断面が示されている。矢印UDFBLRの各々が示す方向は、各図面において共通である。
矢印FB方向において、板状部材140の面のうち拡散板130と対向する面に対して各スリット142が略垂直な方向に延びている場合には、板状部材140を通過した光の多くが板状部材140に対して略垂直な方向に向く。しかしながら、板状部材140内において各スリット142が延びる方向を板状部材140の生産時に制御することは困難である。
図3は、同軸照明100の上面を模式的に示す図である。図4は、同軸照明100の正面を模式的に示す図である。図5は、図3のV-V断面を模式的に示す図である。なお、説明の容易のために、各図においては、同軸照明100の一部の内部が透過した状態が示されている。
以上のように、本実施の形態に従う検査装置10においては、板状部材140の配置が調整可能となっている。したがって、検査装置10によれば、板状部材140の配置を調整することによって板状部材140を通過した光の進行方向を調整可能であるため、ハーフミラー150で反射して検査対象物300に照射される光の偏りを抑制することができる。
上記実施の形態の思想は、以上で説明された実施の形態に限定されない。以下、上記実施の形態の思想を適用できる他の実施の形態の一例について説明する。
Claims (9)
- 検査対象物を撮像するように構成されたカメラと、
前記検査対象物に光を照射するように構成された同軸照明と、
を備え、
前記同軸照明は、
前記検査対象物と前記カメラとを結ぶ観察軸上において、前記観察軸に対して斜めになるように配置されたハーフミラーと、
前記観察軸とは異なる方向から前記ハーフミラーに向かって光を発するように構成された光源部と、
前記光源部と前記ハーフミラーとの間に配置された板状部材であって、互いに略平行な複数のスリットが形成された板状部材と、
前記板状部材の配置を調整するように構成された調整部と、
を含み、
前記光源部によって発された光は、前記ハーフミラーで反射して前記検査対象物に照射され、
前記調整部は、
前記板状部材と前記光源部との間の距離を調整するように構成された位置調整部と、
前記ハーフミラーに対する前記板状部材の角度を調整するように構成された角度調整機構と、
を含み、
前記位置調整部は、前記光源部と前記ハーフミラーとの間において前記板状部材を直線的に移動させるように構成された移動部材を含み、
前記角度調整機構は、
前記板状部材を保持するように構成されたクランパと、
前記クランパの回転軸となる軸部材と、
を含み、
前記移動部材と前記軸部材とは高さ方向においてずれている、検査装置。 - 前記角度調整機構は、
前記軸部材の回転を停止させるように構成されたストッパを更に含む、請求項1に記載の検査装置。 - 前記クランパは、前記軸部材の一部分を収容する孔部を含む、請求項1又は請求項2に記載の検査装置。
- 前記角度調整機構は、前記軸部材を支持すると共に前記移動部材に取り付けられている支持部材を含み、
前記支持部材は、
前記移動部材に取り付けられた支持部材本体部と、
前記支持部材本体部における前記移動部材の近傍と前記クランパとを連結する連結部とを含み、
前記支持部材本体部及び前記連結部の各々には、前記軸部材が貫通する貫通孔が形成されている、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の検査装置。 - 前記同軸照明は、前記調整部を覆うように構成された遮光カバーを含む、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の検査装置。
- 樹脂成形品を製造するように構成された樹脂成形機構と、
請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の検査装置と、
を備える、樹脂成形装置。 - 切断対象物を切断することによって切断品を製造するように構成された切断機構と、
請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の検査装置と、
を備える、切断装置。 - 樹脂成形品を製造するステップと、
請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の検査装置を用いて前記検査対象物を検査するステップと、
を含み、
前記検査対象物は、前記樹脂成形品を含む、樹脂成形品の製造方法。 - 切断対象物を切断することによって切断品を製造するステップと、
請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の検査装置を用いて前記検査対象物を検査するステップと、
を含み、
前記検査対象物は、前記切断対象物又は前記切断品を含む、切断品の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021019795A JP7394799B2 (ja) | 2021-02-10 | 2021-02-10 | 検査装置、樹脂成形装置、切断装置、樹脂成形品の製造方法、及び、切断品の製造方法 |
PCT/JP2021/048396 WO2022172629A1 (ja) | 2021-02-10 | 2021-12-24 | 検査装置、樹脂成形装置、切断装置、樹脂成形品の製造方法、及び、切断品の製造方法 |
KR1020237026126A KR20230127322A (ko) | 2021-02-10 | 2021-12-24 | 검사 장치, 수지 성형 장치, 절단 장치, 수지 성형품의제조 방법, 및, 절단품의 제조 방법 |
CN202180091351.6A CN116783473A (zh) | 2021-02-10 | 2021-12-24 | 检查装置、树脂成形装置、切断装置、树脂成形品的制造方法以及切断品的制造方法 |
TW111102350A TWI796103B (zh) | 2021-02-10 | 2022-01-20 | 檢查裝置、樹脂成形裝置、切斷裝置、樹脂成形品的製造方法、及切斷品的製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021019795A JP7394799B2 (ja) | 2021-02-10 | 2021-02-10 | 検査装置、樹脂成形装置、切断装置、樹脂成形品の製造方法、及び、切断品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022122512A JP2022122512A (ja) | 2022-08-23 |
JP7394799B2 true JP7394799B2 (ja) | 2023-12-08 |
Family
ID=82838653
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021019795A Active JP7394799B2 (ja) | 2021-02-10 | 2021-02-10 | 検査装置、樹脂成形装置、切断装置、樹脂成形品の製造方法、及び、切断品の製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7394799B2 (ja) |
KR (1) | KR20230127322A (ja) |
CN (1) | CN116783473A (ja) |
TW (1) | TWI796103B (ja) |
WO (1) | WO2022172629A1 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP7071794B2 (ja) | 2016-04-01 | 2022-05-19 | シーシーエス株式会社 | 同軸照明装置 |
JP6462761B2 (ja) * | 2017-04-26 | 2019-01-30 | Towa株式会社 | 製品の製造装置及び製造方法 |
-
2021
- 2021-02-10 JP JP2021019795A patent/JP7394799B2/ja active Active
- 2021-12-24 CN CN202180091351.6A patent/CN116783473A/zh active Pending
- 2021-12-24 WO PCT/JP2021/048396 patent/WO2022172629A1/ja active Application Filing
- 2021-12-24 KR KR1020237026126A patent/KR20230127322A/ko unknown
-
2022
- 2022-01-20 TW TW111102350A patent/TWI796103B/zh active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN116783473A (zh) | 2023-09-19 |
WO2022172629A1 (ja) | 2022-08-18 |
TWI796103B (zh) | 2023-03-11 |
JP2022122512A (ja) | 2022-08-23 |
TW202231409A (zh) | 2022-08-16 |
KR20230127322A (ko) | 2023-08-31 |
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Date | Code | Title | Description |
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