JPS59159004A - 孔径測定装置 - Google Patents
孔径測定装置Info
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- JPS59159004A JPS59159004A JP58034246A JP3424683A JPS59159004A JP S59159004 A JPS59159004 A JP S59159004A JP 58034246 A JP58034246 A JP 58034246A JP 3424683 A JP3424683 A JP 3424683A JP S59159004 A JPS59159004 A JP S59159004A
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- hole
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 21
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 14
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 8
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 6
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- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/08—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters
- G01B11/12—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters internal diameters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、プリント基板のような薄板にありられた孔
の直径を光学的に測定して数値表示をする孔径測定装置
に関するものである。
の直径を光学的に測定して数値表示をする孔径測定装置
に関するものである。
一般に、プリント基板にあけられた孔径の測定は、q)
ビンゲージを用いて行う、(2)ホールゲージを用いて
行う、■投影器を用いて行う方法がある9■のビンゲー
ジな用いて行う方法は、外径が00I闘間隔で異なる複
数のビンを準備1−1このビンを外径が小さいものより
順次孔に入れ、その孔にぴったりと合うピンの外径をそ
の孔の直径とするという方法である。この方法は、作業
が煩雑であるうえ、孔にぴったりと合うピンを見いだす
まで何本ものピンを孔に通すだめ、孔が摩耗し、実際の
孔径よりも太き目の孔径が呈示される傾向がある。
ビンゲージを用いて行う、(2)ホールゲージを用いて
行う、■投影器を用いて行う方法がある9■のビンゲー
ジな用いて行う方法は、外径が00I闘間隔で異なる複
数のビンを準備1−1このビンを外径が小さいものより
順次孔に入れ、その孔にぴったりと合うピンの外径をそ
の孔の直径とするという方法である。この方法は、作業
が煩雑であるうえ、孔にぴったりと合うピンを見いだす
まで何本ものピンを孔に通すだめ、孔が摩耗し、実際の
孔径よりも太き目の孔径が呈示される傾向がある。
■のホールゲージを用いる方法は、第1図に示すような
構造のポールゲージを準備し、図示のようにその測定子
1をプリント基板2の孔3に限度まで挿入!−7、つい
でストッパー4がプリント基板2の板曲に肖たるので全
体を押(〜丁げ、その状態で′l“イVルゲージ5の目
盛を読み取ることによゆ孔径の測定を行うという方法で
ある。この方法は、孔径の小さな孔の測定の際に測定子
1が折損しゃt<、tた411j宇子lを孔3に垂直に
差し込まなければ測定誤差が生じるためにτu11定者
の熟練を要し、さらに測定子lの摩耗により測定精度が
徐々に悪くなるという難点がある。(助の投影器を用い
る方法e−[、孔の像を拡大してスクリーンに投影し、
スクリーンにつけら凡た目盛を読み取るという方法であ
る。この方法は、目視により目盛を読み取るため、読み
取り誤差を生じ、しかも測定に時間がかかるという欠点
がある。
構造のポールゲージを準備し、図示のようにその測定子
1をプリント基板2の孔3に限度まで挿入!−7、つい
でストッパー4がプリント基板2の板曲に肖たるので全
体を押(〜丁げ、その状態で′l“イVルゲージ5の目
盛を読み取ることによゆ孔径の測定を行うという方法で
ある。この方法は、孔径の小さな孔の測定の際に測定子
1が折損しゃt<、tた411j宇子lを孔3に垂直に
差し込まなければ測定誤差が生じるためにτu11定者
の熟練を要し、さらに測定子lの摩耗により測定精度が
徐々に悪くなるという難点がある。(助の投影器を用い
る方法e−[、孔の像を拡大してスクリーンに投影し、
スクリーンにつけら凡た目盛を読み取るという方法であ
る。この方法は、目視により目盛を読み取るため、読み
取り誤差を生じ、しかも測定に時間がかかるという欠点
がある。
この発明は、このような事情に鑑みなされたもので、光
源と、この光源の光を収束させる照明用レンズと、直径
の異なる複数の穴を有し一上記光源の光を複数の穴のう
ちの任意の穴を通して絞った状態で照明用レンズに到達
させる絞り板と、測定対象体を支受してその測定対象孔
を上記照明用レンズから出る収束光内に位置決めする測
定台と、上記測定対象孔を通過した照明用レンズの光を
再度収束する結像用レンズと、複数のセンサ素子が列状
に設けられている受光面で光を受光し光を受けたセンサ
素子からのみ信号を出力させこれをセンサ出力とするイ
メージセンサと、に記結像用レンズから出た収束光を屈
折させて上記イメージセンサの受光面に投光して光学像
を結像させる反射鏡と、この光学像がイメージセンサの
センサ素子列を横切るように反射鏡を首振り駆動する反
射鏡駆動手段と、lサイクルの反射鏡の首振り中でイメ
ージセンサからの最大の出力信号を選択記憶し出力する
信号回路と、この信号出力回路の出力信号により孔径を
表示する表示回路を備えたことを特徴とする孔径測定装
置をその要旨とするものである。
源と、この光源の光を収束させる照明用レンズと、直径
の異なる複数の穴を有し一上記光源の光を複数の穴のう
ちの任意の穴を通して絞った状態で照明用レンズに到達
させる絞り板と、測定対象体を支受してその測定対象孔
を上記照明用レンズから出る収束光内に位置決めする測
定台と、上記測定対象孔を通過した照明用レンズの光を
再度収束する結像用レンズと、複数のセンサ素子が列状
に設けられている受光面で光を受光し光を受けたセンサ
素子からのみ信号を出力させこれをセンサ出力とするイ
メージセンサと、に記結像用レンズから出た収束光を屈
折させて上記イメージセンサの受光面に投光して光学像
を結像させる反射鏡と、この光学像がイメージセンサの
センサ素子列を横切るように反射鏡を首振り駆動する反
射鏡駆動手段と、lサイクルの反射鏡の首振り中でイメ
ージセンサからの最大の出力信号を選択記憶し出力する
信号回路と、この信号出力回路の出力信号により孔径を
表示する表示回路を備えたことを特徴とする孔径測定装
置をその要旨とするものである。
すなわち、この装置は、測定対象孔に光を照射してその
対象孔を通過した光をイメージセンサの受光面に投影し
7、その大きさに応じたイメージ七/すの出力を数値に
変換して測定対象孔の孔径を表示するため、操作が極め
て簡単であり、かつ測定対象孔の孔径が測定の際に犬き
くなるようなこともない。また孔径が自動的に表示され
るため、読み取り誤差が全く生じず、しかも測定台上に
測定対象体を置いてその測定対象孔に光を当てるだけで
孔径が表示されるため測定に熟練を要することもない。
対象孔を通過した光をイメージセンサの受光面に投影し
7、その大きさに応じたイメージ七/すの出力を数値に
変換して測定対象孔の孔径を表示するため、操作が極め
て簡単であり、かつ測定対象孔の孔径が測定の際に犬き
くなるようなこともない。また孔径が自動的に表示され
るため、読み取り誤差が全く生じず、しかも測定台上に
測定対象体を置いてその測定対象孔に光を当てるだけで
孔径が表示されるため測定に熟練を要することもない。
つぎに、この発明を実施例にもとづいて説明する。
第2図はこの発明の一実施例の構成図である。
図において、6は一定光度の光源、7は軸8中心に回転
しうる絞り板で、外周側にそれぞれ直径の異なる複数の
穴9を備えている。この絞り板7は、光源6から投射さ
れる光を、複数の穴9のうちの任意の穴9を通して適宜
の太さの光束に絞る作用をする。IOは照明用レンズで
、絞り板7の穴9を通過した光を収束する。11は測定
台で、中央部がくり抜き状に形成されており、その中央
部が光束の中心に位置するように固定されている。
しうる絞り板で、外周側にそれぞれ直径の異なる複数の
穴9を備えている。この絞り板7は、光源6から投射さ
れる光を、複数の穴9のうちの任意の穴9を通して適宜
の太さの光束に絞る作用をする。IOは照明用レンズで
、絞り板7の穴9を通過した光を収束する。11は測定
台で、中央部がくり抜き状に形成されており、その中央
部が光束の中心に位置するように固定されている。
12は、測定対象孔13を有するプリント基板で、その
孔13が、測定台ll上に収束光14によって形成され
る光スポツト15中に入るように測定台上に位置決めさ
れる。15は照明用レンズlOを出た収束光14により
、形成される光スボント、16は測定対象孔13を通過
した光を再度収束する結像用レンズ、17は反射鏡、1
8は反射鏡17を固定する回転台で、縦軸(隠れて見え
ない)中心に左右に首振りしつるように構成されている
。
孔13が、測定台ll上に収束光14によって形成され
る光スポツト15中に入るように測定台上に位置決めさ
れる。15は照明用レンズlOを出た収束光14により
、形成される光スボント、16は測定対象孔13を通過
した光を再度収束する結像用レンズ、17は反射鏡、1
8は反射鏡17を固定する回転台で、縦軸(隠れて見え
ない)中心に左右に首振りしつるように構成されている
。
19は回転台■8を(lサイクル)/(1秒)で首振り
駆動するザーボモータ、2oばその駆動棒、21はその
駆動棒20と係合する保合片、22はリニアイメージセ
ンサ(自己走査形撮像素子)で、その受光面222Lに
第3図に示すように複数のホトダイオード23が25μ
間隔で縦1列に設けられている。上記反射鏡17は、第
2図に示すように結像用レンズ16から出た収束光14
aを屈折さくJ−てリニアイメージセンサ22の受光面
22aに投影(、そこに光学像(測定対象孔13の像)
24を結像させる。この場合、反射鏡17は、サーボモ
ータ19の作用により左右に首振り運動するため、その
円形の投影光学像24は、反射鏡17の首振りにつれて
、第4図ない]7第6図に示すようにその円形の一端部
から円形の中央部(中心部)さら°に円形の他端部とい
うように順次ソニー1′イメージセンサ22のホトダイ
オード23の列を横切るようになる。円形の投影光学像
24の一端がダイオードの列23を横切る場合は、第4
図に示すように光を受けるダイオード23の数(矢印で
、jテず)が少ないだめリニアイメージセンサ22から
の出力P;l:小さく、中央部が横切る場合は第5図に
7Jeすように光を受けるダイオード23の数が最大に
なるためリニアイメージセンサ22からの出力は最大に
なる。他端がダイオードの列28を横切る場合(第6図
参照)は再びリニアイメージセンサ22からの出力は小
さくなる。そして、このように変動するイメージセンサ
22の出力のうちの最大の出力(この最大出力時には投
影光学像24の中心線とダイオード列23の中心線とが
一致し投影光学像24の直径がダイオード列23上に位
置する)をもって、測定対象孔13の直径に対応する出
力とすることにより、測定対象孔13の正確な直径が得
られるようになる。すなわち、この装置は、測定に際し
7て、測定対象孔13の中心を、照明用レンズ10から
出る収束光14の中心すなわち、光スポット(第2図参
照)15の中心に正確に位置決めして、円形の投影光学
像24の直径をリニアイメージセンサ22のホトダイオ
ード列23の中心線にiE確に位置決めすることが困難
な実情に鑑み、投影光学像24を上記のように左右に移
動させ、リニアイメージセンサ22の出力のうちの最大
の出力をもって測定対象孔13の、直径に対応する出力
とするものであり、これがその特徴である。このように
することにより、測定時に、測定対象孔13の中心が光
スボソ)15の中心より左右に多少ずれていても、1に
確な直径値が得られるようになるのである。なお、測定
対象孔13の中心のヒ下方向のずれは、リニアイメージ
センサ22のホトダイオード列23が一1=下に伸びて
いることにより吸収され、影響は全く生じない。
駆動するザーボモータ、2oばその駆動棒、21はその
駆動棒20と係合する保合片、22はリニアイメージセ
ンサ(自己走査形撮像素子)で、その受光面222Lに
第3図に示すように複数のホトダイオード23が25μ
間隔で縦1列に設けられている。上記反射鏡17は、第
2図に示すように結像用レンズ16から出た収束光14
aを屈折さくJ−てリニアイメージセンサ22の受光面
22aに投影(、そこに光学像(測定対象孔13の像)
24を結像させる。この場合、反射鏡17は、サーボモ
ータ19の作用により左右に首振り運動するため、その
円形の投影光学像24は、反射鏡17の首振りにつれて
、第4図ない]7第6図に示すようにその円形の一端部
から円形の中央部(中心部)さら°に円形の他端部とい
うように順次ソニー1′イメージセンサ22のホトダイ
オード23の列を横切るようになる。円形の投影光学像
24の一端がダイオードの列23を横切る場合は、第4
図に示すように光を受けるダイオード23の数(矢印で
、jテず)が少ないだめリニアイメージセンサ22から
の出力P;l:小さく、中央部が横切る場合は第5図に
7Jeすように光を受けるダイオード23の数が最大に
なるためリニアイメージセンサ22からの出力は最大に
なる。他端がダイオードの列28を横切る場合(第6図
参照)は再びリニアイメージセンサ22からの出力は小
さくなる。そして、このように変動するイメージセンサ
22の出力のうちの最大の出力(この最大出力時には投
影光学像24の中心線とダイオード列23の中心線とが
一致し投影光学像24の直径がダイオード列23上に位
置する)をもって、測定対象孔13の直径に対応する出
力とすることにより、測定対象孔13の正確な直径が得
られるようになる。すなわち、この装置は、測定に際し
7て、測定対象孔13の中心を、照明用レンズ10から
出る収束光14の中心すなわち、光スポット(第2図参
照)15の中心に正確に位置決めして、円形の投影光学
像24の直径をリニアイメージセンサ22のホトダイオ
ード列23の中心線にiE確に位置決めすることが困難
な実情に鑑み、投影光学像24を上記のように左右に移
動させ、リニアイメージセンサ22の出力のうちの最大
の出力をもって測定対象孔13の、直径に対応する出力
とするものであり、これがその特徴である。このように
することにより、測定時に、測定対象孔13の中心が光
スボソ)15の中心より左右に多少ずれていても、1に
確な直径値が得られるようになるのである。なお、測定
対象孔13の中心のヒ下方向のずれは、リニアイメージ
センサ22のホトダイオード列23が一1=下に伸びて
いることにより吸収され、影響は全く生じない。
この孔径測定装置の電気回路ブロック図を第7図に示す
。図にh・いて、25は電源、6は光源、IOは照明用
レンズ、12はプリント基板、13は測定対象孔、16
は結像用レンズ、17け反射鏡、19はサーボモータ、
26はサーボモータドライバー、27は発振器、28は
スキャン終了信号伝送路、29はタイミング回路、22
はリニアイメージセンサ、30はアンプ、31はコンパ
レータ、32はオーTゲート、33はアンドゲート、3
4は/フトレジスタ、35は計数回路、36は数表示回
路である。
。図にh・いて、25は電源、6は光源、IOは照明用
レンズ、12はプリント基板、13は測定対象孔、16
は結像用レンズ、17け反射鏡、19はサーボモータ、
26はサーボモータドライバー、27は発振器、28は
スキャン終了信号伝送路、29はタイミング回路、22
はリニアイメージセンサ、30はアンプ、31はコンパ
レータ、32はオーTゲート、33はアンドゲート、3
4は/フトレジスタ、35は計数回路、36は数表示回
路である。
つぎに、′第2図および第7図を参照してこの孔径測定
装置の動作説明を行う。すなわち、装置をスイッチオン
してプリント基板12の測定対象孔13を照明用レンズ
10から出る収束光14内に位置決めする。この場合、
収束光14の太さは、絞り板7によって適宜の太さに設
定しつるため、かす(テ測定対象孔13が2個隣接して
いて、太さの大きな収束光14では2個の測定対象孔1
3の全体をその光束内に収めてしまうような時(このよ
うな時には、2個分の投影光学像24がリニアイメージ
センサ22の受光面22aに投影されそれが1個分の直
径として表示されてしまい誤表示がなされる)には、絞
り板7を操作して光源6からの光を直径の小さな穴9を
通1〜で収束光14の光束を小さくし、1個の測定対象
孔13のみを光束内に位置決めすることがなされる。こ
のような測定対象孔13の収束光14内への位置決めに
より、収束光14が測定対象孔13を通過し、結像用レ
ンズ162反射鏡17を経てリニアイメージセンサ22
の受光面22a上に、測定対象孔13の距学像24を結
像−する。この場合、オアゲート32.アンドゲート3
3.シフトレジスタ34(第7図匈照)の作用により、
前回スキャン時のイメージセンサ22の出力信号(シフ
トレジスタ34の出力信号)と今回スギギン時のイメー
パンセンザ22の出力信−号のうちの出力の大きい(幅
の広い)万がシフトレジスタ34に送らね、反射鏡17
が首1tHり動作を終った時点ではシフトレジスタ34
にはイメージセンサ22の出力信号のうちの最−(値(
最大幅)が記憶されている。首振り動作が終った4時点
で、ンー7トレジスタ34に記憶されている信号は計数
回路に送られ、数値処理され数表示回路36で表示(直
径表示)される。数表7J<回路36は、表示数値を記
憶する機能を持っておh、次回の醒1辰り終r後の計数
時捷でその数値を表示し−7続け6)。すなわち、醍振
り動作が終るごノーに数表ノド回路36の数値は入れか
わる。したが−T)で、第7図のA部におけるイメージ
センサ22の出フッ信5−3(時系列信は)は、計数回
路35の手Mの部分Isでは、第9図のように途中から
最大値を示したま凍になる。なお、第8図および第9図
において破線で示す丸は投影光学像24の輪郭である。
装置の動作説明を行う。すなわち、装置をスイッチオン
してプリント基板12の測定対象孔13を照明用レンズ
10から出る収束光14内に位置決めする。この場合、
収束光14の太さは、絞り板7によって適宜の太さに設
定しつるため、かす(テ測定対象孔13が2個隣接して
いて、太さの大きな収束光14では2個の測定対象孔1
3の全体をその光束内に収めてしまうような時(このよ
うな時には、2個分の投影光学像24がリニアイメージ
センサ22の受光面22aに投影されそれが1個分の直
径として表示されてしまい誤表示がなされる)には、絞
り板7を操作して光源6からの光を直径の小さな穴9を
通1〜で収束光14の光束を小さくし、1個の測定対象
孔13のみを光束内に位置決めすることがなされる。こ
のような測定対象孔13の収束光14内への位置決めに
より、収束光14が測定対象孔13を通過し、結像用レ
ンズ162反射鏡17を経てリニアイメージセンサ22
の受光面22a上に、測定対象孔13の距学像24を結
像−する。この場合、オアゲート32.アンドゲート3
3.シフトレジスタ34(第7図匈照)の作用により、
前回スキャン時のイメージセンサ22の出力信号(シフ
トレジスタ34の出力信号)と今回スギギン時のイメー
パンセンザ22の出力信−号のうちの出力の大きい(幅
の広い)万がシフトレジスタ34に送らね、反射鏡17
が首1tHり動作を終った時点ではシフトレジスタ34
にはイメージセンサ22の出力信号のうちの最−(値(
最大幅)が記憶されている。首振り動作が終った4時点
で、ンー7トレジスタ34に記憶されている信号は計数
回路に送られ、数値処理され数表示回路36で表示(直
径表示)される。数表7J<回路36は、表示数値を記
憶する機能を持っておh、次回の醒1辰り終r後の計数
時捷でその数値を表示し−7続け6)。すなわち、醍振
り動作が終るごノーに数表ノド回路36の数値は入れか
わる。したが−T)で、第7図のA部におけるイメージ
センサ22の出フッ信5−3(時系列信は)は、計数回
路35の手Mの部分Isでは、第9図のように途中から
最大値を示したま凍になる。なお、第8図および第9図
において破線で示す丸は投影光学像24の輪郭である。
なお、上記の実施例は、反射鏡17f左右に首振り駆動
するようにしているが、首振り駆動の方向は別に制限す
るものではない。まノζ、イメージセンサ22としてば
CCD (ヂャージカップルドデバイス)をセンサ素子
として用いたものを使用I−でもよい。
するようにしているが、首振り駆動の方向は別に制限す
るものではない。まノζ、イメージセンサ22としてば
CCD (ヂャージカップルドデバイス)をセンサ素子
として用いたものを使用I−でもよい。
この発明の孔径測定装置は、以上のように構成されてい
るため、測定台−Lに測定対象体を置いてその測定対象
孔を照明用レンズから出る収束光内に位置決めするだけ
で、直径が自動的に数値表示される。したがって、操作
が極めて容易であり、かつ測定に熟練を要しない。その
うえ、数値表示がなされるため読み取り誤差が全く生じ
ない。件だ、これ″までのように測定対象孔に測定f・
を挿入して測定するのではなく、光学的に測定するため
、測定対象孔が測定時に拡大し、拡大した直径が測定さ
れるというような事態の発生も生じないのである。
るため、測定台−Lに測定対象体を置いてその測定対象
孔を照明用レンズから出る収束光内に位置決めするだけ
で、直径が自動的に数値表示される。したがって、操作
が極めて容易であり、かつ測定に熟練を要しない。その
うえ、数値表示がなされるため読み取り誤差が全く生じ
ない。件だ、これ″までのように測定対象孔に測定f・
を挿入して測定するのではなく、光学的に測定するため
、測定対象孔が測定時に拡大し、拡大した直径が測定さ
れるというような事態の発生も生じないのである。
第1図r↓従来例の構成図、第2図はこの発明の一実施
例の構成図、第3図はそれに用いられているリニアイメ
ージセンサの拡大平面図、第4図ない(〜第6図は動作
説明図、第7図は第2図の電気回路図、第8図はリニア
イメージセンサの時系列出勾信号図、第9図は計数回路
に人力する信号の時系列信号図である。 6・−・距源 7・・・絞り板 9・・・複数の穴lO
・・・照明用l/ンズ 11・・−測定台 13・・・
測定対象孔 14・・・照明用1/ンズから出る収束光
゛16・・・結像用レンズ 17・・・反射鏡 22・
・・リニアイメージセンサ 22a・・・リニアイメー
ジセンサの受光量 23・・・ホトダイオード 24・
・・投影蓋学像 35・・・計数回路 36・・・数表
示回路特許出願人工ヌシー産業株式会社 代理人 弁理士 西 藤 征 彦 20− 第1図 第3図 第2図 ノ ア 第7図 第8図 第9図
例の構成図、第3図はそれに用いられているリニアイメ
ージセンサの拡大平面図、第4図ない(〜第6図は動作
説明図、第7図は第2図の電気回路図、第8図はリニア
イメージセンサの時系列出勾信号図、第9図は計数回路
に人力する信号の時系列信号図である。 6・−・距源 7・・・絞り板 9・・・複数の穴lO
・・・照明用l/ンズ 11・・−測定台 13・・・
測定対象孔 14・・・照明用1/ンズから出る収束光
゛16・・・結像用レンズ 17・・・反射鏡 22・
・・リニアイメージセンサ 22a・・・リニアイメー
ジセンサの受光量 23・・・ホトダイオード 24・
・・投影蓋学像 35・・・計数回路 36・・・数表
示回路特許出願人工ヌシー産業株式会社 代理人 弁理士 西 藤 征 彦 20− 第1図 第3図 第2図 ノ ア 第7図 第8図 第9図
Claims (3)
- (1)光源と、この光源の光を収束させる照明用レンズ
と、直径の異なる複数の穴を有l〜ト記光源の光を複数
の穴のうちの任意の穴を通して絞った状態で照明用レン
ズに到達させる絞り板と、測定対象体を支受17てその
測定対象孔を上記照明用レンズから出る収束光内に位置
決めする測定台と、手記測定対象孔を通過した照明用レ
ンズの光を再度収束する結像用レンズと、複数のセンサ
素子が列状に設けられている受光面で光を受光し光を受
シすプζ七ノ復素子からのみ信号を出力させこれをセン
ザ出力とするイメージセンサと、−1:記結像用し〉′
ズから出/社収束光を屈折させて一上記イメージセン→
ノの受光面に投光し、光学像を結像させる反射鏡と、こ
の光学像がイメージセンサのセンサ素子列を横切るよう
に反射鏡を酢振り駆動する反射境駆動士段と、【ザイク
ルの反射鏡の首振り中でイメージセンサからの最大出力
を選択記憶1−出力する信号回路と、この信号出力回路
の出力信号により孔径を表示する表示回路を備えたこと
を特徴とする孔径測定装置。 - (2) イメージセンサのセンサ素子が縦1列に配設
されており、反射鏡が水平に首振り駆動するように設定
されている特許請求の範囲第1項記載の孔径測定装置。 - (3) イメージセンサのセンサ素イがホトダイオー
ドである特許請求の範囲第1項一またけ第2項記載の孔
径測定装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58034246A JPS59159004A (ja) | 1983-03-01 | 1983-03-01 | 孔径測定装置 |
US06/582,845 US4687328A (en) | 1983-03-01 | 1984-02-23 | Bore measuring system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58034246A JPS59159004A (ja) | 1983-03-01 | 1983-03-01 | 孔径測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59159004A true JPS59159004A (ja) | 1984-09-08 |
Family
ID=12408801
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58034246A Pending JPS59159004A (ja) | 1983-03-01 | 1983-03-01 | 孔径測定装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4687328A (ja) |
JP (1) | JPS59159004A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2014088261A (ja) * | 2012-10-31 | 2014-05-15 | Mitsubishi Electric Corp | エレベータ装置 |
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1983
- 1983-03-01 JP JP58034246A patent/JPS59159004A/ja active Pending
-
1984
- 1984-02-23 US US06/582,845 patent/US4687328A/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
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---|---|
US4687328A (en) | 1987-08-18 |
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