JP3286878B2 - 液晶表示装置およびその製造方法 - Google Patents
液晶表示装置およびその製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示装置およびそ
の製造方法に関する。さらに詳しくは、薄膜トランジス
タ（以下、ＴＦＴと略す）アレイ基板を用いたＴＦＴ液
晶表示装置において、ゲート電極線の腐食が防止された
ＴＦＴ液晶表示装置およびその製造方法に関する。
の製造方法に関する。さらに詳しくは、薄膜トランジス
タ（以下、ＴＦＴと略す）アレイ基板を用いたＴＦＴ液
晶表示装置において、ゲート電極線の腐食が防止された
ＴＦＴ液晶表示装置およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶表示装置は、通常２枚の対向
している基板の間に液晶が狭持された構成となってお
り、この液晶に電圧を印加する方法で使用される。この
際、一方の基板にマトリクス状に配列した画素電極を設
け、これらの画素の電位を選択的に動作するために各画
素毎にＦＥＴ（電界効果トランジスタ）などの非線型特
性を有する能動素子を設けたＴＦＴ液晶表示装置はとく
に良好な画質がえらえる。
している基板の間に液晶が狭持された構成となってお
り、この液晶に電圧を印加する方法で使用される。この
際、一方の基板にマトリクス状に配列した画素電極を設
け、これらの画素の電位を選択的に動作するために各画
素毎にＦＥＴ（電界効果トランジスタ）などの非線型特
性を有する能動素子を設けたＴＦＴ液晶表示装置はとく
に良好な画質がえらえる。
【０００３】このＴＦＴ液晶表示装置において、ゲート
電極線はたとえばクロム、アルミニウム、チタン、タン
タル、モリブデンなどの金属で形成される。電極線部は
液晶表示装置が大型化、高精細化するに従い、比抵抗が
小さくかつ細線化する必要があり、前記金属のうちでも
比抵抗の小さいアルミニウムまたはアルミニウムを主成
分とする合金が使われることが多くなっているが、これ
らは腐食されやすいという問題を一般に有している。
電極線はたとえばクロム、アルミニウム、チタン、タン
タル、モリブデンなどの金属で形成される。電極線部は
液晶表示装置が大型化、高精細化するに従い、比抵抗が
小さくかつ細線化する必要があり、前記金属のうちでも
比抵抗の小さいアルミニウムまたはアルミニウムを主成
分とする合金が使われることが多くなっているが、これ
らは腐食されやすいという問題を一般に有している。
【０００４】図４は、従来の液晶表示装置におけるＴＦ
Ｔアレイ基板のゲート電極線と蓄積容量電極との接続状
態を示す概略平面図である。
Ｔアレイ基板のゲート電極線と蓄積容量電極との接続状
態を示す概略平面図である。
【０００５】図４において、１ｂはアルミニウムからな
るゲート電極線、２ｂはゲート電極線を被覆している耐
食性金属、３は耐食性金属２ｂの一部を被覆している蓄
積容量電極を示している。なお、ゲート電極線１ｂは耐
食性金属２ｂの下方にあるので、作図されていない。
るゲート電極線、２ｂはゲート電極線を被覆している耐
食性金属、３は耐食性金属２ｂの一部を被覆している蓄
積容量電極を示している。なお、ゲート電極線１ｂは耐
食性金属２ｂの下方にあるので、作図されていない。
【０００６】図５は、図４のＡ−Ａ線で切断したときの
概略断面図である。
概略断面図である。
【０００７】図５において、１ｂ、２ｂおよび３は前記
と同じである。なお、図５においては透明絶縁基板は図
示されていない。
と同じである。なお、図５においては透明絶縁基板は図
示されていない。
【０００８】図６は、従来の蓄積容量電極のパターニン
グを説明するための概略説明図である。
グを説明するための概略説明図である。
【０００９】図６において１ｂ、２ｂおよび３は前記と
同じであり、４はレジスト、５はエッチング液、６は耐
食性金属２ｂに生じたピンホールを誇張して示してい
る。
同じであり、４はレジスト、５はエッチング液、６は耐
食性金属２ｂに生じたピンホールを誇張して示してい
る。
【００１０】ＴＦＴ液晶表示装置を製造するばあい、ゲ
ート電極線のパターンを形成したのち、透明導電膜から
なる蓄積容量電極などのパターンを形成することが多い
が、蓄積容量電極のパターニングには、塩酸、硝酸を主
成分とする腐食性の大きなエッチング液を使用するの
で、アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とする合
金からなるゲート電極線が腐食されるという問題があっ
た。
ート電極線のパターンを形成したのち、透明導電膜から
なる蓄積容量電極などのパターンを形成することが多い
が、蓄積容量電極のパターニングには、塩酸、硝酸を主
成分とする腐食性の大きなエッチング液を使用するの
で、アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とする合
金からなるゲート電極線が腐食されるという問題があっ
た。
【００１１】そこで、図６に示されているように、ゲー
ト電極線１ｂの上面をクロム、タングステン、タンタ
ル、チタン、モリブデンなどの耐食性金属２ｂで被覆し
たのち、蓄積容量電極３のパターニングを行っている。
ト電極線１ｂの上面をクロム、タングステン、タンタ
ル、チタン、モリブデンなどの耐食性金属２ｂで被覆し
たのち、蓄積容量電極３のパターニングを行っている。
【００１２】しかし、このばあいでも、耐食性金属２ｂ
にピンホール６やパターン欠陥が存在すると、その部分
からエッチング液５が浸入するので、前記問題の解決に
は至っておらず、製品として致命的な欠陥となり歩留ま
りを低下させている。
にピンホール６やパターン欠陥が存在すると、その部分
からエッチング液５が浸入するので、前記問題の解決に
は至っておらず、製品として致命的な欠陥となり歩留ま
りを低下させている。
【００１３】一方、ゲート電極線と蓄積容量電極とをチ
ッ化ケイ素などの絶縁膜で隔離し、別レイヤーで形成す
る方法もあるが、この方法ではコンタクトホールを形成
する工程が必要となり、工程数が増加するので好ましく
ない。
ッ化ケイ素などの絶縁膜で隔離し、別レイヤーで形成す
る方法もあるが、この方法ではコンタクトホールを形成
する工程が必要となり、工程数が増加するので好ましく
ない。
【００１４】また、特開平３−１６０４１７号公報で
は、金属膜導体とＩＴＯとの間に第２の金属膜導体層を
設けて、金属膜表面の酸化を防止しようとする記載があ
るが、ＩＴＯのパターンが第１の金属（アルミニウムパ
ターン）を完全に被覆していないので、エッチング液の
しみ込みによる腐食が生じる結果、安価な塩酸、硝酸な
どのエッチング液が使用できないという欠点がある。
は、金属膜導体とＩＴＯとの間に第２の金属膜導体層を
設けて、金属膜表面の酸化を防止しようとする記載があ
るが、ＩＴＯのパターンが第１の金属（アルミニウムパ
ターン）を完全に被覆していないので、エッチング液の
しみ込みによる腐食が生じる結果、安価な塩酸、硝酸な
どのエッチング液が使用できないという欠点がある。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、蓄積
容量電極と比抵抗の小さいアルミニウム系金属からなる
ゲート電極線とを同一レイヤーで形成してえられ、かつ
ゲート電極線がエッチング液により腐食されていない液
晶表示装置およびその製造方法を提供することにある。
容量電極と比抵抗の小さいアルミニウム系金属からなる
ゲート電極線とを同一レイヤーで形成してえられ、かつ
ゲート電極線がエッチング液により腐食されていない液
晶表示装置およびその製造方法を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明は、透明絶縁基板
上に並設された複数のゲート電極線、該ゲート電極線に
交差する複数のソース電極線、ゲート電極線とソース電
極線との交差部に設けられた非線形特性を有する能動素
子、透明導電膜からなる表示電極および透明導電膜から
なる蓄積容量電極を有する薄膜トランジスタアレイ基板
と、該薄膜トランジスタアレイ基板に対向しかつ薄膜ト
ランジスタアレイ基板に対向している面に透明導電膜を
有する対向電極基板と、薄膜トランジスタアレイ基板お
よび対向電極基板間に狭持された液晶とからなる液晶表
示装置において、該ゲート電極線の一部または全部がア
ルミニウム系金属で形成されており、該ゲート電極線
が、前記蓄積容量電極を形成するため前記透明導電膜を
エッチングする塩酸、硝酸等を主成分とするエッチング
液に対して耐食性を有し、クロム、タングステン、タン
タンル、チタン、もしくはモリブデンの単体またはこれ
らの少なくとも１種を含む合金より成る耐食性金属によ
り被覆され、さらに少なくとも該ゲート電極線が覆われ
るように、該耐食性金属が前記蓄積容量電極により被覆
されていることを特徴とする液晶表示装置に関する。
上に並設された複数のゲート電極線、該ゲート電極線に
交差する複数のソース電極線、ゲート電極線とソース電
極線との交差部に設けられた非線形特性を有する能動素
子、透明導電膜からなる表示電極および透明導電膜から
なる蓄積容量電極を有する薄膜トランジスタアレイ基板
と、該薄膜トランジスタアレイ基板に対向しかつ薄膜ト
ランジスタアレイ基板に対向している面に透明導電膜を
有する対向電極基板と、薄膜トランジスタアレイ基板お
よび対向電極基板間に狭持された液晶とからなる液晶表
示装置において、該ゲート電極線の一部または全部がア
ルミニウム系金属で形成されており、該ゲート電極線
が、前記蓄積容量電極を形成するため前記透明導電膜を
エッチングする塩酸、硝酸等を主成分とするエッチング
液に対して耐食性を有し、クロム、タングステン、タン
タンル、チタン、もしくはモリブデンの単体またはこれ
らの少なくとも１種を含む合金より成る耐食性金属によ
り被覆され、さらに少なくとも該ゲート電極線が覆われ
るように、該耐食性金属が前記蓄積容量電極により被覆
されていることを特徴とする液晶表示装置に関する。
【００１７】また本発明は、前記アルミニウム系金属
が、ケイ素、銅、亜鉛、マグネシウム、マンガン、ジル
コニウム、鉄、モリブデン、チタンまたはこれらの２種
以上とアルミニウムとの合金であることが好ましい。
が、ケイ素、銅、亜鉛、マグネシウム、マンガン、ジル
コニウム、鉄、モリブデン、チタンまたはこれらの２種
以上とアルミニウムとの合金であることが好ましい。
【００１９】さらに本発明は、透明絶縁基板上に複数の
ゲート電極線を形成し、このゲート電極線に複数のソー
ス電極線を交差させ、ゲート電極線とソース電極線との
交差部に非線形特性を有する能動素子、透明導電膜から
なる表示電極および透明導電膜からなる蓄積容量電極を
形成した薄膜トランジスタアレイ基板と、該薄膜トラン
ジスタアレイ基板に対向させ、かつ薄膜トランジスタア
レイ基板に対向している面に透明導電膜を形成した対向
電極基板と、薄膜トランジスタアレイ基板および対向電
極基板間に狭持した液晶とを組み合わせ、該ゲート電極
線の一部または全部をアルミニウム系金属で形成し、該
ゲート電極線を、前記蓄積容量電極を形成するため前記
透明導電膜をエッチングする塩酸、硝酸等を主成分とす
るエッチング液に対して耐食性を有し、クロム、タング
ステン、タンタンル、チタン、もしくはモリブデンの単
体またはこれらの少なくとも１種を含む合金より成る耐
食性金属により被覆した液晶表示装置を製造するに際し
て、さらに少なくとも該ゲート電極線を覆うように、該
耐食性金属を前記蓄積容量電極により被覆することを特
徴とする液晶表示装置の製造方法に関する。
ゲート電極線を形成し、このゲート電極線に複数のソー
ス電極線を交差させ、ゲート電極線とソース電極線との
交差部に非線形特性を有する能動素子、透明導電膜から
なる表示電極および透明導電膜からなる蓄積容量電極を
形成した薄膜トランジスタアレイ基板と、該薄膜トラン
ジスタアレイ基板に対向させ、かつ薄膜トランジスタア
レイ基板に対向している面に透明導電膜を形成した対向
電極基板と、薄膜トランジスタアレイ基板および対向電
極基板間に狭持した液晶とを組み合わせ、該ゲート電極
線の一部または全部をアルミニウム系金属で形成し、該
ゲート電極線を、前記蓄積容量電極を形成するため前記
透明導電膜をエッチングする塩酸、硝酸等を主成分とす
るエッチング液に対して耐食性を有し、クロム、タング
ステン、タンタンル、チタン、もしくはモリブデンの単
体またはこれらの少なくとも１種を含む合金より成る耐
食性金属により被覆した液晶表示装置を製造するに際し
て、さらに少なくとも該ゲート電極線を覆うように、該
耐食性金属を前記蓄積容量電極により被覆することを特
徴とする液晶表示装置の製造方法に関する。
【００２０】さらにまた本発明は、前記アルミニウム系
金属として、ケイ素、銅、亜鉛、マグネシウム、マンガ
ン、ジルコニウム、鉄、モリブデン、チタンまたはこれ
らの２種以上とアルミニウムとの合金を用いることが好
ましい。
金属として、ケイ素、銅、亜鉛、マグネシウム、マンガ
ン、ジルコニウム、鉄、モリブデン、チタンまたはこれ
らの２種以上とアルミニウムとの合金を用いることが好
ましい。
【作用】請求項１記載の発明によれば、ゲート電極線の
一部または全部がアルミニウム系金属で形成されている
ため、抵抗が低く、線幅を細くできるので、開口性に優
れている。
一部または全部がアルミニウム系金属で形成されている
ため、抵抗が低く、線幅を細くできるので、開口性に優
れている。
【００２３】また、ゲート電極線が耐食性金属により被
覆されており、さらに少なくとも該ゲート電極線が覆わ
れるように、該耐食性金属が前記蓄積容量電極により被
覆されているため、従来のように耐食性金属にピンホー
ルがあっても、本発明では、エッチング時には透明導電
膜はレジストにより被覆されているので、エッチング液
の浸入をさらに防ぐことができる。
覆されており、さらに少なくとも該ゲート電極線が覆わ
れるように、該耐食性金属が前記蓄積容量電極により被
覆されているため、従来のように耐食性金属にピンホー
ルがあっても、本発明では、エッチング時には透明導電
膜はレジストにより被覆されているので、エッチング液
の浸入をさらに防ぐことができる。
【００２４】また、ゲート電極線と透明導電膜とが同一
レイヤーで形成されているので、工程数を増加させずに
えられる液晶表示装置である。また、、耐食性金属とし
てクロム、タングステン、タンタル、チタンもしくはモ
リブデンの単体またはこれらの少なくとも１種を含む合
金が用いられているため、ＩＴＯエッチング液に対して
耐食性があるのでレジストパターンに欠陥がありエッチ
ング液がしみ込んだばあいでも、ゲート配線が腐食され
ないという点に優れている。
レイヤーで形成されているので、工程数を増加させずに
えられる液晶表示装置である。また、、耐食性金属とし
てクロム、タングステン、タンタル、チタンもしくはモ
リブデンの単体またはこれらの少なくとも１種を含む合
金が用いられているため、ＩＴＯエッチング液に対して
耐食性があるのでレジストパターンに欠陥がありエッチ
ング液がしみ込んだばあいでも、ゲート配線が腐食され
ないという点に優れている。
【００２５】請求項２記載の発明によれば、アルミニウ
ム系金属としてケイ素、銅、亜鉛、マグネシウム、マン
ガン、ジルコニウム、鉄、モリブデン、チタンまたはこ
れらの２種以上とアルミニウムとの合金が用いられてい
るため、耐ヒロック性、耐腐食性に優れている。
ム系金属としてケイ素、銅、亜鉛、マグネシウム、マン
ガン、ジルコニウム、鉄、モリブデン、チタンまたはこ
れらの２種以上とアルミニウムとの合金が用いられてい
るため、耐ヒロック性、耐腐食性に優れている。
【００２７】請求項３記載の発明によれば、ゲート電極
線の一部または全部をアルミニウム系金属を用いて形成
しているため、抵抗が低く、線幅を細くできるので開口
性に優れている。
線の一部または全部をアルミニウム系金属を用いて形成
しているため、抵抗が低く、線幅を細くできるので開口
性に優れている。
【００２８】また、ゲート電極線を耐食性金属により被
覆し、さらに少なくとも該ゲート電極線を覆うように、
該耐食性金属を前記蓄積容量電極により被覆しているた
め、従来のように耐食性金属にピンホールがあっても、
本発明では、エッチング時には透明導電膜をレジストが
被覆しているので、エッチング液の浸入をさらに防ぐこ
とができる。
覆し、さらに少なくとも該ゲート電極線を覆うように、
該耐食性金属を前記蓄積容量電極により被覆しているた
め、従来のように耐食性金属にピンホールがあっても、
本発明では、エッチング時には透明導電膜をレジストが
被覆しているので、エッチング液の浸入をさらに防ぐこ
とができる。
【００２９】また、ゲート電極線と透明導電膜とを同一
レイヤーで形成するので、工程数を増加させずに液晶表
示装置を製造できる。また、耐食性金属としてクロム、
タングステン、タンタル、チタンもしくはモリブデンの
単体またはこれらの少なくとも１種を含む合金を用いる
ため、ＩＴＯエッチング液に対して耐食性があるのでレ
ジストパターンに欠陥がありエッチング液がしみ込んだ
ばあいでも、ゲート電極線が腐食されないという点に優
れている。
レイヤーで形成するので、工程数を増加させずに液晶表
示装置を製造できる。また、耐食性金属としてクロム、
タングステン、タンタル、チタンもしくはモリブデンの
単体またはこれらの少なくとも１種を含む合金を用いる
ため、ＩＴＯエッチング液に対して耐食性があるのでレ
ジストパターンに欠陥がありエッチング液がしみ込んだ
ばあいでも、ゲート電極線が腐食されないという点に優
れている。
【００３０】請求項４記載の発明によれば、アルミニウ
ム系金属としてケイ素、銅、亜鉛、マグネシウム、マン
ガン、ジルコニウム、鉄、モリブデン、チタンまたはこ
れらの２種以上とアルミニウムとの合金を用いるため、
耐ヒロック性、耐腐食性に優れている。
ム系金属としてケイ素、銅、亜鉛、マグネシウム、マン
ガン、ジルコニウム、鉄、モリブデン、チタンまたはこ
れらの２種以上とアルミニウムとの合金を用いるため、
耐ヒロック性、耐腐食性に優れている。
【００３２】
【実施例】つぎに本発明の一実施例を図に基づいて説明
する。
する。
【００３３】図１は本発明の液晶表示装置におけるＴＦ
Ｔアレイ基板のゲート電極線と蓄積容量電極との接続状
態を示す概略平面図である。
Ｔアレイ基板のゲート電極線と蓄積容量電極との接続状
態を示す概略平面図である。
【００３４】図１において、１ａはゲート電極線、２ａ
は耐食性金属、３は蓄積容量電極を示す。たたし、ゲー
ト電極線１ａは耐食性金属２ａの下方にあるので、図１
におては作図されていない。
は耐食性金属、３は蓄積容量電極を示す。たたし、ゲー
ト電極線１ａは耐食性金属２ａの下方にあるので、図１
におては作図されていない。
【００３５】図２は、図１におけるＡ−Ａ線で切断した
ときの概略説明図である。
ときの概略説明図である。
【００３６】図２において、１ａ、２ａおよび３は前記
と同じである。なお、透明絶縁基板は図示されていな
い。
と同じである。なお、透明絶縁基板は図示されていな
い。
【００３７】本発明における液晶表示装置は、透明絶縁
基板上に並設された複数のゲート電極線、該ゲート電極
線に交差する複数のソース電極線、ゲート電極線とソー
ス電極線との交差部に設けられた非線形特性を有する能
動素子、透明導電膜からなる表示電極および透明導電膜
からなる蓄積容量電極を有する薄膜トランジスタアレイ
基板と、該薄膜トランジスタアレイ基板に対向しかつ薄
膜トランジスタアレイ基板に対向している面に透明導電
膜を有する対向電極基板と、薄膜トランジスタアレイ基
板および対向電極基板間に狭持された液晶とからなる液
晶表示装置であって、ゲート電極線の一部または全部が
アルミニウム系金属で形成されており、該ゲート電極線
が耐食性金属により被覆されており、さらに少なくとも
該ゲート電極線が覆われるように、該耐食性金属が前記
蓄積容量電極により被覆されている。
基板上に並設された複数のゲート電極線、該ゲート電極
線に交差する複数のソース電極線、ゲート電極線とソー
ス電極線との交差部に設けられた非線形特性を有する能
動素子、透明導電膜からなる表示電極および透明導電膜
からなる蓄積容量電極を有する薄膜トランジスタアレイ
基板と、該薄膜トランジスタアレイ基板に対向しかつ薄
膜トランジスタアレイ基板に対向している面に透明導電
膜を有する対向電極基板と、薄膜トランジスタアレイ基
板および対向電極基板間に狭持された液晶とからなる液
晶表示装置であって、ゲート電極線の一部または全部が
アルミニウム系金属で形成されており、該ゲート電極線
が耐食性金属により被覆されており、さらに少なくとも
該ゲート電極線が覆われるように、該耐食性金属が前記
蓄積容量電極により被覆されている。
【００３８】図３は、本発明における蓄積容量電極のパ
ターニングを説明するための模式図である。ただし、図
３はエッチング直後の状態を示している。
ターニングを説明するための模式図である。ただし、図
３はエッチング直後の状態を示している。
【００３９】図３において、１ａ、２ａおよび３は前記
と同じであり、４はレジスト、５はエッチング液を示
し、６は耐食性金属に生じたピンホールを誇張して示し
てある。
と同じであり、４はレジスト、５はエッチング液を示
し、６は耐食性金属に生じたピンホールを誇張して示し
てある。
【００４０】本発明における液晶表示装置の製造方法で
は、透明絶縁基板上に複数のゲート電極線を形成し、こ
のゲート電極線に複数のソース電極線を交差させ、ゲー
ト電極線とソース電極線との交差部に非線形特性を有す
る能動素子、透明導電膜からなる表示電極および透明導
電膜からなる蓄積容量電極を形成した薄膜トランジスタ
アレイ基板と、該薄膜トランジスタアレイ基板に対向さ
せ、かつ薄膜トランジスタアレイ基板に対向している面
に透明導電膜を形成した対向電極基板と、薄膜トランジ
スタアレイ基板および対向電極基板間に狭持した液晶と
を組み合わせて液晶表示装置を製造するに際して、ゲー
ト電極線１ａと蓄積容量電極３との接続方法として、ま
ず透明絶縁基板上にアルミニウム系金属をスパッタ蒸着
法などにより成膜（膜の厚さ５００〜５０００Å）した
のちパターニングしてゲート電極線１ａを形成する。つ
ぎに耐食性金属２ａをスパッタ蒸着法などにより成膜
（膜の厚さ１００〜５０００Å）したのちパターニング
してゲート電極線１ａを被覆する。さらに、図３に示す
ように透明導電膜をスパッタ法などにより成膜（膜の厚
さ１００〜３０００Å）したのち、レジスト４を塗布法
などにより成膜（膜の厚さ５０００〜２００００Å）し
てゲート電極線１ａを覆うようにパターニングし、塩
酸、硝酸などを主成分としたエッチング液５でエッチン
グを行い蓄積容量電極３を形成する。
は、透明絶縁基板上に複数のゲート電極線を形成し、こ
のゲート電極線に複数のソース電極線を交差させ、ゲー
ト電極線とソース電極線との交差部に非線形特性を有す
る能動素子、透明導電膜からなる表示電極および透明導
電膜からなる蓄積容量電極を形成した薄膜トランジスタ
アレイ基板と、該薄膜トランジスタアレイ基板に対向さ
せ、かつ薄膜トランジスタアレイ基板に対向している面
に透明導電膜を形成した対向電極基板と、薄膜トランジ
スタアレイ基板および対向電極基板間に狭持した液晶と
を組み合わせて液晶表示装置を製造するに際して、ゲー
ト電極線１ａと蓄積容量電極３との接続方法として、ま
ず透明絶縁基板上にアルミニウム系金属をスパッタ蒸着
法などにより成膜（膜の厚さ５００〜５０００Å）した
のちパターニングしてゲート電極線１ａを形成する。つ
ぎに耐食性金属２ａをスパッタ蒸着法などにより成膜
（膜の厚さ１００〜５０００Å）したのちパターニング
してゲート電極線１ａを被覆する。さらに、図３に示す
ように透明導電膜をスパッタ法などにより成膜（膜の厚
さ１００〜３０００Å）したのち、レジスト４を塗布法
などにより成膜（膜の厚さ５０００〜２００００Å）し
てゲート電極線１ａを覆うようにパターニングし、塩
酸、硝酸などを主成分としたエッチング液５でエッチン
グを行い蓄積容量電極３を形成する。
【００４１】前記エッチング工程において、耐食性金属
２ａにピンホール６が存在していたとしても、ゲート電
極線１ａはさらに蓄積容量電極３およびレジスト４がこ
の順で被覆されているので、前記エッチング液５により
ゲート電極線１ａが腐食されることがないので不良品が
発生しにくく、またゲート電極線１ａと蓄積容量電極３
とを同一レイヤーで形成できるので工程数を増加させる
必要がない。
２ａにピンホール６が存在していたとしても、ゲート電
極線１ａはさらに蓄積容量電極３およびレジスト４がこ
の順で被覆されているので、前記エッチング液５により
ゲート電極線１ａが腐食されることがないので不良品が
発生しにくく、またゲート電極線１ａと蓄積容量電極３
とを同一レイヤーで形成できるので工程数を増加させる
必要がない。
【００４２】前記アルミニウム系金属としては、たとえ
ばケイ素、銅、亜鉛、マグネシウム、マンガン、ジルコ
ニウム、鉄、モリブデン、チタンまたはこれらの２種以
上とアルミニウムとの合金（ただし、アルミニウムを主
成分とする）、アルミニウムなどがあげられるが耐ヒロ
ック性、耐腐食性の点からケイ素と銅とアルミニウムと
の合金、亜鉛とアルミニウムとの合金、マンガンとアル
ミニウムとの合金が好ましく、ケイ素と銅とアルミニウ
ムとの合金がさらに好ましい。
ばケイ素、銅、亜鉛、マグネシウム、マンガン、ジルコ
ニウム、鉄、モリブデン、チタンまたはこれらの２種以
上とアルミニウムとの合金（ただし、アルミニウムを主
成分とする）、アルミニウムなどがあげられるが耐ヒロ
ック性、耐腐食性の点からケイ素と銅とアルミニウムと
の合金、亜鉛とアルミニウムとの合金、マンガンとアル
ミニウムとの合金が好ましく、ケイ素と銅とアルミニウ
ムとの合金がさらに好ましい。
【００４３】前記耐食性金属としては、たとえばクロ
ム、タングステン、タンタル、チタンもしくはモリブデ
ンの単体またはこれらの少なくとも１種を含む合金があ
げられるが、経済性、加工性の点からクロム、タンタ
ル、チタン、モリブデンが好ましく、クロム、タンタル
がさらに好ましい。
ム、タングステン、タンタル、チタンもしくはモリブデ
ンの単体またはこれらの少なくとも１種を含む合金があ
げられるが、経済性、加工性の点からクロム、タンタ
ル、チタン、モリブデンが好ましく、クロム、タンタル
がさらに好ましい。
【００４４】本発明においては、前記蓄積容量電極３を
形成したのち、通常の方法によりレジストの除去、ゲー
ト絶縁膜の形成、画素電極の形成、半導体層の形成、ソ
ースおよびドレイン電極の形成などを行うことにより本
発明の液晶表示装置を製造することができる。
形成したのち、通常の方法によりレジストの除去、ゲー
ト絶縁膜の形成、画素電極の形成、半導体層の形成、ソ
ースおよびドレイン電極の形成などを行うことにより本
発明の液晶表示装置を製造することができる。
【００４５】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、ゲート電
極線の一部または全部がアルミニウム系金属で形成され
ているため、開口性に優れている。
極線の一部または全部がアルミニウム系金属で形成され
ているため、開口性に優れている。
【００４６】また、ゲート電極線が耐食性金属により被
覆されており、さらに少なくとも該ゲート電極線が覆わ
れるように、該耐食性金属が前記蓄積容量電極により被
覆されているため、従来のように耐食性金属にピンホー
ルがあっても、本発明では、エッチング時には透明導電
膜はレジストにより被覆されているので、エッチング液
の浸入をさらに防ぐことができる。
覆されており、さらに少なくとも該ゲート電極線が覆わ
れるように、該耐食性金属が前記蓄積容量電極により被
覆されているため、従来のように耐食性金属にピンホー
ルがあっても、本発明では、エッチング時には透明導電
膜はレジストにより被覆されているので、エッチング液
の浸入をさらに防ぐことができる。
【００４７】また、ゲート電極線と透明導電膜とが同一
レイヤーで形成されているので、工程数を増加せずにえ
られる液晶表示装置である。また、耐食性金属としてク
ロム、タングステン、タンタル、チタンもしくはモリブ
デンの単体またはこれらの少なくとも１種を含む合金が
用いられているため、レジストパターンに欠陥があり、
エッチング液がしみ込んだばあいでもゲート電極線が腐
食されないという点に優れている。
レイヤーで形成されているので、工程数を増加せずにえ
られる液晶表示装置である。また、耐食性金属としてク
ロム、タングステン、タンタル、チタンもしくはモリブ
デンの単体またはこれらの少なくとも１種を含む合金が
用いられているため、レジストパターンに欠陥があり、
エッチング液がしみ込んだばあいでもゲート電極線が腐
食されないという点に優れている。
【００４８】請求項２記載の発明によれば、アルミニウ
ム系金属としてケイ素、銅、亜鉛、マグネシウム、マン
ガン、ジルコニウム、鉄、モリブデン、チタンまたはこ
れらの２種以上とアルミニウムとの合金が用いられてい
るため、耐ヒロック性、耐腐食性に優れている。
ム系金属としてケイ素、銅、亜鉛、マグネシウム、マン
ガン、ジルコニウム、鉄、モリブデン、チタンまたはこ
れらの２種以上とアルミニウムとの合金が用いられてい
るため、耐ヒロック性、耐腐食性に優れている。
【００５０】請求項３記載の発明によれば、ゲート電極
線の一部または全部をアルミニウム系金属を用いて形成
しているため、開口性に優れている。
線の一部または全部をアルミニウム系金属を用いて形成
しているため、開口性に優れている。
【００５１】また、ゲート電極線を耐食性金属により被
覆し、さらに少なくとも該ゲート電極線を覆うように、
該耐食性金属を前記蓄積容量電極により被覆しているた
め、従来のように耐食性金属にピンホールがあっても、
本発明では、エッチング時には透明導電膜をレジストが
被覆しているので、エッチング液の浸入をさらに防ぐこ
とができる。また、ゲート電極線と透明導電膜とを同一
レイヤーで形成するので工程数を増加させる必要がな
い。また、耐食性金属としてクロム、タングステン、タ
ンタル、チタンもしくはモリブデンの単体またはこれら
の少なくとも１種を含む合金を用いるため、レジストパ
ターンに欠陥があり、エッチング液がしみ込んだばあい
でもゲート電極線が腐食されないという点に優れてい
る。
覆し、さらに少なくとも該ゲート電極線を覆うように、
該耐食性金属を前記蓄積容量電極により被覆しているた
め、従来のように耐食性金属にピンホールがあっても、
本発明では、エッチング時には透明導電膜をレジストが
被覆しているので、エッチング液の浸入をさらに防ぐこ
とができる。また、ゲート電極線と透明導電膜とを同一
レイヤーで形成するので工程数を増加させる必要がな
い。また、耐食性金属としてクロム、タングステン、タ
ンタル、チタンもしくはモリブデンの単体またはこれら
の少なくとも１種を含む合金を用いるため、レジストパ
ターンに欠陥があり、エッチング液がしみ込んだばあい
でもゲート電極線が腐食されないという点に優れてい
る。
【００５２】請求項４記載の発明によれば、アルミニウ
ム系金属としてケイ素、銅、亜鉛、マグネシウム、マン
ガン、ジルコニウム、鉄、モリブデン、チタンまたはこ
れらの２種以上とアルミニウムとの合金を用いるため耐
ヒロック性、耐腐食性に優れている。
ム系金属としてケイ素、銅、亜鉛、マグネシウム、マン
ガン、ジルコニウム、鉄、モリブデン、チタンまたはこ
れらの２種以上とアルミニウムとの合金を用いるため耐
ヒロック性、耐腐食性に優れている。
【図１】 本発明におけるゲート電極線と蓄積容量電極
との接続状態を示す概略平面図である。
との接続状態を示す概略平面図である。
【図２】 図１におけるＡ−Ａ線概略断面図である。
【図３】 本発明における蓄積容量電極のパターニング
を説明するための摸式図である。
を説明するための摸式図である。
【図４】 従来のゲート電極線と蓄積容量電極との接続
状態を示す概略平面図である。
状態を示す概略平面図である。
【図５】 図４におけるＡ−Ａ線概略断面図である。
【図６】 従来の蓄積容量電極のパターニングを説明す
るための模式図である。
るための模式図である。
１ａ ゲート電極線、１ｂ ゲート電極線、２ａ 耐食
性金属、２ｂ 耐食性金属、３ 蓄積容量電極、４ レ
ジスト、５ エッチング液、６ ピンホール。
性金属、２ｂ 耐食性金属、３ 蓄積容量電極、４ レ
ジスト、５ エッチング液、６ ピンホール。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 前島 太郎 熊本県菊池郡西合志町御代志997番地 株式会社アドバンスト・ディスプレイ内 (72)発明者 園部 幸夫 熊本県菊池郡西合志町御代志997番地 株式会社アドバンスト・ディスプレイ内 (56)参考文献 特開 平３−160417（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02F 1/13 101 G02F 1/1368
Claims (4)
- 【請求項１】 透明絶縁基板上に並設された複数のゲー
ト電極線、該ゲート電極線に交差する複数のソース電極
線、ゲート電極線とソース電極線との交差部に設けられ
た非線形特性を有する能動素子、透明導電膜からなる表
示電極および透明導電膜からなる蓄積容量電極を有する
薄膜トランジスタアレイ基板と、該薄膜トランジスタア
レイ基板に対向しかつ薄膜トランジスタアレイ基板に対
向している面に透明導電膜を有する対向電極基板と、薄
膜トランジスタアレイ基板および対向電極基板間に狭持
された液晶とからなる液晶表示装置において、 該ゲート電極線の一部または全部がアルミニウム系金属
で形成されており、 該ゲート電極線が、前記蓄積容量電極を形成するため前
記透明導電膜をエッチングする塩酸、硝酸等を主成分と
するエッチング液に対して耐食性を有し、クロム、タン
グステン、タンタンル、チタン、もしくはモリブデンの
単体またはこれらの少なくとも１種を含む合金より成る
耐食性金属により被覆され、 さらに少なくとも該ゲート電極線が覆われるように、該
耐食性金属が前記蓄積容量電極により被覆されているこ
とを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項２】 前記アルミニウム系金属が、ケイ素、
銅、亜鉛、マグネシウム、マンガン、ジルコニウム、
鉄、モリブデン、チタンまたはこれらの２種以上とアル
ミニウムとの合金であることを特徴とする請求項1記載
の液晶表示装置。 - 【請求項３】 透明絶縁基板上に複数のゲート電極線を
形成し、このゲート電極線に複数のソース電極線を交差
させ、ゲート電極線とソース電極線との交差部に非線形
特性を有する能動素子、透明導電膜からなる表示電極お
よび透明導電膜からなる蓄積容量電極を形成した薄膜ト
ランジスタアレイ基板と、該薄膜トランジスタアレイ基
板に対向させ、かつ薄膜トランジスタアレイ基板に対向
している面に透明導電膜を形成した対向電極基板と、薄
膜トランジスタアレイ基板および対向電極基板間に狭持
した液晶とを組み合わせ、 該ゲート電極線の一部または全部をアルミニウム系金属
で形成し、 該ゲート電極線を、前記蓄積容量電極を形成するため前
記透明導電膜をエッチ ングする塩酸、硝酸等を主成分と
するエッチング液に対して耐食性を有し、クロム、タン
グステン、タンタンル、チタン、もしくはモリブデンの
単体またはこれらの少なくとも１種を含む合金より成る
耐食性金属により被覆した液晶表示装置を製造するに際
して、 さらに少なくとも該ゲート電極線を覆うように、該耐食
性金属を前記蓄積容量電極により被覆することを特徴と
する液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項４】 前記アルミニウム系金属として、ケイ
素、銅、亜鉛、マグネシウム、マンガン、ジルコニウ
ム、鉄、モリブデン、チタンまたはこれらの２種以上と
アルミニウムとの合金を用いることを特徴とする請求項
３記載の液晶表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31983094A JP3286878B2 (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 液晶表示装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31983094A JP3286878B2 (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 液晶表示装置およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08179250A JPH08179250A (ja) | 1996-07-12 |
| JP3286878B2 true JP3286878B2 (ja) | 2002-05-27 |
Family
ID=18114695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31983094A Expired - Lifetime JP3286878B2 (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 液晶表示装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3286878B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100433208B1 (ko) * | 2000-12-22 | 2004-05-27 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자 및 그 제조방법 |
-
1994
- 1994-12-22 JP JP31983094A patent/JP3286878B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08179250A (ja) | 1996-07-12 |
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