JP3275299B2 - ダイシング装置及び切断刃のドレッシング方法 - Google Patents
ダイシング装置及び切断刃のドレッシング方法Info
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- JP3275299B2 JP3275299B2 JP792998A JP792998A JP3275299B2 JP 3275299 B2 JP3275299 B2 JP 3275299B2 JP 792998 A JP792998 A JP 792998A JP 792998 A JP792998 A JP 792998A JP 3275299 B2 JP3275299 B2 JP 3275299B2
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- cutting
- dressing
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はダイシング装置に係
り、特に半導体ウェーハ（ワーク）を碁盤目状に切断す
るダイシング装置に関する。
り、特に半導体ウェーハ（ワーク）を碁盤目状に切断す
るダイシング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のダイシング装置は、装置本体にワ
ーク切断部、カセット収納部及び搬送手段を有してい
る。前記カセット収納部には、多数枚のウェーハが収納
されたカセットが収納されており、このカセットに収納
されたウェーハは、前記搬送手段によって１枚ずつ引き
出されて前記ワーク切断部まで搬送される。このワーク
切断部において、ウェーハは所定の切断位置に位置合わ
せされた後、ワーク切断部の切断刃によって碁盤目状に
切断される。そして、切断終了したウェーハは、搬送手
段によって前記カセット収納部に搬送されてカセットの
所定の棚に収納される。以上が、従来のダイシング装置
による１枚のウェーハの処理工程の流れである。
ーク切断部、カセット収納部及び搬送手段を有してい
る。前記カセット収納部には、多数枚のウェーハが収納
されたカセットが収納されており、このカセットに収納
されたウェーハは、前記搬送手段によって１枚ずつ引き
出されて前記ワーク切断部まで搬送される。このワーク
切断部において、ウェーハは所定の切断位置に位置合わ
せされた後、ワーク切断部の切断刃によって碁盤目状に
切断される。そして、切断終了したウェーハは、搬送手
段によって前記カセット収納部に搬送されてカセットの
所定の棚に収納される。以上が、従来のダイシング装置
による１枚のウェーハの処理工程の流れである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一般的にダイヤモンド
砥石又はこれに準じるものを用いて研削を行う場合、そ
の切れ味は常に一定とは限らない。これは、ダイヤモン
ド砥石はボンド材と呼ばれる結合材の中にダイヤモンド
砥粒等の砥粒が分布している構造となっていることによ
るものである。この砥石の研削能力は、ボンド材の中に
埋まっている砥粒が完全に突出しているほど高く、また
被削材との摩擦などによって砥石自身が磨耗することに
よって、次々とボンド材の中から新しい砥粒が突き出し
てくることによってその研削能力が保たれる。
砥石又はこれに準じるものを用いて研削を行う場合、そ
の切れ味は常に一定とは限らない。これは、ダイヤモン
ド砥石はボンド材と呼ばれる結合材の中にダイヤモンド
砥粒等の砥粒が分布している構造となっていることによ
るものである。この砥石の研削能力は、ボンド材の中に
埋まっている砥粒が完全に突出しているほど高く、また
被削材との摩擦などによって砥石自身が磨耗することに
よって、次々とボンド材の中から新しい砥粒が突き出し
てくることによってその研削能力が保たれる。
【０００４】しかし、新品の砥石ではボンド材の中から
十分に砥粒が突出していないため、ドレッシングと呼ば
れる目立て作業を行うことが必要である。また、ワーク
の加工中に徐々に研削能力が低下してくる場合もある
が、この場合にもドレッシングを行うことによって研削
能力を回復させることができる。ドレッシングはドレッ
シングボードなどと呼ばれる専用の被削材や、シリコン
ミラーウェーハなどの製品ワークと同種のドレスワーク
を研削することによって行うが、切り込み深さや研削速
度などはブレードの使用や製品ワークの研削条件などに
よって異なる。ドレッシングを行う際には、ドレスワー
クを製品ワークと同様にダイシングフレームに粘着シー
トで固定し、製品ワークと同様にダイシング装置にセッ
トする。従来では、ドレッシング作業はオペレータが操
作を行ってドレッシングを行っていた。また、加工途中
に加工品質が低下した場合などは、オペレータがその程
度によってドレッシングを行うかブレードを交換してい
た。
十分に砥粒が突出していないため、ドレッシングと呼ば
れる目立て作業を行うことが必要である。また、ワーク
の加工中に徐々に研削能力が低下してくる場合もある
が、この場合にもドレッシングを行うことによって研削
能力を回復させることができる。ドレッシングはドレッ
シングボードなどと呼ばれる専用の被削材や、シリコン
ミラーウェーハなどの製品ワークと同種のドレスワーク
を研削することによって行うが、切り込み深さや研削速
度などはブレードの使用や製品ワークの研削条件などに
よって異なる。ドレッシングを行う際には、ドレスワー
クを製品ワークと同様にダイシングフレームに粘着シー
トで固定し、製品ワークと同様にダイシング装置にセッ
トする。従来では、ドレッシング作業はオペレータが操
作を行ってドレッシングを行っていた。また、加工途中
に加工品質が低下した場合などは、オペレータがその程
度によってドレッシングを行うかブレードを交換してい
た。
【０００５】ところで、前記従来のダイシング装置に適
用されるカセットは、多数枚のワークを収納する大型の
カセットである。このカセットには通常、同一型式のワ
ークが収納されて取り扱われるため、ドレスワークを装
置にセットしたい場合には、手動でワーク切断部にセッ
トしなければならず、非常に手間がかかるという欠点が
ある。
用されるカセットは、多数枚のワークを収納する大型の
カセットである。このカセットには通常、同一型式のワ
ークが収納されて取り扱われるため、ドレスワークを装
置にセットしたい場合には、手動でワーク切断部にセッ
トしなければならず、非常に手間がかかるという欠点が
ある。
【０００６】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、切断刃のドレッシングを容易に行うことができ
るダイシング装置を提供する。
もので、切断刃のドレッシングを容易に行うことができ
るダイシング装置を提供する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ワークを切断する切断刃を備えたワーク
切断部と、多数枚のワークが収納されたカセットを収納
するワーク収納部と、該ワーク収納部と前記ワーク切断
部との間でワークを搬送する搬送手段とを有するダイシ
ング装置において、前記ダイシング装置本体には、前記
切断刃をドレッシングするためのドレスワークであっ
て、フレームに付けられて１枚のワークの状態をなして
いるドレスワークと、該ドレスワークを収納するドレス
カセットと、該ドレスカセットを収納するドレスワーク
収納部とが設けられ、該ドレスワーク収納部と前記ワー
ク切断部との間で前記フレームに付けられて１枚のワー
クの状態をなしているドレスワークを前記ワークを搬送
する搬送手段によって搬送可能としたことを特徴とす
る。
成するために、ワークを切断する切断刃を備えたワーク
切断部と、多数枚のワークが収納されたカセットを収納
するワーク収納部と、該ワーク収納部と前記ワーク切断
部との間でワークを搬送する搬送手段とを有するダイシ
ング装置において、前記ダイシング装置本体には、前記
切断刃をドレッシングするためのドレスワークであっ
て、フレームに付けられて１枚のワークの状態をなして
いるドレスワークと、該ドレスワークを収納するドレス
カセットと、該ドレスカセットを収納するドレスワーク
収納部とが設けられ、該ドレスワーク収納部と前記ワー
ク切断部との間で前記フレームに付けられて１枚のワー
クの状態をなしているドレスワークを前記ワークを搬送
する搬送手段によって搬送可能としたことを特徴とす
る。
【０００８】請求項１記載の発明によれば、通常のカセ
ットが収納されるワーク収納部の他に、切断刃をドレッ
シングするためのドレスワークが収納されるドレスワー
ク収納部を設け、ドレスワーク収納部に収納されたドレ
スワークをワーク切断部へ搬送してドレッシングを行
う。したがって、本発明は、切断刃のドレッシングを容
易に行うことができる。
ットが収納されるワーク収納部の他に、切断刃をドレッ
シングするためのドレスワークが収納されるドレスワー
ク収納部を設け、ドレスワーク収納部に収納されたドレ
スワークをワーク切断部へ搬送してドレッシングを行
う。したがって、本発明は、切断刃のドレッシングを容
易に行うことができる。
【０００９】請求項２記載の発明によれば、切断刃で切
断されたワークの切断部分を撮像手段によって撮像し、
前記撮像手段で撮像された前記切断部分の画像に基づい
て切断刃のドレッシングの時期を制御手段によって判断
し、ドレッシングの必要時に前記搬送手段を制御して前
記ドレスワークを前記ワーク切断部に搬送させる。ドレ
ッシングの時期を制御手段によって判断することによっ
て、加工性能が低下した際に自動的にドレッシングが行
われ、常に安定した加工品質を保つことができる。
断されたワークの切断部分を撮像手段によって撮像し、
前記撮像手段で撮像された前記切断部分の画像に基づい
て切断刃のドレッシングの時期を制御手段によって判断
し、ドレッシングの必要時に前記搬送手段を制御して前
記ドレスワークを前記ワーク切断部に搬送させる。ドレ
ッシングの時期を制御手段によって判断することによっ
て、加工性能が低下した際に自動的にドレッシングが行
われ、常に安定した加工品質を保つことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るダイシング装置について詳説する。図１は、本発明が
適用された半導体ウェーハのダイシング装置１の斜視図
であり、図２はその平面図である。図１に示すように、
前記ダイシング装置１は、主として切断部１０、洗浄部
２０、カセット収納部（ワーク収納部）３０、エレベー
タ部（搬送手段）４０、及び搬送装置（搬送手段）５０
等から構成されている。
るダイシング装置について詳説する。図１は、本発明が
適用された半導体ウェーハのダイシング装置１の斜視図
であり、図２はその平面図である。図１に示すように、
前記ダイシング装置１は、主として切断部１０、洗浄部
２０、カセット収納部（ワーク収納部）３０、エレベー
タ部（搬送手段）４０、及び搬送装置（搬送手段）５０
等から構成されている。
【００１１】このダイシング装置１によるウェーハＷの
切断工程を説明すると、まず、カセット収納部３０に複
数枚収納されている加工前のウェーハＷは、エレベータ
部４０によって順次引き出され、そして、引き出された
ウェーハＷは図２に示す位置Ｐ４にセットされる。次
に、このウェーハＷは、搬送装置５０によって位置Ｐ１
のプリロードステージを介して切断部１０のカッティン
グテーブル（位置Ｐ２）上に載置される。ここで、ウェ
ーハＷはカッティングテーブルに吸着保持される。吸着
保持されたウェーハＷは、アライメント部１８、１９に
よってウェーハＷ上のパターンが画像認識され、これに
基づいてアライメントされる。そして、アライメントさ
れたウェーハＷは、切断部１０の矢印Ａ、Ｂで示すＹ軸
方向移動と、カッティングテーブルの矢印Ｃ、Ｄで示す
Ｘ軸方向移動とによって、２本のストリートが同時に切
断される。最初の２本のストリートが切断されると、切
断部１０のスピンドルをストリートのピッチ分だけＹ軸
方向に移動させ、そして、カッティングテーブルを再び
Ｘ軸方向に移動させる。これによって、次の２本のスト
リートが切断される。この切断動作を繰り返して行い、
一方向（Ｘ方向）の全てのストリートの切断が終了する
と、カッティングテーブルを９０°回動させて、前記切
断したストリートに直交する他方向（図２上でＹ方向）
のストリートを順次切断する。これにより、ウェーハＷ
は最終的に碁盤目状に切断される。なお、本実施の形態
では、アライメント部１８、１９を切断部１０の上流側
に設けたが、これに限られるものではなく、切断部１０
の各キャリッジ７２、７４に設けても良い。
切断工程を説明すると、まず、カセット収納部３０に複
数枚収納されている加工前のウェーハＷは、エレベータ
部４０によって順次引き出され、そして、引き出された
ウェーハＷは図２に示す位置Ｐ４にセットされる。次
に、このウェーハＷは、搬送装置５０によって位置Ｐ１
のプリロードステージを介して切断部１０のカッティン
グテーブル（位置Ｐ２）上に載置される。ここで、ウェ
ーハＷはカッティングテーブルに吸着保持される。吸着
保持されたウェーハＷは、アライメント部１８、１９に
よってウェーハＷ上のパターンが画像認識され、これに
基づいてアライメントされる。そして、アライメントさ
れたウェーハＷは、切断部１０の矢印Ａ、Ｂで示すＹ軸
方向移動と、カッティングテーブルの矢印Ｃ、Ｄで示す
Ｘ軸方向移動とによって、２本のストリートが同時に切
断される。最初の２本のストリートが切断されると、切
断部１０のスピンドルをストリートのピッチ分だけＹ軸
方向に移動させ、そして、カッティングテーブルを再び
Ｘ軸方向に移動させる。これによって、次の２本のスト
リートが切断される。この切断動作を繰り返して行い、
一方向（Ｘ方向）の全てのストリートの切断が終了する
と、カッティングテーブルを９０°回動させて、前記切
断したストリートに直交する他方向（図２上でＹ方向）
のストリートを順次切断する。これにより、ウェーハＷ
は最終的に碁盤目状に切断される。なお、本実施の形態
では、アライメント部１８、１９を切断部１０の上流側
に設けたが、これに限られるものではなく、切断部１０
の各キャリッジ７２、７４に設けても良い。
【００１２】切断終了したウェーハＷは、カッティング
テーブルによって位置Ｐ２に戻された後、搬送装置５０
によって位置Ｐ３の洗浄部２０のスピナテーブルに搬送
される。ここでウェーハＷは、洗浄水により洗浄された
後、エアブローによって乾燥される。乾燥したウェーハ
Ｗは、搬送装置５０によって位置Ｐ４に搬送され、エレ
ベータ部４０によってカセット部１０に収納される。以
上が前記ダイシング装置１による１枚のウェーハＷの切
断工程である。
テーブルによって位置Ｐ２に戻された後、搬送装置５０
によって位置Ｐ３の洗浄部２０のスピナテーブルに搬送
される。ここでウェーハＷは、洗浄水により洗浄された
後、エアブローによって乾燥される。乾燥したウェーハ
Ｗは、搬送装置５０によって位置Ｐ４に搬送され、エレ
ベータ部４０によってカセット部１０に収納される。以
上が前記ダイシング装置１による１枚のウェーハＷの切
断工程である。
【００１３】ダイシング装置１の切断部１０は図２に示
すように、一対の切断装置１４、１６を有し、この切断
装置１４、１６は、モータ６０、６２、スピンドル６
４、６６、及びスピンドル６４、６６の先端部に装着さ
れたブレード６８、７０を備えている。前記切断装置１
４、１６は、スピンドル移動機構によってＹ軸方向に各
々独立して移動される。本実施の形態では、前記スピン
ドル移動機構としてリニアモータが適用されている。リ
ニアモータの原理、及び詳細な構造は周知であるのでこ
こでは省略する。
すように、一対の切断装置１４、１６を有し、この切断
装置１４、１６は、モータ６０、６２、スピンドル６
４、６６、及びスピンドル６４、６６の先端部に装着さ
れたブレード６８、７０を備えている。前記切断装置１
４、１６は、スピンドル移動機構によってＹ軸方向に各
々独立して移動される。本実施の形態では、前記スピン
ドル移動機構としてリニアモータが適用されている。リ
ニアモータの原理、及び詳細な構造は周知であるのでこ
こでは省略する。
【００１４】一方、図１に示すようにダイシング装置１
のカセット収納部３０は、４段構造に構成されており、
上から順にドレスワーク収納部３２、第１カセット収納
部３４、第２カセット収納部３６、及びユーティリティ
カセット収納部３８から構成されている。前記第１、第
２カセット収納部３４、３６は、通常のカセットが収納
される収納部である。これらのカセット収納部３４、３
６に収納されたカセットは、各々の扉３５、３７に設け
られた把手３５Ａ、３７Ａで扉３５、３７を開くことに
より、ダイシング装置本体から取り出すことができる。
前記通常のカセットとは、同一型式のウェーハが多数枚
収納される大型のカセットである。
のカセット収納部３０は、４段構造に構成されており、
上から順にドレスワーク収納部３２、第１カセット収納
部３４、第２カセット収納部３６、及びユーティリティ
カセット収納部３８から構成されている。前記第１、第
２カセット収納部３４、３６は、通常のカセットが収納
される収納部である。これらのカセット収納部３４、３
６に収納されたカセットは、各々の扉３５、３７に設け
られた把手３５Ａ、３７Ａで扉３５、３７を開くことに
より、ダイシング装置本体から取り出すことができる。
前記通常のカセットとは、同一型式のウェーハが多数枚
収納される大型のカセットである。
【００１５】図３は、前記ドレスワーク収納部３２に収
納されるドレスカセット８０の構造を示す斜視図であ
る。このドレスカセット８０は、２枚の側板８２、８
２、天板８４、及び背板８６から構成され、多数枚のウ
ェーハを収納する通常のカセットと比較してコンパクト
に構成されている。前記２枚の側板８２、８２は、天板
８４と背板８６とによって連結されている。なお、この
ドレスカセットに少数枚のウェーハＷを収納する棚を設
けても良い。
納されるドレスカセット８０の構造を示す斜視図であ
る。このドレスカセット８０は、２枚の側板８２、８
２、天板８４、及び背板８６から構成され、多数枚のウ
ェーハを収納する通常のカセットと比較してコンパクト
に構成されている。前記２枚の側板８２、８２は、天板
８４と背板８６とによって連結されている。なお、この
ドレスカセットに少数枚のウェーハＷを収納する棚を設
けても良い。
【００１６】前記天板８４の上面には、切断刃６８、７
０のドレッシング用のドレスウェーハＷが載置される載
置面８５が形成されている。この載置面８５は、載置さ
れたドレスウェーハＷが天板８４上で大きくズレない寸
法で形成されている。したがって、前記載置面８５にセ
ットされるドレスウェーハＷは、ドレスカセット８０の
上方からセットされた後、ドレスワーク収納部３２に収
納されて切断部１０に搬送される。なお、ドレスウェー
ハＷは、フレーム９０に接着テープ９２に貼り付けられ
た状態で１枚のワークをなしている。
０のドレッシング用のドレスウェーハＷが載置される載
置面８５が形成されている。この載置面８５は、載置さ
れたドレスウェーハＷが天板８４上で大きくズレない寸
法で形成されている。したがって、前記載置面８５にセ
ットされるドレスウェーハＷは、ドレスカセット８０の
上方からセットされた後、ドレスワーク収納部３２に収
納されて切断部１０に搬送される。なお、ドレスウェー
ハＷは、フレーム９０に接着テープ９２に貼り付けられ
た状態で１枚のワークをなしている。
【００１７】前記の如く構成されたドレスカセット８０
は、図１に示すドレスワーク収納部３２の棚３３を把手
３３Ａで開いて収納される。したがって、図３の載置面
８５にセットされるドレスウェーハＷは、棚３３を開く
だけでドレスカセット８０にセットされる。以上説明し
たように、本実施の形態のダイシング装置１は、通常の
カセットが収納されるカセット収納部３４、３６の他
に、図３のドレスカセット８０が収納されるドレスワー
ク収納部３２を設けた。ブレード６８、７０のドレッシ
ングを行う際には、ドレスワーク収納部３２に収納した
ドレスウェーハＷを切断部１０に搬送する。したがっ
て、前記ダイシング装置１によれば、ブレード６８、７
０のドレッシングを容易に行うことができる。
は、図１に示すドレスワーク収納部３２の棚３３を把手
３３Ａで開いて収納される。したがって、図３の載置面
８５にセットされるドレスウェーハＷは、棚３３を開く
だけでドレスカセット８０にセットされる。以上説明し
たように、本実施の形態のダイシング装置１は、通常の
カセットが収納されるカセット収納部３４、３６の他
に、図３のドレスカセット８０が収納されるドレスワー
ク収納部３２を設けた。ブレード６８、７０のドレッシ
ングを行う際には、ドレスワーク収納部３２に収納した
ドレスウェーハＷを切断部１０に搬送する。したがっ
て、前記ダイシング装置１によれば、ブレード６８、７
０のドレッシングを容易に行うことができる。
【００１８】一方、図１に示したユーティリティカセッ
ト収納部３８には、試し切り用のダミーウェーハＷを収
納する図示しないユーティリティカセットが設置されて
いる。ユーティリティカセットとして、図３に示したド
レスカセット８０と同様な構成のものを適用すると、ダ
ミーウェーハＷは、ユーティリティカセット収納部３８
の棚３９を把手３９Ａで開くだけで前記ユーティリティ
カセットに収納される。なお、第１、第２カセット収納
部３４、３６と同様にウェーハＷを収納する棚を形成し
たものでも良い。
ト収納部３８には、試し切り用のダミーウェーハＷを収
納する図示しないユーティリティカセットが設置されて
いる。ユーティリティカセットとして、図３に示したド
レスカセット８０と同様な構成のものを適用すると、ダ
ミーウェーハＷは、ユーティリティカセット収納部３８
の棚３９を把手３９Ａで開くだけで前記ユーティリティ
カセットに収納される。なお、第１、第２カセット収納
部３４、３６と同様にウェーハＷを収納する棚を形成し
たものでも良い。
【００１９】尚、前記ユーティリティカセットにセット
されるものは、ダミーウェーハＷに限定されず、枚葉処
理用ワークやブレード６８、７０の切断状況を検査する
ための検査用ワークでも良い。これによって、枚葉処理
用ワーク、及び検査用ワークのセッティング及び取り扱
いが非常に簡単になる。一方、前記各ブレード６８、７
０の近傍には、ＣＣＤカメラ４２、４２が設けられ、切
断部分が撮影される。ＣＣＤカメラ４２からの撮像信号
は、図４に示すように制御部４４に出力される。制御部
４４は、画像処理部４６、算出部４８、ＲＡＭ５２、比
較部５４、及び搬送装置制御部５６から構成される。
されるものは、ダミーウェーハＷに限定されず、枚葉処
理用ワークやブレード６８、７０の切断状況を検査する
ための検査用ワークでも良い。これによって、枚葉処理
用ワーク、及び検査用ワークのセッティング及び取り扱
いが非常に簡単になる。一方、前記各ブレード６８、７
０の近傍には、ＣＣＤカメラ４２、４２が設けられ、切
断部分が撮影される。ＣＣＤカメラ４２からの撮像信号
は、図４に示すように制御部４４に出力される。制御部
４４は、画像処理部４６、算出部４８、ＲＡＭ５２、比
較部５４、及び搬送装置制御部５６から構成される。
【００２０】画像処理部４６はＣＣＤカメラ４２から出
力された撮像信号を二値化処理し、算出部４８は得られ
た切断部分の映像からチッピングの面積を算出する。比
較部５４は、このチッピングの面積をＲＡＭ５２に記憶
された許容面積と比較し、比較した結果、チッピングの
面積が許容面積を上回った時に、搬送装置制御部５６は
前記搬送装置５０を制御して前記ドレスウェーハＷを切
断部１０に搬送させる。このように、チッピングの面積
が許容面積を上回った時に自動的にドレッシングが行わ
れることによって、チッピングの面積が許容面積以下に
保たれ、常に安定した加工品質を保つことができる。
力された撮像信号を二値化処理し、算出部４８は得られ
た切断部分の映像からチッピングの面積を算出する。比
較部５４は、このチッピングの面積をＲＡＭ５２に記憶
された許容面積と比較し、比較した結果、チッピングの
面積が許容面積を上回った時に、搬送装置制御部５６は
前記搬送装置５０を制御して前記ドレスウェーハＷを切
断部１０に搬送させる。このように、チッピングの面積
が許容面積を上回った時に自動的にドレッシングが行わ
れることによって、チッピングの面積が許容面積以下に
保たれ、常に安定した加工品質を保つことができる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るダイシ
ング装置によれば、切断刃をドレッシングするためのド
レスワークが収納されるドレスワーク収納部を設けたこ
とによって、切断刃のドレッシングを容易に行うことが
できる。
ング装置によれば、切断刃をドレッシングするためのド
レスワークが収納されるドレスワーク収納部を設けたこ
とによって、切断刃のドレッシングを容易に行うことが
できる。
【図１】本発明が適用されたダイシング装置の斜視図
【図２】図１に示したダイシング装置の平面図
【図３】ダイシング装置に収納されるドレスカセットの
斜視図
斜視図
【図４】ドレスワークを搬送する搬送装置の制御部の構
成を示すブロック図
成を示すブロック図
１…ダイシング装置 １０…切断部 ３２…ドレスカセット収納部 ３８…ユーティリティカセット収納部 ４４…制御部 ６０、６２…モータ ６８、７０…ブレード ８０…ドレスカセット ８５…ウェーハ載置面 Ｗ…ウェーハ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−169720（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−301208（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−326700（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−164553（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/301 H01L 21/68
Claims (4)
- 【請求項１】ワークを切断する切断刃を備えたワーク切
断部と、多数枚のワークが収納されたカセットを収納す
るワーク収納部と、該ワーク収納部と前記ワーク切断部
との間でワークを搬送する搬送手段とを有するダイシン
グ装置において、 前記ダイシング装置本体には、前記切断刃をドレッシン
グするためのドレスワークであって、フレームに付けら
れて１枚のワークの状態をなしているドレスワークと、
該ドレスワークを収納するドレスカセットと、該ドレス
カセットを収納するドレスワーク収納部とが設けられ、
該ドレスワーク収納部と前記ワーク切断部との間で前記
フレームに付けられて１枚のワークの状態をなしている
ドレスワークを前記ワークを搬送する搬送手段によって
搬送可能としたことを特徴とするダイシング装置。 - 【請求項２】前記ダイシング装置には、 前記切断刃で切断されたワークの切断部分を撮像する撮
像手段と、 前記撮像手段で撮像された前記切断部分の画像に基づい
て切断刃のドレッシングの時期を判断し、ドレッシング
の必要時に前記ワークを搬送する搬送手段を制御して、
前記ドレスワーク収納部に収納されているドレスカセッ
トから引出した前記ドレスワークを前記ワーク切断部に
搬送させる制御手段と、 が備えられていることを特徴とする請求項１に記載のダ
イシング装置。 - 【請求項３】ワークを切断する切断刃を備えたワーク切
断部と、多数枚のワークが収納されたカセットを収納す
るワーク収納部と、前記切断刃をドレッシングするため
のドレスワークが収納されたドレスカセットを収納する
ドレスワーク収納部と、前記ワーク収納部と前記ワーク
切断部との間でワークを搬送する搬送手段と、を有し、 前記ワークを搬送する搬送手段を用いて、ドレスワーク
を前記ドレスワーク収納部と前記ワーク切断部との間で
搬送するダイシング装置の切断刃のドレッシング方法で
あって、 ドレッシングの必要時期に、前記ワークを搬送する搬送
手段を用いて、前記ドレスワーク収納部に収納されたド
レスカセットからドレスワークを前記ワーク切 断部に搬
送する工程と、 前記切断刃で前記ドレスワークを研削することによって
前記切断刃をドレッシングする工程と、 前記ワークを搬送する搬送手段を用いて、ドレスワーク
を前記ワーク切断部からドレスワーク収納部に収納され
たドレスカセットに収納する工程とによって前記切断刃
をドレッシングすることを特徴とする切断刃のドレッシ
ング方法。 - 【請求項４】ワークを切断する切断刃を備えたワーク切
断部と、前記切断刃で切断されたワークの切断部分を撮
像する撮像手段と、多数枚のワークが収納されたカセッ
トを収納するワーク収納部と、前記切断刃をドレッシン
グするためのドレスワークが収納されたドレスカセット
を収納するドレスワーク収納部と、前記ワーク収納部と
前記ワーク切断部との間でワークを搬送する搬送手段
と、を有し、 前記ワークを搬送する搬送手段を用いて、ドレスワーク
を前記ドレスワーク収納部と前記ワーク切断部との間で
搬送するダイシング装置の切断刃のドレッシング方法で
あって、 前記切断刃で切断されたワークの切断部分を前記撮像手
段で撮像する工程と、 前記撮像された前記切断部分の画像に基づいて切断刃の
ドレッシングの時期を判断する工程と、 ドレッシングの必要時期に、前記ワークを搬送する搬送
手段を用いて、前記ドレスワーク収納部に収納されたド
レスカセットからドレスワークを前記ワーク切断部に搬
送する工程と、 前記切断刃で前記ドレスワークを研削することによって
前記切断刃をドレッシングする工程と、 前記ワークを搬送する搬送手段を用いて、ドレスワーク
を前記ワーク切断部からドレスワーク収納部に収納され
たドレスカセットに収納する工程とによって前記切断刃
をドレッシングすることを特徴とする切断刃のドレッシ
ング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP792998A JP3275299B2 (ja) | 1998-01-19 | 1998-01-19 | ダイシング装置及び切断刃のドレッシング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP792998A JP3275299B2 (ja) | 1998-01-19 | 1998-01-19 | ダイシング装置及び切断刃のドレッシング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11204462A JPH11204462A (ja) | 1999-07-30 |
| JP3275299B2 true JP3275299B2 (ja) | 2002-04-15 |
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ID=11679223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP792998A Expired - Fee Related JP3275299B2 (ja) | 1998-01-19 | 1998-01-19 | ダイシング装置及び切断刃のドレッシング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3275299B2 (ja) |
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-
1998
- 1998-01-19 JP JP792998A patent/JP3275299B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH11204462A (ja) | 1999-07-30 |
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