JP3265361B2 - 液中粒子計測装置およびその方法 - Google Patents
液中粒子計測装置およびその方法Info
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- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 83
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 39
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 25
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 11
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 6
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 description 6
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000002189 fluorescence spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000008214 highly purified water Substances 0.000 description 1
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液中の粒子と気泡
を区別して粒子を計数する計測装置及び計測方法に関す
る。
を区別して粒子を計数する計測装置及び計測方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】例えば、高度清浄水中の混入粒子数を計
測する場合等において、液中の気泡により粒子がミスカ
ウントされ、正確に液中の粒子数の計数ができない場合
がある。このような液中のの気泡発生に起因とする粒子
数計数妨害を解決するために、従来は、気泡を透過した
光の位相シフト量を計測する等の方法があった。
測する場合等において、液中の気泡により粒子がミスカ
ウントされ、正確に液中の粒子数の計数ができない場合
がある。このような液中のの気泡発生に起因とする粒子
数計数妨害を解決するために、従来は、気泡を透過した
光の位相シフト量を計測する等の方法があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の方法では、気泡を透過した光の位相シフト量
を正確に計るには、技術的に多くの困難を伴うばかりで
はなく、利用できる範囲に制限があった。
うな従来の方法では、気泡を透過した光の位相シフト量
を正確に計るには、技術的に多くの困難を伴うばかりで
はなく、利用できる範囲に制限があった。
【０００４】本発明は、上記従来の問題を解決すること
を目的とするものであり、多様な粒径を持つ粒子や気泡
を含有する液中から、インライン（配管等に組み込んで
使用でき）で、また、無侵襲（粒子数や気泡の変化を起
こさない）で、粒子と気泡を区別する装置及び手法を提
供する。
を目的とするものであり、多様な粒径を持つ粒子や気泡
を含有する液中から、インライン（配管等に組み込んで
使用でき）で、また、無侵襲（粒子数や気泡の変化を起
こさない）で、粒子と気泡を区別する装置及び手法を提
供する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、微粒子や気泡を含んだ液体を、フローセ
ル中を流し、光散乱法により粒子または気泡を検出し、
検出した粒子または気泡に対しレーザー光を照射し、そ
の結果発生した蛍光を計測することにより、粒子と気泡
を区別することを特徴とする。
決するために、微粒子や気泡を含んだ液体を、フローセ
ル中を流し、光散乱法により粒子または気泡を検出し、
検出した粒子または気泡に対しレーザー光を照射し、そ
の結果発生した蛍光を計測することにより、粒子と気泡
を区別することを特徴とする。
【０００６】より具体的には、本発明は、計測される液
を流すフローセルと、該フローセルの側方上流側に配設
された粒子・気泡検出装置と、上記フローセルの側方下
流側に配設されたレーザー光照射及びスペクトル分析装
置とから成る液中粒子計測装置であって、上記粒子・気
泡検出装置は、フローセル内を流れる上記液中に粒子及
び気泡の少なくともいずれかが含まれていることを検出
するものであり、上記レーザー光照射及びスペクトル分
析装置は、上記粒子・気泡検出装置が上記液中に粒子及
び気泡の少なくともいずれかが含まれていることを検出
した場合は、フローセル内を流れる上記液中に粒子及び
気泡レーザー光を照射し、発生した蛍光のスペクトルを
分析することにより、上記粒子を構成している物質特有
のスペクトルと気泡の単なる散乱光のスペクトルとの差
により粒子と気泡を区別し、粒子の数を計数することを
特徴とする液中粒子計測装置を提供する。
を流すフローセルと、該フローセルの側方上流側に配設
された粒子・気泡検出装置と、上記フローセルの側方下
流側に配設されたレーザー光照射及びスペクトル分析装
置とから成る液中粒子計測装置であって、上記粒子・気
泡検出装置は、フローセル内を流れる上記液中に粒子及
び気泡の少なくともいずれかが含まれていることを検出
するものであり、上記レーザー光照射及びスペクトル分
析装置は、上記粒子・気泡検出装置が上記液中に粒子及
び気泡の少なくともいずれかが含まれていることを検出
した場合は、フローセル内を流れる上記液中に粒子及び
気泡レーザー光を照射し、発生した蛍光のスペクトルを
分析することにより、上記粒子を構成している物質特有
のスペクトルと気泡の単なる散乱光のスペクトルとの差
により粒子と気泡を区別し、粒子の数を計数することを
特徴とする液中粒子計測装置を提供する。
【０００７】さらに、本発明は、フローセルに計測対象
とする液を流し、上記フローセルの上流側に配設された
粒子・気泡検出装置で、上記液中に含まれる粒子及び気
泡の少なくともいずれかを検出した場合は、上記フロー
セルの下流側において、上記液中に含まれる粒子及び気
泡にレーザー光を照射し、蛍光又は散乱光を発生させ、
上記蛍光又は散乱光のスペクトルを分析することによ
り、上記粒子を構成している物質特有のスペクトルと気
泡の単なる蛍光又は散乱光のスペクトルとの差により粒
子と気泡を区別し、粒子と気泡を区別するとともに粒子
の数を計数することを特徴とする液中粒子の数を計数す
ることを特徴とする液中粒子計測方法を提供する。
とする液を流し、上記フローセルの上流側に配設された
粒子・気泡検出装置で、上記液中に含まれる粒子及び気
泡の少なくともいずれかを検出した場合は、上記フロー
セルの下流側において、上記液中に含まれる粒子及び気
泡にレーザー光を照射し、蛍光又は散乱光を発生させ、
上記蛍光又は散乱光のスペクトルを分析することによ
り、上記粒子を構成している物質特有のスペクトルと気
泡の単なる蛍光又は散乱光のスペクトルとの差により粒
子と気泡を区別し、粒子と気泡を区別するとともに粒子
の数を計数することを特徴とする液中粒子の数を計数す
ることを特徴とする液中粒子計測方法を提供する。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明に係る液中粒子計測装置お
よび計測方法の実施の形態を実施例に基づいて図面を参
照して以下説明する。図1は、本発明に係る液中粒子計
測装置を説明する図である。
よび計測方法の実施の形態を実施例に基づいて図面を参
照して以下説明する。図1は、本発明に係る液中粒子計
測装置を説明する図である。
【０００９】図１において、計測対象である粒子や気泡
を含有する液体を配管１の途中に配設したフローセル２
内を流す。フローセル２の側方上流には、粒子・気泡検
出装置３が配設されている。この検出装置３は、フロー
セル２内を流れる液に検出光を照射し、液中の粒子及び
気泡を、光散乱法により検出する。
を含有する液体を配管１の途中に配設したフローセル２
内を流す。フローセル２の側方上流には、粒子・気泡検
出装置３が配設されている。この検出装置３は、フロー
セル２内を流れる液に検出光を照射し、液中の粒子及び
気泡を、光散乱法により検出する。
【００１０】フローセル２の側方下流側には、レーザー
光照射及びスペクトル分析装置４が配設されている。こ
のレーザー光照射及びスペクトル分析装置４は、レーザ
ー照射装置５、レーザ受光装置６、スペクトル分析装置
７及び計数装置８とから構成されている。レーザー光照
射及びスペクトル分析装置４は、このフローセル２内の
気泡又は粒子に外部からレーザー光を照射し、蛍光又は
散乱光を発生させて、この蛍光又は散乱光のスペクトル
を分析し、粒子又は気泡の判別をして、粒子の場合は粒
子計数出力を発生し計数装置で粒子の数のカウントを行
う。
光照射及びスペクトル分析装置４が配設されている。こ
のレーザー光照射及びスペクトル分析装置４は、レーザ
ー照射装置５、レーザ受光装置６、スペクトル分析装置
７及び計数装置８とから構成されている。レーザー光照
射及びスペクトル分析装置４は、このフローセル２内の
気泡又は粒子に外部からレーザー光を照射し、蛍光又は
散乱光を発生させて、この蛍光又は散乱光のスペクトル
を分析し、粒子又は気泡の判別をして、粒子の場合は粒
子計数出力を発生し計数装置で粒子の数のカウントを行
う。
【００１１】なお、粒子・気泡検出装置３で、粒子又は
気泡を検出すると、その検出出力がレーザー光照射及び
スペクトル分析装置４に伝達され、レーザ光照射が行わ
れるように構成されている。
気泡を検出すると、その検出出力がレーザー光照射及び
スペクトル分析装置４に伝達され、レーザ光照射が行わ
れるように構成されている。
【００１２】以上のような構成の液中粒子計測装置によ
る液体中の粒子の数の計測方法について図２を参考にし
て以下、説明する。フローセル２に測定対象である粒子
や気泡を含有する液体を流す（図２（ａ）参照）。そし
て、粒子・気泡検出装置３において、液体に検出光を照
射し光散乱法により、液体中に粒子又は／及び気泡が含
まれていることを検出する（図２（ｂ）参照）。
る液体中の粒子の数の計測方法について図２を参考にし
て以下、説明する。フローセル２に測定対象である粒子
や気泡を含有する液体を流す（図２（ａ）参照）。そし
て、粒子・気泡検出装置３において、液体に検出光を照
射し光散乱法により、液体中に粒子又は／及び気泡が含
まれていることを検出する（図２（ｂ）参照）。
【００１３】液体中に粒子又は／及び気泡が含まれてい
ることを検出した場合は、レーザー光照射及びスペクト
ル分析装置４（図２（ｃ）参照。この図では、レーザー
照射装置５、レーザ受光装置６は省略している。）にお
いて、フローセル２内の気泡又は粒子に外部からレーザ
ー光を照射する。すると、粒子の場合は、粒子を構成し
ている物質特有の蛍光を発生する。
ることを検出した場合は、レーザー光照射及びスペクト
ル分析装置４（図２（ｃ）参照。この図では、レーザー
照射装置５、レーザ受光装置６は省略している。）にお
いて、フローセル２内の気泡又は粒子に外部からレーザ
ー光を照射する。すると、粒子の場合は、粒子を構成し
ている物質特有の蛍光を発生する。
【００１４】気泡の場合は、照射したレーザー光による
散乱光のみが発生する。このようにレーザー光を照射し
て発生する蛍光、散乱光をスペクトル検出装置により計
測する。そして、その計測データをレーザ光照射及びス
ペクトル分析装置４によりスペクトル分析を行う（図２
（ｄ）、（ｅ）参照）。
散乱光のみが発生する。このようにレーザー光を照射し
て発生する蛍光、散乱光をスペクトル検出装置により計
測する。そして、その計測データをレーザ光照射及びス
ペクトル分析装置４によりスペクトル分析を行う（図２
（ｄ）、（ｅ）参照）。
【００１５】蛍光スペクトルは、粒子を構成している物
質特有のスペクトルを有し、気泡による単なる散乱光の
スペクトルとは異なる。この両者のスペクトルの差によ
り、粒子であるか気泡であるかが判別され、粒子である
と判別された場合は、粒子計数出力を発生し、この計数
装置で粒子の数のカウントが行われる。
質特有のスペクトルを有し、気泡による単なる散乱光の
スペクトルとは異なる。この両者のスペクトルの差によ
り、粒子であるか気泡であるかが判別され、粒子である
と判別された場合は、粒子計数出力を発生し、この計数
装置で粒子の数のカウントが行われる。
【００１６】以上、本発明の実施の形態及び実施例を説
明したが、本発明は、特に上記実施の形態及び実施例に
限定されることなく、特許請求の範囲記載の技術的事項
の範囲内で、その他いろいろな態様があることは言うま
でもない。
明したが、本発明は、特に上記実施の形態及び実施例に
限定されることなく、特許請求の範囲記載の技術的事項
の範囲内で、その他いろいろな態様があることは言うま
でもない。
【００１７】
【発明の効果】本発明は、以上のような構成であるか
ら、フローセル内を流れる液中の気泡と粒子を明確に区
別することが可能となる。これにより、液中の粒子の正
確な計数が可能となる。
ら、フローセル内を流れる液中の気泡と粒子を明確に区
別することが可能となる。これにより、液中の粒子の正
確な計数が可能となる。
【図１】本発明に係る液中粒子計測装置を説明する図で
ある。
ある。
【図２】本発明に係る液中粒子計測方法を説明する図で
ある。
ある。
１ 配管 ２ フローセル ３ 粒子・気泡検出装置 ４ レーザ光照射及びスペクトル分析装置 ５ レーザー照射装置 ６ レーザ受光装置 ７ スペクトル分析装置 ８ 計数装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 15/14 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (2)
- 【請求項１】 計測される液を流すフローセルと、該
フローセルの側方上流側に配設された粒子・気泡検出装
置と、上記フローセルの側方下流側に配設されたレーザ
ー光照射及びスペクトル分析装置とから成る液中粒子計
測装置であって、 上記粒子・気泡検出装置は、フローセル内を流れる上記
液中に粒子及び気泡の少なくともいずれかが含まれてい
ることを検出するものであり、 上記レーザー光照射及びスペクトル分析装置は、上記粒
子・気泡検出装置が上記液中に粒子及び気泡の少なくと
もいずれかが含まれていることを検出した場合は、フロ
ーセル内を流れる上記液中に粒子及び気泡レーザー光を
照射し、発生した蛍光のスペクトルを分析することによ
り、上記粒子を構成している物質特有のスペクトルと気
泡の単なる散乱光のスペクトルとの差により粒子と気泡
を区別し、粒子の数を計数することを特徴とする液中粒
子計測装置。 - 【請求項２】 フローセルに計測対象とする液を流
し、上記フローセルの上流側に配設された粒子・気泡検
出装置で、上記液中に含まれる粒子及び気泡の少なくと
もいずれかを検出した場合は、上記フローセルの下流側
において、上記液中に含まれる粒子及び気泡にレーザー
光を照射し、蛍光又は散乱光を発生させ、上記蛍光又は
散乱光のスペクトルを分析することにより、上記粒子を
構成している物質特有のスペクトルと気泡の単なる蛍光
又は散乱光のスペクトルとの差により粒子と気泡を区別
し、粒子と気泡を区別するとともに粒子の数を計数する
ことを特徴とする液中粒子の数を計数することを特徴と
する液中粒子計測方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17718099A JP3265361B2 (ja) | 1999-06-23 | 1999-06-23 | 液中粒子計測装置およびその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17718099A JP3265361B2 (ja) | 1999-06-23 | 1999-06-23 | 液中粒子計測装置およびその方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001004523A JP2001004523A (ja) | 2001-01-12 |
| JP3265361B2 true JP3265361B2 (ja) | 2002-03-11 |
Family
ID=16026588
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17718099A Expired - Lifetime JP3265361B2 (ja) | 1999-06-23 | 1999-06-23 | 液中粒子計測装置およびその方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3265361B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2950105A1 (en) | 2014-05-30 | 2015-12-02 | Azbil Corporation | Device for detecting particles in a liquid and method for detecting particles in a liquid |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NZ568744A (en) * | 2008-05-29 | 2010-04-30 | Sensortec Ltd | Fluid Sensing apparatus |
| JP6425918B2 (ja) * | 2014-05-27 | 2018-11-21 | アズビル株式会社 | 精製水製造装置の監視システム及び精製水製造装置の監視方法 |
| KR102623388B1 (ko) * | 2021-08-20 | 2024-01-11 | 주식회사 디엔제이테크 | 액체 입자 계수기 및 이를 구비한 액체 입자 모니터링 시스템 |
-
1999
- 1999-06-23 JP JP17718099A patent/JP3265361B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2950105A1 (en) | 2014-05-30 | 2015-12-02 | Azbil Corporation | Device for detecting particles in a liquid and method for detecting particles in a liquid |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001004523A (ja) | 2001-01-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3265361 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
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