JP3125458B2 - インクジェットヘッド、及びその製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッド、及びその製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インク滴を飛翔させ、
紙等に印字記録を行なうインクジェットヘッドに関す
る。
紙等に印字記録を行なうインクジェットヘッドに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術の一例の断面斜視図を図４に
示す。図４において、ノズル形成部材１０には、複数の
ノズル開口部１１が形成されている。ノズル形成部材１
０には、圧力室形成部材２０が連接する。圧力室形成部
材２０には、Ｎｉフィルム３０１が連接する。Ｎｉフィ
ルム３０１には、厚肉部があり、これがＮｉ圧力板３１
１である。Ｎｉ圧力板３１１には、圧力発生器４０が、
接着剤７０により接合されている。ノズル形成部材１０
と、圧力室形成部材２０と、Ｎｉフィルム３０１に囲ま
れた範囲がインク室２１であり、インクが満たされてい
る。
示す。図４において、ノズル形成部材１０には、複数の
ノズル開口部１１が形成されている。ノズル形成部材１
０には、圧力室形成部材２０が連接する。圧力室形成部
材２０には、Ｎｉフィルム３０１が連接する。Ｎｉフィ
ルム３０１には、厚肉部があり、これがＮｉ圧力板３１
１である。Ｎｉ圧力板３１１には、圧力発生器４０が、
接着剤７０により接合されている。ノズル形成部材１０
と、圧力室形成部材２０と、Ｎｉフィルム３０１に囲ま
れた範囲がインク室２１であり、インクが満たされてい
る。
【０００３】Ｎｉフィルム３０１は、Ｎｉの電鋳により
製造された箔である。また、Ｎｉ圧力板３１１は、Ｎｉ
フィルム３０１上にパターニングして、電鋳工程を繰り
返すことで製造されている。即ち、Ｎｉフィルム３０１
とＮｉ圧力板３１１はＮｉ電鋳により、一体構成で製造
されている。
製造された箔である。また、Ｎｉ圧力板３１１は、Ｎｉ
フィルム３０１上にパターニングして、電鋳工程を繰り
返すことで製造されている。即ち、Ｎｉフィルム３０１
とＮｉ圧力板３１１はＮｉ電鋳により、一体構成で製造
されている。
【０００４】Ｎｉの電鋳により製造されるＮｉフィルム
３０１の厚みは、３μである。これは、電鋳法において
欠陥無く成膜される最低の厚みである。
３０１の厚みは、３μである。これは、電鋳法において
欠陥無く成膜される最低の厚みである。
【０００５】図５に従来の他の技術を示す。図５におい
て、ＰＩフィルム３０２とＳＵＳ圧力板３１２を除く他
の部材については、図４と全く同じである。
て、ＰＩフィルム３０２とＳＵＳ圧力板３１２を除く他
の部材については、図４と全く同じである。
【０００６】ＰＩフィルム３０２は５μ厚みのポリイミ
ド樹脂である。ＳＵＳ圧力板３１２の材質はステンレス
である。ＳＵＳ圧力板３１２は、ＰＩフィルム３０２上
にステンレス箔を積層したのち、ステンレス箔に対し、
感光性レジストでパターニングして、エッチングとを行
うことで製造されている。
ド樹脂である。ＳＵＳ圧力板３１２の材質はステンレス
である。ＳＵＳ圧力板３１２は、ＰＩフィルム３０２上
にステンレス箔を積層したのち、ステンレス箔に対し、
感光性レジストでパターニングして、エッチングとを行
うことで製造されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述の従来技
術のうち、Ｎｉ電鋳で製造する場合、圧力発生器４０へ
かかるＮｉフィルム３０１の反力が大きくなる、と言う
問題点を有する。
術のうち、Ｎｉ電鋳で製造する場合、圧力発生器４０へ
かかるＮｉフィルム３０１の反力が大きくなる、と言う
問題点を有する。
【０００８】前述の従来技術の場合、圧力発生器４０は
縦型圧電素子を使用している。駆動回路からの信号によ
り圧力発生器４０に電圧が解除されると、圧力発生器４
０は、Ｎｉ圧力板３１１と、Ｎｉフィルム３０１を変位
させる。
縦型圧電素子を使用している。駆動回路からの信号によ
り圧力発生器４０に電圧が解除されると、圧力発生器４
０は、Ｎｉ圧力板３１１と、Ｎｉフィルム３０１を変位
させる。
【０００９】Ｎｉフィルム３０１の剛性が高いことは即
ち、圧力発生器４０の変位を妨害する反力が高いことに
なる。従って、圧力発生器４０により生じるインク室２
１の体積変化が小さくなる。このため、インク吐出効率
が悪い。金属箔のように剛性の高いＮｉフィルム３０１
においては、それだけ圧力発生器４０の発生力を吸収し
効率が悪くなる。
ち、圧力発生器４０の変位を妨害する反力が高いことに
なる。従って、圧力発生器４０により生じるインク室２
１の体積変化が小さくなる。このため、インク吐出効率
が悪い。金属箔のように剛性の高いＮｉフィルム３０１
においては、それだけ圧力発生器４０の発生力を吸収し
効率が悪くなる。
【００１０】次に、他の従来技術である、ＰＩフィルム
３０２にステンレス箔のＳＵＳ圧力板３１２を積層する
ものは、上述の反力の問題は解消できる。
３０２にステンレス箔のＳＵＳ圧力板３１２を積層する
ものは、上述の反力の問題は解消できる。
【００１１】しかしながら、ＰＩフィルム３０２とＳＵ
Ｓ圧力板３１２の接合が困難である。ラミネート、接着
など周知の接合技術では、十分な接合信頼性が得られ
ず、使用中に剥離し、ために圧力発生器４０の力を伝え
られずインク吐出が出来なくなる、という問題がある。
Ｓ圧力板３１２の接合が困難である。ラミネート、接着
など周知の接合技術では、十分な接合信頼性が得られ
ず、使用中に剥離し、ために圧力発生器４０の力を伝え
られずインク吐出が出来なくなる、という問題がある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
ヘッドは、複数のノズル開口部と、ノズル開口部に対応
するインク室と、インク室内のインクを加圧する加圧方
向に伸縮自在の圧力発生装置と、圧力発生装置とインク
室を隔離するフィルムと、圧力発生装置に対応してフィ
ルム上に配設された圧力板とを備えたインクジェットヘ
ッドにおいて、圧力板は、圧力発生装置と接合する面の
端部においてＲ部を有しており、且つフィルムと同一の
樹脂材で一体に形成されていることを特徴とする。ま
た、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、複数
のノズル開口部と、ノズル開口部に対応するインク室
と、インク室内のインクを加圧する加圧方向に伸縮自在
の圧力発生装置と、圧力発生装置とインク室を隔離する
フィルムと、圧力発生装置に対応してフィルム上に配設
された圧力板とを備えたインクジェットヘッドの製造方
法において、加熱溶融した樹脂を、圧力板に対応する位
置に溝加工が施されたマスター上に供給する工程と、マ
スターの樹脂が配置された側からフィルムの厚さ分だけ
間隔をあけて該樹脂をプレートで加圧する工程とを有す
ることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
ヘッドは、複数のノズル開口部と、ノズル開口部に対応
するインク室と、インク室内のインクを加圧する加圧方
向に伸縮自在の圧力発生装置と、圧力発生装置とインク
室を隔離するフィルムと、圧力発生装置に対応してフィ
ルム上に配設された圧力板とを備えたインクジェットヘ
ッドにおいて、圧力板は、圧力発生装置と接合する面の
端部においてＲ部を有しており、且つフィルムと同一の
樹脂材で一体に形成されていることを特徴とする。ま
た、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、複数
のノズル開口部と、ノズル開口部に対応するインク室
と、インク室内のインクを加圧する加圧方向に伸縮自在
の圧力発生装置と、圧力発生装置とインク室を隔離する
フィルムと、圧力発生装置に対応してフィルム上に配設
された圧力板とを備えたインクジェットヘッドの製造方
法において、加熱溶融した樹脂を、圧力板に対応する位
置に溝加工が施されたマスター上に供給する工程と、マ
スターの樹脂が配置された側からフィルムの厚さ分だけ
間隔をあけて該樹脂をプレートで加圧する工程とを有す
ることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【００１３】
（実施例１）図１に本発明の一実施例の主要断面図を示
す。
す。
【００１４】図１において、ノズル形成部材１０には、
複数のノズル開口部１１が形成されている。ノズル形成
部材１０には、圧力室形成部材２０が連接する。圧力室
形成部材２０には、ＰＩフィルム３０が連接する。ＰＩ
フィルム３０には、厚肉部があり、これがＰＩ圧力板３
１である。ＰＩ圧力板３１には、圧力発生器４０が、接
着剤７０により接合されている。
複数のノズル開口部１１が形成されている。ノズル形成
部材１０には、圧力室形成部材２０が連接する。圧力室
形成部材２０には、ＰＩフィルム３０が連接する。ＰＩ
フィルム３０には、厚肉部があり、これがＰＩ圧力板３
１である。ＰＩ圧力板３１には、圧力発生器４０が、接
着剤７０により接合されている。
【００１５】ノズル形成部材１０と、圧力室形成部材２
０と、ＰＩフィルム３０と、ＰＩ圧力板３１に囲まれた
範囲がインク室２１であり、インクが満たされている。
インクは、共通流路２２から、供給口２３を通じてイン
ク室２１に供給される。
０と、ＰＩフィルム３０と、ＰＩ圧力板３１に囲まれた
範囲がインク室２１であり、インクが満たされている。
インクは、共通流路２２から、供給口２３を通じてイン
ク室２１に供給される。
【００１６】本実施例においては、圧力発生器４０とし
て、縦型の積層圧電素子を用いている。圧力発生器４０
は、駆動電圧により変位する活性部４１と、変位しない
不活性部４２に区分される。圧力発生器４０の不活性部
４２は、固定基板５０上の電極５１に接合されている。
て、縦型の積層圧電素子を用いている。圧力発生器４０
は、駆動電圧により変位する活性部４１と、変位しない
不活性部４２に区分される。圧力発生器４０の不活性部
４２は、固定基板５０上の電極５１に接合されている。
【００１７】また、圧力発生器４０の固定基板に接合し
ない面には、共通電極５２が半田付けされている。電極
５１と、共通電極５２は、フレキシブルプリント基板６
０により、駆動回路に接続する。
ない面には、共通電極５２が半田付けされている。電極
５１と、共通電極５２は、フレキシブルプリント基板６
０により、駆動回路に接続する。
【００１８】動作について説明する。待機状態にある圧
力発生器４０は、駆動回路により電圧を印加されてい
る。これにより、活性部４１が自然長よりも縮んでい
る。吐出命令即ち電圧解除により、圧力発生器４０は自
然長へ復帰する。この変位により、ＰＩ圧力板３１がノ
ズル形成部材１０に向かい押し出される。インク室２１
内のインクは、ＰＩ圧力板３１の変位により圧力が高め
られ、ノズル開口部１１よりインク滴として吐出され
る。
力発生器４０は、駆動回路により電圧を印加されてい
る。これにより、活性部４１が自然長よりも縮んでい
る。吐出命令即ち電圧解除により、圧力発生器４０は自
然長へ復帰する。この変位により、ＰＩ圧力板３１がノ
ズル形成部材１０に向かい押し出される。インク室２１
内のインクは、ＰＩ圧力板３１の変位により圧力が高め
られ、ノズル開口部１１よりインク滴として吐出され
る。
【００１９】インク滴吐出後に圧力発生器４０には電圧
が印加され、再び待機状態に戻る。そして、吐出したイ
ンク滴量にあたるインクが、供給口２３より補充され
る。
が印加され、再び待機状態に戻る。そして、吐出したイ
ンク滴量にあたるインクが、供給口２３より補充され
る。
【００２０】本実施例において、ＰＩフィルム３０とＰ
Ｉ圧力板３１は、ポリイミド樹脂により一体で構成され
ている。従来例で取り上げた、Ｎｉフィルム３０１に比
べ、剛性が低いため、発生する反力が低くなる。
Ｉ圧力板３１は、ポリイミド樹脂により一体で構成され
ている。従来例で取り上げた、Ｎｉフィルム３０１に比
べ、剛性が低いため、発生する反力が低くなる。
【００２１】しかしながら、本実施例のＰＩフィルム３
０とＰＩ圧力板３１の製造は、従前の樹脂成形方法即
ち、機械的加工、射出成形、エッチングなどで行うこと
が困難であった。それは、ＰＩフィルム３０の厚みの狙
い値が、５μ以下であるためである。
０とＰＩ圧力板３１の製造は、従前の樹脂成形方法即
ち、機械的加工、射出成形、エッチングなどで行うこと
が困難であった。それは、ＰＩフィルム３０の厚みの狙
い値が、５μ以下であるためである。
【００２２】そこで本実施例において、採用した製造方
法は、キャスティングである。図２にその概念図を示
す。
法は、キャスティングである。図２にその概念図を示
す。
【００２３】図２において、マスター１３０は、ステン
レス板である。マスター１３０上には、ＰＩ圧力板３１
に対応した位置に溝１３１がほられている。この溝１３
１は、通常のハーフエッチング技術により形成した。
レス板である。マスター１３０上には、ＰＩ圧力板３１
に対応した位置に溝１３１がほられている。この溝１３
１は、通常のハーフエッチング技術により形成した。
【００２４】加熱溶融した樹脂を、マスター１３０上に
供給したのち、ホットプレス１３２により加圧する。こ
のとき、ホットプレス１３２と、マスター１３０の間隔
がＰＩフィルム３０となる。冷却後、マスター１３０か
ら剥離し、焼成する。
供給したのち、ホットプレス１３２により加圧する。こ
のとき、ホットプレス１３２と、マスター１３０の間隔
がＰＩフィルム３０となる。冷却後、マスター１３０か
ら剥離し、焼成する。
【００２５】このような工程によりＰＩフィルム３０の
厚みは、狙いとした５μ以下を実現できた。これを用い
たインクジェットヘッドは、従来のＮｉフィルム３０１
を用いて構成したインクジェットヘッドに比べ、吐出イ
ンク滴量が３０％増加した。これは、ＰＩフィルム３０
の剛性が低いため、圧力発生器４０の変位を妨げる反力
が減少したためである。
厚みは、狙いとした５μ以下を実現できた。これを用い
たインクジェットヘッドは、従来のＮｉフィルム３０１
を用いて構成したインクジェットヘッドに比べ、吐出イ
ンク滴量が３０％増加した。これは、ＰＩフィルム３０
の剛性が低いため、圧力発生器４０の変位を妨げる反力
が減少したためである。
【００２６】（実施例２）本発明を用いた、他の実施例
について図３に基づき説明する。インクジェットヘッド
としての構成は、前記実施例１と同様であるが、印字密
度を上げることを目的としている。
について図３に基づき説明する。インクジェットヘッド
としての構成は、前記実施例１と同様であるが、印字密
度を上げることを目的としている。
【００２７】印字密度を上げるためには、ＰＩ圧力板３
１のピッチを縮めることが必要である。実施例１で述べ
た製造方法は、マスター１３０をステンレス板に対しエ
ッチングにより製造している。本実施例のマスター２３
０を図３に示す。図３のマスター２３０は、ステンレス
板に放電加工を施して製造している。
１のピッチを縮めることが必要である。実施例１で述べ
た製造方法は、マスター１３０をステンレス板に対しエ
ッチングにより製造している。本実施例のマスター２３
０を図３に示す。図３のマスター２３０は、ステンレス
板に放電加工を施して製造している。
【００２８】ステンレス板に対するエッチング加工は、
溝深さ対溝幅の比率が１対１であり、ＰＩ圧力板３１を
高密度に、即ちピッチを狭く配置するためには、溝深さ
を浅くしなくてはならない。
溝深さ対溝幅の比率が１対１であり、ＰＩ圧力板３１を
高密度に、即ちピッチを狭く配置するためには、溝深さ
を浅くしなくてはならない。
【００２９】既に実施例１で述べた通り、ＰＩ圧力板３
１と、圧力発生器４０は接着剤７０により接合される。
このとき、ＰＩ圧力板３１の厚みが薄いと、接着剤７０
がＰＩフィルム３０の領域にはみだし、圧力発生器４０
への反力を高くする。
１と、圧力発生器４０は接着剤７０により接合される。
このとき、ＰＩ圧力板３１の厚みが薄いと、接着剤７０
がＰＩフィルム３０の領域にはみだし、圧力発生器４０
への反力を高くする。
【００３０】マスター２３０はステンレス板に放電加工
により、溝２３１が加工されている。放電加工によれ
ば、溝深さ対溝幅の比率を自由に設定できる。従って、
接着剤のしみだしに対応できる厚みで、かつ高密度なＰ
Ｉ圧力板３１の配置が可能となる。
により、溝２３１が加工されている。放電加工によれ
ば、溝深さ対溝幅の比率を自由に設定できる。従って、
接着剤のしみだしに対応できる厚みで、かつ高密度なＰ
Ｉ圧力板３１の配置が可能となる。
【００３１】本実施例では、ＰＩ圧力板３１のピッチが
１８０ドット／インチまで狭めることができた。これ
は、従来技術である、ＰＩフィルム３０２にステンレス
板をラミネートし、ステンレス板をエッチングしてＳＵ
Ｓ圧力板３１２を得る方法では実現できなかった。従来
技術では、ピッチを狭めるに従い、ＳＵＳ圧力板３１２
とＰＩフィルム３０２の接合面積が減少し、十分な接合
強度が得られなかったためである。
１８０ドット／インチまで狭めることができた。これ
は、従来技術である、ＰＩフィルム３０２にステンレス
板をラミネートし、ステンレス板をエッチングしてＳＵ
Ｓ圧力板３１２を得る方法では実現できなかった。従来
技術では、ピッチを狭めるに従い、ＳＵＳ圧力板３１２
とＰＩフィルム３０２の接合面積が減少し、十分な接合
強度が得られなかったためである。
【００３２】本実施例では、ＰＩフィルム３０とＰＩ圧
力板３１は一体であり、接合強度になんら問題はないこ
とが、耐久試験により確認されている。
力板３１は一体であり、接合強度になんら問題はないこ
とが、耐久試験により確認されている。
【００３３】
【発明の効果】本発明のインクジェットヘッドは、複数
のノズル開口部と、ノズル開口部に対応するインク室
と、インク室内のインクを加圧する加圧方向に伸縮自在
の圧力発生装置と、圧力発生装置とインク室を隔離する
フィルムと、圧力発生装置に対応してフィルム上に配設
された圧力板とを備えたインクジェットヘッドにおい
て、圧力板は、圧力発生装置と接合する面の端部におい
てＲ部を有しており、且つフィルムと同一の樹脂材で一
体に形成されていることにより、圧力板とフィルムの接
合部が剥離するような問題がなく、かつフィルムの弾性
が高いため圧力発生装置の駆動に対する反力が小さいた
め、該圧力発生装置の発生する振動を効率よくインク室
内のインクに伝達することができるから応答性よく充分
なインク量を吐出することができるという効果を有す
る。さらに、圧力板と圧力発生装置とを接合する接着剤
が、該圧力板のＲ部によってフィルム上にはみ出すこと
なく保持することができるという効果を有する。また、
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、複数のノ
ズル開口部と、ノズル開口部に対応するインク室と、イ
ンク室内のインクを加圧する加圧方向に伸縮自在の圧力
発生装置と、圧力発生装置とインク室を隔離するフィル
ムと、圧力発生装置に対応してフィルム上に配設された
圧力板とを備えたインクジェットヘッドの製造方法にお
いて、加熱溶融した樹脂を、圧力板に対応する位置に溝
加工が施されたマスター上に供給する工程と、マスター
の樹脂が配置された側からフィルムの厚さ分だけ間隔を
あけて該樹脂をプレートで加圧する工程とを有すること
により、従来の樹脂成形方法である機械加工、射出成
形、エッチング等で行うことが困難であった、厚みが５
μｍ以下の薄膜の樹脂フィルム上に、圧力板となる突起
を容易に精度よく形成することができるという効果を有
する。
のノズル開口部と、ノズル開口部に対応するインク室
と、インク室内のインクを加圧する加圧方向に伸縮自在
の圧力発生装置と、圧力発生装置とインク室を隔離する
フィルムと、圧力発生装置に対応してフィルム上に配設
された圧力板とを備えたインクジェットヘッドにおい
て、圧力板は、圧力発生装置と接合する面の端部におい
てＲ部を有しており、且つフィルムと同一の樹脂材で一
体に形成されていることにより、圧力板とフィルムの接
合部が剥離するような問題がなく、かつフィルムの弾性
が高いため圧力発生装置の駆動に対する反力が小さいた
め、該圧力発生装置の発生する振動を効率よくインク室
内のインクに伝達することができるから応答性よく充分
なインク量を吐出することができるという効果を有す
る。さらに、圧力板と圧力発生装置とを接合する接着剤
が、該圧力板のＲ部によってフィルム上にはみ出すこと
なく保持することができるという効果を有する。また、
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、複数のノ
ズル開口部と、ノズル開口部に対応するインク室と、イ
ンク室内のインクを加圧する加圧方向に伸縮自在の圧力
発生装置と、圧力発生装置とインク室を隔離するフィル
ムと、圧力発生装置に対応してフィルム上に配設された
圧力板とを備えたインクジェットヘッドの製造方法にお
いて、加熱溶融した樹脂を、圧力板に対応する位置に溝
加工が施されたマスター上に供給する工程と、マスター
の樹脂が配置された側からフィルムの厚さ分だけ間隔を
あけて該樹脂をプレートで加圧する工程とを有すること
により、従来の樹脂成形方法である機械加工、射出成
形、エッチング等で行うことが困難であった、厚みが５
μｍ以下の薄膜の樹脂フィルム上に、圧力板となる突起
を容易に精度よく形成することができるという効果を有
する。
【００３４】
【図１】本発明の一実施例のインクジェットヘッドの主
要断面図。
要断面図。
【図２】本発明の実施例の、図１に示すＰＩフィルム３
０とＰＩ圧力板３１の製造方法の説明図。
０とＰＩ圧力板３１の製造方法の説明図。
【図３】本発明の他の実施例のＰＩフィルム３０とＰＩ
圧力板３１の製造方法の説明図。
圧力板３１の製造方法の説明図。
【図４】従来のインクジェットヘッドの主要断面図。
【図５】従来の他のインクジェットヘッドの主要断面
図。
図。
１０ ノズル形成部材 １１ ノズル開口部 ２０ 流路形成部材 ２１ インク室 ２２ 共通流路 ２３ 供給流路からインク室にインクを導く供給口 ３０ 本発明におけるＰＩフィルム ３１ 本発明におけるＰＩ圧力板 ４０ 縦型積層圧電素子で構成された、圧力発生器 ４１ 圧電素子の活性部 ４２ 圧電素子の不活性部 ５０ 固定基板 ５１ 固定基板上の電極 ５２ 共通電極 ６０ フレキシブルプリント基板 ７０ 接着剤 ８０ ケース １３０ ステンレス板にハーフエッチングして製造した
マスター １３１ ステンレス板にハーフエッチングにより形成し
た溝 １３２ ホットプレス ２３０ ステンレス板に放電加工して製造したマスター ２３１ ステンレス板に放電加工により形成した溝 ３０１ Ｎｉ電鋳のフィルム ３０２ ポリイミド樹脂のフィルム ３１１ Ｎｉ電鋳の圧力板 ３１２ ステンレス箔の圧力板
マスター １３１ ステンレス板にハーフエッチングにより形成し
た溝 １３２ ホットプレス ２３０ ステンレス板に放電加工して製造したマスター ２３１ ステンレス板に放電加工により形成した溝 ３０１ Ｎｉ電鋳のフィルム ３０２ ポリイミド樹脂のフィルム ３１１ Ｎｉ電鋳の圧力板 ３１２ ステンレス箔の圧力板
Claims (2)
- 【請求項１】 複数のノズル開口部と、ノズル開口部に
対応するインク室と、前記インク室内のインクを加圧す
る加圧方向に伸縮自在の圧力発生装置と、前記圧力発生
装置とインク室を隔離するフィルムと、前記圧力発生装
置に対応して前記フィルム上に配設された圧力板とを備
えたインクジェットヘッドにおいて、 前記圧力板は、前記圧力発生装置と接合する面の端部に
おいてＲ部を有しており、且つ前記フィルムと同一の樹
脂材で一体に形成されていることを特徴とするインクジ
ェットヘッド。 - 【請求項２】 複数のノズル開口部と、ノズル開口部に
対応するインク室と、前記インク室内のインクを加圧す
る加圧方向に伸縮自在の圧力発生装置と、前記圧力発生
装置とインク室を隔離するフィルムと、前記圧力発生装
置に対応して前記フィルム上に配設された圧力板とを備
えたインクジェットヘッドの製造方法において、 加熱溶融した樹脂を、圧力板に対応する位置に溝加工が
施されたマスター上に供給する工程と、 前記マスターの樹脂が配置された側から前記フィルムの
厚さ分だけ間隔をあけて該樹脂をプレートで加圧する工
程とを有することを特徴とするインクジェットヘッドの
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22166892A JP3125458B2 (ja) | 1992-08-20 | 1992-08-20 | インクジェットヘッド、及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22166892A JP3125458B2 (ja) | 1992-08-20 | 1992-08-20 | インクジェットヘッド、及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0664163A JPH0664163A (ja) | 1994-03-08 |
| JP3125458B2 true JP3125458B2 (ja) | 2001-01-15 |
Family
ID=16770399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22166892A Expired - Fee Related JP3125458B2 (ja) | 1992-08-20 | 1992-08-20 | インクジェットヘッド、及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3125458B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2717738B1 (fr) * | 1994-03-28 | 1997-10-10 | Seiko Epson Corp | Tête d'enregistrement à jet d'encre. |
| JP3176245B2 (ja) * | 1995-03-23 | 2001-06-11 | シャープ株式会社 | インクジェットヘッド |
| JP5045824B2 (ja) | 2010-03-26 | 2012-10-10 | パナソニック株式会社 | インクジェットヘッド及びそれを具備するインクジェット装置 |
-
1992
- 1992-08-20 JP JP22166892A patent/JP3125458B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0664163A (ja) | 1994-03-08 |
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Legal Events
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071102 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081102 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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