JP3261961B2 - 放電ランプ - Google Patents
放電ランプInfo
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- Japan
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- coating
- light
- arc tube
- lamp
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
- G03F7/70016—Production of exposure light, i.e. light sources by discharge lamps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/38—Devices for influencing the colour or wavelength of the light
- H01J61/40—Devices for influencing the colour or wavelength of the light by light filters; by coloured coatings in or on the envelope
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は放電ランプに関す
る。特に、半導体ウエハー等の露光に使用されるショー
トアーク型水銀ランプに関する。
る。特に、半導体ウエハー等の露光に使用されるショー
トアーク型水銀ランプに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハーを露光するステッパー用
のショートアーク水銀ランプ（以下、単に「ランプ」と
もいう）は、水銀と不活性ガスが封入された発光空間に
陰極と陽極が対向配置され、ここから放射する紫外線が
利用される。従来は波長４３６ｎｍのｇ線が主として利
用されていたが、近年、半導体の微細化に伴い３６５ｎ
ｍのｉ線が使用されるようになった。
のショートアーク水銀ランプ（以下、単に「ランプ」と
もいう）は、水銀と不活性ガスが封入された発光空間に
陰極と陽極が対向配置され、ここから放射する紫外線が
利用される。従来は波長４３６ｎｍのｇ線が主として利
用されていたが、近年、半導体の微細化に伴い３６５ｎ
ｍのｉ線が使用されるようになった。
【０００３】近年、この種のランプで問題点が２点指摘
されている。第１の問題は短波長の紫外線の発生であ
る。短波長紫外線は空気中の酸素と反応し、有害なオゾ
ンを発生したり、直接、人体の皮膚に作用したりするの
で好ましくなく放射されないことが要求される。２００
ｎｍ以下の紫外線をカットすればオゾンの発生をほぼ防
ぐことができるが、２００ｎｍ以下を完全にカットする
ためには、少なくとも２３０ｎｍの光を５０％以上カッ
トする吸収特性が要求される。この短波長の紫外線をカ
ットする方法として、石英ガラスに酸化チタン（ＴｉＯ
2 ）をコーティングしたり、ＴｉＯ2 をドーピングした
石英ガラスを発光管として使用する従来例があり、近年
は、さらに長波長側の紫外線カットも要求される。
されている。第１の問題は短波長の紫外線の発生であ
る。短波長紫外線は空気中の酸素と反応し、有害なオゾ
ンを発生したり、直接、人体の皮膚に作用したりするの
で好ましくなく放射されないことが要求される。２００
ｎｍ以下の紫外線をカットすればオゾンの発生をほぼ防
ぐことができるが、２００ｎｍ以下を完全にカットする
ためには、少なくとも２３０ｎｍの光を５０％以上カッ
トする吸収特性が要求される。この短波長の紫外線をカ
ットする方法として、石英ガラスに酸化チタン（ＴｉＯ
2 ）をコーティングしたり、ＴｉＯ2 をドーピングした
石英ガラスを発光管として使用する従来例があり、近年
は、さらに長波長側の紫外線カットも要求される。
【０００４】第２の問題はランプから放射される３６５
ｎｍの光量を上げることである。近年、半導体業界では
露光工程のスループットを上げるために、露光面積の増
大化がなされ、単位面積当たりの紫外線の必要光量も増
大化する傾向にある。そのために、大電力ランプが要求
されるが、該ランプは発熱量も大きくなり、ステッパー
内の温度を一定に保つ冷却機能も大がかりで頻雑とな
る。よって、ランプ電力を一定にしたまま、３６５ｎｍ
の光の量を増大させることが重要な問題となっている。
ｎｍの光量を上げることである。近年、半導体業界では
露光工程のスループットを上げるために、露光面積の増
大化がなされ、単位面積当たりの紫外線の必要光量も増
大化する傾向にある。そのために、大電力ランプが要求
されるが、該ランプは発熱量も大きくなり、ステッパー
内の温度を一定に保つ冷却機能も大がかりで頻雑とな
る。よって、ランプ電力を一定にしたまま、３６５ｎｍ
の光の量を増大させることが重要な問題となっている。
【０００５】第１の問題である短波長紫外線のカットに
ついては、前述した石英ガラスに酸化チタンを混ぜて
分散させた、いわゆるドープ石英（あるいは、オゾンフ
リー石英）を使用する方法、特公平４ー３４２５８に
記載されるように、発光管内表面に酸化チタン拡散層を
ディッピング塗布した後、焼き付ける方法、特公平５
ー７０９０１に記載されるように発光管の外表面に酸化
チタン、酸化ケイソ（ＳｉＯ2 ）を含んだガラス層をコ
ーティングした方法などが報告されている。これらの方
法では、２００ｎｍ以下の紫外線をほぼ１００％、２３
０ｎｍの紫外線を約５０％カットすることができる。前
述したように、オゾンとの関係で２００ｎｍ以下を完全
にカットするためには、少なくとも、２３０ｎｍ以下を
５０％以上カットする必要がある。しかし、さらに好ま
しくは、露光に必要な３６５ｎｍをカットしないで、２
３０ｎｍより長波長の紫外線もカットできればさらに望
ましい。
ついては、前述した石英ガラスに酸化チタンを混ぜて
分散させた、いわゆるドープ石英（あるいは、オゾンフ
リー石英）を使用する方法、特公平４ー３４２５８に
記載されるように、発光管内表面に酸化チタン拡散層を
ディッピング塗布した後、焼き付ける方法、特公平５
ー７０９０１に記載されるように発光管の外表面に酸化
チタン、酸化ケイソ（ＳｉＯ2 ）を含んだガラス層をコ
ーティングした方法などが報告されている。これらの方
法では、２００ｎｍ以下の紫外線をほぼ１００％、２３
０ｎｍの紫外線を約５０％カットすることができる。前
述したように、オゾンとの関係で２００ｎｍ以下を完全
にカットするためには、少なくとも、２３０ｎｍ以下を
５０％以上カットする必要がある。しかし、さらに好ま
しくは、露光に必要な３６５ｎｍをカットしないで、２
３０ｎｍより長波長の紫外線もカットできればさらに望
ましい。
【０００６】第２の問題である３６５ｎｍの光量を上げ
る試みは、従来から、水銀、希ガスの封入量の最適化、
陽極、陰極の形状の最適化などで検討されてきた。この
ように第１の問題と第２の問題を個々に解決すること
は、従来からなされてはいるが、これらの方法は、どち
らか一方の問題を解決できるにすぎず、同時に２つの問
題を完全に解決しているわけではなかった。
る試みは、従来から、水銀、希ガスの封入量の最適化、
陽極、陰極の形状の最適化などで検討されてきた。この
ように第１の問題と第２の問題を個々に解決すること
は、従来からなされてはいるが、これらの方法は、どち
らか一方の問題を解決できるにすぎず、同時に２つの問
題を完全に解決しているわけではなかった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】この発明が解決しよう
とする課題は、短波長の紫外線を良好にカットすること
ができ、かつ、３６５ｎｍの光（ｉ線）の放射光量を上
げることができる放電ランプを提供することである。
とする課題は、短波長の紫外線を良好にカットすること
ができ、かつ、３６５ｎｍの光（ｉ線）の放射光量を上
げることができる放電ランプを提供することである。
【０００８】
【問題を解決するための手段】この発明にかかる紫外線
を放射する放電ランプは、石英ガラスよりなる発光管の
外面若しくは内面に、Ｔａ２ Ｏ５ を主成分とするコ
ーティング層と、このコーティング層と屈折率の異なる
１層もしくは複数層よりなる他のコーティング層で無反
射コーティング層を形成し、これら１組の無反射コーテ
ィング層によって、発光管の外面若しくは内面で起こる
波長３６５ｎｍの光の反射をほぼ０％とするとともに、
前記１組の無反射コーティング層によって２３０ｎｍ以
下の紫外線を５０％以上カットすることを特徴とする。
さらに、前記Ｔａ２ Ｏ５ を主成分とするコーティン
グ層の膜厚は光学膜厚で２０ｎｍ〜９００ｎｍであるこ
とを特徴とする。さらに、前記他のコーティング層は、
その主成分がＡｌ２ Ｏ３ またはＳｉＯ２ であるこ
とを特徴とする。さらに、前記紫外線を放射する放電ラ
ンプはショートアーク型水銀ランプであることを特徴と
する。
を放射する放電ランプは、石英ガラスよりなる発光管の
外面若しくは内面に、Ｔａ２ Ｏ５ を主成分とするコ
ーティング層と、このコーティング層と屈折率の異なる
１層もしくは複数層よりなる他のコーティング層で無反
射コーティング層を形成し、これら１組の無反射コーテ
ィング層によって、発光管の外面若しくは内面で起こる
波長３６５ｎｍの光の反射をほぼ０％とするとともに、
前記１組の無反射コーティング層によって２３０ｎｍ以
下の紫外線を５０％以上カットすることを特徴とする。
さらに、前記Ｔａ２ Ｏ５ を主成分とするコーティン
グ層の膜厚は光学膜厚で２０ｎｍ〜９００ｎｍであるこ
とを特徴とする。さらに、前記他のコーティング層は、
その主成分がＡｌ２ Ｏ３ またはＳｉＯ２ であるこ
とを特徴とする。さらに、前記紫外線を放射する放電ラ
ンプはショートアーク型水銀ランプであることを特徴と
する。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明者らは、前記課題について
鋭意検討した結果、少なくとも１層がＴａ2Ｏ5 を主成
分とするコーティング膜を発光管にコ−ティングすれ
ば、３６５ｎｍの光の反射を防止することができ、か
つ、短波長の紫外線も良好にカットできることを見出し
た。
鋭意検討した結果、少なくとも１層がＴａ2Ｏ5 を主成
分とするコーティング膜を発光管にコ−ティングすれ
ば、３６５ｎｍの光の反射を防止することができ、か
つ、短波長の紫外線も良好にカットできることを見出し
た。
【００１０】ここで、Ｔａ2 Ｏ5 を含むコーティング層
を他のコーティング層と交互に多数積層して特定波長の
反射特性を持たせる、いわゆる多層反射コーティングが
従来から知られている。この多層反射コーティングは、
ある特定波長（λ）の反射率を上げるために、高屈折率
のコーティング層（例えば、屈折率２．２〜２．７のＴ
ｉＯ2 や屈折率２．２〜２．４のＴａ2 Ｏ5 ）と低屈折
率のコーティング層（例えば、屈折率１．４７５のＳｉ
Ｏ2 や屈折率１．３８のＭｇＦ2 ）を光学膜厚（ｎｄ）
で１／４＊λの厚さを持って交互にコーティングし多層
積み重ねるものである。この技術では積み重ねる層数が
少ないと所望の反射率が得られず、実用できる程度の反
射率を得るには、通常、１０層以上はコーティングしな
ければならなかった。
を他のコーティング層と交互に多数積層して特定波長の
反射特性を持たせる、いわゆる多層反射コーティングが
従来から知られている。この多層反射コーティングは、
ある特定波長（λ）の反射率を上げるために、高屈折率
のコーティング層（例えば、屈折率２．２〜２．７のＴ
ｉＯ2 や屈折率２．２〜２．４のＴａ2 Ｏ5 ）と低屈折
率のコーティング層（例えば、屈折率１．４７５のＳｉ
Ｏ2 や屈折率１．３８のＭｇＦ2 ）を光学膜厚（ｎｄ）
で１／４＊λの厚さを持って交互にコーティングし多層
積み重ねるものである。この技術では積み重ねる層数が
少ないと所望の反射率が得られず、実用できる程度の反
射率を得るには、通常、１０層以上はコーティングしな
ければならなかった。
【００１１】例えば、特公平２ー１８８５６号には、ス
テッパーに用いられる超高圧水銀ランプであって、光学
系内のフィルターやコールドミラーを省くために赤外光
をランプ内部に反射する多層コーティングの技術が記載
されている。具体的には、波長１０００ｎｍの光を反射
させるために、２５０ｎｍの厚さでＴａ2 Ｏ5 とＳｉＯ
2 を１２層交互にコーティングし、その上に２５０ｎｍ
の厚さの高屈折率層（Ｔａ2 Ｏ5 ）と１２５ｎｍの厚さ
の低屈折率層（ＳｉＯ2 ）を積層している。結果とし
て、８００〜１１００ｎｍの光をほぼランプ内部に反射
することで透過率を０％としている。
テッパーに用いられる超高圧水銀ランプであって、光学
系内のフィルターやコールドミラーを省くために赤外光
をランプ内部に反射する多層コーティングの技術が記載
されている。具体的には、波長１０００ｎｍの光を反射
させるために、２５０ｎｍの厚さでＴａ2 Ｏ5 とＳｉＯ
2 を１２層交互にコーティングし、その上に２５０ｎｍ
の厚さの高屈折率層（Ｔａ2 Ｏ5 ）と１２５ｎｍの厚さ
の低屈折率層（ＳｉＯ2 ）を積層している。結果とし
て、８００〜１１００ｎｍの光をほぼランプ内部に反射
することで透過率を０％としている。
【００１２】また、特公平７ー１９５６８号には、ラン
プの半球面に３６５ｎｍの光を反射させるための反射層
を多数設けて、片半面から３６５ｎｍの光を放射させる
技術が記載される。具体的には、Ｔａ2 Ｏ5 とＳｉＯ2
を厚さ９０ｎｍで９層、厚さ１００ｎｍで１層、その後
厚さ１１０ｎｍで９層コーティングし、波長４００ｎｍ
の光を中心に反射させた。結果として、３６５ｎｍ付近
の光をほぼ１００％反射させたことが紹介される。
プの半球面に３６５ｎｍの光を反射させるための反射層
を多数設けて、片半面から３６５ｎｍの光を放射させる
技術が記載される。具体的には、Ｔａ2 Ｏ5 とＳｉＯ2
を厚さ９０ｎｍで９層、厚さ１００ｎｍで１層、その後
厚さ１１０ｎｍで９層コーティングし、波長４００ｎｍ
の光を中心に反射させた。結果として、３６５ｎｍ付近
の光をほぼ１００％反射させたことが紹介される。
【００１３】これらの従来技術は、発光管内の発光中心
から放射された光を発光管外表面に設けた多数のコーテ
ィング層の相互に光干渉により所望の光を反射させると
いうものであり、所望の光を反射させること、及び、所
定の光を反射させることで逆に所望の光を透過させると
いう効果を狙ったものである。この発明は、このような
従来の技術思想の延長線上で行うのではなく、発光管の
外表面から放射される３６５ｎｍの光そのもの自体の増
大を図ることにある。
から放射された光を発光管外表面に設けた多数のコーテ
ィング層の相互に光干渉により所望の光を反射させると
いうものであり、所望の光を反射させること、及び、所
定の光を反射させることで逆に所望の光を透過させると
いう効果を狙ったものである。この発明は、このような
従来の技術思想の延長線上で行うのではなく、発光管の
外表面から放射される３６５ｎｍの光そのもの自体の増
大を図ることにある。
【００１４】具体的には、３６５ｎｍの光が発光管の内
部から外部に通過する際、発光管の内部空間と発光管の
内表面との間に生じる反射、および、発光管の外表面と
発光管の外部空間の間に生じる反射を減少させることに
ある。そして、Ｔａ2 Ｏ5 を主成分とするコーティング
層と、このコーティング層と屈折率の異なる１層もしく
は複数層よりなる他のコーティング層より構成される１
組のコーティング層を、発光管の外面若しくは内面にコ
ーティングすることで、この１組のコーティング層だけ
で上記目的を達成できることを発明した。さらに、この
コーティングが短波長紫外線のカットにも効果的である
ことがわかった。
部から外部に通過する際、発光管の内部空間と発光管の
内表面との間に生じる反射、および、発光管の外表面と
発光管の外部空間の間に生じる反射を減少させることに
ある。そして、Ｔａ2 Ｏ5 を主成分とするコーティング
層と、このコーティング層と屈折率の異なる１層もしく
は複数層よりなる他のコーティング層より構成される１
組のコーティング層を、発光管の外面若しくは内面にコ
ーティングすることで、この１組のコーティング層だけ
で上記目的を達成できることを発明した。さらに、この
コーティングが短波長紫外線のカットにも効果的である
ことがわかった。
【００１５】このような反射を押さえることができる膜
は、他の用途では既に利用されているもので、後述する
無反射コーティング、あるいは、反射防止膜と呼ばれ
る。ここで、反射防止膜とは主にガラスまたは、他の透
明物質の表面で反射を減らし、透過率を増大させるため
の膜と「光学技術ハンドブック増補版」久保田 広他編
集、朝倉書店（昭和５９年）に記載され、また、無反射
コーティングとは屈折率の異なる界面における反射損失
を低減する方法と「光学薄膜 第２編」共立出版（１９
８５年）に記載されている。
は、他の用途では既に利用されているもので、後述する
無反射コーティング、あるいは、反射防止膜と呼ばれ
る。ここで、反射防止膜とは主にガラスまたは、他の透
明物質の表面で反射を減らし、透過率を増大させるため
の膜と「光学技術ハンドブック増補版」久保田 広他編
集、朝倉書店（昭和５９年）に記載され、また、無反射
コーティングとは屈折率の異なる界面における反射損失
を低減する方法と「光学薄膜 第２編」共立出版（１９
８５年）に記載されている。
【００１６】ここで、放電ランプについて言えば、無反
射コーティングをしない場合には、石英ガラスの３６５
ｎｍの光に対する屈折率約 1.48 と空気の屈折率が約
1.0との関係により、発光管の片面で約 4.0％の３６５
ｎｍの光の反射が起こる。この現象が発光管の内部空間
と発光管の内表面との界面、発光管の外表面と外気との
界面でそれぞれ起こると、この反射による損失は約 8.0
％となる。つまり、発光管の外表面から放射される３６
５ｎｍの光は、少なくとも 8.0％はすでに反射により減
衰されていることを意味する。
射コーティングをしない場合には、石英ガラスの３６５
ｎｍの光に対する屈折率約 1.48 と空気の屈折率が約
1.0との関係により、発光管の片面で約 4.0％の３６５
ｎｍの光の反射が起こる。この現象が発光管の内部空間
と発光管の内表面との界面、発光管の外表面と外気との
界面でそれぞれ起こると、この反射による損失は約 8.0
％となる。つまり、発光管の外表面から放射される３６
５ｎｍの光は、少なくとも 8.0％はすでに反射により減
衰されていることを意味する。
【００１７】この発明では発光管の外面もしくは内面
に、その素材に短波長紫外線の吸収特性を持つ無反射コ
ーティングをすることで、３６５ｎｍの放射光量を上げ
るとともに、所望の短波長紫外線もカットしている。従
来の多層反射コーティングの場合は、その特性はコーテ
ィング膜の特性（高屈折率と低屈折率の厚さ）だけで決
定されるが、本発明にかかる無反射コーティングの場合
は発光管の屈折率も大きく影響する。
に、その素材に短波長紫外線の吸収特性を持つ無反射コ
ーティングをすることで、３６５ｎｍの放射光量を上げ
るとともに、所望の短波長紫外線もカットしている。従
来の多層反射コーティングの場合は、その特性はコーテ
ィング膜の特性（高屈折率と低屈折率の厚さ）だけで決
定されるが、本発明にかかる無反射コーティングの場合
は発光管の屈折率も大きく影響する。
【００１８】次に、発光管の屈折率との関係で本発明の
無反射コーティングに要求される屈折率について説明す
る。透明基板（屈折率：ｎs ）上に膜厚ｄの透明膜（屈
折率：ｎ）を１層コーティングすると、「光学薄膜 第
２編」共立出版（１９８５年）によると、ｎs ＞ｎで
は、２πｎｄ／λ＝π、３π、（２ｍ＋１）πで、 極小値Ｒ＝（（ｎs −ｎ2 ）／（ｎs ＋ｎ2 ））2 をとる。その際、反射率を０にするためには、ｎ＝（ｎ
s ）0.5の必要がある。発光管の材質である石英ガラス
の屈折率は約１．５であるので、屈折率１．２２のコー
ティング層であれば、このコーティング層だけで、３６
５ｎｍの光の発光管との界面に起こる反射を防止するこ
とができる。しかし、屈折率１．２２であり、かつ、望
まれる紫外線カット特性を有する材料は現在存在しな
い。
無反射コーティングに要求される屈折率について説明す
る。透明基板（屈折率：ｎs ）上に膜厚ｄの透明膜（屈
折率：ｎ）を１層コーティングすると、「光学薄膜 第
２編」共立出版（１９８５年）によると、ｎs ＞ｎで
は、２πｎｄ／λ＝π、３π、（２ｍ＋１）πで、 極小値Ｒ＝（（ｎs −ｎ2 ）／（ｎs ＋ｎ2 ））2 をとる。その際、反射率を０にするためには、ｎ＝（ｎ
s ）0.5の必要がある。発光管の材質である石英ガラス
の屈折率は約１．５であるので、屈折率１．２２のコー
ティング層であれば、このコーティング層だけで、３６
５ｎｍの光の発光管との界面に起こる反射を防止するこ
とができる。しかし、屈折率１．２２であり、かつ、望
まれる紫外線カット特性を有する材料は現在存在しな
い。
【００１９】次に、複数のコーティング層によって無反
射コーティングを形成する場合について説明する。複数
のコーティング層は、それぞれ３６５ｎｍの光に対する
屈折率が異なる関係にあれば、高屈折率と低屈折率の関
係を持ち無反射コーティングとして機能できる。２層コ
ーティング膜（ｎ1 、ｎ2 ）の場合、特定波長λを完全
に反射防止するためには、 ｔａｎ2 ｇ2 ＝（ｎ1 2 ×（ｎ0 −ｎS ）×（ｎS ｎ0
−ｎ2 2 ））／（（ｎS ｎ1 2 −ｎ0 ｎ2 2 ）×（ｎS
ｎ0 −ｎ1 2 ）） ｔａｎ2 ｇ2 ＝（ｎ2 2 ×（ｎ0 −ｎS ）×（ｎS ｎ0
−ｎ1 2 ））／（（ｎS ｎ1 2 −ｎ0 ｎ2 2 ）×（ｎS
ｎ0 −ｎ2 2 ）） ただし、ｇ1 ＝２πｎ1 ｄ1 ／λ、ｇ2 ＝２πｎ2 ｄ2
／λ、ｎ0 は空気の屈折率を示し１である。ｎ1 とｎ2
は各々のコーティング層の屈折率、ｄ1 とｄ2は各々の
コーティング層の厚さを示す。上記式の解は複数個存在
する。例えばｎ1 ＝１．４７２（ＳｉＯ2 ）、ｎ2 ＝
２．３４（Ｔａ2 Ｏ5 ）、ｎS （石英ガラス３６５ｎｍ
の屈折率）＝１．４７５で上式を解くと、例えば、次の
ような解が得られる。 解１：ｎ1 ｄ1 ＝１２３ｎｍ、ｎ2 ｄ2 ＝２４．３ｎｍ 解２：ｎ1 ｄ1 ＝１２３ｎｍ、ｎ2 ｄ2 ＝２０７ｎｍ 解３：ｎ1 ｄ1 ＝１２３ｎｍ、ｎ2 ｄ2 ＝３８９ｎｍ 解４：ｎ1 ｄ1 ＝１２３ｎｍ、ｎ2 ｄ2 ＝５７２ｎｍ
射コーティングを形成する場合について説明する。複数
のコーティング層は、それぞれ３６５ｎｍの光に対する
屈折率が異なる関係にあれば、高屈折率と低屈折率の関
係を持ち無反射コーティングとして機能できる。２層コ
ーティング膜（ｎ1 、ｎ2 ）の場合、特定波長λを完全
に反射防止するためには、 ｔａｎ2 ｇ2 ＝（ｎ1 2 ×（ｎ0 −ｎS ）×（ｎS ｎ0
−ｎ2 2 ））／（（ｎS ｎ1 2 −ｎ0 ｎ2 2 ）×（ｎS
ｎ0 −ｎ1 2 ）） ｔａｎ2 ｇ2 ＝（ｎ2 2 ×（ｎ0 −ｎS ）×（ｎS ｎ0
−ｎ1 2 ））／（（ｎS ｎ1 2 −ｎ0 ｎ2 2 ）×（ｎS
ｎ0 −ｎ2 2 ）） ただし、ｇ1 ＝２πｎ1 ｄ1 ／λ、ｇ2 ＝２πｎ2 ｄ2
／λ、ｎ0 は空気の屈折率を示し１である。ｎ1 とｎ2
は各々のコーティング層の屈折率、ｄ1 とｄ2は各々の
コーティング層の厚さを示す。上記式の解は複数個存在
する。例えばｎ1 ＝１．４７２（ＳｉＯ2 ）、ｎ2 ＝
２．３４（Ｔａ2 Ｏ5 ）、ｎS （石英ガラス３６５ｎｍ
の屈折率）＝１．４７５で上式を解くと、例えば、次の
ような解が得られる。 解１：ｎ1 ｄ1 ＝１２３ｎｍ、ｎ2 ｄ2 ＝２４．３ｎｍ 解２：ｎ1 ｄ1 ＝１２３ｎｍ、ｎ2 ｄ2 ＝２０７ｎｍ 解３：ｎ1 ｄ1 ＝１２３ｎｍ、ｎ2 ｄ2 ＝３８９ｎｍ 解４：ｎ1 ｄ1 ＝１２３ｎｍ、ｎ2 ｄ2 ＝５７２ｎｍ
【００２０】次に、解１から解４の条件を満たしたコー
ティング層を発光管の外表面にコーティングして放射光
の透過率を測定した。その結果を各々図３、図４、図
５、図６に示す。図は横軸に波長を示し、縦軸に透過率
を示し、図３はＴａ2 Ｏ5 を２４．３ｎｍ、ＳｉＯ2 を
１２３ｎｍコーティングしており、図４はＴａ2 Ｏ5 を
２０７ｎｍ、ＳｉＯ2 を１２３ｎｍコーティングしてお
り、図５はＴａ2 Ｏ5 を３８９ｎｍ、ＳｉＯ2 を１２３
ｎｍコーティングしており、図６はＴａ2 Ｏ5 を５７２
ｎｍ、ＳｉＯ2 を１２３ｎｍコーティングしている。こ
の結果、すべてにおいて、３６５ｎｍの光の透過率は９
６％を得ていることがわかる。本実施例は、発光管の外
表面に無反射コーティングをしたものであるから、発光
管の内表面と放電空間との界面で起こる約４％の反射を
除いた量が発光管から良好に放射されることを表してい
る。数学解はさらに、複数個存在し、数学解以外でも、
反射率を０に近づける近似の条件はさらに複数存在す
る。
ティング層を発光管の外表面にコーティングして放射光
の透過率を測定した。その結果を各々図３、図４、図
５、図６に示す。図は横軸に波長を示し、縦軸に透過率
を示し、図３はＴａ2 Ｏ5 を２４．３ｎｍ、ＳｉＯ2 を
１２３ｎｍコーティングしており、図４はＴａ2 Ｏ5 を
２０７ｎｍ、ＳｉＯ2 を１２３ｎｍコーティングしてお
り、図５はＴａ2 Ｏ5 を３８９ｎｍ、ＳｉＯ2 を１２３
ｎｍコーティングしており、図６はＴａ2 Ｏ5 を５７２
ｎｍ、ＳｉＯ2 を１２３ｎｍコーティングしている。こ
の結果、すべてにおいて、３６５ｎｍの光の透過率は９
６％を得ていることがわかる。本実施例は、発光管の外
表面に無反射コーティングをしたものであるから、発光
管の内表面と放電空間との界面で起こる約４％の反射を
除いた量が発光管から良好に放射されることを表してい
る。数学解はさらに、複数個存在し、数学解以外でも、
反射率を０に近づける近似の条件はさらに複数存在す
る。
【００２１】ここで、使用されるコーティング層の材料
には、所望の紫外線を吸収できることが要求される。前
述の３６５ｎｍの光の無反射条件を得る上で、３６５ｎ
ｍの波長をカットしないこと、かつ、２３０ｎｍ以下の
光を５０％以上カットすることが要求される。
には、所望の紫外線を吸収できることが要求される。前
述の３６５ｎｍの光の無反射条件を得る上で、３６５ｎ
ｍの波長をカットしないこと、かつ、２３０ｎｍ以下の
光を５０％以上カットすることが要求される。
【００２２】コーティング層が２層以上の場合は、どち
らか１層が上記条件を満たすことが必要である。その
際、他のコーティング層の紫外線カット特性は前記コー
ティング層の紫外線カット特性より低い（紫外線の透過
がよい）必要がある。
らか１層が上記条件を満たすことが必要である。その
際、他のコーティング層の紫外線カット特性は前記コー
ティング層の紫外線カット特性より低い（紫外線の透過
がよい）必要がある。
【００２３】本発明者は、Ｔａ2 Ｏ5 のみが上記条件を
満たしていることを発見した。ＣｅＯ2 は紫外線の吸収
が大きすぎて３６５ｎｍの光もカットしてしまう。Ｔｉ
Ｏ2 も３６５ｎｍの光を若干カットする。ＺｒＯ2 は３
６５ｎｍの光はカットしないが、Ｔａ2 Ｏ5 よりも短波
長紫外線のカット特性が悪い。また、２層以上のコーテ
ィングの場合は、１層がＴａ2 Ｏ5 を主成分とするコー
ティング層であって、他のコーティング層は、Ｓｉ
Ｏ2 、Ａｌ2 Ｏ3 のようにＴａ2 Ｏ5 の短波長紫外線の
カット特性が低い（紫外線の透過率がよい）材料を選択
する必要がある。
満たしていることを発見した。ＣｅＯ2 は紫外線の吸収
が大きすぎて３６５ｎｍの光もカットしてしまう。Ｔｉ
Ｏ2 も３６５ｎｍの光を若干カットする。ＺｒＯ2 は３
６５ｎｍの光はカットしないが、Ｔａ2 Ｏ5 よりも短波
長紫外線のカット特性が悪い。また、２層以上のコーテ
ィングの場合は、１層がＴａ2 Ｏ5 を主成分とするコー
ティング層であって、他のコーティング層は、Ｓｉ
Ｏ2 、Ａｌ2 Ｏ3 のようにＴａ2 Ｏ5 の短波長紫外線の
カット特性が低い（紫外線の透過率がよい）材料を選択
する必要がある。
【００２４】ここで、Ｔａ2 Ｏ5 を主成分とするコーテ
ィング層とは、Ｔａ2 Ｏ5 が全体の５０％程度は含まれ
ていることを意味しており、その他の材料として、Ｈｆ
Ｏ2、ＺｒＯ2 などが適用される。
ィング層とは、Ｔａ2 Ｏ5 が全体の５０％程度は含まれ
ていることを意味しており、その他の材料として、Ｈｆ
Ｏ2、ＺｒＯ2 などが適用される。
【００２５】上述したように無反射コーティングの条件
は、２層の場合でも複数ある。ただし、Ｔａ2 Ｏ5 の膜
厚が薄くなると、図３に示すように紫外線の吸収が少な
くなる。光学膜厚として２０ｎｍ以下では、２３０ｎｍ
以下の波長を５０％以上カットする条件を満たさなくな
ることがわかった。
は、２層の場合でも複数ある。ただし、Ｔａ2 Ｏ5 の膜
厚が薄くなると、図３に示すように紫外線の吸収が少な
くなる。光学膜厚として２０ｎｍ以下では、２３０ｎｍ
以下の波長を５０％以上カットする条件を満たさなくな
ることがわかった。
【００２６】３６５ｎｍの光の無反射条件を保ちなが
ら、Ｔａ2 Ｏ5 の膜を厚くすると、図６のように、無反
射である波長領域が狭くなる。さらにＴａ2 Ｏ5 の膜を
厚くすると一層無反射波長領域が狭くなる。そのような
状態では、コーティング膜厚が目的値から少しずれても
３６５ｎｍの無反射状態は成立しなくなる。コーティン
グの膜厚制御が問題になり、実用条件からはずれてしま
う。実用可能なＴａ2 Ｏ5 の膜厚の上限は光学膜厚とし
て、９００ｎｍである。
ら、Ｔａ2 Ｏ5 の膜を厚くすると、図６のように、無反
射である波長領域が狭くなる。さらにＴａ2 Ｏ5 の膜を
厚くすると一層無反射波長領域が狭くなる。そのような
状態では、コーティング膜厚が目的値から少しずれても
３６５ｎｍの無反射状態は成立しなくなる。コーティン
グの膜厚制御が問題になり、実用条件からはずれてしま
う。実用可能なＴａ2 Ｏ5 の膜厚の上限は光学膜厚とし
て、９００ｎｍである。
【００２７】３層では無反射の条件は、さらに複数ある
が、各コーティング層の厚さの最小、最大値は前述の２
層の場合とほぼ同じである。よって、Ｔａ2 Ｏ5 の膜厚
は、光学膜厚で２０ｎｍ〜９００ｎｍの範囲にすること
により、短波長紫外線のカットと、効率良くｉ線（３６
５ｎｍ）の出力が得るという目的を同時に達成すること
ができる。
が、各コーティング層の厚さの最小、最大値は前述の２
層の場合とほぼ同じである。よって、Ｔａ2 Ｏ5 の膜厚
は、光学膜厚で２０ｎｍ〜９００ｎｍの範囲にすること
により、短波長紫外線のカットと、効率良くｉ線（３６
５ｎｍ）の出力が得るという目的を同時に達成すること
ができる。
【００２８】無反射コーティングは、３層のコーティン
グを施すことにより、無反射領域の波長範囲が広がり有
用となる。Ｔａ2 Ｏ5 以外の材料は、その屈折率、紫外
吸収特性が重要であるが、３６５ｎｍの紫外線を吸収す
ることなく、屈折率が１．４〜１．７のものが適用され
る。この条件を満たす材料として、ＳｉＯ2 、Ａｌ2Ｏ
3 が適している。そして、これらの膜、すなわち、Ｔａ
2 Ｏ5 を主成分とする膜、ＳｉＯ2 を主成分とする膜、
Ａｌ2 Ｏ3 を主成分とする膜を合わせて用いることによ
り、この１組のコーティング層によって、３５０ｎｍの
光から４５０ｎｍの光まで広い領域で反射防止をするこ
とができる。また、３つの膜を１組のコーティング層と
することで、膜に応力が入らず機械的強度が高く、耐熱
温度も高く、耐久性も良く、理想に近い膜とすることが
できる。
グを施すことにより、無反射領域の波長範囲が広がり有
用となる。Ｔａ2 Ｏ5 以外の材料は、その屈折率、紫外
吸収特性が重要であるが、３６５ｎｍの紫外線を吸収す
ることなく、屈折率が１．４〜１．７のものが適用され
る。この条件を満たす材料として、ＳｉＯ2 、Ａｌ2Ｏ
3 が適している。そして、これらの膜、すなわち、Ｔａ
2 Ｏ5 を主成分とする膜、ＳｉＯ2 を主成分とする膜、
Ａｌ2 Ｏ3 を主成分とする膜を合わせて用いることによ
り、この１組のコーティング層によって、３５０ｎｍの
光から４５０ｎｍの光まで広い領域で反射防止をするこ
とができる。また、３つの膜を１組のコーティング層と
することで、膜に応力が入らず機械的強度が高く、耐熱
温度も高く、耐久性も良く、理想に近い膜とすることが
できる。
【００２９】前述の無反射コーティング材料の発光管へ
のコーティング方法は蒸着法、スパッタリング法、ＣＶ
Ｄ法、ディッピング法が適当である。さらに、無反射コ
ーティング材料は発光管の外面だけでなく、発光管の内
面にもコーティングすることができる。このようにする
と、発光管の内面と発光管の内部空間との界面での３６
５ｎｍの光の反射を減少させることができる。この発光
管の内面へのコーティングは、ＣＶＤ法、ディッピング
法でできる。さらにまた、発光管の内面と外面の両方に
無反射コーティング層を設けることもできる。前述の如
く、かかる無反射コーティング層を設けない場合には約
４％の光が反射するので、発光管の内面と外面の両方に
無反射コーティング層を設けることで、約８％のｉ線の
透過効率が上がることになる。
のコーティング方法は蒸着法、スパッタリング法、ＣＶ
Ｄ法、ディッピング法が適当である。さらに、無反射コ
ーティング材料は発光管の外面だけでなく、発光管の内
面にもコーティングすることができる。このようにする
と、発光管の内面と発光管の内部空間との界面での３６
５ｎｍの光の反射を減少させることができる。この発光
管の内面へのコーティングは、ＣＶＤ法、ディッピング
法でできる。さらにまた、発光管の内面と外面の両方に
無反射コーティング層を設けることもできる。前述の如
く、かかる無反射コーティング層を設けない場合には約
４％の光が反射するので、発光管の内面と外面の両方に
無反射コーティング層を設けることで、約８％のｉ線の
透過効率が上がることになる。
【００３０】
【実施例】この発明の具体的な実施例を以下に示す。図
１は定格消費電力１ｋｗのショートアーク型水銀蒸気放
電ランプの全体図である。発光管１の内部には、陰極２
と陽極３が対向配置され、この陰極２と陽極３は各々リ
ード棒に支持されて金属箔４の接続される。ランプは発
光管膨出部１２とその両端に封止部１３を有し、発光管
膨出部１２の内部に放電空間１１を形成する。かかる放
電ランプにおいて、発光管膨出部１２の外側表面１４
に、それぞれ光学膜厚で、Ａｌ2 Ｏ3 が９０ｎｍ、Ｔａ
2 Ｏ5 が１８０ｎｍ、ＳｉＯ2 が９０ｎｍを蒸着法によ
りコーティングした。この状態を図２に示す。発光管１
の外表面１４には、Ａｌ2 Ｏ3 層２０、Ｔａ2 Ｏ5 層２
１、ＳｉＯ2 層２２がコーティングされている。このよ
うなコ−ティングを施したランプを点灯させ、その室温
透過率を図７に示した。図より、３６５ｎｍの光の透過
率は９６％以上あり、２７０ｎｍ以下の紫外線が５０％
以上カットされていることがわかる。
１は定格消費電力１ｋｗのショートアーク型水銀蒸気放
電ランプの全体図である。発光管１の内部には、陰極２
と陽極３が対向配置され、この陰極２と陽極３は各々リ
ード棒に支持されて金属箔４の接続される。ランプは発
光管膨出部１２とその両端に封止部１３を有し、発光管
膨出部１２の内部に放電空間１１を形成する。かかる放
電ランプにおいて、発光管膨出部１２の外側表面１４
に、それぞれ光学膜厚で、Ａｌ2 Ｏ3 が９０ｎｍ、Ｔａ
2 Ｏ5 が１８０ｎｍ、ＳｉＯ2 が９０ｎｍを蒸着法によ
りコーティングした。この状態を図２に示す。発光管１
の外表面１４には、Ａｌ2 Ｏ3 層２０、Ｔａ2 Ｏ5 層２
１、ＳｉＯ2 層２２がコーティングされている。このよ
うなコ−ティングを施したランプを点灯させ、その室温
透過率を図７に示した。図より、３６５ｎｍの光の透過
率は９６％以上あり、２７０ｎｍ以下の紫外線が５０％
以上カットされていることがわかる。
【００３１】次に、本発明にかかる水銀ランプ（反射防
止膜を発光管のコーティング）と従来の水銀ランプ（発
光管にコーティングなし）を点灯させ、分光スペクトル
を測定して、３６５ｎｍの光の出力、および短波長紫外
線のカット特性を調査した。図８に従来のランプの分光
スペクトル、図９に本発明のランプの分光スペクトルを
示し、図１０に図９の分光スペクトルを図８の分光スペ
クトルで除した結果を示す。この結果、ＵＶカット特性
については、ランプ点灯時に発光管が加熱されることに
より、コーティング膜による紫外線の吸収領域が長波長
側に移動し、５０％を透過する波長が約２９０ｎｍとな
り従来のランプより好ましい方向に変化している。一
方、３６５ｎｍの光の放射強度は本発明のランプが従来
のランプに比べて３〜５％ｕｐしている。つまり、本発
明にかかる水銀ランプをステッパーに用いれば、ステッ
パーのスループットを約１％上昇させることができ、半
導体製造ラインのスループットも同様に１％上昇させる
ことができる。これは、非常に効果のある数字である。
止膜を発光管のコーティング）と従来の水銀ランプ（発
光管にコーティングなし）を点灯させ、分光スペクトル
を測定して、３６５ｎｍの光の出力、および短波長紫外
線のカット特性を調査した。図８に従来のランプの分光
スペクトル、図９に本発明のランプの分光スペクトルを
示し、図１０に図９の分光スペクトルを図８の分光スペ
クトルで除した結果を示す。この結果、ＵＶカット特性
については、ランプ点灯時に発光管が加熱されることに
より、コーティング膜による紫外線の吸収領域が長波長
側に移動し、５０％を透過する波長が約２９０ｎｍとな
り従来のランプより好ましい方向に変化している。一
方、３６５ｎｍの光の放射強度は本発明のランプが従来
のランプに比べて３〜５％ｕｐしている。つまり、本発
明にかかる水銀ランプをステッパーに用いれば、ステッ
パーのスループットを約１％上昇させることができ、半
導体製造ラインのスループットも同様に１％上昇させる
ことができる。これは、非常に効果のある数字である。
【図１】本発明にかかるショートアーク型水銀ランプの
全体図である。
全体図である。
【図２】本発明のコーティングの状態を示した図であ
る。
る。
【図３】本発明のコーティングを施したランプによる分
光スペクトルを示す。
光スペクトルを示す。
【図４】本発明のコーティングを施したランプによる分
光スペクトルを示す。
光スペクトルを示す。
【図５】本発明のコーティングを施したランプによる分
光スペクトルを示す。
光スペクトルを示す。
【図６】本発明のコーティングを施したランプによる分
光スペクトルを示す。
光スペクトルを示す。
【図７】本発明のコーティングを施したランプによる分
光スペクトルを示す。
光スペクトルを示す。
【図８】従来のランプによる分光スペクトルを示す。
【図９】本発明のランプと従来のランプによる分光スペ
クトルを示す。
クトルを示す。
【図１０】本発明のコーティングを施したランプによる
分光スペクトルを示す。
分光スペクトルを示す。
１ 発光管 ２ 陰極 ３ 陽極 ４ 金属箔 １１ 発光空間 １２ 発光管膨出部 １３ 封上部 １４ コーティング膜 ２０ Ａｌ2 Ｏ3 層 ２１ Ｔａ2 Ｏ5 層 ２２ ＳｉＯ2 層
フロントページの続き 審査官 堀部 修平 (56)参考文献 特開 平７−320688（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−297044（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−96751（ＪＰ，Ａ) 実開 昭64−16055（ＪＰ，Ｕ) 登録実用新案3016061（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 61/35 H01J 61/86
Claims (4)
- 【請求項１】石英ガラスよりなる発光管の外面若しくは
内面に、Ｔａ２ Ｏ５ を主成分とするコーティング層
と、このコーティング層と屈折率の異なる１層もしくは
複数層の他のコーティング層で無反射コーティング層を
形成し、 これら１組の無反射コーティング層によって、発光管の
外面若しくは内面で起こる波長３６５ｎｍの光の反射を
ほぼ０％とするとともに、前記１組の無反射コーティン
グ層によって２３０ｎｍ以下の紫外線を５０％以上カッ
トすることを特徴とする紫外線を放射する放電ランプ。 - 【請求項２】前記Ｔａ２ Ｏ５ を主成分とするコーテ
ィング層の膜厚は光学膜厚で２０ｎｍ〜９００ｎｍであ
ることを特徴とする請求項１に記載の紫外線を放射する
放電ランプ。 - 【請求項３】前記他のコーティング層は、その主成分が
Ａｌ２ Ｏ３ またはＳｉＯ２ であることを特徴とす
る請求項１に記載の紫外線を放射する放電ランプ。 - 【請求項４】前記放電ランプはショートアーク型水銀ラ
ンプであることを特徴とする請求項１に記載の紫外線を
放射する放電ランプ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35497295A JP3261961B2 (ja) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | 放電ランプ |
| KR1019960062368A KR100426580B1 (ko) | 1995-12-20 | 1996-12-06 | 방전램프 |
| DE69605392T DE69605392T2 (de) | 1995-12-20 | 1996-12-19 | Entladungslampe |
| EP96120517A EP0780880B1 (en) | 1995-12-20 | 1996-12-19 | Discharge lamp |
| US08/770,505 US5861715A (en) | 1995-12-20 | 1996-12-20 | Discharge lamp having a plurality of coating layers |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35497295A JP3261961B2 (ja) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | 放電ランプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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Family
ID=18441119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35497295A Expired - Fee Related JP3261961B2 (ja) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | 放電ランプ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
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| EP (1) | EP0780880B1 (ja) |
| JP (1) | JP3261961B2 (ja) |
| KR (1) | KR100426580B1 (ja) |
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| DE10222954A1 (de) | 2002-05-24 | 2003-12-04 | Philips Intellectual Property | Hochdruckgasentladungslampe |
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| US20110050075A1 (en) * | 2008-02-05 | 2011-03-03 | Osram Gesellschaft Mit Beschraenkter Haftung | Thermally improved lamp |
| JP5167955B2 (ja) * | 2008-05-27 | 2013-03-21 | ウシオ電機株式会社 | キセノンランプ |
| DE102010028472A1 (de) * | 2010-05-03 | 2011-11-03 | Osram Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Edelgas - Kurzbogen - Entladungslampe |
| KR101295700B1 (ko) * | 2011-08-08 | 2013-08-14 | 김우섭 | 포토 리소그래피 시스템의 노광장치 또는 ｌｃｄ 경화 시스템에서의 램프 |
| JP5891795B2 (ja) * | 2012-01-11 | 2016-03-23 | ウシオ電機株式会社 | 光源装置 |
| DE102015209382A1 (de) * | 2015-05-21 | 2016-11-24 | Dr. Laure Plasmatechnologie Gmbh | Leuchtmittel, Beschichtung für ein Leuchtmittel und Beschichtungsverfahren |
| US10840051B2 (en) | 2015-09-22 | 2020-11-17 | Lightlab Sweden Ab | Extraction structure for a UV lamp |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA1177704A (en) * | 1981-07-20 | 1984-11-13 | James D. Rancourt | Optical coatings for high temperature applications |
| JPS5958753A (ja) * | 1982-09-28 | 1984-04-04 | 株式会社東芝 | 白熱電球 |
| KR890004640B1 (ko) * | 1984-09-28 | 1989-11-21 | 가부시끼 가이샤 도시바 | 광확산코우팅 및 그 형성방법과 코우팅한 램프 |
| JP2668828B2 (ja) * | 1988-07-05 | 1997-10-27 | ウシオ電機株式会社 | ショートアーク放電灯 |
| JPH0773042B2 (ja) * | 1989-11-24 | 1995-08-02 | 東芝ライテック株式会社 | 管 球 |
| JPH05242864A (ja) * | 1991-04-08 | 1993-09-21 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 放電管 |
| DE4230986C2 (de) * | 1991-09-16 | 2001-03-08 | Hitachi Metals Ltd | Nanokristalline, weichmagnetische Legierung |
| JPH0570901A (ja) | 1991-09-16 | 1993-03-23 | Hitachi Metals Ltd | Ｆｅ基軟磁性合金 |
| JP3222546B2 (ja) * | 1992-06-04 | 2001-10-29 | 旭光学工業株式会社 | 紫外線照射装置の多層膜反射鏡および紫外線照射装置 |
| EP0657752A1 (en) * | 1993-12-08 | 1995-06-14 | Osram Sylvania Inc. | Optical coating and lamp employing same |
| JP3312670B2 (ja) * | 1994-05-12 | 2002-08-12 | 岩崎電気株式会社 | メタルハライドランプ |
| DE69514710T2 (de) * | 1994-05-12 | 2000-09-28 | Iwasaki Electric Co Ltd | Metallhalogenidlampe |
| US5552671A (en) * | 1995-02-14 | 1996-09-03 | General Electric Company | UV Radiation-absorbing coatings and their use in lamps |
-
1995
- 1995-12-20 JP JP35497295A patent/JP3261961B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
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- 1996-12-06 KR KR1019960062368A patent/KR100426580B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-12-19 EP EP96120517A patent/EP0780880B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-12-19 DE DE69605392T patent/DE69605392T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-12-20 US US08/770,505 patent/US5861715A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0780880B1 (en) | 1999-12-01 |
| JPH09171800A (ja) | 1997-06-30 |
| KR100426580B1 (ko) | 2004-07-05 |
| DE69605392D1 (de) | 2000-01-05 |
| KR970051787A (ko) | 1997-07-29 |
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