JP3257968B2 - 切削装置のブレードカバー - Google Patents
切削装置のブレードカバーInfo
- Publication number
- JP3257968B2 JP3257968B2 JP19562397A JP19562397A JP3257968B2 JP 3257968 B2 JP3257968 B2 JP 3257968B2 JP 19562397 A JP19562397 A JP 19562397A JP 19562397 A JP19562397 A JP 19562397A JP 3257968 B2 JP3257968 B2 JP 3257968B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- water supply
- supply nozzle
- cutting water
- nozzle body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
- B23D59/001—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B27/00—Other grinding machines or devices
- B24B27/06—Grinders for cutting-off
- B24B27/0683—Accessories therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B55/00—Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
- B24B55/04—Protective covers for the grinding wheel
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0076—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for removing dust, e.g. by spraying liquids; for lubricating, cooling or cleaning tool or work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/02—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills
- B28D5/022—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills by cutting with discs or wheels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Dicing (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
の切削を行う切削装置のブレードを保護する等のために
ブレードの周囲に設けるブレードカバーに関する。
配設される切削手段としては、図10に示す切削手段5
0が周知である。この切削手段50は、スピンドルハウ
ジング51内で回転可能に支持されるスピンドル52
と、スピンドル52に装着される回転ブレード53と、
回転ブレード53の周囲を覆うようにしてスピンドルハ
ウジング51の先端に装着されるブレードカバー54と
から概略構成されている。
ング51に取り付けた後部カバー55と、後部カバー5
5の前面側にボルト56で固定して後部カバー55との
間で回転ブレード53を挟むようにして配設する前部カ
バー57と、後部カバー55の上部側に着脱用ボルト5
8によって着脱自在に配設し、更に微調整用ネジ59に
よって取り付け位置の微調整ができるブレード検出手段
60とから構成されている。
切削時に切削水を供給する切削水供給ノズル55a、5
7aがそれぞれ配設されている。また、図11に示すよ
うに、ブレード検出手段60には、発光素子61と受光
素子62とを対峙させて備え、発光素子61から発光し
た光を受光素子62において受光し、受光した光の強度
に基づいて回転ブレード53の欠けの状態を検出するこ
とができる。
ド交換等のために回転ブレード53を取り外そうとした
場合には、前部カバー57に配設された切削水供給ノズ
ル57aが邪魔になるため、ボルト56を緩めて前部カ
バー57を後部カバー55から取り外す必要がある。ま
た、前部カバー57の着脱の際には、切削水供給ノズル
57aに回転ブレード53が接触して回転ブレード53
が破損する場合がある。
は、着脱用ボルト58を緩めてブレード検出手段60も
回転ブレード53の外周より上方に待避させる必要があ
る。また、ブレード検出手段60の清掃等のためにブレ
ード検出手段60を取り外す際は、着脱用ボルト58を
完全に取り外す必要があり、また、取り付ける場合に
は、着脱用ボルト58を締めると共に、微調整用ボルト
59によって取り付け位置の微調整を行う必要がある。
転ブレード及びブレード検出手段の着脱の際に煩雑な作
業を必要としており、かかる煩雑さを解消し、着脱の容
易化及び着脱時の時間の短縮を図ることに課題を有して
いる。
の具体的手段として本発明は、被加工物を保持するチャ
ックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加
工物を切削する切削手段とを含む切削装置において、切
削手段は、回転ブレードが装着されるスピンドルと、該
スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジング
とを含み、該スピンドルハウジングには、回転ブレード
に後部側から切削水を供給する後部切削水供給ノズルが
配設されたブレードカバー本体と、該ブレードカバー本
体との間で回転ブレードを挟むようにして前部側から切
削水を供給する前部切削水供給ノズル体と、回転ブレー
ドの状態を検出するブレード検出手段とから構成される
ブレードカバーが装着されていて、前部切削水供給ノズ
ル体は、ブレードカバー本体に回転可能に係合されるア
ーム部と、アーム部に連結する前部切削水供給ノズルと
を有し、前部切削水供給ノズル体は、回転によって作用
位置と非作用位置とに位置付けられ、ブレード検出手段
は、ブレードカバー本体に上下動可能に配設され、アー
ム部に設けられた係合部材の作用によって前部切削水供
給ノズル体の 回転に連動して上下動し、作用位置と非作
用位置とに位置付けられる切削装置のブレードカバーを
提供するものである。
作用によって前部切削水供給ノズル体の回転に連動して
ブレード検出手段が上下動することにより、ワンタッチ
で前部切削水供給ノズル体を開閉できると共に、ブレー
ド検出手段を回転ブレードの交換等の作業の支障となら
ない上方の位置に待避させることができる。
手段が配設され、前部切削水供給ノズル体が作用位置に
位置付けられた際に、係止手段によって作用位置の位置
付けが維持され固定されること、係止手段は、係合部を
有する板バネであり、ブレードカバー本体には、係合部
が係合する被係合部が形成されていることを付加的要件
としている。
持され固定されることにより、従来使用していたボルト
が不要となり、ボルトの着脱等の作業が不要となる。
置に位置付けられた際、ブレード検出手段は、前部切削
水供給ノズル体のアーム部に形成された係合部材から開
放され、ブレードカバー本体から離脱できることを付加
的要件としている。
検出手段の着脱を容易に行うことができる。
用の把持部材を配設したことを付加的要件としている。
り、前部切削水供給ノズル体を回転させる操作を簡便に
行うことができる。
に示す切削装置10の切削手段に配設されるブレードカ
バーについて説明する。切削装置10においては、半導
体ウェーハ等の被加工物を保持したチャックテーブル1
1がX軸方向に移動し、アライメント手段12の直下に
位置付けられてパターンマッチング等の処理によって切
削すべき領域が検出され、更にチャックテーブル11が
X軸方向に移動することによって切削手段13によって
切削すべき領域が切削される。
状の刃である回転ブレード14と、回転ブレード14を
先端に装着するスピンドル15と、スピンドル15を回
転可能に支持するスピンドルハウジング16とから構成
されている。そして、スピンドルハウジング16の先端
には、ブレードカバー20が装着されている。
ウジング16に取り付けられるブレードカバー本体21
と、ブレードカバー本体21の上部側に配設するブレー
ド検出手段22と、ブレードカバー本体21の前部側に
配設する前部切削水供給ノズル体23とから構成されて
いる。
ウジング16の先端に取り付けられ、その下部には回転
ブレード14に後部側から切削水を供給する後部切削水
供給ノズル24が配設されている。また、側面側には、
前部切削水供給ノズル体23に設けた係止手段36の係
合部37を係止する被係合部38を設けており、更に、
上部からは、2本の円柱状のガイド突起25を突出させ
ている。
例で示した図11に示したような発光素子と受光素子と
を対峙させた検出部26を設けており、ガイド部材27
(図4参照)が、ブレードカバー本体21に設けられた
ガイド溝28にガイドされて上下動可能に係合され、ま
た、2つのガイド孔29が、ブレードカバー本体21か
ら上方に突出した2本のガイド突起25にガイドされて
上下動可能に遊嵌している。また、側面側には、前部切
削水供給ノズル体23の係合部材30を係合する係合溝
31を備えている。
カバー本体21との間で回転ブレード14を挟むように
して配設されており、回転軸32を中心として回転可能
に係合されたアーム部33と、アーム部33に連結され
て切削水を供給する前部切削水供給ノズル34と、アー
ム部33を回転させるときに把持する把持部材35とか
ら構成されている。また、アーム部33には、ブレード
検出手段22の係合溝31内を動作する円柱状の突起で
ある係合部材30を備えており、更に、ブレードカバー
本体21との固定状態を維持するための板バネである係
止手段36を備えている。
レード14がスピンドル15に装着されており、回転ブ
レード14の前後から切削水を供給しながら非加工物を
切削可能な状態においては、図2及び図3に示すよう
に、係止手段36の係合部37がブレードカバー本体2
1の被係合部38に係合し、前部切削水供給ノズル体2
3は、作用位置に位置して全体としてブレードカバー本
体21に係止された状態が維持され固定されている。
ず、把持部材35を前方に持ち上げることによって、作
用位置にある前部切削水供給ノズル体23を前側上方に
持ち上げ、係合部37と被係合部38との係合状態を解
き、回転軸32を中心としてアーム部33を上方に向け
て回転させていく。
は、図2及び図3に示したように、アーム部33の回転
前は係合溝31の下端に位置している。この状態からア
ーム部33を徐々に回転させていくと、係合部材30が
係合溝31内を上方に向かって移動し、やがて係合溝3
1の天井部39に衝突する。そして更に把持部材35を
持ち上げてアーム部33を回転させると、図4及び図5
に示すように、係合部材30が係合溝31内を後部側に
移動しながら天井部39を持ち上げ、ガイド部材27が
ガイド溝28にガイドされると共に、ガイド孔29がガ
イド突起25にガイドされながらブレード検出手段22
全体を上方に押し上げる。なお、図4においては図示を
省略しているが、アーム部33に連結された前部切削水
供給ノズル34もアーム部33の回転に伴い回転する。
アーム部33が回転抑止部40に衝突して回転が止ま
り、前部切削水供給ノズル体23は、非作用位置に位置
付けられ、図6、図7及び図8に示す状態となる。この
状態では、前部切削水供給ノズル体23の前部切削水供
給ノズル34及びブレード検出手段22が回転ブレード
14の外周よりも上に押し上げられており、回転ブレー
ド14を着脱しても、前部切削水供給ノズル34やブレ
ード検出手段22に衝突して回転ブレード14を破損さ
せる危険性は少なく、回転ブレード14の交換を行いや
すい。従って、取り付け用ナット41を緩めてスピンド
ル15の先端から取り外すだけで、回転ブレード14の
着脱を容易に行うことができる。
3が非作用位置に位置付けられたとき、係合部材30
は、図8に示したように、係合溝31の開放部42の直
上に位置している。従って、図9に示すように、ブレー
ド検出手段22を上方に持ち上げることにより、係合部
材30は係合溝31の外部に位置することになり、係合
溝31は係合部材30との係合状態から開放され、ま
た、ガイド部材27及びガイド孔29もガイド溝28及
びガイド突起25との係合状態から開放されて、ブレー
ド検出手段22は、ブレードカバー本体21から離脱さ
せることができる。
脱させたブレード検出手段22は、次のようにブレード
カバー本体21に装着される。まず、開放部42を介し
て係合部材30を係合溝31にはめ込む。そして、アー
ム部33を逆に回転させることにより、今度は係合部材
30が係合溝31内を前部側に移動し、ブレード検出手
段22は、ガイド部材27がガイド溝28にガイドされ
ると共にガイド孔29がガイド突起25にガイドされな
がら下降し、図2及び図3に示したように、前部切削水
供給ノズル体23が作用位置に位置付けられたときに、
ブレード検出手段22も作用位置に戻る。このとき、前
部切削水供給ノズル体23は、係止手段36の係合部3
7が被係合部38に係合して作用位置への位置付けが維
持されて固定される。
とブレード検出手段22とは連動し、係合部材30の作
用によって、前部切削水供給ノズル体23が作用位置に
位置付けられるとブレード検出手段22も作用位置に位
置付けられ、前部切削水供給ノズル体23が非作用位置
に位置付けられるとブレード検出手段22も非作用位置
位置付けられる。
装置のブレードカバーは、切削水供給ノズル体とブレー
ド検出手段とが連動して位置付けられることにより、従
来のように、個別に着脱を行う必要がなくなり、作業の
効率化を図ることができ、また、アーム部に設けた係合
部材の作用によって前部切削水供給ノズル体の回転に連
動してブレード検出手段が上下動することにより、ワン
タッチで前部切削水供給ノズル体を開閉できると共に、
ブレード検出手段を回転ブレードの交換等の作業の支障
とならない上方の位置に待避させることができる、更
に、係止手段によって作用位置の位置付けが維持され固
定されることにより、従来使用していたボルトが不要と
なり、ボルトの着脱等の作業が不要となるため、回転ブ
レードの交換作業に要する時間を短縮することができ
る。
置に位置付けられた際、ブレード検出手段は、前部切削
水供給ノズル体のアーム部に形成された係合部材から開
放され、ブレードカバー本体から離脱できることによ
り、ブレード検出手段の着脱を容易に行うことができ、
ブレード検出手段の清掃等を容易に行うことができる。
用の把持部材を配設したことにより、前部切削水供給ノ
ズル体を回転させる操作を簡便に行うことができる。
される切削装置を示す斜視図である。
例を示す斜視図である。
削水供給ノズル体とブレードカバー本体及びブレード検
出手段との係合状態を示す説明図である。
削水供給ノズル体とブレード検出手段とが連動する様子
を示す斜視図である。
削水供給ノズル体とブレードカバー本体及びブレード検
出手段との係合状態を示す説明図である。
削水供給ノズル体とブレード検出手段とが連動する様子
を示す斜視図である。
置付けられた状態を示す側面図である。
削水供給ノズル体とブレードカバー本体及びブレード検
出手段との係合状態を示す説明図である。
ド検出手段を着脱する様子を示す斜視図である。
図である。
である。
イメント手段 13:切削手段 14:回転ブレード 15:スピンド
ル 16:スピンドルハウジング 20:ブレードカバー 21:ブレードカバー本体 2
2:ブレード検出手段 23:前部切削水供給ノズル体 24:後部切削水供給
ノズル 25:ガイド突起 26:検出部 27:ガイド部材
28:ガイド溝 29:ガイド孔 30:係合部材 31:係合溝 3
2:回転軸 33:アーム部 34:前部切削水供給ノズル 35:
把持部材 36:係止手段 37:係合部 38:被係合部 3
9:天井部 40:回転抑止部 41:取り付け用ナット 42:開
放部
Claims (5)
- 【請求項1】被加工物を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切
削手段とを含む切削装置において、 前記切削手段は、回転ブレードが装着されるスピンドル
と、該スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウ
ジングとを含み、 該スピンドルハウジングには、前記回転ブレードに後部
側から切削水を供給する後部切削水供給ノズルが配設さ
れたブレードカバー本体と、 該ブレードカバー本体との間で前記回転ブレードを挟む
ようにして前部側から切削水を供給する前部切削水供給
ノズル体と、 前記回転ブレードの状態を検出するブレード検出手段と
から構成されるブレードカバーが装着されていて、前記前部切削水供給ノズル体は、ブレードカバー本体に
回転可能に係合されるアーム部と、該アーム部に連結す
る前部切削水供給ノズルとを有し、 前記前部切削水供給ノズル体は、前記回転によって作用
位置と非作用位置とに位置付けられ、 ブレード検出手段は、前記ブレードカバー本体に上下動
可能に配設され、前記アーム部に設けられた係合部材の
作用によって前記前部切削水供給ノズル体の回転に連動
して上下動し、作用位置と非作用位置とに位置付けられ
る 切削装置のブレードカバー。 - 【請求項2】前部切削水供給ノズル体には、係止手段が
配設され、 前記前部切削水供給ノズル体が作用位置に位置付けられ
た際に、前記係止手段によって前記作用位置の位置付け
が維持され固定される請求項1に記載の切削装置のブレ
ードカバー。 - 【請求項3】係止手段は、係合部を有する板バネであ
り、 ブレードカバー本体には、前記係合部が係合する被係合
部が形成されている請求項2に記載の切削装置のブレー
ドカバー。 - 【請求項4】前部切削水供給ノズル体が非作用位置に位
置付けられた際、ブレード検出手段は、前記前部切削水
供給ノズル体のアーム部に形成された係合部材から開放
され、ブレードカバー本体から離脱できる請求項1、2
または3に記載の切削装置のブレードカバー。 - 【請求項5】前部切削水供給ノズル体には、開閉用の把
持部材を配設した請求項1、2、3または4に記載の切
削装置のブレードカバー。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19562397A JP3257968B2 (ja) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | 切削装置のブレードカバー |
TW087111689A TW411493B (en) | 1997-07-22 | 1998-07-17 | Blade cover in a cutting apparatus |
US09/118,061 US6010396A (en) | 1997-07-22 | 1998-07-17 | Blade cover in a cutting apparatus |
IL12541898A IL125418A (en) | 1997-07-22 | 1998-07-20 | Blade cover in a cutting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19562397A JP3257968B2 (ja) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | 切削装置のブレードカバー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1134039A JPH1134039A (ja) | 1999-02-09 |
JP3257968B2 true JP3257968B2 (ja) | 2002-02-18 |
Family
ID=16344257
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19562397A Expired - Lifetime JP3257968B2 (ja) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | 切削装置のブレードカバー |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6010396A (ja) |
JP (1) | JP3257968B2 (ja) |
IL (1) | IL125418A (ja) |
TW (1) | TW411493B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111185814A (zh) * | 2020-01-14 | 2020-05-22 | 倪俊极 | 一种金刚石锯片焊接后表面处理装置及表面处理工艺 |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6471573B1 (en) * | 2001-02-28 | 2002-10-29 | Dana Corporation | Adapter for supplying lubricating fluid to a workpiece-engaging tool |
JP2002343745A (ja) * | 2001-05-14 | 2002-11-29 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置 |
JP2002343746A (ja) * | 2001-05-14 | 2002-11-29 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | インターロック付ダイシング装置 |
JP2003211354A (ja) * | 2002-01-18 | 2003-07-29 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP4192135B2 (ja) * | 2004-09-29 | 2008-12-03 | 株式会社東芝 | 加工装置及び加工方法 |
JP4694210B2 (ja) * | 2005-01-07 | 2011-06-08 | 株式会社ディスコ | ブレードカバー装置 |
JP2011067876A (ja) * | 2009-09-24 | 2011-04-07 | Toshiba Corp | 加工装置 |
JP5431853B2 (ja) * | 2009-10-01 | 2014-03-05 | 株式会社ディスコ | 切削装置及び検出方法 |
JP5757715B2 (ja) * | 2010-10-05 | 2015-07-29 | 株式会社ディスコ | 切削装置及びブレードカバーの着脱方法 |
CN102756167B (zh) * | 2011-04-27 | 2014-01-22 | 承澔科技股份有限公司 | 切割机刀具护盖的掀盖装置 |
KR200469161Y1 (ko) * | 2011-05-18 | 2013-09-26 | 스파킹 파워 테크놀로지 컴퍼니 리미티드 | 절삭기 칼날도구보호덮개의 젖힘덮개장치 |
JP6410541B2 (ja) * | 2014-09-26 | 2018-10-24 | 株式会社ディスコ | ブレードカバー装置 |
KR101635080B1 (ko) * | 2014-11-20 | 2016-06-30 | 서우테크놀로지 주식회사 | 연삭장치 및 그가 적용된 반도체 스트립 그라인더 |
JP6417227B2 (ja) * | 2015-01-27 | 2018-10-31 | 株式会社ディスコ | 切削ブレード及び切削装置並びにウエーハの加工方法 |
JP6462422B2 (ja) * | 2015-03-03 | 2019-01-30 | 株式会社ディスコ | 切削装置及びウエーハの加工方法 |
JP6999450B2 (ja) * | 2018-03-02 | 2022-01-18 | 株式会社ディスコ | ブレードカバー |
CN111618724A (zh) * | 2020-04-16 | 2020-09-04 | 江苏京创先进电子科技有限公司 | 一种划片机用非接触测高装置 |
JP7463037B2 (ja) | 2020-08-26 | 2024-04-08 | 株式会社ディスコ | 検査用基板及び検査方法 |
CN117140702B (zh) * | 2023-09-28 | 2024-06-28 | 重庆聚融实业(集团)股份有限公司 | 刮切刀清洁装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3543451A (en) * | 1967-10-26 | 1970-12-01 | Day Ton Progress Corp | Accessory for machine tools |
US4060942A (en) * | 1976-04-26 | 1977-12-06 | Cincinnati Milacron, Inc. | Hood adjusting apparatus |
CH664728A5 (de) * | 1983-06-29 | 1988-03-31 | Hauni Werke Koerber & Co Kg | Flachschleifmaschine. |
DE4017716A1 (de) * | 1990-06-01 | 1991-12-05 | Diskus Werke Frankfurt Main Ag | Vorrichtung zur kuehlschmiermittelzufuhr beim hochgeschwindigkeits-umfangschleifen von aussenkonturen |
US5591075A (en) * | 1995-09-06 | 1997-01-07 | Chang; Chien-Yen | Grinding machine with a fireproof dust-collecting system |
US5718615A (en) * | 1995-10-20 | 1998-02-17 | Boucher; John N. | Semiconductor wafer dicing method |
-
1997
- 1997-07-22 JP JP19562397A patent/JP3257968B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-07-17 TW TW087111689A patent/TW411493B/zh not_active IP Right Cessation
- 1998-07-17 US US09/118,061 patent/US6010396A/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-07-20 IL IL12541898A patent/IL125418A/en not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111185814A (zh) * | 2020-01-14 | 2020-05-22 | 倪俊极 | 一种金刚石锯片焊接后表面处理装置及表面处理工艺 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW411493B (en) | 2000-11-11 |
IL125418A (en) | 2001-09-13 |
IL125418A0 (en) | 1999-03-12 |
JPH1134039A (ja) | 1999-02-09 |
US6010396A (en) | 2000-01-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3257968B2 (ja) | 切削装置のブレードカバー | |
US3880047A (en) | Chip removal and hold-down device for lateral movement routers | |
JPH0373315A (ja) | スライス研削装置 | |
JP2002343745A (ja) | ダイシング装置 | |
JP3348700B2 (ja) | エッチング装置 | |
US20020166552A1 (en) | Dicing machine with interlock | |
JPH07276183A (ja) | ブレードカバー | |
US20240246184A1 (en) | Part changing apparatus and part changing system | |
WO2007052463A1 (ja) | 切断機 | |
JP6949565B2 (ja) | 切削装置 | |
JP3917875B2 (ja) | 跳ね上げ式の操作盤およびそれを用いたnc旋盤 | |
JP4185713B2 (ja) | ブレードカバー | |
GB2273078A (en) | Adjustable riving knife | |
KR20190026590A (ko) | 가공 방법 | |
JPH07299748A (ja) | 薄溝加工機及び薄溝加工方法 | |
JP2012135851A (ja) | 研削装置 | |
JP5643019B2 (ja) | チャックテーブル | |
JP7403923B2 (ja) | 加工装置 | |
CN219616711U (zh) | 车床 | |
JP3488777B2 (ja) | 研削盤におけるクーラントノズルの位置調節装置 | |
JP3972225B2 (ja) | ダイシング装置 | |
JPH07314279A (ja) | 立型マシニングセンタ用の自動工具交換装置 | |
JP3874913B2 (ja) | カッター刃安全カバー固定装置 | |
JP3348448B2 (ja) | 自動交換装置付加工機 | |
JPH087983Y2 (ja) | スポット溶接機用チップドレッサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071207 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081207 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081207 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091207 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091207 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101207 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101207 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111207 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111207 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121207 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121207 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121207 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131207 Year of fee payment: 12 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |