JP3257904B2 - リードフレームとその製造方法 - Google Patents
リードフレームとその製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はリードフレームとその製
造方法に関する。
造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】昨今、リードフレームの多ピン化に伴
い、インナーリードのファイン化（細幅化）およびイン
ナーリード同士の間隔を小さくすることが要求されてい
る。従来、インナーリードを含むリードフレームの製造
は、プレス成形またはエッチングによる成形が行われて
いるが、プレス成形によりリードフレームを形成する場
合は、インナーリードのファイン化およびインナーリー
ド同士の間隔を小さくするには限界が有るので、インナ
ーリード等をエッチングで形成することが行われてい
る。エッチングによりリードフレームを形成する場合
は、プレス成形の場合と比較してインナーリードをより
ファイン化できると共に、インナーリード同士の間隔も
極めて小さく形成することができる。ところが、インナ
ーリードをファイン化し、インナーリード同士の間隔を
極めて小さく形成すると、エッチング工程やその後のめ
っき工程においてインナーリードが変形し易くなるの
で、特定の工程（例えばインナーリードの曲げ工程）ま
でインナーリードの先端同士を連結部を介して連結して
おき、当該特定工程が完了したら連結部をプレス装置で
切除する方法が開発された（例えば特開平２−２１０８
５４号公報参照）。この方法によれば前記特定工程まで
はインナーリードの変形を防止することが可能になる。
い、インナーリードのファイン化（細幅化）およびイン
ナーリード同士の間隔を小さくすることが要求されてい
る。従来、インナーリードを含むリードフレームの製造
は、プレス成形またはエッチングによる成形が行われて
いるが、プレス成形によりリードフレームを形成する場
合は、インナーリードのファイン化およびインナーリー
ド同士の間隔を小さくするには限界が有るので、インナ
ーリード等をエッチングで形成することが行われてい
る。エッチングによりリードフレームを形成する場合
は、プレス成形の場合と比較してインナーリードをより
ファイン化できると共に、インナーリード同士の間隔も
極めて小さく形成することができる。ところが、インナ
ーリードをファイン化し、インナーリード同士の間隔を
極めて小さく形成すると、エッチング工程やその後のめ
っき工程においてインナーリードが変形し易くなるの
で、特定の工程（例えばインナーリードの曲げ工程）ま
でインナーリードの先端同士を連結部を介して連結して
おき、当該特定工程が完了したら連結部をプレス装置で
切除する方法が開発された（例えば特開平２−２１０８
５４号公報参照）。この方法によれば前記特定工程まで
はインナーリードの変形を防止することが可能になる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来のリードフレームの製造方法には次のような課題が
ある。図５には従来のエッチング方式で形成されたイン
ナーリード１００の先端部を示す。図５において、イン
ナーリード１００の幅が広い下面がボンディング面１０
２となる。多数のインナーリード１００をエッチングで
形成する際に、上下面のエッチングマスクの相対的なず
れに起因するインナーリード１００同士の接触を防止す
ると共に、ボンディング面１０２を広く形成するため
に、各インナーリード１００の非ボンディング面１０４
は幅狭に形成され、ボンディング面１０２は幅広に形成
されている。連結部（不図示）はプレス装置により切除
されるが、通常矢印Ｚ方向（切断方向）へ切断される。
この連結部の切除において、図５に示すようにインナー
リード１００の断面は裾広がりの台形状であるため、切
除後に切断面１０８の下隅部１０６に髭状のばり１１０
が残ることが多い。このばり１１０が在ると隣接するイ
ンナーリードと接触し、回路が短絡することがある。フ
ァイン化され、互いの間隔が極めて小さいインナーリー
ドにおいて、先端部のばり１１０の有無を検査するのは
面倒であり、生産性低下の一因にもなるという課題があ
る。特に、柔らかな金属（例えば銅）の場合、ばり１１
０の発生が著しい。
従来のリードフレームの製造方法には次のような課題が
ある。図５には従来のエッチング方式で形成されたイン
ナーリード１００の先端部を示す。図５において、イン
ナーリード１００の幅が広い下面がボンディング面１０
２となる。多数のインナーリード１００をエッチングで
形成する際に、上下面のエッチングマスクの相対的なず
れに起因するインナーリード１００同士の接触を防止す
ると共に、ボンディング面１０２を広く形成するため
に、各インナーリード１００の非ボンディング面１０４
は幅狭に形成され、ボンディング面１０２は幅広に形成
されている。連結部（不図示）はプレス装置により切除
されるが、通常矢印Ｚ方向（切断方向）へ切断される。
この連結部の切除において、図５に示すようにインナー
リード１００の断面は裾広がりの台形状であるため、切
除後に切断面１０８の下隅部１０６に髭状のばり１１０
が残ることが多い。このばり１１０が在ると隣接するイ
ンナーリードと接触し、回路が短絡することがある。フ
ァイン化され、互いの間隔が極めて小さいインナーリー
ドにおいて、先端部のばり１１０の有無を検査するのは
面倒であり、生産性低下の一因にもなるという課題があ
る。特に、柔らかな金属（例えば銅）の場合、ばり１１
０の発生が著しい。
【０００４】さらに、上記の従来の方法では、インナー
リード１００の表面に、先端部の分離を容易にするため
の溝１１２を設ける技術が開示されているが、当該溝１
１２を設けても下隅部１０６におけるばり１１０の発生
を防止することができない。インナーリード１００表面
に溝１１２を設けても、ボンディング面１０２側に下隅
部１０６が形成されるので、ばり１１０が発生する。ボ
ンディング面１０２側に溝１１２を形成すると、ボンデ
ィング面１０２をインナーリード１００の先端に形成す
ることができない上、連結部を切除する際に面積の小さ
い非ボンディング面側を下側にして切断するので、プレ
ス金型の圧力を受けてインナーリード１００が捩れてし
まうという課題もある。従って、本発明はインナーリー
ドの先端部を分離する際のばりの発生を抑制可能である
と共に、インナーリード間の短絡を防止可能なリードフ
レームとその製造方法を提供することを目的とする。
リード１００の表面に、先端部の分離を容易にするため
の溝１１２を設ける技術が開示されているが、当該溝１
１２を設けても下隅部１０６におけるばり１１０の発生
を防止することができない。インナーリード１００表面
に溝１１２を設けても、ボンディング面１０２側に下隅
部１０６が形成されるので、ばり１１０が発生する。ボ
ンディング面１０２側に溝１１２を形成すると、ボンデ
ィング面１０２をインナーリード１００の先端に形成す
ることができない上、連結部を切除する際に面積の小さ
い非ボンディング面側を下側にして切断するので、プレ
ス金型の圧力を受けてインナーリード１００が捩れてし
まうという課題もある。従って、本発明はインナーリー
ドの先端部を分離する際のばりの発生を抑制可能である
と共に、インナーリード間の短絡を防止可能なリードフ
レームとその製造方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は次の構成を備える。すなわち、リードフレ
ームの第１の構成は、エッチングにより、ボンディング
面が非ボンディング面よりも幅広に形成された、断面が
台形状の複数のインナーリードを形成すると共に、該イ
ンナーリードの先端部同士を連結部を介して連結して成
るリードフレームにおいて、前記連結部を切除する際の
切断線に対応するインナーリードの側縁に、この連結部
の切断方向と逆方向となるように、前記インナーリード
のボンディング面側から非ボンディング面側へ向け、厚
さ方向の中途部分まで凹部が形成されていることを特徴
とする。リードフレームの第２の構成は、エッチングに
より、ボンディング面が非ボンディング面よりも幅広に
形成された、断面が台形状の複数のインナーリードを形
成すると共に、各インナーリードの先端部をダイパッド
に連結して成るリードフレームにおいて、前記インナー
リードの先端部を前記ダイパッドから切断する際の切断
線に対応するインナーリードの側縁に、このダイパッド
の切断方向と逆方向となるように、前記インナーリード
のボンディング面側から非ボンディング面側へ向け、厚
さ方向の中途部分まで凹部が形成されていることを特徴
とする。
め、本発明は次の構成を備える。すなわち、リードフレ
ームの第１の構成は、エッチングにより、ボンディング
面が非ボンディング面よりも幅広に形成された、断面が
台形状の複数のインナーリードを形成すると共に、該イ
ンナーリードの先端部同士を連結部を介して連結して成
るリードフレームにおいて、前記連結部を切除する際の
切断線に対応するインナーリードの側縁に、この連結部
の切断方向と逆方向となるように、前記インナーリード
のボンディング面側から非ボンディング面側へ向け、厚
さ方向の中途部分まで凹部が形成されていることを特徴
とする。リードフレームの第２の構成は、エッチングに
より、ボンディング面が非ボンディング面よりも幅広に
形成された、断面が台形状の複数のインナーリードを形
成すると共に、各インナーリードの先端部をダイパッド
に連結して成るリードフレームにおいて、前記インナー
リードの先端部を前記ダイパッドから切断する際の切断
線に対応するインナーリードの側縁に、このダイパッド
の切断方向と逆方向となるように、前記インナーリード
のボンディング面側から非ボンディング面側へ向け、厚
さ方向の中途部分まで凹部が形成されていることを特徴
とする。
【０００６】一方、リードフレームの製造方法の第１の
構成は、エッチングにより、ボンディング面が非ボンデ
ィング面よりも幅広に形成された、断面が台形状の複数
のインナーリードの先端部同士を、連結部を介して連結
して形成すると共に、前記連結部を切除する際の切断線
に対応するインナーリードの側縁に、この連結部の切断
方向と逆方向となるように、前記インナーリードのボン
ディング面側から非ボンディング面側へ向け、厚さ方向
の中途部分まで凹部を形成し、前記切断線に沿って前記
連結部を前記インナーリードから切除することを特徴と
する。リードフレームの製造方法の第２の構成は、エッ
チングにより、ボンディング面が非ボンディング面より
も幅広に形成された、断面が台形状の複数のインナーリ
ードの先端部を、ダイパッドへ連結して形成すると共
に、前記インナーリードの先端部を前記ダイパッドから
切断する際の切断線に対応するインナーリードの側縁
に、このダイパッドの切断方向と逆方向となるように、
前記インナーリードのボンディング面側から非ボンディ
ング面側へ向け、厚さ方向の中途部分まで凹部を形成
し、前記切断線に沿って前記インナーリードの先端部を
前記ダイパッドから切断することを特徴とする。
構成は、エッチングにより、ボンディング面が非ボンデ
ィング面よりも幅広に形成された、断面が台形状の複数
のインナーリードの先端部同士を、連結部を介して連結
して形成すると共に、前記連結部を切除する際の切断線
に対応するインナーリードの側縁に、この連結部の切断
方向と逆方向となるように、前記インナーリードのボン
ディング面側から非ボンディング面側へ向け、厚さ方向
の中途部分まで凹部を形成し、前記切断線に沿って前記
連結部を前記インナーリードから切除することを特徴と
する。リードフレームの製造方法の第２の構成は、エッ
チングにより、ボンディング面が非ボンディング面より
も幅広に形成された、断面が台形状の複数のインナーリ
ードの先端部を、ダイパッドへ連結して形成すると共
に、前記インナーリードの先端部を前記ダイパッドから
切断する際の切断線に対応するインナーリードの側縁
に、このダイパッドの切断方向と逆方向となるように、
前記インナーリードのボンディング面側から非ボンディ
ング面側へ向け、厚さ方向の中途部分まで凹部を形成
し、前記切断線に沿って前記インナーリードの先端部を
前記ダイパッドから切断することを特徴とする。
【０００７】
【作用】作用について説明する。エッチングにより、ボ
ンディング面が非ボンディング面よりも幅広に形成され
た、断面が台形状のインナーリードの先端部を連結部ま
たはダイパッドから切断する際の切断線に対応するイン
ナーリードの側縁に、この連結部またはダイパッドの切
断方向と逆方向となるように、インナーリードのボンデ
ィング面側から非ボンディング面側へ向け、厚さ方向の
中途部分まで凹部を形成し、切断線に沿って各インナー
リードの先端部を切断、分離すると、切断面の隅部にお
いて広がりを抑制した形状に形成可能となる。また、ば
りが形成され易い切断面の隅部を各凹部内とすることが
できる。
ンディング面が非ボンディング面よりも幅広に形成され
た、断面が台形状のインナーリードの先端部を連結部ま
たはダイパッドから切断する際の切断線に対応するイン
ナーリードの側縁に、この連結部またはダイパッドの切
断方向と逆方向となるように、インナーリードのボンデ
ィング面側から非ボンディング面側へ向け、厚さ方向の
中途部分まで凹部を形成し、切断線に沿って各インナー
リードの先端部を切断、分離すると、切断面の隅部にお
いて広がりを抑制した形状に形成可能となる。また、ば
りが形成され易い切断面の隅部を各凹部内とすることが
できる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例について添付図
面と共に詳述する。図１には本実施例のリードフレーム
における連結部切除後のインナーリードの先端部の部分
斜視図であり、図２は連結部を切除する前のインナーリ
ード先端部を示した部分平面図である。本実施例のリー
ドフレーム１０は、従来公知のエッチング法により形成
されている。１２はインナーリードであり、幅方向へ僅
かな距離離間して多数並設されている。１４は連結部で
あり、多数のインナーリード１２の先端部同士をインナ
ーリード１２の幅方向へ連結している。連結部１４は、
ファイン化されて互いの間隔が極めて小さく配設されて
いるインナーリード１２がめっき工程等において変形す
るのを防止するために設けられている。連結部１４は、
インナーリード１２と共にエッチング法で形成されてい
る。連結部１４は、最終的に切断線１６に沿って切除さ
れる。
面と共に詳述する。図１には本実施例のリードフレーム
における連結部切除後のインナーリードの先端部の部分
斜視図であり、図２は連結部を切除する前のインナーリ
ード先端部を示した部分平面図である。本実施例のリー
ドフレーム１０は、従来公知のエッチング法により形成
されている。１２はインナーリードであり、幅方向へ僅
かな距離離間して多数並設されている。１４は連結部で
あり、多数のインナーリード１２の先端部同士をインナ
ーリード１２の幅方向へ連結している。連結部１４は、
ファイン化されて互いの間隔が極めて小さく配設されて
いるインナーリード１２がめっき工程等において変形す
るのを防止するために設けられている。連結部１４は、
インナーリード１２と共にエッチング法で形成されてい
る。連結部１４は、最終的に切断線１６に沿って切除さ
れる。
【０００９】１８は凹部であり、各インナーリード１２
の幅方向の両側面に形成されている。凹部１８は、切断
線１６に対応するインナーリード１２の側縁に形成さ
れ、ダイおよびパンチから成るプレス装置（不図示）に
おける連結部１４の切断方向Ａ側の面（図面では下面）
２０から切断方向Ａと逆方向（図面では上方）へ向けて
部分的に形成されている。凹部１８はインナーリード１
２を形成する際にエッチング法で同時に形成される。エ
ッチング法で凹部１８を形成するには、リードフレーム
１０形成用の金属板の凹部１８に対応する部位が露出す
るようにレジストパターンを形成して行えばよい。凹部
１８の形状は特に限定されるものではなく、半円状、Ｖ
字状等、適宜形成すればよい。本実施例のリードフレー
ム１０は、エッチング法により上述の構成、形状に形成
し、連結部１４の切除に先立ち、各インナーリード１２
の先端部下面２０側のボンディングエリア２２やダイパ
ッド（不図示）等にめっきを施し、めっき工程完了後に
連結部１４を切除し、次工程へ送られる。連結部１４を
切除した状態を図１に示す。
の幅方向の両側面に形成されている。凹部１８は、切断
線１６に対応するインナーリード１２の側縁に形成さ
れ、ダイおよびパンチから成るプレス装置（不図示）に
おける連結部１４の切断方向Ａ側の面（図面では下面）
２０から切断方向Ａと逆方向（図面では上方）へ向けて
部分的に形成されている。凹部１８はインナーリード１
２を形成する際にエッチング法で同時に形成される。エ
ッチング法で凹部１８を形成するには、リードフレーム
１０形成用の金属板の凹部１８に対応する部位が露出す
るようにレジストパターンを形成して行えばよい。凹部
１８の形状は特に限定されるものではなく、半円状、Ｖ
字状等、適宜形成すればよい。本実施例のリードフレー
ム１０は、エッチング法により上述の構成、形状に形成
し、連結部１４の切除に先立ち、各インナーリード１２
の先端部下面２０側のボンディングエリア２２やダイパ
ッド（不図示）等にめっきを施し、めっき工程完了後に
連結部１４を切除し、次工程へ送られる。連結部１４を
切除した状態を図１に示す。
【００１０】本実施例のリードフレーム１０では、切断
線１６に対応するインナーリード１２の側縁に凹部１８
を厚さ方向の中途部分まで部分的に形成すると、インナ
ーリード１２の切断面２４は裾広がり形状ではないの
で、プレス装置で切除しても下隅部２８に髭状のばりは
形成されにくくなる。インナーリード１２の側縁に凹部
１８を形成しても、凹部１８はボンディングエリア２２
に対応していないのでボンディングエリア２２の幅は大
きく確保することができる。また、例えば銅等の軟質金
属でリードフレーム１０を形成して髭状のばりが下隅部
２８に形成されても、下隅部２８は凹部１８内であるた
め、隣接するインナーリード１２との間の距離Ｂは凹部
１８の深さ分長くなるので、当該ばりによる隣接するイ
ンナーリード１２との短絡を防止可能となる。同様に、
下隅部２８同士の距離Ｃも両凹部１８の深さ分長くなる
ので、ばり同士による短絡は発生しない。
線１６に対応するインナーリード１２の側縁に凹部１８
を厚さ方向の中途部分まで部分的に形成すると、インナ
ーリード１２の切断面２４は裾広がり形状ではないの
で、プレス装置で切除しても下隅部２８に髭状のばりは
形成されにくくなる。インナーリード１２の側縁に凹部
１８を形成しても、凹部１８はボンディングエリア２２
に対応していないのでボンディングエリア２２の幅は大
きく確保することができる。また、例えば銅等の軟質金
属でリードフレーム１０を形成して髭状のばりが下隅部
２８に形成されても、下隅部２８は凹部１８内であるた
め、隣接するインナーリード１２との間の距離Ｂは凹部
１８の深さ分長くなるので、当該ばりによる隣接するイ
ンナーリード１２との短絡を防止可能となる。同様に、
下隅部２８同士の距離Ｃも両凹部１８の深さ分長くなる
ので、ばり同士による短絡は発生しない。
【００１１】次に図３および図４と共に他の実施例につ
いて説明する。なお、図１および図２の実施例と同一の
構成部材については先の実施例と同一の符号を付し、説
明は省略する。まず、図３の実施例では、連結部１４を
設けることなく、インナーリード１２の先端部がリード
フレーム１０のダイパッド３０の周縁に連結されてい
る。凹部１８は、形状は異なるが先の実施例と同一の態
様でインナーリード１２先端側縁に形成されている。
いて説明する。なお、図１および図２の実施例と同一の
構成部材については先の実施例と同一の符号を付し、説
明は省略する。まず、図３の実施例では、連結部１４を
設けることなく、インナーリード１２の先端部がリード
フレーム１０のダイパッド３０の周縁に連結されてい
る。凹部１８は、形状は異なるが先の実施例と同一の態
様でインナーリード１２先端側縁に形成されている。
【００１２】一方、図４の実施例では、連結部１４を設
けることなく、インナーリード１２の先端部がリードフ
レーム１０のダイパッド３０の周縁に連結されている。
凹部１８ａは、図３の実施例と同一の態様でインナーリ
ード１２先端側縁に形成されている。凹部１８ｂは凹部
１８ａから離間した位置に先の実施例と同様に形成され
ている。インナーリード１２は、切断線１６ａ、１６ｂ
に沿って切断される。この場合、インナーリード１２の
先端側となる切断線１６ｂに対応する一方の側縁に凹部
１８ｂを形成するようにしてもよい。図４の実施例は、
図３の実施例に対してインナーリード１２先端とダイパ
ッド３０との間の距離を大きく設定することができる。
図３の実施例では、切断線１６に沿って切断した後にダ
イパッド３０とインナーリード１２先端とをリードフレ
ームの厚さ方向に対して離間させる。なお、図３および
図４の実施例における効果は、先の実施例と同一である
ので説明を省略する。以上、本発明の好適な実施例につ
いて種々述べてきたが、本発明は上述の実施例に限定さ
れるものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲で多く
の改変を施し得るのはもちろんである。
けることなく、インナーリード１２の先端部がリードフ
レーム１０のダイパッド３０の周縁に連結されている。
凹部１８ａは、図３の実施例と同一の態様でインナーリ
ード１２先端側縁に形成されている。凹部１８ｂは凹部
１８ａから離間した位置に先の実施例と同様に形成され
ている。インナーリード１２は、切断線１６ａ、１６ｂ
に沿って切断される。この場合、インナーリード１２の
先端側となる切断線１６ｂに対応する一方の側縁に凹部
１８ｂを形成するようにしてもよい。図４の実施例は、
図３の実施例に対してインナーリード１２先端とダイパ
ッド３０との間の距離を大きく設定することができる。
図３の実施例では、切断線１６に沿って切断した後にダ
イパッド３０とインナーリード１２先端とをリードフレ
ームの厚さ方向に対して離間させる。なお、図３および
図４の実施例における効果は、先の実施例と同一である
ので説明を省略する。以上、本発明の好適な実施例につ
いて種々述べてきたが、本発明は上述の実施例に限定さ
れるものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲で多く
の改変を施し得るのはもちろんである。
【００１３】
【発明の効果】本発明に係るリードフレームを用いる
と、エッチングにより、ボンディング面が非ボンディン
グ面よりも幅広に形成された、断面が台形状のインナー
リードの先端部を連結部またはダイパッドから切断する
際の切断線に対応するインナーリードの側縁に、この連
結部またはダイパッドの切断方向と逆方向となるよう
に、インナーリードのボンディング面側から非ボンディ
ング面側へ向け、厚さ方向の中途部分まで凹部を形成
し、切断線に沿って各インナーリードの先端部を切断、
分離すると、切断面の隅部において広がりを抑制した形
状に形成可能となる。従って、プレス装置で切除する際
に切断面の下隅部に髭状のばりが発生するのを抑制可能
となる。また、ばりが形成され易い切断面の隅部を各凹
部内とすることができるので、当該ばりと隣接するイン
ナーリードとの間の距離は凹部の深さ分長くなるので、
当該ばりによる電気的短絡は発生しない。また、本発明
に係るリードフレームの製造方法を採用すると、製造工
程中におけるインナーリードの変形を防止可能となるの
はもちろん、インナーリードの先端部を切断する際のば
りの発生とインナーリード間の短絡も防止可能になる等
の著効を奏する。
と、エッチングにより、ボンディング面が非ボンディン
グ面よりも幅広に形成された、断面が台形状のインナー
リードの先端部を連結部またはダイパッドから切断する
際の切断線に対応するインナーリードの側縁に、この連
結部またはダイパッドの切断方向と逆方向となるよう
に、インナーリードのボンディング面側から非ボンディ
ング面側へ向け、厚さ方向の中途部分まで凹部を形成
し、切断線に沿って各インナーリードの先端部を切断、
分離すると、切断面の隅部において広がりを抑制した形
状に形成可能となる。従って、プレス装置で切除する際
に切断面の下隅部に髭状のばりが発生するのを抑制可能
となる。また、ばりが形成され易い切断面の隅部を各凹
部内とすることができるので、当該ばりと隣接するイン
ナーリードとの間の距離は凹部の深さ分長くなるので、
当該ばりによる電気的短絡は発生しない。また、本発明
に係るリードフレームの製造方法を採用すると、製造工
程中におけるインナーリードの変形を防止可能となるの
はもちろん、インナーリードの先端部を切断する際のば
りの発生とインナーリード間の短絡も防止可能になる等
の著効を奏する。
【図１】本発明に係る実施例のリードフレームにおける
インナーリードの部分斜視図。
インナーリードの部分斜視図。
【図２】実施例のリードフレームにおけるインナーリー
ド先端部を示した部分平面図。
ド先端部を示した部分平面図。
【図３】他の実施例のリードフレームにおけるインナー
リード先端部を示した部分平面図。
リード先端部を示した部分平面図。
【図４】さらに他の実施例のリードフレームにおけるイ
ンナーリード先端部を示した部分平面図。
ンナーリード先端部を示した部分平面図。
【図５】従来のリードフレームにおけるインナーリード
の部分斜視図。
の部分斜視図。
１０ リードフレーム １２ インナーリード １４ 連結部 １６、１６ａ、１６ｂ 切断線 １８、１８ａ、１８ｂ 凹部 ２２ ボンディングエリア ２４ 切断面 ３０ ダイパッド Ａ 切断方向
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−210854（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−280563（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−94156（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−271150（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−86144（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 23/50
Claims (6)
- 【請求項１】 エッチングにより、ボンディング面が非
ボンディング面よりも幅広に形成された、断面が台形状
の複数のインナーリードを形成すると共に、該インナー
リードの先端部同士を連結部を介して連結して成るリー
ドフレームにおいて、 前記連結部を切除する際の切断線に対応するインナーリ
ードの側縁に、この連結部の切断方向と逆方向となるよ
うに、前記インナーリードのボンディング面側から非ボ
ンディング面側へ向け、厚さ方向の中途部分まで凹部が
形成されていることを特徴とするリードフレーム。 - 【請求項２】 エッチングにより、ボンディング面が非
ボンディング面よりも幅広に形成された、断面が台形状
の複数のインナーリードを形成すると共に、各インナー
リードの先端部をダイパッドに連結して成るリードフレ
ームにおいて、 前記インナーリードの先端部を前記ダイパッドから切断
する際の切断線に対応するインナーリードの側縁に、こ
のダイパッドの切断方向と逆方向となるように、前記イ
ンナーリードのボンディング面側から非ボンディグ面側
へ向け、厚さ方向の中途部分まで凹部が形成されている
ことを特徴とするリードフレーム。 - 【請求項３】 インナーリードの先端部を、前記切断線
に沿って切断して成ることを特徴とする請求項１または
２記載のリードフレーム。 - 【請求項４】 エッチングにより、ボンディング面が非
ボンディング面よりも幅広に形成された、断面が台形状
の複数のインナーリードの先端部同士を、連結部を介し
て連結して形成すると共に、前記連結部を切除する際の
切断線に対応するインナーリードの側縁に、この連結部
の切断方向と逆方向となるように、前記インナーリード
のボンディング面側から非ボンディング面側へ向け、厚
さ方向の中途部分まで凹部を形成し、 前記切断線に沿って前記連結部を前記インナーリードか
ら切除することを特徴とするリードフレームの製造方
法。 - 【請求項５】 エッチングにより、ボンディング面が非
ボンディング面よりも幅広に形成された、断面が台形状
の複数のインナーリードの先端部を、ダイパッドへ連結
して形成すると共に、前記インナーリードの先端部を前
記ダイパッドから切断する際の切断線に対応するインナ
ーリードの側縁に、このダイパッドの切断方向と逆方向
となるように、前記インナーリードのボンディング面側
から非ボンディング面側へ向け、厚さ方向の中途部分ま
で凹部を形成し、 前記切断線に沿って前記インナーリードの先端部を前記
ダイパッドから切断することを特徴とするリードフレー
ムの製造方法。 - 【請求項６】 前記インナーリードの先端部を前記切断
線に沿って切断するに先立ち、少なくとも前記インナー
リードのボンディングエリアにめっきを施すことを特徴
とする請求項４または５記載のリードフレームの製造方
法。
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