JP3242326B2 - Dust removal device - Google Patents
Dust removal deviceInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はシャドーマスク、プ
リント基板、リードフレーム、ガラス板等の生産ライン
とか加工ラインにおいて、それらに付着している塵芥を
除去するための除塵装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dust removing device for removing dust adhering to a production line or a processing line of a shadow mask, a printed circuit board, a lead frame, a glass plate or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】シャドーマスクには数μ単位の極微小孔
が多数形成されているため、生産ラインや加工ラインに
おいて塵芥が付着するとその極微小孔が閉塞されること
がある。プリント基板、リードフレーム、ガラス板等は
生産ラインや加工ラインにおいて塵芥が付着すると、そ
れらに印刷されている文字や配線パターン等が欠けた
り、表面に傷が付いたり、その部分から錆が発生した
り、他の部品との電気的導通が不十分になったりするこ
とがある。そこで、シャドーマスクやプリント基板等に
付着した塵芥は確実に除去する必要がある。そのため従
来は回転する粘着ロールを直接、シャドーマスクやプリ
ント基板等の被除塵体に接着させて、粘着ロールに塵芥
を付着させて塵芥を除去していた。2. Description of the Related Art Since a shadow mask is formed with a large number of micropores of several micrometers, when dust adheres to a production line or a processing line, the micropores may be closed. If dust is attached to printed circuit boards, lead frames, glass plates, etc. on production lines or processing lines, characters or wiring patterns printed on them will be chipped, the surface will be scratched, and rust will be generated from those parts. Or electrical continuity with other components may be insufficient. Therefore, dust attached to a shadow mask, a printed circuit board, or the like must be reliably removed. Therefore, conventionally, a rotating adhesive roll is directly adhered to a dust-removing body such as a shadow mask or a printed circuit board, and dust is attached to the adhesive roll to remove dust.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】前記の塵芥除去方法は
次のような問題があった。 （１）粘着ロールでは被除塵体（例えばプリント基板）
の凹凸に追従して外径変形し切れないため、被除塵体の
スルーホールの中に入り込んでいる塵芥や、突部の陰に
付着している塵芥を十分に除去することは難しかった。 （２）粘着ロールは使用により徐々に粘着力が低下する
ため、定期的な交換が必要であり、手間やコストがかか
る。 （３）粘着ロールが汚れ過ぎると、その汚れが被除塵体
に付着して、かえって被除塵体が汚れてしまうことがあ
る。 （４）被除塵体のスルーホールの中に水分が残っている
と、その水分の表面張力によりスルーホール内の塵芥が
被覆されてしまうため、粘着ロールに塵芥が付着しにく
くなり、塵芥の除去が不十分となる。The above-described dust removing method has the following problems. (1) Dust removal object (for example, printed circuit board) in the adhesive roll
Since the outer diameter cannot be completely deformed following the irregularities of the dust, it is difficult to sufficiently remove the dust entering the through-hole of the dust-removing object and the dust attached to the shadow of the projection. (2) Since the adhesive strength of the adhesive roll gradually decreases with use, periodic replacement is required, which is troublesome and costly. (3) If the adhesive roll is too dirty, the dirt may adhere to the dust-removing body, and the dust-removing body may become dirty. (4) If moisture remains in the through-hole of the dust removal object, dust in the through-hole is covered by the surface tension of the moisture, so that the dust hardly adheres to the adhesive roll, and the dust is removed. Becomes insufficient.
【０００４】本発明の目的はシャドーマスクに貫通され
ている数μ単位の極微小孔や、プリント基板、リードフ
レーム、ガラス板などのスルーホールに付着したり、入
り込んでいる塵芥を確実に除去することができる除塵装
置を提供することにある。An object of the present invention is to reliably remove dust adhering to or entering through microscopic holes of several μ units penetrated by a shadow mask or through holes of a printed circuit board, a lead frame, a glass plate or the like. It is an object of the present invention to provide a dust removing device capable of performing the above-described operations.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明のうち請求項１の
除塵装置は、シャドーマスク、プリント基板、リードフ
レーム、ガラス板を搬送する搬送体２と、低周波振動を
発生させることにより搬送体２で搬送されているシャド
ーマスク、プリント基板、リードフレーム、ガラス板の
近傍の空気を振動させ、その空気振動によって搬送体２
上のシャドーマスク、プリント基板、リードフレーム、
ガラス板又はそれに付着している塵芥を振動させて塵芥
を分離除去可能な低周波振動発生装置３と、低周波振動
発生装置３に連設又は近設されて、同低周波振動発生装
置３から発生した低周波振動を搬送体２による搬送方向
又は搬送体２の幅方向へ拡散させるためのホーン４と、
前記低周波振動によりシャドーマスク、プリント基板、
リードフレーム、ガラス板から分離された塵芥を吸引排
出するための吸引装置６を備え、前記ホーン４が外部か
ら区画された区画室８内に設けられたものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a dust removing apparatus comprising: a carrier for conveying a shadow mask, a printed board, a lead frame, and a glass plate; and a carrier for generating a low frequency vibration. Vibrates the air near the shadow mask, the printed circuit board, the lead frame, and the glass plate which are being conveyed in 2, and the carrier 2
Shadow mask, printed circuit board, lead frame,
A glass plate or a low-frequency vibration generator 3 capable of vibrating dust attached to the glass plate to separate and remove the dust; and a low-frequency vibration generator 3 connected to or provided near the low-frequency vibration generator 3. A horn 4 for diffusing the generated low-frequency vibration in the direction of conveyance by the carrier 2 or in the width direction of the carrier 2;
Shadow mask, printed circuit board,
A suction device 6 for sucking and discharging dust separated from the lead frame and the glass plate is provided, and the horn 4 is provided in a compartment 8 partitioned from the outside.
【０００６】本発明のうち請求項２の除塵装置は、吸引
装置６が外部から区画された区画室８内に設けられたも
のである。According to a second aspect of the present invention, in the dust removing apparatus, the suction device 6 is provided in a compartment 8 partitioned from the outside.
【０００７】本発明のうち請求項３の除塵装置は、シャ
ドーマスク、プリント基板、リードフレーム、ガラス板
に付着している塵芥を、シャドーマスク、プリント基
板、リードフレーム、ガラス板の搬送中に飛散除去する
ための圧縮エアーを噴出するエアー装置５を区画室８内
に設けたものである。According to the dust removing apparatus of the present invention, dust adhering to the shadow mask, the printed circuit board, the lead frame and the glass plate is scattered during the transportation of the shadow mask, the printed circuit board, the lead frame and the glass plate. An air device 5 for ejecting compressed air for removal is installed in the compartment 8.
It is provided in.
【０００８】本発明のうち請求項４の除塵装置は、シャ
ドーマスク、プリント基板、リードフレーム、ガラス板
に付着している塵芥を、シャドーマスク、プリント基
板、リードフレーム、ガラス板の搬送中に除去するため
の除塵ブラシ７を、搬送体２の近くに設けたものであ
る。According to the dust removing apparatus of the present invention, dust adhering to the shadow mask, the printed board, the lead frame, and the glass plate is removed during the transportation of the shadow mask, the printed board, the lead frame, and the glass plate. The dust removing brush 7 is provided near the carrier 2.
【０００９】本発明のうち請求項５の除塵装置は、エア
ー装置５、除塵ブラシ７を外部からシャドーマスク、プ
リント基板、リードフレーム、ガラス板に付着している
塵芥を、シャドーマスク、プリント基板、リードフレー
ム、ガラス板の搬送中に除去するためのエアー装置５と
除塵ブラシ７とを外部から区画された区画室８内に設け
たものである。According to a fifth aspect of the present invention, in the dust removing device, the air device 5 and the dust removing brush 7 are externally provided with a shadow mask,
Adhered to lint board, lead frame, glass plate
Garbage, shadow mask, printed circuit board, lead frame
Air device 5 for removing the glass and glass plate during transportation
The dust removing brush 7 is provided in a compartment 8 partitioned from the outside.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態１】本発明の除塵装置の実施の形態
の第１の例を図１に基づいて詳細に説明する。図１に示
すものはシャドーマスク、プリント基板、リードフレー
ム（ＩＣ）、ガラス板（以下「被除塵体１」）を、それ
らの生産ラインとか加工ラインにおけるロールコンベア
等の搬送体２により搬送している状態であり、この搬送
体２の上方に近接させて低周波振動発生装置３を配置し
てある。低周波振動発生装置３は低周波振動を発生させ
ることにより、その近傍の空気を振動させて、被除塵体
１そのものを振動させたり、被除塵体１の表面に付着し
ている塵芥や、被除塵体１に貫通されている極微小孔に
付着したり、入り込んだりしている塵芥を振動させて、
それら塵芥を被除塵体１から分離除去するものである。First Embodiment A first embodiment of a dust removing apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to FIG. The thing shown in FIG. 1 transports a shadow mask, a printed circuit board, a lead frame (IC), and a glass plate (hereinafter referred to as "dust removal object 1") by a carrier 2 such as a roll conveyor in a production line or a processing line thereof. In this state, the low-frequency vibration generator 3 is arranged close to the upper part of the carrier 2. The low-frequency vibration generator 3 generates low-frequency vibration to vibrate the air in the vicinity thereof to vibrate the dust-removing body 1 itself, to remove dust attached to the surface of the dust-removing body 1, By vibrating dust that has adhered to or penetrated the very small holes penetrated through the dust removing body 1,
The dust is separated and removed from the dust removal target 1.
【００１２】低周波振動発生装置３の出口１０と搬送体
２の上の被除塵体１との間の距離は同発生装置から発生
される低周波振動によって振動する範囲、例えば１ｍｍ
乃至３ｍｍとしてある。この距離が長くなり過ぎると被
除塵体１に付着している塵芥が低周波振動発生装置３か
ら発生される低周波振動により除去されにくくなり、近
過ぎても同様である。低周波振動発生装置３としては例
えばスピーカーが使用され、そのスピーカーは重低音域
から低音域（例えば１ＫＨｚ程度）の周波数振動を発生
するものが望ましい。The distance between the outlet 10 of the low-frequency vibration generator 3 and the dust-removing body 1 on the carrier 2 is within the range of vibration caused by the low-frequency vibration generated from the generator, for example, 1 mm.
To 3 mm. If this distance is too long, dust adhering to the dust removal target 1 becomes difficult to be removed by the low-frequency vibration generated from the low-frequency vibration generator 3, and the same applies if the distance is too close. As the low-frequency vibration generator 3, for example, a speaker is used, and the speaker desirably generates a frequency vibration from a heavy bass range to a low range (for example, about 1 KHz).
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態２】本発明の除塵装置の実施の形態
の第２の例を図２、図３に基づいて詳細に説明する。こ
の実施の形態は低周波振動発生装置３の下にホーン４を
連結したものである。このホーン４は低周波振動発生装
置３から発生される低周波振動を広範囲に拡散するため
のものであり、上端部１１を低周波振動発生装置３の出
口１０に連結し、上端部１１から下方開口部１２に向け
て次第に横広がりとして、同下方開口部１２を搬送体２
の搬送方向に横長としてある。これにより、低周波振動
発生装置３から発生される低周波振動がホーン４を通過
することにより横に拡散されて、図２のように搬送体２
の上を搬送される被除塵体１を長い距離に亙って振動さ
せることが可能となり、除塵効果が高まるようにしてあ
る。なお、この場合はホーン４の下方開口部１２と被除
塵体１との間の距離は低周波振動発生装置３から発生さ
れる低周波振動によって振動する範囲、例えば１ｍｍ乃
至３ｍｍの位置になるように設置されている。Second Embodiment A second embodiment of the dust removing apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. In this embodiment, a horn 4 is connected below a low frequency vibration generator 3. The horn 4 is for spreading the low-frequency vibration generated from the low-frequency vibration generator 3 in a wide range. The upper end 11 is connected to the outlet 10 of the low-frequency vibration generator 3, and the horn 4 extends downward from the upper end 11. The lower opening 12 is gradually widened toward the opening 12 so that
In the transport direction. As a result, the low-frequency vibration generated from the low-frequency vibration generator 3 is diffused laterally by passing through the horn 4, and as shown in FIG.
It is possible to vibrate the dust-removing body 1 conveyed over a long distance, so that the dust-removing effect is enhanced. In this case, the distance between the lower opening 12 of the horn 4 and the dust-removing body 1 is in a range where the vibration is caused by the low-frequency vibration generated from the low-frequency vibration generator 3, for example, a position of 1 mm to 3 mm. It is installed in.
【００１４】図２に示すものは搬送体２の上方であり且
つ低周波振動発生装置３よりも搬送体２の搬送方向後方
にエアー装置５を設け、更に、エアー装置５より後方に
除塵ブラシ７を設けてある。FIG. 2 shows an air device 5 above the carrier 2 and behind the low-frequency vibration generator 3 in the transport direction of the carrier 2, and further, a dust removal brush 7 behind the air device 5. Is provided.
【００１５】エアー装置５は被除塵体１に対し圧縮エア
ーを噴出することにより、被除塵体１に付着している塵
芥を飛散除去するためのものである。エアー装置５の構
造は種々考えられるが、その一例として図４に示したも
のは多数本のノズル１３を均一間隔で２列平行に配置し
てある。このエアー装置５からの圧縮エアーの噴出は全
てのノズル１３から同時に且つ連続的に行ってもよく、
間欠的に行ってもよい。また、多数あるノズル１３のう
ち、被除塵体１の搬送方向前方（図２の左側）のノズル
１３から、搬送方向後方（図２の右側）のノズル１３の
順に１本づつ噴出するようにしてもよい。The air device 5 is for ejecting compressed air to the dust removal object 1 to scatter and remove dust attached to the dust removal object 1. Although various configurations of the air device 5 are conceivable, an example shown in FIG. 4 has a large number of nozzles 13 arranged in parallel in two rows at a uniform interval. The ejection of the compressed air from the air device 5 may be performed simultaneously and continuously from all the nozzles 13.
It may be performed intermittently. In addition, among the many nozzles 13, nozzles 13 are ejected one by one in the order from the nozzle 13 in the transport direction of the dust removal target 1 (left side in FIG. 2) to the nozzle 13 in the transport direction rear (right side in FIG. 2). Is also good.
【００１６】ノズル１３の径は被除塵体１の表裏面に貫
通されている極微小孔の径と同じ程度に小さくするのが
望ましく、このようにすることによってノズル１３から
噴出される圧縮エアーが被除塵体１の極微小孔を通過し
易くなり、同極微小孔に付着したり、入り込んだりして
いる塵芥を効率よく除去できるようになる。It is desirable that the diameter of the nozzle 13 be as small as the diameter of the very small hole penetrating through the front and back surfaces of the body 1 to be dusted. It becomes easy to pass through the very small holes of the dust removal target 1, and dust attached to or entering the very minute holes can be efficiently removed.
【００１７】前記の除塵ブラシ７は低周波振動発生装置
３からの低周波振動及びエアー装置５から噴出される圧
縮エアーによっては除去しきれなかった塵芥を除去する
ためのものである。除塵ブラシ７は搬送体２の上方に回
転自在に取付けられており、時計方向に回転しながら先
端が被除塵体１に接触するようにしてある。除塵ブラシ
７の細毛の太さは被除塵体１に貫通されている極微小孔
の径よりも細いものが望ましく、これにより細毛が前記
極微小孔内に入り込んで、極微小孔内の塵芥を効果的に
掻き出すことができるようにしてある。The dust removing brush 7 is for removing dust that could not be removed by the low-frequency vibration from the low-frequency vibration generator 3 and the compressed air jetted from the air device 5. The dust removing brush 7 is rotatably mounted above the transporting body 2, and the tip thereof contacts the dust removing body 1 while rotating clockwise. The thickness of the fine bristles of the dust removing brush 7 is desirably smaller than the diameter of the microscopic hole penetrated through the body 1 to be removed, whereby the fine bristles enter the microscopic hole and remove the dust in the microscopic hole. It is made to be able to be scraped out effectively.
【００１８】図２に示すものは搬送体２の下方であり且
つ低周波振動発生装置３及びエアー装置５の下の位置に
吸引装置６をも設けてある。吸引装置６は低周波振動或
いは圧縮エアーにより被除塵体１から分離された塵芥を
吸引排出するためのものである。そのため吸引装置６に
は吸引用のブロワー等が連結されている。FIG. 2 shows that a suction device 6 is also provided below the carrier 2 and below the low frequency vibration generator 3 and the air device 5. The suction device 6 is for sucking and discharging dust separated from the dust removal target 1 by low frequency vibration or compressed air. Therefore, a suction blower or the like is connected to the suction device 6.
【００１９】また、図２に示す除塵装置は、低周波振動
発生装置３、ホーン４、エアー装置５、吸引装置６、除
塵ブラシ７を、外部から区画されたクリーンルーム等の
区画室８内に設けてある。この区画室８は低周波振動を
吸収しにくい材質で作って、低周波振動発生装置３から
発生される低周波振動が無駄なく被除塵体１に伝わるよ
うにするのが望ましい。区画室８内に設けるのは、低周
波振動発生装置３のみ、或は低周波振動発生装置３とホ
ーン４とエアー装置５であってもよく、吸引装置６や除
塵ブラシ７は、区画室８の外に設けてもよい。The dust removing apparatus shown in FIG. 2 has a low-frequency vibration generating device 3, a horn 4, an air device 5, a suction device 6, and a dust removing brush 7 provided in a compartment 8 such as a clean room partitioned from the outside. It is. It is desirable that the compartment 8 is made of a material that does not easily absorb low-frequency vibrations, so that low-frequency vibrations generated from the low-frequency vibration generator 3 are transmitted to the dust-removing body 1 without waste. Only the low-frequency vibration generator 3 or the low-frequency vibration generator 3, the horn 4 and the air device 5 may be provided in the compartment 8. The suction device 6 and the dust removal brush 7 may be provided in the compartment 8. It may be provided outside.
【００２０】[0020]
【発明の他の実施形態】本発明における低周波振動発生
装置３は必ずしも図示した位置に設ける必要はなく、被
除塵体１を振動可能な位置であれば何処でもよい。また
エアー装置５を設ける場合は同エアー装置５に連結して
或いは近くに設けてもよい。また、低周波振動発生装置
３は一つではなく、１本の搬送体２の２箇所以上に設け
てもよく、例えば、エアー装置５を複数設ける場合は、
夫々のエアー装置５と対にしてそれと同数設けてもよ
い。エアー装置５、吸引装置６、除塵ブラシ７の配置位
置も図示された個所以外の個所であってもよく、被除塵
体１に付着している塵芥を効率よく除去できる個所に配
置するのが望ましい。Other Embodiments of the Invention The low-frequency vibration generator 3 in the present invention does not necessarily need to be provided at the illustrated position, but may be provided at any position as long as the dust-removing body 1 can be vibrated. When the air device 5 is provided, it may be connected to or close to the air device 5. Further, the low-frequency vibration generator 3 may be provided not at one but at two or more places of one carrier 2. For example, when a plurality of air devices 5 are provided,
The same number of air devices 5 may be provided as a pair. The arrangement positions of the air device 5, the suction device 6, and the dust removal brush 7 may be other than the locations shown in the drawings, and it is desirable to arrange the dust device 1 at a location where dust attached to the dust removal object 1 can be efficiently removed. .
【００２１】ホーン４は被除塵体１が搬送体２の幅方向
に複数配列された状態で搬送される場合には、被除塵体
１の搬送方向に縦長とせずに被除塵体１の配列方向に横
長としてもよい。ホーン４は必ずしも低周波振動発生装
置３の先端に取付ける必要はなく、同低周波振動発生装
置３により発生し当該ホーン４から出る低周波振動が被
除塵体１を振動可能であれば何処でもよく、低周波振動
発生装置３に連結せず多少離して設けてもよい。When the horn 4 is conveyed in a state where a plurality of the dust-removing bodies 1 are arranged in the width direction of the carrier 2, the horn 4 does not have to be vertically long in the conveying direction of the dust-removing body 1, but in the arrangement direction of the dust-removing bodies 1. It may be horizontally long. The horn 4 does not necessarily need to be attached to the tip of the low-frequency vibration generator 3, and may be any place as long as the low-frequency vibration generated by the low-frequency vibration generator 3 and emitted from the horn 4 can vibrate the dust removal object 1. Alternatively, they may be provided slightly apart without being connected to the low-frequency vibration generator 3.
【００２２】ノズル１３は塵芥除去効果を高めるために
は多数本設けるのが望ましいがその配列方法は前後左右
に連続的に設けず、例えば千鳥配列にすることもでき
る。本実施例ではノズル１３はエアー装置５に固定して
あるが、これは前後或は左右又は前後及び左右への振幅
運動させることもできる。またエアー装置５自体を振幅
運動させることもできる。振幅運動させることにより被
除塵体１に貫通された数μ単位の極微小孔に付着した
り、入り込んでいる塵芥に間欠的に圧縮エアーを当てる
ことができ、圧縮エアーが当る度に徐々に被除塵体１か
ら塵芥を分離し、最終的には完全に塵芥を除去すること
ができる。これにより連続的に圧縮エアーを当てたので
は除去できない塵芥の除去も可能となる。It is desirable to provide a large number of nozzles 13 in order to enhance the dust removing effect. However, the arrangement method is not necessarily provided continuously in front, rear, left and right, but may be, for example, a staggered arrangement. In the present embodiment, the nozzle 13 is fixed to the air device 5, but it can be made to perform amplitude movement in the front-back or left-right or front-back and left-right directions. Further, the air device 5 itself can be caused to perform amplitude movement. By performing the amplitude movement, the compressed air can be attached to the very small holes of several μ units penetrated through the dust removing body 1 or the compressed dust can be intermittently applied to the entered dust. The dust can be separated from the dust removing body 1, and finally the dust can be completely removed. This makes it possible to remove dust that cannot be removed by continuously applying compressed air.
【００２３】吸引装置６は一つのみでなく複数設けるこ
ともでき、低周波振動発生装置３、エアー装置５、除塵
ブラシ７を複数設けた場合にはこれらの夫々に対応した
数の吸引装置６を、これら低周波振動発生装置３、エア
ー装置５、除塵ブラシ７に連結して或は近くに設けても
よい。一つの吸引装置６に複数の吸引用ノズルを設け、
これら複数の吸引用ノズルを複数の低周波振動発生装置
３、エアー装置５に連結して或は近くに設けてもよい。If a plurality of low-frequency vibration generators 3, air devices 5, and dust removal brushes 7 are provided, a plurality of suction devices 6 corresponding to each of these may be provided. May be connected to or near the low-frequency vibration generator 3, the air device 5, and the dust removal brush 7. One suction device 6 is provided with a plurality of suction nozzles,
The plurality of suction nozzles may be connected to or provided near the plurality of low-frequency vibration generators 3 and the air device 5.
【００２４】[0024]
【発明の効果】本発明のうち請求項１の除塵装置には、
次のような効果がある。 （１）低周波振動発生装置３により発生した低周波振動
により塵芥を除去できるため、被除塵体１のスルーホー
ルの中に入り込んでいる塵芥や、突部の陰に付着してい
る塵芥を確実に除去することができる。 （２）低周波振動により被除塵体１の極微小孔内に表面
張力により残存している水分も低周波振動により除去さ
れるため、その水分により被覆されている除塵をも除去
することができる。 （３）被除塵体１に非接触で塵芥を除去できるので粘着
ロールにより除塵する場合のように、粘着ロールの汚れ
が被除塵体１に付着するようなことがない。 （４）粘着ロール等を使用しないのでこれらの交換のた
めの手間やコストがかからない。 （５）低周波振動発生装置３から発生した低周波振動を
搬送体２の搬送方向又は搬送体２の幅方向へ拡散させる
ホーン４を備えているので、低周波振動を搬送体２の搬
送方向に拡散させれば、搬送体２上を搬送される被除塵
体１を長い間振動させることができ、低周波振動発生装
置３のみの場合に比して除塵効果を向上させることがで
きる。また、被除塵体１が搬送体２の幅方向に複数配列
されている場合、低周波振動を搬送体２の幅方向へ拡散
させれば、被除塵体１の配列方向へ低周波振動を拡散さ
せることができる。 （６）被除塵体１から分離された塵芥が吸引装置５によ
り吸引除去されるため、一旦被除塵体１から分離された
塵芥が再び被除塵体１に付着することがない。 （７）外部から区画された区画室８内にホーン４が設け
られているため同ホーン４によって拡散された低周波振
動が周囲に拡散せず同低周波振動を効率良く被除塵体１
に伝えることができるので、区画室８外にホーン４を設
ける場合に比して除塵効果が高まる。According to the dust removing device of the first aspect of the present invention,
The following effects are obtained. (1) Since dust can be removed by the low-frequency vibration generated by the low-frequency vibration generator 3, dust entering the through-hole of the dust-removing body 1 and dust adhering behind a protrusion can be reliably removed. Can be removed. (2) Moisture remaining in the minute pores of the dust-removing body 1 due to surface tension due to low-frequency vibration is also removed by low-frequency vibration, so that dust covered with the moisture can also be removed. . (3) Since dust can be removed without contacting the dust-removing body 1, dirt on the adhesive roll does not adhere to the dust-removing body 1 as in the case of dust removal using an adhesive roll. (4) Since an adhesive roll or the like is not used, there is no need for labor and cost for the replacement. (5) Since the horn 4 for diffusing the low-frequency vibration generated from the low-frequency vibration generator 3 in the conveying direction of the carrier 2 or in the width direction of the carrier 2 is provided, the low-frequency vibration is transmitted in the conveying direction of the carrier 2. If the low-frequency vibration generator 3 alone is used, the dust-removing body 1 conveyed on the carrier 2 can be vibrated for a long time, and the dust-removing effect can be improved. Further, when a plurality of dust-removing bodies 1 are arranged in the width direction of the carrier 2, if low-frequency vibrations are diffused in the width direction of the carrier 2, the low-frequency vibrations are diffused in the arrangement direction of the dust-removing bodies 1. Can be done. (6) Since the dust separated from the dust-removed body 1 is suction-removed by the suction device 5, the dust once separated from the dust-removed body 1 does not adhere to the dust-removed body 1 again. (7) Since the horn 4 is provided in the compartment 8 partitioned from the outside, the low-frequency vibration diffused by the horn 4 does not diffuse to the surroundings, and the low-frequency vibration is efficiently removed from the dust-removing object 1.
Therefore, the dust removal effect is enhanced as compared with the case where the horn 4 is provided outside the compartment 8.
【００２５】本発明のうち請求項２の除塵装置には前記
効果の他に更に次のような効果もある。 （１）吸引装置を区画室８内に設けてあるので、それに
よる除塵効果も高まる。In the dust removing device of the second aspect of the present invention, the following effects can be obtained in addition to the above effects. (1) Since the suction device is provided in the compartment 8, the dust removing effect is enhanced.
【００２６】本発明のうち請求項３の除塵装置には前記
効果の他に更に次のような効果もある。 （１）エアー装置５から噴出される圧縮エアーによって
も除塵されるので低周波振動のみでは除去できない塵芥
をも除去することができる。The dust removing device of the third aspect of the present invention has the following effects in addition to the above effects. (1) Since dust is also removed by compressed air ejected from the air device 5, dust that cannot be removed only by low frequency vibration can be removed.
【００２８】本発明のうち請求項４の除塵装置には前記
効果の他に更に次のような効果もある。 （１）低周波振動、圧縮エアーのみによっては除去しき
れない塵芥を除塵ブラシ７により除去することができる
ので、特に低周波振動、圧縮エアー等の非接触の除塵方
法では除去の困難な被除塵体にこびりついた除塵の除去
が可能となる。The dust removing apparatus of the present invention has the following effects in addition to the above effects. (1) Since dust that cannot be completely removed by only low-frequency vibration and compressed air can be removed by the dust removing brush 7, dust that is difficult to remove particularly by a non-contact dust removing method such as low-frequency vibration and compressed air. It is possible to remove dust that has adhered to the body.
【００２９】本発明のうち請求項５の除塵装置には前記
効果の他に更に次のような効果もある。 （１）外部から区画された区画室８内にエアー装置５、
除塵ブラシ７をも設けてあるので、それらによる除塵効
果が高まる。The dust removing apparatus according to claim 5 of the present invention has the following effects in addition to the above effects. (1) The air device 5 is installed in the compartment 8 partitioned from the outside.
Since the dust removing brush 7 is also provided, the dust removing effect by them is enhanced.
【図１】本発明の除塵装置の第一の実施形態を示す説明
図。FIG. 1 is an explanatory view showing a first embodiment of a dust remover according to the present invention.
【図２】本発明の除塵装置の第二の実施形態を示す説明
図。FIG. 2 is an explanatory view showing a second embodiment of the dust removing device of the present invention.
【図３】（ａ）は低周波振動発生装置３及びホーン４の
正面図、（ｂ）は（ａ）の側面図、（ｃ）は（ａ）の底
面図。3A is a front view of the low-frequency vibration generator 3 and the horn 4, FIG. 3B is a side view of FIG. 3A, and FIG. 3C is a bottom view of FIG.
【図４】圧縮ノズル１３を取り付けたエアー装置５の正
面図、（ｂ）は（ａ）の側面図、（ｃ）は（ａ）の底面
図。FIG. 4 is a front view of the air device 5 to which the compression nozzle 13 is attached, (b) is a side view of (a), and (c) is a bottom view of (a).
１ 被除塵体 ２ 搬送体 ３ 低周波振動発生装置 ４ ホーン ５ エアー装置 ６ 吸引装置 ７ 除塵ブラシ ８ 区画室 REFERENCE SIGNS LIST 1 dust removal object 2 carrier 3 low frequency vibration generator 4 horn 5 air device 6 suction device 7 dust removal brush 8 compartment
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−343936（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−256217（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−155753（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−141529（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−144793（ＪＰ，Ａ) 特開 昭50−18175（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−210283（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−237028（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−262150（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−128886（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−97709（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−63487（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭58−55834（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B08B 5/02 B08B 5/04 B08B 3/12 B08B 11/04 H05K 3/26 H01L 21/304 Continuation of the front page (56) References JP-A-6-343936 (JP, A) JP-A-7-256217 (JP, A) JP-A-8-155573 (JP, A) JP-A-8-141529 (JP, A) JP-A-62-144793 (JP, A) JP-A-50-18175 (JP, A) JP-A-4-210283 (JP, A) JP-A-2-237028 (JP, A) 6-262150 (JP, A) JP-A 1-128886 (JP, U) JP-A 61-97709 (JP, U) JP-A 60-63487 (JP, U) JP-B 58-55834 (JP, U.S.A.) B1) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) B08B 5/02 B08B 5/04 B08B 3/12 B08B 11/04 H05K 3/26 H01L 21/304
Claims (5)
レーム、ガラス板を搬送する搬送体（２）と、低周波振
動を発生させることにより搬送体（２）で搬送されてい
るシャドーマスク、プリント基板、リードフレーム、ガ
ラス板の近傍の空気を振動させ、その空気振動によって
搬送体（２）上のシャドーマスク、プリント基板、リー
ドフレーム、ガラス板又はそれに付着している塵芥を振
動させて塵芥を分離除去可能な低周波振動発生装置
（３）と、低周波振動発生装置（３）に連設又は近設さ
れて、同低周波振動発生装置（３）から発生した低周波
振動を搬送体（２）による搬送方向又は搬送体（２）の
幅方向へ拡散させるためのホーン（４）と、前記低周波
振動によりシャドーマスク、プリント基板、リードフレ
ーム、ガラス板から分離された塵芥を吸引排出するため
の吸引装置（６）を備え、前記ホーン（４）が外部から
区画された区画室（８）内に設けられた除塵装置。1. A transporter (2) for transporting a shadow mask, a printed board, a lead frame, and a glass plate, and a shadow mask, a printed board, which is transported by the transporter (2) by generating low-frequency vibrations. The air near the lead frame and the glass plate is vibrated, and the air vibration vibrates the shadow mask, the printed circuit board, the lead frame, the glass plate or the dust adhered thereto on the carrier (2) to separate and remove the dust. A possible low-frequency vibration generator (3), and a carrier (2) connected to or near the low-frequency vibration generator (3), for transmitting low-frequency vibrations generated by the low-frequency vibration generator (3). A horn (4) for diffusing in the transport direction of the carrier or in the width direction of the transport body (2), and separating from a shadow mask, a printed board, a lead frame, and a glass plate by the low frequency vibration. Is provided with a suction device for sucking and discharging (6) of the dust, the horn (4) of the dust removing device provided in a compartmented compartment from the outside (8).
室（８）内に設けられた請求項１記載の除塵装置。2. The dust removing device according to claim 1, wherein the suction device is provided in a compartment partitioned from the outside.
レーム、ガラス板に付着している塵芥を、シャドーマス
ク、プリント基板、リードフレーム、ガラス板の搬送中
に飛散除去するための圧縮エアーを噴出するエアー装置
（５）を区画室（８）内に設けた請求項１又は請求項２
記載の除塵装置。3. Air that blows compressed air to remove dust adhering to the shadow mask, the printed board, the lead frame, and the glass plate during transportation of the shadow mask, the printed board, the lead frame, and the glass plate. 3. The device according to claim 1 , wherein the device is provided in the compartment.
A dust remover as described.
レーム、ガラス板に付着している塵芥を、シャドーマス
ク、プリント基板、リードフレーム、ガラス板の搬送中
に除去するための除塵ブラシ（７）を、搬送体（２）の
近くに設けた請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の
除塵装置。4. A dust removing brush (7) for removing dust adhering to the shadow mask, the printed board, the lead frame, and the glass plate during the transportation of the shadow mask, the printed board, the lead frame, and the glass plate. The dust removal device according to any one of claims 1 to 3, wherein the dust removal device is provided near the carrier (2).
レーム、ガラス板に付着している塵芥を、シャドーマス
ク、プリント基板、リードフレーム、ガラス板の搬送中
に除去するためのエアー装置（５）と除塵ブラシ（７）
とを外部から区画された区画室（８）内に設けた請求項
１又は請求項２記載の除塵装置。5. A shadow mask, a printed board, and a lead board.
Lame, trash attached to the glass plate, shadow trout
, Printed circuit board, lead frame, glass plate
Device (5) and dust brush (7)
Claim provided within compartmented compartment (8) the door from the outside
The dust removal device according to claim 1 or 2 .
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