JPH07256217A - Purification device - Google Patents
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Landscapes
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、シリコンウェハ、マス
クガラス、液晶用ガラス、カラーフィルタ等の表面洗浄
を行う洗浄装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cleaning device for cleaning the surfaces of silicon wafers, mask glass, liquid crystal glass, color filters and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種の洗浄装置においては、図
９に示すように、洗浄槽壁１に複数の搬送シャフト２…
を水平方向に一列に配設して搬送路３を構成し、これら
搬送シャフト２…の両側部に搬送用コロ４…を取付け、
搬送路３の途中にこの搬送路３に対向して設けたブラシ
軸５に放射線状に多数の毛状部材６を植設してなる洗浄
ブラシ７を備える。2. Description of the Related Art Conventionally, in this type of cleaning device, as shown in FIG. 9, a plurality of transfer shafts 2 ...
Are arranged in a line in the horizontal direction to form the conveying path 3, and the conveying rollers 4 are attached to both sides of the conveying shafts 2 ,.
A cleaning brush 7 formed by implanting a large number of hair-like members 6 in a radial pattern on a brush shaft 5 provided in the middle of the transport path 3 so as to face the transport path 3.
【０００３】このような従来装置においては、カラーフ
ィルタ等の被洗浄媒体８の側部を搬送用コロ４…に載置
して搬送する。そして、この被洗浄物８が搬送シャフト
２と洗浄ブラシ７との間まで搬送されると、その被洗浄
物８の表面に洗浄ブラシ７の毛状部材６の先端部を所定
圧力で押圧した状態で、ブラシ軸５を回転駆動させてそ
の被洗浄物８の表面に付着したチリやホコリ等のパーテ
ィクルを除去するようになっていた。In such a conventional apparatus, the side portion of the medium to be cleaned 8 such as a color filter is placed on the conveying rollers 4 and conveyed. Then, when the article 8 to be cleaned is transported to a position between the transport shaft 2 and the cleaning brush 7, a state in which the tip portion of the bristle member 6 of the cleaning brush 7 is pressed against the surface of the article 8 to be cleaned with a predetermined pressure. Then, the brush shaft 5 is rotationally driven to remove particles such as dust and dust adhering to the surface of the object 8 to be cleaned.
【０００４】また、被洗浄物８の硬度や付着物の種類に
応じて洗浄ブラシ７の毛状部材６の種類、硬度、毛の長
さ等を選択するとともに、十分な洗浄力を得るために被
洗浄物８に対する洗浄ブラシ７の押圧力を設定してい
た。Further, in order to obtain sufficient cleaning power, the type, hardness, bristles, etc. of the bristle member 6 of the cleaning brush 7 are selected according to the hardness of the object to be cleaned 8 and the type of adhered matter. The pressing force of the cleaning brush 7 against the object 8 to be cleaned was set.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような洗
浄装置においては、被洗浄物８の表面に洗浄ブラシ７の
毛状部材６を押圧させて洗浄するため、被洗浄物８の表
面にキズが付き易いという問題があった。However, in such a cleaning apparatus, since the hair-like member 6 of the cleaning brush 7 is pressed against the surface of the object to be cleaned 8 for cleaning, the surface of the object to be cleaned 8 is scratched. There was a problem that it was easily attached.
【０００６】例えば、洗浄ブラシ７は、その毛状部材６
の先端が被洗浄物８が搬送されていないときには、図９
の一点鎖線に示す位置に達するように配置されている。
そして、この被洗浄物８を押圧する力は、被洗浄物８の
表面と洗浄ブラシ７の毛状部材６の先端（一点鎖線）と
の間の接触距離ｍが大きいほど、表面を押圧する力が大
きくなる。具体的には、カラーフィルタを被洗浄物８と
する場合、毛状部材６を毛の長さが３０ｍｍのナイロン
で構成し、被洗浄物８との接触距離ｍを１ｍｍ〜２ｍｍ
程度に設定するとともに、被洗浄物８を搬送速度１００
０ｍｍ／分で搬送した場合の押圧力は、１００ｇｆ／ｃ
ｍ2 程度と比較的大きな値となる。そこで本発明は、被
洗浄物の表面にキズが付き難く、しかも十分な洗浄力を
発揮できる洗浄装置を提供しようとするものである。For example, the cleaning brush 7 has its bristle members 6
When the cleaning object 8 is not conveyed at the tip of the
It is arranged so as to reach the position shown by the alternate long and short dash line.
The force for pressing the object to be cleaned 8 is such that the larger the contact distance m between the surface of the object to be cleaned 8 and the tip (dashed line) of the bristle member 6 of the cleaning brush 7, the force pressing the surface. Grows larger. Specifically, when the color filter is the object to be cleaned 8, the hairy member 6 is made of nylon having a hair length of 30 mm, and the contact distance m with the object to be cleaned 8 is 1 mm to 2 mm.
The speed of the object 8 to be cleaned is set at 100
The pressing force when transported at 0 mm / min is 100 gf / c
It is a relatively large value of about m 2 . Therefore, the present invention is intended to provide a cleaning device in which the surface of the object to be cleaned is not easily scratched and can exhibit sufficient cleaning power.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、洗浄槽内に設
けられ、かつ板状の被洗浄物の搬送をガイドする搬送路
と、この搬送路に沿って被洗浄物を搬送する搬送手段
と、搬送路の途中に配置され、かつ搬送手段によって搬
送された被洗浄物の表面上に先端を接触させて回転しな
がら表面洗浄を行う先端洗浄部材及び洗浄槽に軸支さ
れ、先端洗浄部材を支持する先端洗浄部材支持軸を備え
た洗浄体と、この洗浄体を回転駆動する洗浄体駆動手段
と、この洗浄体の先端洗浄部材支持軸の先端に設けら
れ、かつこの先端洗浄部材支持軸を介してその先端洗浄
部材に振動を伝達する振動伝達手段とを設け、洗浄体の
先端洗浄部材を回転させながら振動させて被洗浄物の洗
浄を行うものである。DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention is directed to a conveying path which is provided in a cleaning tank and which guides the conveyance of a plate-like object to be cleaned, and a conveying means which conveys the object to be cleaned along this conveying path. And a tip cleaning member that is disposed in the middle of the conveyance path and is pivotally supported by a tip cleaning member and a cleaning tank that cleans the surface while rotating by rotating the tip by contacting the surface of the object to be cleaned conveyed by the conveying means. A cleaning body provided with a tip cleaning member support shaft for supporting the cleaning body, a cleaning body driving means for rotating the cleaning body, and a tip cleaning member support shaft provided at the tip of the cleaning body support shaft of the cleaning body. And a vibration transmitting means for transmitting vibrations to the tip cleaning member via the head. The tip cleaning member of the cleaning body is vibrated while rotating to clean the object to be cleaned.
【０００８】[0008]
【作用】このような構成の本発明においては、被洗浄物
の洗浄を行う場合、先ず振動発生手段を駆動させととも
に、洗浄体駆動手段により洗浄体を回転駆動させる。す
ると、振動伝達手段からの振動は先端洗浄部材支持軸を
介して先端洗浄部材の先端に伝達する。これにより、先
端洗浄部材は回転しながら振動する。この状態で、搬送
手段により被洗浄物を搬送路に沿って、洗浄体まで搬送
されると、先端洗浄部材は、被洗浄物の表面上を回転し
ながら振動する。これにより、その被洗浄物の表面上は
洗浄される。In the present invention having such a structure, when cleaning the object to be cleaned, first the vibration generating means is driven and the cleaning body is driven to rotate by the cleaning body drive means. Then, the vibration from the vibration transmitting means is transmitted to the tip of the tip cleaning member via the tip cleaning member support shaft. As a result, the tip cleaning member vibrates while rotating. In this state, when the object to be cleaned is conveyed to the cleaning body along the conveying path by the conveying means, the tip cleaning member vibrates while rotating on the surface of the object to be cleaned. As a result, the surface of the object to be cleaned is cleaned.
【０００９】[0009]
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。図１は、本実施例の概略構成を示す図で、１１
は洗浄槽である。この洗浄槽１１の洗浄槽壁１１ａに
は、図２及び図４にも示すように、複数の搬送シャフト
１２が水平方向に一列に配設され、搬送路１０を構成し
ている。これら複数の搬送シャフト１２の一端及び他端
側は、洗浄槽壁１１ａの側面にブッシュ１３…内に設け
られたベアリング１４…を介して軸支されている。この
ブッシュ１３…内にはベアリング１４…の内側に、洗浄
液の洗浄槽壁１１ａ外への漏出しを防止する防滴シール
ゴム１５…が設けられている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of this embodiment.
Is a washing tank. As shown in FIGS. 2 and 4, a plurality of transfer shafts 12 are arranged in a line in the horizontal direction on the cleaning tank wall 11 a of the cleaning tank 11 to form the transfer path 10. One end and the other end of the plurality of transport shafts 12 are pivotally supported on the side surface of the cleaning tank wall 11a via bearings 14 provided in the bushes 13 ... Inside the bushes 13, ... Inside the bearings 14, there are provided drip-proof seal rubbers 15 ... For preventing the washing liquid from leaking out of the washing tank wall 11a.
【００１０】これら搬送シャフト１２の中間部には、一
対の搬送用コロ１６…が互いに離間して取付けられてい
る。上記板状ガラス１７は、その端部をこの搬送用コロ
１６…に載置した状態で搬送シャフト１２…を回転駆動
することによって、搬送されるようになっている。A pair of conveying rollers 16 are attached to the intermediate portion of the conveying shaft 12 so as to be separated from each other. The plate-shaped glass 17 is transported by rotating the transport shafts 12 with the end portions thereof being placed on the transport rollers 16.
【００１１】上記搬送シャフト１２…の他端には、それ
ぞれウォームギア１８…が取付けられ、このウォームギ
ア１８…には、それぞれウォーム１９…が噛合ってい
る。このウォーム１９…は、それぞれ搬送路１０に沿っ
て設けられた搬送駆動軸２０に取付けられている。Worm gears 18 are attached to the other ends of the transport shafts 12, and worms 19 are engaged with the worm gears 18 ,. The worms 19 ... Are attached to the transport drive shafts 20 provided along the transport path 10, respectively.
【００１２】この搬送駆動軸２０は駆動ベルト２１を介
して、搬送モータ２２の駆動軸に連結しており、この搬
送モータ２２の回転は、駆動ベルト２１を介して搬送駆
動軸２０に伝達するとともに、ウォーム１９…及びウォ
ームギア１８…を介して搬送シャフト１２…に伝達する
ようになっている。The transport drive shaft 20 is connected to a drive shaft of a transport motor 22 via a drive belt 21, and the rotation of the transport motor 22 is transmitted to the transport drive shaft 20 via the drive belt 21. , Worms 19 ... and worm gears 18 ...
【００１３】これら搬送モータ２２、駆動ベルト２１、
ウォーム１９…、ウォームギア１８…、搬送シャフト１
２…、搬送用コロ１６…は、搬送手段を構成する。上記
洗浄槽壁１１ａには、搬送路１０の途中にこの搬送路１
０に対向して洗浄体、例えば洗浄ブラシ２３が設けられ
ている。この洗浄ブラシ２３は、円柱状のブラシ本体２
３ａ及びこのブラシ本体２３ａに放射線状に植設された
多数の先端洗浄部材としての毛状部材２３ｂから構成さ
れる。These transport motor 22, drive belt 21,
Worm 19 ..., Worm gear 18 ..., Transport shaft 1
2 and the rollers 16 for transportation constitute a transportation means. On the cleaning tank wall 11a, the transfer path 1 is provided in the middle of the transfer path 10.
A cleaning body, for example, a cleaning brush 23, is provided facing 0. The cleaning brush 23 has a cylindrical brush body 2
3a and a plurality of bristle members 23b as radial tip cleaning members radially implanted in the brush body 23a.
【００１４】この洗浄ブラシ２３は回転しながらその毛
状部材２３ｂで、その下方まで搬送された被洗浄物１７
の表面を洗浄するようになっている。また、毛状部材２
３ｂは、例えばナイロン、モヘア等で構成され、このよ
うな種類、硬度、毛の長さ等は被洗浄物の硬度やその付
着物の種類に応じて適宜選択される。While the cleaning brush 23 is rotating, the hair-like member 23b of the cleaning brush 23 conveys the object to be cleaned 17 which has been conveyed to the lower side thereof.
The surface of is cleaned. Also, the hair-like member 2
3b is composed of, for example, nylon, mohair, etc., and such kind, hardness, hair length, etc. are appropriately selected according to the hardness of the object to be cleaned and the kind of the adhered matter.
【００１５】また、洗浄ブラシ本体２３ａには先端洗浄
部材支持軸としてのブラシ軸２４が貫通しており、この
ブラシ軸２４の一端はブッシュ２５を介して洗浄槽壁１
１ａの一側面に軸支されている。この洗浄ブラシ２３及
びブラシ軸２４は洗浄体を構成する。Further, a brush shaft 24 as a tip cleaning member supporting shaft penetrates through the cleaning brush main body 23a, and one end of the brush shaft 24 has a bush 25 interposed between them.
1a is pivotally supported on one side surface. The cleaning brush 23 and the brush shaft 24 form a cleaning body.
【００１６】そして、ブラシ軸２４の他端は、図３に示
すように、洗浄槽壁１１ａの他側面を貫通して突出して
おり、このブラシ軸２４の他端側は、この洗浄槽壁１１
ａの他側面にブッシュ２６を介してスラスト方向に移動
自在に軸支されている。As shown in FIG. 3, the other end of the brush shaft 24 penetrates through the other side surface of the cleaning tank wall 11a and projects therefrom. The other end of the brush shaft 24 has the other end thereof.
It is rotatably supported by the other side surface of a through a bush 26 in the thrust direction.
【００１７】上記ブッシュ２５，２６は、それぞれ洗浄
槽壁１１ａの内側に突出した内側部２５ａ，２６ａと、
この内側部２５ａ，２６ａに連設するとともに、洗浄槽
壁１１ａの外側に突出した外側部２５ｂ，２６ｂとから
なる。The bushes 25 and 26 have inner portions 25a and 26a, respectively, which project inside the cleaning tank wall 11a,
The inner side portions 25a and 26a are connected to each other and are formed with outer side portions 25b and 26b protruding outside the cleaning tank wall 11a.
【００１８】このブッシュ２５，２６の内側部２５ａ，
２６ａ内には、それぞれ防滴シールゴム２９，３０が設
けられており、外側部２５ｂ，２６ｂには、それぞれブ
ラシ軸２４のラジアル荷重を受けるスラストベアリング
２７，２８が設けられている。The inner portions 25a of the bushes 25, 26,
26a are provided with drip-proof seal rubbers 29 and 30, respectively, and thrust bearings 27 and 28, which receive the radial load of the brush shaft 24, are provided on the outer portions 25b and 26b, respectively.
【００１９】上記ブラシ軸２４の他端には、端部支持体
２９が設けられている。この端部支持体２９は、先端の
軸受部２９ａ及びこの軸受部２９ａの基端側にロッド２
９ｂ…を介して連設したスプリング受板２９ｃとから構
成される。An end support 29 is provided on the other end of the brush shaft 24. The end support 29 includes a bearing portion 29a at the tip and a rod 2 on the base end side of the bearing portion 29a.
., And spring receiving plates 29c connected in series via 9b.
【００２０】この端部支持体２９の軸受部２９ａ内に
は、一対のアンギュラ型ベアリング３１，３２が隣接し
て設けられている。先端側のアンギュラ型ベアリング３
２は、ブラシ軸２４のラジアル荷重及び端部支持体２９
から見て基端側のスラスト荷重を受けるようになってい
る。これに対し、基端側のアンギュラ型ベアリング３１
は、ブラシ軸２４のラジアル荷重及び端部支持体２９か
ら見て先端側のスラスト荷重を受けるようになってい
る。In the bearing portion 29a of the end support 29, a pair of angular bearings 31, 32 are provided adjacent to each other. Angular bearing 3 on the tip side
2 is the radial load of the brush shaft 24 and the end support 29.
It is designed to receive the thrust load on the base end side when viewed from above. On the other hand, the base end side angular bearing 31
Receives the radial load of the brush shaft 24 and the thrust load on the tip side when viewed from the end support 29.
【００２１】上記ブラシ軸２４の中間部には、端部支持
体２９の軸受部２９ａとスプリング受板２９ｃとの間
に、プーリ３３が固定されている。このプーリ３３は、
図１、図２、及び図４に示すように、ブラシ駆動モータ
３５の駆動軸に固定されたプーリ３６に、搬送ベルト３
４を介して接続されている。このブラシ駆動モータ３
５、搬送ベルト３４、プーリ３３は洗浄体駆動手段を構
成する。At the intermediate portion of the brush shaft 24, a pulley 33 is fixed between the bearing portion 29a of the end support 29 and the spring receiving plate 29c. This pulley 33 is
As shown in FIGS. 1, 2, and 4, the conveyor belt 3 is attached to the pulley 36 fixed to the drive shaft of the brush drive motor 35.
4 are connected. This brush drive motor 3
5, the conveyor belt 34, and the pulley 33 constitute a cleaning body driving means.
【００２２】前記端部支持体２９のスプリング受板２９
ｃには、図３に示すように上記ブッシュ２６の外側部２
６ｂの外周が挿入可能な挿入孔２９ｄが形成されてい
る。また、このスプリング受板２９ｃとブッシュ２６の
外側部２６ｂとの間にはスプリング３７が介在してい
る。このスプリング３７はブラシ軸２４のスラスト方向
に付勢するとともに、後述の振動伝達手段としての振動
発生器３８からの振動を他へ消失させずにブラシ軸２４
の軸方向に対する端部支持体２９の位置決めを行うもの
である。Spring receiving plate 29 of the end support 29
As shown in FIG. 3, c is the outer side portion 2 of the bush 26.
An insertion hole 29d into which the outer periphery of 6b can be inserted is formed. A spring 37 is interposed between the spring receiving plate 29c and the outer portion 26b of the bush 26. The spring 37 urges the brush shaft 24 in the thrust direction, and at the same time, does not dissipate the vibration from a vibration generator 38, which will be described later, as a vibration transmission means to the other.
The end support 29 is positioned with respect to the axial direction.
【００２３】上記端部支持体２９の先端には、ブラシ軸
２４の軸方向と同一方向に振動発生器３８の上端部４０
がボルトで締付固定されている。この振動発生器３８内
には、その枠体の内側面に、鉄心３９ａを中心として外
周にコイル３９ｂを巻付けてなる電磁石３９及び棒状鉄
体４２の一端が上記ブラシ軸２４と平行に取付けられて
いる。An upper end 40 of the vibration generator 38 is provided at the tip of the end support 29 in the same direction as the axial direction of the brush shaft 24.
Is fastened with bolts. Inside the vibration generator 38, one end of an electromagnet 39 and a rod-shaped iron body 42 formed by winding a coil 39b around an iron core 39a as a center is attached to the inner surface of the frame in parallel with the brush shaft 24. ing.
【００２４】上記振動発生器３８には、揺動弾性体４１
が上記電磁石３９に対向して設けられている。具体的に
は、揺動弾性体４１は振動発生器３８の枠体の内側下部
にボルトを介して取付けられており、この揺動弾性体４
１の電磁石３９側の面には板状鉄体４１ａが取付けられ
ている。板状鉄体４１ａは、その下部が電磁石３９の鉄
心３９ａの先端に対向しているとともに、その上部が上
記棒状鉄体４２の他端に対向している。The vibration generator 38 includes a rocking elastic body 41.
Are provided so as to face the electromagnet 39. Specifically, the swing elastic body 41 is attached to the inside lower portion of the frame of the vibration generator 38 via a bolt, and the swing elastic body 4
A plate-shaped iron body 41a is attached to the surface of the first electromagnet 39 side. The lower part of the plate-shaped iron body 41a faces the tip of the iron core 39a of the electromagnet 39, and the upper part thereof faces the other end of the rod-shaped iron body 42.
【００２５】この振動発生器３８は、外部電源部（図示
しない）によって電磁石３９をオン・オフ駆動するよう
になっている。すなわち、この外部電源部は、その内部
に設けられたインバータによって周波数を変化させ、そ
の交流を全波整流にして、これを電磁石３９に供給して
いる。The vibration generator 38 is adapted to drive the electromagnet 39 on and off by an external power source (not shown). That is, this external power supply section changes the frequency by the inverter provided inside the external power supply section, performs full-wave rectification of the alternating current, and supplies this to the electromagnet 39.
【００２６】上記振動発生器３８の電磁石３９は、外部
電源部からの全波整流を供給すると、オン・オフ駆動し
て揺動弾性体４１の板状鉄体４１ａを揺動させるように
なっている。これにより、板状鉄体４１ａの上部を棒状
鉄体４２の先端に接離させて振動を発生するようになっ
ている。When the electromagnet 39 of the vibration generator 38 is supplied with full-wave rectification from the external power source, it is turned on / off to swing the plate-shaped iron body 41a of the swing elastic body 41. There is. As a result, the upper portion of the plate-shaped iron body 41a is brought into contact with and separated from the tip of the rod-shaped iron body 42 to generate vibration.
【００２７】こうして、振動発生器３８から発生した振
動は、上記端部支持体２９のアンギュラ型ベアリング３
１，３２を介してブラシ軸２４に伝達する。このとき、
ブラシ軸２４は、スラストベアリング２７，２８により
軸支されているため、振動発生器３８からの振動は、主
にブラシ軸２４の軸方向に伝達する。Thus, the vibration generated from the vibration generator 38 is transmitted to the angular bearing 3 of the end support 29.
It is transmitted to the brush shaft 24 via 1, 32. At this time,
Since the brush shaft 24 is axially supported by the thrust bearings 27 and 28, the vibration from the vibration generator 38 is mainly transmitted in the axial direction of the brush shaft 24.
【００２８】これにより、振動発生器３８からの振動
は、ブラシ軸２４を介して洗浄ブラシ２３の毛状部材２
３ｂの先端まで伝達する。上記外部電源部のインバータ
は、例えば約５Ｈｚ〜５００Ｈｚ程度まで周波数を可変
することができ、これを全波整すると、その周波数は２
倍となるため、振動発生器３８に発生する周波数は、５
Ｈｚ〜１０００Ｈｚとなる。Accordingly, the vibration from the vibration generator 38 is transmitted through the brush shaft 24 to the bristle member 2 of the cleaning brush 23.
It is transmitted to the tip of 3b. The inverter of the external power supply unit can change the frequency up to about 5 Hz to 500 Hz, for example.
Therefore, the frequency generated by the vibration generator 38 is 5 times.
Hz to 1000 Hz.
【００２９】例えば、被洗浄物１７の表面に付着した比
較的大きなパーティクル等を除去するには、５Ｈｚ近傍
の比較的低周波数での振動が最も適しており、微細なパ
ーティクル等を除去するには、１０００Ｈｚ近傍の比較
的周波数での振動が最も適している。For example, in order to remove relatively large particles or the like adhering to the surface of the object to be cleaned 17, vibration at a relatively low frequency near 5 Hz is most suitable, and in order to remove fine particles or the like. , A vibration at a relatively high frequency around 1000 Hz is most suitable.
【００３０】前記洗浄槽壁１１ａには、上記洗浄ブラシ
２３より上流側に、この洗浄ブラシ２３のブラシ軸２４
に平行して洗浄液を噴射するスプレー噴射管４５が取付
けられている。このスプレー噴射管４５には、その下方
に多数の噴出孔４６…が設けられ、この噴出孔４６…か
ら洗浄液がこのスプレー噴射管４５の下まで搬送された
被洗浄物１７に向けて噴出されるようになっている。A brush shaft 24 of the cleaning brush 23 is provided upstream of the cleaning brush 23 on the cleaning tank wall 11a.
A spray injection pipe 45 for injecting a cleaning liquid is attached in parallel with. A large number of ejection holes 46 ... Are provided below the spray injection pipe 45, and the cleaning liquid is ejected from the ejection holes 46. It is like this.
【００３１】また、洗浄槽壁１１ａの下部には、上記ス
プレー噴射管４５から噴出された洗浄液を洗浄槽１１か
ら排出する排出管１１ａｂが形成されている。このよう
な構成の本実施例においては、被洗浄物１７の洗浄を行
う場合、搬送モータ２２を駆動すると、その回転力は駆
動ベルト２１、搬送駆動軸２０のウォーム１９…及びウ
ォームギア１８…を介して搬送シャフト１２…に伝達
し、搬送シャフト１２…が回転することによって被洗浄
物１７が図２の実線矢印に示す方向に搬送される。A discharge pipe 11ab for discharging the cleaning liquid ejected from the spray injection pipe 45 from the cleaning tank 11 is formed below the cleaning tank wall 11a. In the present embodiment having such a configuration, when the object to be cleaned 17 is cleaned, when the carry motor 22 is driven, the rotational force thereof is generated via the drive belt 21, the worm 19 of the carry drive shaft 20, and the worm gear 18. Are transmitted to the transport shafts 12 ... And the transport shafts 12 rotate to transport the object to be cleaned 17 in the direction indicated by the solid arrow in FIG.
【００３２】また、ブラシ駆動モータ３５を駆動して洗
浄ブラシ２３を回転させるとともに、振動発生器３８の
電磁石３９をオン・オフ駆動させると、洗浄ブラシ２３
の毛状部材２３ｂの先端は主に軸方向に振動しながら回
転する。When the brush driving motor 35 is driven to rotate the cleaning brush 23 and the electromagnet 39 of the vibration generator 38 is turned on / off, the cleaning brush 23 is driven.
The tip of the hair-like member 23b rotates while vibrating mainly in the axial direction.
【００３３】この状態で、被洗浄物１７の両端部を搬送
用コロ１６…に載置すると、被洗浄物１７は搬送用コロ
１６…の摩擦力によって搬送される。そして、スプレー
噴射管４５の下方まで搬送されると、被洗浄物１７に向
けて洗浄液が噴出され、さらに、搬送シャフト１２…と
洗浄ブラシ２３との間まで搬送されると、洗浄ブラシ２
３の毛状部材２３ｂの先端は、被洗浄物１７の表面上を
回転接触する。In this state, when both ends of the article to be cleaned 17 are placed on the rollers 16 to be transported, the article 17 to be cleaned is transported by the frictional force of the rollers 16 to be transported. Then, when the cleaning liquid is conveyed to the lower side of the spray injection pipe 45, the cleaning liquid is ejected toward the object to be cleaned 17, and when it is further conveyed between the transfer shaft 12 ... And the cleaning brush 23, the cleaning brush 2
The tip of the hair-like member 23b of No. 3 is in rotary contact with the surface of the object to be cleaned 17.
【００３４】こうして、被洗浄物１７の表面上のパーテ
ィクル等は除去される。このとき、毛状部材２３ｂの先
端は、振動しているため、被洗浄物１７の表面と毛状部
材２３ｂの先端との間の摩擦力は極力軽減される。In this way, particles and the like on the surface of the object to be cleaned 17 are removed. At this time, since the tip of the hair-like member 23b is vibrating, the frictional force between the surface of the object to be cleaned 17 and the tip of the hair-like member 23b is reduced as much as possible.
【００３５】このように、ブラシ軸２４の他端に振動発
生器３８を設け、この振動発生器３８を駆動させること
によって、ブラシ軸２４を介して洗浄ブラシ２３の毛状
部材２３ｂの先端を振動させるため、従来のように洗浄
ブラシ２３の毛状部材２３ｂの先端を被洗浄物１７に押
圧させても、毛状部材２３ｂの先端と被洗浄物１７の表
面との接触抵抗を従来より少なくすることができる。こ
れにより、被洗浄物１７の表面にキズが付き難くするこ
とができ、しかも十分な洗浄力を発揮できる。As described above, the vibration generator 38 is provided at the other end of the brush shaft 24, and the vibration generator 38 is driven to vibrate the tip of the bristle member 23b of the cleaning brush 23 via the brush shaft 24. Therefore, even if the tip of the bristle member 23b of the cleaning brush 23 is pressed against the object to be cleaned 17 as in the conventional case, the contact resistance between the tip of the bristle member 23b and the surface of the object to be cleaned 17 is made smaller than before. be able to. As a result, the surface of the object to be cleaned 17 is less likely to be scratched, and sufficient cleaning power can be exerted.
【００３６】また、毛状部材２３ｂの先端を振動させる
ため、毛状部材２３ｂの先端と被洗浄物１７の表面との
静電気の発生を抑えることができる。これにより、洗浄
ブラシ２３で除去したパーティクル等の被洗浄物１７へ
の再付着を防止することができる。Further, since the tip of the hair-like member 23b is vibrated, it is possible to suppress the generation of static electricity between the tip of the hair-like member 23b and the surface of the object to be cleaned 17. As a result, it is possible to prevent the particles removed by the cleaning brush 23 from reattaching to the object to be cleaned 17.
【００３７】また、毛状部材２３ｂの先端を振動させる
ため、毛状部材２３ｂの先端と被洗浄物１７の表面との
接触面積が大きくなるとともに、毛状部材２３ｂの先端
の振動作用も加わって、パーティクル等をより効果的に
除去できる。Further, since the tip end of the hair-like member 23b is vibrated, the contact area between the tip end of the hair-like member 23b and the surface of the object to be cleaned 17 is increased, and the tip end of the hair-like member 23b is vibrated. , Particles can be removed more effectively.
【００３８】また、ブラシ軸２４をスラストベアリング
２７，２８で軸支するとともに、ブラシ軸２４の他端を
アンギュラ型ベアリング３１，３２で軸支するため、振
動発生器３８の振動を他へ逃がすことなく、主にブラシ
軸２４に伝達することができる。また、これにより被洗
浄物１７の搬送方向と垂直方向に振動するため、搬送方
向の摩擦力を軽減することができる。Since the brush shaft 24 is supported by the thrust bearings 27 and 28 and the other end of the brush shaft 24 is supported by the angular bearings 31 and 32, the vibration of the vibration generator 38 can be released to the other. Instead, it can be transmitted mainly to the brush shaft 24. Further, as a result, the article to be cleaned 17 vibrates in the direction perpendicular to the carrying direction, so that the frictional force in the carrying direction can be reduced.
【００３９】これは、被洗浄物１７を搬送させながら搬
送方向とは逆に洗浄ブラシを回転させるようなものにお
いては、搬送方向の摩擦力が大きいため、本実施例を適
用した場合に特に効果的である。This is particularly effective when the present embodiment is applied in the case where the cleaning brush is rotated in the opposite direction to the carrying direction while the object to be cleaned 17 is carried, because the frictional force in the carrying direction is large. Target.
【００４０】また、ブラシ軸２４の他端を軸支するブッ
シュ２６の外側部２６ｂとの間にスプリング３７を介在
させて端部支持体２９を位置決めするとともに、振動発
生器３８を洗浄槽壁１１ａに固定せず端部支持体２９の
みに振動発生器３８を取付けるため、振動発生器３８か
らの振動を他へ負荷として消失させずにブラシ軸２４の
軸方向に効率よく伝達することができる。Further, a spring 37 is interposed between the end portion support member 29 and the outside portion 26b of the bush 26 which supports the other end of the brush shaft 24, and the vibration generator 38 is attached to the cleaning tank wall 11a. Since the vibration generator 38 is attached only to the end support 29 without being fixed to, the vibration from the vibration generator 38 can be efficiently transmitted in the axial direction of the brush shaft 24 without being lost to another as a load.
【００４１】次に、本発明の他の実施例を図５ないし図
６を参照して説明する。なお、上記実施例と同一の部分
には同一の符号を付して詳細な説明を省略する。図５
は、本実施例の構成の一部を示す断面図で、上記実施例
と異なるのは、端部支持体２９に、振動発生器３８の代
わりに振動伝達手段としての振動発生用偏心モータ５１
を設けた点である。Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The same parts as those in the above embodiment are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. Figure 5
Is a cross-sectional view showing a part of the configuration of the present embodiment. The difference from the above embodiment is that, instead of the vibration generator 38, a vibration generating eccentric motor 51 is used as a vibration transmitting means in the end support 29.
That is the point.
【００４２】具体的には、ブラシ軸２４の他端に端部支
持体５２を設け、この端部支持体５１の先端に、連結リ
ンク５３の一端を水平面内を回転自在に取付けている。
この連結リンク５３の他端は、振動発生用偏心モータ５
２の回転軸に取付けられた偏心カム５４に回転自在に取
付けられている。また、振動発生用偏心モータ５１は、
洗浄槽１１に対して固定されている。Specifically, an end support 52 is provided on the other end of the brush shaft 24, and one end of a connecting link 53 is attached to the tip of the end support 51 so as to be rotatable in a horizontal plane.
The other end of the connecting link 53 has the eccentric motor 5 for vibration generation.
It is rotatably attached to an eccentric cam 54 attached to the second rotating shaft. Further, the eccentric motor 51 for generating vibration is
It is fixed to the cleaning tank 11.
【００４３】上記端部支持体５２は、図６に示すよう
に、この偏心カム５４が回転することにより、連結リン
ク５３を介してブラシ軸２４とともに、軸方向に摺動す
るようになっている。As shown in FIG. 6, when the eccentric cam 54 rotates, the end support 52 slides in the axial direction together with the brush shaft 24 via the connecting link 53. .
【００４４】この偏心カム５４は、その偏心αの程度に
応じて、ブラシ軸２４の軸方向の振動の振幅が決まるよ
うになっている。すなわち、偏心カム５４の偏心の２倍
がブラシ軸２４の軸方向の振幅となり、また振動発生用
偏心モータ５２の回転数がそのブラシ軸２４の振動の振
動数となる。In the eccentric cam 54, the amplitude of vibration of the brush shaft 24 in the axial direction is determined according to the degree of the eccentricity α. That is, twice the eccentricity of the eccentric cam 54 becomes the amplitude of the brush shaft 24 in the axial direction, and the rotation speed of the vibration generating eccentric motor 52 becomes the vibration frequency of the brush shaft 24.
【００４５】このような構成の本実施例においては、被
洗浄物１７の洗浄を行う場合、搬送モータ２２及びブラ
シ駆動モータ３５を駆動するとともに、振動発生用偏心
モータ５２を駆動すると、偏心カム５４及び連結リンク
５３を介してブラシ軸２４が軸方向に摺動（振動）す
る。In this embodiment having such a structure, when the object to be cleaned 17 is cleaned, the eccentric cam 54 is driven when the conveyance motor 22 and the brush drive motor 35 are driven and the vibration generating eccentric motor 52 is driven. The brush shaft 24 slides (vibrates) in the axial direction via the connection link 53.
【００４６】これにより、洗浄ブラシ２３の毛状部材２
３ｂの先端は軸方向に振動しながら回転する。この状態
で、被洗浄物１７が搬送シャフト１２…と洗浄ブラシ２
３との間まで搬送されると、洗浄ブラシ２３の毛状部材
２３ｂの先端は、被洗浄物１７の表面上を回転接触す
る。As a result, the bristle member 2 of the cleaning brush 23
The tip of 3b rotates while vibrating in the axial direction. In this state, the object to be cleaned 17 has the transport shaft 12 ...
When the cleaning brush 23 is conveyed to the position of 3, the tip of the bristles 23b of the cleaning brush 23 comes into rotational contact with the surface of the object to be cleaned 17.
【００４７】こうして、被洗浄物１７の表面上のパーテ
ィクル等は除去される。このとき、毛状部材２３ｂの先
端は、振動しているため、被洗浄物１７の表面と毛状部
材２３ｂの先端との間の摩擦力は極力軽減される。In this way, particles and the like on the surface of the object to be cleaned 17 are removed. At this time, since the tip of the hair-like member 23b is vibrating, the frictional force between the surface of the object to be cleaned 17 and the tip of the hair-like member 23b is reduced as much as possible.
【００４８】このように、端部支持体２９に振動発生器
３８の代わりに振動発生用偏心モータ５１を設け、この
振動発生用偏心モータ５１を回転させることによって偏
心カム５４及び接続リンク５３を介してブラシ軸２４を
軸方向に摺動（振動）させるため、洗浄ブラシ２３を軸
方向に効率よく摺動させることができる。As described above, the end support 29 is provided with the vibration generating eccentric motor 51 instead of the vibration generator 38, and by rotating the vibration generating eccentric motor 51, the eccentric cam 54 and the connection link 53 are interposed. Since the brush shaft 24 is slid (vibrated) in the axial direction, the cleaning brush 23 can be slid in the axial direction efficiently.
【００４９】これにより、上記実施例と同様の効果を奏
することができる。さらに、振動発生用偏心モータ５１
の偏心カム５４の偏心を調整することによって、容易に
ブラシ軸２４の振動の振幅を調整できる。従って、ブラ
シ軸２４の振動の振幅を大きくとりたいときに特に有効
である。As a result, the same effect as that of the above embodiment can be obtained. Further, the eccentric motor 51 for generating vibration
By adjusting the eccentricity of the eccentric cam 54, the vibration amplitude of the brush shaft 24 can be easily adjusted. Therefore, it is particularly effective when it is desired to increase the vibration amplitude of the brush shaft 24.
【００５０】また、振動発生用偏心モータ５１を洗浄槽
１１に対して固定して位置決めすることによって端部支
持体２９は位置決めされるが、このようにしても偏心カ
ム５４の動作には影響がないため、振動が減少すること
もない。従って、上記実施例のように端部支持体２９を
位置決めするためのスプリング３７を取付けることな
く、ブラシ軸２４に振動を十分に伝達することができ
る。Further, the end supporter 29 is positioned by fixing and positioning the vibration generating eccentric motor 51 with respect to the cleaning tank 11, but this also affects the operation of the eccentric cam 54. Since it does not exist, vibration does not decrease. Therefore, the vibration can be sufficiently transmitted to the brush shaft 24 without attaching the spring 37 for positioning the end support 29 as in the above embodiment.
【００５１】次に、本発明をディスクブラシを備える洗
浄装置に適用した場合の実施例を図７及び図８を参照し
て説明する。なお、上記実施例と同一の部分には同一の
符号を付して詳細な説明を省略する。Next, an embodiment in which the present invention is applied to a cleaning device equipped with a disc brush will be described with reference to FIGS. 7 and 8. The same parts as those in the above embodiment are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
【００５２】図７は本実施例の概略構成を示す断面図
で、被洗浄物１７を搬送する搬送路１０の途中には、複
数の洗浄体としてのディスクブラシ６１…を鉛直方向に
回転自在に取付けたブラシ支持体６２が配設されてい
る。FIG. 7 is a cross-sectional view showing the schematic construction of this embodiment. A plurality of disk brushes 61 as cleaning members are vertically rotatable in the middle of the transfer path 10 for transferring the object to be cleaned 17. An attached brush support 62 is provided.
【００５３】このブラシ支持体６２は、洗浄槽壁１１ａ
に固定された下板６２ａ、この下板６２ａの上部両端部
に取付けられたスプリング６２ｂ…を介して設けられた
上板６２ｃからなる。また、ディスクブラシ６１はそれ
ぞれ、先端洗浄部材支持軸としてのブラシ軸６１ａ、こ
のブラシ軸６１ａの下端に形成された円板６１ｂ、及び
この円板６１ｂの下面に植設された多数の先端洗浄部材
としての毛状部材６１ｃとからなる。The brush support 62 is provided on the cleaning tank wall 11a.
The lower plate 62a is fixed to the lower plate 62a, and the upper plate 62c is provided via springs 62b attached to both ends of the upper part of the lower plate 62a. The disk brushes 61 each include a brush shaft 61a as a tip cleaning member support shaft, a disc 61b formed at the lower end of the brush shaft 61a, and a large number of tip cleaning members planted on the lower surface of the disc 61b. And the hair-like member 61c.
【００５４】上記ブラシ軸６１ａはそれぞれ、その上端
がブラシ支持体６２の上板６２ａにブッシュ６３を介し
て取付けられている。また、これらディスクブラシ６１
…は、それぞれの毛状部材６１ｃ…の回転が相互に干渉
しないように搬送シャフト１２に沿って配設されてい
る。また、ディスクブラシ６１は、被洗浄物１７の搬送
シャフト１２の軸方向を漏れなく洗浄するため、前後に
互い違いに配設されいる。The upper ends of the brush shafts 61a are attached to the upper plate 62a of the brush support 62 via bushes 63, respectively. Also, these disc brushes 61
Are arranged along the transport shaft 12 so that the rotations of the hair-like members 61c do not interfere with each other. Further, the disc brushes 61 are disposed alternately in the front and rear in order to clean the article to be cleaned 17 in the axial direction of the transport shaft 12 without leakage.
【００５５】このブッシュ６３内には一対のアンギュラ
型ベアリング６４，６５が上下に隣接して設けられてい
る。上側のアンギュラ型ベアリング６４は、ブラシ軸６
１ａのラジアル荷重及び下方のスラスト荷重を受けるよ
うになっている。これに対し、下方のアンギュラ型ベア
リング６５は、ブラシ軸６５ａのラジアル荷重及び上方
スラスト荷重を受けるようになっている。Inside the bush 63, a pair of angular type bearings 64, 65 are provided vertically adjacent to each other. The upper angular bearing 64 is the brush shaft 6
It is designed to receive the radial load of 1a and the thrust load below. On the other hand, the lower angular type bearing 65 receives the radial load and the upper thrust load of the brush shaft 65a.
【００５６】また、ブラシ軸６１ａの中間はそれぞれ、
上記ブラシ支持体６２の下板６２ａにブッシュ６６を介
して軸支されている。これらブッシュ６６…内の下方に
は防滴シールゴム６７…が設けられ、上方にはスラスト
ベアリング６８…が設けられている。そして、これら防
滴シールゴム６７…、スラストベアリング６８…はそれ
ぞれのブラシ軸６１ａに嵌挿されている。The middle of the brush shaft 61a is
The brush support 62 is axially supported by the lower plate 62a via a bush 66. Drip-proof seal rubbers 67 are provided below the bushes 66 and thrust bearings 68 are provided above the bushes 66. The drip-proof seal rubber 67 ... And the thrust bearing 68 ... Are fitted into the respective brush shafts 61a.
【００５７】このスラストベアリング６８…は、ブラシ
軸６１ａを上下方向に摺動自在に支持するものである。
さらに、ブラシ軸６１ａの中間にはそれぞれ、図８に示
すように、そのブッシュ６３…，６６…の間にプーリ６
９…が嵌挿されている。このプーリ６９…はそれぞれ互
い違いにタイミングベルト７１が掛設されている。The thrust bearings 68 support the brush shaft 61a slidably in the vertical direction.
Further, in the middle of the brush shaft 61a, as shown in FIG.
9 ... is inserted. Timing belts 71 are hooked alternately on the pulleys 69.
【００５８】また、このタイミングベルト７１はブラシ
駆動モータ７２の駆動軸に取付けられたプーリ７２ａに
も掛設されており、このブラシ駆動モータ７２を駆動す
ることによって、各プーリ６９…が動作して、ディスク
ブラシ６１…が一斉に回転するようになっている。The timing belt 71 is also hung around a pulley 72a attached to the drive shaft of a brush drive motor 72. By driving the brush drive motor 72, the pulleys 69 ... , The disk brushes 61 ... Rotate all at once.
【００５９】このブラシ駆動モータ７２、プーリ７２
ａ、各プーリ６９…、タイミングベルト７１は洗浄体駆
動手段を構成する。上記ブラシ支持体６２の上板６２ａ
には、振動発生器３８がその電磁石３９の鉄心３９ａを
上方に向けた状態で取付けられている。この振動発生器
３８の振動はブラシ支持体の上板６２ｂ、及びブッシュ
６３のアンギュラ型ベアリング６４，６５を介してディ
スクブラシ６１に伝達する。これにより、ディスクブラ
シ６１の毛状部材６１ｃは上下方向に振動する。The brush drive motor 72 and the pulley 72
a, the respective pulleys 69, ..., The timing belt 71 constitute a cleaning body driving means. Upper plate 62a of the brush support 62
A vibration generator 38 is attached to the motor with the iron core 39a of the electromagnet 39 facing upward. The vibration of the vibration generator 38 is transmitted to the disk brush 61 via the upper plate 62b of the brush support and the angular bearings 64 and 65 of the bush 63. As a result, the bristles 61c of the disc brush 61 vibrate vertically.
【００６０】このような構成の本実施例においては、被
洗浄物１７の洗浄を行う場合、搬送モータ２２及びブラ
シ駆動モータ７２を駆動すると、搬送シャフト１２…が
回転するとともに、タイミングベルト７１及び各プーリ
６９…を介してディスクブラシ６１…が一斉に回転す
る。In the present embodiment having such a structure, when the object to be cleaned 17 is cleaned, when the conveyor motor 22 and the brush drive motor 72 are driven, the conveyor shafts 12 rotate and the timing belt 71 and the respective belts. The disc brushes 61 ... Rotate all at once via the pulleys 69.
【００６１】そして、振動発生器３８の電磁石３９をオ
ン・オフ駆動させると、ディスクブラシ６１…の毛状部
材６１ｃ…の先端は、主に軸方向に振動しながら回転す
る。この状態で、被洗浄物１７が搬送シャフト１２…と
ディスクブラシ６１との間まで搬送されると、ディスク
ブラシ６１の毛状部材６１ｃの先端は、被洗浄物１７の
表面上を回転接触する。When the electromagnet 39 of the vibration generator 38 is turned on / off, the tips of the bristle members 61c of the disk brushes 61 rotate while vibrating mainly in the axial direction. In this state, when the object to be cleaned 17 is conveyed between the transfer shaft 12 and the disk brush 61, the tip of the bristle member 61c of the disk brush 61 comes into rotational contact with the surface of the object to be cleaned 17.
【００６２】こうして、被洗浄物１７の表面上のパーテ
ィクル等は除去される。このとき、毛状部材６１ｃの先
端は、振動しているため、被洗浄物１７の表面と毛状部
材６１ｃの先端との間の摩擦力は極力軽減される。Thus, particles and the like on the surface of the object to be cleaned 17 are removed. At this time, since the tip of the hair-like member 61c is vibrating, the frictional force between the surface of the object to be cleaned 17 and the tip of the hair-like member 61c is reduced as much as possible.
【００６３】このように、ブラシ軸６１ａの上端に、ブ
ラシ支持体６２を介して振動発生器３８を設け、この振
動発生器３８を駆動させることによって、ブラシ軸６１
ａを介してディスクブラシ６１の毛状部材６１ｃの先端
を振動させるため、上記実施例と同様に、毛状部材６１
ｃの先端と被洗浄物１７の表面との接触抵抗を従来より
少なくすることができる。これにより、被洗浄物１７の
表面にキズが付き難くすることができ、しかも十分な洗
浄力を発揮できる。As described above, the vibration generator 38 is provided on the upper end of the brush shaft 61a through the brush support 62, and the vibration generator 38 is driven to drive the brush shaft 61a.
Since the tip of the bristle member 61c of the disk brush 61 is vibrated via a, the bristle member 61c is sewn in the same manner as in the above embodiment.
The contact resistance between the tip of c and the surface of the object to be cleaned 17 can be made smaller than before. As a result, the surface of the object to be cleaned 17 is less likely to be scratched, and sufficient cleaning power can be exerted.
【００６４】また、毛状部材６１ｃの先端を振動させる
ため、毛状部材６１ｃの先端と被洗浄物１７の表面との
静電気の発生を抑えることができる。これにより、ディ
スクブラシ６１で除去したパーティクル等の被洗浄物１
７への再付着を防止することができる。Further, since the tip of the hair-like member 61c is vibrated, it is possible to suppress the generation of static electricity between the tip of the hair-like member 61c and the surface of the object to be cleaned 17. As a result, the object to be cleaned 1 such as particles removed by the disk brush 61
It is possible to prevent redeposition on 7.
【００６５】また、毛状部材６１ｃの先端を振動させる
ため、毛状部材６１ｃの先端と被洗浄物１７の表面との
接触面積が大きくなるとともに、毛状部材６１ｃの先端
の振動作用も加わって、パーティクル等をより効果的に
除去できる。Further, since the tip of the hair-like member 61c is vibrated, the contact area between the tip of the hair-like member 61c and the surface of the object to be cleaned 17 is increased, and the tip end of the hair-like member 61c is vibrated. , Particles can be removed more effectively.
【００６６】また、ブラシ軸６１ａの下方をスラストベ
アリング６８で軸支するとともに、ブラシ軸６１ａの上
端をアンギュラ型ベアリング６４，６５で軸支するた
め、振動発生器３８の振動を主に他へ逃がすことなく、
ブラシ軸６１ａに伝達することができる。また、これに
より振動発生器３８からの振動をブラシ軸６１ａの上下
方向に効率よく伝達することができる。Further, since the lower part of the brush shaft 61a is pivotally supported by the thrust bearing 68 and the upper end of the brush shaft 61a is pivotally supported by the angular type bearings 64, 65, the vibration of the vibration generator 38 is mainly released to the other. Without
It can be transmitted to the brush shaft 61a. Further, by this, the vibration from the vibration generator 38 can be efficiently transmitted in the vertical direction of the brush shaft 61a.
【００６７】また、ディスクブラシ６１は上下方向に振
動することから、その毛状部材６１ｃは被洗浄物１７に
当接した場合に、ブラシ軸６１ａを中心にして広がった
り、窄んだりする方向に振動する。これにより、被洗浄
物１７を一方向に搬送させながら洗浄を行うものにおい
ては、特に搬送方向の振動による摩擦を少なくすること
ができる。Further, since the disk brush 61 vibrates in the vertical direction, when the bristles 61c are in contact with the object to be cleaned 17, the bristles 61c expand or contract around the brush shaft 61a. Vibrate. Therefore, in the case where the cleaning is performed while the object to be cleaned 17 is conveyed in one direction, it is possible to reduce the friction due to the vibration in the conveying direction.
【００６８】なお、本実施例においては、洗浄体として
洗浄ブラシ２３やディスクブラシ６１の如く先端に毛状
部材を植設したものについて述べたが、必ずしもこれに
限定されるものではなく、先端に毛状部材の代わりにス
ポンジを設けた洗浄体を用いてもよい。In this embodiment, as the cleaning body, the cleaning brush 23 and the disk brush 61 in which the bristle member is implanted at the tip has been described, but the present invention is not limited to this, and the tip is not limited thereto. A cleaning body provided with a sponge may be used instead of the bristle member.
【００６９】また、本実施例においては、一方向の振動
を発生する振動発生器３８を設けたものついて述べた
が、必ずしもこれに限定されるものではなく、複数方向
の振動を発生する振動発生器を設けたものでもよい。Further, in the present embodiment, the one in which the vibration generator 38 for generating vibration in one direction is provided has been described, but the present invention is not limited to this, and the vibration generation for generating vibration in a plurality of directions is possible. It may be provided with a container.
【００７０】[0070]
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、被
洗浄物の表面にキズが付き難く、しかも十分な洗浄力を
発揮できる洗浄装置を提供できるものである。As described above in detail, according to the present invention, it is possible to provide a cleaning device in which the surface of the object to be cleaned is not easily scratched and which can exert a sufficient cleaning power.
【図１】本発明の一実施例にかかるブラシ洗浄装置の概
略構成を示す断面図。FIG. 1 is a sectional view showing a schematic configuration of a brush cleaning device according to an embodiment of the present invention.
【図２】同実施例にかかるブラシ洗浄装置の概略構成を
示す斜視図。FIG. 2 is a perspective view showing a schematic configuration of a brush cleaning device according to the embodiment.
【図３】同実施例にかかるブラシ洗浄装置の概略構成を
示す断面図。FIG. 3 is a sectional view showing a schematic configuration of a brush cleaning device according to the same embodiment.
【図４】同実施例にかかるブラシ洗浄装置を図１の実線
矢印Ａの方向から見た図。FIG. 4 is a view of the brush cleaning apparatus according to the embodiment as seen from the direction of a solid arrow A in FIG.
【図５】本発明の他の実施例にかかるブラシ洗浄装置の
概略構成を示す断面図。FIG. 5 is a sectional view showing a schematic configuration of a brush cleaning apparatus according to another embodiment of the present invention.
【図６】同実施例の作用説明図。FIG. 6 is an explanatory view of the operation of the same embodiment.
【図７】本発明の他の実施例にかかるブラシ洗浄装置の
概略構成を示す断面図。FIG. 7 is a sectional view showing a schematic configuration of a brush cleaning device according to another embodiment of the present invention.
【図８】図６のブラシ洗浄装置のＢ−Ｂ断面図。8 is a cross-sectional view taken along line BB of the brush cleaning device of FIG.
【図９】従来のブラシ洗浄装置の概略構成を示す断面
図。FIG. 9 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a conventional brush cleaning device.
１０…搬送路 １１…洗浄槽 １２…搬送シャフト １６…搬送用コロ １７…被洗浄物 １８…ウォームギア １９…ウォーム１９ ２１…駆動ベルト ２２…搬送モータ ２３…洗浄ブラシ ２４，６１ａ…ブラシ軸 ３３…プーリブラシ駆動モータ ３４…搬送ベルト ３５…ブラシ駆動モータ ３８…振動発生器 ５１…振動発生用偏心モータ ６１…ディスクブラシ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Conveyance path 11 ... Cleaning tank 12 ... Conveying shaft 16 ... Conveying roller 17 ... Cleaning object 18 ... Worm gear 19 ... Worm 19 21 ... Driving belt 22 ... Conveying motor 23 ... Cleaning brush 24, 61a ... Brush shaft 33 ... Pulley brush Drive motor 34 ... Conveyor belt 35 ... Brush drive motor 38 ... Vibration generator 51 ... Vibration generating eccentric motor 61 ... Disk brush
Claims (1)
物の搬送をガイドする搬送路と、この搬送路に沿って前
記被洗浄物を搬送する搬送手段と、前記搬送路の途中に
配置され、かつ前記搬送手段によって搬送された前記被
洗浄物の表面上に先端を接触させて回転しながら表面洗
浄を行う先端洗浄部材及び前記洗浄槽に軸支され、前記
先端洗浄部材を支持する先端洗浄部材支持軸を備えた洗
浄体と、この洗浄体を回転駆動する洗浄体駆動手段と、
前記洗浄体の先端洗浄部材支持軸の先端に設けられ、か
つこの先端洗浄部材支持軸を介してその先端洗浄部材に
振動を伝達する振動伝達手段とを設け、前記洗浄体の先
端洗浄部材を回転させながら振動させて前記被洗浄物の
洗浄を行うことを特徴とする洗浄装置。1. A transport path which is provided in a cleaning tank and which guides the transport of a plate-shaped object to be cleaned, a transport means for transporting the object to be cleaned along the transport path, and a middle of the transport path. And a tip cleaning member for cleaning the surface of the article to be cleaned conveyed by the conveying means while rotating the tip by rotating the tip and the cleaning tank, and supports the tip cleaning member. A cleaning body provided with a tip cleaning member support shaft, and a cleaning body drive means for rotating and driving the cleaning body,
Rotating the tip cleaning member of the cleaning body is provided at the tip of the tip cleaning member support shaft of the cleaning body, and vibration transmission means for transmitting vibration to the tip cleaning member via the tip cleaning member support shaft. A cleaning device for cleaning the object to be cleaned by vibrating while performing the cleaning.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6055708A JPH07256217A (en) | 1994-03-25 | 1994-03-25 | Purification device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6055708A JPH07256217A (en) | 1994-03-25 | 1994-03-25 | Purification device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07256217A true JPH07256217A (en) | 1995-10-09 |
Family
ID=13006390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6055708A Pending JPH07256217A (en) | 1994-03-25 | 1994-03-25 | Purification device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07256217A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1043701A (en) * | 1996-08-06 | 1998-02-17 | Seiji Machida | Dust removing device |
| WO1999027565A1 (en) * | 1997-11-26 | 1999-06-03 | Speedfam-Ipec Corporation | Method and apparatus for enhanced cleaning of a workpiece with mechanical energy |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS535865A (en) * | 1976-07-05 | 1978-01-19 | Akio Masuda | Oscillable cleaning brush |
| JPS63224332A (en) * | 1987-03-13 | 1988-09-19 | Nec Corp | Double side washing equipment for semiconductor wafer |
-
1994
- 1994-03-25 JP JP6055708A patent/JPH07256217A/en active Pending
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| JPS535865A (en) * | 1976-07-05 | 1978-01-19 | Akio Masuda | Oscillable cleaning brush |
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