JP3223924B2 - Ic試験装置用論理比較器 - Google Patents

Ic試験装置用論理比較器

Info

Publication number
JP3223924B2
JP3223924B2 JP02678692A JP2678692A JP3223924B2 JP 3223924 B2 JP3223924 B2 JP 3223924B2 JP 02678692 A JP02678692 A JP 02678692A JP 2678692 A JP2678692 A JP 2678692A JP 3223924 B2 JP3223924 B2 JP 3223924B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
logic
output
gate
comparator
comparison result
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP02678692A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH05223891A (ja
Inventor
利幸 根岸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Priority to JP02678692A priority Critical patent/JP3223924B2/ja
Publication of JPH05223891A publication Critical patent/JPH05223891A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3223924B2 publication Critical patent/JP3223924B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は例えばメモリのような
ICを試験する場合に用いるIC試験用論理比較器に関
する。
【0002】
【従来の技術】IC試験装置では被試験ICに試験パタ
ーン信号を与えると共に、その応答出力信号を論理比較
器に与え、論理比較器において応答出力信号と期待値パ
ターン信号とを比較し、不一致が検出される毎に不良解
析メモリに不良を表わす例えばH論理のデータを書き込
み、不良解析データとして保存している。
【0003】従来より論理比較器にはノーマルコンパレ
ート方式と、倍速コンパレート方式とが存在する。ノー
マルコンパレート方式は1テストサイクル内で1回の論
理比較動作を行なう回路構造とされ、倍速コンパレート
方式は1テストサイクル内で2回の論理比較動作を行な
う回路構造とされる。倍速コンパレート方式を採ること
により1テストサイクル内に2回の論理比較を行なうこ
とができるから、短時間に多点の論理比較結果を得るこ
とができ、試験に要する時間を短かくすることができる
利点が得られる。
【0004】図6に従来の倍速コンパレート方式を採る
論理比較器の回路構造を示す。図中1は被試験ICを示
す。この被試験IC1にはパターン発生器2から試験パ
ターン信号が与えられ、その応答出力信号が論理比較器
3に取込まれる。論理比較器3にはパターン発生器2か
らデコーダを通じて期待値パターン信号EXPH1、E
XPL1及びEXPH2、EXPL2が与えられて論理
比較が行なわれる。
【0005】論理比較器3はブロック3Aと3Bとによ
って構成される。ブロック3Aと3Bはそれぞれ単体で
はノーマルコンパレート方式で動作する論理比較器とし
て動作し、2つのブロック3Aと3Bが協動することに
よって倍速コンパレート方式の論理比較動作が実行され
る。ブロック3Aと3Bの前段にアナログコンパレータ
4H,4Lが設けられる。このアナログコンパレータ4
H,4Lは被試験IC1が出力する論理信号のH論理レ
ベルとL論理レベルが正規の電圧範囲に入っているか否
かを比較判定するために設けられている。つまりアナロ
グコンパレータ4Hには比較電圧HREFが与えられ、
図7Aに示す被試験IC1が出力する論理信号DOUT
電圧がこの比較電圧HREF以上に達するとL論理を出
力する。またアナログコンパレータ4Lには比較電圧L
REFが与えられ被試験IC1が出力する論理信号の電
圧がこの比較電圧HREF以下に下がるとL論理を出力
する。結局これらアナログコンパレータ4Hと4Lは被
試験IC1が正規のレベルを持つ論理信号を出力してい
るとき、L論理を出力する。従ってアナログコンパレー
タ4HをH論理用アナログコンパレータ、4LをL論理
用アナログコンパレータと称することにする。
【0006】H論理用アナログコンパレータ4H及びL
論理用アナログコンパレータ4Lの比較出力はブロック
3Aと3Bに入力される。ブロック3Aと3Bは同一構
造であるからここではブロック3Aの構造についてのみ
説明する。H論理用及びL論理用アナログコンパレータ
4Hと4Lの各出力はストローブ回路5H,5Lに与え
られストローブパルスSTRB1でサンプリングされて
第1ラッチ回路6H及び第2ラッチ回路6Lに取込まれ
る。これら第1及び第2ラッチ回路6H,6Lはそれぞ
れD型フリップフロップによって構成され、正相出力端
子Q1 にストローブ回路5Hと5Lでサンプリングした
論理値を出力する。
【0007】第1及び第2ラッチ回路6Hと6Lに取込
まれた被試験IC1の論理データはゲートHとLの各一
方の入力端子に与えられる。ゲートHとLの各他方の入
力端子には図8に示す期待値信号EXPH1,EXPL
1,EXPH2,EXPL2が与えられる。期待値信号
EXPH1〜EXPL2はゲートHとLを開閉制御する
信号として与えられる。つまりストローブパルスSTR
B1がL論理であるべきタイミングで与えられる場合は
期待値はLであるからゲートLを開に制御する。またス
トローブパルスSTRB1がH論理レベルであるべきタ
イミングで与えられる場合は、ゲートHを開に制御す
る。これらゲートH及びLが開に制御されたとき、第1
及び第2ラッチ回路6H又は6LからL論理が与えられ
る正常と判定される。これに対しゲートH及びLに第1
及び第2ラッチ回路6H及び6LからH論理が入力され
るとゲートH又はLはH論理を出力し、これがオアゲー
トOR1 を通じて出力されることにより不良と判定さ
れ、不良解析メモリ7Aに記録される。
【0008】一方ラッチ回路6Hと6Lの各反転出力端
子Q2 に出力される逆相出力信号をオアゲートOR3
取出し、このオアゲートOR3 の出力をゲートZに与え
る。ゲートZに与える期待値信号は被試験IC1が出力
する信号DOUT が、H論理とL論理の中間を横切ってい
るタイミングでストローブパルスSTRB1を与え、そ
のストローブパルスSTRB1によってサンプリング
し、ラッチして論理値をゲートZで取出す。
【0009】ブロック3AではストローブパルスSTR
B1でのみ比較動作が行なわれ、1テストサイクル内で
1ポイントしか論理比較動作を行なうことができない。
このため従来は同一構造のブロック3Bを付設し、ブロ
ック3B側にストローブパルスSTRB2を与え、図7
Dに示すようにストローブパルスSTRB1とSTRB
2によって1テストサイクル中に出力される出力信号D
OUT の例えば前半と後半の論理が予定した期待値と一致
しているか否かを判定している。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】従来の倍速コンパレー
ト方式を採る論理比較器はブロック3Aに加えてブロッ
ク3Bを必要とし、回路規模が大きくなる欠点がある。
特にIC試験装置では論理比較器3は被試験IC1の端
子の数だけは用意しなければならない。被試験IC1の
端子数は多いもので数100ピンに及ぶものがある。こ
のためにIC試験装置としてはその多ピンのICを試験
できるように作らなければならないから回路規模が大き
い論理比較器3を多数用意しなければならないことはコ
ストの上昇と、小形化の障害は無論のこと、部品数の増
加に伴なって故障の発生率が上昇し信頼性の低下が持た
らされる。
【0011】この発明の目的は倍速コンパレート方式を
採りながら回路規模が小さく、従ってコストの上昇を抑
えることができ、部品数が少ないため、故障の発生率も
低減させることができるIC試験装置用論理比較器を提
供しようとするものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】この発明ではH論理用ア
ナログコンパレータとL論理用アナログコンパレータの
出力を別々にストローブ回路を通じて二つのラッチ回路
にラッチさせる。二つのラッチ回路は正相ラッチ出力と
逆相ラッチ出力とを出力し、この正相ラッチ出力と、逆
相ラッチ出力とをそれぞれ別々にゲート手段で期待値信
号と比較する。各ゲート手段の全ての出力をオアゲート
して取出すときノーマルモードで動作させることができ
る。また各正相ラッチ出力と逆相ラッチ出力をそれぞれ
ゲート手段で期待値と比較した結果を別々に取出す切替
手段を設けることにより、倍速コンパレート方式で動作
させることができる。
【0013】従ってこの発明によれば従来の一つのブロ
ック分の回路規模でノーマルモードと倍速コンパレート
方式で動作することができるIC試験装置用論理比較器
を提供することができる。
【0014】
【実施例】図1はこの発明によるIC試験装置用論理比
較器の構成を示す。図6と対応する部分には同一符号を
付してます。アナログコンパレータ4Hと4Lの後段に
ストローブ回路5Hと5Lを設ける構造は従来の技術で
説明した内容と同じであるが、この発明ではストローブ
回路5Hと5Lにそれぞれ別々にストローブパルスST
RB1とSTRB2を与える。これらストローブパルス
STRB1とSTRB2によってサンプリングしたサン
プルは第1及び第2ラッチ回路6Hと6Lにそれぞれ取
込まれる。
【0015】第1及び第2ラッチ回路6Hと6Lはそれ
ぞれD型フリップフロップによって構成することができ
る。D型フリップフロップの正相出力端子Q1 と逆相出
力端子Q2 にそれぞれアンドゲートから成る第1ゲート
群9Hと第2ゲート群9Lとをそれぞれ接続する。各ゲ
ート群9H及び第2ゲート群9Lの各他方の入力端子に
は期待値パターン信号EXPH,EXPHI及びEXP
L,EXPLIを与える。
【0016】第1ゲート群9Hの出力を論理和ゲートO
1 で論理和して取出す。また第2ゲート群9Lの出力
を論理和ゲートOR2 で論理和して取出す論値和回路O
1とOR2 から出力される信号を切替手段8で更に論
理和して取出すことによりノーマルモードで動作させる
ことができる。また切替手段8において、ゲート8Aを
閉に制御し、ゲート8Bを開に制御することにより論理
和ゲートOR1 とOR 2 で取出した信号を不良解析メモ
リ7Aと7Bを別々に記憶することができ、倍速コンパ
レート方式で動作させることができる。
【0017】つまりノーマルモードでは図2に示すよう
にストローブパルスSTRB1とSTRB2を同一タイ
ミング位置に合せ、ストローブ回路5Hと5Lに与え
る。図2の例ではH論理とL論理の間に存在する高イン
ピーダンス領域Zの位置にストローブパルスSTRB1
とSTRB2を設定した場合を示す。H論理用アナログ
コンパレータ4HはZ領域ではH論理を出力している。
またL論理用アナログコンパレータ4LもZ領域でH論
理を出力している。従って二つの第1及び第2のラッチ
回路6Hと6Lは共にH論理を取込む。
【0018】ここでノーマルモード時の期待値パターン
は図3に示すようにゲート/Hと/Lを開いて出力にL
論理が出力されたとき正常と判定する。従って上述した
ように二つの第1及び第2ラッチ回路6Hと6LにH論
理を取込んでいるから、その逆相出力端子Q2 にはL論
理が出力される。この結果第1ゲート群9Hと第2ゲー
ト群9Lの双方のゲート回路/Hと/Lが期待値パター
ン信号によって開かれてもゲート回路/Hと/Lは第1
及び第2ラッチ回路6Hと6LからL論理が与えられる
ため不良解析メモリ7AにはL論理が与えられ正常であ
ることが記憶される。
【0019】図2においてストローブパルスSTRB1
とSTRB2をZ領域より前半部分(信号DOUT がL論
理の領域)に設定し、このとき期待値パターン信号をH
とした場合には図3に示すようにゲート回路Hが開かれ
る。このときラッチ回路6HはH論理用アナログコンパ
レータ4HからH論理を持込んでいるから、ゲート回路
HはH論理を出力する。つまりこの場合は期待値と被試
験IC1の出力とが不一致であることを表わしている。
【0020】期待値パターン信号をHとしたまま、スト
ローブパルスSTRB1とSTRB2をZ領域より後半
部(信号DOUT がH論理になっている領域)に移すと、
ラッチ回路6Hは図2Bから明らかなようにL論理を読
込むこととなる。この結果ゲート回路Hは、L論理を出
力し、被試験IC1の応答出力信号と期待値パターン信
号とが一致したことを表わす。
【0021】期待値パターンXはドントケアである。こ
の場合はゲート回路H,/H,L,/Lは何れも何れも
開かれない。よってストローブパルスSTRB1とST
RB2は常にL論理を出力し、不良信号は発信しない。
図4に倍速コンパレータ方式の動作を示す。この例では
高インピーダンスZの状態を判定する機能を省略し、信
号DOUT がH論理かL論理かのみを判定するように構成
している。倍速コンパレート方式の場合、ストローブパ
ルスSTRB1とSTRB2は異なるタイミング位置に
設定される。図示の例ではストローブパルスSTRB1
を前半部分に、ストローブパルスSTRB2を後半部分
に設定した場合を示す。
【0022】また切替手段8はゲート8Aを閉じ、ゲー
ト8Bを開の状態に制御する。図4の信号DOUT とスト
ローブパルスタイミング位置の関係において図5に示す
期待値パターンとしてLHが与えられると、ゲート回路
/Hと/Lが開に制御されて第1及び第2ラッチ回路6
Hと6Lの逆相出力端子Q2 の論理を出力する。このと
き逆相出力端子Q2 は第1及び第2ラッチ回路6H,6
L共にL論理を出力しているから不良解析メモリ7Aと
7BにはL論理が与えられ正常であることが記憶され
る。
【0023】期待値パターンの前半と後半の論理でLH
以外の場合、例えばHXの場合は、図5より明らかなよ
うにゲート回路Hだけが開かれる。ゲート回路Hにはス
トローブパルスSTRB1によって打抜かれたH論理が
ラッチ回路6Hの正相出力端子Q1 から与えられている
から、不良解析メモリ7AにはH論理が与えられ、信号
OUT と期待値パターンとが不一致であることを表わす
H論理が記憶される。期待値パターンがLH以外の場合
は論理和ゲートOR1 又はOR2 の何れか一方からH論
理が出力され不一致であることが判定される。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
従来の約半分の回路規模で倍速コンパレータ方式で動作
する論理比較器を構成することができる。この結果IC
試験装置の回路規模を小さくすることができ、またコス
トダウンも期待できる利点が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を説明するための接続図。
【図2】この発明による論理比較器のノーマルモードに
おける動作を説明するための波形図。
【図3】ノーマルモードにおける期待値パターンとゲー
ト手段の開閉制御信号の関係を説明するための図。
【図4】この発明による論理比較器の倍速コンパレート
方式の動作を説明するための波形図。
【図5】倍速コンパレート方式の場合の期待値パターン
とゲート手段の開閉制御信号の関係を説明するための
図。
【図6】従来の技術を説明するための接続図。
【図7】従来技術の動作を説明するための波形図。
【図8】従来の技術における期待値パターンと期待値パ
ターン信号の関係を説明するための図。
【符号の説明】
1 被試験IC 2 パターン発生器 3 論理比較器 4H,4L アナログコンパレータ 5H,5L ストローブ回路 6H 第1ラッチ回路 6L 第2ラッチ回路 7A,7B 不良解析メモリ 8 切替手段 9H 第1ゲート群 9L 第2ゲート群

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 A.被試験ICから出力される論理信号
    のH論理レベルと、L論理レベルが規程の電圧値になっ
    ているか否かを判定するH論理用アナログコンパレータ
    及びL論理用アナログコンパレータと、 B.これらH論理用アナログコンパレータ及びL論理用
    アナログコンパレータから出力される各比較結果を所望
    のタイミングでラッチし、上記H論理レベルの比較結果
    及び比較結果の逆の論理を出力する第1ラッチ回路及び
    L論理レベルの比較結果及びこの比較結果の逆の論理を
    出力する第2ラッチ回路と、 C.第1ラッチ回路のラッチ出力がそれぞれ一方の入力
    端子に与えられ、他方の入力端子にH論理に対応する期
    待値が与えられる第1ゲート群と、 D.上記第2ラッチ回路のラッチ出力がそれぞれ一方の
    入力端子に与えられ、他方の入力端子にL論理に対応す
    る期待値が与えられる第2ゲート群と、 E.第1ゲート群と第2ゲート群の各ゲート出力の全て
    を論理和してノーマルモードの論理比較結果を出力する
    状態と、第1ゲート群及び第2ゲート群の各出力を別々
    に出力する倍速モードの論理比較結果を出力する状態に
    切替る切替回路と、によって構成したIC試験装置用論
    理比較器。
JP02678692A 1992-02-13 1992-02-13 Ic試験装置用論理比較器 Expired - Fee Related JP3223924B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP02678692A JP3223924B2 (ja) 1992-02-13 1992-02-13 Ic試験装置用論理比較器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP02678692A JP3223924B2 (ja) 1992-02-13 1992-02-13 Ic試験装置用論理比較器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05223891A JPH05223891A (ja) 1993-09-03
JP3223924B2 true JP3223924B2 (ja) 2001-10-29

Family

ID=12203002

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP02678692A Expired - Fee Related JP3223924B2 (ja) 1992-02-13 1992-02-13 Ic試験装置用論理比較器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3223924B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100476448C (zh) 2003-11-20 2009-04-08 爱德万测试株式会社 时序比较器、数据取样装置、以及测试装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH05223891A (ja) 1993-09-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0491290A2 (en) IC Tester
JPH0862298A (ja) 半導体集積回路および検査方法
US5471152A (en) Storage element for delay testing
JP3607325B2 (ja) 半導体試験装置用比較回路
KR20000034827A (ko) 반도체 메모리 시험방법 및 그 장치
JPH06194414A (ja) Ic機能試験装置及び試験方法
JPH01502534A (ja) 3―状態回路試験装置
JP3223924B2 (ja) Ic試験装置用論理比較器
JPH03260739A (ja) 順序動作型論理回路
WO1998014954A1 (fr) Controleur de memoire
JPH0545418A (ja) タイミング校正装置
JPS5811584B2 (ja) パルス遅延時間テスト装置
JPH0675015A (ja) パターン信号発生器に同期したac測定電圧印加回路
JP4422223B2 (ja) Ic試験装置
JPH0269687A (ja) 論理集積回路試験装置
JP3090240B2 (ja) Ad変換器試験装置
JPH0745029Y2 (ja) Ic試験装置
JP2723676B2 (ja) 半導体集積回路
JP2598580Y2 (ja) Ic試験装置
JPH04157535A (ja) レジスタ検査方法
JP3472972B2 (ja) Ic試験装置
JP2578076Y2 (ja) Ic試験装置の不良データ取込み装置
JPH1026655A (ja) Lsiの試験装置
JPS62165800A (ja) 論理装置
JPH06148291A (ja) バウンダリスキャンレジスタ

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20010710

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080824

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080824

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090824

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090824

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100824

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees