JP3196305B2 - 真空炉 - Google Patents
真空炉Info
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- JP3196305B2 JP3196305B2 JP09369692A JP9369692A JP3196305B2 JP 3196305 B2 JP3196305 B2 JP 3196305B2 JP 09369692 A JP09369692 A JP 09369692A JP 9369692 A JP9369692 A JP 9369692A JP 3196305 B2 JP3196305 B2 JP 3196305B2
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- tray
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は被処理物の熱処理や焼
結等の加熱処理をおこなう真空炉に関する。
結等の加熱処理をおこなう真空炉に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、たとえばステンレス鋼やアルミニ
ウム材のような酸化しやすい材料の加熱処理は、真空炉
を用いて真空中においておこなわれている。また真空度
が高くなると材料の一部の成分が気化しやすくなるた
め、一旦真空にした炉殻内に雰囲気ガスを投入して数To
rr乃至大気圧の雰囲気ガス中で加熱処理することもおこ
なわれている。
ウム材のような酸化しやすい材料の加熱処理は、真空炉
を用いて真空中においておこなわれている。また真空度
が高くなると材料の一部の成分が気化しやすくなるた
め、一旦真空にした炉殻内に雰囲気ガスを投入して数To
rr乃至大気圧の雰囲気ガス中で加熱処理することもおこ
なわれている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが真空炉におけ
る被処理物の加熱は、電熱ヒータなどのヒータからのふ
く射伝熱によつているため、多数個の被処理物の集合体
を一度に処理する場合などは、集合体内部の昇温が遅
れ、長い処理時間を必要とし生産性が劣るという問題が
あつた。
る被処理物の加熱は、電熱ヒータなどのヒータからのふ
く射伝熱によつているため、多数個の被処理物の集合体
を一度に処理する場合などは、集合体内部の昇温が遅
れ、長い処理時間を必要とし生産性が劣るという問題が
あつた。
【０００４】この発明は上記従来の問題点を解決するも
ので、被処理物を短時間で温度むら少なく昇温させるこ
とができる真空炉を提供しようとするものである。
ので、被処理物を短時間で温度むら少なく昇温させるこ
とができる真空炉を提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明の真空炉は、真
空ポンプおよび雰囲気ガス供給源に接続された炉殻内
に、断熱壁で包囲した断熱室を設け、一方の側壁を多孔
板で構成しこれと対向する他方の側壁に吸気口をそなえ
たチヤンバを、前記断熱室内に配設し、前記吸気口から
前記チヤンバの外部を経て前記一方の側壁の外側に至る
循環路に、雰囲気ガス循環用のフアンと雰囲気ガス加熱
用のヒータを設けるとともに、被処理物を段積み状に保
持し前記チヤンバ内に装入されるトレイを具備したこと
を特徴とする。
空ポンプおよび雰囲気ガス供給源に接続された炉殻内
に、断熱壁で包囲した断熱室を設け、一方の側壁を多孔
板で構成しこれと対向する他方の側壁に吸気口をそなえ
たチヤンバを、前記断熱室内に配設し、前記吸気口から
前記チヤンバの外部を経て前記一方の側壁の外側に至る
循環路に、雰囲気ガス循環用のフアンと雰囲気ガス加熱
用のヒータを設けるとともに、被処理物を段積み状に保
持し前記チヤンバ内に装入されるトレイを具備したこと
を特徴とする。
【０００６】
【作用】この発明の真空炉においては、トレイをチヤン
バ内に装入し、炉殻内に雰囲気ガスを投入した状態で、
フアンを運転すれば、吸気口から吸引された雰囲気ガス
はヒータにより加熱され循環路を経て、多孔板部からチ
ヤンバ内に吹込まれ、被処理物を加熱後、吸気口に至る
循環流が形成される。チヤンバに流入する高温の雰囲気
ガスは、多孔板の通気孔によつて整流され、段積状の被
処理物間を横向きに流通し、通気孔の配置によつて所望
のガス流分布を得ることができるので、トレイ上の多数
個の被処理物をほぼ均一な温度分布で短時間で昇温させ
ることができる。
バ内に装入し、炉殻内に雰囲気ガスを投入した状態で、
フアンを運転すれば、吸気口から吸引された雰囲気ガス
はヒータにより加熱され循環路を経て、多孔板部からチ
ヤンバ内に吹込まれ、被処理物を加熱後、吸気口に至る
循環流が形成される。チヤンバに流入する高温の雰囲気
ガスは、多孔板の通気孔によつて整流され、段積状の被
処理物間を横向きに流通し、通気孔の配置によつて所望
のガス流分布を得ることができるので、トレイ上の多数
個の被処理物をほぼ均一な温度分布で短時間で昇温させ
ることができる。
【０００７】この発明において循環路を、断熱室内壁面
とチヤンバ外壁面との間に形成させれば、ヒータにより
昇温した雰囲気ガスが断熱室内を流通するため熱損失が
少なく、また構造も簡潔で好ましい。
とチヤンバ外壁面との間に形成させれば、ヒータにより
昇温した雰囲気ガスが断熱室内を流通するため熱損失が
少なく、また構造も簡潔で好ましい。
【０００８】またこの発明において、真空炉をトレイ搬
送用のハースローラをそなえた連続炉とし、チヤンバ
を、一端部にトレイ装入口を、他端部にトレイ送出口を
そなえたトンネル状のチヤンバとすれば、チヤンバに対
するトレイの装入抽出を迅速容易におこなえるので好ま
しい。
送用のハースローラをそなえた連続炉とし、チヤンバ
を、一端部にトレイ装入口を、他端部にトレイ送出口を
そなえたトンネル状のチヤンバとすれば、チヤンバに対
するトレイの装入抽出を迅速容易におこなえるので好ま
しい。
【０００９】さらにこの発明においてチヤンバの他方の
側壁も多孔板で構成し、この多孔板の孔を吸気口として
用いれば、多数個の吸気口による整流作用によつて、チ
ヤンバ内のガス流分布がさらに均一化されるので好まし
い。
側壁も多孔板で構成し、この多孔板の孔を吸気口として
用いれば、多数個の吸気口による整流作用によつて、チ
ヤンバ内のガス流分布がさらに均一化されるので好まし
い。
【００１０】またこの発明においてチヤンバを、他方の
側壁が欠除した構成とし、この欠除により形成された開
口部を吸気口として用いれば、吸気抵抗が少なく、また
チヤンバの構造も簡潔で好ましい。
側壁が欠除した構成とし、この欠除により形成された開
口部を吸気口として用いれば、吸気抵抗が少なく、また
チヤンバの構造も簡潔で好ましい。
【００１１】
【実施例】以下図１乃至図３によりこの発明を連続式真
空焼結炉に適用した場合の第１実施例を説明する。図
中、１は連続式真空焼結炉で、脱ワツクス室２と焼結室
３と冷却室４を直列に配置して成る。５は被処理物装入
用の入口、６は同じく抽出用の出口で、入口の扉７およ
び出口の扉８は、エアシリンダ式の開閉装置９および１
０により開閉駆動されるようになつている。１１は装入
テーブル、１２は抽出テーブルであり、また１３は炉長
全長にわたつて設けた、炉内搬送用のハースロールであ
る。
空焼結炉に適用した場合の第１実施例を説明する。図
中、１は連続式真空焼結炉で、脱ワツクス室２と焼結室
３と冷却室４を直列に配置して成る。５は被処理物装入
用の入口、６は同じく抽出用の出口で、入口の扉７およ
び出口の扉８は、エアシリンダ式の開閉装置９および１
０により開閉駆動されるようになつている。１１は装入
テーブル、１２は抽出テーブルであり、また１３は炉長
全長にわたつて設けた、炉内搬送用のハースロールであ
る。
【００１２】一方焼結室３は、図２にも詳細を示すよう
に、円筒状の炉殻２１内に黒鉛製の略円筒状の断熱壁２
２により包囲した断熱室２３を設け、さらにこの断熱室
２３内に、トレイ４０が通過するチヤンバ２４を設けて
成る。チヤンバ２４は一端部にトレイ装入口２５を、他
端部にトレイ送出口２６をそなえた、炉長方向に延びる
断面角形のトンネル状を呈し、このチヤンバ２４の一方
の側壁２７は多数個の通気孔２８を穿設した多孔板から
成り、他方の側壁２９には吸気口３０が設けてある。３
１ａおよび３１ｂは吸気口３０から側壁２７の外側に至
る循環路で、断熱壁２２の内面とチヤンバ２４の外壁面
との間に形成されている。３２は雰囲気ガス循環用のフ
アンで、吸気口３０に対向して設けられ、電動機３３に
より駆動される。また３４は、循環路３１（上側の循環
路３１ａおよび下側の循環路３１ｂの総称。）内に設け
た電熱式のヒータである。３５は炉殻２１に設けた排気
口で、図示しない真空ポンプに接続され、３６は同じく
炉殻２１に設けた雰囲気ガス供給口で、図示しない雰囲
気ガス供給源に接続されている。
に、円筒状の炉殻２１内に黒鉛製の略円筒状の断熱壁２
２により包囲した断熱室２３を設け、さらにこの断熱室
２３内に、トレイ４０が通過するチヤンバ２４を設けて
成る。チヤンバ２４は一端部にトレイ装入口２５を、他
端部にトレイ送出口２６をそなえた、炉長方向に延びる
断面角形のトンネル状を呈し、このチヤンバ２４の一方
の側壁２７は多数個の通気孔２８を穿設した多孔板から
成り、他方の側壁２９には吸気口３０が設けてある。３
１ａおよび３１ｂは吸気口３０から側壁２７の外側に至
る循環路で、断熱壁２２の内面とチヤンバ２４の外壁面
との間に形成されている。３２は雰囲気ガス循環用のフ
アンで、吸気口３０に対向して設けられ、電動機３３に
より駆動される。また３４は、循環路３１（上側の循環
路３１ａおよび下側の循環路３１ｂの総称。）内に設け
た電熱式のヒータである。３５は炉殻２１に設けた排気
口で、図示しない真空ポンプに接続され、３６は同じく
炉殻２１に設けた雰囲気ガス供給口で、図示しない雰囲
気ガス供給源に接続されている。
【００１３】トレイ４０はアルミニウム焼結部品である
被処理物４１を多数個段積み状に保持するトレイで、被
処理物４１は複数枚の棚板４２上に載置される。このト
レイ４０の前壁４３と後壁４４は、少量のすきまをもつ
てチヤンバ２４の内周面に嵌合し、循環路３１内を流れ
る雰囲気ガスが、トレイ装入口２５およびトレイ送出口
２６から直接チヤンバ２４内へ流入してしまうのを防止
するようにしてある。
被処理物４１を多数個段積み状に保持するトレイで、被
処理物４１は複数枚の棚板４２上に載置される。このト
レイ４０の前壁４３と後壁４４は、少量のすきまをもつ
てチヤンバ２４の内周面に嵌合し、循環路３１内を流れ
る雰囲気ガスが、トレイ装入口２５およびトレイ送出口
２６から直接チヤンバ２４内へ流入してしまうのを防止
するようにしてある。
【００１４】焼結室３の前工程側の脱ワツクス室２は、
前述のチヤンバ２４およびフアン３２を具備しない点を
除いて、焼結室３と同様な構成を有し、炉殻５１内に断
熱室５２を設け、ヒータ５３を具備している。また焼結
室３の後工程側の冷却室４は炉殻５４内に雰囲気循環用
のフアン５５と雰囲気冷却用のクーラ５６をそなえてい
る。脱ワツクス室２と焼結室３と冷却室４の間の扉５７
よび５８は、エアシリンダ式の開閉装置５９および６０
により開閉されるようになつている。
前述のチヤンバ２４およびフアン３２を具備しない点を
除いて、焼結室３と同様な構成を有し、炉殻５１内に断
熱室５２を設け、ヒータ５３を具備している。また焼結
室３の後工程側の冷却室４は炉殻５４内に雰囲気循環用
のフアン５５と雰囲気冷却用のクーラ５６をそなえてい
る。脱ワツクス室２と焼結室３と冷却室４の間の扉５７
よび５８は、エアシリンダ式の開閉装置５９および６０
により開閉されるようになつている。
【００１５】次に上記構成の真空炉における被処理物４
１の処理方法を図３も参照しつつ説明する。先ず被処理
物４１を段積み状に積載したトレイ４０を脱ワツクス室
２に装入したら、扉７および５７を閉じて脱ワツクス室
２内を真空にするとともにヒータ５３により被処理物４
１を約４５０℃に加熱して脱ワツクスをおこなう。この
とき一旦１０-3Torr程度の高真空度に排気後、窒素ガス
を少量室内に供給してキヤリヤガスとしてワツクスを炉
外に排出する役目をさせる。
１の処理方法を図３も参照しつつ説明する。先ず被処理
物４１を段積み状に積載したトレイ４０を脱ワツクス室
２に装入したら、扉７および５７を閉じて脱ワツクス室
２内を真空にするとともにヒータ５３により被処理物４
１を約４５０℃に加熱して脱ワツクスをおこなう。この
とき一旦１０-3Torr程度の高真空度に排気後、窒素ガス
を少量室内に供給してキヤリヤガスとしてワツクスを炉
外に排出する役目をさせる。
【００１６】脱ワツクスの終期に、脱ワツクス室２およ
び焼結室３内を真空にし、扉５７を開いてトレイ４０を
焼結室３のチヤンバ２４内に移送し、真空中でヒータ３
４により昇温しつつ被処理物４１部に付着した残存ワツ
クスを室外へ排気後、雰囲気ガス供給口３６から窒素ガ
スを導入して焼結室３内をほぼ大気圧の窒素ガス雰囲気
とし、フアン３２を運転する。これによつて断熱室２３
内の窒素ガスは、循環路３１を流れてヒータ３４により
加熱され、多孔板から成る側壁２７の通気孔２８を通過
して、整流状態でチヤンバ２４内を側方へ流れ、各棚板
４２上の被処理物４１をほぼ均等に加熱後、吸気口３０
から吸引され循環路３１へと循環する。
び焼結室３内を真空にし、扉５７を開いてトレイ４０を
焼結室３のチヤンバ２４内に移送し、真空中でヒータ３
４により昇温しつつ被処理物４１部に付着した残存ワツ
クスを室外へ排気後、雰囲気ガス供給口３６から窒素ガ
スを導入して焼結室３内をほぼ大気圧の窒素ガス雰囲気
とし、フアン３２を運転する。これによつて断熱室２３
内の窒素ガスは、循環路３１を流れてヒータ３４により
加熱され、多孔板から成る側壁２７の通気孔２８を通過
して、整流状態でチヤンバ２４内を側方へ流れ、各棚板
４２上の被処理物４１をほぼ均等に加熱後、吸気口３０
から吸引され循環路３１へと循環する。
【００１７】上記の加熱により被処理物４１を約６００
℃で所定時間焼結後、焼結室３内を再度真空排気して扉
５８を開いて、トレイ４０を冷却室４内へ移送すれば、
高温ガスが冷却室４内へ流れ込むことが防止され、冷却
室４において降温した窒素ガス雰囲気により被処理物４
１を急冷することができる。そして複数個のトレイ４０
を順次間欠的に炉内に装入して上記各工程を繰返すこと
により、多数の被処理品を連続処理できるのである。な
おトレイ４０は、前壁４３と後壁４４（図１参照）を有
しないものでもよい。
℃で所定時間焼結後、焼結室３内を再度真空排気して扉
５８を開いて、トレイ４０を冷却室４内へ移送すれば、
高温ガスが冷却室４内へ流れ込むことが防止され、冷却
室４において降温した窒素ガス雰囲気により被処理物４
１を急冷することができる。そして複数個のトレイ４０
を順次間欠的に炉内に装入して上記各工程を繰返すこと
により、多数の被処理品を連続処理できるのである。な
おトレイ４０は、前壁４３と後壁４４（図１参照）を有
しないものでもよい。
【００１８】次に図４および図５によりこの発明を連続
式真空焼結炉に適用した場合の第２実施例を説明する。
これらの図は図１における焼結室３の部分のみを示し、
図１および図２と同一または相当部分には、同一符号を
付して詳細な説明は省略する。
式真空焼結炉に適用した場合の第２実施例を説明する。
これらの図は図１における焼結室３の部分のみを示し、
図１および図２と同一または相当部分には、同一符号を
付して詳細な説明は省略する。
【００１９】この実施例においては断熱壁２２は略角筒
状を呈し、またチヤンバ６１は炉長方向に延びる断面コ
字形のトンネル状を呈している。すなわち、チヤンバ６
１は側壁２７，６２と頂壁６３とから成り、底壁を有し
ない。そして多孔板から成る一方の側壁２７に対向する
他方の側壁６２も多孔板から成り、その多数個の孔が吸
気口６４を構成している。
状を呈し、またチヤンバ６１は炉長方向に延びる断面コ
字形のトンネル状を呈している。すなわち、チヤンバ６
１は側壁２７，６２と頂壁６３とから成り、底壁を有し
ない。そして多孔板から成る一方の側壁２７に対向する
他方の側壁６２も多孔板から成り、その多数個の孔が吸
気口６４を構成している。
【００２０】またチヤンバ６１の側壁６２および頂壁６
３の外側の循環路６５ａと、側壁２７の外側の循環路６
５ｂの間を仕切板６６で仕切り、送風機用のケ−シング
６７に収容したフアン６８を断熱室２３の頂部に配置し
て、該ケ−シング６７の吐出口６９を仕切板６６に開口
させてある。７０はケ−シング６７の吸込口である。ま
た７１は循環路６５ａの底壁、７２は循環路６５ｂの底
壁、７３および７４は両循環路６５ａ，６５ｂの焼結室
入口側および出口側を閉鎖する側壁である。なおヒ−タ
３４の配置も第１実施例とは異なる。
３の外側の循環路６５ａと、側壁２７の外側の循環路６
５ｂの間を仕切板６６で仕切り、送風機用のケ−シング
６７に収容したフアン６８を断熱室２３の頂部に配置し
て、該ケ−シング６７の吐出口６９を仕切板６６に開口
させてある。７０はケ−シング６７の吸込口である。ま
た７１は循環路６５ａの底壁、７２は循環路６５ｂの底
壁、７３および７４は両循環路６５ａ，６５ｂの焼結室
入口側および出口側を閉鎖する側壁である。なおヒ−タ
３４の配置も第１実施例とは異なる。
【００２１】この実施例においても、第１実施例と同様
な操業をおこなうが、被処理物４１の加熱時に焼結室３
内をほぼ大気圧の窒素ガス雰囲気としてフアン６８を運
転すると、多孔板から成る側壁２７の通気孔２８を通過
して整流状態でチヤンバ６１内に流入した窒素ガスは、
多孔板から成る他方の側壁６２の多数個の吸気口６４に
より整流され、この吸気口６４からほぼ均等流として循
環路６５ａへ流出するので、チヤンバ６１内の窒素ガス
流は一層均一化されるという長所を有する。
な操業をおこなうが、被処理物４１の加熱時に焼結室３
内をほぼ大気圧の窒素ガス雰囲気としてフアン６８を運
転すると、多孔板から成る側壁２７の通気孔２８を通過
して整流状態でチヤンバ６１内に流入した窒素ガスは、
多孔板から成る他方の側壁６２の多数個の吸気口６４に
より整流され、この吸気口６４からほぼ均等流として循
環路６５ａへ流出するので、チヤンバ６１内の窒素ガス
流は一層均一化されるという長所を有する。
【００２２】次に図６および図７はこの発明を連続式真
空焼結炉に適用した場合の第３実施例を示し、第２実施
例において側壁６２を除去し、この除去によつて一方の
側壁２７に対向してトレイ４０の通路の側方に形成され
た大きな開口部を、吸気口７５として用いるものであ
る。さらにこの実施例ではこの吸気口７５部に、ガス流
方向を円滑に変換するためのガイド板７６を設けてあ
る。他の構成は第２実施例と同じである。
空焼結炉に適用した場合の第３実施例を示し、第２実施
例において側壁６２を除去し、この除去によつて一方の
側壁２７に対向してトレイ４０の通路の側方に形成され
た大きな開口部を、吸気口７５として用いるものであ
る。さらにこの実施例ではこの吸気口７５部に、ガス流
方向を円滑に変換するためのガイド板７６を設けてあ
る。他の構成は第２実施例と同じである。
【００２３】すなわちこの実施例における吸気口７５
は、第１実施例における吸気口３０を拡大して側壁２９
の全面にわたつて開口させたものに相当する。チヤンバ
７７は側壁２７と頂壁６３のみから成る断面Ｌ字形のト
ンネル状を呈し、他の実施例における側壁２９，６２が
欠除しているので、フアン６８の吸気抵抗が小さくて済
み、またチヤンバ７７の構造も簡潔化される。なおガイ
ド板７６は省略してもよい。
は、第１実施例における吸気口３０を拡大して側壁２９
の全面にわたつて開口させたものに相当する。チヤンバ
７７は側壁２７と頂壁６３のみから成る断面Ｌ字形のト
ンネル状を呈し、他の実施例における側壁２９，６２が
欠除しているので、フアン６８の吸気抵抗が小さくて済
み、またチヤンバ７７の構造も簡潔化される。なおガイ
ド板７６は省略してもよい。
【００２４】この発明は上記各実施例に限定されるもの
ではなく、たとえば第２および第３実施例において、チ
ヤンバ６１および７７に底壁を設けてもよい。また以上
は連続式真空焼結炉の例について説明したが、この発明
はバツチ式の真空炉や熱処理用の真空炉にも適用できる
ものである。また上記実施例では循環路３１，６５を断
熱室２３内に形成したので熱損失が少ないという長所を
有するものであるが、この循環路を、吸気口３０，６
４，７５部から炉殻２１外を経て側壁２７部に至る管路
により構成してもよい。
ではなく、たとえば第２および第３実施例において、チ
ヤンバ６１および７７に底壁を設けてもよい。また以上
は連続式真空焼結炉の例について説明したが、この発明
はバツチ式の真空炉や熱処理用の真空炉にも適用できる
ものである。また上記実施例では循環路３１，６５を断
熱室２３内に形成したので熱損失が少ないという長所を
有するものであるが、この循環路を、吸気口３０，６
４，７５部から炉殻２１外を経て側壁２７部に至る管路
により構成してもよい。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
トレイを収容したチヤンバ内にヒータによつて加熱した
雰囲気ガスを整流状態で流入させ、チヤンバ内を横向き
に流通させるようにしたので、トレイ上の多数個の被処
理物を短時間で温度むら少なく昇温させることができ
る。
トレイを収容したチヤンバ内にヒータによつて加熱した
雰囲気ガスを整流状態で流入させ、チヤンバ内を横向き
に流通させるようにしたので、トレイ上の多数個の被処
理物を短時間で温度むら少なく昇温させることができ
る。
【図１】この発明の第１実施例を示す連続式真空焼結炉
の縦断面図である。
の縦断面図である。
【図２】図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１の炉の操業方法を示す線図である。
【図４】この発明の第２実施例を示す連続式真空焼結炉
の焼結室部の縦断面図である。
の焼結室部の縦断面図である。
【図５】図４におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図６】この発明の第３実施例を示す連続式真空焼結炉
の焼結室部の縦断面図である。
の焼結室部の縦断面図である。
【図７】図６におけるＣ−Ｃ線断面図である。
【符号の説明】 １…連続式真空焼結炉、３…焼結室、２１…炉殻、２２
…断熱壁、２３…断熱室、２４…チヤンバ、２５…トレ
イ装入口、２６…トレイ送出口、２７…側壁、２８…通
気孔、２９…側壁、３０…吸気口、３１ａ…循環路、３
１ｂ…循環路、３２…フアン、３４…ヒータ、３５…排
気口、３６…雰囲気ガス供給口、４０…トレイ、４１…
被処理物、４２…棚板、６１…チヤンバ、６２…側壁、
６３…頂壁、６４…吸気口、６５ａ…循環路、６５ｂ…
循環路、６６…仕切板、６７…ケ−シング、６８…フア
ン、７５…吸気口、７７…チヤンバ。
…断熱壁、２３…断熱室、２４…チヤンバ、２５…トレ
イ装入口、２６…トレイ送出口、２７…側壁、２８…通
気孔、２９…側壁、３０…吸気口、３１ａ…循環路、３
１ｂ…循環路、３２…フアン、３４…ヒータ、３５…排
気口、３６…雰囲気ガス供給口、４０…トレイ、４１…
被処理物、４２…棚板、６１…チヤンバ、６２…側壁、
６３…頂壁、６４…吸気口、６５ａ…循環路、６５ｂ…
循環路、６６…仕切板、６７…ケ−シング、６８…フア
ン、７５…吸気口、７７…チヤンバ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｆ２７Ｄ 7/06 Ｆ２７Ｄ 7/06 Ａ (56)参考文献 特開 昭60−262914（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−93310（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−39593（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F27D 7/04 C21D 1/767 C21D 1/773 F27B 9/04 F27B 9/10 F27D 7/06
Claims (5)
- 【請求項１】 真空ポンプおよび雰囲気ガス供給源に接
続された炉殻内に、断熱壁で包囲した断熱室を設け、一
方の側壁を多孔板で構成しこれと対向する他方の側壁に
吸気口をそなえたチヤンバを、前記断熱室内に配設し、
前記吸気口から前記チヤンバの外部を経て前記一方の側
壁の外側に至る循環路に、雰囲気ガス循環用のフアンと
雰囲気ガス加熱用のヒータを設けるとともに、被処理物
を段積み状に保持し前記チヤンバ内に装入されるトレイ
を具備したことを特徴とする真空炉。 - 【請求項２】 循環路が、断熱室内壁面とチヤンバ外壁
面との間に形成されている請求項１記載の真空炉。 - 【請求項３】 トレイ搬送用のハースローラをそなえ、
チヤンバが一端部にトレイ装入口を、他端部にトレイ送
出口をそなえたトンネル状のチヤンバから成る請求項１
または２記載の真空炉。 - 【請求項４】 チヤンバの他方の側壁も多孔板で構成
し、この多孔板の孔を吸気口とした請求項１または２ま
たは３記載の真空炉。 - 【請求項５】 チヤンバを、他方の側壁が欠除した構成
とし、この側壁の欠除により形成された開口部を吸気口
とした請求項１または２または３記載の真空炉。
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