JP3179288B2 - 配線基板の検査装置および検査方法 - Google Patents
配線基板の検査装置および検査方法Info
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- JP3179288B2 JP3179288B2 JP16984894A JP16984894A JP3179288B2 JP 3179288 B2 JP3179288 B2 JP 3179288B2 JP 16984894 A JP16984894 A JP 16984894A JP 16984894 A JP16984894 A JP 16984894A JP 3179288 B2 JP3179288 B2 JP 3179288B2
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶駆動用基板などの
ように基板上に多数の配線が施されてなる配線の検査装
置および配線検査方法に関する。
ように基板上に多数の配線が施されてなる配線の検査装
置および配線検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】図16は、従来一般に知られている単純
マトリックス型の液晶駆動用基板の完成前の配線構造の
一例を示すものである。図16に示す完成前の配線構造
は、透明基板上に電極回路Kが形成され、更に透明基板
上の電極回路Kの周囲に、これを保護するための矩形枠
状のガードリング(保護用短絡配線)Gが形成された例
である。この例のガードリングGは、製造工程の最終段
階において電極回路Kを基板とともに図16の2点鎖線
Sに沿って切断することで電極回路Kから切り放されて
廃棄され、残った電極回路Kを用いて液晶駆動用基板が
製造されるようになっている。この例の電極回路Kは、
透明基板上に横長の短冊型の電極配線1・・・が上下に多
数並行に配列形成され、各電極配線1の端部にガードリ
ングGに接続する引出配線2が形成されたものである。
この例の電極回路Kは他の図示しない透明基板上に複数
配列形成された縦長の短冊型の電極回路とともに一対の
組で製造され、これら一対の透明基板間に液晶を封入す
ることで液晶表示パネルが構成されるようになってい
る。
マトリックス型の液晶駆動用基板の完成前の配線構造の
一例を示すものである。図16に示す完成前の配線構造
は、透明基板上に電極回路Kが形成され、更に透明基板
上の電極回路Kの周囲に、これを保護するための矩形枠
状のガードリング(保護用短絡配線)Gが形成された例
である。この例のガードリングGは、製造工程の最終段
階において電極回路Kを基板とともに図16の2点鎖線
Sに沿って切断することで電極回路Kから切り放されて
廃棄され、残った電極回路Kを用いて液晶駆動用基板が
製造されるようになっている。この例の電極回路Kは、
透明基板上に横長の短冊型の電極配線1・・・が上下に多
数並行に配列形成され、各電極配線1の端部にガードリ
ングGに接続する引出配線2が形成されたものである。
この例の電極回路Kは他の図示しない透明基板上に複数
配列形成された縦長の短冊型の電極回路とともに一対の
組で製造され、これら一対の透明基板間に液晶を封入す
ることで液晶表示パネルが構成されるようになってい
る。
【0003】ところで、一般に液晶表示装置において
は、表示の高精細度化が要求されているので、前記の構
成の電極回路Kを透明基板上に形成した場合に、1枚の
基板上に数十〜数百本、あるいはそれ以上の本数の電極
配線を形成する必要がある。従って基板上にスパッタな
どの成膜法とフォトリソグラフィ技術を用いて所望の形
状の電極配線を形成する際に、成膜不良やエッチング不
良あるいは異物の混入などの要因により、電極どうしが
ショートしたり、電極形状不良などの製造欠陥を生じる
おそれが高い問題があった。そこでこの種の液晶表示装
置用の電極回路の不良を検査する装置が種々提案されて
いる。その検査装置の1つの例として、図17に示すよ
うに、プローブ端子3と4を備え、一方のプローブ端子
4に定電流源6と電圧計7とを並列接続してなる構成の
ものが知られている。
は、表示の高精細度化が要求されているので、前記の構
成の電極回路Kを透明基板上に形成した場合に、1枚の
基板上に数十〜数百本、あるいはそれ以上の本数の電極
配線を形成する必要がある。従って基板上にスパッタな
どの成膜法とフォトリソグラフィ技術を用いて所望の形
状の電極配線を形成する際に、成膜不良やエッチング不
良あるいは異物の混入などの要因により、電極どうしが
ショートしたり、電極形状不良などの製造欠陥を生じる
おそれが高い問題があった。そこでこの種の液晶表示装
置用の電極回路の不良を検査する装置が種々提案されて
いる。その検査装置の1つの例として、図17に示すよ
うに、プローブ端子3と4を備え、一方のプローブ端子
4に定電流源6と電圧計7とを並列接続してなる構成の
ものが知られている。
【0004】図17に示す構成の検査装置を用いて電極
回路Kの検査を行うには、一方のプローブ端子3を図1
6の電極配線1の一端側のガードリングGの一部に接続
するとともに、他方のプローブ端子4を電極配線1の他
端側に接続し、プローブ端子3を接地し、定電流源6の
他の極を接地して電極配線1に所定の電流を流して電極
配線1の抵抗値を測定し、この値を基に電極配線1の断
線とショートを判断していた。この場合の抵抗値は、プ
ローブ端子4に接続した電圧計7の電圧値と定電流源6
の電流値とから計算で容易に算出できる。更にこの場
合、前記電流値を一定としておけば、電圧計7の電圧値
のみから抵抗値を求め、電極配線1の断線やショートを
容易に判定することができる。
回路Kの検査を行うには、一方のプローブ端子3を図1
6の電極配線1の一端側のガードリングGの一部に接続
するとともに、他方のプローブ端子4を電極配線1の他
端側に接続し、プローブ端子3を接地し、定電流源6の
他の極を接地して電極配線1に所定の電流を流して電極
配線1の抵抗値を測定し、この値を基に電極配線1の断
線とショートを判断していた。この場合の抵抗値は、プ
ローブ端子4に接続した電圧計7の電圧値と定電流源6
の電流値とから計算で容易に算出できる。更にこの場
合、前記電流値を一定としておけば、電圧計7の電圧値
のみから抵抗値を求め、電極配線1の断線やショートを
容易に判定することができる。
【0005】ここで以下に、図18に示す任意の1つの
電極配線1とその隣の電極配線1’との間でショート欠
陥を生じていた場合の検査方法について、以下に説明す
る。図18に示すように任意の1つの電極配線1とその
隣の電極配線1’との間に抵抗値がRsのショート欠陥
を生じていた場合に、図17に示す装置を用いて検査す
るには、ガードリングGの一部にプローブ端子3を接続
し、電極配線1の反対側の端部にプローブ端子4を接続
する。ここで図18においては、プローブ端子3をCO
M、プローブ端子4をOと表示して区別している。図1
8に示す状態において、表示エリア内の電極配線1の長
さをLo、表示エリアの端部(電極配線1の引出配線側
の端部)からショート部分までの距離をLs、Ls/Lo
をX、表示エリア内の電極配線の抵抗をRo(Ro≦R1
+R2)、プローブ端子4の接触点からショート部分ま
での抵抗をR1(R1=(1−X)・Ro)、表示エリア
端部(電極配線1の引出配線側の端部)からショート部
分までの抵抗をR2=X・Ro、ショート経路の中のガー
ドリング部分の抵抗をRG、ショート抵抗をRs、引出配
線の抵抗をR3とする。
電極配線1とその隣の電極配線1’との間でショート欠
陥を生じていた場合の検査方法について、以下に説明す
る。図18に示すように任意の1つの電極配線1とその
隣の電極配線1’との間に抵抗値がRsのショート欠陥
を生じていた場合に、図17に示す装置を用いて検査す
るには、ガードリングGの一部にプローブ端子3を接続
し、電極配線1の反対側の端部にプローブ端子4を接続
する。ここで図18においては、プローブ端子3をCO
M、プローブ端子4をOと表示して区別している。図1
8に示す状態において、表示エリア内の電極配線1の長
さをLo、表示エリアの端部(電極配線1の引出配線側
の端部)からショート部分までの距離をLs、Ls/Lo
をX、表示エリア内の電極配線の抵抗をRo(Ro≦R1
+R2)、プローブ端子4の接触点からショート部分ま
での抵抗をR1(R1=(1−X)・Ro)、表示エリア
端部(電極配線1の引出配線側の端部)からショート部
分までの抵抗をR2=X・Ro、ショート経路の中のガー
ドリング部分の抵抗をRG、ショート抵抗をRs、引出配
線の抵抗をR3とする。
【0006】このような関係を想定した場合、ショート
を生じていない電極を検査すると、図19に示すような
抵抗を測定することになるので、プローブ端子3、4間
の全体抵抗の値Rは、 R=R1+R2+R3=Ro+R3 ・・・(1)の関係となり、 V=iR=i(Ro+R3) ・・・(2)の関係となる。 これに対してショートが発生していた場合、図20に示
すような合成抵抗を測定することなるので、プローブ端
子3、4間の全体抵抗の値Rは、 R=R1+[(R2+R3)・(Rs+R2+R3+RG)/{(R2+R3)+(Rs +R2+R3+RG)}] =(1−X)Ro+[(XRo+R3)・(Rs+RG+XRo+R3)/{Rs+ RG+2(XRo+R3)}] ・・・(3)の関係となり、 V=iR=i・[(1−X)・Ro+{(XRo+R3)・(Rs+RG+XRo+ R3)/(Rs+RG+2XRo+2R3)}] ・・・(4)の関係となる。
を生じていない電極を検査すると、図19に示すような
抵抗を測定することになるので、プローブ端子3、4間
の全体抵抗の値Rは、 R=R1+R2+R3=Ro+R3 ・・・(1)の関係となり、 V=iR=i(Ro+R3) ・・・(2)の関係となる。 これに対してショートが発生していた場合、図20に示
すような合成抵抗を測定することなるので、プローブ端
子3、4間の全体抵抗の値Rは、 R=R1+[(R2+R3)・(Rs+R2+R3+RG)/{(R2+R3)+(Rs +R2+R3+RG)}] =(1−X)Ro+[(XRo+R3)・(Rs+RG+XRo+R3)/{Rs+ RG+2(XRo+R3)}] ・・・(3)の関係となり、 V=iR=i・[(1−X)・Ro+{(XRo+R3)・(Rs+RG+XRo+ R3)/(Rs+RG+2XRo+2R3)}] ・・・(4)の関係となる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】以上のような関係を前
提として、実際の液晶駆動用基板に使用されている材料
の抵抗値を確定すると、透明ガラス基板上にITO(イ
ンジウム錫酸化物)膜からなる平均厚さ0.2μmの電
極を形成した場合に、Ro=2220Ω(Ro=R1+
R2)、R3=780Ω、RG=0(無視できる程度小さ
い)となり、測定電流をi=1.7mAと設定する。こ
こで前記(1)式から、ショートを生じていない場合の
プローブ端子3、4間の抵抗Rは、R=Ro+R3=3×
103Ωであるから、測定される電圧Vは、 V=i・R=1.7×10-3×3×103=5.1Vとな
る。この際のショート判定基準は、ITO膜の膜厚のば
らつきによる配線抵抗のばらつきを考慮し、2×103
Ω以下とすると、測定電圧では、3.4V以下となる。
なおここで、断線を生じた場合は測定電圧が大きくなっ
て容易に判定できる上に、検出感度上の問題はないので
断線の場合は省略して考えることとする。以上の条件で
測定した場合において、ショートの生じている電極の測
定電圧とショート位置の関係を図21に示す。
提として、実際の液晶駆動用基板に使用されている材料
の抵抗値を確定すると、透明ガラス基板上にITO(イ
ンジウム錫酸化物)膜からなる平均厚さ0.2μmの電
極を形成した場合に、Ro=2220Ω(Ro=R1+
R2)、R3=780Ω、RG=0(無視できる程度小さ
い)となり、測定電流をi=1.7mAと設定する。こ
こで前記(1)式から、ショートを生じていない場合の
プローブ端子3、4間の抵抗Rは、R=Ro+R3=3×
103Ωであるから、測定される電圧Vは、 V=i・R=1.7×10-3×3×103=5.1Vとな
る。この際のショート判定基準は、ITO膜の膜厚のば
らつきによる配線抵抗のばらつきを考慮し、2×103
Ω以下とすると、測定電圧では、3.4V以下となる。
なおここで、断線を生じた場合は測定電圧が大きくなっ
て容易に判定できる上に、検出感度上の問題はないので
断線の場合は省略して考えることとする。以上の条件で
測定した場合において、ショートの生じている電極の測
定電圧とショート位置の関係を図21に示す。
【0008】図21に示すようにショート抵抗Rsが0
Ωの場合でショート検出可能エリアは、図21の右側4
5%のエリア程度であり、左側55%のエリアは検出で
きないことになる。即ち、図18の電極配線1で言え
ば、電極配線1の右側45%程度の範囲内に0Ωの抵抗
のショート欠陥が生じた場合は検出できるが、図18の
電極配線1の左側55%程度の範囲内にショート欠陥が
生じた場合は抵抗の大小にかかわらず測定不可能になる
問題があった。また、電極配線1の右側45%の範囲内
であっても、ショート抵抗が3kΩ以上のショート欠陥
は検出できない問題があった。
Ωの場合でショート検出可能エリアは、図21の右側4
5%のエリア程度であり、左側55%のエリアは検出で
きないことになる。即ち、図18の電極配線1で言え
ば、電極配線1の右側45%程度の範囲内に0Ωの抵抗
のショート欠陥が生じた場合は検出できるが、図18の
電極配線1の左側55%程度の範囲内にショート欠陥が
生じた場合は抵抗の大小にかかわらず測定不可能になる
問題があった。また、電極配線1の右側45%の範囲内
であっても、ショート抵抗が3kΩ以上のショート欠陥
は検出できない問題があった。
【0009】本発明は前記事情に鑑みてなされたもの
で、従来の測定装置でショート検出不可能であった範囲
までショート検出ができるとともに、従来装置では測定
不可能な大きさのショート抵抗のショート欠陥も検出で
きる測定装置および測定方法の提供を目的とする。
で、従来の測定装置でショート検出不可能であった範囲
までショート検出ができるとともに、従来装置では測定
不可能な大きさのショート抵抗のショート欠陥も検出で
きる測定装置および測定方法の提供を目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は前
記課題を解決するために、基板と、この基板上に形成さ
れた複数の被測定用配線と、前記複数の被測定用配線を
ショートして基板上に形成された保護用の短絡配線とを
具備してなる配線基板を検査する検査装置であって 保
護用の短絡配線に接続される第1プローブ端子および被
測定用配線の1つに接続される第2プローブ端子と、被
測定用配線の他の1つに接続される第3プローブ端子
と、前記第1プローブ端子と第2プローブ端子の間の電
圧を測定する第1電圧測定手段と、前記第2プローブ端
子に接続された第1電流源と、前記第3プローブ端子に
接続された第2電流源とを具備してなり、前記第1電流
源と第2電流源の極性を逆にしてなるものである。
記課題を解決するために、基板と、この基板上に形成さ
れた複数の被測定用配線と、前記複数の被測定用配線を
ショートして基板上に形成された保護用の短絡配線とを
具備してなる配線基板を検査する検査装置であって 保
護用の短絡配線に接続される第1プローブ端子および被
測定用配線の1つに接続される第2プローブ端子と、被
測定用配線の他の1つに接続される第3プローブ端子
と、前記第1プローブ端子と第2プローブ端子の間の電
圧を測定する第1電圧測定手段と、前記第2プローブ端
子に接続された第1電流源と、前記第3プローブ端子に
接続された第2電流源とを具備してなり、前記第1電流
源と第2電流源の極性を逆にしてなるものである。
【0011】請求項2記載の発明は前記課題を解決する
ために、基板と、この基板上に形成された複数の被測定
用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基板上に
形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配線基板
を検査する検査装置であって、保護用の短絡配線に接続
される第1プローブ端子および被測定用配線の1つに接
続される第2プローブ端子と、被測定用配線の他の1つ
に接続される第3プローブ端子および保護用の短絡配線
に接続される第4プローブ端子と、前記第1プローブ端
子と第2プローブ端子の間の電圧を測定する第1電圧測
定手段と、前記第3プローブ端子と第4プローブ端子の
間の電圧を測定する第2電圧測定手段と、前記第2プロ
ーブ端子に接続された第1電流源と、前記第3プローブ
端子に接続された第2電流源とを具備してなり、前記第
1電流源と第2電流源の極性を逆にしてなるものであ
る。
ために、基板と、この基板上に形成された複数の被測定
用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基板上に
形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配線基板
を検査する検査装置であって、保護用の短絡配線に接続
される第1プローブ端子および被測定用配線の1つに接
続される第2プローブ端子と、被測定用配線の他の1つ
に接続される第3プローブ端子および保護用の短絡配線
に接続される第4プローブ端子と、前記第1プローブ端
子と第2プローブ端子の間の電圧を測定する第1電圧測
定手段と、前記第3プローブ端子と第4プローブ端子の
間の電圧を測定する第2電圧測定手段と、前記第2プロ
ーブ端子に接続された第1電流源と、前記第3プローブ
端子に接続された第2電流源とを具備してなり、前記第
1電流源と第2電流源の極性を逆にしてなるものであ
る。
【0012】請求項3記載の発明は前記課題を解決する
ために、基板と、この基板上に形成された複数の被測定
用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基板上に
形成された保護用の短絡配線を具備してなる配線基板を
検査する検査装置であって、保護用の短絡配線に接続さ
れる第1プローブ端子および被測定用配線の1つに接続
される第2プローブ端子と、被測定用配線の他の1つに
接続される第3プローブ端子と、前記第1プローブ端子
を接地する手段と、第2プローブ端子と接地面との間の
電圧を測定する第1電圧測定手段と、前記第2プローブ
端子に接続された第1電流源と、前記第3プローブ端子
に接続された第2電流源とを具備してなり、前記第1電
流源と第2電流源の極性を逆にしてなるものである。
ために、基板と、この基板上に形成された複数の被測定
用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基板上に
形成された保護用の短絡配線を具備してなる配線基板を
検査する検査装置であって、保護用の短絡配線に接続さ
れる第1プローブ端子および被測定用配線の1つに接続
される第2プローブ端子と、被測定用配線の他の1つに
接続される第3プローブ端子と、前記第1プローブ端子
を接地する手段と、第2プローブ端子と接地面との間の
電圧を測定する第1電圧測定手段と、前記第2プローブ
端子に接続された第1電流源と、前記第3プローブ端子
に接続された第2電流源とを具備してなり、前記第1電
流源と第2電流源の極性を逆にしてなるものである。
【0013】請求項4記載の発明は前記課題を解決する
ために、請求項1、2または3記載の被測定用配線が、
基板上に整列形成された短冊状の複数の電極配線であ
り、これらの電極配線の端部を引出配線を介して保護用
短絡配線に接続してなるものである。
ために、請求項1、2または3記載の被測定用配線が、
基板上に整列形成された短冊状の複数の電極配線であ
り、これらの電極配線の端部を引出配線を介して保護用
短絡配線に接続してなるものである。
【0014】請求項5記載の発明は前記課題を解決する
ために、請求項1、2または3記載の基板が、引出配線
の部分を境界として切断されて被測定用配線部分側が電
極として使用される単純マトリックス液晶表示素子用基
板であるものである。
ために、請求項1、2または3記載の基板が、引出配線
の部分を境界として切断されて被測定用配線部分側が電
極として使用される単純マトリックス液晶表示素子用基
板であるものである。
【0015】請求項6記載の発明は前記課題を解決する
ために、請求項1、2または3記載の基板が透明基板で
あり、配線をインジウム錫酸化物膜から形成してなるも
のである。
ために、請求項1、2または3記載の基板が透明基板で
あり、配線をインジウム錫酸化物膜から形成してなるも
のである。
【0016】請求項7記載の発明は前記課題を解決する
ために、請求項1、2または3記載の被測定用配線が、
基板上にマトリックス状に形成された配線であり、マト
リックス状配線の各交差部分にスイッチ素子を形成し、
マトリックス状の配線の端部を引出配線を介して保護用
の短絡配線に接続してなるものである。
ために、請求項1、2または3記載の被測定用配線が、
基板上にマトリックス状に形成された配線であり、マト
リックス状配線の各交差部分にスイッチ素子を形成し、
マトリックス状の配線の端部を引出配線を介して保護用
の短絡配線に接続してなるものである。
【0017】請求項8記載の発明は前記課題を解決する
ために、請求項1、2または3記載の被測定用配線が、
基板上にマトリックス状に形成された配線であり、マト
リックス状配線の各交差部分に薄膜トランジスタを形成
し、マトリックス状の配線の端部を引出配線を介して保
護用の短絡配線に接続してなり、基板が、引出配線の部
分を境界として切断されて被測定用配線部分側が配線と
して使用される薄膜トランジスタアレイ基板であること
を特徴としてなるものである。
ために、請求項1、2または3記載の被測定用配線が、
基板上にマトリックス状に形成された配線であり、マト
リックス状配線の各交差部分に薄膜トランジスタを形成
し、マトリックス状の配線の端部を引出配線を介して保
護用の短絡配線に接続してなり、基板が、引出配線の部
分を境界として切断されて被測定用配線部分側が配線と
して使用される薄膜トランジスタアレイ基板であること
を特徴としてなるものである。
【0018】請求項9記載の発明は前記課題を解決する
ために、基板と、この基板上に形成された複数の被測定
用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基板上に
形成された保護用の短絡配線を具備してなる配線基板を
検査する検査装置であって、保護用の短絡配線に接続さ
れる第1プローブ端子および第1番目の被測定用配線に
接続される第2プローブ端子と、前記第1番目の被測定
用配線と隣接した第2番目の被測定用配線に接続される
第3プローブ端子および保護用の短絡配線に接続される
第4プローブ端子と、保護用の短絡配線に接続される第
5プローブ端子および前記第2番目の被測定用配線と隣
接した第3番目の被測定用配線に接続される第6プロー
ブ端子と、前記第3番目の被測定用配線と隣接した第4
番目の被測定用配線に接続される第7プローブ端子およ
び保護用の短絡配線に接続される第8プローブ端子と、
前記第1プローブ端子と第2プローブ端子の間の電圧を
測定する第1電圧測定手段と、前記第3プローブ端子と
第4プローブ端子の間の電圧を測定する第2電圧測定手
段と、前記第5プローブ端子と第6プローブ端子の間の
電圧を測定する第3電圧測定手段と、前記第7プローブ
端子と第8プローブ端子の間の電圧を測定する第4電圧
測定手段と、前記第2プローブ端子に接続された第1電
流源と、前記第3プローブ端子に接続された第2電流源
と、前記第6プローブ端子に接続された第3電流源と、
前記第7プローブ端子に接続された第4電流源を具備し
てなり、前記第1電流源と第2電流源の極性を逆極性と
し、第2電流源と第3電流源の極性を逆極性とし、第3
電流源と第4電流源の極性を逆極性にしてなるものであ
る。
ために、基板と、この基板上に形成された複数の被測定
用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基板上に
形成された保護用の短絡配線を具備してなる配線基板を
検査する検査装置であって、保護用の短絡配線に接続さ
れる第1プローブ端子および第1番目の被測定用配線に
接続される第2プローブ端子と、前記第1番目の被測定
用配線と隣接した第2番目の被測定用配線に接続される
第3プローブ端子および保護用の短絡配線に接続される
第4プローブ端子と、保護用の短絡配線に接続される第
5プローブ端子および前記第2番目の被測定用配線と隣
接した第3番目の被測定用配線に接続される第6プロー
ブ端子と、前記第3番目の被測定用配線と隣接した第4
番目の被測定用配線に接続される第7プローブ端子およ
び保護用の短絡配線に接続される第8プローブ端子と、
前記第1プローブ端子と第2プローブ端子の間の電圧を
測定する第1電圧測定手段と、前記第3プローブ端子と
第4プローブ端子の間の電圧を測定する第2電圧測定手
段と、前記第5プローブ端子と第6プローブ端子の間の
電圧を測定する第3電圧測定手段と、前記第7プローブ
端子と第8プローブ端子の間の電圧を測定する第4電圧
測定手段と、前記第2プローブ端子に接続された第1電
流源と、前記第3プローブ端子に接続された第2電流源
と、前記第6プローブ端子に接続された第3電流源と、
前記第7プローブ端子に接続された第4電流源を具備し
てなり、前記第1電流源と第2電流源の極性を逆極性と
し、第2電流源と第3電流源の極性を逆極性とし、第3
電流源と第4電流源の極性を逆極性にしてなるものであ
る。
【0019】請求項10記載の発明は前記課題を解決す
るために、基板と、この基板上に形成された複数の被測
定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基板上
に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配線基
板を検査する検査装置であって、第1番目の被測定用配
線の短絡されていない側の端部に接続される第2プロー
ブ端子と、第2番目の被測定用配線の短絡されていない
側の端部に接続される第3プローブ端子と、第3番目の
被測定用配線の短絡されていない側の端部に接続される
第6プローブ端子と、第4番目の被測定用配線の短絡さ
れていない側の端部に接続される第7プローブ端子と、
前記被測定用配線の少なくとも1つの両端の電圧を測定
する電圧測定手段と、前記第2プローブ端子に接続され
た第1電流源と、前記第3プローブ端子に接続された第
2電流源と、前記第6プローブ端子に接続された第3電
流源と、前記第7プローブ端子に接続された第4電流源
とを具備してなり、前記第1電流源と第2電流源の極性
を逆極性とし、第2電流源と第3電流源の極性を逆極性
とし、第3電流源と第4電流源の極性を逆極性としてな
るものである。
るために、基板と、この基板上に形成された複数の被測
定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基板上
に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配線基
板を検査する検査装置であって、第1番目の被測定用配
線の短絡されていない側の端部に接続される第2プロー
ブ端子と、第2番目の被測定用配線の短絡されていない
側の端部に接続される第3プローブ端子と、第3番目の
被測定用配線の短絡されていない側の端部に接続される
第6プローブ端子と、第4番目の被測定用配線の短絡さ
れていない側の端部に接続される第7プローブ端子と、
前記被測定用配線の少なくとも1つの両端の電圧を測定
する電圧測定手段と、前記第2プローブ端子に接続され
た第1電流源と、前記第3プローブ端子に接続された第
2電流源と、前記第6プローブ端子に接続された第3電
流源と、前記第7プローブ端子に接続された第4電流源
とを具備してなり、前記第1電流源と第2電流源の極性
を逆極性とし、第2電流源と第3電流源の極性を逆極性
とし、第3電流源と第4電流源の極性を逆極性としてな
るものである。
【0020】請求項11記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項9または10記載の被測定用配線が基
板上に少なくとも2列に整列形成され、各列の被測定用
配線どうしが列ごとに短絡配線により短絡されてなるも
のである。
るために、請求項9または10記載の被測定用配線が基
板上に少なくとも2列に整列形成され、各列の被測定用
配線どうしが列ごとに短絡配線により短絡されてなるも
のである。
【0021】請求項12記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項9または10記載の被測定用配線が基
板上に1列に整列形成され、被測定用配線が1本おきに
1つの短絡配線で短絡され、残りの1本おきの被測定用
配線が他の短絡配線で短絡されてなるものである。
るために、請求項9または10記載の被測定用配線が基
板上に1列に整列形成され、被測定用配線が1本おきに
1つの短絡配線で短絡され、残りの1本おきの被測定用
配線が他の短絡配線で短絡されてなるものである。
【0022】請求項13記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項9または10記載の基板が、引出配線
の部分を境界として切断されて被測定用配線部分側を電
極として使用される単純マトリックス液晶表示素子用基
板としたものである。
るために、請求項9または10記載の基板が、引出配線
の部分を境界として切断されて被測定用配線部分側を電
極として使用される単純マトリックス液晶表示素子用基
板としたものである。
【0023】請求項14記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項9または10記載の基板が透明基板で
あり、配線をインジウム錫酸化物膜から形成してなるも
のである。
るために、請求項9または10記載の基板が透明基板で
あり、配線をインジウム錫酸化物膜から形成してなるも
のである。
【0024】請求項15記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項9または10記載の被測定用配線が、
基板上にマトリックス状に形成された配線であり、マト
リックス状配線の各交差部分にスイッチ素子を形成し、
マトリックス状の配線の端部を引出配線を介して保護用
の短絡配線に接続してなるものである。
るために、請求項9または10記載の被測定用配線が、
基板上にマトリックス状に形成された配線であり、マト
リックス状配線の各交差部分にスイッチ素子を形成し、
マトリックス状の配線の端部を引出配線を介して保護用
の短絡配線に接続してなるものである。
【0025】請求項16記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項9または10記載の被測定用配線が、
基板上にマトリックス状に形成された配線であり、マト
リックス状配線の各交差部分に薄膜トランジスタを形成
し、マトリックス状の配線の端部を引出配線を介して保
護用の短絡配線に接続してなり、基板が、引出配線の部
分を境界として切断されて被測定用配線部分側が配線と
して使用される薄膜トランジスタアレイとしたものであ
る。
るために、請求項9または10記載の被測定用配線が、
基板上にマトリックス状に形成された配線であり、マト
リックス状配線の各交差部分に薄膜トランジスタを形成
し、マトリックス状の配線の端部を引出配線を介して保
護用の短絡配線に接続してなり、基板が、引出配線の部
分を境界として切断されて被測定用配線部分側が配線と
して使用される薄膜トランジスタアレイとしたものであ
る。
【0026】請求項17記載の発明は前記課題を解決す
るために、基板と、この基板上に形成された複数の被測
定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基板上
に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配線基
板を検査する方法であって、保護用の短絡配線と第1番
目の配線の端部との間に所定の電流を印可するとともに
保護用の短絡配線と第2番目の配線の端部との間に前記
と極性が逆の所定の電流を印可しながら前記保護用の短
絡配線と第1番目の配線の端部との間の電圧を測定し、
電圧の計測値から前記第1番目の配線と前記第2番目の
配線との間の断線と短絡を判断するものである。
るために、基板と、この基板上に形成された複数の被測
定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基板上
に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配線基
板を検査する方法であって、保護用の短絡配線と第1番
目の配線の端部との間に所定の電流を印可するとともに
保護用の短絡配線と第2番目の配線の端部との間に前記
と極性が逆の所定の電流を印可しながら前記保護用の短
絡配線と第1番目の配線の端部との間の電圧を測定し、
電圧の計測値から前記第1番目の配線と前記第2番目の
配線との間の断線と短絡を判断するものである。
【0027】請求項18記載の発明は前記課題を解決す
るために、基板と、この基板上に形成された複数の被測
定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基板上
に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配線基
板を検査する方法であって、保護用の短絡配線と第1番
目の配線の端部との間に所定の電流を印可しながら前記
保護用の短絡配線と第1番目の配線の端部との間の電圧
を測定するとともに、保護用の短絡配線と第2番目の配
線の端部との間に前記と極性が逆の所定の電流を印可し
ながら前記保護用の短絡配線と第2番目の配線の端部と
の間の電圧を測定し、各電圧の計測値から前記第1番目
の配線と前記第2番目の配線との間の断線と短絡を判断
するものである。
るために、基板と、この基板上に形成された複数の被測
定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基板上
に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配線基
板を検査する方法であって、保護用の短絡配線と第1番
目の配線の端部との間に所定の電流を印可しながら前記
保護用の短絡配線と第1番目の配線の端部との間の電圧
を測定するとともに、保護用の短絡配線と第2番目の配
線の端部との間に前記と極性が逆の所定の電流を印可し
ながら前記保護用の短絡配線と第2番目の配線の端部と
の間の電圧を測定し、各電圧の計測値から前記第1番目
の配線と前記第2番目の配線との間の断線と短絡を判断
するものである。
【0028】請求項19記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項17または18記載の被測定用配線と
して、基板上に整列形成された短冊状の複数の電極配線
を用い、これらの電極配線の端部が引出配線を介して保
護用の短絡配線に接続されたものを用いるものである。
るために、請求項17または18記載の被測定用配線と
して、基板上に整列形成された短冊状の複数の電極配線
を用い、これらの電極配線の端部が引出配線を介して保
護用の短絡配線に接続されたものを用いるものである。
【0029】請求項20記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項17または18記載の基板として、引
出配線の部分を境界として切断されて、被測定用配線部
分側が電極として使用される単純マトリックス液晶表示
素子用基板を用いるものである。
るために、請求項17または18記載の基板として、引
出配線の部分を境界として切断されて、被測定用配線部
分側が電極として使用される単純マトリックス液晶表示
素子用基板を用いるものである。
【0030】請求項21記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項17または18記載の基板として透明
基板を用い、配線としてインジウム錫酸化物膜から形成
されるものを用いるものである。
るために、請求項17または18記載の基板として透明
基板を用い、配線としてインジウム錫酸化物膜から形成
されるものを用いるものである。
【0031】請求項22記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項17または18記載の被測定用配線と
して、基板上にマトリックス状に形成された配線を用
い、マトリックス状配線の各交差部分にスイッチ素子が
形成されたものを用い、マトリックス状の配線の端部
が、引出配線を介して保護用の短絡配線に接続されてな
るものを用いるものである。
るために、請求項17または18記載の被測定用配線と
して、基板上にマトリックス状に形成された配線を用
い、マトリックス状配線の各交差部分にスイッチ素子が
形成されたものを用い、マトリックス状の配線の端部
が、引出配線を介して保護用の短絡配線に接続されてな
るものを用いるものである。
【0032】請求項23記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項17または18記載の被測定用配線と
して、基板上にマトリックス状に形成された配線を用
い、マトリックス状配線の各交差部分に薄膜トランジス
タが形成されたものを用い、マトリックス状の配線の端
部が引出配線を介して保護用の短絡配線に接続されてな
るものを用い、基板として、引出配線の部分を境界とし
て切断されて被測定用配線部分側を配線として使用する
ものである。
るために、請求項17または18記載の被測定用配線と
して、基板上にマトリックス状に形成された配線を用
い、マトリックス状配線の各交差部分に薄膜トランジス
タが形成されたものを用い、マトリックス状の配線の端
部が引出配線を介して保護用の短絡配線に接続されてな
るものを用い、基板として、引出配線の部分を境界とし
て切断されて被測定用配線部分側を配線として使用する
ものである。
【0033】請求項24記載の発明は前記課題を解決す
るために、基板と、この基板上に形成された複数の被測
定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基板上
に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配線基
板を検査する方法であって、保護用の短絡配線と第1番
目の配線の端部との間に所定の電流を印可しながら前記
保護用の短絡配線と第1番目の配線の端部との間の電圧
を測定するとともに、保護用の短絡配線と第2番目の配
線の端部との間に前記と極性が逆の所定の電流を印可し
ながら前記保護用の短絡配線と第2番目の配線の端部と
の間の電圧を測定し、更に、保護用の短絡配線と第3番
目の配線の端部との間に所定の電流を印可しながら前記
保護用の短絡配線と第3番目の配線の端部との間の電圧
を測定するとともに、保護用の短絡配線と第4番目の配
線の端部との間に前記と極性が逆の所定の電流を印可し
ながら前記保護用の短絡配線と第4番目の配線の端部と
の間の電圧を測定し、各電圧の計測値から前記第1番目
の配線と前記第2番目の配線と前記第3番目の配線と前
記第4番目の配線の間の断線と短絡を判断するものであ
る。
るために、基板と、この基板上に形成された複数の被測
定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基板上
に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配線基
板を検査する方法であって、保護用の短絡配線と第1番
目の配線の端部との間に所定の電流を印可しながら前記
保護用の短絡配線と第1番目の配線の端部との間の電圧
を測定するとともに、保護用の短絡配線と第2番目の配
線の端部との間に前記と極性が逆の所定の電流を印可し
ながら前記保護用の短絡配線と第2番目の配線の端部と
の間の電圧を測定し、更に、保護用の短絡配線と第3番
目の配線の端部との間に所定の電流を印可しながら前記
保護用の短絡配線と第3番目の配線の端部との間の電圧
を測定するとともに、保護用の短絡配線と第4番目の配
線の端部との間に前記と極性が逆の所定の電流を印可し
ながら前記保護用の短絡配線と第4番目の配線の端部と
の間の電圧を測定し、各電圧の計測値から前記第1番目
の配線と前記第2番目の配線と前記第3番目の配線と前
記第4番目の配線の間の断線と短絡を判断するものであ
る。
【0034】
【作用】請求項1、2または3記載の発明によれば、2
つの被測定用配線に同時に逆極性の電流を流し、2つの
被測定用配線の間に短絡が生じていた場合に生じる抵抗
変化に起因する電圧の変化を読み取ることで短絡欠陥の
検査ができる。この場合、短絡抵抗が小さいものは勿
論、短絡抵抗の大きな欠陥であっても容易に検知するこ
とができる。従って検査精度が向上する。更に、同時に
2つの被測定用配線を検査することができるので、1つ
ずつ配線を検査していた従来装置よりも検査効率が向上
する。
つの被測定用配線に同時に逆極性の電流を流し、2つの
被測定用配線の間に短絡が生じていた場合に生じる抵抗
変化に起因する電圧の変化を読み取ることで短絡欠陥の
検査ができる。この場合、短絡抵抗が小さいものは勿
論、短絡抵抗の大きな欠陥であっても容易に検知するこ
とができる。従って検査精度が向上する。更に、同時に
2つの被測定用配線を検査することができるので、1つ
ずつ配線を検査していた従来装置よりも検査効率が向上
する。
【0035】次に、第1電流源と第2電流源を各々接地
していることが好ましい。また、本発明に係る装置は、
被測定用配線が短冊状の配線である場合に好都合であ
り、被測定用配線を引出配線を介して短絡配線に接続し
ている構成に適用することもできる。更に、被測定用配
線が単純マトリックス液晶基板用の電極配線である場合
にも適用することができ、被測定用配線がインジウム錫
酸化物膜の場合にも容易に適用できる。更に、被測定用
配線として、基板上に少なくとも2列に整列形成され、
各列の被測定用配線どうしが列ごとに短絡配線により短
絡されてなるものに適用することもでき、被測定用配線
が基板上に1列に整列形成され、被測定用配線が1本お
きに1つの短絡配線で短絡され、残りの1本おきの被測
定用配線が他の短絡配線で短絡されてなるものに適用す
ることもできる。
していることが好ましい。また、本発明に係る装置は、
被測定用配線が短冊状の配線である場合に好都合であ
り、被測定用配線を引出配線を介して短絡配線に接続し
ている構成に適用することもできる。更に、被測定用配
線が単純マトリックス液晶基板用の電極配線である場合
にも適用することができ、被測定用配線がインジウム錫
酸化物膜の場合にも容易に適用できる。更に、被測定用
配線として、基板上に少なくとも2列に整列形成され、
各列の被測定用配線どうしが列ごとに短絡配線により短
絡されてなるものに適用することもでき、被測定用配線
が基板上に1列に整列形成され、被測定用配線が1本お
きに1つの短絡配線で短絡され、残りの1本おきの被測
定用配線が他の短絡配線で短絡されてなるものに適用す
ることもできる。
【0036】また、薄膜トランジスタが基板上に形成さ
れ、ソース配線とゲート配線が形成される薄膜トランジ
スタアレイ基板にも本発明装置を適用することができ
る。その場合は、基板上に配列されている被測定用配線
のうち、ソース配線あるいはゲート配線を2本ずつ対で
効率良く検査できる。その場合の検査においても先に説
明した場合と同様に、ショート抵抗が小さいものは勿
論、ショート抵抗の大きな欠陥であっても容易に検知す
ることができる。
れ、ソース配線とゲート配線が形成される薄膜トランジ
スタアレイ基板にも本発明装置を適用することができ
る。その場合は、基板上に配列されている被測定用配線
のうち、ソース配線あるいはゲート配線を2本ずつ対で
効率良く検査できる。その場合の検査においても先に説
明した場合と同様に、ショート抵抗が小さいものは勿
論、ショート抵抗の大きな欠陥であっても容易に検知す
ることができる。
【0037】次に、第1〜第8プローブ端子を用いて第
1〜第4番目の被測定用配線に当接して検査するなら
ば、一度に4本の被測定用配線を検査できるので測定効
率が更に向上する。しかもこのように検査することで任
意の第1〜第4番目の被測定用配線どうしの間のショー
ト欠陥を検査することができる。
1〜第4番目の被測定用配線に当接して検査するなら
ば、一度に4本の被測定用配線を検査できるので測定効
率が更に向上する。しかもこのように検査することで任
意の第1〜第4番目の被測定用配線どうしの間のショー
ト欠陥を検査することができる。
【0038】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。図1は本発明に係る検査装置により検査さ
れる被測定用配線K1を示す。この例の被測定用配線K1
は、単純マトリックス液晶表示装置用の透明基板9上に
形成されたもので、横長の短冊型の電極配線10・・・が
2列になって、上下に複数平行に配列されて構成されて
いるとともに、左側の一列の電極配線10・・・の各左端
部に引出配線11が、右側の一列の電極配線10・・・の
各右端部に引出配線11がそれぞれ形成され、電極配線
10・・・の周囲にこれらを囲んで矩形枠状のガードリン
グ(保護用短絡配線)12が形成され、各引出電極11
がガードリング12に接続されて構成されている。
て説明する。図1は本発明に係る検査装置により検査さ
れる被測定用配線K1を示す。この例の被測定用配線K1
は、単純マトリックス液晶表示装置用の透明基板9上に
形成されたもので、横長の短冊型の電極配線10・・・が
2列になって、上下に複数平行に配列されて構成されて
いるとともに、左側の一列の電極配線10・・・の各左端
部に引出配線11が、右側の一列の電極配線10・・・の
各右端部に引出配線11がそれぞれ形成され、電極配線
10・・・の周囲にこれらを囲んで矩形枠状のガードリン
グ(保護用短絡配線)12が形成され、各引出電極11
がガードリング12に接続されて構成されている。
【0039】図2は本発明に係る検査装置の要部を示す
図であり、この例の検査装置は、第1プローブ端子15
と第2プローブ端子16と第3プローブ端子17と第4
プローブ端子18を備えて構成されている。更に、第1
プローブ端子15と第2プローブ端子16の間にはそれ
らの間の電圧を測定する第1電圧計(第1電圧測定手
段)20が設けられるとともに、第2プローブ端子16
には第1電流源21が接続され、第1電流源21の他極
が更に接地されている。また、第3プローブ端子17と
第4プローブ端子18の間にはそれらの間の電圧を測定
する第2電圧計(第2電圧測定手段)22が設けられ、
更に、第3プローブ端子17には第1電流源23が接続
され、第1電流源23の他極が更に接地されている。そ
して、前記第1電流源21と第2電流源23は互いに逆
極性になるように接続されている。
図であり、この例の検査装置は、第1プローブ端子15
と第2プローブ端子16と第3プローブ端子17と第4
プローブ端子18を備えて構成されている。更に、第1
プローブ端子15と第2プローブ端子16の間にはそれ
らの間の電圧を測定する第1電圧計(第1電圧測定手
段)20が設けられるとともに、第2プローブ端子16
には第1電流源21が接続され、第1電流源21の他極
が更に接地されている。また、第3プローブ端子17と
第4プローブ端子18の間にはそれらの間の電圧を測定
する第2電圧計(第2電圧測定手段)22が設けられ、
更に、第3プローブ端子17には第1電流源23が接続
され、第1電流源23の他極が更に接地されている。そ
して、前記第1電流源21と第2電流源23は互いに逆
極性になるように接続されている。
【0040】次に図2に示す装置を用いて図1に示す構
成の被測定用配線K1を検査する場合について説明す
る。まず、被測定用配線K1の左右2列の電極配線10・
・・のうち、左側の列の上から1番目と2番目の2つの電
極配線10、10について検査する。それには、第1プ
ローブ端子15を第1番目の電極配線10の左側のガー
ドリング12に、第4プローブ端子18を第2番目の電
極配線10の左側のガードリング12に当接させ、更
に、第2プローブ端子16を第1番目の電極配線10の
右側の端部に、第3プローブ端子17を第2番目の電極
配線10の右側の端部にそれぞれ当接させる。なお、図
面では第1プローブ端子15の接触点をCOM1、第4
プローブ端子18の接触点をCOM2とし、第2プロー
ブ端子16の接触点をO1、第3プローブ端子17の接
触点をO2と記載して区別している。そして、第1電流
源21と第2電流源22から電極配線10、10に互い
に逆極性になるように所定の電流を印可する。
成の被測定用配線K1を検査する場合について説明す
る。まず、被測定用配線K1の左右2列の電極配線10・
・・のうち、左側の列の上から1番目と2番目の2つの電
極配線10、10について検査する。それには、第1プ
ローブ端子15を第1番目の電極配線10の左側のガー
ドリング12に、第4プローブ端子18を第2番目の電
極配線10の左側のガードリング12に当接させ、更
に、第2プローブ端子16を第1番目の電極配線10の
右側の端部に、第3プローブ端子17を第2番目の電極
配線10の右側の端部にそれぞれ当接させる。なお、図
面では第1プローブ端子15の接触点をCOM1、第4
プローブ端子18の接触点をCOM2とし、第2プロー
ブ端子16の接触点をO1、第3プローブ端子17の接
触点をO2と記載して区別している。そして、第1電流
源21と第2電流源22から電極配線10、10に互い
に逆極性になるように所定の電流を印可する。
【0041】この状態において、仮に第1番目の電極配
線10と第2番目の電極配線10との間にショート欠陥
を生じていない場合と生じていた場合について図3と図
4を基に以下に説明する。図3において、電極配線10
あるいは引出配線11の各部分の抵抗や長さは図18を
基に先に説明した従来例のものと基本的に同等である。
即ち、第1番目の電極配線10と第2番目の電極配線1
0との間に抵抗値がRsのショート欠陥を生じていた場
合に、表示エリア内の電極配線10の長さをLo、表示
エリアの端部(電極配線10の引出配線側の端部)から
ショート部分までの距離をLs、Ls/LoをX、表示エ
リア内の電極配線の抵抗をRo(Ro=R1+R2)、プロ
ーブ端子16の接触点からショート部分までの抵抗をR
1(R1=(1−X)・Ro)、表示エリア端部(電極配
線10の引出配線側の端部)からショート部分までの抵
抗をR2=X・Ro、ショート経路の中のガードリング部
分の抵抗をRG、ショート抵抗をRs、引出配線11の抵
抗をR3とする。また、第1あるいは第2電流源が流す
電流値をi、ショート抵抗Rsを流れる電流をis、RG
を流れる電流をixとする。
線10と第2番目の電極配線10との間にショート欠陥
を生じていない場合と生じていた場合について図3と図
4を基に以下に説明する。図3において、電極配線10
あるいは引出配線11の各部分の抵抗や長さは図18を
基に先に説明した従来例のものと基本的に同等である。
即ち、第1番目の電極配線10と第2番目の電極配線1
0との間に抵抗値がRsのショート欠陥を生じていた場
合に、表示エリア内の電極配線10の長さをLo、表示
エリアの端部(電極配線10の引出配線側の端部)から
ショート部分までの距離をLs、Ls/LoをX、表示エ
リア内の電極配線の抵抗をRo(Ro=R1+R2)、プロ
ーブ端子16の接触点からショート部分までの抵抗をR
1(R1=(1−X)・Ro)、表示エリア端部(電極配
線10の引出配線側の端部)からショート部分までの抵
抗をR2=X・Ro、ショート経路の中のガードリング部
分の抵抗をRG、ショート抵抗をRs、引出配線11の抵
抗をR3とする。また、第1あるいは第2電流源が流す
電流値をi、ショート抵抗Rsを流れる電流をis、RG
を流れる電流をixとする。
【0042】ここでショート欠陥が生じていない場合
は、 R=R1+R2+R3=R0+R3の関係となり、 V1=V2=iR=i(R0+R3) ・・・(5)の関係となる。 これに対してショート欠陥を生じていた場合、ixの流
れる経路の抵抗をRx=2(R2+R3)+RGとし、is
の流れる経路の抵抗をRsとし、ixとisの流れる経路
の合成抵抗をRT=(Rx・Rs)/(Rx+Rs)とし、
RxおよびRsにかかる電圧をVsとすると、 i=is+ix=Vs/RT ・・・(6)の関係となり、 ix=Vs/Rx ・・・(7)の関係となる。
は、 R=R1+R2+R3=R0+R3の関係となり、 V1=V2=iR=i(R0+R3) ・・・(5)の関係となる。 これに対してショート欠陥を生じていた場合、ixの流
れる経路の抵抗をRx=2(R2+R3)+RGとし、is
の流れる経路の抵抗をRsとし、ixとisの流れる経路
の合成抵抗をRT=(Rx・Rs)/(Rx+Rs)とし、
RxおよびRsにかかる電圧をVsとすると、 i=is+ix=Vs/RT ・・・(6)の関係となり、 ix=Vs/Rx ・・・(7)の関係となる。
【0043】前記式(6)から、Vs=i・RTとなり、
これを(7)式に代入すると、 ix=Vx/Rx=(i・RT)/Rx ・・・(8)の関係となる。 ここで、RT=(Rx・Rs)/(Rx+Rs)であるか
ら、 ix=(i/Rx)・(Rx・Rs)/(Rx+Rs)=(i・Rs)/(Rx+Rs ) =(i・Rs)/{2(R2+R3)+RG+Rs} ・・・(9)の関係とな る。 測定電圧は、 V1=V2=i・R1+ix(R2+R3) =i・R1+[(iRs)・(R2+R3)/{2(R2+R3)+RG+Rs}] ・・・(10)の関係となる。
これを(7)式に代入すると、 ix=Vx/Rx=(i・RT)/Rx ・・・(8)の関係となる。 ここで、RT=(Rx・Rs)/(Rx+Rs)であるか
ら、 ix=(i/Rx)・(Rx・Rs)/(Rx+Rs)=(i・Rs)/(Rx+Rs ) =(i・Rs)/{2(R2+R3)+RG+Rs} ・・・(9)の関係とな る。 測定電圧は、 V1=V2=i・R1+ix(R2+R3) =i・R1+[(iRs)・(R2+R3)/{2(R2+R3)+RG+Rs}] ・・・(10)の関係となる。
【0044】次に前提条件を先に説明した従来例の場合
と同等にする。即ち、実際の液晶駆動用基板に使用され
ている材料の抵抗値を確定すると、透明ガラス基板上に
ITO(インジウム錫酸化物)膜からなる平均厚さ0.
2μmの電極を形成した場合に、Ro=2220Ω(Ro
=R1+2)、R3=780Ω、RG=0(無視できる程度
小さい)とし、測定電流をi=1.7mAとする。する
と、ショートを生じていない場合は、式(5)の関係か
ら、測定電圧は、V=5.1Vとなる。また、ショート
判定基準も従来と同様に3.4V以下とする。 以上の
条件でショートを生じている配線電極を測定した場合の
測定電圧を図5に示す。
と同等にする。即ち、実際の液晶駆動用基板に使用され
ている材料の抵抗値を確定すると、透明ガラス基板上に
ITO(インジウム錫酸化物)膜からなる平均厚さ0.
2μmの電極を形成した場合に、Ro=2220Ω(Ro
=R1+2)、R3=780Ω、RG=0(無視できる程度
小さい)とし、測定電流をi=1.7mAとする。する
と、ショートを生じていない場合は、式(5)の関係か
ら、測定電圧は、V=5.1Vとなる。また、ショート
判定基準も従来と同様に3.4V以下とする。 以上の
条件でショートを生じている配線電極を測定した場合の
測定電圧を図5に示す。
【0045】図5に示す測定結果と図21に示す従来の
測定結果を比較すると明らかなように、本発明に係る装
置と方法を用いて測定することにより、ショート検出可
能な領域が拡がり、電極配線部分はほとんど全の領域で
ショート検出できるようになった。
測定結果を比較すると明らかなように、本発明に係る装
置と方法を用いて測定することにより、ショート検出可
能な領域が拡がり、電極配線部分はほとんど全の領域で
ショート検出できるようになった。
【0046】図1に示す第1番目の電極配線10と第2
番目の電極配線10の検査を終了したならば、次は、第
3番目と第4番目の電極配線を前述と同様の方法で検査
し、それが終了したならば、順次電極配線10・・・を検
査してゆけば、図1に示す電極配線10・・・を全て検査
することができる。この場合においても2本ずつ電極配
線10を検査できるので1本ずつ検査する必要のあった
従来装置よりも効率よく検査できる。また、前記のよう
に隣接する電流源の極性を逆にすることで本発明の特徴
が有効になり、ショート検出感度が前述の如く向上する
が、同じ極性の電流源を並べただけでは従来の装置と検
出感度は同等になってしまう。
番目の電極配線10の検査を終了したならば、次は、第
3番目と第4番目の電極配線を前述と同様の方法で検査
し、それが終了したならば、順次電極配線10・・・を検
査してゆけば、図1に示す電極配線10・・・を全て検査
することができる。この場合においても2本ずつ電極配
線10を検査できるので1本ずつ検査する必要のあった
従来装置よりも効率よく検査できる。また、前記のよう
に隣接する電流源の極性を逆にすることで本発明の特徴
が有効になり、ショート検出感度が前述の如く向上する
が、同じ極性の電流源を並べただけでは従来の装置と検
出感度は同等になってしまう。
【0047】図6は本発明に係る検査装置の第2実施例
を示すもので、この第2実施例の装置は、図2を基に先
に説明した第1実施例の装置の第4プローブ端子18と
第2電圧計22を省略して構成したものである。その他
の構成は先に説明した第1実施例の装置と同等である。
この第2実施例の装置を用い、第1プローブ端子15を
ガードリング12に当接し、第2プローブ端子16を1
つの電極配線10に、第3プローブ端子17を他の電極
配線10にそれぞれ当接させ、前記第1実施例と同様に
第1電流源21と第2電流源23から電極配線10、1
0に逆極性の電流を流し、第1電圧計20で電圧を測定
することによって先の実施例と同等の精度でショート検
出ができる。この第2実施例の装置ではプローブ端子と
電圧計を先の第1実施例の装置よりもいずれも1つずつ
少なくできるので、その分、検査装置の小型化、軽量化
ができる。
を示すもので、この第2実施例の装置は、図2を基に先
に説明した第1実施例の装置の第4プローブ端子18と
第2電圧計22を省略して構成したものである。その他
の構成は先に説明した第1実施例の装置と同等である。
この第2実施例の装置を用い、第1プローブ端子15を
ガードリング12に当接し、第2プローブ端子16を1
つの電極配線10に、第3プローブ端子17を他の電極
配線10にそれぞれ当接させ、前記第1実施例と同様に
第1電流源21と第2電流源23から電極配線10、1
0に逆極性の電流を流し、第1電圧計20で電圧を測定
することによって先の実施例と同等の精度でショート検
出ができる。この第2実施例の装置ではプローブ端子と
電圧計を先の第1実施例の装置よりもいずれも1つずつ
少なくできるので、その分、検査装置の小型化、軽量化
ができる。
【0048】なお、これまで説明した第1実施例と第2
実施例の装置においては、一度に2本の電極配線10を
検査できるように構成されているが、縦側に並ぶ4本あ
るいはそれ以上の本数の電極配線を一度に検査できるよ
うに、第1実施例の装置あるいは第2実施例の装置を複
数並設して1つの検査装置を構成しても良い。即ち、図
2または図6に示す装置を複数並列して設け、数回、あ
るいは1回で全ての電極配線10・・・の検査を終了でき
るように構成しても良い。このような構成は、被測定用
配線10を形成した基板の上方に充分な検査スペースを
確保できるような場合に特に有効である。また、先の第
1実施例と第2実施例で検査した被測定用配線K1は、
短冊型の電極配線10・・・を2列に並べた配置形状にな
っているが、1本の短冊型電極を1列に並設した配置構
成の単純マトリックス型液晶基板を検査用に用いても良
いのは勿論である。
実施例の装置においては、一度に2本の電極配線10を
検査できるように構成されているが、縦側に並ぶ4本あ
るいはそれ以上の本数の電極配線を一度に検査できるよ
うに、第1実施例の装置あるいは第2実施例の装置を複
数並設して1つの検査装置を構成しても良い。即ち、図
2または図6に示す装置を複数並列して設け、数回、あ
るいは1回で全ての電極配線10・・・の検査を終了でき
るように構成しても良い。このような構成は、被測定用
配線10を形成した基板の上方に充分な検査スペースを
確保できるような場合に特に有効である。また、先の第
1実施例と第2実施例で検査した被測定用配線K1は、
短冊型の電極配線10・・・を2列に並べた配置形状にな
っているが、1本の短冊型電極を1列に並設した配置構
成の単純マトリックス型液晶基板を検査用に用いても良
いのは勿論である。
【0049】図7は上下左右に並ぶ4本の電極配線10
を一度に検査できるように構成した本発明に係る第3実
施例の検査装置を示す。この第3実施例の装置では、第
1実施例の検査装置を左右に並設した構成になってい
る。即ち、この例の装置は、第1実施例の装置と同一構
成の部分に加え、ガードリング12に接続する第5プロ
ーブ端子25および電極配線10に接続する第6プロー
ブ端子26と、電極配線10に接続する第7プローブ端
子27およびガードリング12に接続する第8プローブ
端子28を具備している。更に、第5プローブ端子25
と第6プローブ端子26の間の電圧を測定する第3電圧
計30と、第7プローブ端子27と第8プローブ端子2
8との間の電圧を測定する第4電圧計32と、第6プロ
ーブ端子26に接続されて接地された第3電流源31
と、第7プローブ端子27に接続されて接地された第4
電流源33を具備して構成されている。
を一度に検査できるように構成した本発明に係る第3実
施例の検査装置を示す。この第3実施例の装置では、第
1実施例の検査装置を左右に並設した構成になってい
る。即ち、この例の装置は、第1実施例の装置と同一構
成の部分に加え、ガードリング12に接続する第5プロ
ーブ端子25および電極配線10に接続する第6プロー
ブ端子26と、電極配線10に接続する第7プローブ端
子27およびガードリング12に接続する第8プローブ
端子28を具備している。更に、第5プローブ端子25
と第6プローブ端子26の間の電圧を測定する第3電圧
計30と、第7プローブ端子27と第8プローブ端子2
8との間の電圧を測定する第4電圧計32と、第6プロ
ーブ端子26に接続されて接地された第3電流源31
と、第7プローブ端子27に接続されて接地された第4
電流源33を具備して構成されている。
【0050】この例の装置の場合は、第1電流源21と
第3電流源31の極性が逆で、第2電流源23と第4電
流源33の極性が逆であることを必要とする。また、第
1電流源21と第2電流源23の関係、および、第3電
流源31と第4電流源33の関係においても電流が流れ
込むか、流れ出るかの関係について見れば逆の極性にな
っている。
第3電流源31の極性が逆で、第2電流源23と第4電
流源33の極性が逆であることを必要とする。また、第
1電流源21と第2電流源23の関係、および、第3電
流源31と第4電流源33の関係においても電流が流れ
込むか、流れ出るかの関係について見れば逆の極性にな
っている。
【0051】この第3実施例の装置においても先に説明
した第1実施例の装置と同様に使用してショートの有無
を検査する。ただしこの第3実施例においては、上下の
電極配線10、10間のショート欠陥を検出できること
は勿論、左右に配置された電極配線10、10間の短絡
欠陥、および、斜めに配置されている電極配線10、1
0のショート欠陥も検出することができる。
した第1実施例の装置と同様に使用してショートの有無
を検査する。ただしこの第3実施例においては、上下の
電極配線10、10間のショート欠陥を検出できること
は勿論、左右に配置された電極配線10、10間の短絡
欠陥、および、斜めに配置されている電極配線10、1
0のショート欠陥も検出することができる。
【0052】図8と図9と図10は本発明の検査装置を
薄膜トランジスタアレイ基板の検査に用いる場合の第1
の例について説明するためのものである。薄膜トランジ
スタアレイ基板は、透明基板40上に縦側のソース配線
(被測定用配線)41・・・と横側のゲート配線(被測定
用配線)42・・・がマトリックス状に配線され、更にソ
ース配線41とゲート配線42の交差部分にスイッチン
グ素子を構成する薄膜トランジスタ43が設けられて構
成されている。この薄膜トランジスタ43は、ゲート配
線42に接続されたゲート電極45とソース配線41に
接続されたソース電極46と容量としての液晶素子47
に接続されたドレイン電極48を備えて構成され、図8
においてはこれらを等価回路的に示している。
薄膜トランジスタアレイ基板の検査に用いる場合の第1
の例について説明するためのものである。薄膜トランジ
スタアレイ基板は、透明基板40上に縦側のソース配線
(被測定用配線)41・・・と横側のゲート配線(被測定
用配線)42・・・がマトリックス状に配線され、更にソ
ース配線41とゲート配線42の交差部分にスイッチン
グ素子を構成する薄膜トランジスタ43が設けられて構
成されている。この薄膜トランジスタ43は、ゲート配
線42に接続されたゲート電極45とソース配線41に
接続されたソース電極46と容量としての液晶素子47
に接続されたドレイン電極48を備えて構成され、図8
においてはこれらを等価回路的に示している。
【0053】この例においても、ソース配線41とゲー
ト配線42の外周側にはガードリング(保護用短絡電
極)50が設けられ、各ソース配線41と各ゲート配線
42はそれぞれ引出配線51によりガードリング50に
接続されて短絡されている。なお、この例ではソース配
線41の一端のみがガードリング50に接続され、他端
がフローティングパッド41aでフローティングされる
とともに、ゲート配線42の一端のみがガードリング5
0に接続され、他端がフローティングパッド42aでフ
ローティングされている。
ト配線42の外周側にはガードリング(保護用短絡電
極)50が設けられ、各ソース配線41と各ゲート配線
42はそれぞれ引出配線51によりガードリング50に
接続されて短絡されている。なお、この例ではソース配
線41の一端のみがガードリング50に接続され、他端
がフローティングパッド41aでフローティングされる
とともに、ゲート配線42の一端のみがガードリング5
0に接続され、他端がフローティングパッド42aでフ
ローティングされている。
【0054】この例で示す薄膜トランジスタアレイ基板
のゲート配線42・・・を検査する場合は、図2に示す第
1実施例の装置をそのまま使用し、第1プローブ端子1
5と第4プローブ端子18を検査しようとするゲート配
線42、42の左側のガードリング50に当接し、第2
プローブ端子16と第3プローブ端子17をゲート配線
42、42のフローティングパッド42aに当接すれば
良い。この接続状態と各部分の抵抗を図9に示す。そし
て、先に説明した第1実施例の場合と同等の方法を実施
し、第1プローブ端子15と第2プローブ端子16の間
の電圧を測定し、第3プローブ端子17と第4プローブ
端子18の間の電圧を測定することでゲート配線42、
42間のショートの有無を検査することができる。
のゲート配線42・・・を検査する場合は、図2に示す第
1実施例の装置をそのまま使用し、第1プローブ端子1
5と第4プローブ端子18を検査しようとするゲート配
線42、42の左側のガードリング50に当接し、第2
プローブ端子16と第3プローブ端子17をゲート配線
42、42のフローティングパッド42aに当接すれば
良い。この接続状態と各部分の抵抗を図9に示す。そし
て、先に説明した第1実施例の場合と同等の方法を実施
し、第1プローブ端子15と第2プローブ端子16の間
の電圧を測定し、第3プローブ端子17と第4プローブ
端子18の間の電圧を測定することでゲート配線42、
42間のショートの有無を検査することができる。
【0055】また、この例で示す薄膜トランジスタアレ
イ基板のソース配線を検査する場合は、図2に示す第1
実施例の装置をそのまま使用し、第1プローブ端子15
と第4プローブ端子18を検査しようとするソース配線
41、41の上方のガードリング50に当接し、第2プ
ローブ端子16と第3プローブ端子17をソース配線4
1、41のフローティングパッド41aに当接すれば良
い。この接続状態と各部分の抵抗を図10に示す。そし
て、先に説明した第1実施例の場合と同等の方法を実施
することでソース配線41、41間のショートの有無を
検査することができる。
イ基板のソース配線を検査する場合は、図2に示す第1
実施例の装置をそのまま使用し、第1プローブ端子15
と第4プローブ端子18を検査しようとするソース配線
41、41の上方のガードリング50に当接し、第2プ
ローブ端子16と第3プローブ端子17をソース配線4
1、41のフローティングパッド41aに当接すれば良
い。この接続状態と各部分の抵抗を図10に示す。そし
て、先に説明した第1実施例の場合と同等の方法を実施
することでソース配線41、41間のショートの有無を
検査することができる。
【0056】次に、図8に示す薄膜トランジスタアレイ
基板の2本のソース配線と2本のゲート配線を一度に検
査する場合は、図7に示す第3実施例の装置を用い、図
8のCOM1の位置に第1プローブ端子15をO1の位置
に第2プローブ端子16をO2の位置に第3プローブ端
子17をCOM2の位置に第4プローブ端子18をそれ
ぞれ当接させるとともに、COM3の位置に第5プロー
ブ25をO3の位置に第6プローブ端子26をO4の位置
に第7プローブ端子27をCOM4の位置に第8プロー
ブ端子28をそれぞれ当接させる。この状態から、前記
第3実施例の場合と同様に電流を印可して各電圧計の値
を見ることで、一度に2本のソース配線と2本のゲート
配線、即ち、合計4本の被測定用配線を検査することが
できる。
基板の2本のソース配線と2本のゲート配線を一度に検
査する場合は、図7に示す第3実施例の装置を用い、図
8のCOM1の位置に第1プローブ端子15をO1の位置
に第2プローブ端子16をO2の位置に第3プローブ端
子17をCOM2の位置に第4プローブ端子18をそれ
ぞれ当接させるとともに、COM3の位置に第5プロー
ブ25をO3の位置に第6プローブ端子26をO4の位置
に第7プローブ端子27をCOM4の位置に第8プロー
ブ端子28をそれぞれ当接させる。この状態から、前記
第3実施例の場合と同様に電流を印可して各電圧計の値
を見ることで、一度に2本のソース配線と2本のゲート
配線、即ち、合計4本の被測定用配線を検査することが
できる。
【0057】図11は本発明の検査装置を薄膜トランジ
スタアレイ基板の検査に用いる場合の第2の例について
説明するためのものである。この例の薄膜トランジスタ
アレイ基板においては、透明基板上にマトリックス状に
ソース配線61・・・とゲート配線62・・・が形成され、そ
れらの周囲にガードリング70が設けられている。ソー
ス配線61とゲート配線62の交差部分には先の例と同
等の構成の薄膜トランジスタ43が設けられている。こ
の例の薄膜トランジスタアレイ基板の回路においては、
ソース配線61の一端がガードリング70に接続され、
他端がフローティングパッド61aでフローティングさ
れているとともに、ゲート配線62の一端がガードリン
グ70に接続され、他端がフローティングパッド62a
でフローティングされている。
スタアレイ基板の検査に用いる場合の第2の例について
説明するためのものである。この例の薄膜トランジスタ
アレイ基板においては、透明基板上にマトリックス状に
ソース配線61・・・とゲート配線62・・・が形成され、そ
れらの周囲にガードリング70が設けられている。ソー
ス配線61とゲート配線62の交差部分には先の例と同
等の構成の薄膜トランジスタ43が設けられている。こ
の例の薄膜トランジスタアレイ基板の回路においては、
ソース配線61の一端がガードリング70に接続され、
他端がフローティングパッド61aでフローティングさ
れているとともに、ゲート配線62の一端がガードリン
グ70に接続され、他端がフローティングパッド62a
でフローティングされている。
【0058】この例の薄膜トランジスタアレイ基板のゲ
ート配線62、62を第1実施例の検査装置で検査する
には、第1プローブ端子15を検査するべき1つのゲー
ト配線62の横のガードリング70に当接させ、第2プ
ローブ端子16をそのゲート配線62の他端、即ち、フ
ローティングパッド62aに当接させる。また、第4プ
ローブ端子18を2つめのゲート配線62の接続された
部分のガードリング70に当接させるとともに、第3プ
ローブ端子17を2つめのゲート配線62の他端、即
ち、フローティングパッド62aに当接させる。そし
て、先の例で説明した場合と同様に電流源から所定の電
流を流して電圧計の値を読み取ることによってゲート配
線62、62のショートの有無を検査することができ
る。
ート配線62、62を第1実施例の検査装置で検査する
には、第1プローブ端子15を検査するべき1つのゲー
ト配線62の横のガードリング70に当接させ、第2プ
ローブ端子16をそのゲート配線62の他端、即ち、フ
ローティングパッド62aに当接させる。また、第4プ
ローブ端子18を2つめのゲート配線62の接続された
部分のガードリング70に当接させるとともに、第3プ
ローブ端子17を2つめのゲート配線62の他端、即
ち、フローティングパッド62aに当接させる。そし
て、先の例で説明した場合と同様に電流源から所定の電
流を流して電圧計の値を読み取ることによってゲート配
線62、62のショートの有無を検査することができ
る。
【0059】また、ソース配線61、61の検査を行う
には、第1プローブ端子15を検査するべき1つのソー
ス配線61の接続されたガードリング70に当接させ、
第2プローブ端子16をそのソース配線61の他端、即
ち、フローティングパッド61aに当接させる。また、
第4プローブ端子18を2つめのソース配線61の接続
された部分のガードリング70に当接させるとともに、
第3プローブ端子17を2つめのソース配線61の他
端、即ち、フローティングパッド61aに当接させる。
そして、先の例で説明した場合と同様に電流源から所定
の電流を流して電圧計の値を読み取ることによってゲー
ト配線61、61のショートの有無を検査できる。
には、第1プローブ端子15を検査するべき1つのソー
ス配線61の接続されたガードリング70に当接させ、
第2プローブ端子16をそのソース配線61の他端、即
ち、フローティングパッド61aに当接させる。また、
第4プローブ端子18を2つめのソース配線61の接続
された部分のガードリング70に当接させるとともに、
第3プローブ端子17を2つめのソース配線61の他
端、即ち、フローティングパッド61aに当接させる。
そして、先の例で説明した場合と同様に電流源から所定
の電流を流して電圧計の値を読み取ることによってゲー
ト配線61、61のショートの有無を検査できる。
【0060】次に、図11に示す薄膜トランジスタアレ
イ基板の2本のソース配線と2本のゲート配線を一度に
検査する場合は、図7に示す第3実施例の装置を用い、
図11のCOM1の位置に第1プローブ端子15をO1の
位置に第2プローブ端子16をO2の位置に第3プロー
ブ端子17をCOM2の位置に第4プローブ端子18を
それぞれ当接させるとともに、COM3の位置に第5プ
ローブ25をO3の位置に第6プローブ端子26をO4の
位置に第7プローブ端子27をCOM4の位置に第8プ
ローブ端子28をそれぞれ当接させる。この状態から、
前記第3実施例の場合と同様に電流を印可して各電圧計
の値を見ることで、一度に2本のソース配線と2本のゲ
ート配線、即ち、合計4本の被測定用配線を検査するこ
とができる。
イ基板の2本のソース配線と2本のゲート配線を一度に
検査する場合は、図7に示す第3実施例の装置を用い、
図11のCOM1の位置に第1プローブ端子15をO1の
位置に第2プローブ端子16をO2の位置に第3プロー
ブ端子17をCOM2の位置に第4プローブ端子18を
それぞれ当接させるとともに、COM3の位置に第5プ
ローブ25をO3の位置に第6プローブ端子26をO4の
位置に第7プローブ端子27をCOM4の位置に第8プ
ローブ端子28をそれぞれ当接させる。この状態から、
前記第3実施例の場合と同様に電流を印可して各電圧計
の値を見ることで、一度に2本のソース配線と2本のゲ
ート配線、即ち、合計4本の被測定用配線を検査するこ
とができる。
【0061】図12は上下左右に並ぶ4本の電極配線1
0を一度に検査できるように構成した本発明に係る第4
実施例の検査装置を示す。この第4実施例の装置では、
図7を基に説明した前記第3実施例の検査装置を簡略化
した構成になっている。即ち、この例の装置は、左右に
2列、かつ、上下方向に複数配設された短冊状の電極配
線10・・・に対し、測定しようとする図12に示す4本
の電極配線10・・・のうちの左上側の第1番目の電極配
線の右端部(短絡されていない側の端部)に当接される
第2プローブ端子16と、左下側の第2番目の電極配線
10の右端部(短絡されていない側の端部)に当接され
る第3プローブ端子17と、右上側の第3番目の電極配
線の左端部(短絡されていない側の端部)に当接される
第6プローブ端子16と、右下側の第4番目の電極配線
10の左端部(短絡されていない側の端部)に当接され
る第7プローブ端子27と、左下側の第2番目の電極配
線10の右端部と左端部の間の電圧を測定する電圧計
(電圧測定手段)80を具備して構成されている。
0を一度に検査できるように構成した本発明に係る第4
実施例の検査装置を示す。この第4実施例の装置では、
図7を基に説明した前記第3実施例の検査装置を簡略化
した構成になっている。即ち、この例の装置は、左右に
2列、かつ、上下方向に複数配設された短冊状の電極配
線10・・・に対し、測定しようとする図12に示す4本
の電極配線10・・・のうちの左上側の第1番目の電極配
線の右端部(短絡されていない側の端部)に当接される
第2プローブ端子16と、左下側の第2番目の電極配線
10の右端部(短絡されていない側の端部)に当接され
る第3プローブ端子17と、右上側の第3番目の電極配
線の左端部(短絡されていない側の端部)に当接される
第6プローブ端子16と、右下側の第4番目の電極配線
10の左端部(短絡されていない側の端部)に当接され
る第7プローブ端子27と、左下側の第2番目の電極配
線10の右端部と左端部の間の電圧を測定する電圧計
(電圧測定手段)80を具備して構成されている。
【0062】また、第2プローブ端子16に接続されて
設置された第1電流源21と、第3プローブ端子17に
接続されて設置された第2電流源23と、第6プローブ
端子26に接続されて接地された第3電流源31と、第
7プローブ端子27に接続されて接地された第4電流源
33を具備して構成されている。この例の装置の場合
は、第1電流源21と第3電流源31の極性が逆で、第
2電流源23と第4電流源33の極性が逆であることを
必要とする。また、第1電流源21と第2電流源23の
関係、および、第3電流源31と第4電流源33の関係
においても電流が流れ込むか、流れ出るかの関係につい
て見れば逆の極性になっている。なお、この実施例では
電圧計80を図12の左下側の第2番目の電極配線10
の両端部に接続したが、電圧計80は第1番目、第2番
目あるいは第4番目の電極配線10のいずれか1つに接
続しても差し支えないし、2つ以上、例えば、全部に配
置しても差し支えない。なおまた、図12に示す構成に
おいて、右側で上下に隣接された電極配線10・・・どう
し、あるいは、左側で上下に隣接された電極配線10・・
・どうしは、接地されていても、接地されていなくとも
良く、いずれの場合においても検査が可能である。
設置された第1電流源21と、第3プローブ端子17に
接続されて設置された第2電流源23と、第6プローブ
端子26に接続されて接地された第3電流源31と、第
7プローブ端子27に接続されて接地された第4電流源
33を具備して構成されている。この例の装置の場合
は、第1電流源21と第3電流源31の極性が逆で、第
2電流源23と第4電流源33の極性が逆であることを
必要とする。また、第1電流源21と第2電流源23の
関係、および、第3電流源31と第4電流源33の関係
においても電流が流れ込むか、流れ出るかの関係につい
て見れば逆の極性になっている。なお、この実施例では
電圧計80を図12の左下側の第2番目の電極配線10
の両端部に接続したが、電圧計80は第1番目、第2番
目あるいは第4番目の電極配線10のいずれか1つに接
続しても差し支えないし、2つ以上、例えば、全部に配
置しても差し支えない。なおまた、図12に示す構成に
おいて、右側で上下に隣接された電極配線10・・・どう
し、あるいは、左側で上下に隣接された電極配線10・・
・どうしは、接地されていても、接地されていなくとも
良く、いずれの場合においても検査が可能である。
【0063】この第4実施例の装置においても先に説明
した第3実施例の装置と同様に使用してショート欠陥の
有無を検査することができる。この第4実施例の装置に
おいては、上下に配置された電極配線10、10間のシ
ョート欠陥を検出できることは勿論、左右に配置された
電極配線10、10間の短絡欠陥、および、斜めに配置
されている電極配線10、10どうしの間のショート欠
陥も検出することができる。
した第3実施例の装置と同様に使用してショート欠陥の
有無を検査することができる。この第4実施例の装置に
おいては、上下に配置された電極配線10、10間のシ
ョート欠陥を検出できることは勿論、左右に配置された
電極配線10、10間の短絡欠陥、および、斜めに配置
されている電極配線10、10どうしの間のショート欠
陥も検出することができる。
【0064】図13は本発明に係る検査装置の第5実施
例を示すもので、この実施例の装置は、 前記第4実施
例の装置における電圧計の位置を変更したものである。
この例のように第2電流源23の両端側の電圧を計測す
る電圧計(電圧測定手段)81を配置することによって
も先の実施例と同様に電極配線10・・・の短絡欠陥を測
定することができる。なお、この例の構成では電極配線
10・・・が接地されていることが好ましい。また、電圧
計81の接続位置は、図のように第2電流源23の両端
部でなくとも良く、第1電流源21の両端部、第3電流
源31の両端部、第4電流源33の両端部のいずれでも
良いし、これらの2つ以上、例えば、全てにそれぞれ電
圧計を設けても良い。
例を示すもので、この実施例の装置は、 前記第4実施
例の装置における電圧計の位置を変更したものである。
この例のように第2電流源23の両端側の電圧を計測す
る電圧計(電圧測定手段)81を配置することによって
も先の実施例と同様に電極配線10・・・の短絡欠陥を測
定することができる。なお、この例の構成では電極配線
10・・・が接地されていることが好ましい。また、電圧
計81の接続位置は、図のように第2電流源23の両端
部でなくとも良く、第1電流源21の両端部、第3電流
源31の両端部、第4電流源33の両端部のいずれでも
良いし、これらの2つ以上、例えば、全てにそれぞれ電
圧計を設けても良い。
【0065】図14は上下に並んで設けられた4本の電
極配線10’であって、先の実施例の電極配線10・・・
と短絡位置が異なるように配置された電極配線10’を
4本一度に検査できるように構成した本発明に係る第6
実施例の検査装置を示す。この第6実施例の装置では、
図12を基に先に説明した第4実施例の検査装置に類似
した構成になっている。
極配線10’であって、先の実施例の電極配線10・・・
と短絡位置が異なるように配置された電極配線10’を
4本一度に検査できるように構成した本発明に係る第6
実施例の検査装置を示す。この第6実施例の装置では、
図12を基に先に説明した第4実施例の検査装置に類似
した構成になっている。
【0066】この例の装置は、上下方向に並ぶ配線1
0’・・・において、1本おきの電極配線10’がそれぞ
れ右側か左側で短絡されてなる電極配線10’・・・を検
査する構成であり、図14の上から第1番目の電極配線
10’と第3番目の電極配線10’が図の左端部側で短
絡され、第2番目の電極配線10’と第4番目の電極配
線10’が図の右側で短絡されている電極配線構成に対
して設けられている。即ち、この例の装置は、第2番目
の電極配線10’の左端部(短絡されていない側の端
部)に接続される第2プローブ端子16と、第4番目の
電極配線10’の左端部(短絡されていない側の端部)
に接続される第3プローブ端子17と、第1番目の電極
配線10’の右端部(短絡されていない側の端部)に接
続される第6プローブ端子26と、第3番目の電極配線
10’の右端部(短絡されていない側の端部)に接続さ
れる第7プローブ端子27とを具備し、更に第4番目の
電極配線10’の右端部と左端部の間の電圧を測定する
電圧計(電圧測定手段)90を具備して構成されてい
る。
0’・・・において、1本おきの電極配線10’がそれぞ
れ右側か左側で短絡されてなる電極配線10’・・・を検
査する構成であり、図14の上から第1番目の電極配線
10’と第3番目の電極配線10’が図の左端部側で短
絡され、第2番目の電極配線10’と第4番目の電極配
線10’が図の右側で短絡されている電極配線構成に対
して設けられている。即ち、この例の装置は、第2番目
の電極配線10’の左端部(短絡されていない側の端
部)に接続される第2プローブ端子16と、第4番目の
電極配線10’の左端部(短絡されていない側の端部)
に接続される第3プローブ端子17と、第1番目の電極
配線10’の右端部(短絡されていない側の端部)に接
続される第6プローブ端子26と、第3番目の電極配線
10’の右端部(短絡されていない側の端部)に接続さ
れる第7プローブ端子27とを具備し、更に第4番目の
電極配線10’の右端部と左端部の間の電圧を測定する
電圧計(電圧測定手段)90を具備して構成されてい
る。
【0067】また、第2プローブ端子16に接続されて
設置された第1電流源21と、第3プローブ端子17に
接続されて設置された第2電流源23と、第6プローブ
端子26に接続されて接地された第3電流源31と、第
7プローブ端子27に接続されて接地された第4電流源
33を具備して構成されている。この例の装置の場合
は、第1電流源21と第3電流源31の極性が逆で、第
2電流源23と第4電流源33の極性が逆であることを
必要とする。また、第1電流源21と第2電流源23の
関係、および、第3電流源31と第4電流源33の関係
においても電流が流れ込むか、流れ出るかの関係につい
て見れば逆の極性になっている。
設置された第1電流源21と、第3プローブ端子17に
接続されて設置された第2電流源23と、第6プローブ
端子26に接続されて接地された第3電流源31と、第
7プローブ端子27に接続されて接地された第4電流源
33を具備して構成されている。この例の装置の場合
は、第1電流源21と第3電流源31の極性が逆で、第
2電流源23と第4電流源33の極性が逆であることを
必要とする。また、第1電流源21と第2電流源23の
関係、および、第3電流源31と第4電流源33の関係
においても電流が流れ込むか、流れ出るかの関係につい
て見れば逆の極性になっている。
【0068】なお、この実施例では電圧計90を図12
の左下側の第2番目の電極配線10の両端部に接続した
が、電圧計90は第1番目、第2番目あるいは第4番目
の電極配線10のいずれか1つに接続しても差し支えな
いし、2つ以上、例えば、全部に配置しても差し支えな
い。なおまた、図12に示す構成において、右側で上下
に隣接された電極配線10・・・どうし、あるいは、左側
で上下に隣接された電極配線10・・・どうしは、接地さ
れていても、接地されていなくとも良く、いずれの場合
においても検査が可能である。
の左下側の第2番目の電極配線10の両端部に接続した
が、電圧計90は第1番目、第2番目あるいは第4番目
の電極配線10のいずれか1つに接続しても差し支えな
いし、2つ以上、例えば、全部に配置しても差し支えな
い。なおまた、図12に示す構成において、右側で上下
に隣接された電極配線10・・・どうし、あるいは、左側
で上下に隣接された電極配線10・・・どうしは、接地さ
れていても、接地されていなくとも良く、いずれの場合
においても検査が可能である。
【0069】この第6実施例の装置においても先に説明
した第4実施例の装置と同様に使用してショート欠陥の
有無を検査することができる。この第6実施例の装置に
おいては、上下に配置された電極配線10、10間のシ
ョート欠陥を検出できることは勿論、左右に配置された
電極配線10、10間の短絡欠陥、および、斜めに配置
されている電極配線10、10どうしの間のショート欠
陥も検出することができる。
した第4実施例の装置と同様に使用してショート欠陥の
有無を検査することができる。この第6実施例の装置に
おいては、上下に配置された電極配線10、10間のシ
ョート欠陥を検出できることは勿論、左右に配置された
電極配線10、10間の短絡欠陥、および、斜めに配置
されている電極配線10、10どうしの間のショート欠
陥も検出することができる。
【0070】図15は本発明に係る検査装置の第7実施
例を示すもので、この実施例の装置は、 前記第6実施
例の装置における電圧計の位置を変更したものである。
この例のように第2電流源23の両端側の電圧を計測す
る電圧計(電圧測定手段)91を配置することによって
も先の実施例と同様に電極配線10・・・の短絡欠陥を測
定することができる。なお、この例の構成では電極配線
10・・・が接地されていることが好ましい。また、電圧
計91の接続位置は、図のように第2電流源23の両端
部でなくとも良く、第1電流源21の両端部、第3電流
源31の両端部、第4電流源33の両端部のいずれでも
良いし、これらの2つ以上、例えば、全てにそれぞれ電
圧計を設けても良い。
例を示すもので、この実施例の装置は、 前記第6実施
例の装置における電圧計の位置を変更したものである。
この例のように第2電流源23の両端側の電圧を計測す
る電圧計(電圧測定手段)91を配置することによって
も先の実施例と同様に電極配線10・・・の短絡欠陥を測
定することができる。なお、この例の構成では電極配線
10・・・が接地されていることが好ましい。また、電圧
計91の接続位置は、図のように第2電流源23の両端
部でなくとも良く、第1電流源21の両端部、第3電流
源31の両端部、第4電流源33の両端部のいずれでも
良いし、これらの2つ以上、例えば、全てにそれぞれ電
圧計を設けても良い。
【0071】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、2
つの被測定用配線に同時に逆極性の電流を流し、2つの
被測定用配線の間にショートが生じていた場合に生じる
抵抗変化に起因する電圧の変化を読み取ることでショー
ト欠陥の検査ができる。この場合、短絡抵抗が小さいも
のは勿論、短絡抵抗の大きな欠陥であっても容易に検知
することができる。従って検査精度が向上する。更に、
同時に2つの被測定用配線を検査することができるの
で、1つずつ配線を検査していた従来装置よりも検査効
率が向上する。また、被測定用配線あるいは短絡用配線
に接続する第1〜第3プローブ端子を備えたものは、第
1プローブ端子と第2プローブ端子間の電圧を測定する
ことで被測定用配線のショートを検出でき、第1〜第4
プローブ端子を有するものは、第1プローブ端子と第2
プローブ端子の間の電圧と、第3プローブ端子と第4プ
ローブ端子の間の電圧を測定することで被測定用配線の
ショートの有無を検出できる。
つの被測定用配線に同時に逆極性の電流を流し、2つの
被測定用配線の間にショートが生じていた場合に生じる
抵抗変化に起因する電圧の変化を読み取ることでショー
ト欠陥の検査ができる。この場合、短絡抵抗が小さいも
のは勿論、短絡抵抗の大きな欠陥であっても容易に検知
することができる。従って検査精度が向上する。更に、
同時に2つの被測定用配線を検査することができるの
で、1つずつ配線を検査していた従来装置よりも検査効
率が向上する。また、被測定用配線あるいは短絡用配線
に接続する第1〜第3プローブ端子を備えたものは、第
1プローブ端子と第2プローブ端子間の電圧を測定する
ことで被測定用配線のショートを検出でき、第1〜第4
プローブ端子を有するものは、第1プローブ端子と第2
プローブ端子の間の電圧と、第3プローブ端子と第4プ
ローブ端子の間の電圧を測定することで被測定用配線の
ショートの有無を検出できる。
【0072】本発明に係る検査装置は、被測定用配線が
短冊状の配線である場合に好都合であり、被測定用配線
を引出配線を介して短絡配線に接続している構成に適用
することもできる。更に、被測定用配線が単純マトリッ
クス液晶基板用の電極配線である場合にも適用すること
ができ、被測定用配線がインジウム錫酸化物膜の場合に
も容易に適用できる。また、被測定用配線が、基板上に
少なくとも2列に整列形成され、各列の被測定用配線ど
うしが列ごとに短絡配線により短絡されてなるもの、あ
るいは、被測定用配線が基板上に1列に整列形成され、
被測定用配線が1本おきに1つの短絡配線で短絡され、
残りの1本おきの被測定用配線が他の短絡配線で短絡さ
れてなるものにも適用することができる。
短冊状の配線である場合に好都合であり、被測定用配線
を引出配線を介して短絡配線に接続している構成に適用
することもできる。更に、被測定用配線が単純マトリッ
クス液晶基板用の電極配線である場合にも適用すること
ができ、被測定用配線がインジウム錫酸化物膜の場合に
も容易に適用できる。また、被測定用配線が、基板上に
少なくとも2列に整列形成され、各列の被測定用配線ど
うしが列ごとに短絡配線により短絡されてなるもの、あ
るいは、被測定用配線が基板上に1列に整列形成され、
被測定用配線が1本おきに1つの短絡配線で短絡され、
残りの1本おきの被測定用配線が他の短絡配線で短絡さ
れてなるものにも適用することができる。
【0073】また、薄膜トランジスタが基板上に形成さ
れ、ソース配線とゲート配線が形成される薄膜トランジ
スタアレイ基板にも本発明装置あるいは方法を適用する
ことができる。その場合は、基板上に配列されている被
測定用配線のうち、ソース配線あるいはゲート配線を2
本ずつ対で効率良く検査できる。その場合の検査におい
ても先に説明した場合と同様に、ショート抵抗が小さい
ものは勿論、ショート抵抗の大きな欠陥であっても容易
に検知することができる。
れ、ソース配線とゲート配線が形成される薄膜トランジ
スタアレイ基板にも本発明装置あるいは方法を適用する
ことができる。その場合は、基板上に配列されている被
測定用配線のうち、ソース配線あるいはゲート配線を2
本ずつ対で効率良く検査できる。その場合の検査におい
ても先に説明した場合と同様に、ショート抵抗が小さい
ものは勿論、ショート抵抗の大きな欠陥であっても容易
に検知することができる。
【0074】次に、第1〜第8プローブ端子を用いて第
1〜第4番目の被測定用配線に当接して検査するなら
ば、一度に4本の被測定用配線を検査できるので測定効
率が更に向上する。しかもこのように検査することで、
第1〜第4番目の被測定用配線どうしの間のショート欠
陥をも検査できるようになるので検査精度を向上させる
ことができる。また、被測定用配線として、液晶素子駆
動用のアクティブマトリックスディスプレイ基板のソー
ス配線とゲート配線のように、基板上に配線が交差状態
で設けられているものに対して本発明装置を適用するこ
とができ、第1〜第3プローブ端子を有するもの、ある
いは、第1〜第4プローブ端子を有するものを適用した
場合は、2本のソース配線ずつ、あるいは、2本のゲー
ト配線ずつを組として検査ができる。更にまた、第1〜
第8プローブ端子を有する装置を用いて同様の基板の検
査を行うならば、2本のソース配線と2本のゲート配線
を同時に組で検査することができ、その場合に2本のソ
ース配線どうしと2本のゲート配線どうしの間でのショ
ート欠陥は勿論、ソース配線とゲート配線間のショート
欠陥を生じていても欠陥検出ができる。
1〜第4番目の被測定用配線に当接して検査するなら
ば、一度に4本の被測定用配線を検査できるので測定効
率が更に向上する。しかもこのように検査することで、
第1〜第4番目の被測定用配線どうしの間のショート欠
陥をも検査できるようになるので検査精度を向上させる
ことができる。また、被測定用配線として、液晶素子駆
動用のアクティブマトリックスディスプレイ基板のソー
ス配線とゲート配線のように、基板上に配線が交差状態
で設けられているものに対して本発明装置を適用するこ
とができ、第1〜第3プローブ端子を有するもの、ある
いは、第1〜第4プローブ端子を有するものを適用した
場合は、2本のソース配線ずつ、あるいは、2本のゲー
ト配線ずつを組として検査ができる。更にまた、第1〜
第8プローブ端子を有する装置を用いて同様の基板の検
査を行うならば、2本のソース配線と2本のゲート配線
を同時に組で検査することができ、その場合に2本のソ
ース配線どうしと2本のゲート配線どうしの間でのショ
ート欠陥は勿論、ソース配線とゲート配線間のショート
欠陥を生じていても欠陥検出ができる。
【図1】本発明に係る装置で検査する単純マトリックス
液晶基板の電極配線の一例とプローブ端子の接続位置を
示す平面図である。
液晶基板の電極配線の一例とプローブ端子の接続位置を
示す平面図である。
【図2】本発明に係る検査装置の第1実施例の要部を示
す回路図である。
す回路図である。
【図3】ショート欠陥を有し、図2に示す検査装置で検
査される単純マトリックス液晶基板の電極配線の一部分
を各部分の抵抗とともに拡大して示す図である。
査される単純マトリックス液晶基板の電極配線の一部分
を各部分の抵抗とともに拡大して示す図である。
【図4】図3に示す電極配線を検査している状態におけ
る電流の流れと各部分の抵抗を示す回路図である。
る電流の流れと各部分の抵抗を示す回路図である。
【図5】図2に示す装置で図3に示す電極配線のショー
ト欠陥を検出する際に検出可能な範囲を示す図である。
ト欠陥を検出する際に検出可能な範囲を示す図である。
【図6】本発明の第2実施例の装置を用いて電極配線の
ショート欠陥を検出している状態を示す回路図である。
ショート欠陥を検出している状態を示す回路図である。
【図7】本発明の第3実施例の装置を用いて電極配線の
ショート欠陥を検出している状態を示す構成図である。
ショート欠陥を検出している状態を示す構成図である。
【図8】本発明の第1実施例の装置で薄膜トランジスタ
アレイ基板を検査する際のプローブ端子の接続位置を示
す説明図である。
アレイ基板を検査する際のプローブ端子の接続位置を示
す説明図である。
【図9】図8に示す薄膜トランジスタアレイ基板のゲー
ト配線を検査する際の回路構成を示す図である。
ト配線を検査する際の回路構成を示す図である。
【図10】図8に示す薄膜トランジスタアレイ基板のソ
ース配線を検査する際の回路構成を示す構成図である。
ース配線を検査する際の回路構成を示す構成図である。
【図11】本発明の第1実施例の装置で薄膜トランジス
タアレイ基板の他の例を検査する際のプローブ端子の接
続位置を示す説明図である。
タアレイ基板の他の例を検査する際のプローブ端子の接
続位置を示す説明図である。
【図12】本発明の第4実施例の装置を用いて電極配線
のショート欠陥を検出している状態を示す構成図であ
る。
のショート欠陥を検出している状態を示す構成図であ
る。
【図13】本発明の第5実施例の装置を用いて電極配線
のショート欠陥を検出している状態を示す構成図であ
る。
のショート欠陥を検出している状態を示す構成図であ
る。
【図14】本発明の第6実施例の装置を用いて電極配線
のショート欠陥を検出している状態を示す構成図であ
る。
のショート欠陥を検出している状態を示す構成図であ
る。
【図15】本発明の第7実施例の装置を用いて電極配線
のショート欠陥を検出している状態を示す構成図であ
る。
のショート欠陥を検出している状態を示す構成図であ
る。
【図16】従来装置で検査される単純マトリックス液晶
基板の電極配線の構成図である。
基板の電極配線の構成図である。
【図17】図16に示す電極配線の検査用に用いられて
いる従来の検査装置の一例の要部を示す回路図である。
いる従来の検査装置の一例の要部を示す回路図である。
【図18】図17に示す従来の検査装置で検査されるシ
ョート欠陥を含む電極回路の一部と各部分の抵抗を拡大
して示す図である。
ョート欠陥を含む電極回路の一部と各部分の抵抗を拡大
して示す図である。
【図19】ショート欠陥がない状態の電極配線を検査し
た状態を示す構成図である。
た状態を示す構成図である。
【図20】ショート欠陥を生じている電極配線を検査し
ている状態を示す構成図である。
ている状態を示す構成図である。
【図21】従来の検査装置で検出可能な領域と検出不可
能な領域を示す図である。
能な領域を示す図である。
K1 被測定用配線 9 基板 10 電極配線 11 引出配線 12 ガードリング(保護用の短絡配線) 15 第1プローブ端子 16 第2プローブ端子 17 第3プローブ端子 18 第4プローブ端子 20 第1電圧計(第1電圧測定手段) 21 第1電流源 22 第2電圧計(第2電圧測定手段) 23 第2電流源 25 第5プローブ端子 26 第6プローブ端子 27 第7プローブ端子 28 第8プローブ端子 30 第3電圧計(第3電圧測定手段) 31 第3電流源 32 第4電圧計(第4電圧測定手段) 33 第4電流源 40 基板 41、61 ソース配線(被測定用配線) 42、62 ゲート配線(被測定用配線) 43 薄膜トランジスタ 50、70 ガードリング(保護用の短絡配線) 51 引出配線 80、90 電圧計(電圧測定手段)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 31/02,31/00 G02F 1/1343,1/1345,1/136
Claims (24)
- 【請求項1】 基板と、この基板上に形成された複数の
被測定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基
板上に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配
線基板を検査する検査装置であって、 保護用の短絡配線に接続される第1プローブ端子および
被測定用配線の1つに接続される第2プローブ端子と、
被測定用配線の他の1つに接続される第3プローブ端子
と、前記第1プローブ端子と第2プローブ端子の間の電
圧を測定する第1電圧測定手段と、前記第2プローブ端
子に接続された第1電流源と、前記第3プローブ端子に
接続された第2電流源とを具備してなり、 前記第1電流源と第2電流源の極性を逆にしてなること
を特徴とする配線基板の検査装置。 - 【請求項2】 基板と、この基板上に形成された複数の
被測定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基
板上に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配
線基板を検査する検査装置であって、 保護用の短絡配線に接続される第1プローブ端子および
被測定用配線の1つに接続される第2プローブ端子と、
被測定用配線の他の1つに接続される第3プローブ端子
および保護用の短絡配線に接続される第4プローブ端子
と、前記第1プローブ端子と第2プローブ端子の間の電
圧を測定する第1電圧測定手段と、前記第3プローブ端
子と第4プローブ端子の間の電圧を測定する第2電圧測
定手段と、前記第2プローブ端子に接続された第1電流
源と、前記第3プローブ端子に接続された第2電流源と
を具備してなり、 前記第1電流源と第2電流源の極性を逆にしてなること
を特徴とする配線基板の検査装置。 - 【請求項3】 基板と、この基板上に形成された複数の
被測定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基
板上に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配
線基板を検査する検査装置であって、 保護用の短絡配線に接続される第1プローブ端子および
被測定用配線の1つに接続される第2プローブ端子と、
被測定用配線の他の1つに接続される第3プローブ端子
と、前記第1プローブ端子を接地する手段と、第2プロ
ーブ端子と接地面との間の電圧を測定する第1電圧測定
手段と、前記第2プローブ端子に接続された第1電流源
と、前記第3プローブ端子に接続された第2電流源とを
具備してなり、 前記第1電流源と第2電流源の極性を逆にしてなること
を特徴とする配線基板の検査装置。 - 【請求項4】 被測定用配線が、基板上に整列形成され
た短冊状の複数の電極配線であり、これらの電極配線の
端部を引出配線を介して保護用短絡配線に接続してなる
ことを特徴とする請求項1、2または3記載の配線基板
の検査装置。 - 【請求項5】 基板が、引出配線の部分を境界として切
断されて被測定用配線部分側が電極として使用される単
純マトリックス液晶表示素子用基板であることを特徴と
する請求項1、2または3記載の配線基板の検査装置。 - 【請求項6】 基板が透明基板であり、配線をインジウ
ム錫酸化物膜から形成してなることを特徴とする請求項
1、2または3記載の配線基板の検査装置。 - 【請求項7】 被測定用配線が、基板上にマトリックス
状に形成された配線であり、マトリックス状配線の各交
差部分にスイッチ素子を形成し、マトリックス状の配線
の端部を引出配線を介して保護用の短絡配線に接続して
なることを特徴とする請求項1、2または3記載の配線
基板の検査装置。 - 【請求項8】 被測定用配線が、基板上にマトリックス
状に形成された配線であり、マトリックス状配線の各交
差部分に薄膜トランジスタを形成し、マトリックス状の
配線の端部を引出配線を介して保護用の短絡配線に接続
してなり、基板が、引出配線の部分を境界として切断さ
れて被測定用配線部分側が配線として使用される薄膜ト
ランジスタアレイ基板であることを特徴とする請求項
1、2または3記載の配線基板の検査装置。 - 【請求項9】 基板と、この基板上に形成された複数の
被測定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基
板上に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配
線基板を検査する検査装置であって、 保護用の短絡配線に接続される第1プローブ端子および
第1番目の被測定用配線に接続される第2プローブ端子
と、前記第1番目の被測定用配線と隣接した第2番目の
被測定用配線に接続される第3プローブ端子および保護
用の短絡配線に接続される第4プローブ端子と、 保護用の短絡配線に接続される第5プローブ端子および
前記第2番目の被測定用配線と隣接した第3番目の被測
定用配線に接続される第6プローブ端子と、前記第3番
目の被測定用配線と隣接した第4番目の被測定用配線に
接続される第7プローブ端子および保護用の短絡配線に
接続される第8プローブ端子と、 前記第1プローブ端子と第2プローブ端子の間の電圧を
測定する第1電圧測定手段と、前記第3プローブ端子と
第4プローブ端子の間の電圧を測定する第2電圧測定手
段と、前記第5プローブ端子と第6プローブ端子の間の
電圧を測定する第3電圧測定手段と、前記第7プローブ
端子と第8プローブ端子の間の電圧を測定する第4電圧
測定手段と、 前記第2プローブ端子に接続された第1電流源と、前記
第3プローブ端子に接続された第2電流源と、前記第6
プローブ端子に接続された第3電流源と、前記第7プロ
ーブ端子に接続された第4電流源とを具備してなり、 前記第1電流源と第2電流源の極性を逆極性とし、第2
電流源と第3電流源の極性を逆極性とし、第3電流源と
第4電流源の極性を逆極性にしてなることを特徴とする
配線基板の検査装置。 - 【請求項10】 基板と、この基板上に形成された複数
の被測定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して
基板上に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる
配線基板を検査する検査装置であって、 第1番目の被測定用配線の短絡されていない側の端部に
接続される第2プローブ端子と、第2番目の被測定用配
線の短絡されていない側の端部に接続される第3プロー
ブ端子と、第3番目の被測定用配線の短絡されていない
側の端部に接続される第6プローブ端子と、第4番目の
被測定用配線の短絡されていない側の端部に接続される
第7プローブ端子と、 前記被測定用配線の少なくとも1つの両端の電圧を測定
する電圧測定手段と、 前記第2プローブ端子に接続された第1電流源と、前記
第3プローブ端子に接続された第2電流源と、前記第6
プローブ端子に接続された第3電流源と、前記第7プロ
ーブ端子に接続された第4電流源とを具備してなり、 前記第1電流源と第2電流源の極性を逆極性とし、第2
電流源と第3電流源の極性を逆極性とし、第3電流源と
第4電流源の極性を逆極性としてなることを特徴とする
配線基板の検査装置。 - 【請求項11】 被測定用配線が基板上に少なくとも2
列に整列形成され、各列の被測定用配線どうしが列ごと
に短絡配線により短絡されてなることを特徴とする請求
項9または10記載の配線基板の検査装置。 - 【請求項12】 被測定用配線が基板上に1列に整列形
成され、被測定用配線が1本おきに1つの短絡配線で短
絡され、残りの1本おきの被測定用配線が他の短絡配線
で短絡されてなることを特徴とする請求項9または10
記載の配線基板の検査装置。 - 【請求項13】 基板が、引出配線の部分を境界として
切断されて被測定用配線部分側が電極として使用される
単純マトリックス液晶表示素子用基板であることを特徴
とする請求項9または10記載の配線基板の検査装置。 - 【請求項14】 基板が透明基板であり、配線をインジ
ウム錫酸化物膜から形成してなることを特徴とする請求
項9または10記載の配線基板の検査装置。 - 【請求項15】 被測定用配線が、基板上にマトリック
ス状に形成された配線であり、マトリックス状配線の各
交差部分にスイッチ素子を形成し、マトリックス状の配
線の端部を引出配線を介して保護用の短絡配線に接続し
てなることを特徴とする請求項9または10記載の配線
基板の検査装置。 - 【請求項16】 被測定用配線が、基板上にマトリック
ス状に形成された配線であり、マトリックス状配線の各
交差部分に薄膜トランジスタを形成し、マトリックス状
の配線の端部を引出配線を介して保護用の短絡配線に接
続してなり、基板が、引出配線の部分を境界として切断
されて被測定用配線部分側が配線として使用される薄膜
トランジスタアレイ基板であることを特徴とする請求項
9または10記載の配線基板の検査装置。 - 【請求項17】 基板と、この基板上に形成された複数
の被測定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して
基板上に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる
配線基板を検査する方法であって、 保護用の短絡配線と第1番目の配線の端部との間に所定
の電流を印可するとともに保護用の短絡配線と第2番目
の配線の端部との間に前記と極性が逆の所定の電流を印
可しながら前記保護用の短絡配線と第1番目の配線の端
部との間の電圧を測定し、電圧の計測値から前記第1番
目の配線と前記第2番目の配線との間の断線と短絡を判
断することを特徴とする配線基板の検査方法。 - 【請求項18】 基板と、この基板上に形成された複数
の被測定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して
基板上に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる
配線基板を検査する方法であって、 保護用の短絡配線と第1番目の配線の端部との間に所定
の電流を印可しながら前記保護用の短絡配線と第1番目
の配線の端部との間の電圧を測定するとともに、保護用
の短絡配線と第2番目の配線の端部との間に前記と極性
が逆の所定の電流を印可しながら前記保護用の短絡配線
と第2番目の配線の端部との間の電圧を測定し、各電圧
の計測値から前記第1番目の配線と前記第2番目の配線
との間の断線と短絡を判断することを特徴とする配線基
板の検査方法。 - 【請求項19】 被測定用配線として、基板上に整列形
成された短冊状の複数の電極配線を用い、これらの電極
配線の端部が引出配線を介して保護用の短絡配線に接続
されたものを用いることを特徴とする請求項17または
18記載の配線基板の検査方法。 - 【請求項20】 基板として、引出配線の部分を境界と
して切断されて被測定用配線部分側が電極として使用さ
れる単純マトリックス液晶表示素子用基板を用いること
を特徴とする請求項17または18記載の配線基板の検
査方法。 - 【請求項21】 基板として透明基板を用い、配線とし
てインジウム錫酸化物膜から形成されるものを用いるこ
とを特徴とする請求項17または18記載の配線基板の
検査方法。 - 【請求項22】 被測定用配線として、基板上にマトリ
ックス状に形成された配線を用い、マトリックス状配線
の各交差部分にスイッチ素子が形成されたものを用い、
マトリックス状の配線の端部が、引出配線を介して保護
用の短絡配線に接続されてなるものを用いることを特徴
とする請求項17または18記載の配線基板の検査方
法。 - 【請求項23】 被測定用配線として、基板上にマトリ
ックス状に形成された配線を用い、マトリックス状配線
の各交差部分に薄膜トランジスタが形成されたものを用
い、マトリックス状の配線の端部が引出配線を介して保
護用の短絡配線に接続されてなるものを用い、基板とし
て、引出配線の部分を境界として切断されて被測定用配
線部分側を配線として使用する薄膜トランジスタアレイ
基板を用いることを特徴とする請求項17または18記
載の配線基板の検査装置。 - 【請求項24】 基板と、この基板上に形成された複数
の被測定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して
基板上に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる
配線基板を検査する方法であって、 保護用の短絡配線と第1番目の配線の端部との間に所定
の電流を印可しながら前記保護用の短絡配線と第1番目
の配線の端部との間の電圧を測定するとともに、保護用
の短絡配線と第2番目の配線の端部との間に前記と極性
が逆の所定の電流を印可しながら前記保護用の短絡配線
と第2番目の配線の端部との間の電圧を測定し、更に、 保護用の短絡配線と第3番目の配線の端部との間に所定
の電流を印可しながら前記保護用の短絡配線と第3番目
の配線の端部との間の電圧を測定するとともに、保護用
の短絡配線と第4番目の配線の端部との間に前記と極性
が逆の所定の電流を印可しながら前記保護用の短絡配線
と第4番目の配線の端部との間の電圧を測定し、 各電圧の計測値から前記第1番目の配線と前記第2番目
の配線と前記第3番目の配線と前記第4番目の配線の間
の断線と短絡を判断することを特徴とする配線基板の検
査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16984894A JP3179288B2 (ja) | 1994-07-21 | 1994-07-21 | 配線基板の検査装置および検査方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16984894A JP3179288B2 (ja) | 1994-07-21 | 1994-07-21 | 配線基板の検査装置および検査方法 |
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---|---|
JPH0836013A JPH0836013A (ja) | 1996-02-06 |
JP3179288B2 true JP3179288B2 (ja) | 2001-06-25 |
Family
ID=15894063
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP16984894A Expired - Fee Related JP3179288B2 (ja) | 1994-07-21 | 1994-07-21 | 配線基板の検査装置および検査方法 |
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TWI778072B (zh) * | 2017-06-22 | 2022-09-21 | 以色列商奧寶科技有限公司 | 用於在超高解析度面板中偵測缺陷之方法 |
-
1994
- 1994-07-21 JP JP16984894A patent/JP3179288B2/ja not_active Expired - Fee Related
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