JP3179288B2

JP3179288B2 - 配線基板の検査装置および検査方法

Info

Publication number: JP3179288B2
Application number: JP16984894A
Authority: JP
Inventors: 広行蛇口
Original assignee: Alps Electric Co Ltd
Current assignee: Alps Alpine Co Ltd
Priority date: 1994-07-21
Filing date: 1994-07-21
Publication date: 2001-06-25
Anticipated expiration: 2016-06-25
Also published as: JPH0836013A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶駆動用基板などの
ように基板上に多数の配線が施されてなる配線の検査装
置および配線検査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１６は、従来一般に知られている単純
マトリックス型の液晶駆動用基板の完成前の配線構造の
一例を示すものである。図１６に示す完成前の配線構造
は、透明基板上に電極回路Ｋが形成され、更に透明基板
上の電極回路Ｋの周囲に、これを保護するための矩形枠
状のガードリング（保護用短絡配線）Ｇが形成された例
である。この例のガードリングＧは、製造工程の最終段
階において電極回路Ｋを基板とともに図１６の２点鎖線
Ｓに沿って切断することで電極回路Ｋから切り放されて
廃棄され、残った電極回路Ｋを用いて液晶駆動用基板が
製造されるようになっている。この例の電極回路Ｋは、
透明基板上に横長の短冊型の電極配線１・・・が上下に多
数並行に配列形成され、各電極配線１の端部にガードリ
ングＧに接続する引出配線２が形成されたものである。
この例の電極回路Ｋは他の図示しない透明基板上に複数
配列形成された縦長の短冊型の電極回路とともに一対の
組で製造され、これら一対の透明基板間に液晶を封入す
ることで液晶表示パネルが構成されるようになってい
る。

【０００３】ところで、一般に液晶表示装置において
は、表示の高精細度化が要求されているので、前記の構
成の電極回路Ｋを透明基板上に形成した場合に、１枚の
基板上に数十〜数百本、あるいはそれ以上の本数の電極
配線を形成する必要がある。従って基板上にスパッタな
どの成膜法とフォトリソグラフィ技術を用いて所望の形
状の電極配線を形成する際に、成膜不良やエッチング不
良あるいは異物の混入などの要因により、電極どうしが
ショートしたり、電極形状不良などの製造欠陥を生じる
おそれが高い問題があった。そこでこの種の液晶表示装
置用の電極回路の不良を検査する装置が種々提案されて
いる。その検査装置の１つの例として、図１７に示すよ
うに、プローブ端子３と４を備え、一方のプローブ端子
４に定電流源６と電圧計７とを並列接続してなる構成の
ものが知られている。

【０００４】図１７に示す構成の検査装置を用いて電極
回路Ｋの検査を行うには、一方のプローブ端子３を図１
６の電極配線１の一端側のガードリングＧの一部に接続
するとともに、他方のプローブ端子４を電極配線１の他
端側に接続し、プローブ端子３を接地し、定電流源６の
他の極を接地して電極配線１に所定の電流を流して電極
配線１の抵抗値を測定し、この値を基に電極配線１の断
線とショートを判断していた。この場合の抵抗値は、プ
ローブ端子４に接続した電圧計７の電圧値と定電流源６
の電流値とから計算で容易に算出できる。更にこの場
合、前記電流値を一定としておけば、電圧計７の電圧値
のみから抵抗値を求め、電極配線１の断線やショートを
容易に判定することができる。

【０００５】ここで以下に、図１８に示す任意の１つの
電極配線１とその隣の電極配線１’との間でショート欠
陥を生じていた場合の検査方法について、以下に説明す
る。図１８に示すように任意の１つの電極配線１とその
隣の電極配線１’との間に抵抗値がＲ_sのショート欠陥
を生じていた場合に、図１７に示す装置を用いて検査す
るには、ガードリングＧの一部にプローブ端子３を接続
し、電極配線１の反対側の端部にプローブ端子４を接続
する。ここで図１８においては、プローブ端子３をＣＯ
Ｍ、プローブ端子４をＯと表示して区別している。図１
８に示す状態において、表示エリア内の電極配線１の長
さをＬ_o、表示エリアの端部（電極配線１の引出配線側
の端部）からショート部分までの距離をＬ_s、Ｌ_s／Ｌ_o
をＸ、表示エリア内の電極配線の抵抗をＲ_o（Ｒ_o≦Ｒ₁
＋Ｒ₂）、プローブ端子４の接触点からショート部分ま
での抵抗をＲ₁（Ｒ₁＝（１−Ｘ）・Ｒ_o）、表示エリア
端部（電極配線１の引出配線側の端部）からショート部
分までの抵抗をＲ₂＝Ｘ・Ｒ_o、ショート経路の中のガー
ドリング部分の抵抗をＲ_G、ショート抵抗をＲ_s、引出配
線の抵抗をＲ₃とする。

【０００６】このような関係を想定した場合、ショート
を生じていない電極を検査すると、図１９に示すような
抵抗を測定することになるので、プローブ端子３、４間
の全体抵抗の値Ｒは、Ｒ＝Ｒ₁＋Ｒ₂＋Ｒ₃＝Ｒ_o＋Ｒ₃ ・・・（１）の関係となり、Ｖ＝ｉＲ＝ｉ（Ｒ_o＋Ｒ₃）・・・（２）の関係となる。これに対してショートが発生していた場合、図２０に示
すような合成抵抗を測定することなるので、プローブ端
子３、４間の全体抵抗の値Ｒは、Ｒ＝Ｒ₁＋[（Ｒ₂＋Ｒ₃）・（Ｒ_s＋Ｒ₂＋Ｒ₃＋Ｒ_G）／｛（Ｒ₂＋Ｒ₃）＋（Ｒ_s ＋Ｒ₂＋Ｒ₃＋Ｒ_G）｝] ＝（１−Ｘ）Ｒ_o＋[（ＸＲ_o＋Ｒ₃）・（Ｒ_s＋Ｒ_G＋ＸＲ_o＋Ｒ₃）／｛Ｒ_s＋Ｒ_G＋２（ＸＲ_o＋Ｒ₃）｝] ・・・（３）の関係となり、Ｖ＝ｉＲ＝ｉ・[（１−Ｘ）・Ｒ_o＋｛（ＸＲ_o＋Ｒ₃）・（Ｒ_s＋Ｒ_G＋ＸＲ_o＋Ｒ₃）／（Ｒ_s＋Ｒ_G＋２ＸＲ_o＋２Ｒ₃）｝] ・・・（４）の関係となる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】以上のような関係を前
提として、実際の液晶駆動用基板に使用されている材料
の抵抗値を確定すると、透明ガラス基板上にＩＴＯ（イ
ンジウム錫酸化物）膜からなる平均厚さ０.２μｍの電
極を形成した場合に、Ｒ_o＝２２２０Ω（Ｒ_o＝Ｒ₁＋
Ｒ₂）、Ｒ₃＝７８０Ω、Ｒ_G＝０（無視できる程度小さ
い）となり、測定電流をｉ＝１.７ｍＡと設定する。こ
こで前記（１）式から、ショートを生じていない場合の
プローブ端子３、４間の抵抗Ｒは、Ｒ＝Ｒo＋Ｒ3＝３×
１０³Ωであるから、測定される電圧Ｖは、Ｖ＝ｉ・Ｒ＝１.７×１０^-3×３×１０³＝５.１Ｖとな
る。この際のショート判定基準は、ＩＴＯ膜の膜厚のば
らつきによる配線抵抗のばらつきを考慮し、２×１０³
Ω以下とすると、測定電圧では、３.４Ｖ以下となる。
なおここで、断線を生じた場合は測定電圧が大きくなっ
て容易に判定できる上に、検出感度上の問題はないので
断線の場合は省略して考えることとする。以上の条件で
測定した場合において、ショートの生じている電極の測
定電圧とショート位置の関係を図２１に示す。

【０００８】図２１に示すようにショート抵抗Ｒsが０
Ωの場合でショート検出可能エリアは、図２１の右側４
５％のエリア程度であり、左側５５％のエリアは検出で
きないことになる。即ち、図１８の電極配線１で言え
ば、電極配線１の右側４５％程度の範囲内に０Ωの抵抗
のショート欠陥が生じた場合は検出できるが、図１８の
電極配線１の左側５５％程度の範囲内にショート欠陥が
生じた場合は抵抗の大小にかかわらず測定不可能になる
問題があった。また、電極配線１の右側４５％の範囲内
であっても、ショート抵抗が３ｋΩ以上のショート欠陥
は検出できない問題があった。

【０００９】本発明は前記事情に鑑みてなされたもの
で、従来の測定装置でショート検出不可能であった範囲
までショート検出ができるとともに、従来装置では測定
不可能な大きさのショート抵抗のショート欠陥も検出で
きる測定装置および測定方法の提供を目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は前
記課題を解決するために、基板と、この基板上に形成さ
れた複数の被測定用配線と、前記複数の被測定用配線を
ショートして基板上に形成された保護用の短絡配線とを
具備してなる配線基板を検査する検査装置であって保
護用の短絡配線に接続される第１プローブ端子および被
測定用配線の１つに接続される第２プローブ端子と、被
測定用配線の他の１つに接続される第３プローブ端子
と、前記第１プローブ端子と第２プローブ端子の間の電
圧を測定する第１電圧測定手段と、前記第２プローブ端
子に接続された第１電流源と、前記第３プローブ端子に
接続された第２電流源とを具備してなり、前記第１電流
源と第２電流源の極性を逆にしてなるものである。

【００１１】請求項２記載の発明は前記課題を解決する
ために、基板と、この基板上に形成された複数の被測定
用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基板上に
形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配線基板
を検査する検査装置であって、保護用の短絡配線に接続
される第１プローブ端子および被測定用配線の１つに接
続される第２プローブ端子と、被測定用配線の他の１つ
に接続される第３プローブ端子および保護用の短絡配線
に接続される第４プローブ端子と、前記第１プローブ端
子と第２プローブ端子の間の電圧を測定する第１電圧測
定手段と、前記第３プローブ端子と第４プローブ端子の
間の電圧を測定する第２電圧測定手段と、前記第２プロ
ーブ端子に接続された第１電流源と、前記第３プローブ
端子に接続された第２電流源とを具備してなり、前記第
１電流源と第２電流源の極性を逆にしてなるものであ
る。

【００１２】請求項３記載の発明は前記課題を解決する
ために、基板と、この基板上に形成された複数の被測定
用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基板上に
形成された保護用の短絡配線を具備してなる配線基板を
検査する検査装置であって、保護用の短絡配線に接続さ
れる第１プローブ端子および被測定用配線の１つに接続
される第２プローブ端子と、被測定用配線の他の１つに
接続される第３プローブ端子と、前記第１プローブ端子
を接地する手段と、第２プローブ端子と接地面との間の
電圧を測定する第１電圧測定手段と、前記第２プローブ
端子に接続された第１電流源と、前記第３プローブ端子
に接続された第２電流源とを具備してなり、前記第１電
流源と第２電流源の極性を逆にしてなるものである。

【００１３】請求項４記載の発明は前記課題を解決する
ために、請求項１、２または３記載の被測定用配線が、
基板上に整列形成された短冊状の複数の電極配線であ
り、これらの電極配線の端部を引出配線を介して保護用
短絡配線に接続してなるものである。

【００１４】請求項５記載の発明は前記課題を解決する
ために、請求項１、２または３記載の基板が、引出配線
の部分を境界として切断されて被測定用配線部分側が電
極として使用される単純マトリックス液晶表示素子用基
板であるものである。

【００１５】請求項６記載の発明は前記課題を解決する
ために、請求項１、２または３記載の基板が透明基板で
あり、配線をインジウム錫酸化物膜から形成してなるも
のである。

【００１６】請求項７記載の発明は前記課題を解決する
ために、請求項１、２または３記載の被測定用配線が、
基板上にマトリックス状に形成された配線であり、マト
リックス状配線の各交差部分にスイッチ素子を形成し、
マトリックス状の配線の端部を引出配線を介して保護用
の短絡配線に接続してなるものである。

【００１７】請求項８記載の発明は前記課題を解決する
ために、請求項１、２または３記載の被測定用配線が、
基板上にマトリックス状に形成された配線であり、マト
リックス状配線の各交差部分に薄膜トランジスタを形成
し、マトリックス状の配線の端部を引出配線を介して保
護用の短絡配線に接続してなり、基板が、引出配線の部
分を境界として切断されて被測定用配線部分側が配線と
して使用される薄膜トランジスタアレイ基板であること
を特徴としてなるものである。

【００１８】請求項９記載の発明は前記課題を解決する
ために、基板と、この基板上に形成された複数の被測定
用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基板上に
形成された保護用の短絡配線を具備してなる配線基板を
検査する検査装置であって、保護用の短絡配線に接続さ
れる第１プローブ端子および第１番目の被測定用配線に
接続される第２プローブ端子と、前記第１番目の被測定
用配線と隣接した第２番目の被測定用配線に接続される
第３プローブ端子および保護用の短絡配線に接続される
第４プローブ端子と、保護用の短絡配線に接続される第
５プローブ端子および前記第２番目の被測定用配線と隣
接した第３番目の被測定用配線に接続される第６プロー
ブ端子と、前記第３番目の被測定用配線と隣接した第４
番目の被測定用配線に接続される第７プローブ端子およ
び保護用の短絡配線に接続される第８プローブ端子と、
前記第１プローブ端子と第２プローブ端子の間の電圧を
測定する第１電圧測定手段と、前記第３プローブ端子と
第４プローブ端子の間の電圧を測定する第２電圧測定手
段と、前記第５プローブ端子と第６プローブ端子の間の
電圧を測定する第３電圧測定手段と、前記第７プローブ
端子と第８プローブ端子の間の電圧を測定する第４電圧
測定手段と、前記第２プローブ端子に接続された第１電
流源と、前記第３プローブ端子に接続された第２電流源
と、前記第６プローブ端子に接続された第３電流源と、
前記第７プローブ端子に接続された第４電流源を具備し
てなり、前記第１電流源と第２電流源の極性を逆極性と
し、第２電流源と第３電流源の極性を逆極性とし、第３
電流源と第４電流源の極性を逆極性にしてなるものであ
る。

【００１９】請求項１０記載の発明は前記課題を解決す
るために、基板と、この基板上に形成された複数の被測
定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基板上
に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配線基
板を検査する検査装置であって、第１番目の被測定用配
線の短絡されていない側の端部に接続される第２プロー
ブ端子と、第２番目の被測定用配線の短絡されていない
側の端部に接続される第３プローブ端子と、第３番目の
被測定用配線の短絡されていない側の端部に接続される
第６プローブ端子と、第４番目の被測定用配線の短絡さ
れていない側の端部に接続される第７プローブ端子と、
前記被測定用配線の少なくとも１つの両端の電圧を測定
する電圧測定手段と、前記第２プローブ端子に接続され
た第１電流源と、前記第３プローブ端子に接続された第
２電流源と、前記第６プローブ端子に接続された第３電
流源と、前記第７プローブ端子に接続された第４電流源
とを具備してなり、前記第１電流源と第２電流源の極性
を逆極性とし、第２電流源と第３電流源の極性を逆極性
とし、第３電流源と第４電流源の極性を逆極性としてな
るものである。

【００２０】請求項１１記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項９または１０記載の被測定用配線が基
板上に少なくとも２列に整列形成され、各列の被測定用
配線どうしが列ごとに短絡配線により短絡されてなるも
のである。

【００２１】請求項１２記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項９または１０記載の被測定用配線が基
板上に１列に整列形成され、被測定用配線が１本おきに
１つの短絡配線で短絡され、残りの１本おきの被測定用
配線が他の短絡配線で短絡されてなるものである。

【００２２】請求項１３記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項９または１０記載の基板が、引出配線
の部分を境界として切断されて被測定用配線部分側を電
極として使用される単純マトリックス液晶表示素子用基
板としたものである。

【００２３】請求項１４記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項９または１０記載の基板が透明基板で
あり、配線をインジウム錫酸化物膜から形成してなるも
のである。

【００２４】請求項１５記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項９または１０記載の被測定用配線が、
基板上にマトリックス状に形成された配線であり、マト
リックス状配線の各交差部分にスイッチ素子を形成し、
マトリックス状の配線の端部を引出配線を介して保護用
の短絡配線に接続してなるものである。

【００２５】請求項１６記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項９または１０記載の被測定用配線が、
基板上にマトリックス状に形成された配線であり、マト
リックス状配線の各交差部分に薄膜トランジスタを形成
し、マトリックス状の配線の端部を引出配線を介して保
護用の短絡配線に接続してなり、基板が、引出配線の部
分を境界として切断されて被測定用配線部分側が配線と
して使用される薄膜トランジスタアレイとしたものであ
る。

【００２６】請求項１７記載の発明は前記課題を解決す
るために、基板と、この基板上に形成された複数の被測
定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基板上
に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配線基
板を検査する方法であって、保護用の短絡配線と第１番
目の配線の端部との間に所定の電流を印可するとともに
保護用の短絡配線と第２番目の配線の端部との間に前記
と極性が逆の所定の電流を印可しながら前記保護用の短
絡配線と第１番目の配線の端部との間の電圧を測定し、
電圧の計測値から前記第１番目の配線と前記第２番目の
配線との間の断線と短絡を判断するものである。

【００２７】請求項１８記載の発明は前記課題を解決す
るために、基板と、この基板上に形成された複数の被測
定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基板上
に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配線基
板を検査する方法であって、保護用の短絡配線と第１番
目の配線の端部との間に所定の電流を印可しながら前記
保護用の短絡配線と第１番目の配線の端部との間の電圧
を測定するとともに、保護用の短絡配線と第２番目の配
線の端部との間に前記と極性が逆の所定の電流を印可し
ながら前記保護用の短絡配線と第２番目の配線の端部と
の間の電圧を測定し、各電圧の計測値から前記第１番目
の配線と前記第２番目の配線との間の断線と短絡を判断
するものである。

【００２８】請求項１９記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項１７または１８記載の被測定用配線と
して、基板上に整列形成された短冊状の複数の電極配線
を用い、これらの電極配線の端部が引出配線を介して保
護用の短絡配線に接続されたものを用いるものである。

【００２９】請求項２０記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項１７または１８記載の基板として、引
出配線の部分を境界として切断されて、被測定用配線部
分側が電極として使用される単純マトリックス液晶表示
素子用基板を用いるものである。

【００３０】請求項２１記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項１７または１８記載の基板として透明
基板を用い、配線としてインジウム錫酸化物膜から形成
されるものを用いるものである。

【００３１】請求項２２記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項１７または１８記載の被測定用配線と
して、基板上にマトリックス状に形成された配線を用
い、マトリックス状配線の各交差部分にスイッチ素子が
形成されたものを用い、マトリックス状の配線の端部
が、引出配線を介して保護用の短絡配線に接続されてな
るものを用いるものである。

【００３２】請求項２３記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項１７または１８記載の被測定用配線と
して、基板上にマトリックス状に形成された配線を用
い、マトリックス状配線の各交差部分に薄膜トランジス
タが形成されたものを用い、マトリックス状の配線の端
部が引出配線を介して保護用の短絡配線に接続されてな
るものを用い、基板として、引出配線の部分を境界とし
て切断されて被測定用配線部分側を配線として使用する
ものである。

【００３３】請求項２４記載の発明は前記課題を解決す
るために、基板と、この基板上に形成された複数の被測
定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基板上
に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配線基
板を検査する方法であって、保護用の短絡配線と第１番
目の配線の端部との間に所定の電流を印可しながら前記
保護用の短絡配線と第１番目の配線の端部との間の電圧
を測定するとともに、保護用の短絡配線と第２番目の配
線の端部との間に前記と極性が逆の所定の電流を印可し
ながら前記保護用の短絡配線と第２番目の配線の端部と
の間の電圧を測定し、更に、保護用の短絡配線と第３番
目の配線の端部との間に所定の電流を印可しながら前記
保護用の短絡配線と第３番目の配線の端部との間の電圧
を測定するとともに、保護用の短絡配線と第４番目の配
線の端部との間に前記と極性が逆の所定の電流を印可し
ながら前記保護用の短絡配線と第４番目の配線の端部と
の間の電圧を測定し、各電圧の計測値から前記第１番目
の配線と前記第２番目の配線と前記第３番目の配線と前
記第４番目の配線の間の断線と短絡を判断するものであ
る。

【００３４】

【作用】請求項１、２または３記載の発明によれば、２
つの被測定用配線に同時に逆極性の電流を流し、２つの
被測定用配線の間に短絡が生じていた場合に生じる抵抗
変化に起因する電圧の変化を読み取ることで短絡欠陥の
検査ができる。この場合、短絡抵抗が小さいものは勿
論、短絡抵抗の大きな欠陥であっても容易に検知するこ
とができる。従って検査精度が向上する。更に、同時に
２つの被測定用配線を検査することができるので、１つ
ずつ配線を検査していた従来装置よりも検査効率が向上
する。

【００３５】次に、第１電流源と第２電流源を各々接地
していることが好ましい。また、本発明に係る装置は、
被測定用配線が短冊状の配線である場合に好都合であ
り、被測定用配線を引出配線を介して短絡配線に接続し
ている構成に適用することもできる。更に、被測定用配
線が単純マトリックス液晶基板用の電極配線である場合
にも適用することができ、被測定用配線がインジウム錫
酸化物膜の場合にも容易に適用できる。更に、被測定用
配線として、基板上に少なくとも２列に整列形成され、
各列の被測定用配線どうしが列ごとに短絡配線により短
絡されてなるものに適用することもでき、被測定用配線
が基板上に１列に整列形成され、被測定用配線が１本お
きに１つの短絡配線で短絡され、残りの１本おきの被測
定用配線が他の短絡配線で短絡されてなるものに適用す
ることもできる。

【００３６】また、薄膜トランジスタが基板上に形成さ
れ、ソース配線とゲート配線が形成される薄膜トランジ
スタアレイ基板にも本発明装置を適用することができ
る。その場合は、基板上に配列されている被測定用配線
のうち、ソース配線あるいはゲート配線を２本ずつ対で
効率良く検査できる。その場合の検査においても先に説
明した場合と同様に、ショート抵抗が小さいものは勿
論、ショート抵抗の大きな欠陥であっても容易に検知す
ることができる。

【００３７】次に、第１〜第８プローブ端子を用いて第
１〜第４番目の被測定用配線に当接して検査するなら
ば、一度に４本の被測定用配線を検査できるので測定効
率が更に向上する。しかもこのように検査することで任
意の第１〜第４番目の被測定用配線どうしの間のショー
ト欠陥を検査することができる。

【００３８】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。図１は本発明に係る検査装置により検査さ
れる被測定用配線Ｋ₁を示す。この例の被測定用配線Ｋ₁
は、単純マトリックス液晶表示装置用の透明基板９上に
形成されたもので、横長の短冊型の電極配線１０・・・が
２列になって、上下に複数平行に配列されて構成されて
いるとともに、左側の一列の電極配線１０・・・の各左端
部に引出配線１１が、右側の一列の電極配線１０・・・の
各右端部に引出配線１１がそれぞれ形成され、電極配線
１０・・・の周囲にこれらを囲んで矩形枠状のガードリン
グ（保護用短絡配線）１２が形成され、各引出電極１１
がガードリング１２に接続されて構成されている。

【００３９】図２は本発明に係る検査装置の要部を示す
図であり、この例の検査装置は、第１プローブ端子１５
と第２プローブ端子１６と第３プローブ端子１７と第４
プローブ端子１８を備えて構成されている。更に、第１
プローブ端子１５と第２プローブ端子１６の間にはそれ
らの間の電圧を測定する第１電圧計（第１電圧測定手
段）２０が設けられるとともに、第２プローブ端子１６
には第１電流源２１が接続され、第１電流源２１の他極
が更に接地されている。また、第３プローブ端子１７と
第４プローブ端子１８の間にはそれらの間の電圧を測定
する第２電圧計（第２電圧測定手段）２２が設けられ、
更に、第３プローブ端子１７には第１電流源２３が接続
され、第１電流源２３の他極が更に接地されている。そ
して、前記第１電流源２１と第２電流源２３は互いに逆
極性になるように接続されている。

【００４０】次に図２に示す装置を用いて図１に示す構
成の被測定用配線Ｋ₁を検査する場合について説明す
る。まず、被測定用配線Ｋ₁の左右２列の電極配線１０・
・・のうち、左側の列の上から１番目と２番目の２つの電
極配線１０、１０について検査する。それには、第１プ
ローブ端子１５を第１番目の電極配線１０の左側のガー
ドリング１２に、第４プローブ端子１８を第２番目の電
極配線１０の左側のガードリング１２に当接させ、更
に、第２プローブ端子１６を第１番目の電極配線１０の
右側の端部に、第３プローブ端子１７を第２番目の電極
配線１０の右側の端部にそれぞれ当接させる。なお、図
面では第１プローブ端子１５の接触点をＣＯＭ₁、第４
プローブ端子１８の接触点をＣＯＭ₂とし、第２プロー
ブ端子１６の接触点をＯ₁、第３プローブ端子１７の接
触点をＯ₂と記載して区別している。そして、第１電流
源２１と第２電流源２２から電極配線１０、１０に互い
に逆極性になるように所定の電流を印可する。

【００４１】この状態において、仮に第１番目の電極配
線１０と第２番目の電極配線１０との間にショート欠陥
を生じていない場合と生じていた場合について図３と図
４を基に以下に説明する。図３において、電極配線１０
あるいは引出配線１１の各部分の抵抗や長さは図１８を
基に先に説明した従来例のものと基本的に同等である。
即ち、第１番目の電極配線１０と第２番目の電極配線１
０との間に抵抗値がＲｓのショート欠陥を生じていた場
合に、表示エリア内の電極配線１０の長さをＬ_o、表示
エリアの端部（電極配線１０の引出配線側の端部）から
ショート部分までの距離をＬ_s、Ｌ_s／Ｌ_oをＸ、表示エ
リア内の電極配線の抵抗をＲ_o（Ｒ_o＝Ｒ₁＋Ｒ₂）、プロ
ーブ端子１６の接触点からショート部分までの抵抗をＲ
₁（Ｒ₁＝（１−Ｘ）・Ｒ_o）、表示エリア端部（電極配
線１０の引出配線側の端部）からショート部分までの抵
抗をＲ₂＝Ｘ・Ｒ_o、ショート経路の中のガードリング部
分の抵抗をＲ_G、ショート抵抗をＲ_s、引出配線１１の抵
抗をＲ₃とする。また、第１あるいは第２電流源が流す
電流値をｉ、ショート抵抗Ｒ_sを流れる電流をｉ_s、Ｒ_G
を流れる電流をｉ_xとする。

【００４２】ここでショート欠陥が生じていない場合
は、Ｒ＝Ｒ₁＋Ｒ₂＋Ｒ₃＝Ｒ₀＋Ｒ₃の関係となり、Ｖ₁＝Ｖ₂＝ｉＲ＝ｉ（Ｒ₀＋Ｒ₃）・・・（５）の関係となる。これに対してショート欠陥を生じていた場合、ｉ_xの流
れる経路の抵抗をＲ_x＝２（Ｒ₂＋Ｒ₃）＋Ｒ_Gとし、ｉ_s
の流れる経路の抵抗をＲ_sとし、ｉ_xとｉ_sの流れる経路
の合成抵抗をＲ_T＝（Ｒ_x・Ｒ_s）／（Ｒ_x＋Ｒ_s）とし、
Ｒ_xおよびＲ_sにかかる電圧をＶ_sとすると、ｉ＝ｉ_s＋ｉ_x＝Ｖ_s／Ｒ_T ・・・（６）の関係となり、ｉ_x＝Ｖ_s／Ｒ_x ・・・（７）の関係となる。

【００４３】前記式（６）から、Ｖ_s＝ｉ・Ｒ_Tとなり、
これを（７）式に代入すると、ｉ_x＝Ｖ_x／Ｒ_x＝（ｉ・Ｒ_T）／Ｒ_x ・・・（８）の関係となる。ここで、Ｒ_T＝（Ｒ_x・Ｒ_s）／（Ｒ_x＋Ｒ_s）であるか
ら、ｉ_x＝（ｉ／Ｒ_x）・（Ｒ_x・Ｒ_s）／（Ｒ_x＋Ｒ_s）＝（ｉ・Ｒ_s）／（Ｒ_x＋Ｒ_s ）＝（ｉ・Ｒ_s）／｛２（Ｒ₂＋Ｒ₃）＋Ｒ_G＋Ｒ_s｝・・・（９）の関係となる。測定電圧は、Ｖ₁＝Ｖ₂＝ｉ・Ｒ₁＋ｉ_x（Ｒ₂＋Ｒ₃）＝ｉ・Ｒ₁＋[（ｉＲ_s）・（Ｒ₂＋Ｒ₃）／｛２（Ｒ₂＋Ｒ₃）＋Ｒ_G＋Ｒ_s｝] ・・・（１０）の関係となる。

【００４４】次に前提条件を先に説明した従来例の場合
と同等にする。即ち、実際の液晶駆動用基板に使用され
ている材料の抵抗値を確定すると、透明ガラス基板上に
ＩＴＯ（インジウム錫酸化物）膜からなる平均厚さ０.
２μｍの電極を形成した場合に、Ｒ_o＝２２２０Ω（Ｒ_o
＝Ｒ₁＋₂）、Ｒ₃＝７８０Ω、Ｒ_G＝０（無視できる程度
小さい）とし、測定電流をｉ＝１.７ｍＡとする。する
と、ショートを生じていない場合は、式（５）の関係か
ら、測定電圧は、Ｖ＝５.１Ｖとなる。また、ショート
判定基準も従来と同様に３.４Ｖ以下とする。以上の
条件でショートを生じている配線電極を測定した場合の
測定電圧を図５に示す。

【００４５】図５に示す測定結果と図２１に示す従来の
測定結果を比較すると明らかなように、本発明に係る装
置と方法を用いて測定することにより、ショート検出可
能な領域が拡がり、電極配線部分はほとんど全の領域で
ショート検出できるようになった。

【００４６】図１に示す第１番目の電極配線１０と第２
番目の電極配線１０の検査を終了したならば、次は、第
３番目と第４番目の電極配線を前述と同様の方法で検査
し、それが終了したならば、順次電極配線１０・・・を検
査してゆけば、図１に示す電極配線１０・・・を全て検査
することができる。この場合においても２本ずつ電極配
線１０を検査できるので１本ずつ検査する必要のあった
従来装置よりも効率よく検査できる。また、前記のよう
に隣接する電流源の極性を逆にすることで本発明の特徴
が有効になり、ショート検出感度が前述の如く向上する
が、同じ極性の電流源を並べただけでは従来の装置と検
出感度は同等になってしまう。

【００４７】図６は本発明に係る検査装置の第２実施例
を示すもので、この第２実施例の装置は、図２を基に先
に説明した第１実施例の装置の第４プローブ端子１８と
第２電圧計２２を省略して構成したものである。その他
の構成は先に説明した第１実施例の装置と同等である。
この第２実施例の装置を用い、第１プローブ端子１５を
ガードリング１２に当接し、第２プローブ端子１６を１
つの電極配線１０に、第３プローブ端子１７を他の電極
配線１０にそれぞれ当接させ、前記第１実施例と同様に
第１電流源２１と第２電流源２３から電極配線１０、１
０に逆極性の電流を流し、第１電圧計２０で電圧を測定
することによって先の実施例と同等の精度でショート検
出ができる。この第２実施例の装置ではプローブ端子と
電圧計を先の第１実施例の装置よりもいずれも１つずつ
少なくできるので、その分、検査装置の小型化、軽量化
ができる。

【００４８】なお、これまで説明した第１実施例と第２
実施例の装置においては、一度に２本の電極配線１０を
検査できるように構成されているが、縦側に並ぶ４本あ
るいはそれ以上の本数の電極配線を一度に検査できるよ
うに、第１実施例の装置あるいは第２実施例の装置を複
数並設して１つの検査装置を構成しても良い。即ち、図
２または図６に示す装置を複数並列して設け、数回、あ
るいは１回で全ての電極配線１０・・・の検査を終了でき
るように構成しても良い。このような構成は、被測定用
配線１０を形成した基板の上方に充分な検査スペースを
確保できるような場合に特に有効である。また、先の第
１実施例と第２実施例で検査した被測定用配線Ｋ₁は、
短冊型の電極配線１０・・・を２列に並べた配置形状にな
っているが、１本の短冊型電極を１列に並設した配置構
成の単純マトリックス型液晶基板を検査用に用いても良
いのは勿論である。

【００４９】図７は上下左右に並ぶ４本の電極配線１０
を一度に検査できるように構成した本発明に係る第３実
施例の検査装置を示す。この第３実施例の装置では、第
１実施例の検査装置を左右に並設した構成になってい
る。即ち、この例の装置は、第１実施例の装置と同一構
成の部分に加え、ガードリング１２に接続する第５プロ
ーブ端子２５および電極配線１０に接続する第６プロー
ブ端子２６と、電極配線１０に接続する第７プローブ端
子２７およびガードリング１２に接続する第８プローブ
端子２８を具備している。更に、第５プローブ端子２５
と第６プローブ端子２６の間の電圧を測定する第３電圧
計３０と、第７プローブ端子２７と第８プローブ端子２
８との間の電圧を測定する第４電圧計３２と、第６プロ
ーブ端子２６に接続されて接地された第３電流源３１
と、第７プローブ端子２７に接続されて接地された第４
電流源３３を具備して構成されている。

【００５０】この例の装置の場合は、第１電流源２１と
第３電流源３１の極性が逆で、第２電流源２３と第４電
流源３３の極性が逆であることを必要とする。また、第
１電流源２１と第２電流源２３の関係、および、第３電
流源３１と第４電流源３３の関係においても電流が流れ
込むか、流れ出るかの関係について見れば逆の極性にな
っている。

【００５１】この第３実施例の装置においても先に説明
した第１実施例の装置と同様に使用してショートの有無
を検査する。ただしこの第３実施例においては、上下の
電極配線１０、１０間のショート欠陥を検出できること
は勿論、左右に配置された電極配線１０、１０間の短絡
欠陥、および、斜めに配置されている電極配線１０、１
０のショート欠陥も検出することができる。

【００５２】図８と図９と図１０は本発明の検査装置を
薄膜トランジスタアレイ基板の検査に用いる場合の第１
の例について説明するためのものである。薄膜トランジ
スタアレイ基板は、透明基板４０上に縦側のソース配線
（被測定用配線）４１・・・と横側のゲート配線（被測定
用配線）４２・・・がマトリックス状に配線され、更にソ
ース配線４１とゲート配線４２の交差部分にスイッチン
グ素子を構成する薄膜トランジスタ４３が設けられて構
成されている。この薄膜トランジスタ４３は、ゲート配
線４２に接続されたゲート電極４５とソース配線４１に
接続されたソース電極４６と容量としての液晶素子４７
に接続されたドレイン電極４８を備えて構成され、図８
においてはこれらを等価回路的に示している。

【００５３】この例においても、ソース配線４１とゲー
ト配線４２の外周側にはガードリング（保護用短絡電
極）５０が設けられ、各ソース配線４１と各ゲート配線
４２はそれぞれ引出配線５１によりガードリング５０に
接続されて短絡されている。なお、この例ではソース配
線４１の一端のみがガードリング５０に接続され、他端
がフローティングパッド４１ａでフローティングされる
とともに、ゲート配線４２の一端のみがガードリング５
０に接続され、他端がフローティングパッド４２ａでフ
ローティングされている。

【００５４】この例で示す薄膜トランジスタアレイ基板
のゲート配線４２・・・を検査する場合は、図２に示す第
１実施例の装置をそのまま使用し、第１プローブ端子１
５と第４プローブ端子１８を検査しようとするゲート配
線４２、４２の左側のガードリング５０に当接し、第２
プローブ端子１６と第３プローブ端子１７をゲート配線
４２、４２のフローティングパッド４２ａに当接すれば
良い。この接続状態と各部分の抵抗を図９に示す。そし
て、先に説明した第１実施例の場合と同等の方法を実施
し、第１プローブ端子１５と第２プローブ端子１６の間
の電圧を測定し、第３プローブ端子１７と第４プローブ
端子１８の間の電圧を測定することでゲート配線４２、
４２間のショートの有無を検査することができる。

【００５５】また、この例で示す薄膜トランジスタアレ
イ基板のソース配線を検査する場合は、図２に示す第１
実施例の装置をそのまま使用し、第１プローブ端子１５
と第４プローブ端子１８を検査しようとするソース配線
４１、４１の上方のガードリング５０に当接し、第２プ
ローブ端子１６と第３プローブ端子１７をソース配線４
１、４１のフローティングパッド４１ａに当接すれば良
い。この接続状態と各部分の抵抗を図１０に示す。そし
て、先に説明した第１実施例の場合と同等の方法を実施
することでソース配線４１、４１間のショートの有無を
検査することができる。

【００５６】次に、図８に示す薄膜トランジスタアレイ
基板の２本のソース配線と２本のゲート配線を一度に検
査する場合は、図７に示す第３実施例の装置を用い、図
８のＣＯＭ₁の位置に第１プローブ端子１５をＯ₁の位置
に第２プローブ端子１６をＯ₂の位置に第３プローブ端
子１７をＣＯＭ₂の位置に第４プローブ端子１８をそれ
ぞれ当接させるとともに、ＣＯＭ₃の位置に第５プロー
ブ２５をＯ₃の位置に第６プローブ端子２６をＯ₄の位置
に第７プローブ端子２７をＣＯＭ₄の位置に第８プロー
ブ端子２８をそれぞれ当接させる。この状態から、前記
第３実施例の場合と同様に電流を印可して各電圧計の値
を見ることで、一度に２本のソース配線と２本のゲート
配線、即ち、合計４本の被測定用配線を検査することが
できる。

【００５７】図１１は本発明の検査装置を薄膜トランジ
スタアレイ基板の検査に用いる場合の第２の例について
説明するためのものである。この例の薄膜トランジスタ
アレイ基板においては、透明基板上にマトリックス状に
ソース配線６１・・・とゲート配線６２・・・が形成され、そ
れらの周囲にガードリング７０が設けられている。ソー
ス配線６１とゲート配線６２の交差部分には先の例と同
等の構成の薄膜トランジスタ４３が設けられている。こ
の例の薄膜トランジスタアレイ基板の回路においては、
ソース配線６１の一端がガードリング７０に接続され、
他端がフローティングパッド６１ａでフローティングさ
れているとともに、ゲート配線６２の一端がガードリン
グ７０に接続され、他端がフローティングパッド６２ａ
でフローティングされている。

【００５８】この例の薄膜トランジスタアレイ基板のゲ
ート配線６２、６２を第１実施例の検査装置で検査する
には、第１プローブ端子１５を検査するべき１つのゲー
ト配線６２の横のガードリング７０に当接させ、第２プ
ローブ端子１６をそのゲート配線６２の他端、即ち、フ
ローティングパッド６２ａに当接させる。また、第４プ
ローブ端子１８を２つめのゲート配線６２の接続された
部分のガードリング７０に当接させるとともに、第３プ
ローブ端子１７を２つめのゲート配線６２の他端、即
ち、フローティングパッド６２ａに当接させる。そし
て、先の例で説明した場合と同様に電流源から所定の電
流を流して電圧計の値を読み取ることによってゲート配
線６２、６２のショートの有無を検査することができ
る。

【００５９】また、ソース配線６１、６１の検査を行う
には、第１プローブ端子１５を検査するべき１つのソー
ス配線６１の接続されたガードリング７０に当接させ、
第２プローブ端子１６をそのソース配線６１の他端、即
ち、フローティングパッド６１ａに当接させる。また、
第４プローブ端子１８を２つめのソース配線６１の接続
された部分のガードリング７０に当接させるとともに、
第３プローブ端子１７を２つめのソース配線６１の他
端、即ち、フローティングパッド６１ａに当接させる。
そして、先の例で説明した場合と同様に電流源から所定
の電流を流して電圧計の値を読み取ることによってゲー
ト配線６１、６１のショートの有無を検査できる。

【００６０】次に、図１１に示す薄膜トランジスタアレ
イ基板の２本のソース配線と２本のゲート配線を一度に
検査する場合は、図７に示す第３実施例の装置を用い、
図１１のＣＯＭ₁の位置に第１プローブ端子１５をＯ₁の
位置に第２プローブ端子１６をＯ₂の位置に第３プロー
ブ端子１７をＣＯＭ₂の位置に第４プローブ端子１８を
それぞれ当接させるとともに、ＣＯＭ₃の位置に第５プ
ローブ２５をＯ₃の位置に第６プローブ端子２６をＯ₄の
位置に第７プローブ端子２７をＣＯＭ₄の位置に第８プ
ローブ端子２８をそれぞれ当接させる。この状態から、
前記第３実施例の場合と同様に電流を印可して各電圧計
の値を見ることで、一度に２本のソース配線と２本のゲ
ート配線、即ち、合計４本の被測定用配線を検査するこ
とができる。

【００６１】図１２は上下左右に並ぶ４本の電極配線１
０を一度に検査できるように構成した本発明に係る第４
実施例の検査装置を示す。この第４実施例の装置では、
図７を基に説明した前記第３実施例の検査装置を簡略化
した構成になっている。即ち、この例の装置は、左右に
２列、かつ、上下方向に複数配設された短冊状の電極配
線１０・・・に対し、測定しようとする図１２に示す４本
の電極配線１０・・・のうちの左上側の第１番目の電極配
線の右端部（短絡されていない側の端部）に当接される
第２プローブ端子１６と、左下側の第２番目の電極配線
１０の右端部（短絡されていない側の端部）に当接され
る第３プローブ端子１７と、右上側の第３番目の電極配
線の左端部（短絡されていない側の端部）に当接される
第６プローブ端子１６と、右下側の第４番目の電極配線
１０の左端部（短絡されていない側の端部）に当接され
る第７プローブ端子２７と、左下側の第２番目の電極配
線１０の右端部と左端部の間の電圧を測定する電圧計
（電圧測定手段）８０を具備して構成されている。

【００６２】また、第２プローブ端子１６に接続されて
設置された第１電流源２１と、第３プローブ端子１７に
接続されて設置された第２電流源２３と、第６プローブ
端子２６に接続されて接地された第３電流源３１と、第
７プローブ端子２７に接続されて接地された第４電流源
３３を具備して構成されている。この例の装置の場合
は、第１電流源２１と第３電流源３１の極性が逆で、第
２電流源２３と第４電流源３３の極性が逆であることを
必要とする。また、第１電流源２１と第２電流源２３の
関係、および、第３電流源３１と第４電流源３３の関係
においても電流が流れ込むか、流れ出るかの関係につい
て見れば逆の極性になっている。なお、この実施例では
電圧計８０を図１２の左下側の第２番目の電極配線１０
の両端部に接続したが、電圧計８０は第１番目、第２番
目あるいは第４番目の電極配線１０のいずれか１つに接
続しても差し支えないし、２つ以上、例えば、全部に配
置しても差し支えない。なおまた、図１２に示す構成に
おいて、右側で上下に隣接された電極配線１０・・・どう
し、あるいは、左側で上下に隣接された電極配線１０・・
・どうしは、接地されていても、接地されていなくとも
良く、いずれの場合においても検査が可能である。

【００６３】この第４実施例の装置においても先に説明
した第３実施例の装置と同様に使用してショート欠陥の
有無を検査することができる。この第４実施例の装置に
おいては、上下に配置された電極配線１０、１０間のシ
ョート欠陥を検出できることは勿論、左右に配置された
電極配線１０、１０間の短絡欠陥、および、斜めに配置
されている電極配線１０、１０どうしの間のショート欠
陥も検出することができる。

【００６４】図１３は本発明に係る検査装置の第５実施
例を示すもので、この実施例の装置は、前記第４実施
例の装置における電圧計の位置を変更したものである。
この例のように第２電流源２３の両端側の電圧を計測す
る電圧計（電圧測定手段）８１を配置することによって
も先の実施例と同様に電極配線１０・・・の短絡欠陥を測
定することができる。なお、この例の構成では電極配線
１０・・・が接地されていることが好ましい。また、電圧
計８１の接続位置は、図のように第２電流源２３の両端
部でなくとも良く、第１電流源２１の両端部、第３電流
源３１の両端部、第４電流源３３の両端部のいずれでも
良いし、これらの２つ以上、例えば、全てにそれぞれ電
圧計を設けても良い。

【００６５】図１４は上下に並んで設けられた４本の電
極配線１０’であって、先の実施例の電極配線１０・・・
と短絡位置が異なるように配置された電極配線１０’を
４本一度に検査できるように構成した本発明に係る第６
実施例の検査装置を示す。この第６実施例の装置では、
図１２を基に先に説明した第４実施例の検査装置に類似
した構成になっている。

【００６６】この例の装置は、上下方向に並ぶ配線１
０’・・・において、１本おきの電極配線１０’がそれぞ
れ右側か左側で短絡されてなる電極配線１０’・・・を検
査する構成であり、図１４の上から第１番目の電極配線
１０’と第３番目の電極配線１０’が図の左端部側で短
絡され、第２番目の電極配線１０’と第４番目の電極配
線１０’が図の右側で短絡されている電極配線構成に対
して設けられている。即ち、この例の装置は、第２番目
の電極配線１０’の左端部（短絡されていない側の端
部）に接続される第２プローブ端子１６と、第４番目の
電極配線１０’の左端部（短絡されていない側の端部）
に接続される第３プローブ端子１７と、第１番目の電極
配線１０’の右端部（短絡されていない側の端部）に接
続される第６プローブ端子２６と、第３番目の電極配線
１０’の右端部（短絡されていない側の端部）に接続さ
れる第７プローブ端子２７とを具備し、更に第４番目の
電極配線１０’の右端部と左端部の間の電圧を測定する
電圧計（電圧測定手段）９０を具備して構成されてい
る。

【００６７】また、第２プローブ端子１６に接続されて
設置された第１電流源２１と、第３プローブ端子１７に
接続されて設置された第２電流源２３と、第６プローブ
端子２６に接続されて接地された第３電流源３１と、第
７プローブ端子２７に接続されて接地された第４電流源
３３を具備して構成されている。この例の装置の場合
は、第１電流源２１と第３電流源３１の極性が逆で、第
２電流源２３と第４電流源３３の極性が逆であることを
必要とする。また、第１電流源２１と第２電流源２３の
関係、および、第３電流源３１と第４電流源３３の関係
においても電流が流れ込むか、流れ出るかの関係につい
て見れば逆の極性になっている。

【００６８】なお、この実施例では電圧計９０を図１２
の左下側の第２番目の電極配線１０の両端部に接続した
が、電圧計９０は第１番目、第２番目あるいは第４番目
の電極配線１０のいずれか１つに接続しても差し支えな
いし、２つ以上、例えば、全部に配置しても差し支えな
い。なおまた、図１２に示す構成において、右側で上下
に隣接された電極配線１０・・・どうし、あるいは、左側
で上下に隣接された電極配線１０・・・どうしは、接地さ
れていても、接地されていなくとも良く、いずれの場合
においても検査が可能である。

【００６９】この第６実施例の装置においても先に説明
した第４実施例の装置と同様に使用してショート欠陥の
有無を検査することができる。この第６実施例の装置に
おいては、上下に配置された電極配線１０、１０間のシ
ョート欠陥を検出できることは勿論、左右に配置された
電極配線１０、１０間の短絡欠陥、および、斜めに配置
されている電極配線１０、１０どうしの間のショート欠
陥も検出することができる。

【００７０】図１５は本発明に係る検査装置の第７実施
例を示すもので、この実施例の装置は、前記第６実施
例の装置における電圧計の位置を変更したものである。
この例のように第２電流源２３の両端側の電圧を計測す
る電圧計（電圧測定手段）９１を配置することによって
も先の実施例と同様に電極配線１０・・・の短絡欠陥を測
定することができる。なお、この例の構成では電極配線
１０・・・が接地されていることが好ましい。また、電圧
計９１の接続位置は、図のように第２電流源２３の両端
部でなくとも良く、第１電流源２１の両端部、第３電流
源３１の両端部、第４電流源３３の両端部のいずれでも
良いし、これらの２つ以上、例えば、全てにそれぞれ電
圧計を設けても良い。

【００７１】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、２
つの被測定用配線に同時に逆極性の電流を流し、２つの
被測定用配線の間にショートが生じていた場合に生じる
抵抗変化に起因する電圧の変化を読み取ることでショー
ト欠陥の検査ができる。この場合、短絡抵抗が小さいも
のは勿論、短絡抵抗の大きな欠陥であっても容易に検知
することができる。従って検査精度が向上する。更に、
同時に２つの被測定用配線を検査することができるの
で、１つずつ配線を検査していた従来装置よりも検査効
率が向上する。また、被測定用配線あるいは短絡用配線
に接続する第１〜第３プローブ端子を備えたものは、第
１プローブ端子と第２プローブ端子間の電圧を測定する
ことで被測定用配線のショートを検出でき、第１〜第４
プローブ端子を有するものは、第１プローブ端子と第２
プローブ端子の間の電圧と、第３プローブ端子と第４プ
ローブ端子の間の電圧を測定することで被測定用配線の
ショートの有無を検出できる。

【００７２】本発明に係る検査装置は、被測定用配線が
短冊状の配線である場合に好都合であり、被測定用配線
を引出配線を介して短絡配線に接続している構成に適用
することもできる。更に、被測定用配線が単純マトリッ
クス液晶基板用の電極配線である場合にも適用すること
ができ、被測定用配線がインジウム錫酸化物膜の場合に
も容易に適用できる。また、被測定用配線が、基板上に
少なくとも２列に整列形成され、各列の被測定用配線ど
うしが列ごとに短絡配線により短絡されてなるもの、あ
るいは、被測定用配線が基板上に１列に整列形成され、
被測定用配線が１本おきに１つの短絡配線で短絡され、
残りの１本おきの被測定用配線が他の短絡配線で短絡さ
れてなるものにも適用することができる。

【００７３】また、薄膜トランジスタが基板上に形成さ
れ、ソース配線とゲート配線が形成される薄膜トランジ
スタアレイ基板にも本発明装置あるいは方法を適用する
ことができる。その場合は、基板上に配列されている被
測定用配線のうち、ソース配線あるいはゲート配線を２
本ずつ対で効率良く検査できる。その場合の検査におい
ても先に説明した場合と同様に、ショート抵抗が小さい
ものは勿論、ショート抵抗の大きな欠陥であっても容易
に検知することができる。

【００７４】次に、第１〜第８プローブ端子を用いて第
１〜第４番目の被測定用配線に当接して検査するなら
ば、一度に４本の被測定用配線を検査できるので測定効
率が更に向上する。しかもこのように検査することで、
第１〜第４番目の被測定用配線どうしの間のショート欠
陥をも検査できるようになるので検査精度を向上させる
ことができる。また、被測定用配線として、液晶素子駆
動用のアクティブマトリックスディスプレイ基板のソー
ス配線とゲート配線のように、基板上に配線が交差状態
で設けられているものに対して本発明装置を適用するこ
とができ、第１〜第３プローブ端子を有するもの、ある
いは、第１〜第４プローブ端子を有するものを適用した
場合は、２本のソース配線ずつ、あるいは、２本のゲー
ト配線ずつを組として検査ができる。更にまた、第１〜
第８プローブ端子を有する装置を用いて同様の基板の検
査を行うならば、２本のソース配線と２本のゲート配線
を同時に組で検査することができ、その場合に２本のソ
ース配線どうしと２本のゲート配線どうしの間でのショ
ート欠陥は勿論、ソース配線とゲート配線間のショート
欠陥を生じていても欠陥検出ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る装置で検査する単純マトリックス
液晶基板の電極配線の一例とプローブ端子の接続位置を
示す平面図である。

【図２】本発明に係る検査装置の第１実施例の要部を示
す回路図である。

【図３】ショート欠陥を有し、図２に示す検査装置で検
査される単純マトリックス液晶基板の電極配線の一部分
を各部分の抵抗とともに拡大して示す図である。

【図４】図３に示す電極配線を検査している状態におけ
る電流の流れと各部分の抵抗を示す回路図である。

【図５】図２に示す装置で図３に示す電極配線のショー
ト欠陥を検出する際に検出可能な範囲を示す図である。

【図６】本発明の第２実施例の装置を用いて電極配線の
ショート欠陥を検出している状態を示す回路図である。

【図７】本発明の第３実施例の装置を用いて電極配線の
ショート欠陥を検出している状態を示す構成図である。

【図８】本発明の第１実施例の装置で薄膜トランジスタ
アレイ基板を検査する際のプローブ端子の接続位置を示
す説明図である。

【図９】図８に示す薄膜トランジスタアレイ基板のゲー
ト配線を検査する際の回路構成を示す図である。

【図１０】図８に示す薄膜トランジスタアレイ基板のソ
ース配線を検査する際の回路構成を示す構成図である。

【図１１】本発明の第１実施例の装置で薄膜トランジス
タアレイ基板の他の例を検査する際のプローブ端子の接
続位置を示す説明図である。

【図１２】本発明の第４実施例の装置を用いて電極配線
のショート欠陥を検出している状態を示す構成図であ
る。

【図１３】本発明の第５実施例の装置を用いて電極配線
のショート欠陥を検出している状態を示す構成図であ
る。

【図１４】本発明の第６実施例の装置を用いて電極配線
のショート欠陥を検出している状態を示す構成図であ
る。

【図１５】本発明の第７実施例の装置を用いて電極配線
のショート欠陥を検出している状態を示す構成図であ
る。

【図１６】従来装置で検査される単純マトリックス液晶
基板の電極配線の構成図である。

【図１７】図１６に示す電極配線の検査用に用いられて
いる従来の検査装置の一例の要部を示す回路図である。

【図１８】図１７に示す従来の検査装置で検査されるシ
ョート欠陥を含む電極回路の一部と各部分の抵抗を拡大
して示す図である。

【図１９】ショート欠陥がない状態の電極配線を検査し
た状態を示す構成図である。

【図２０】ショート欠陥を生じている電極配線を検査し
ている状態を示す構成図である。

【図２１】従来の検査装置で検出可能な領域と検出不可
能な領域を示す図である。

【符号の説明】

Ｋ1 被測定用配線９基板１０電極配線１１引出配線１２ガードリング（保護用の短絡配線）１５第１プローブ端子１６第２プローブ端子１７第３プローブ端子１８第４プローブ端子２０第１電圧計（第１電圧測定手段）２１第１電流源２２第２電圧計（第２電圧測定手段）２３第２電流源２５第５プローブ端子２６第６プローブ端子２７第７プローブ端子２８第８プローブ端子３０第３電圧計（第３電圧測定手段）３１第３電流源３２第４電圧計（第４電圧測定手段）３３第４電流源４０基板４１、６１ソース配線（被測定用配線）４２、６２ゲート配線（被測定用配線）４３薄膜トランジスタ５０、７０ガードリング（保護用の短絡配線）５１引出配線８０、９０電圧計（電圧測定手段）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01R 31/02,31/00 G02F 1/1343,1/1345,1/136

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】基板と、この基板上に形成された複数の
被測定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基
板上に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配
線基板を検査する検査装置であって、保護用の短絡配線に接続される第１プローブ端子および
被測定用配線の１つに接続される第２プローブ端子と、
被測定用配線の他の１つに接続される第３プローブ端子
と、前記第１プローブ端子と第２プローブ端子の間の電
圧を測定する第１電圧測定手段と、前記第２プローブ端
子に接続された第１電流源と、前記第３プローブ端子に
接続された第２電流源とを具備してなり、前記第１電流源と第２電流源の極性を逆にしてなること
を特徴とする配線基板の検査装置。
【請求項２】基板と、この基板上に形成された複数の
被測定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基
板上に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配
線基板を検査する検査装置であって、保護用の短絡配線に接続される第１プローブ端子および
被測定用配線の１つに接続される第２プローブ端子と、
被測定用配線の他の１つに接続される第３プローブ端子
および保護用の短絡配線に接続される第４プローブ端子
と、前記第１プローブ端子と第２プローブ端子の間の電
圧を測定する第１電圧測定手段と、前記第３プローブ端
子と第４プローブ端子の間の電圧を測定する第２電圧測
定手段と、前記第２プローブ端子に接続された第１電流
源と、前記第３プローブ端子に接続された第２電流源と
を具備してなり、前記第１電流源と第２電流源の極性を逆にしてなること
を特徴とする配線基板の検査装置。
【請求項３】基板と、この基板上に形成された複数の
被測定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基
板上に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配
線基板を検査する検査装置であって、保護用の短絡配線に接続される第１プローブ端子および
被測定用配線の１つに接続される第２プローブ端子と、
被測定用配線の他の１つに接続される第３プローブ端子
と、前記第１プローブ端子を接地する手段と、第２プロ
ーブ端子と接地面との間の電圧を測定する第１電圧測定
手段と、前記第２プローブ端子に接続された第１電流源
と、前記第３プローブ端子に接続された第２電流源とを
具備してなり、前記第１電流源と第２電流源の極性を逆にしてなること
を特徴とする配線基板の検査装置。
【請求項４】被測定用配線が、基板上に整列形成され
た短冊状の複数の電極配線であり、これらの電極配線の
端部を引出配線を介して保護用短絡配線に接続してなる
ことを特徴とする請求項１、２または３記載の配線基板
の検査装置。
【請求項５】基板が、引出配線の部分を境界として切
断されて被測定用配線部分側が電極として使用される単
純マトリックス液晶表示素子用基板であることを特徴と
する請求項１、２または３記載の配線基板の検査装置。
【請求項６】基板が透明基板であり、配線をインジウ
ム錫酸化物膜から形成してなることを特徴とする請求項
１、２または３記載の配線基板の検査装置。
【請求項７】被測定用配線が、基板上にマトリックス
状に形成された配線であり、マトリックス状配線の各交
差部分にスイッチ素子を形成し、マトリックス状の配線
の端部を引出配線を介して保護用の短絡配線に接続して
なることを特徴とする請求項１、２または３記載の配線
基板の検査装置。
【請求項８】被測定用配線が、基板上にマトリックス
状に形成された配線であり、マトリックス状配線の各交
差部分に薄膜トランジスタを形成し、マトリックス状の
配線の端部を引出配線を介して保護用の短絡配線に接続
してなり、基板が、引出配線の部分を境界として切断さ
れて被測定用配線部分側が配線として使用される薄膜ト
ランジスタアレイ基板であることを特徴とする請求項
１、２または３記載の配線基板の検査装置。
【請求項９】基板と、この基板上に形成された複数の
被測定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して基
板上に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる配
線基板を検査する検査装置であって、保護用の短絡配線に接続される第１プローブ端子および
第１番目の被測定用配線に接続される第２プローブ端子
と、前記第１番目の被測定用配線と隣接した第２番目の
被測定用配線に接続される第３プローブ端子および保護
用の短絡配線に接続される第４プローブ端子と、保護用の短絡配線に接続される第５プローブ端子および
前記第２番目の被測定用配線と隣接した第３番目の被測
定用配線に接続される第６プローブ端子と、前記第３番
目の被測定用配線と隣接した第４番目の被測定用配線に
接続される第７プローブ端子および保護用の短絡配線に
接続される第８プローブ端子と、前記第１プローブ端子と第２プローブ端子の間の電圧を
測定する第１電圧測定手段と、前記第３プローブ端子と
第４プローブ端子の間の電圧を測定する第２電圧測定手
段と、前記第５プローブ端子と第６プローブ端子の間の
電圧を測定する第３電圧測定手段と、前記第７プローブ
端子と第８プローブ端子の間の電圧を測定する第４電圧
測定手段と、前記第２プローブ端子に接続された第１電流源と、前記
第３プローブ端子に接続された第２電流源と、前記第６
プローブ端子に接続された第３電流源と、前記第７プロ
ーブ端子に接続された第４電流源とを具備してなり、前記第１電流源と第２電流源の極性を逆極性とし、第２
電流源と第３電流源の極性を逆極性とし、第３電流源と
第４電流源の極性を逆極性にしてなることを特徴とする
配線基板の検査装置。
【請求項１０】基板と、この基板上に形成された複数
の被測定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して
基板上に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる
配線基板を検査する検査装置であって、第１番目の被測定用配線の短絡されていない側の端部に
接続される第２プローブ端子と、第２番目の被測定用配
線の短絡されていない側の端部に接続される第３プロー
ブ端子と、第３番目の被測定用配線の短絡されていない
側の端部に接続される第６プローブ端子と、第４番目の
被測定用配線の短絡されていない側の端部に接続される
第７プローブ端子と、前記被測定用配線の少なくとも１つの両端の電圧を測定
する電圧測定手段と、前記第２プローブ端子に接続された第１電流源と、前記
第３プローブ端子に接続された第２電流源と、前記第６
プローブ端子に接続された第３電流源と、前記第７プロ
ーブ端子に接続された第４電流源とを具備してなり、前記第１電流源と第２電流源の極性を逆極性とし、第２
電流源と第３電流源の極性を逆極性とし、第３電流源と
第４電流源の極性を逆極性としてなることを特徴とする
配線基板の検査装置。
【請求項１１】被測定用配線が基板上に少なくとも２
列に整列形成され、各列の被測定用配線どうしが列ごと
に短絡配線により短絡されてなることを特徴とする請求
項９または１０記載の配線基板の検査装置。
【請求項１２】被測定用配線が基板上に１列に整列形
成され、被測定用配線が１本おきに１つの短絡配線で短
絡され、残りの１本おきの被測定用配線が他の短絡配線
で短絡されてなることを特徴とする請求項９または１０
記載の配線基板の検査装置。
【請求項１３】基板が、引出配線の部分を境界として
切断されて被測定用配線部分側が電極として使用される
単純マトリックス液晶表示素子用基板であることを特徴
とする請求項９または１０記載の配線基板の検査装置。
【請求項１４】基板が透明基板であり、配線をインジ
ウム錫酸化物膜から形成してなることを特徴とする請求
項９または１０記載の配線基板の検査装置。
【請求項１５】被測定用配線が、基板上にマトリック
ス状に形成された配線であり、マトリックス状配線の各
交差部分にスイッチ素子を形成し、マトリックス状の配
線の端部を引出配線を介して保護用の短絡配線に接続し
てなることを特徴とする請求項９または１０記載の配線
基板の検査装置。
【請求項１６】被測定用配線が、基板上にマトリック
ス状に形成された配線であり、マトリックス状配線の各
交差部分に薄膜トランジスタを形成し、マトリックス状
の配線の端部を引出配線を介して保護用の短絡配線に接
続してなり、基板が、引出配線の部分を境界として切断
されて被測定用配線部分側が配線として使用される薄膜
トランジスタアレイ基板であることを特徴とする請求項
９または１０記載の配線基板の検査装置。
【請求項１７】基板と、この基板上に形成された複数
の被測定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して
基板上に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる
配線基板を検査する方法であって、保護用の短絡配線と第１番目の配線の端部との間に所定
の電流を印可するとともに保護用の短絡配線と第２番目
の配線の端部との間に前記と極性が逆の所定の電流を印
可しながら前記保護用の短絡配線と第１番目の配線の端
部との間の電圧を測定し、電圧の計測値から前記第１番
目の配線と前記第２番目の配線との間の断線と短絡を判
断することを特徴とする配線基板の検査方法。
【請求項１８】基板と、この基板上に形成された複数
の被測定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して
基板上に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる
配線基板を検査する方法であって、保護用の短絡配線と第１番目の配線の端部との間に所定
の電流を印可しながら前記保護用の短絡配線と第１番目
の配線の端部との間の電圧を測定するとともに、保護用
の短絡配線と第２番目の配線の端部との間に前記と極性
が逆の所定の電流を印可しながら前記保護用の短絡配線
と第２番目の配線の端部との間の電圧を測定し、各電圧
の計測値から前記第１番目の配線と前記第２番目の配線
との間の断線と短絡を判断することを特徴とする配線基
板の検査方法。
【請求項１９】被測定用配線として、基板上に整列形
成された短冊状の複数の電極配線を用い、これらの電極
配線の端部が引出配線を介して保護用の短絡配線に接続
されたものを用いることを特徴とする請求項１７または
１８記載の配線基板の検査方法。
【請求項２０】基板として、引出配線の部分を境界と
して切断されて被測定用配線部分側が電極として使用さ
れる単純マトリックス液晶表示素子用基板を用いること
を特徴とする請求項１７または１８記載の配線基板の検
査方法。
【請求項２１】基板として透明基板を用い、配線とし
てインジウム錫酸化物膜から形成されるものを用いるこ
とを特徴とする請求項１７または１８記載の配線基板の
検査方法。
【請求項２２】被測定用配線として、基板上にマトリ
ックス状に形成された配線を用い、マトリックス状配線
の各交差部分にスイッチ素子が形成されたものを用い、
マトリックス状の配線の端部が、引出配線を介して保護
用の短絡配線に接続されてなるものを用いることを特徴
とする請求項１７または１８記載の配線基板の検査方
法。
【請求項２３】被測定用配線として、基板上にマトリ
ックス状に形成された配線を用い、マトリックス状配線
の各交差部分に薄膜トランジスタが形成されたものを用
い、マトリックス状の配線の端部が引出配線を介して保
護用の短絡配線に接続されてなるものを用い、基板とし
て、引出配線の部分を境界として切断されて被測定用配
線部分側を配線として使用する薄膜トランジスタアレイ
基板を用いることを特徴とする請求項１７または１８記
載の配線基板の検査装置。
【請求項２４】基板と、この基板上に形成された複数
の被測定用配線と、前記複数の被測定用配線を短絡して
基板上に形成された保護用の短絡配線とを具備してなる
配線基板を検査する方法であって、保護用の短絡配線と第１番目の配線の端部との間に所定
の電流を印可しながら前記保護用の短絡配線と第１番目
の配線の端部との間の電圧を測定するとともに、保護用
の短絡配線と第２番目の配線の端部との間に前記と極性
が逆の所定の電流を印可しながら前記保護用の短絡配線
と第２番目の配線の端部との間の電圧を測定し、更に、保護用の短絡配線と第３番目の配線の端部との間に所定
の電流を印可しながら前記保護用の短絡配線と第３番目
の配線の端部との間の電圧を測定するとともに、保護用
の短絡配線と第４番目の配線の端部との間に前記と極性
が逆の所定の電流を印可しながら前記保護用の短絡配線
と第４番目の配線の端部との間の電圧を測定し、各電圧の計測値から前記第１番目の配線と前記第２番目
の配線と前記第３番目の配線と前記第４番目の配線の間
の断線と短絡を判断することを特徴とする配線基板の検
査方法。