JP2014226767A - ウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図7は、第1の変形例を示すものである。図7に示すように、第1の変形例では、外周面取りの粗加工と仕上げ加工はウェーハWの回転方向に沿って45度ずれた位相位置で行われる。この構成では、外周粗研削砥石158による粗加工が開始されたウェーハWの加工位置を基準としたとき、ウェーハWが1/8回転(0.125回転)したところで外周精研削砥石164による仕上げ加工が開始される。その後、ウェーハWが1回転するまで粗加工と仕上げ加工が同時に実施され、ウェーハWが1回転したところで粗加工が終了する。そして、ウェーハWが9/8回転(1.125回転)したところで仕上げ加工が終了する。
図8は、第2の変形例を示すものである。図8に示すように、第2の変形例では、外周面取りの粗加工と仕上げ加工は270度ずれた位相位置で行われる。この構成では、外周粗研削砥石158による粗加工が開始されたウェーハWの加工位置を基準としたとき、ウェーハWが3/4回転(0.75回転)したところで外周精研削砥石164による仕上げ加工が開始される。その後、ウェーハWが1回転するまで粗加工と仕上げ加工が同時に実施され、ウェーハWが1回転した後ところで粗加工が終了する。そして、ウェーハWが7/4回転(1.75回転)したところで仕上げ加工が終了する。
Claims (8)
- ウェーハを保持して回転するウェーハテーブルと、
前記ウェーハに対して相対的に移動可能に構成され、前記ウェーハの外周部を粗研削する粗研削用砥石と、
前記ウェーハに対して相対的に移動可能に構成され、前記粗研削用砥石とは異なる位置で前記ウェーハの外周部を精研削する精研削用砥石と、
を備えるウェーハ面取り装置。 - 前記精研削用砥石による前記ウェーハの外周部の加工位置は、前記粗研削用砥石による前記ウェーハの外周部の加工位置よりも前記ウェーハの回転方向に向かって180度未満ずれた位置である請求項1に記載のウェーハ面取り装置。
- 前記精研削用砥石による前記ウェーハの外周部の加工位置は、前記粗研削用砥石による前記ウェーハの外周部の加工位置よりも前記ウェーハの回転方向に向かって45度ずれた位置である請求項2に記載のウェーハ面取り装置。
- 前記ウェーハテーブル、前記粗研削用砥石、及び前記精研削用砥石を有する加工部を複数備える請求項1〜3のいずれか1項に記載のウェーハ面取り装置。
- ウェーハテーブルに保持されたウェーハを回転しながら前記ウェーハの外周部を面取り加工する方法であって、
前記ウェーハに対して粗研削用砥石を相対的に移動させ、前記ウェーハの外周部を前記粗研削用砥石で粗研削する粗加工ステップと、
前記ウェーハに対して精研削用砥石を相対的に移動させ、前記粗研削用砥石とは異なる位置で前記ウェーハの外周部を前記精研削用砥石で精研削する仕上げ加工ステップと、
を備えるウェーハ面取り方法。 - 前記精研削用砥石による前記ウェーハの外周部の加工位置は、前記粗研削用砥石による前記ウェーハの外周部の加工位置よりも前記ウェーハの回転方向に向かって180度未満ずれた位置である請求項5に記載のウェーハ面取り方法。
- 前記精研削用砥石による前記ウェーハの外周部の加工位置は、前記粗研削用砥石による前記ウェーハの外周部の加工位置よりも前記ウェーハの回転方向下流側に向かって45度ずれた位置である請求項6に記載のウェーハ面取り方法。
- 前記粗加工ステップ及び前記仕上げ加工ステップからなる加工ステップが複数並列的に実施される請求項5〜7のいずれか1項に記載のウェーハ面取り方法。
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2013
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