JP3067890B2 - 接触分解装置の排出ガスの処理方法と装置 - Google Patents

接触分解装置の排出ガスの処理方法と装置

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JP3067890B2 JP4116834A JP11683492A JP3067890B2 JP 3067890 B2 JP3067890 B2 JP 3067890B2 JP 4116834 A JP4116834 A JP 4116834A JP 11683492 A JP11683492 A JP 11683492A JP 3067890 B2 JP3067890 B2 JP 3067890B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、接触分解装置から発生
するヒュームの処理方法と装置に関する。使用済みの触
媒から発生する再生ヒューム(または排出物)として知
られるヒュームは、炭化水素装入物の接触分解工程にお
いて発生する。これらのヒュームは汚染物質を含むが、
特に硫黄化合物(SO2、SO3、H2S)、窒素化合物
及び/または硝酸を含み、これらの物質は環境に有害な
ので、減少するかまったく除去しなければならない。
【0002】
【従来の技術】ヒュームから有害物質を除去する処理方
法は多々提案されており、なかでもこれらの排出物の脱
硫方法の提案が多い。かかるヒュームの従来処理方法
は、熱交換機を通した後、洗浄を行うことからなる。こ
の技術は重装備が要求され、そのため多額の投資が必要
となる。
【0003】
【本発明が解決しようとする問題点】別の接触分解装置
の排出物質を脱硫する別の方法では、上記のごとき湿式
方法は用いず、乾式方法が用いられ、『循環床』として
知られる床を用いる。本出願人が提出した特許出願FRA
−2,632,872号ならびに特許出願FRA−2,642,663号で
は、循環流動層の中で排出気体を脱硫する原理にもとづ
く二つの装置を示す。前者は石灰や石灰石などの再生不
能の吸収剤の使用にかかわるもので、後者は(FRA−2,6
42,663号)吸収領域の中に再生可能な吸収剤を導入する
ことを開示している。
【0004】この場合は、脱硫工程での粒子の分離、再
循環の工程に加えて,使用済み吸収剤の再生工程が必要
となる。上記の二例の場合、吸収素材の粒径は5から5,0
00マイクロメーターにわたり、好ましくは100μm以上
である。この粒径から、処理工程から下流では大型のサ
イクロンが用いられていることがわかる。かかる粒径で
は、十分な脱炭酸速度と効率を得るためには、最低摂氏
約850度の温度が必要となる。さらにこの種の反応塔の
熱慣性は、耐火物を用いるところからかなり大きくな
る。
【0005】『噴流床ボイラー』として知られている脱
硫ボイラー、例えば脱硫ゾーンへ吸収剤を粉体で射出す
るものの使用がますます増えてきているが、上述したよ
うな従来型の脱硫ボイラーの場合は、かかる熱交換機の
方が価格も安く、使用も容易であるからである。本出願
人の特許出願FRA-2,636,720号ならびに特許出願EN90/0
8,311号では、かかる従来技術が開示されている。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、本明細書の冒
頭に定義したタイプの方法と装置にかかわるものであ
り、これらによって『噴流床』タイプのユニットにより
行われる接触分解による排出物の処理が可能となる。
【0007】従来技術に関して、特に循環床を用いる脱
硫技術に関して本発明は以下の利点を有する。 −脱硫室の流出口にある気体−固体分離装置(たとえば
サイクロン)が不要となるので、投資額がかなり減額さ
れる。 −サイクロンが不要であるのと脱硫室の基部にある高濃
度相が不要となるので、プラントの総圧力低下が少なく
なり、そのため運転費用が低減される。 −耐火物を使用しないので熱慣性が減少し、そのためシ
ステムの立ち上がりが早くなる。 −これらに加えてヒュームの脱窒が可能となる。 上述した本発明の利点は、本明細書の冒頭に述べた排出
物の処理装置により得られるもので、本処理装置は少く
とも一つの排出物用の取り入れ口をもつ、少くとも一つ
の再生工程から発生する排出物処理のたの噴流床タイプ
の室から成る熱回収ユニットCRから成る。脱硫に用い
る吸収素材の粒径は、0.1から100マイクロメーターの範
囲にあるのが特徴である。
【0008】本発明による装置は、少なくとも一つの該
再生工程から発生する排出気体を減圧する手段と、少な
くとも一つの該再生工程と処理室の間に位置する該排出
物を再加熱する手段とからなる。熱回収ユニットCR
は、きれいなヒューム用の少くとも一つの第一の出口と
使用済み吸収剤用の第二の出口とから成るダスト分離機
に対して、リサイクルされる使用済み吸収剤の一部を供
給する、処理室の下流にある熱交換機から成ることもで
きる。
【0009】本発明の実施例の一つによれば、処理室に
は再生不能の吸収剤用の少くとも一つのインジェクタ
ー、その時リサイクルされていない使用済み吸収剤をい
れる保存用タンクを備えてもよい。本発明の別の実施例
によれば、脱硫室には再生可能な吸収剤用の入り口を少
くとも一つを備えることができる。本発明による装置は
したがって、該吸収剤を再生する手段をそなえるのが好
ましい。
【0010】さらに具体的には、吸収剤を再生する手段
は流動床タイプの吸収剤再生装置、分離機および/また
は熱交換機から成る。以上に考慮したすべての場合にお
いて、新しい吸収剤と脱硫室に向けてリサイクルした吸
収剤とを混合する装置は、脱硫室の上流におくのが好ま
しい。接触分解装置は、本発明の範囲を逸脱することな
く、余剰空気の存在下で作動するものと、空気が十分な
くとも作動するものの二つの再生工程をふくむことがで
きる。
【0011】かかる実施例においては、本発明による装
置は、さらに第二の再生工程から生じる酸化ヒュームと
第一の再生工程から生じる還元炎が供給される脱硫室の
上流に位置した焼却炉をふくむこともできる。
【0012】本実施例のさらに別の特徴によれば、本発
明は上記に定義した装置で実施できる方法を提供するこ
とを目的とする。
【0013】本発明によれば、排気を処理する方法は、
主として −熱回収ユニットCRへ、粒径0.1から100μmの吸収剤
粒子と該排気とを、別々に導入する工程; −該回収ユニットの一部である噴流床の処理室のレベル
で、排出物と吸収粒子とを接触させる工程; −使用済み吸収剤の粒子から脱硫済ヒュームを分離する
工程 からなる。
【0014】本発明のその他の特徴と利点とは、添付の
図面に関し例示的に述べられた本明細書の以下の説明か
ら一層明白となろう。
【0015】
【好ましい実施例の説明】第一図において全酸化を行う
単一再生工程を有する接触分解装置と、これに連結した
再生不能の素材を利用する脱硫室をもうけた回収ボイラ
ーCRとからなる装置を示す。FCC接触分解装置は、
ライザー(上昇管)1すなわち触媒を上昇させるパイプ
からなり、その底部には処理対象である装入物(ライン
4)、触媒(ライン3)と触媒を担う蒸気(ライン2)
が注入される。この結果得られる混合物は、ライザーの
上方に向って流れる。ライザーの上部はストリッパー5
の中に開かれていて、このストリッパー内で触媒と、分
解された炭化水素が分離される。
【0016】触媒はライン6を通じて再生装置へ導入
され、一方分解された炭化水素はライン7を通ってスト
リッパーから排出され、たとえば精留塔へ送られる。分
解工程で触媒上に沈着したコークスは、ライン10を通
じて燃焼空気が送られている流動床9で燃やす。再生済
み触媒はライン3を通じて上昇管1へと送られる。
【0017】本発明によれば、触媒の再生により生ずる
ヒュームは、ライン11を経て脱硫室15に送られる。
減圧器30と再加熱器12をライン11の上に、具備す
ることが望ましい 。減圧器30によって、ヒュームを
大気圧近くまで減圧することができ、再加熱器12によ
ってヒューム量が最適な温度で脱硫室15に導入するこ
とができる。再加熱器12の中で、触媒の再生から発生
するヒュームをライン14を通じて燃料が供給されてい
る一つまたは数個のバーナー13から送られてくる排出
物と混合する。脱硫室15へ導入する燃料の量は、この
再加熱室12より下流においた該脱硫室内の平均温度が
摂氏750度から1250度の間、好ましくは摂氏800度と1,00
0度の間になるように調整する。再加熱装置12と脱硫
室15との接続は装置12の下流で、第一図に示したよ
うに、特定のライン16’によりおこなうことができる
が、これら二つの室の間に共通の壁をたて、連絡口を通
じてヒュームの移動が直接おこなわれるようにすること
もできる。公知の装置16を用いて排出物を導入しても
よい。
【0018】吸収剤インジェクター17は、好ましくは
脱硫室内のヒューム導入点の近くにおくのがよい。脱硫
室のこの側には吸収剤とヒュームを混合しやすくする装
置19をもうけてもよい。第一図の場合は、ヒューム
と吸収剤とは脱硫室内で上昇し、通路20を通って、管
状の交換器21を具備した領域へ入る。この循環モード
は制約的なものではなく、ヒュームと吸収剤の混合物が
下向きに流れる構成も可能である。冷却したヒュームは
ボイラーから出てライン22を通り、最終ダスト分離機
23へと送られる。ダストを除去したヒュームや気体
は、ダスト分離機23からライン26へ送られ、たとえ
ば煙突(図示せず)などへ運搬される。
【0019】使用済み吸収剤は、最終ダスト分離機か
ら、一つまたは複数個のライン24を通って、中間貯蔵
ホッパー25へと送られる。ホッパー25から、使用済
み吸収剤の一部または全部が最終排出ホッパー27へと
送られる。リサイクルした吸収剤の画分は装置28へ送
入され、ここでホッパー29から送られてきた新しい吸
収剤と混合される。ミキサー28の配備は不可欠という
わけではなく、新しい吸収剤とリサイクルした吸収剤と
を別々に射出してもよい。
【0020】第二図には、全酸化用単一再生器からなる
FCC分解装置と再生可能な素材を利用した脱硫室15
を備えた回収ボイラーCRとの組み合わせを示す。FC
C接触分解装置は、第一図に示したものと同じであるの
で、第一図の装置とは違う点のみを以下に述べる。さら
に本出願の図面では、同一の要素は同一の記号を付すこ
とにする。装置30内で膨張したヒュームは、ライン1
1内を循環し、ライン16’を通って脱硫室15へと直
接送られる。本実施例によれば脱硫室15の取り入れ口
近くにあるインジェクター17は、再生可能な吸収剤を
導入する。FCC接触分解装置の通常の運転条件では、
再生器9から出るヒュームの温度は一般に脱硫室15の
最適運転に必要な温度に近い。したがってヒュームは膨
張装置30から直接脱硫室15へ噴射する事ができる。
脱硫室15の最適温度は好ましくは、摂氏500度から700
度である。ヒューム温度の調整が要求される場合は、再
加熱を再加熱装置(たとえば第一図の12)を使って行
うことができる。再生器9からのヒュームの冷却が必要
となった場合は、ダストを除去したヒュームの排出用ラ
イン26から取った冷却済みヒュームを噴射することが
できる。このためには排出用ライン26と16’の間に
バイパス40を設けることもできる。さらに、バルブ4
4をバイパス40の上に置き、リサイクルする冷却ヒュ
ームの流速を制御することも可能である。
【0021】上述したヒュームの温度を調整する二つの
モードは、当然ながら本発明を限定するものではない。
脱硫室15内でほぼ上向きに移動したあと、ヒュームと
吸収剤とは通路20を通って管状の熱交換器21が設け
られた所へ運ばれる。混合物は、脱硫ユニットからライ
ン22を通り、ダスト分離機23へと運ばれる。内側の
貯蔵ホッパー25の高さにある最終ダスト分離機23の
出口で、吸収剤の一部をリサイクルして、好ましくは規
制バルブ51’からなるライン51を通って脱硫室15
へ直接装入することができる。吸収剤の残りは、好まし
くは制御バルブ53’からなるライン53を通って吸収
剤再生手段50へ送られる。この手段50は、好ましく
は吸収剤を再加熱するための手段54を備えた吸収剤再
生器52からなり、これにより摂氏400度から1,000度
までの温度で、好ましくは550度から750度までの温度に
加熱することができる。
【0022】吸収剤を再生するのに使用する還元ガス
は、たとえば水素、メタン、硫化水素、プロパン、ブタ
ンなどでよい。吸収剤再生器52は、たとえば第二図に
示した流動床システムでも良い。このシステムの使用も
本発明を限定するものではない。吸収剤再生器52で再
生ガスを供給するため使用した装置55は、たとえばい
くつかのインジェクターからなる。
【0023】再生済み吸収剤は、再生ガスを用いてエン
トレインメントによりライン56を介して抽出し、ダス
ト分離機57内で回収できる。必要があれば、吸収剤は
流動床に浸漬させたライン58をもちいて重力を利用し
て抽出することができる 。再生ガスは、場合によって
は気体−気体交換器60の中で予熱してから、ライン5
9を通って流動床へと送られ、これにより流動床で利用
したあとの再生ガスと共留した固体の顯熱を回収するこ
とができる。
【0024】吸収剤の再生により、該吸収剤上にかなり
のコークスが沈着した場合には、第二図には示していな
い適当な装置内で燃焼して除去することができる。この
装置は、再生器52からの再生吸収剤の抽出方法に応じ
て、たとえばライン56または58の上に設けることが
できる。さらに、吸収剤の再生と装置52の中に沈着し
たコークスの燃焼作業を連続して行うこともできる。
【0025】ダスト分離機57を通過した後で、硫黄含
有物質を含んだ再生ガスはライ ン61を通ってプラン
トから出て行くが、このラインを用いてその後の硫黄洗
浄ならびに改良装置へ向けてさらに運搬することができ
る(例えば、CLAUSプラント)。再生した吸収剤は、ライ
ン62を通ってミキサー装置63へ送ることもできる。
ミキサー63では、再生済み吸収剤と未再生吸収剤とを
混合し、混合物をライン18を介して脱硫室15へと送
る。本発明の第一の実施例の場合と同じく、ミキサーの
据え付けは不可欠と言う訳ではなく、再生済み吸収剤は
未再生吸収剤とは別に脱硫室へ噴射することができる。
【0026】酸化硫黄吸収剤が、接触分解装置からでる
固体、具体的には微粉触媒、によって汚染されるのを防
ぐために、接続手段11には高性能のダスト分離器(た
とえば第三サイクロンなど)を備えることができる。こ
れらの装置は第二図には示していない。
【0027】第三図には、本発明による装置で、二つの
再生工程70、73を有し、再生不能の吸収剤用の脱硫
室を備えたボイラーと接続した分解装置からなるものを
示す。この図によれば、分解装置1の構成は第一図で説
明したものと同じである。再生工程部分のみに変更が加
えられている。ライン6を介してストリッパー5から運
ばれて来た使用済み分解触媒は特定のライン71を通じ
て給気される第一の再生装置70へ送入される。第一の
再生装置70は好ましくは、十分でない空気の存在下で
運転し、気体状の未燃焼成分を含むヒューム(H2,C
H4、CO,、、、)を発生するが、これらは脱硫室へ
装入する前に燃焼しなければならない。これらの最初の
還元ヒュームはライン72を通じて排出される。第一の
再生器70で部分的に再生された触媒は、ライン75を
通じて給気される上昇管74を通じて第二の再生装置7
3へと運ばれる。第二の再生装置73は余剰空気の存在
下で運転する。この再生装置から発生するヒュームはラ
イン76を介して排出される。これらは酸化性である。
【0028】第一の再生工程から発生するヒュームは、
特殊な装置77(バルブ、タービンなどそれ自体で公知
のもの)で膨張させ、適当なバーナー79を具備した燃
焼室78内へ送り込む。この作業を行うには、ライン8
0を通じて送った追加の燃料をバーナー79へと導入
し、摂氏900度から1,300度の最終燃焼温度とすることが
できる。さらに余分のエネルギーを、装置とは別に設け
たバーナーにより供給して、ヒュームが燃焼室78へ入
るようにする。第二の再生工程から発生してライン76
を介して送られるヒュームは、燃焼室78を出る直前に
燃焼用ヒュームに加える。ライン80を通じて運ばれる
補助燃料の流速は、脱硫室15内の平均速度が摂氏750
度から1,250度、好ましくは800度から1,000度となるよ
うに調整する。燃焼室78から出てくる混合物は、脱硫
室15へと装入される。吸収剤インジェクター17は該
室の入り口81のすぐ近くに配置され、前記したよう
に、吸収剤とヒュームとの混合を促進させる装置19を
この付近に設けることができる。脱硫室15の中を通過
した(本実施例では下向きに)後、ヒュームと吸収剤と
は熱交換器21を設けたゾーンに入るのが好ましく、こ
れによりボイラーCRを出るときにその温度が低くなっ
ているようにする。
【0029】ヒュームと吸収剤の混合物のボイラーの下
流での処理と関連する工程は本発明の第一の実施例で説
明したとおりである。この工程と作業とはしたがってこ
れ以上説明しない。
【0030】第四図に示すように、排出物処理ユニット
は、二つの再生工程を有し、再生可能の吸収剤用の脱硫
室を備えたボイラーと接続したFC接触分解装置からな
るが、これも本発明の範囲を逸脱するものではない。接
触分解装置は、第三図について説明したものとおなじで
ある。
【0031】本実施例によると、上記の他に燃焼室78
と脱硫室15の間に熱交換器を備えた領域90を設ける
のも望ましい。この場合、第一の再生工程70から発生
したヒュームは上述したように少くとも一つのバーナー
79から燃焼室78内へと噴射され、第二の再生工程7
3から発生したヒュームはパイプ76を介して熱交換領
域90の出口でヒュームの主流に加えられる。パイプ7
6を燃焼室78内へ向けて開口することができるが、こ
れは本発明の範囲を逸脱するものではない。異なる室に
応じて選択された温度によってこれらの選択を行えばよ
い。
【0032】この領域90の出口、すなわち脱硫室15
の入口でのヒュームの温度は、摂氏500度から800度の間
にあるのがよい。吸収剤は、上述したように粉体で一つ
または複数のインジェクター17を用いて脱硫室の取り
入れ口へ導入される。必要があれば、脱硫室15の温度
は、最終工程の煙突26からでる冷たいヒュームの流れ
(図示せず)を利用して低くすることができる。
【0033】第四図に示した本発明の実施例によれば、
吸収剤が、たとえば第二図に関連して述べた適当な手段
50の中で再生される。さらに厳密にいえば、脱硫室1
5の作業条件に関しては、この室内でのヒュームの滞留
時間は、O.5から5秒、好ましくは1から2秒であることを
つけくわえる。
【0034】脱硫室からでるヒューム中の一般的な吸収
剤濃度は5から200g/m3であり、好ましくは20から300g/m
3である。最後に、再生不能の吸収剤はカルシウム含有
物質(石灰、石灰石)または炭酸カルシウム含有量が高
い物質(たとえば、生セメント製品など)から選ぶこと
ができる。
【0035】再生可能な吸収剤としては、酸化マグネシ
ウムをベースにした製品を使用して成功している。硫黄
酸化物の固定を促進する成分(酸化セリウム、貴金属な
ど)を上記の再生可能な吸収剤に添加して、硫黄酸化物
の固定を容易にすることができる。
【0036】本発明によれば、さらに脱硫室15のレベ
ルで別のタイプの吸収剤を添加して、ヒュームの脱窒処
理を行うことができる。この吸収剤は、該室15での噴
流床循環が可能な粒子サイズであるのが好ましい。図面
に示したように、本発明装置の異なるラインにおける流
速を制御することができるバルブその他の手段も設ける
ことができる。その数と位置とは、特定の目的、用途に
応じて決定する。
【0037】本分野の専門技術者は、本発明の範囲から
逸脱することなく上述した方法、装置にその他の変更お
よび/または追加を行うことができよう。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一の実施例による排出物の処理装置
の概略図
【図2,3,4】本発明の第二、第三、第四の実施例を
示す図
フロントページの続き (72)発明者 ジェラード マーティン 92500 フランス国 リュエーユ マル メゾン アブニュード コウルマー 34 ビス番 (72)発明者 ジャン−ルウィー ボウジュ 95270 フランス国 ルーザルシエス アブニュー ド ラリーベイラシオン 47番 (56)参考文献 特開 平2−245222(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C10G 11/18

Claims (21)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも一つの再生工程(9;70)
    から発生する排出物用の少なくとも一つの取り入れ口
    (16;76)をもつ噴流床タイプの排出物処理室(1
    5)からなる熱回収ユニット(CR)を含み、少なくと
    も一つの第一再生工程(9;70,73)をもつFCC
    接触分解装置から排出される排気ガスの処理装置。
  2. 【請求項2】 排出物の処理に用いる吸収剤素材用の取
    り込み口(17)を少なくとも一つもち、該素材の粒径
    が0.1から100マイクロメーターである請求
    記載の処理装置
  3. 【請求項3】 該再生工程(9)の少なくとも一つから
    発生する排気の圧力を減じるための手段(30)が具備
    された、請求項1または2に記載の処理装置。
  4. 【請求項4】 該再生工程の少なくとも一つと処理室
    (15)との間に、該排出物を再加熱する手段(12)
    が具備された、請求項1、2または3のいずれか項に
    記載の処理装置。
  5. 【請求項5】 該熱回収ユニット(CR)が、排出物の
    流れる方向に関して処理室(15)の下流に位置する熱
    交換機(21)からなり、該熱交換機はきれいなヒュー
    ム用の少なくとも一つの第一の出口(26)と使用済み
    の吸収剤用の第二の出口(24)からなるダスト分離器
    (23)へ該処理室(15)向けにリサイクルしている
    使用済み吸収剤の一部を供給している、請求項1ないし
    4のいずれか項に記載の処理装置。
  6. 【請求項6】 該室(15)内へ噴射された吸収剤が再
    生不能の吸収剤である、請求項1ないし5のいずれか
    項に記載の処理装置。
  7. 【請求項7】 該吸収剤を再生する手段(50)をさら
    に含む請求項1ないし5のいずれか1項に記載の処理装
    置。
  8. 【請求項8】 該使用済み吸収剤を再生する手段(5
    0)が流動床タイプの吸収剤再生器(52)からなる、
    請求項7に記載の処理装置。
  9. 【請求項9】 該吸収剤を再生する手段が、さらに再生
    済み吸収剤粒子の取り出し口(58)からなり、該取り
    出し口(58)は再生可能の吸収剤用の処理室の該取り
    入れ口(17、18)と連通している、請求7または
    8に記載の処理装置。
  10. 【請求項10】 余剰空気の存在下で運転される第二の
    触媒再生工程(73)からさらになり、該第一工程(7
    0)が不十分な空気の存在下で運転される、請求項1な
    いし9のいずれか1項に記載の処理装置。
  11. 【請求項11】 第二再生工程(73)から発生する酸
    化ヒュームと該第一再生工程(70)から発生する還元
    ヒュームの供給を受ける、該処理室の上流に位置する燃
    焼室(78)からなる、請求項10に記載の処理装置。
  12. 【請求項12】 該熱回収ユニット(CR)が、燃焼室
    (78)と該処理室(15)の間に位置する熱交換器
    (90)からなり、該熱交換機(90)が第二再生工程
    から発生する酸化ヒュームの供給を受け、第一再生工程
    (70)から発生する還元ヒュームが該燃焼室(78)
    へ導入される、請求項10に記載の処理装置
  13. 【請求項13】 −熱回収ユニット(CR)へ粒径が
    0.1から100μmである吸収剤粒子と該排気を別個
    に導入し、 −該回収ユニットの一部である循環床タイプの処理室
    (15)レベルで排出物と吸収剤粒子とを接触させ、 −使用済み吸収剤の粒子と脱硫済みのヒュームとを分離
    する工程から主としてなるFCC接触分解装置の排気処
    理方法
  14. 【請求項14】 熱回収ユニット(CR)から発生する
    使用済み吸収剤の一部または全部を再生することをさら
    に含む、請求項13に記載の方法
  15. 【請求項15】 再生済み吸収剤素材を再び該処理室
    (15)へ導入することを含む、請求項14に記載の方
  16. 【請求項16】 再生済み吸収剤材料を該処理室(1
    5)へ導入する前に新しい吸収剤素材と混合することを
    含む、請求項15に記載の方法
  17. 【請求項17】 該接触分解炉が、不十分な空気の存在
    下で作動する工程(70)と余剰空気の存在下で作動す
    る工程(73)からなり、各工程で発生するヒュームが
    該処理室(15)の上流にある二つの異なる領域へ供給
    される、請求項13ないし16のいずれか1項に記載の
    方法
  18. 【請求項18】 処理が該排気を脱硫することからな
    る、請求項13ないし17のいずれか1項に記載の方
  19. 【請求項19】 処理が該排気を脱窒することからな
    る、請求項13ないし18項のいずれか1項に記載の方
  20. 【請求項20】 処理室(15)から発生するヒューム
    中の吸収剤平均濃度が5から300g/m3 の範囲であ
    る、請求項13ないし19のいずれか1項に記載の方
  21. 【請求項21】 前記吸収剤平均濃度が20から100
    g/m 3 の範囲である、請求項20に記載の方法。
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