JP3054497B2 - 部品装着装置 - Google Patents
部品装着装置Info
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- JP3054497B2 JP3054497B2 JP4175602A JP17560292A JP3054497B2 JP 3054497 B2 JP3054497 B2 JP 3054497B2 JP 4175602 A JP4175602 A JP 4175602A JP 17560292 A JP17560292 A JP 17560292A JP 3054497 B2 JP3054497 B2 JP 3054497B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は吸着保持した部品を移送
して、基板上の所定位置に自動的に装着する部品装着装
置に関する。
して、基板上の所定位置に自動的に装着する部品装着装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、部品装着装置において、吸着保持
された部品の保持位置や形状を認識して、基板上に精度
良く装着したり不具合の検出された部品を装着させない
ものが種々提案されている。例えば、特開平２−３３６
７０号公報の「電子部品の認識方法」では、吸着保持し
た電子部品に斜め下方から一定の傾斜角を持つスリット
光を照射する。この状態で電子部品とスリット光とを相
対移動させて、電子部品でのスリット像を下方からスキ
ャンし、このスリット像の変曲点を認識して電子部品の
形状及び保持位置を把握している。また、ＩＣ等のリー
ドについても同様にスリット像をスキャンし、リードの
浮きを検出可能としている。
された部品の保持位置や形状を認識して、基板上に精度
良く装着したり不具合の検出された部品を装着させない
ものが種々提案されている。例えば、特開平２−３３６
７０号公報の「電子部品の認識方法」では、吸着保持し
た電子部品に斜め下方から一定の傾斜角を持つスリット
光を照射する。この状態で電子部品とスリット光とを相
対移動させて、電子部品でのスリット像を下方からスキ
ャンし、このスリット像の変曲点を認識して電子部品の
形状及び保持位置を把握している。また、ＩＣ等のリー
ドについても同様にスリット像をスキャンし、リードの
浮きを検出可能としている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような認識方法で
は、部品の平面形状を認識して保持位置を把握し、かつ
スリット光に対して直交する方向に位置するリードの浮
きを精度良く検出できるものと考えられるが、スリット
光に対して平行な方向のリードの浮きに関しては、リー
ド裏面の表面状態がスリット光の反射像に影響して認識
精度が低下する。すなわち、水平面内の４方向にリード
を有するＱＦＰ型ＩＣ等のリード浮きを精度良く検出す
るには、認識ステーションにおいて、吸着ノズルを回転
させるかスリット光源を旋回させるかして、４方向の各
リードに対しスリット光を直交する方向から照射する必
要がある。
は、部品の平面形状を認識して保持位置を把握し、かつ
スリット光に対して直交する方向に位置するリードの浮
きを精度良く検出できるものと考えられるが、スリット
光に対して平行な方向のリードの浮きに関しては、リー
ド裏面の表面状態がスリット光の反射像に影響して認識
精度が低下する。すなわち、水平面内の４方向にリード
を有するＱＦＰ型ＩＣ等のリード浮きを精度良く検出す
るには、認識ステーションにおいて、吸着ノズルを回転
させるかスリット光源を旋回させるかして、４方向の各
リードに対しスリット光を直交する方向から照射する必
要がある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明では、吸着保持さ
れた部品を下方から撮像する撮像手段と、撮像手段の周
囲に有って吸着保持された部品を下方から照らし出す照
明手段と、吸着保持された部品に向かい、水平面内で直
交する２方向のスリット光を斜め下方から照射する一対
のスリット光源と、照明手段と各スリット光源からの照
射光のどちらか一方を選択する照明切換手段をＸＹテー
ブル上に設置する。前記ＸＹテーブルを移動させて撮像
手段及び各スリット光源を部品の大きさに対応した位置
に保持すると共に前記照明切換手段を制御し、部品の保
持状態を照明手段による反射光画像で認識し、部品の形
状（特にリード形状）を一対のスリット光源による反射
光画像で認識する。両認識結果に基づき、部品形状認識
時のＸＹテーブルの位置補正と部品の装着動作を制御す
る。
れた部品を下方から撮像する撮像手段と、撮像手段の周
囲に有って吸着保持された部品を下方から照らし出す照
明手段と、吸着保持された部品に向かい、水平面内で直
交する２方向のスリット光を斜め下方から照射する一対
のスリット光源と、照明手段と各スリット光源からの照
射光のどちらか一方を選択する照明切換手段をＸＹテー
ブル上に設置する。前記ＸＹテーブルを移動させて撮像
手段及び各スリット光源を部品の大きさに対応した位置
に保持すると共に前記照明切換手段を制御し、部品の保
持状態を照明手段による反射光画像で認識し、部品の形
状（特にリード形状）を一対のスリット光源による反射
光画像で認識する。両認識結果に基づき、部品形状認識
時のＸＹテーブルの位置補正と部品の装着動作を制御す
る。
【０００５】
【作用】吸着保持されたＱＦＰ型ＩＣが認識ステーショ
ンに移送されて来ると、まず部品全体の反射光画像を取
り込んで保持位置を認識し、その認識結果に基づいてス
リット光照射位置が補正される。スリット光は水平面内
の４方向に突出する各リードそれぞれに水平面内で直交
するように照射され、その反射光画像を取り込んで部品
リードの浮き状態を認識する。両認識結果に基き、部品
の装着位置を補正したり、リード浮きの検出された部品
を装着せずに廃棄したりする。
ンに移送されて来ると、まず部品全体の反射光画像を取
り込んで保持位置を認識し、その認識結果に基づいてス
リット光照射位置が補正される。スリット光は水平面内
の４方向に突出する各リードそれぞれに水平面内で直交
するように照射され、その反射光画像を取り込んで部品
リードの浮き状態を認識する。両認識結果に基き、部品
の装着位置を補正したり、リード浮きの検出された部品
を装着せずに廃棄したりする。
【０００６】
【実施例】本発明部品装着装置の一実施例について図に
基づいて説明する。図１は本実施例における部品装着装
置の主要な構成を示す概略平面図である。部品装着装置
１は、駆動軸２１を回転中心として間欠回転するインデ
ックステーブルの周縁に、等間隔に設けた複数個の部品
装着ヘッド２３からなるロータリーヘッド部２と、部品
装着ヘッド２３に部品を供給する部品供給部３、部品装
着ヘッド２３が部品を装着すべき基板Ｐを水平移動可能
に支持するＸＹテーブル部４、ＸＹテーブル部４に基板
Ｐを送り込むローダ５、ＸＹテーブル部４から基板Ｐを
受け取り次工程に送り出すアンローダ６で構成されてい
る。部品供給部３は、図中左右に水平移動する部品搭載
テーブル３０と、この上に整列載置された複数個の部品
供給カセット３１からなる。そして、部品装着ヘッド２
３が部品供給部３の部品を吸着保持し、ＸＹテーブル部
４上の基板Ｐに装着する間のいずれかの間欠停止位置
（以下ステーションと云う）に、部品を下方から撮像す
る撮像ユニット７を設ける。
基づいて説明する。図１は本実施例における部品装着装
置の主要な構成を示す概略平面図である。部品装着装置
１は、駆動軸２１を回転中心として間欠回転するインデ
ックステーブルの周縁に、等間隔に設けた複数個の部品
装着ヘッド２３からなるロータリーヘッド部２と、部品
装着ヘッド２３に部品を供給する部品供給部３、部品装
着ヘッド２３が部品を装着すべき基板Ｐを水平移動可能
に支持するＸＹテーブル部４、ＸＹテーブル部４に基板
Ｐを送り込むローダ５、ＸＹテーブル部４から基板Ｐを
受け取り次工程に送り出すアンローダ６で構成されてい
る。部品供給部３は、図中左右に水平移動する部品搭載
テーブル３０と、この上に整列載置された複数個の部品
供給カセット３１からなる。そして、部品装着ヘッド２
３が部品供給部３の部品を吸着保持し、ＸＹテーブル部
４上の基板Ｐに装着する間のいずれかの間欠停止位置
（以下ステーションと云う）に、部品を下方から撮像す
る撮像ユニット７を設ける。
【０００７】本発明の主旨である撮像ユニット７の構成
について詳述する。図２は撮像ユニット７の概略正面
図、図３はその平面図であり、撮像ユニット７は、ＸＹ
テーブル７０上に配置されたカメラ７１、照明部７２、
シャッタ７３、スリット光源７４、７５からなってい
る。ＸＹテーブル７０は本実施例では図１に示すよう
に、ステーションＣの真下にカメラ７１を位置させるべ
く配置している。カメラ７１はＸＹテーブル７０上に垂
直姿勢で固定し、上端部のレンズの周囲に部品Ｑの裏面
を照らすリング状の照明部７２を設ける。７３は照明部
７２の直上に設け、その照射光を遮ったり通過させたり
するシャッタで、照明部７２を被うことのできる一対の
半リング状の板材を、図示しない一対の往動機構で水平
移動させることによりシャッタ動作を行う。すなわち、
照射光を遮る場合には図３のように両板材を接近当接さ
せ、照射光を通過させる場合には図４のように両板材を
遠ざけ、照明部上方空間から両板材を退避させる。
について詳述する。図２は撮像ユニット７の概略正面
図、図３はその平面図であり、撮像ユニット７は、ＸＹ
テーブル７０上に配置されたカメラ７１、照明部７２、
シャッタ７３、スリット光源７４、７５からなってい
る。ＸＹテーブル７０は本実施例では図１に示すよう
に、ステーションＣの真下にカメラ７１を位置させるべ
く配置している。カメラ７１はＸＹテーブル７０上に垂
直姿勢で固定し、上端部のレンズの周囲に部品Ｑの裏面
を照らすリング状の照明部７２を設ける。７３は照明部
７２の直上に設け、その照射光を遮ったり通過させたり
するシャッタで、照明部７２を被うことのできる一対の
半リング状の板材を、図示しない一対の往動機構で水平
移動させることによりシャッタ動作を行う。すなわち、
照射光を遮る場合には図３のように両板材を接近当接さ
せ、照射光を通過させる場合には図４のように両板材を
遠ざけ、照明部上方空間から両板材を退避させる。
【０００８】スリット光源７４、７５は、図３のように
カメラ７１の撮像中心に向かい、水平面内で直交する２
方向にそれぞれ位置させ、図２のように支持ブロック７
４１ないし７５１によって一定の傾斜角度に固定されて
いる。各スリット光はこの傾斜角度で斜め上方に照射さ
れるが、それぞれの上端部に取り付けたシャッタ部７４
２ないし７５２によって、所望のタイミングで各スリッ
ト光は遮光あるいは投光される。
カメラ７１の撮像中心に向かい、水平面内で直交する２
方向にそれぞれ位置させ、図２のように支持ブロック７
４１ないし７５１によって一定の傾斜角度に固定されて
いる。各スリット光はこの傾斜角度で斜め上方に照射さ
れるが、それぞれの上端部に取り付けたシャッタ部７４
２ないし７５２によって、所望のタイミングで各スリッ
ト光は遮光あるいは投光される。
【０００９】８はＸＹテーブル７０を駆動させて、カメ
ラ７１をステーションＣの真下に移動させたり、部品装
着ヘッドに吸着保持された部品Ｑの大きさに対応する位
置にスリット光源を移動させたりする制御部である。ま
た、制御部８は、シャッタ７３と各スリット光源用シャ
ッタ部７４２、７５２を駆動させる照明切換制御部８１
を内蔵しており、カメラ７１が取り込む画像の種類によ
って、照明部７２若しくは各スリット光源７４、７５か
らの照射光のいずれか一方を、部品Ｑに照射させる。９
はカメラ７１が取り込む画像を認識する画像認識部であ
り、ステーションＣ位置に移送された部品Ｑの照明部７
２による反射光画像で部品Ｑの保持状態を認識し、同じ
く部品Ｑの各スリット光源７４、７５による反射光画像
で部品Ｑのリード形状を認識する。さらに、制御部８
は、画像認識部９の認識結果に基づいて、ＸＹテーブル
７０ないしＸＹテーブル部４の移動停止位置を補正した
り、リード浮きの検出された部品を装着せずにステーシ
ョンＩで吸着を解除して廃棄させるなど、装着動作も制
御するものである。
ラ７１をステーションＣの真下に移動させたり、部品装
着ヘッドに吸着保持された部品Ｑの大きさに対応する位
置にスリット光源を移動させたりする制御部である。ま
た、制御部８は、シャッタ７３と各スリット光源用シャ
ッタ部７４２、７５２を駆動させる照明切換制御部８１
を内蔵しており、カメラ７１が取り込む画像の種類によ
って、照明部７２若しくは各スリット光源７４、７５か
らの照射光のいずれか一方を、部品Ｑに照射させる。９
はカメラ７１が取り込む画像を認識する画像認識部であ
り、ステーションＣ位置に移送された部品Ｑの照明部７
２による反射光画像で部品Ｑの保持状態を認識し、同じ
く部品Ｑの各スリット光源７４、７５による反射光画像
で部品Ｑのリード形状を認識する。さらに、制御部８
は、画像認識部９の認識結果に基づいて、ＸＹテーブル
７０ないしＸＹテーブル部４の移動停止位置を補正した
り、リード浮きの検出された部品を装着せずにステーシ
ョンＩで吸着を解除して廃棄させるなど、装着動作も制
御するものである。
【００１０】本実施例の動作について図に基づいて説明
する。制御部８は、ロータリーヘッド部２のステーショ
ンＡに位置する部品装着ヘッド２３に、所定の部品供給
カセット３１から部品Ｑを吸着して取り上げさせ、吸着
保持したままインデックステーブル２２を間欠回転させ
てステーションＣに部品Ｑを移送させる。部品Ｑがステ
ーションＣに到達する前に制御部８は、ＸＹテーブル７
０を、ステーションＣの部品装着ヘッド２３の真下にカ
メラ７１が位置するように移動させる。
する。制御部８は、ロータリーヘッド部２のステーショ
ンＡに位置する部品装着ヘッド２３に、所定の部品供給
カセット３１から部品Ｑを吸着して取り上げさせ、吸着
保持したままインデックステーブル２２を間欠回転させ
てステーションＣに部品Ｑを移送させる。部品Ｑがステ
ーションＣに到達する前に制御部８は、ＸＹテーブル７
０を、ステーションＣの部品装着ヘッド２３の真下にカ
メラ７１が位置するように移動させる。
【００１１】制御部８は、照明切換制御部８１に指令し
て、まず、スリット光源用シャッタ部７４２、７５２を
駆動させ、スリット光源７４、７５のスリット光照射を
遮り、同時に図示しない往動機構を駆動させて照明部７
２の上方空間からシャッタ７３を取り除く（図４）。こ
うして、照明部７２からの照射光のみが部品Ｑの裏面を
照らすことになり、カメラ７１は、図５の上側に示すよ
うな部品リードの反射光画像を取り込む。この反射光画
像が画像認識部９に入力され、画像認識部９は、例えば
特開昭６２−８６７８９号公報にあるような公知の手法
によって部品の保持位置を認識し、部品Ｑがあるべき位
置からの位置ずれ量を算出する。この算出結果は制御部
８に伝達される。
て、まず、スリット光源用シャッタ部７４２、７５２を
駆動させ、スリット光源７４、７５のスリット光照射を
遮り、同時に図示しない往動機構を駆動させて照明部７
２の上方空間からシャッタ７３を取り除く（図４）。こ
うして、照明部７２からの照射光のみが部品Ｑの裏面を
照らすことになり、カメラ７１は、図５の上側に示すよ
うな部品リードの反射光画像を取り込む。この反射光画
像が画像認識部９に入力され、画像認識部９は、例えば
特開昭６２−８６７８９号公報にあるような公知の手法
によって部品の保持位置を認識し、部品Ｑがあるべき位
置からの位置ずれ量を算出する。この算出結果は制御部
８に伝達される。
【００１２】次に、制御部８は、照明切換制御部に指令
してスリット光源用シャッタ部７４２、７５２の駆動を
解除させ、スリット光源７４、７５のスリット光を部品
Ｑに向かって照射させ、同時に図示しない往動機構を駆
動させて照明部７２の上方空間にシャッタ７３を位置さ
せる（図３）。この時、制御部８は、部品Ｑのリード裏
面の所定位置に両スリット光が照射されるように、前述
の吸着保持された位置ずれ量を補正してＸＹテーブル７
０を移動させる。こうして、スリット光源７４、７５か
らのスリット光のみがリードの所定位置を照らすことに
なり、カメラ７１は、図５の下側に示すようなスリット
光の反射光画像を取り込む。この反射光画像が画像認識
部９に入力され、画像認識部９は、個々のスリット光反
射画像の位置を認識し、部品Ｑの片側２辺のリード浮き
量を算出する。
してスリット光源用シャッタ部７４２、７５２の駆動を
解除させ、スリット光源７４、７５のスリット光を部品
Ｑに向かって照射させ、同時に図示しない往動機構を駆
動させて照明部７２の上方空間にシャッタ７３を位置さ
せる（図３）。この時、制御部８は、部品Ｑのリード裏
面の所定位置に両スリット光が照射されるように、前述
の吸着保持された位置ずれ量を補正してＸＹテーブル７
０を移動させる。こうして、スリット光源７４、７５か
らのスリット光のみがリードの所定位置を照らすことに
なり、カメラ７１は、図５の下側に示すようなスリット
光の反射光画像を取り込む。この反射光画像が画像認識
部９に入力され、画像認識部９は、個々のスリット光反
射画像の位置を認識し、部品Ｑの片側２辺のリード浮き
量を算出する。
【００１３】さらに制御部８は、図３に示す隣り合う２
辺から突出するリードの画像取り込みが終了した後、部
品装着ヘッド２３を前述の吸着保持された位置ずれ量を
補正して１８０°回転させる。そして、前述の２辺と対
向する２辺から突出するリードについても両スリット光
が所定位置に照射されるように、同じく吸着保持された
位置ずれ量を補正してＸＹテーブル７０を移動させてス
リット光の反射光画像を取り込ませる。前述と同様に画
像認識部９が個々のスリット光反射画像の位置を認識
し、部品Ｑのもう一方の片側２辺のリード浮き量を算出
して、４辺についての算出結果を制御部８に伝達する。
すなわち、図６に示すように、正常なリードＲ1より浮
き上がったリードＲ2が存在する場合、これから反射さ
れるスリット光は、正常なものより図で云う左方向にず
れた画像として取り込まれるため、この変位量ｈをリー
ド浮き量として判断指標にしている。
辺から突出するリードの画像取り込みが終了した後、部
品装着ヘッド２３を前述の吸着保持された位置ずれ量を
補正して１８０°回転させる。そして、前述の２辺と対
向する２辺から突出するリードについても両スリット光
が所定位置に照射されるように、同じく吸着保持された
位置ずれ量を補正してＸＹテーブル７０を移動させてス
リット光の反射光画像を取り込ませる。前述と同様に画
像認識部９が個々のスリット光反射画像の位置を認識
し、部品Ｑのもう一方の片側２辺のリード浮き量を算出
して、４辺についての算出結果を制御部８に伝達する。
すなわち、図６に示すように、正常なリードＲ1より浮
き上がったリードＲ2が存在する場合、これから反射さ
れるスリット光は、正常なものより図で云う左方向にず
れた画像として取り込まれるため、この変位量ｈをリー
ド浮き量として判断指標にしている。
【００１４】制御部８は、画像認識手段９から受け取っ
た部品Ｑに関するリード浮き量ｈと、あらかじめ自身が
記憶している部品Ｑに関するリード浮き許容量とを比較
し、許容範囲内に収まっている場合には、画像認識手段
９から受け取った部品Ｑの保持位置に関する位置ずれ量
を補正して、基板Ｐの所定位置上に正確に部品Ｑを位置
させるべく、ＸＹテーブル部４を移動させる。そして、
制御部８は、部品装着ヘッド２３を基板Ｐ上に降下さ
せ、部品Ｑの吸着を開放して装着する。許容範囲内に収
まっていない場合には、ＸＹテーブル部４を移動させる
ことなく、当該部品Ｑを部品廃棄ステーションＩまで移
送し、ここで吸着開放して図示しない受け箱に部品Ｑを
投下する。
た部品Ｑに関するリード浮き量ｈと、あらかじめ自身が
記憶している部品Ｑに関するリード浮き許容量とを比較
し、許容範囲内に収まっている場合には、画像認識手段
９から受け取った部品Ｑの保持位置に関する位置ずれ量
を補正して、基板Ｐの所定位置上に正確に部品Ｑを位置
させるべく、ＸＹテーブル部４を移動させる。そして、
制御部８は、部品装着ヘッド２３を基板Ｐ上に降下さ
せ、部品Ｑの吸着を開放して装着する。許容範囲内に収
まっていない場合には、ＸＹテーブル部４を移動させる
ことなく、当該部品Ｑを部品廃棄ステーションＩまで移
送し、ここで吸着開放して図示しない受け箱に部品Ｑを
投下する。
【００１５】本実施例ではカメラ７１の撮像視野内に部
品Ｑが入る場合について述べたが、撮像視野内に入らな
い大きな部品の場合には、部品装着ヘッド２３を９０°
づつ回転させて、部品を４分割する形で画像取り込みを
行えばよい。
品Ｑが入る場合について述べたが、撮像視野内に入らな
い大きな部品の場合には、部品装着ヘッド２３を９０°
づつ回転させて、部品を４分割する形で画像取り込みを
行えばよい。
【００１６】
【発明の効果】このように、一つの作業ステーション
で、部品の全体像とスリット光の反射画像とを順次取り
込むため撮像手段を共用できる。また、４方向に突出し
た部品リード各々に水平面内で直交してスリット光が照
射されるため、リード浮きが精度良く検出できる。さら
に、スリット光源がＸＹテーブル上に配置されており、
部品の吸着保持状態に対応してスリット光源を位置調整
し常にリードの所定位置にスリット光を照射するため、
リード浮き量の判定精度が向上する。
で、部品の全体像とスリット光の反射画像とを順次取り
込むため撮像手段を共用できる。また、４方向に突出し
た部品リード各々に水平面内で直交してスリット光が照
射されるため、リード浮きが精度良く検出できる。さら
に、スリット光源がＸＹテーブル上に配置されており、
部品の吸着保持状態に対応してスリット光源を位置調整
し常にリードの所定位置にスリット光を照射するため、
リード浮き量の判定精度が向上する。
【図１】本発明の一実施例における部品装着装置の主要
な構成を示す概略平面図である。
な構成を示す概略平面図である。
【図２】本実施例における撮像ユニットの概略正面図で
ある。
ある。
【図３】本実施例における撮像ユニットの概略平面図で
ある。
ある。
【図４】本実施例における撮像ユニットの異なる動作状
態を示す概略平面図である。
態を示す概略平面図である。
【図５】本実施例における撮像手段が取り込む部品画像
の説明図である。
の説明図である。
【図６】本実施例におけるリード浮き検出を説明する要
部側面図である。
部側面図である。
１ 部品装着装置 ２ ロータリーヘッド部 ２３ 部品装着ヘッド ３ 部品供給部 ４ ＸＹテーブル部 ７ 撮像ユニット ７０ ＸＹテーブル ７１ カメラ ７２ 照明部 ７３ シャッタ ７４，７５ スリット光源 ８ 制御部 ８１ 照明切換制御部 ９ 画像認識部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H05K 13/08 H05K 13/04
Claims (1)
- 【請求項１】 吸着保持した部品を移送して基板上の所
定位置に装着する間に、部品の形状と保持状態を画像認
識し、認識結果に基づき装着動作を制御する、下記の構
成を有した部品装着装置。吸着保持された部品を下方か
ら撮像する撮像手段。前記撮像手段の周囲に有って、吸
着保持された部品を下方から照らし出す照明手段。前記
の吸着保持された部品に向かい、水平面内で直交する２
方向のスリット光を、斜め下方から照射する一対のスリ
ット光源、 前記照明手段から発せられる照射光と一対のスリット光
源から発せられる照射光の、どちらか一方を選択する照
明切換手段。前記撮像手段、照明手段、スリット光源、
照明切換手段を自身の所定の位置に配置し、これらを水
平移動させるＸＹテーブル。前記部品の保持状態を前記
照明手段による反射光画像で認識し、前記部品の形状を
前記一対のスリット光源による反射光画像で認識する画
像認識手段。前記ＸＹテーブルを移動させて撮像手段及
びスリット光源を部品の大きさに対応した位置に保持す
ると共に前記照明切換手段を制御し、かつ前記画像認識
手段の認識結果に基づき、前記ＸＹテーブルの位置補正
と部品の装着動作を制御する制御手段。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4175602A JP3054497B2 (ja) | 1992-07-02 | 1992-07-02 | 部品装着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4175602A JP3054497B2 (ja) | 1992-07-02 | 1992-07-02 | 部品装着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0621694A JPH0621694A (ja) | 1994-01-28 |
| JP3054497B2 true JP3054497B2 (ja) | 2000-06-19 |
Family
ID=15998964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4175602A Expired - Fee Related JP3054497B2 (ja) | 1992-07-02 | 1992-07-02 | 部品装着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3054497B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09210652A (ja) * | 1996-02-02 | 1997-08-12 | Komatsu Ltd | Ｉｃパッケージのリード検査装置 |
-
1992
- 1992-07-02 JP JP4175602A patent/JP3054497B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH0621694A (ja) | 1994-01-28 |
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