JP3034583B2 - プローブ移動式回路基板検査装置用検査順設定装置 - Google Patents
プローブ移動式回路基板検査装置用検査順設定装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はプローブを移動するＸ−Ｙユニットを備えた
インサーキットテスタ等のプローブ移動式回路基板検査
装置用検査順設定装置に関する。
インサーキットテスタ等のプローブ移動式回路基板検査
装置用検査順設定装置に関する。
従来の技術 従来、実装基板即ち多数の電気部品を半田付けしたプ
リント基板には各種の回路基板検査装置を用いて、その
基板の必要な測定点に適宜プローブを接触させ、それ等
の各部品の電気的測定により基板の良否を判定してい
る。特に、被検査基板を設置する測定用テーブル上にサ
ーボモータ等により駆動されるＸ−Ｙユニットを設置し
たものは、その案内レールに沿って可動するアームの可
動部でプローブを支持しているので、そのＸ−Ｙユニッ
トを制御すると、プローブを基板の上方からＸ軸、Ｙ
軸、Ｚ軸方向にそれぞれ適宜移動して、予め設定された
各測定点に順次接触できるため専用の治具を必要とせ
ず、多品種生産に好都合である。
リント基板には各種の回路基板検査装置を用いて、その
基板の必要な測定点に適宜プローブを接触させ、それ等
の各部品の電気的測定により基板の良否を判定してい
る。特に、被検査基板を設置する測定用テーブル上にサ
ーボモータ等により駆動されるＸ−Ｙユニットを設置し
たものは、その案内レールに沿って可動するアームの可
動部でプローブを支持しているので、そのＸ−Ｙユニッ
トを制御すると、プローブを基板の上方からＸ軸、Ｙ
軸、Ｚ軸方向にそれぞれ適宜移動して、予め設定された
各測定点に順次接触できるため専用の治具を必要とせ
ず、多品種生産に好都合である。
尤も、そのためには前もって被検査基板の各測定点の
Ｘ−Ｙ座標データをそれぞれ検知しておかなければなら
ない。そこで、一般にはＸ−Ｙユニットのプローブをマ
ニュアル操作するティーチングにより、又は座標読取装
置であるデジタイザを用い、或いはCADデータを用いて
各測定点のＸ−Ｙ座標データを得ている。又、被検査基
板１枚当りの検査時間を短縮するように、プローブを接
触させる各測定点の検査順番を設定しなければならな
い。何故なら、１枚当りの部品数が多くなり、1000個程
になると、検査時間の大半がプローブの移動に費される
からである。
Ｘ−Ｙ座標データをそれぞれ検知しておかなければなら
ない。そこで、一般にはＸ−Ｙユニットのプローブをマ
ニュアル操作するティーチングにより、又は座標読取装
置であるデジタイザを用い、或いはCADデータを用いて
各測定点のＸ−Ｙ座標データを得ている。又、被検査基
板１枚当りの検査時間を短縮するように、プローブを接
触させる各測定点の検査順番を設定しなければならな
い。何故なら、１枚当りの部品数が多くなり、1000個程
になると、検査時間の大半がプローブの移動に費される
からである。
発明が解決しようとする課題 しかしながら、このような検査順番の設定を行う際、
最短距離の移動で済むようにしようとしても、一般に最
短経路問題は計算に莫大な時間がかかることが明らかで
ある。しかも、プローブ移動式の回路基板検査装置では
１部品毎に複数点を同時に測定しなければならない。例
えば、第13図に示された被検査基板の回路において、部
品R1の抵抗測定を行なう時には、各点O1、O2と部品R1間
にそれぞれプローブを接触させ、点O1側を高電位側の測
定点、点O2側をアース側の測定点にするが、余分な電流
を測定回路につながる点O2側のプローブに流さないよう
にするため、必要に応じ点O3をガーディングポイントに
指定し、そこにアース電位のプローブを接触する。な
お、ガーディングポイントは多ければ多いほどよい。こ
のため、一層計算が複雑となって検査順番の設定に時間
がかかり過ぎ、例え検査時間が短縮されても意味がなく
なる。
最短距離の移動で済むようにしようとしても、一般に最
短経路問題は計算に莫大な時間がかかることが明らかで
ある。しかも、プローブ移動式の回路基板検査装置では
１部品毎に複数点を同時に測定しなければならない。例
えば、第13図に示された被検査基板の回路において、部
品R1の抵抗測定を行なう時には、各点O1、O2と部品R1間
にそれぞれプローブを接触させ、点O1側を高電位側の測
定点、点O2側をアース側の測定点にするが、余分な電流
を測定回路につながる点O2側のプローブに流さないよう
にするため、必要に応じ点O3をガーディングポイントに
指定し、そこにアース電位のプローブを接触する。な
お、ガーディングポイントは多ければ多いほどよい。こ
のため、一層計算が複雑となって検査順番の設定に時間
がかかり過ぎ、例え検査時間が短縮されても意味がなく
なる。
本発明はこのような従来の問題点に着目してなされた
ものであり、検査時間の短縮化と検査順設定時間自体の
短縮化を共に考慮することにより、多品種少量生産の回
路基板の検査にも好適なプローブ移動式回路基板検査装
置用検査順設定装置を提供することを目的とする。
ものであり、検査時間の短縮化と検査順設定時間自体の
短縮化を共に考慮することにより、多品種少量生産の回
路基板の検査にも好適なプローブ移動式回路基板検査装
置用検査順設定装置を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段 上記目的を達成するための手段は、以下本発明を明示
する第１図、第２図を用いて説明する。
する第１図、第２図を用いて説明する。
このプローブ移動式回路基板検査装置用検査順設定装
置は被検査基板上に存在する測定点の各Ｘ−Ｙ座標デー
タをメモリ36に書き込み、各部品毎に対応する複数の測
定点を１ステップとしてそれぞれグループ化し、検査時
に回路基板検査装置10に備えた複数のＸ−Ｙユニットの
各プローブが移動するステップの順番を設定するものに
係る。
置は被検査基板上に存在する測定点の各Ｘ−Ｙ座標デー
タをメモリ36に書き込み、各部品毎に対応する複数の測
定点を１ステップとしてそれぞれグループ化し、検査時
に回路基板検査装置10に備えた複数のＸ−Ｙユニットの
各プローブが移動するステップの順番を設定するものに
係る。
そして、上記被検査基板の全ステップ中からプローブ
移動の起点になる検査第１番のステップを決定する検査
第１ステップ決定手段42と、新規に検査順番が定まった
ステップを基準ステップとし、その基準ステップと既に
検査順番が定まっているステップを除く他の各探査ステ
ップとの間で、各探査ステップ毎に基準ステップの複数
の測定点と探査ステップの複数の測定点とで、座標位置
が対応する両測定点毎に両測定点間のＸ軸成分データ、
Ｙ軸成分データで示される各距離をそれぞれ算出し、各
探査ステップ毎に最大の軸成分データで示された距離を
求めて、それ等の距離を比較し、その最長距離が最短の
探査ステップを次の検査順番に決定する最近ステップ検
出手段44と、それ等の各手段42、44により、検査順番未
確定のステップがなくなるまで順次検査順番を決定さ
せ、各ステップの検査順番をメモリ36に書き込む検査順
設定制御手段46とを備えるものである。
移動の起点になる検査第１番のステップを決定する検査
第１ステップ決定手段42と、新規に検査順番が定まった
ステップを基準ステップとし、その基準ステップと既に
検査順番が定まっているステップを除く他の各探査ステ
ップとの間で、各探査ステップ毎に基準ステップの複数
の測定点と探査ステップの複数の測定点とで、座標位置
が対応する両測定点毎に両測定点間のＸ軸成分データ、
Ｙ軸成分データで示される各距離をそれぞれ算出し、各
探査ステップ毎に最大の軸成分データで示された距離を
求めて、それ等の距離を比較し、その最長距離が最短の
探査ステップを次の検査順番に決定する最近ステップ検
出手段44と、それ等の各手段42、44により、検査順番未
確定のステップがなくなるまで順次検査順番を決定さ
せ、各ステップの検査順番をメモリ36に書き込む検査順
設定制御手段46とを備えるものである。
又は、上記被検査基板の各ステップ毎に、１ステップ
に属する複数の測定点の各Ｘ−Ｙ座標データから各Ｘ座
標データ、各Ｙ座標データに付き、それぞれ算術平均デ
ータを算出して、複数の測定点を代表する点のＸ−Ｙ座
標データを求めるステップ代表座標検出手段48と、被検
査基板の全ステップ中からプローブ移動の起点になる検
査第１番のステップを決定する検査第１ステップ決定手
段50と、新規に検査順番が定まったステップを基準ステ
ップとし、その基準ステップと既に検査順番が定まって
いるステップを除く他の各探査ステップとの間で、各探
査ステップ毎に基準ステップの代表点と探査ステップの
代表点との間の直線距離をそれぞれ算出し、それ等の距
離を比較して、基準ステップから最短距離にある探査ス
テップを次の検査順番に決定する最近ステップ検出手段
52と、それ等の後方２手段50、52により、検査順番未確
定のステップがなくなるまで順次検査順番を決定させ、
各ステップの検査順番をメモリ36に書き込む検査順設定
制御手段54とを備えるものである。
に属する複数の測定点の各Ｘ−Ｙ座標データから各Ｘ座
標データ、各Ｙ座標データに付き、それぞれ算術平均デ
ータを算出して、複数の測定点を代表する点のＸ−Ｙ座
標データを求めるステップ代表座標検出手段48と、被検
査基板の全ステップ中からプローブ移動の起点になる検
査第１番のステップを決定する検査第１ステップ決定手
段50と、新規に検査順番が定まったステップを基準ステ
ップとし、その基準ステップと既に検査順番が定まって
いるステップを除く他の各探査ステップとの間で、各探
査ステップ毎に基準ステップの代表点と探査ステップの
代表点との間の直線距離をそれぞれ算出し、それ等の距
離を比較して、基準ステップから最短距離にある探査ス
テップを次の検査順番に決定する最近ステップ検出手段
52と、それ等の後方２手段50、52により、検査順番未確
定のステップがなくなるまで順次検査順番を決定させ、
各ステップの検査順番をメモリ36に書き込む検査順設定
制御手段54とを備えるものである。
作用 上記のように構成し、被検査基板上の各部品毎に対応
する複数の測定点を１ステップとしてそれぞれグループ
化した後、検査第１ステップ決定手段42で、プローブ移
動の起点になる検査第１番のステップを決定し、最近ス
テップ検出手段44で、新規に検査順番が定まったステッ
プを基準ステップとし、その基準ステップと既に検査順
番が定まっているステップを除く他の各探査ステップと
の間で、各探査ステップ毎に最大の軸成分データで示さ
れた距離を求めて、その最長距離が最短の探査ステップ
を次の検査順番に決定する。そこで、検査順設定制御手
段46により、検査順番未確定のステップがなくなるま
で、次から次へと最も近い距離にあるステップを求め
て、順次検査順番を決定させ、各ステップの検査順番を
メモリ36に書き込んで行くと、検査順番が設定できる。
する複数の測定点を１ステップとしてそれぞれグループ
化した後、検査第１ステップ決定手段42で、プローブ移
動の起点になる検査第１番のステップを決定し、最近ス
テップ検出手段44で、新規に検査順番が定まったステッ
プを基準ステップとし、その基準ステップと既に検査順
番が定まっているステップを除く他の各探査ステップと
の間で、各探査ステップ毎に最大の軸成分データで示さ
れた距離を求めて、その最長距離が最短の探査ステップ
を次の検査順番に決定する。そこで、検査順設定制御手
段46により、検査順番未確定のステップがなくなるま
で、次から次へと最も近い距離にあるステップを求め
て、順次検査順番を決定させ、各ステップの検査順番を
メモリ36に書き込んで行くと、検査順番が設定できる。
又、ステップ代表座標検出手段48で、被検査基板の各
ステップ毎に複数の測定点を代表する点のＸ−Ｙ座標デ
ータを求め、検査第１ステップ決定手段50でプローブ移
動の起点となる検査第１番のステップを決定し、最近ス
テップ検出手段52で、新規に検査順番が定まったステッ
プを基準ステップとし、その基準ステップの代表点と既
に検査順番が定まっているステップを除く他の各探査ス
テップの代表点との間で、各探査ステップ毎に直線距離
を求めて、その最短距離にある探査ステップを次の検査
順番に決定する。そこで、検査順設定制御手段54によ
り、検査順番未確定のステップがなくなるまで、次から
次へと最も近い距離にあるステップを求めて、順次検査
順番を決定させ、各ステップの検査順番をメモリ36に書
き込んで行くと、検査順番が設定できる。
ステップ毎に複数の測定点を代表する点のＸ−Ｙ座標デ
ータを求め、検査第１ステップ決定手段50でプローブ移
動の起点となる検査第１番のステップを決定し、最近ス
テップ検出手段52で、新規に検査順番が定まったステッ
プを基準ステップとし、その基準ステップの代表点と既
に検査順番が定まっているステップを除く他の各探査ス
テップの代表点との間で、各探査ステップ毎に直線距離
を求めて、その最短距離にある探査ステップを次の検査
順番に決定する。そこで、検査順設定制御手段54によ
り、検査順番未確定のステップがなくなるまで、次から
次へと最も近い距離にあるステップを求めて、順次検査
順番を決定させ、各ステップの検査順番をメモリ36に書
き込んで行くと、検査順番が設定できる。
実施例 以下、添付図面に基づいて、本発明の実施例を説明す
る。
る。
第３図は本発明を適用したプローブ移動式インサーキ
ットテスタの構成を示すブロック図である。図中、10は
インサーキットテスタ、12、14、16はその測定用テーブ
ル上にそれぞれ設置した３組の各Ｘ−Ｙユニットに備え
付けた第１、第２、第３のプローブである。これ等のプ
ローブ12、14、16はいずれもスキャナ18を介して、適宜
電圧、電流等の信号源20、測定回路22、及びアース24に
接続可能となっている。又、26はＸ−Ｙ−Ｚ駆動回路、
28は入出力機器である。このＸ−Ｙ−Ｚ駆動回路26は３
組のＸ−Ｙユニットに、それぞれ備えたサーボモータ等
を駆動し、各プローブ12、14、16をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方
向等にそれぞれ測定テーブル上で適宜移動する。入出力
機器28はキーボード、表示装置、プリンタ、フロッピー
ディスクドライバ等からなる。
ットテスタの構成を示すブロック図である。図中、10は
インサーキットテスタ、12、14、16はその測定用テーブ
ル上にそれぞれ設置した３組の各Ｘ−Ｙユニットに備え
付けた第１、第２、第３のプローブである。これ等のプ
ローブ12、14、16はいずれもスキャナ18を介して、適宜
電圧、電流等の信号源20、測定回路22、及びアース24に
接続可能となっている。又、26はＸ−Ｙ−Ｚ駆動回路、
28は入出力機器である。このＸ−Ｙ−Ｚ駆動回路26は３
組のＸ−Ｙユニットに、それぞれ備えたサーボモータ等
を駆動し、各プローブ12、14、16をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方
向等にそれぞれ測定テーブル上で適宜移動する。入出力
機器28はキーボード、表示装置、プリンタ、フロッピー
ディスクドライバ等からなる。
これ等のスキャナ18、信号源20、測定回路22、Ｘ−Ｙ
−Ｚ駆動回路26、入出力機器28はCPUを備えたコントロ
ーラ30によって、それぞれ制御する。コントローラ30は
例えば第４図に示すようなマイクロンコンピュータであ
り、CPU（中央処理装置）32、ROM（読み出し専用メモ
リ）34、RAM（読み出し書き込み可能メモリ）36、入出
力ポート38、バスライン40等から構成されている。CPU3
2はマイクロコンピュータの中心となる頭脳部に相当
し、プログラムの命令に従って全体に対する制御を実行
すると共に、算術、論理演算を行ない、その結果も一時
的に記憶する。又、周辺装置に対しても適宜制御を行な
っている。ROM34にはインサーキットテスタ全体を制御
するための制御プログラム等が格納されている。又、RA
M36は外部から入力したデータ、各プローブ12、14、16
を用いて測定したデータ、それ等のデータからCPU32で
演算したデータ等の各種データを記憶する。その際、被
検査基板上に存在する測定点の各Ｘ−Ｙ座標データは各
プローブ12、14、16をマニュアル操作してティーチング
により直接読み込み、或いはデジタイザを用いてフロッ
ピーディスクに格納する等した後に外部から入力する。
しかも、各部品毎に対応する３測定点を１ステップとし
てそれぞれグループ化し、それ等に順次番号を付けて記
憶する。更に、ステップ検査順設定処理プログラム等も
外部から入力する。入出力ポート38にはスキャナ18、信
号源20、測定回路22、Ｘ−Ｙ−Ｚ駆動回路26、入力機器
28等が接続する。バスライン40はそれ等を接続するため
のアドレスバスライン、データバスライン、制御バスラ
イン等を含み、周辺装置とも適宜結合している。
−Ｚ駆動回路26、入出力機器28はCPUを備えたコントロ
ーラ30によって、それぞれ制御する。コントローラ30は
例えば第４図に示すようなマイクロンコンピュータであ
り、CPU（中央処理装置）32、ROM（読み出し専用メモ
リ）34、RAM（読み出し書き込み可能メモリ）36、入出
力ポート38、バスライン40等から構成されている。CPU3
2はマイクロコンピュータの中心となる頭脳部に相当
し、プログラムの命令に従って全体に対する制御を実行
すると共に、算術、論理演算を行ない、その結果も一時
的に記憶する。又、周辺装置に対しても適宜制御を行な
っている。ROM34にはインサーキットテスタ全体を制御
するための制御プログラム等が格納されている。又、RA
M36は外部から入力したデータ、各プローブ12、14、16
を用いて測定したデータ、それ等のデータからCPU32で
演算したデータ等の各種データを記憶する。その際、被
検査基板上に存在する測定点の各Ｘ−Ｙ座標データは各
プローブ12、14、16をマニュアル操作してティーチング
により直接読み込み、或いはデジタイザを用いてフロッ
ピーディスクに格納する等した後に外部から入力する。
しかも、各部品毎に対応する３測定点を１ステップとし
てそれぞれグループ化し、それ等に順次番号を付けて記
憶する。更に、ステップ検査順設定処理プログラム等も
外部から入力する。入出力ポート38にはスキャナ18、信
号源20、測定回路22、Ｘ−Ｙ−Ｚ駆動回路26、入力機器
28等が接続する。バスライン40はそれ等を接続するため
のアドレスバスライン、データバスライン、制御バスラ
イン等を含み、周辺装置とも適宜結合している。
次に、本実施例の動作を説明する。
第５図、及び第６図は軸成分算出によるステップ検査
順設定処理プログラムを示すフローチャートであり、P1
〜P14の処理により実行される。先ずP1でキー操作によ
り、被検査基板の全ステップ中から最初に検査する部品
に対応したステップの番号を入力して記憶する。この検
査第１番のステップは各プローブ12、14、16の起動起点
であり、測定者が適宜指定するが、通常は被検査基板の
４コーナー部のいずれかにある最もコーナー寄りの部品
に対応するものを選ぶ。次にP2へ行き、ステップ番号１
の全データ（複数の測定点の全Ｘ−Ｙ座標データ）と検
査第１番に指定したステップ番号の全データを入替え
る。従って、検査第１番のステップ番号が１になる。次
にP3へ行き、基準ステップとして番号１のステップを確
定する。
順設定処理プログラムを示すフローチャートであり、P1
〜P14の処理により実行される。先ずP1でキー操作によ
り、被検査基板の全ステップ中から最初に検査する部品
に対応したステップの番号を入力して記憶する。この検
査第１番のステップは各プローブ12、14、16の起動起点
であり、測定者が適宜指定するが、通常は被検査基板の
４コーナー部のいずれかにある最もコーナー寄りの部品
に対応するものを選ぶ。次にP2へ行き、ステップ番号１
の全データ（複数の測定点の全Ｘ−Ｙ座標データ）と検
査第１番に指定したステップ番号の全データを入替え
る。従って、検査第１番のステップ番号が１になる。次
にP3へ行き、基準ステップとして番号１のステップを確
定する。
次にP4へ行き、最初の探査ステップ番号を基準ステッ
プ番号に１を加算して定める。次にP5へ行き、探査ステ
ップ番号が最大ステップ数以上か判定する。NOの場合P6
へ行く。P6では最長の比較用距離を被検査基板のＸ−Ｙ
座標がとり得る最大の軸成分軸＋１で算出して記憶す
る。次にP7で、基準ステップの全データと探査ステップ
の全データから座標位置が対応する両測定点毎に、両測
定点間のＸ軸成分データ、Ｙ軸成分データで示される各
距離をそれぞれ算出する。例えば被検査基板のＸ−Ｙ座
標上に、第７図に示すように基準ステップの３測定点L
0、M0、R0と探査ステップの３測定点Ｌ、Ｍ、Ｒが存在
する場合、左側座標（左端にある２測定点のＸ−Ｙ座
標データ）同士のＸ軸方向の差の絶対値|xL|、左側座
標同士のＹ軸方向の差の絶対値|yL|、右端座標同士の
Ｘ軸方向の差の絶対値|xR|、右端座標同士のＹ軸方向
の差の絶対値|yR|、中間座標同士のＸ軸方向の差の絶
対値|xM|、中間座標同士のＹ軸方向の差の絶対値|yM|
をそれぞれ算出する。次にP8で、〜のＸ軸成分デー
タ又はＹ軸成分データの内から最大の軸成分データで示
された距離を設定する。次にP9で、その最長距離が比較
用距離例えば先のP6で算出した距離を下回るか判定す
る。YESの場合はP10へ行く。なお、NOの場合、その探査
ステップは少なくとも１測定点が被検査基板のＸ−Ｙ座
標領域から外れているので、検査順設定から除く。P10
ではその最長距離をP9における新規な比較用距離として
採用し、その探査ステップ番号を記憶する。次にP11
で、探査ステップ番号が最大ステップ数に達したか判定
する。NOの場合P12へ行き、その探査ステップ番号に１
を加算し、P7へ戻る。
プ番号に１を加算して定める。次にP5へ行き、探査ステ
ップ番号が最大ステップ数以上か判定する。NOの場合P6
へ行く。P6では最長の比較用距離を被検査基板のＸ−Ｙ
座標がとり得る最大の軸成分軸＋１で算出して記憶す
る。次にP7で、基準ステップの全データと探査ステップ
の全データから座標位置が対応する両測定点毎に、両測
定点間のＸ軸成分データ、Ｙ軸成分データで示される各
距離をそれぞれ算出する。例えば被検査基板のＸ−Ｙ座
標上に、第７図に示すように基準ステップの３測定点L
0、M0、R0と探査ステップの３測定点Ｌ、Ｍ、Ｒが存在
する場合、左側座標（左端にある２測定点のＸ−Ｙ座
標データ）同士のＸ軸方向の差の絶対値|xL|、左側座
標同士のＹ軸方向の差の絶対値|yL|、右端座標同士の
Ｘ軸方向の差の絶対値|xR|、右端座標同士のＹ軸方向
の差の絶対値|yR|、中間座標同士のＸ軸方向の差の絶
対値|xM|、中間座標同士のＹ軸方向の差の絶対値|yM|
をそれぞれ算出する。次にP8で、〜のＸ軸成分デー
タ又はＹ軸成分データの内から最大の軸成分データで示
された距離を設定する。次にP9で、その最長距離が比較
用距離例えば先のP6で算出した距離を下回るか判定す
る。YESの場合はP10へ行く。なお、NOの場合、その探査
ステップは少なくとも１測定点が被検査基板のＸ−Ｙ座
標領域から外れているので、検査順設定から除く。P10
ではその最長距離をP9における新規な比較用距離として
採用し、その探査ステップ番号を記憶する。次にP11
で、探査ステップ番号が最大ステップ数に達したか判定
する。NOの場合P12へ行き、その探査ステップ番号に１
を加算し、P7へ戻る。
P7では、同一基準ステップの全データと新規の探査ス
テップの全データから同様に座標位置が対応する両測定
点毎に、両測定点間のＸ軸成分データ、Ｙ軸成分データ
で示される各距離をそれぞれ算出する。次にP8で、それ
等のＸ軸成分データ又はＹ軸成分データの内から最大の
軸成分データで示された距離を選定する。次にP9で、そ
の最長距離が比較用距離例えば先のP10で採用した距離
を下回るか判定する。YESの場合はP10を経てP11へ行
き、NOの場合は直接P11へ行く。このようにして、P11で
YESと判定されるまで、P7〜P12の処理を繰り返し、P8で
選定した基準ステップと各探査ステップ間の最長距離が
最短の探査ステップを求めて行く。
テップの全データから同様に座標位置が対応する両測定
点毎に、両測定点間のＸ軸成分データ、Ｙ軸成分データ
で示される各距離をそれぞれ算出する。次にP8で、それ
等のＸ軸成分データ又はＹ軸成分データの内から最大の
軸成分データで示された距離を選定する。次にP9で、そ
の最長距離が比較用距離例えば先のP10で採用した距離
を下回るか判定する。YESの場合はP10を経てP11へ行
き、NOの場合は直接P11へ行く。このようにして、P11で
YESと判定されるまで、P7〜P12の処理を繰り返し、P8で
選定した基準ステップと各探査ステップ間の最長距離が
最短の探査ステップを求めて行く。
P11でYESと判定される時、基準ステップから最短距離
にある探査ステップの番号は既に記憶済みである。そこ
で、P13へ行く。P13では先の基準ステップ番号に１を加
算し、P14へ行く。P14ではそのステップ番号の全データ
と先に明らかとなった最短距離にある探査ステップ番号
の全データを入れ替え、その探査ステップを基準ステッ
プにする。次にP4へ戻る。P4では同様に最初の探査ステ
ップ番号を基準ステップ番号に１を加算して定める。こ
のようにして、P4〜P14の各処理を繰り返し、新規に検
査順番が定まったステップを基準ステップとし、その基
準ステップと既に検査順番が定まっているステップを除
く他の各探査ステップとの間で、同様に最大の軸成分デ
ータで示された距離を求めて、それ等の距離を比較し、
その最長距離が最短の探査ステップを次の検査順番に決
定し、次から次へと最も近い距離にあるステップを求め
て行き、検査順番未確定のステップがなくなるまで、各
ステップの検査順番をメモリに書き込み、全ステップの
検査順を設定する。
にある探査ステップの番号は既に記憶済みである。そこ
で、P13へ行く。P13では先の基準ステップ番号に１を加
算し、P14へ行く。P14ではそのステップ番号の全データ
と先に明らかとなった最短距離にある探査ステップ番号
の全データを入れ替え、その探査ステップを基準ステッ
プにする。次にP4へ戻る。P4では同様に最初の探査ステ
ップ番号を基準ステップ番号に１を加算して定める。こ
のようにして、P4〜P14の各処理を繰り返し、新規に検
査順番が定まったステップを基準ステップとし、その基
準ステップと既に検査順番が定まっているステップを除
く他の各探査ステップとの間で、同様に最大の軸成分デ
ータで示された距離を求めて、それ等の距離を比較し、
その最長距離が最短の探査ステップを次の検査順番に決
定し、次から次へと最も近い距離にあるステップを求め
て行き、検査順番未確定のステップがなくなるまで、各
ステップの検査順番をメモリに書き込み、全ステップの
検査順を設定する。
又、第８図、第９図、及び第10図は代表点算出による
ステップ検査順設定処理プログラムを示すフローチャー
トであり、P20〜P37の処理により実行される。先ずP20
でステップ番号１のデータをメモリから読み出し、P21
へ行く。なお、メモリには第11（ａ）図の形式で示した
ステップデータが最大ステップ数分格納されている。P2
1では、そのステップに属する複数の測定点の各Ｘ−Ｙ
座標データから各Ｘ座標データ、各Ｙ座標データに付
き、それぞれ算術平均データを算出し、そのステップを
代表する点のＸ−Ｙ座標データを得る。例えば被検査基
板のＸ−Ｙ座標上に、第12図に示すようにそのステップ
に属する３測定点L0、M0、R0が存在する場合、それ等の
Ｘ座標データ、Ｙ座標データの算術平均データを求める
と、その３測定点L0、M0、R0を頂点とする重心N0のＸ−
Ｙ座標データが得られる。次にP22へ行く。P22では先の
ステップデータに代表点（重心）のＸ−Ｙ座標データを
加え、第11（ｂ）図に示すようなデータテーブルを作成
する。次にP23で、ステップ番号に１を加算する。次にP
24で、そのステップ番号が最大ステップ数に達したか判
定する。NOの場合P21へ戻る。P21では、同様にそのステ
ップを代表する点のＸ−Ｙ座標データを得る。例えば、
第12図に示すようにそのステップに属する３測定点Ｌ、
Ｍ、Ｒが存在する場合、重心ＮのＸ−Ｙ座標データが得
られる。更に、P22、P23、P24を経て、P21〜P24の各処
理を繰り返して行うと、同様に各ステップをそれぞれ代
表する点のＸ−Ｙ座標データが得られ、全ステップに付
きデータテーブルがそれぞれ作成できる。
ステップ検査順設定処理プログラムを示すフローチャー
トであり、P20〜P37の処理により実行される。先ずP20
でステップ番号１のデータをメモリから読み出し、P21
へ行く。なお、メモリには第11（ａ）図の形式で示した
ステップデータが最大ステップ数分格納されている。P2
1では、そのステップに属する複数の測定点の各Ｘ−Ｙ
座標データから各Ｘ座標データ、各Ｙ座標データに付
き、それぞれ算術平均データを算出し、そのステップを
代表する点のＸ−Ｙ座標データを得る。例えば被検査基
板のＸ−Ｙ座標上に、第12図に示すようにそのステップ
に属する３測定点L0、M0、R0が存在する場合、それ等の
Ｘ座標データ、Ｙ座標データの算術平均データを求める
と、その３測定点L0、M0、R0を頂点とする重心N0のＸ−
Ｙ座標データが得られる。次にP22へ行く。P22では先の
ステップデータに代表点（重心）のＸ−Ｙ座標データを
加え、第11（ｂ）図に示すようなデータテーブルを作成
する。次にP23で、ステップ番号に１を加算する。次にP
24で、そのステップ番号が最大ステップ数に達したか判
定する。NOの場合P21へ戻る。P21では、同様にそのステ
ップを代表する点のＸ−Ｙ座標データを得る。例えば、
第12図に示すようにそのステップに属する３測定点Ｌ、
Ｍ、Ｒが存在する場合、重心ＮのＸ−Ｙ座標データが得
られる。更に、P22、P23、P24を経て、P21〜P24の各処
理を繰り返して行うと、同様に各ステップをそれぞれ代
表する点のＸ−Ｙ座標データが得られ、全ステップに付
きデータテーブルがそれぞれ作成できる。
次にP25へ行く。以降のP25〜P30、及びP32〜P37の各
処理は、先のステップ検査順設定処理プログラムにおけ
る対応するP1〜P6、及びP9〜P14の各処理と同様であ
る。但し、P31では、基準ステップの代表点のＸ−Ｙ座
標データと探査ステップの代表点のＸ−Ｙ座標データか
ら三平方の定理により両代表点間の直線距離を算出す
る。そこで、P28〜P37の各処理を繰り返し、新規に検査
順番が定まったステップを基準ステップとし、その基準
ステップと既に検査順番が定まっているステップを除く
他の各探査ステップとの間で、各探査ステップ毎に基準
ステップの代表点と探査ステップの代表点との間の直線
距離をそれぞれ算出し、それ等の距離を比較して、基準
ステップから最短距離にある探査ステップを次の検査順
番に決定し、次から次へと最も近い距離にあるステップ
を求めて行き、検査順番未確定のステップがなくなるま
で、各ステップの検査順番をメモリに書き込み、全ステ
ップの検査順を設定する。因みに、全ステップの検査順
設定後、各ステップデータからそれぞれ代表点のＸ−Ｙ
座標データを切り離した上、メモリに保存する。
処理は、先のステップ検査順設定処理プログラムにおけ
る対応するP1〜P6、及びP9〜P14の各処理と同様であ
る。但し、P31では、基準ステップの代表点のＸ−Ｙ座
標データと探査ステップの代表点のＸ−Ｙ座標データか
ら三平方の定理により両代表点間の直線距離を算出す
る。そこで、P28〜P37の各処理を繰り返し、新規に検査
順番が定まったステップを基準ステップとし、その基準
ステップと既に検査順番が定まっているステップを除く
他の各探査ステップとの間で、各探査ステップ毎に基準
ステップの代表点と探査ステップの代表点との間の直線
距離をそれぞれ算出し、それ等の距離を比較して、基準
ステップから最短距離にある探査ステップを次の検査順
番に決定し、次から次へと最も近い距離にあるステップ
を求めて行き、検査順番未確定のステップがなくなるま
で、各ステップの検査順番をメモリに書き込み、全ステ
ップの検査順を設定する。因みに、全ステップの検査順
設定後、各ステップデータからそれぞれ代表点のＸ−Ｙ
座標データを切り離した上、メモリに保存する。
なお、同一の被検査基板に対し、一度軸成分算出によ
るステップ検査順設定と代表点算出によるステップ検査
順設定を試みた後、同種の被検査基板に対し、検査時間
が短くなる方を採用してステップ検査順設定を行なうと
よい。
るステップ検査順設定と代表点算出によるステップ検査
順設定を試みた後、同種の被検査基板に対し、検査時間
が短くなる方を採用してステップ検査順設定を行なうと
よい。
検査時には、測定用テーブル上に被検査基板を載せ、
そのＸ軸、Ｙ軸を第１、第２、第3X−Ｙユニットに共通
のＸ軸、Ｙ軸とそれぞれ一致させて固定する。そこで、
第１、第２、第3X−Ｙユニットの各プローブ12、14、16
をそれぞれ移動し、予め設定した基板面の測定点に順次
接触させて行き、各プローブ12、14、16を経て各部品に
それぞれ測定電流を流し或いは測定電圧を印加する。す
ると、抵抗値、静電容量値、インダクタンス値等が測定
でき、被検査基板の良否を判定できる。
そのＸ軸、Ｙ軸を第１、第２、第3X−Ｙユニットに共通
のＸ軸、Ｙ軸とそれぞれ一致させて固定する。そこで、
第１、第２、第3X−Ｙユニットの各プローブ12、14、16
をそれぞれ移動し、予め設定した基板面の測定点に順次
接触させて行き、各プローブ12、14、16を経て各部品に
それぞれ測定電流を流し或いは測定電圧を印加する。す
ると、抵抗値、静電容量値、インダクタンス値等が測定
でき、被検査基板の良否を判定できる。
発明の効果 以上説明した本発明によれば、最初に検査する部品に
対応したステップを確定した後、最も近い距離にあるス
テップを次から次へと求めて、順次検査順番を決定して
行くため、検査順設定時間を短縮化できる。しかも、検
査時には検査時間を短縮化できる。従って、多品種少量
生産の回路基板の検査に好都合となる。
対応したステップを確定した後、最も近い距離にあるス
テップを次から次へと求めて、順次検査順番を決定して
行くため、検査順設定時間を短縮化できる。しかも、検
査時には検査時間を短縮化できる。従って、多品種少量
生産の回路基板の検査に好都合となる。
第１図、及び第２図は本発明によるプローブ移動式回路
基板検査装置用検査順設定装置をそれぞれ示すブロック
図である。 第３図は本発明を適用したプローブ移動式インサーキッ
トテスタの構成を示すブロック図、第４図はそのコント
ローラの構成を示すブロック図である。 第５図、及び第６図は同コントローラのメモリに格納す
る軸成分算出によるステップ検査順設定処理プログラム
を示すフローチャートである。 第７図は被検査基板上に存在する２ステップに付き、対
応する測定点間の各軸成分をそれぞれ示す図である。 第８図、第９図、及び第10図は同コントローラのメモリ
に格納する代表点算出によるステップ検査順設定処理プ
ログラムを示すフローチャートである。 第11図は同コントローラのメモリに格納するステップデ
ータテーブルを示す図である。 第12図は被検査基板上に存在する２ステップの代表点を
それぞれ示す図である。 第13図は被検査基板の回路の一部を示す図である。 10……回路基板検査装置、12、14、16……第１、第２、
第3X−Ｙユニットの各プローブ、36……メモリ、42、50
……検査第１ステップ決定手段、44、52……最近ステッ
プ検出手段、46、54……検査順設定制御手段、48……ス
テップ代表座標検出手段、L0、M0、R0、Ｌ、Ｍ、Ｒ……
２ステップの各測定点、N0、Ｎ……２ステップの各代表
点
基板検査装置用検査順設定装置をそれぞれ示すブロック
図である。 第３図は本発明を適用したプローブ移動式インサーキッ
トテスタの構成を示すブロック図、第４図はそのコント
ローラの構成を示すブロック図である。 第５図、及び第６図は同コントローラのメモリに格納す
る軸成分算出によるステップ検査順設定処理プログラム
を示すフローチャートである。 第７図は被検査基板上に存在する２ステップに付き、対
応する測定点間の各軸成分をそれぞれ示す図である。 第８図、第９図、及び第10図は同コントローラのメモリ
に格納する代表点算出によるステップ検査順設定処理プ
ログラムを示すフローチャートである。 第11図は同コントローラのメモリに格納するステップデ
ータテーブルを示す図である。 第12図は被検査基板上に存在する２ステップの代表点を
それぞれ示す図である。 第13図は被検査基板の回路の一部を示す図である。 10……回路基板検査装置、12、14、16……第１、第２、
第3X−Ｙユニットの各プローブ、36……メモリ、42、50
……検査第１ステップ決定手段、44、52……最近ステッ
プ検出手段、46、54……検査順設定制御手段、48……ス
テップ代表座標検出手段、L0、M0、R0、Ｌ、Ｍ、Ｒ……
２ステップの各測定点、N0、Ｎ……２ステップの各代表
点
Claims (2)
- 【請求項１】被検査基板上に存在する測定点の各Ｘ−Ｙ
座標データをメモリに書き込み、各部品毎に対応する複
数の測定点を１ステップとしてそれぞれグループ化し、
検査時に回路基板検査装置に備えた複数のＸ−Ｙユニッ
トの各プローブが移動するステップの順番を設定するプ
ローブ移動式回路基板検査装置用検査順設定装置におい
て、上記被検査基板の全ステップ中からプローブ移動の
起点になる検査第１番のステップを決定する検査第１ス
テップ決定手段と、新規に検査順番が定まったステップ
を基準ステップとし、その基準ステップと既に検査順番
が定まっているステップを除く他の各探査ステップとの
間で、各探査ステップ毎に基準ステップの複数の測定点
と探査ステップの複数の測定点とで、座標位置が対応す
る両測定点毎に両測定点間のＸ軸成分データ、Ｙ軸成分
データで示される各距離をそれぞれ算出し、各探査ステ
ップ毎に最大の軸成分データで示された距離を求めて、
それ等の距離を比較し、その最長距離が最短の探査ステ
ップを次の検査順番に決定する最近ステップ検出手段
と、それ等の各手段により、検査順番未確定のステップ
がなくなるまで順次検査順番を決定させ、各ステップの
検査順番をメモリに書き込む検査順設定制御手段とを備
えることを特徴とするプローブ移動式回路基板検査装置
用検査順設定装置。 - 【請求項２】被検査基板上に存在する測定点の各Ｘ−Ｙ
座標データをメモリに書き込み、各部品毎に対応する複
数の測定点を１ステップとしてそれぞれグループ化し、
検査時に回路基板検査装置に備えた複数のＸ−Ｙユニッ
トの各プローブが移動するステップの順番を設定するプ
ローブ移動式回路基板検査装置用検査順設定装置におい
て、上記被検査基板の各ステップ毎に、１ステップに属
する複数の測定点の各Ｘ−Ｙ座標データから各Ｘ座標デ
ータ、各Ｙ座標データに付き、それぞれ算術平均データ
を算出して、複数の測定点を代表する点のＸ−Ｙ座標デ
ータを求めるステップ代表座標検出手段と、被検査基板
の全ステップ中からプローブ移動の起点になる検査第１
番のステップを決定する検査第１ステップ決定手段と、
新規に検査順番が定まったステップを基準ステップと
し、その基準ステップと既に検査順番が定まっているス
テップを除く他の各探査ステップとの間で、各探査ステ
ップ毎に基準ステップの代表点と探査ステップの代表点
との間の直線距離をそれぞれ算出し、それ等の距離を比
較して、基準ステップから最短距離にある探査ステップ
を次の検査順番に決定する最近ステップ検出手段と、そ
れ等の後方２手段により、検査順番未確定のステップが
なくなるまで順次検査順番を決定させ、各ステップの検
査順番をメモリに書き込む検査順設定制御手段とを備え
ることを特徴とするプローブ移動式回路基板検査装置用
検査順設定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2278159A JP3034583B2 (ja) | 1990-10-17 | 1990-10-17 | プローブ移動式回路基板検査装置用検査順設定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2278159A JP3034583B2 (ja) | 1990-10-17 | 1990-10-17 | プローブ移動式回路基板検査装置用検査順設定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04152280A JPH04152280A (ja) | 1992-05-26 |
| JP3034583B2 true JP3034583B2 (ja) | 2000-04-17 |
Family
ID=17593411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2278159A Expired - Fee Related JP3034583B2 (ja) | 1990-10-17 | 1990-10-17 | プローブ移動式回路基板検査装置用検査順設定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3034583B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015072213A (ja) * | 2013-10-03 | 2015-04-16 | 日置電機株式会社 | 検査手順データ生成装置、基板検査装置および検査手順データ生成方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4723124B2 (ja) * | 2001-06-22 | 2011-07-13 | 日置電機株式会社 | ポジションデータの生成方法 |
| JP6129011B2 (ja) * | 2013-07-25 | 2017-05-17 | 日置電機株式会社 | 検査ポイント設定装置、及び基板検査装置 |
| TWI786489B (zh) * | 2019-12-26 | 2022-12-11 | 日商國際電氣半導體技術服務股份有限公司 | 電阻率測定方法、半導體裝置之製造方法、電阻率測定程式及電阻率測定器 |
-
1990
- 1990-10-17 JP JP2278159A patent/JP3034583B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015072213A (ja) * | 2013-10-03 | 2015-04-16 | 日置電機株式会社 | 検査手順データ生成装置、基板検査装置および検査手順データ生成方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04152280A (ja) | 1992-05-26 |
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