JP3366052B2 - 比較測長装置 - Google Patents
比較測長装置Info
- Publication number
- JP3366052B2 JP3366052B2 JP11631493A JP11631493A JP3366052B2 JP 3366052 B2 JP3366052 B2 JP 3366052B2 JP 11631493 A JP11631493 A JP 11631493A JP 11631493 A JP11631493 A JP 11631493A JP 3366052 B2 JP3366052 B2 JP 3366052B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- axis
- work
- block gauge
- workpiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、比較的単純な形状のワ
ークに於ける所要箇所、例えばX・Y・Z軸に平行な壁面
間の寸法や、円柱、円穴部の直径などを、これに適合す
るブロックゲージと比較測長して、標準状態の恒温室内
に於ける測定データと同等の数値を、直接表示すること
のできる比較測長方法に関する。 【０００２】 【従来の技術】ワークの寸法あるいは形状を測定するた
め、従来から各種の三次元座標測定機が使用されてお
り、その広い適応性と、高度な自動化装備によって普及
しつゝあるが、一般的にこの種の精密測定機は、恒温室
で使用されることが多く、且つその操作にも、かなりの
熟練が必要であり、加えて装置自体の価格が非常に高価
なものである。 【０００３】また測定物の寸法を計測する手段として、
測定物の製作公差内に造られた基準測定物（マスター）
を予め準備し、このマスターと測定ワークとの対応点に
於ける座標値を比較することにより、ワークの良否を判
別する比較測定機も実用化されているが、この方法によ
る場合は、加工精度の良好なマスターを予め製作し、且
つこれを精密測定して、その基準寸法データを採取して
おく必要がある。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】上記マスターの製作
は、他品種少量生産部品に対応するには厄介なものであ
り、且つ恒温室での精密測定が必要となるので、比較的
単純な製品の測定に対応するには、既に標準状態での計
測値が保証されたブロックゲージを利用することが、有
効な手段である。 【０００５】 【課題を解決するための手段】このため本発明は、被測
定物（以下ワークと云う）をその計測要部がＸ・Ｙ・Ｚ
軸方向の何れかと平行になるように定盤上にセットし、
上記ワークの計測要部の夫々に適合する基準長さのみを
提供する単純形状のブロックゲージを、上記ワークの対
応する計測要部の方向と平行になるように上記定盤上の
所定位置に固定し、測定機構に装備したプローブを、互
に直交するＸ・Ｙ・Ｚ軸方向に相対移動させることによ
り上記ブロックゲージとこれに対応するワークの所定箇
所を計測し、ブロックゲージを計測した標準値とこれに
対応するワークの所定箇所を計測した実測値とを比較演
算することにより、ワーク所要部の実寸法または、ブロ
ックゲージとの誤差寸法を表示するようにしたものであ
る。 【０００６】 【作用】即ち定盤上に保持されたワークとブロックゲー
ジとは、同一環境温度下にあるものと判断し、この状態
に於けるブロックゲージの測長値を、ゲージの標準寸法
と認識することによって、比較測定するワークの対応部
に於ける寸法を、測定の標準環境温度下に於ける実寸
法、または公差寸法として表示しようとするものであ
る。 【０００７】 【実施例】本発明の一実施例を示すに当り、図面につい
て説明すると、機台のベース１上をＸ軸方向に摺動自在
としたテーブル２を、Ｘ軸スライダとして装備し、上部
に定盤３を固定する。定盤３の上部には、適切な治具４
やクランプ機構５を用いて、被測定物としてのワーク６
を所定の向きに保持する。一方定盤３の片側（図面では
左側）に、ワーク下側部の縦寸法Ｌに適合するブロック
ゲージ７Ｌを、またワーク円柱部の高さＨに適合するブ
ロックゲージ７Ｈを、更にワーク円柱部の直径Ｄに適合
するブロックゲージ７Ｄを、夫々ワーク６の測定方向に
合せて固定する。ブロックゲージの数量は、ワーク６の
測定必要箇所数に応じて随時増減することは勿論であ
る。 【０００８】ベース１の中央部後方には、テーブル２に
対応するコラム８を立設し、その上部に、前記Ｘ軸と直
交する、Ｙ軸方向への移動を自在としたＹ軸スライダ９
を架設する。Ｙ軸スライダ９の前側には、支持フレーム
１０を介して、前記Ｘ軸及びＹ軸と夫々直交する、Ｚ軸
方向への移動を自在とした、Ｚ軸スライダ１１の保持体
１２を設ける。Ｚ軸スライダ１１の延長下端には、プロ
ーブ１３を装着して、その測定子１４を前記定盤３上の
ワーク６及びブロックゲージ７に対応させ、これ等の測
定点に当接する測定子１４の三次元的な移動を可能とさ
せる。 【０００９】またベース１に対するテーブル２のＸ軸方
向への駆動と、コラム８に対するＹ軸スライダ９のＹ軸
方向への駆動、及び保持体１２に体するＺ軸スライダ１
１のＺ軸方向への駆動は、リニア・アクチュエータやモ
ータ及びエンコーダなどにより構成され、且つサーボ機
能を有する多軸コントローラ１５と接続された、夫々の
Ｘ軸駆動装置１６、Ｙ軸駆動装置１７、及びＺ軸駆動装
置１８によって行われる。上記の多軸コントローラ１５
には、ティーチング・ボックス１９が接続され、これら
から入力される必要データをＲＯＭ装置２０にも記憶で
きる様に構成されている。 【００１０】プローブ１３の定盤３に対するＸ軸方向へ
の相対移動量は、ベース１とテーブル２とに係設したＸ
軸スケール２１により検出され、またプローブ１３のＹ
軸方向、及びＺ軸方向への相対移動量は、コラム８とＹ
軸スライダ９とに係設したＹ軸スケール２２、及び保持
体１２とＺ軸スライダ１１とに係設したＺ軸スケール２
３によって夫々検出される。これ等各Ｘ・Ｙ・Ｚ軸スケ
ール２１、２２、２３からの読み取り信号は、図３に示
す夫々のＸ軸アンプ２４、Ｙ軸アンプ２５、Ｚ軸アンプ
２６を介して、Ｘ・Ｙ・Ｚ軸の各カウンタ２７、２８、
２９に入力され、こゝでカウントされるが、前記プロー
ブ１３からの測定子タッチ信号が、プローブアンプ３
０、及びインターフェース３１を介して、各カウンタ２
７、２８、２９を装備するマザーボード３２に入力され
るため、各カウンタは、この信号を受けた時点でのＸ・
Ｙ・Ｚ軸移動量読み取り値をラッチすることができる。 【００１１】また上記の多軸コントローラ１５や、マザ
ーボード３２と接続されたデータ処理装置３３があり、
更に操作表示盤３４がこのデータ処理装置３３に接続さ
れている。データ処理装置３３には、キーボード３５な
どの入力装置が、また出力部にはディスプレイ３６や、
プリンタ３７が必要に応じて接続される。操作表示盤３
４やディスプレイ３６は、例えば図１の様に配置され
る。 【００１２】この様に構成された本実施例の場合は、先
ず適切な治具４やクランプ機構５によって、定盤３の所
定位置にワーク６を保持する。この際ワーク６の主要測
定箇所が、装置のＸ・Ｙ・Ｚ軸の何れかと平行になる様
にセットすれば、計測作業及び測定値の演算が簡易化さ
れる。次に定盤３の片側スペース部に、ワーク６の所要
測定部寸法に適合したブロックゲージ７を固定するが、
この方法は、例えばワーク６の下側部Ｌ寸法に対応する
ブロックゲージ７Ｌは、その測長部が装置のＹ軸と平行
になる様に、またワーク円柱部の高さＨに対応するブロ
ックゲージ７Ｈは、定盤上に立てた状態で、更にワーク
円柱部の直径Ｄに対応するブロックゲージ７Ｄは、装置
のＸ軸（あるいはＹ軸）と平行になる様に夫々固定す
る。 【００１３】上記の準備作業が完了した後、測定作業が
開始される。プローブ１３の測定動作に必要な駆動プロ
グラムは、予めティーチング・ボックス１９（あるいは
キーボード３５）により、多軸コントローラ１５に記憶
しておくので、測定作業のスタート指令が出されると、
先ずプローブ１３は、定盤３のブロックゲージ装着部に
移動し、その測定子１４をブロックゲージ７Lの測定面
にＹ軸方向から数回タッチし、両タッチ面の座標読み取
り値を平均演算して、これをブロックゲージ７Lの表示
長さ（標準環境温度２０±α℃に於ける長さ）として登
録する。この様なサンプリング作業が、ブロックゲージ
７Hの高さ方向に対して、またブロックゲージ７Dの測定
面に対して行われ、夫々の基準データとして装置に採り
込まれる。 【００１４】次にワーク６の測定が開始され、先ずプロ
ーブ測定子１４がワーク下側部の前後壁面に、Ｙ軸方向
からタッチする。この当接点読み取り座標値を演算し
て、前記ブロックゲージ７Ｌの採り込み済み基準値と比
較し、縦寸法の実測値及び標準寸法に対する増減値（誤
差量）を操作表示盤３４またはディスプレイ３６に表示
する。ワーク６に於ける円柱部の高さＨ（ワーク下側部
と円柱部上面との段差）の測定に対しては、プローブ測
定子１４をワーク下側部上面と、円柱部上面とにタッチ
し、夫々のＺ軸座標読み取り値を演算して、前記ブロッ
クゲージ７Ｈの採り込み済み基準値と比較し、高さＨの
実測値及び標準寸法に対する誤差値を表示する。 【００１５】またワーク円柱部の直径Ｄに対する測定
は、プローブ測定子１４のＺ軸座標値を固定した条件
で、円柱部外周をタッチして回らせる。この測定点の選
択には数種の方法があるが、円周の３点をタッチして、
夫々のＸ・Ｙ座標値を幾何演算し、円柱部の直径及び中
心座標値を求める方法とか、円柱部の略中心位置を通る
Ｙ軸座標線上にプローブ１３を動かし、円柱部とタッチ
する２点のＹ軸値を計算して、その中心座標値のＹ軸値
を求め、このＹ軸座標値でのＸ軸方向の動作をプローブ
１３に与え、プローブ測定子が円柱部と当接するＸ軸座
標値を演算する方法、または円周上４点以上の複数点に
於けるＸ・Ｙ座標測定値を、最小２乗法により演算処理
し、直径の平均値と円中心の座標値とを求める方法など
があるが、誤差統計的に最小２乗法によるのが実用的で
ある。 【００１６】 【発明の効果】以上説明した様に本発明に係る比較測長
方法は、ワークの製作図に基づいた正確なマスターの製
作が不要であり、また基準寸法データの取り込み手段と
して、一般的に精度が公認されたブロックゲージを使用
するので、このゲージ精度と、X・Y・Z軸スケールの精
度に応じた正確な測長が可能となる。然も上記ブロック
ゲージの精度及び軸スケールの精度、分解能共に１μm
以下の性能のものが容易に入手できるため、構成部品の
選定に苦慮することはない。 【００１７】殊に本発明装置は、比較測長ベースとなる
基準値の登録に際して、計測時点の環境温度に関係な
く、ブロックゲージの実測長さとその表示値（ブロック
ケージ製作時の計測標準状態に於ける２０±α℃での長
さ）を装置にインプットし、これらの値を基準として座
標値の演算を行うため、標準状態に於ける絶対長さ及び
誤差値を、正確に測定表示することができる。またブロ
ックゲージに於ける基準実測値の登録は、測定作業時の
環境温度が変化しても、前述のサンプリング操作により
随時再登録して、その寸法演算値をブロックゲージの表
示値に換算した数値により、比較測長が行われるから、
温度変化に伴う測長精度の低下を有効に減少することが
できる。又、本発明の場合には、ワークはその計測要部
がＸ・Ｙ・Ｚ軸方向の何れかと平行になるようにセット
され、上記ワークの計測要部に適合する長さのブロック
ゲージを上記ワークの対応する計測要部の方向と平行に
なるように固定しているので、計測作業及び測定値の演
算が簡易化される。
ークに於ける所要箇所、例えばX・Y・Z軸に平行な壁面
間の寸法や、円柱、円穴部の直径などを、これに適合す
るブロックゲージと比較測長して、標準状態の恒温室内
に於ける測定データと同等の数値を、直接表示すること
のできる比較測長方法に関する。 【０００２】 【従来の技術】ワークの寸法あるいは形状を測定するた
め、従来から各種の三次元座標測定機が使用されてお
り、その広い適応性と、高度な自動化装備によって普及
しつゝあるが、一般的にこの種の精密測定機は、恒温室
で使用されることが多く、且つその操作にも、かなりの
熟練が必要であり、加えて装置自体の価格が非常に高価
なものである。 【０００３】また測定物の寸法を計測する手段として、
測定物の製作公差内に造られた基準測定物（マスター）
を予め準備し、このマスターと測定ワークとの対応点に
於ける座標値を比較することにより、ワークの良否を判
別する比較測定機も実用化されているが、この方法によ
る場合は、加工精度の良好なマスターを予め製作し、且
つこれを精密測定して、その基準寸法データを採取して
おく必要がある。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】上記マスターの製作
は、他品種少量生産部品に対応するには厄介なものであ
り、且つ恒温室での精密測定が必要となるので、比較的
単純な製品の測定に対応するには、既に標準状態での計
測値が保証されたブロックゲージを利用することが、有
効な手段である。 【０００５】 【課題を解決するための手段】このため本発明は、被測
定物（以下ワークと云う）をその計測要部がＸ・Ｙ・Ｚ
軸方向の何れかと平行になるように定盤上にセットし、
上記ワークの計測要部の夫々に適合する基準長さのみを
提供する単純形状のブロックゲージを、上記ワークの対
応する計測要部の方向と平行になるように上記定盤上の
所定位置に固定し、測定機構に装備したプローブを、互
に直交するＸ・Ｙ・Ｚ軸方向に相対移動させることによ
り上記ブロックゲージとこれに対応するワークの所定箇
所を計測し、ブロックゲージを計測した標準値とこれに
対応するワークの所定箇所を計測した実測値とを比較演
算することにより、ワーク所要部の実寸法または、ブロ
ックゲージとの誤差寸法を表示するようにしたものであ
る。 【０００６】 【作用】即ち定盤上に保持されたワークとブロックゲー
ジとは、同一環境温度下にあるものと判断し、この状態
に於けるブロックゲージの測長値を、ゲージの標準寸法
と認識することによって、比較測定するワークの対応部
に於ける寸法を、測定の標準環境温度下に於ける実寸
法、または公差寸法として表示しようとするものであ
る。 【０００７】 【実施例】本発明の一実施例を示すに当り、図面につい
て説明すると、機台のベース１上をＸ軸方向に摺動自在
としたテーブル２を、Ｘ軸スライダとして装備し、上部
に定盤３を固定する。定盤３の上部には、適切な治具４
やクランプ機構５を用いて、被測定物としてのワーク６
を所定の向きに保持する。一方定盤３の片側（図面では
左側）に、ワーク下側部の縦寸法Ｌに適合するブロック
ゲージ７Ｌを、またワーク円柱部の高さＨに適合するブ
ロックゲージ７Ｈを、更にワーク円柱部の直径Ｄに適合
するブロックゲージ７Ｄを、夫々ワーク６の測定方向に
合せて固定する。ブロックゲージの数量は、ワーク６の
測定必要箇所数に応じて随時増減することは勿論であ
る。 【０００８】ベース１の中央部後方には、テーブル２に
対応するコラム８を立設し、その上部に、前記Ｘ軸と直
交する、Ｙ軸方向への移動を自在としたＹ軸スライダ９
を架設する。Ｙ軸スライダ９の前側には、支持フレーム
１０を介して、前記Ｘ軸及びＹ軸と夫々直交する、Ｚ軸
方向への移動を自在とした、Ｚ軸スライダ１１の保持体
１２を設ける。Ｚ軸スライダ１１の延長下端には、プロ
ーブ１３を装着して、その測定子１４を前記定盤３上の
ワーク６及びブロックゲージ７に対応させ、これ等の測
定点に当接する測定子１４の三次元的な移動を可能とさ
せる。 【０００９】またベース１に対するテーブル２のＸ軸方
向への駆動と、コラム８に対するＹ軸スライダ９のＹ軸
方向への駆動、及び保持体１２に体するＺ軸スライダ１
１のＺ軸方向への駆動は、リニア・アクチュエータやモ
ータ及びエンコーダなどにより構成され、且つサーボ機
能を有する多軸コントローラ１５と接続された、夫々の
Ｘ軸駆動装置１６、Ｙ軸駆動装置１７、及びＺ軸駆動装
置１８によって行われる。上記の多軸コントローラ１５
には、ティーチング・ボックス１９が接続され、これら
から入力される必要データをＲＯＭ装置２０にも記憶で
きる様に構成されている。 【００１０】プローブ１３の定盤３に対するＸ軸方向へ
の相対移動量は、ベース１とテーブル２とに係設したＸ
軸スケール２１により検出され、またプローブ１３のＹ
軸方向、及びＺ軸方向への相対移動量は、コラム８とＹ
軸スライダ９とに係設したＹ軸スケール２２、及び保持
体１２とＺ軸スライダ１１とに係設したＺ軸スケール２
３によって夫々検出される。これ等各Ｘ・Ｙ・Ｚ軸スケ
ール２１、２２、２３からの読み取り信号は、図３に示
す夫々のＸ軸アンプ２４、Ｙ軸アンプ２５、Ｚ軸アンプ
２６を介して、Ｘ・Ｙ・Ｚ軸の各カウンタ２７、２８、
２９に入力され、こゝでカウントされるが、前記プロー
ブ１３からの測定子タッチ信号が、プローブアンプ３
０、及びインターフェース３１を介して、各カウンタ２
７、２８、２９を装備するマザーボード３２に入力され
るため、各カウンタは、この信号を受けた時点でのＸ・
Ｙ・Ｚ軸移動量読み取り値をラッチすることができる。 【００１１】また上記の多軸コントローラ１５や、マザ
ーボード３２と接続されたデータ処理装置３３があり、
更に操作表示盤３４がこのデータ処理装置３３に接続さ
れている。データ処理装置３３には、キーボード３５な
どの入力装置が、また出力部にはディスプレイ３６や、
プリンタ３７が必要に応じて接続される。操作表示盤３
４やディスプレイ３６は、例えば図１の様に配置され
る。 【００１２】この様に構成された本実施例の場合は、先
ず適切な治具４やクランプ機構５によって、定盤３の所
定位置にワーク６を保持する。この際ワーク６の主要測
定箇所が、装置のＸ・Ｙ・Ｚ軸の何れかと平行になる様
にセットすれば、計測作業及び測定値の演算が簡易化さ
れる。次に定盤３の片側スペース部に、ワーク６の所要
測定部寸法に適合したブロックゲージ７を固定するが、
この方法は、例えばワーク６の下側部Ｌ寸法に対応する
ブロックゲージ７Ｌは、その測長部が装置のＹ軸と平行
になる様に、またワーク円柱部の高さＨに対応するブロ
ックゲージ７Ｈは、定盤上に立てた状態で、更にワーク
円柱部の直径Ｄに対応するブロックゲージ７Ｄは、装置
のＸ軸（あるいはＹ軸）と平行になる様に夫々固定す
る。 【００１３】上記の準備作業が完了した後、測定作業が
開始される。プローブ１３の測定動作に必要な駆動プロ
グラムは、予めティーチング・ボックス１９（あるいは
キーボード３５）により、多軸コントローラ１５に記憶
しておくので、測定作業のスタート指令が出されると、
先ずプローブ１３は、定盤３のブロックゲージ装着部に
移動し、その測定子１４をブロックゲージ７Lの測定面
にＹ軸方向から数回タッチし、両タッチ面の座標読み取
り値を平均演算して、これをブロックゲージ７Lの表示
長さ（標準環境温度２０±α℃に於ける長さ）として登
録する。この様なサンプリング作業が、ブロックゲージ
７Hの高さ方向に対して、またブロックゲージ７Dの測定
面に対して行われ、夫々の基準データとして装置に採り
込まれる。 【００１４】次にワーク６の測定が開始され、先ずプロ
ーブ測定子１４がワーク下側部の前後壁面に、Ｙ軸方向
からタッチする。この当接点読み取り座標値を演算し
て、前記ブロックゲージ７Ｌの採り込み済み基準値と比
較し、縦寸法の実測値及び標準寸法に対する増減値（誤
差量）を操作表示盤３４またはディスプレイ３６に表示
する。ワーク６に於ける円柱部の高さＨ（ワーク下側部
と円柱部上面との段差）の測定に対しては、プローブ測
定子１４をワーク下側部上面と、円柱部上面とにタッチ
し、夫々のＺ軸座標読み取り値を演算して、前記ブロッ
クゲージ７Ｈの採り込み済み基準値と比較し、高さＨの
実測値及び標準寸法に対する誤差値を表示する。 【００１５】またワーク円柱部の直径Ｄに対する測定
は、プローブ測定子１４のＺ軸座標値を固定した条件
で、円柱部外周をタッチして回らせる。この測定点の選
択には数種の方法があるが、円周の３点をタッチして、
夫々のＸ・Ｙ座標値を幾何演算し、円柱部の直径及び中
心座標値を求める方法とか、円柱部の略中心位置を通る
Ｙ軸座標線上にプローブ１３を動かし、円柱部とタッチ
する２点のＹ軸値を計算して、その中心座標値のＹ軸値
を求め、このＹ軸座標値でのＸ軸方向の動作をプローブ
１３に与え、プローブ測定子が円柱部と当接するＸ軸座
標値を演算する方法、または円周上４点以上の複数点に
於けるＸ・Ｙ座標測定値を、最小２乗法により演算処理
し、直径の平均値と円中心の座標値とを求める方法など
があるが、誤差統計的に最小２乗法によるのが実用的で
ある。 【００１６】 【発明の効果】以上説明した様に本発明に係る比較測長
方法は、ワークの製作図に基づいた正確なマスターの製
作が不要であり、また基準寸法データの取り込み手段と
して、一般的に精度が公認されたブロックゲージを使用
するので、このゲージ精度と、X・Y・Z軸スケールの精
度に応じた正確な測長が可能となる。然も上記ブロック
ゲージの精度及び軸スケールの精度、分解能共に１μm
以下の性能のものが容易に入手できるため、構成部品の
選定に苦慮することはない。 【００１７】殊に本発明装置は、比較測長ベースとなる
基準値の登録に際して、計測時点の環境温度に関係な
く、ブロックゲージの実測長さとその表示値（ブロック
ケージ製作時の計測標準状態に於ける２０±α℃での長
さ）を装置にインプットし、これらの値を基準として座
標値の演算を行うため、標準状態に於ける絶対長さ及び
誤差値を、正確に測定表示することができる。またブロ
ックゲージに於ける基準実測値の登録は、測定作業時の
環境温度が変化しても、前述のサンプリング操作により
随時再登録して、その寸法演算値をブロックゲージの表
示値に換算した数値により、比較測長が行われるから、
温度変化に伴う測長精度の低下を有効に減少することが
できる。又、本発明の場合には、ワークはその計測要部
がＸ・Ｙ・Ｚ軸方向の何れかと平行になるようにセット
され、上記ワークの計測要部に適合する長さのブロック
ゲージを上記ワークの対応する計測要部の方向と平行に
なるように固定しているので、計測作業及び測定値の演
算が簡易化される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す比較測長装置の正面図
である。 【図２】図１に対応する側面図である。 【図３】本発明の一実施例を示す比較測長装置のブロッ
ク回路図である。 【図４】定盤上に於けるワークとブロックゲージの配置
例を示す斜視図である。 【符号の説明】 ２ テーブル（Ｘ軸スライダ） ３ 定盤 ６ ワーク（被測定物） ７ ブロックゲージ ９ Ｙ軸スライダ １１ Ｚ軸スライダ １４ プローブ測定子 １５ 多軸コントローラ ２１ Ｘ軸スケール ２２ Ｙ軸スケール ２３ Ｚ軸スケール ３３ データ処理装置 ３４ 操作表示盤
である。 【図２】図１に対応する側面図である。 【図３】本発明の一実施例を示す比較測長装置のブロッ
ク回路図である。 【図４】定盤上に於けるワークとブロックゲージの配置
例を示す斜視図である。 【符号の説明】 ２ テーブル（Ｘ軸スライダ） ３ 定盤 ６ ワーク（被測定物） ７ ブロックゲージ ９ Ｙ軸スライダ １１ Ｚ軸スライダ １４ プローブ測定子 １５ 多軸コントローラ ２１ Ｘ軸スケール ２２ Ｙ軸スケール ２３ Ｚ軸スケール ３３ データ処理装置 ３４ 操作表示盤
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 被測定物（以下ワークと云う）をその計
測要部がＸ・Ｙ・Ｚ軸方向の何れかと平行になるように
定盤上にセットし、 上記ワークの計測要部の夫々に適合する基準長さのみを
提供する単純形状のブロックゲージを、上記ワークの対
応する計測要部の方向と平行になるように上記定盤上の
所定位置に固定し、 測定機構に装備したプローブを、互に直交するＸ・Ｙ・
Ｚ軸方向に相対移動させることにより上記ブロックゲー
ジとこれに対応するワークの所定箇所を計測し、 ブロックゲージを計測した標準値とこれに対応するワー
クの所定箇所を計測した実測値とを比較演算することに
より、ワーク所要部の実寸法または、ブロックゲージと
の誤差寸法を表示するようにしたことを特徴とする比較
測長方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11631493A JP3366052B2 (ja) | 1993-04-07 | 1993-04-07 | 比較測長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11631493A JP3366052B2 (ja) | 1993-04-07 | 1993-04-07 | 比較測長装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06294641A JPH06294641A (ja) | 1994-10-21 |
| JP3366052B2 true JP3366052B2 (ja) | 2003-01-14 |
Family
ID=14683932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11631493A Expired - Lifetime JP3366052B2 (ja) | 1993-04-07 | 1993-04-07 | 比較測長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3366052B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101466788B1 (ko) * | 2008-06-17 | 2014-12-01 | 엘지디스플레이 주식회사 | 러빙포의 두께 측정장비 및 이를 이용한 측정방법 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH710648A1 (de) * | 2015-01-23 | 2016-07-29 | Erowa Ag | Messmaschine zum Vermessen von Werkstücken. |
| CN106052610B (zh) * | 2016-08-15 | 2019-01-29 | 优德精密工业（昆山）股份有限公司 | 一种三坐标测量辅助夹具 |
-
1993
- 1993-04-07 JP JP11631493A patent/JP3366052B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101466788B1 (ko) * | 2008-06-17 | 2014-12-01 | 엘지디스플레이 주식회사 | 러빙포의 두께 측정장비 및 이를 이용한 측정방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06294641A (ja) | 1994-10-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA1286382C (en) | Method for calibrating a coordinate measuring machine and the like and system therefor | |
| JP4504818B2 (ja) | 加工物検査方法 | |
| EP1446636B2 (en) | Dynamic artefact comparison | |
| JP2003114112A (ja) | 倣いプローブの校正方法および校正プログラム | |
| JPS61105414A (ja) | 三次元測定機 | |
| CA1336532C (en) | Probe motion guiding device, position sensing apparatus and position sensing method | |
| JP2003114117A (ja) | プローブの校正方法および校正プログラム | |
| CN111678434A (zh) | 机床直线轴运行的六自由度误差同时检测装置及方法 | |
| KR100941970B1 (ko) | 서로 다른 두면에 형성된 구멍 크기 및 수직거리 측정장치 | |
| JP5297749B2 (ja) | 自動寸法測定装置 | |
| EP0279926A1 (en) | Method for determining position within the measuring volume of a coordinate measuring machine and the like and system therefor | |
| JP3366052B2 (ja) | 比較測長装置 | |
| CN110864624A (zh) | 一机两用型测量仪器 | |
| JP2987607B2 (ja) | 三次元座標測定機 | |
| JP2933187B2 (ja) | 三次元測定器 | |
| Nikam | Coordinate Measuring Machine (CMM) | |
| JP3042157U (ja) | 三次元座標測定機 | |
| JPH0660817B2 (ja) | 真直度測定方法及び装置 | |
| JPH05187868A (ja) | 回転−直動機能形真円度測定機の検出器送り方向の真直度誤差の算出方法および測定値の補正方法 | |
| EP3101384B1 (en) | Calibration method for calibrating the drive axis of a machine tool | |
| KR20100045816A (ko) | 구멍 크기 및 간격 측정장치 | |
| KR100230942B1 (ko) | 측정대상물의 양부를 판별하는 3차원 비교측정장치 | |
| JP2553352Y2 (ja) | 自動寸法測定装置 | |
| JPH0244002B2 (ja) | ||
| JP2572660B2 (ja) | 自動駆動型比較計測機 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071101 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081101 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091101 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091101 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101101 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111101 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111101 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121101 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131101 Year of fee payment: 11 |