JPH04152279A - 被検査基板用測定点座標検出装置 - Google Patents
被検査基板用測定点座標検出装置Info
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- JPH04152279A JPH04152279A JP2278158A JP27815890A JPH04152279A JP H04152279 A JPH04152279 A JP H04152279A JP 2278158 A JP2278158 A JP 2278158A JP 27815890 A JP27815890 A JP 27815890A JP H04152279 A JPH04152279 A JP H04152279A
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Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はインサーキットテスタ等の回路基板検査装置の
被検査基板用測定点座標検出装置に関する。
被検査基板用測定点座標検出装置に関する。
従来の技術
従来、実装基板即ち多数の電気部品を半田付けしたプリ
ント基板には各種の回路基板検査装置を用いて、その基
板の必要な測定点に適宜プローブを接触させ、それ等の
各部品の電気的測定により基板の良否を判定している。
ント基板には各種の回路基板検査装置を用いて、その基
板の必要な測定点に適宜プローブを接触させ、それ等の
各部品の電気的測定により基板の良否を判定している。
特に、被検査基板を設置する測定用テーブル上にサーボ
モータ等により駆動されるX−Yユニットを設置したも
のは、その案内レールに沿って可動するアームの可動部
でプローブを支持しているので、そのX−Yユニットを
制御すると、10−ブを基板の上方からy軸、Y軸、Z
軸方向にそれぞれ適宜移動して、予め設定された各測定
点に順次接触できるため専用の治具が必要なくなり、多
品種少量生産に好都合である。
モータ等により駆動されるX−Yユニットを設置したも
のは、その案内レールに沿って可動するアームの可動部
でプローブを支持しているので、そのX−Yユニットを
制御すると、10−ブを基板の上方からy軸、Y軸、Z
軸方向にそれぞれ適宜移動して、予め設定された各測定
点に順次接触できるため専用の治具が必要なくなり、多
品種少量生産に好都合である。
尤も、そのためには前もって被検査基板の測定点のx−
y座標値を全て検知しておかなければならない。そこで
、一般には座標読取装置であるデジタイザーを用い、そ
の画板上に設けたX−Y座標面上に、測定点座標を求め
る被検出物として、通常は被検査基板の配線パターンを
描いた版下を置き、デジタイザーのX−Y座標に版下即
ち被検査基板のx−y座標を一致させ、版下をX−Y座
標面上にセロファンテープ等で固定した後、ペンやカー
ソル等の座標指示器をマニュアルで動かして測定点を指
定し、そのX−Y座標値をコンピュータに入力して、測
定点の位置データを得ている。
y座標値を全て検知しておかなければならない。そこで
、一般には座標読取装置であるデジタイザーを用い、そ
の画板上に設けたX−Y座標面上に、測定点座標を求め
る被検出物として、通常は被検査基板の配線パターンを
描いた版下を置き、デジタイザーのX−Y座標に版下即
ち被検査基板のx−y座標を一致させ、版下をX−Y座
標面上にセロファンテープ等で固定した後、ペンやカー
ソル等の座標指示器をマニュアルで動かして測定点を指
定し、そのX−Y座標値をコンピュータに入力して、測
定点の位置データを得ている。
しかし、版下の倍率は被検査基板に対して1倍とは限ら
ないし、版下のx−y座標をデジタイザーのX−Y座標
に正確に一致させることもできない。何故なら、デジタ
イザーのy軸、Y軸に対し、版下の対応するy軸、y軸
をそれぞれ平行に配置しようとしても通常僅かのずれが
発生するし、両者の座標原点を一致させようとしても構
造的に無理があり、僅かずらさなければならないからで
ある。そこで、デジタイザーで得た測定点のX−Y座標
値に対し、更に版下の被検査基板に対する倍率と共に、
版下x−y座標のデジタイザーX−Y座標を基準にした
回転角度と、そのx−y座標原点のX−Y座標原点から
のずれを考慮した各補正をそれぞれ行って、被検査基板
における測定点のx−y座標値を得ている。なお、版下
の被検査基板に対する倍率を異ならせても、両者のy軸
、y軸や原点の位置は互いに一致する。しかし、各軸の
目盛は異なるようになる。
ないし、版下のx−y座標をデジタイザーのX−Y座標
に正確に一致させることもできない。何故なら、デジタ
イザーのy軸、Y軸に対し、版下の対応するy軸、y軸
をそれぞれ平行に配置しようとしても通常僅かのずれが
発生するし、両者の座標原点を一致させようとしても構
造的に無理があり、僅かずらさなければならないからで
ある。そこで、デジタイザーで得た測定点のX−Y座標
値に対し、更に版下の被検査基板に対する倍率と共に、
版下x−y座標のデジタイザーX−Y座標を基準にした
回転角度と、そのx−y座標原点のX−Y座標原点から
のずれを考慮した各補正をそれぞれ行って、被検査基板
における測定点のx−y座標値を得ている。なお、版下
の被検査基板に対する倍率を異ならせても、両者のy軸
、y軸や原点の位置は互いに一致する。しかし、各軸の
目盛は異なるようになる。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、このような版下のy軸、y軸をデジタイ
ザーのy軸、Y軸に対し、それぞれ正確に平行にしよう
としたり、両者の座標原点をできるだけ近付けようとす
ると、作業上の時間的、労力的な負担が大きくなる。し
かも、版下のx−y座標の回転角度や原点のずれを正確
に測定し難いため、被検査基板における測定点のx−y
座標値を正確に知ることができない。
ザーのy軸、Y軸に対し、それぞれ正確に平行にしよう
としたり、両者の座標原点をできるだけ近付けようとす
ると、作業上の時間的、労力的な負担が大きくなる。し
かも、版下のx−y座標の回転角度や原点のずれを正確
に測定し難いため、被検査基板における測定点のx−y
座標値を正確に知ることができない。
本発明はこのような従来の問題点に着目してなされたも
のであり、被検査基板における測定点のx−y座標値を
作業上の負担を小ざくしで、短時間で、正確に検知する
ことのできる被検査基板用測定点座標検出装置を提供す
ることを目的とする。
のであり、被検査基板における測定点のx−y座標値を
作業上の負担を小ざくしで、短時間で、正確に検知する
ことのできる被検査基板用測定点座標検出装置を提供す
ることを目的とする。
課題を解決するための手段
上記目的を達成するための手段を、以下本発明を明示す
る第1図を用いて説明する。
る第1図を用いて説明する。
この被検査基板用測定点座標検出装置はデジタイザー1
0のX−Y座標面20の上に、測定点座標検出物として
被検査基板の版下36或は被検査基板自体を置き、その
被検査基板の配線パターン上で選定した複数の測定点の
各x−y座標値を検出するものに係る。
0のX−Y座標面20の上に、測定点座標検出物として
被検査基板の版下36或は被検査基板自体を置き、その
被検査基板の配線パターン上で選定した複数の測定点の
各x−y座標値を検出するものに係る。
そして、上記被検査基板上で少なくとも2点44.46
の各x−y座標値(xi 、yl)、(×2、:V2)
が明らかな測定点座標被検出物36を用い、それ等の2
点44.46をデジタイザー10の座標指示器でそれぞ
れ指定してX−Y座標値(Xi 、Yl)、(X2 、
Y2 )を読み取り、測定点座標被検出物36の被検
査基板に対する倍率A、被検査基板x−y座標のデジタ
イザーX−Y座標に対する回転角度θ、被検査基板x−
y座標の原点42のデジタイザーX−Y座標の原点から
のオフセット値(X0,Y0)を示す各係数をそれぞれ
算出し、デジタイザー10のX−Y座標を被検査基板の
x−y座標に変換するマトリックス式 を作成する座標変換式作成手段48と、その座標変換式
に従って、デジタイザー10の座標指示器で指定した点
のX−Y座標値(X、Y)から被検査基板における測定
点のx−y座標値(x、y)を算出する測定点座標検出
手段50とを備えるものである。
の各x−y座標値(xi 、yl)、(×2、:V2)
が明らかな測定点座標被検出物36を用い、それ等の2
点44.46をデジタイザー10の座標指示器でそれぞ
れ指定してX−Y座標値(Xi 、Yl)、(X2 、
Y2 )を読み取り、測定点座標被検出物36の被検
査基板に対する倍率A、被検査基板x−y座標のデジタ
イザーX−Y座標に対する回転角度θ、被検査基板x−
y座標の原点42のデジタイザーX−Y座標の原点から
のオフセット値(X0,Y0)を示す各係数をそれぞれ
算出し、デジタイザー10のX−Y座標を被検査基板の
x−y座標に変換するマトリックス式 を作成する座標変換式作成手段48と、その座標変換式
に従って、デジタイザー10の座標指示器で指定した点
のX−Y座標値(X、Y)から被検査基板における測定
点のx−y座標値(x、y)を算出する測定点座標検出
手段50とを備えるものである。
作用
上記のように構成し、・被検査基板上で少なくとも2点
44.46の各x−y座標値(xl 、 yl )、(
x2.y2)が明らかな測定点座標被検出物36を用い
、それ等の2点44.46をデジタイザー10の座標指
示器でそれぞれ指定すると、X−Y座標値(Xl 、
Yl )、(X2 、 Y2 > カ読み取れる。そこ
で、座標変換式作成手段48では、測定点座標被検出物
36の被検査基板に対する倍率A、被検査基板x−y座
標のデジタイザーX−Y座標に対する回転角度θ、被検
査基板x−y座標の原点42のデジタイザーX−Y座標
の原点からのオフセット値(X0,Y0)を示す各係数
をそれぞれ算出して、デジタイザー10のX−Y座標を
被検査基板のx−y座標に変換するマトリックス式 を作成する。すると、測定点座標検出手段50により、
その座標変換式に従って、デジタイザー10の座標指示
器で指定した点のX−Y座標値(X。
44.46の各x−y座標値(xl 、 yl )、(
x2.y2)が明らかな測定点座標被検出物36を用い
、それ等の2点44.46をデジタイザー10の座標指
示器でそれぞれ指定すると、X−Y座標値(Xl 、
Yl )、(X2 、 Y2 > カ読み取れる。そこ
で、座標変換式作成手段48では、測定点座標被検出物
36の被検査基板に対する倍率A、被検査基板x−y座
標のデジタイザーX−Y座標に対する回転角度θ、被検
査基板x−y座標の原点42のデジタイザーX−Y座標
の原点からのオフセット値(X0,Y0)を示す各係数
をそれぞれ算出して、デジタイザー10のX−Y座標を
被検査基板のx−y座標に変換するマトリックス式 を作成する。すると、測定点座標検出手段50により、
その座標変換式に従って、デジタイザー10の座標指示
器で指定した点のX−Y座標値(X。
Y)から被検査基板における測定点のx−y座標値(x
、y)を算出することができる。
、y)を算出することができる。
実施例
以下、添付図面に基づいて、本発明の詳細な説明する。
第2図は本発明を適用したインサーキットテスタ用の被
検査基板測定点座標検出装置を示すブロック図である。
検査基板測定点座標検出装置を示すブロック図である。
図中、10はデジタイザー、12はその画板である。こ
の画板12の中央部には直交するX軸14とY軸16か
らなり、原点18を左下コーナに有するX−Y座標面2
0がある。各X軸14、Y軸16の単位はmm或いはイ
ンチである。なお、原点は希には左上コーナーにあるも
のもあるが、そのようなものでも原点をスイッチの切り
換えにより簡単に左下コーナーに移せる。
の画板12の中央部には直交するX軸14とY軸16か
らなり、原点18を左下コーナに有するX−Y座標面2
0がある。各X軸14、Y軸16の単位はmm或いはイ
ンチである。なお、原点は希には左上コーナーにあるも
のもあるが、そのようなものでも原点をスイッチの切り
換えにより簡単に左下コーナーに移せる。
又、22は被検査基板の配線パターン上で選定した複数
の測定点の各x−y座標値を検出するのに必要な処理を
行うCPUを備えた制m+装置である。この制御装置2
2は例えばマイクロコンピュータであり、CPU (中
央処理装置)24、ROM(読み出し専用メモリ)26
、RAM (読み出し書き込み可能メモリ)28、入出
力ボート30、パスライン32等から構成されている。
の測定点の各x−y座標値を検出するのに必要な処理を
行うCPUを備えた制m+装置である。この制御装置2
2は例えばマイクロコンピュータであり、CPU (中
央処理装置)24、ROM(読み出し専用メモリ)26
、RAM (読み出し書き込み可能メモリ)28、入出
力ボート30、パスライン32等から構成されている。
CPU24はマイクロコンピュータの中心となる頭脳部
に相当し、プログラムの命令に従って全体に対する制御
を実行すると共に、綽術、論理演算を行ない、その結果
も一時的に記憶する。又、周辺装置に対しても適宜制御
を行なっている。ROM26には全体を制aするための
制御プログラムが格納されている。又、RAM28はデ
ジタイザー10で被検査基板の版下から読み込んだ座標
データ、キーボードで入力したデータ、フロッピーディ
スクから入力だ測定点座標検出処理プログラム、CPU
24で演算したデータ等の各種のデータを記憶する。入
出力ポート30にはデジタイザー10とキーボード、フ
ロッピーディスクドライバ、デイスプレィ等の他の入出
力機器34を接続する。なお、被検査基板の各測定点の
座標データはフロッピーディスクに格納して保存するか
、直接インサーキットテスタに入力する。パスライン3
2はそれ等を接続するためのアドレスバスライン、デー
タバスライン、制御パスライン等を含み、周辺装置とも
適宜結合している。
に相当し、プログラムの命令に従って全体に対する制御
を実行すると共に、綽術、論理演算を行ない、その結果
も一時的に記憶する。又、周辺装置に対しても適宜制御
を行なっている。ROM26には全体を制aするための
制御プログラムが格納されている。又、RAM28はデ
ジタイザー10で被検査基板の版下から読み込んだ座標
データ、キーボードで入力したデータ、フロッピーディ
スクから入力だ測定点座標検出処理プログラム、CPU
24で演算したデータ等の各種のデータを記憶する。入
出力ポート30にはデジタイザー10とキーボード、フ
ロッピーディスクドライバ、デイスプレィ等の他の入出
力機器34を接続する。なお、被検査基板の各測定点の
座標データはフロッピーディスクに格納して保存するか
、直接インサーキットテスタに入力する。パスライン3
2はそれ等を接続するためのアドレスバスライン、デー
タバスライン、制御パスライン等を含み、周辺装置とも
適宜結合している。
次に、本実施例の動作を説明する。
第3図、及び第4図は被検査基板の測定点座標検出処理
プログラムを示すフローチャートであり、P1〜P13
のステップにより実行される。先ず、デジタイザー10
をマイクロコンピュータ22に接続し、フロッピーディ
スクから測定点座標検出処理プログラムを入力する。更
に、測定点座標被検出物として、被検査基板の版下36
をデジタイザー10のX−Y座標面20の上に置き、固
定する。その際、作業者は目視により版下36のX軸(
横の縁)38、y軸(縦の縁>40をそれぞれデジタイ
ザー10のX軸14、Y軸16とおおよそ平行になるよ
うに配置し、その原点42を原点18にできるだけ近付
けるようにする。この版下36の左下コーナ一部付近で
は、その部分にある任意の異なる2点44.46の各x
−y座標値(Xi 、 yi >、(x2 、 y2
)がそれぞれ明らかになっている。なお、版下36が大
きいと、全ての測定点を1度に読み込むことができない
ので、1度に読み込める部分毎に版下36を区分し、各
部分毎に少なくとも2点の各x−y座標値を明らかにし
ておく。
プログラムを示すフローチャートであり、P1〜P13
のステップにより実行される。先ず、デジタイザー10
をマイクロコンピュータ22に接続し、フロッピーディ
スクから測定点座標検出処理プログラムを入力する。更
に、測定点座標被検出物として、被検査基板の版下36
をデジタイザー10のX−Y座標面20の上に置き、固
定する。その際、作業者は目視により版下36のX軸(
横の縁)38、y軸(縦の縁>40をそれぞれデジタイ
ザー10のX軸14、Y軸16とおおよそ平行になるよ
うに配置し、その原点42を原点18にできるだけ近付
けるようにする。この版下36の左下コーナ一部付近で
は、その部分にある任意の異なる2点44.46の各x
−y座標値(Xi 、 yi >、(x2 、 y2
)がそれぞれ明らかになっている。なお、版下36が大
きいと、全ての測定点を1度に読み込むことができない
ので、1度に読み込める部分毎に版下36を区分し、各
部分毎に少なくとも2点の各x−y座標値を明らかにし
ておく。
そこで、プログラムによる処理を開始し、先ずPlで、
デジタイザー10のX−Y座標を被検査基板のx−y座
標(変換する式の各係数として、版下36の被検査基板
に対する倍率A、被検前基板x−y座標のデジタイザー
X−Y座標に対する回転角度θ、被検前基板x−y座標
の原点のデジタイザーX−Y座標の原点からのオフセッ
ト値(XO、yo )等の初期値をそれぞれA=1、θ
=o、xo =o、yo =oに設定する。一般に、版
下36の被検査基板に対する倍率Aは1.2等である。
デジタイザー10のX−Y座標を被検査基板のx−y座
標(変換する式の各係数として、版下36の被検査基板
に対する倍率A、被検前基板x−y座標のデジタイザー
X−Y座標に対する回転角度θ、被検前基板x−y座標
の原点のデジタイザーX−Y座標の原点からのオフセッ
ト値(XO、yo )等の初期値をそれぞれA=1、θ
=o、xo =o、yo =oに設定する。一般に、版
下36の被検査基板に対する倍率Aは1.2等である。
次にP2で、それ等の各係数を変換するか判定する。そ
の際、版下36を新たに或いは移動して固定した直後に
はYESと判定され、P3へ行く。P3では、デジタイ
ザー10の座標指示器により、被検査基板におけるx−
y座標値(×1、Vl)が既知の版下36上にある第1
点44を指定し、そのX−Y座標値(XI 、 Yl
)を入力する。次にP4で、同様にx−y座標値(×2
゜y2 )が既知の版下36上にある第2点46を指定
し、そのX−Y座標値(X2 、 Y2 >を入力する
。次にP5で、キーボード34により、被検査基板にあ
ける第1既知点44のx−y座標値(Xl、yl)を入
力する。次にP6で、同様に第2既知点46のx−y座
標値(x2 、 y2 )を入力する。次にPlへ行<
、Plでは、デジタイザー10のX−Y座標と被検査基
板のx−y座標との関係を示すマトリックス式 から4元1次の連立方程式 XI =A (xl cos θ−yi sin θ
>+X0Y1 =A (xi sin θ+yicos
θ)+YOX2 =A (x2 cos θ−y2
sin θ>+X0Y2 =A (x2 sin θ+
y2cos θ)+YOをそれぞれ作成し、各係数A、
θ、XO、y。
の際、版下36を新たに或いは移動して固定した直後に
はYESと判定され、P3へ行く。P3では、デジタイ
ザー10の座標指示器により、被検査基板におけるx−
y座標値(×1、Vl)が既知の版下36上にある第1
点44を指定し、そのX−Y座標値(XI 、 Yl
)を入力する。次にP4で、同様にx−y座標値(×2
゜y2 )が既知の版下36上にある第2点46を指定
し、そのX−Y座標値(X2 、 Y2 >を入力する
。次にP5で、キーボード34により、被検査基板にあ
ける第1既知点44のx−y座標値(Xl、yl)を入
力する。次にP6で、同様に第2既知点46のx−y座
標値(x2 、 y2 )を入力する。次にPlへ行<
、Plでは、デジタイザー10のX−Y座標と被検査基
板のx−y座標との関係を示すマトリックス式 から4元1次の連立方程式 XI =A (xl cos θ−yi sin θ
>+X0Y1 =A (xi sin θ+yicos
θ)+YOX2 =A (x2 cos θ−y2
sin θ>+X0Y2 =A (x2 sin θ+
y2cos θ)+YOをそれぞれ作成し、各係数A、
θ、XO、y。
算出する。すると、
を
(XI (C2+62)−xl(ac十bd)十y1
(bc−ad>)/ (c2+d2YO= (Yl
(c 十d2) −xl(bc−ad)−yl (
ac+bd))/ (C2+d” )が得られる。但し
、a=X2−XI 、b=Y2Y1 、c=x2−xl
、d=y2−Vlである。
(bc−ad>)/ (c2+d2YO= (Yl
(c 十d2) −xl(bc−ad)−yl (
ac+bd))/ (C2+d” )が得られる。但し
、a=X2−XI 、b=Y2Y1 、c=x2−xl
、d=y2−Vlである。
更に、これ等の各係数を算出する他の計算例を第5図に
基づき、以下に説明する。先ず、被検前基板x−y座標
の原点42のデジタイザーX−Y座標1Bからqずれを
示すオフセット値(XO。
基づき、以下に説明する。先ず、被検前基板x−y座標
の原点42のデジタイザーX−Y座標1Bからqずれを
示すオフセット値(XO。
Y O)を算出する。即ち、被検査基板のx−y座標と
デジタイザー10のX−Y座標との対応する各軸成分の
比から等式 %式%) をそれぞれ作成すると XO=X1 x2 X2 xl 2−xl 2−yl が求まる。
デジタイザー10のX−Y座標との対応する各軸成分の
比から等式 %式%) をそれぞれ作成すると XO=X1 x2 X2 xl 2−xl 2−yl が求まる。
次に、倍率へは原点42と第1既知点44との直から求
まる。
まる。
又、
回転角度θは
xt −xo xi −x。
tanθ2=yt ;+θ2 =tan −1y
1x1 xlである
から a = θ1 /92 =tan −1yi YO
−1y1tan Xi −XOxl から求まる。
1x1 xlである
から a = θ1 /92 =tan −1yi YO
−1y1tan Xi −XOxl から求まる。
次にP8へ行き、先に定めた各係数を新たに求めたそれ
等の各係数に適宜変更する。
等の各係数に適宜変更する。
次にP9へ行く。P9では、変更等した各係数とデジタ
イザー10のX−Y座標と被検査基板のx−y座標との
関係を示すマトリックス式(イ)からデジタイザーのX
−Y座標を被検査基板のX−y座標に変換するマトリッ
クス式 を作成する。なあ、P2でNoの場合には直接P9へ行
く。次にPIOで、デジタイザー10の座標指示器によ
り、版下36上で求めたい点を指定し、そのX−Y座標
値を入力する。次にPllで、座標変換式(ロ)を用い
て、そのX−Y座標値から被検査基板における測定点の
x−y座標値を求める。
イザー10のX−Y座標と被検査基板のx−y座標との
関係を示すマトリックス式(イ)からデジタイザーのX
−Y座標を被検査基板のX−y座標に変換するマトリッ
クス式 を作成する。なあ、P2でNoの場合には直接P9へ行
く。次にPIOで、デジタイザー10の座標指示器によ
り、版下36上で求めたい点を指定し、そのX−Y座標
値を入力する。次にPllで、座標変換式(ロ)を用い
て、そのX−Y座標値から被検査基板における測定点の
x−y座標値を求める。
次にPI3で、そのx−y座標データをRAM28に記
憶する。次にPI3で、入力を続けるか判定する。版下
36上で求める点が外にある場合にはYESとなり、P
2へ戻る。更に、P2〜P13のステップを適宜繰り返
すと、各係数を変更せずに或いは版下36の位置を移動
して適宜各係数を変更し、デジタイザー10の座標指示
器で点を順次指定し、読み取った各X−Y座標値(X、
Y)から変換により被検査基板における測定点のx−y
座標値(x、y)を順次算出し、それ等の各座標データ
をRAM28に記憶することができる。その際、1枚の
版下36に対する読み取り作業の途中で、作業を中断し
或いは版下36を移動しても、それまでに獲得した変換
データはRAM28に記憶されているため、作業継続後
にそれ等の各データを再度作成する必要がない。
憶する。次にPI3で、入力を続けるか判定する。版下
36上で求める点が外にある場合にはYESとなり、P
2へ戻る。更に、P2〜P13のステップを適宜繰り返
すと、各係数を変更せずに或いは版下36の位置を移動
して適宜各係数を変更し、デジタイザー10の座標指示
器で点を順次指定し、読み取った各X−Y座標値(X、
Y)から変換により被検査基板における測定点のx−y
座標値(x、y)を順次算出し、それ等の各座標データ
をRAM28に記憶することができる。その際、1枚の
版下36に対する読み取り作業の途中で、作業を中断し
或いは版下36を移動しても、それまでに獲得した変換
データはRAM28に記憶されているため、作業継続後
にそれ等の各データを再度作成する必要がない。
検査時には、先ずフロッピーディスク等に格納しである
被検査基板の各測定点の座標データをインサーキットテ
スタのコンピュータに入力する。
被検査基板の各測定点の座標データをインサーキットテ
スタのコンピュータに入力する。
そして、インサーキットテスタの測定用テーブル上に被
検査基板を載せ、そのy軸、y軸をそこに備えられてい
る複数のX−Yユニットの共通なy軸、Y軸とそれぞれ
一致させて固定する。そこで、各X−Yユニットのプロ
ーブをX−Y座標データに従ってそれぞれ移動し、基板
面の測定点に順次接触させていき、各プローブを経て各
部品にそれぞれ測定電流を流し或いは測定電圧を印加す
る。
検査基板を載せ、そのy軸、y軸をそこに備えられてい
る複数のX−Yユニットの共通なy軸、Y軸とそれぞれ
一致させて固定する。そこで、各X−Yユニットのプロ
ーブをX−Y座標データに従ってそれぞれ移動し、基板
面の測定点に順次接触させていき、各プローブを経て各
部品にそれぞれ測定電流を流し或いは測定電圧を印加す
る。
すると、抵抗値、静電容量値、インダクタンス値等が測
定でき、被検査基板の良否を正確に判定できる。
定でき、被検査基板の良否を正確に判定できる。
なお、上記実施例ではデジタイザーの座標検出方式が電
磁誘導方式によるものを用いたので、測定点座標被検出
物として被検査基板の版下を使用したが、光学的方式に
よるものを用いると、被検査基板自体から直接測定点の
座標を検出することができる。
磁誘導方式によるものを用いたので、測定点座標被検出
物として被検査基板の版下を使用したが、光学的方式に
よるものを用いると、被検査基板自体から直接測定点の
座標を検出することができる。
発明の詳細
な説明した本発明によれば、測定点座標被検出物をデジ
タイザーのX−Y座標面上に装着する際に、作業者は目
視により被検出物のy軸、y軸がそれぞれデジタイザー
のy軸、Y軸とおおよそ平行になるように配置するだけ
でよいから測定点座標検出の準備に要する作業上の負担
を少なくできる。そして、倍率、回転角度、オフセット
値等の各係数を自動的に正確に検出して、デジタイザー
のX−Y座標を被検査基板のx−y座標に変換する式を
作成し、その座標変換式を用いるので、被検査基板の測
定点座標値を短時間で、正確に検知することができる。
タイザーのX−Y座標面上に装着する際に、作業者は目
視により被検出物のy軸、y軸がそれぞれデジタイザー
のy軸、Y軸とおおよそ平行になるように配置するだけ
でよいから測定点座標検出の準備に要する作業上の負担
を少なくできる。そして、倍率、回転角度、オフセット
値等の各係数を自動的に正確に検出して、デジタイザー
のX−Y座標を被検査基板のx−y座標に変換する式を
作成し、その座標変換式を用いるので、被検査基板の測
定点座標値を短時間で、正確に検知することができる。
しかも、各係数を適宜変更して座標変換式を容易に作成
できるため、測定点座標被検出物をデジタイザーのX−
Y座標面上へ繰り返し装着し易くなり、1度に読み込め
ないような大きな被検出物でも何回かに分け、読み取り
箇所を移動して読み取れるので、取扱いに好都合となる
。
できるため、測定点座標被検出物をデジタイザーのX−
Y座標面上へ繰り返し装着し易くなり、1度に読み込め
ないような大きな被検出物でも何回かに分け、読み取り
箇所を移動して読み取れるので、取扱いに好都合となる
。
第1図は本発明による被検査基板用測定点座標検出装置
を示す図である。 第2図は本発明を適用したインサーキットテスタ用の被
検査基板用測定点座標検出装置を示すブロック図である
。 第3図、及び第4図は被検査基板用測定点座標検出処理
プログラムを示すフローチャートである。 第5図はデジタイザーのX−Y座標と被検査基板のx−
y座標との関係を示す図である。 10・・・デジタイザー 14.16・・・X軸、Y軸
18.42・・・原点 20・・・X−Y座標面 36
・・・測定点座標被検出物 38.40・・・X軸、y
軸44.46・・・座標値(xl 、 yl )、(x
2.y2)が既知の2点 48・・・座標変換式作成手
段50・・・測定点座標検出手段 θ・・・x−y座標
のX−Y座標に対する回転角度 XO、YO・・・x−
y座標原点のX−Y座標原点からのオフセット値×1、
Yl・・・第1既知点に対応するX−Y座標値X2 、
Y2・・・第2既知点に対応するX−Y座標値第1図 第2既知点 θに一7座標の回転角度 第4図 と
を示す図である。 第2図は本発明を適用したインサーキットテスタ用の被
検査基板用測定点座標検出装置を示すブロック図である
。 第3図、及び第4図は被検査基板用測定点座標検出処理
プログラムを示すフローチャートである。 第5図はデジタイザーのX−Y座標と被検査基板のx−
y座標との関係を示す図である。 10・・・デジタイザー 14.16・・・X軸、Y軸
18.42・・・原点 20・・・X−Y座標面 36
・・・測定点座標被検出物 38.40・・・X軸、y
軸44.46・・・座標値(xl 、 yl )、(x
2.y2)が既知の2点 48・・・座標変換式作成手
段50・・・測定点座標検出手段 θ・・・x−y座標
のX−Y座標に対する回転角度 XO、YO・・・x−
y座標原点のX−Y座標原点からのオフセット値×1、
Yl・・・第1既知点に対応するX−Y座標値X2 、
Y2・・・第2既知点に対応するX−Y座標値第1図 第2既知点 θに一7座標の回転角度 第4図 と
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 デジタイザーのX−Y座標面上に、測定点座標被検出物
として被検査基板の版下或は被検査基板自体を置き、そ
の被検査基板の配線パターン上で選定した複数の測定点
の各x−y座標値を検出する被検査基板用測定点座標検
出装置において、上記被検査基板上で少なくとも2点の
各x−y座標値(x1,y1)、(x2,y2)が明ら
かな測定点座標被検出物を用い、それ等の2点をデジタ
イザーの座標指示器でそれぞれ指定してX−Y座標値(
X1,Y1)、(X2,Y2)を読み取り、測定点座標
被検出物の被検査基板に対する倍率A、被検査基板x−
y座標のデジタイザーX−Y座標に対する回転角度θ、
被検査基板x−y座標の原点のデジタイザーX−Y座標
の原点からのオフセット値(X0,Y0)を示す各係数
をそれぞれ算出し、デジタイザーのX−Y座標を被検査
基板のx−y座標に変換するマトリックス式 ▲数式、化学式、表等があります▼ を作成する座標変換式作成手段と、その座標変換式に従
って、デジタイザーの座標指示器で指定した点のX−Y
座標値(X,Y)から被検査基板における測定点のx−
y座標値(x,y)を算出する測定点座標検出手段とを
備えることを特徴とする被検査基板用測定点座標検出装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2278158A JP3001110B2 (ja) | 1990-10-17 | 1990-10-17 | 被検査基板用測定点座標検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2278158A JP3001110B2 (ja) | 1990-10-17 | 1990-10-17 | 被検査基板用測定点座標検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04152279A true JPH04152279A (ja) | 1992-05-26 |
JP3001110B2 JP3001110B2 (ja) | 2000-01-24 |
Family
ID=17593398
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2278158A Expired - Fee Related JP3001110B2 (ja) | 1990-10-17 | 1990-10-17 | 被検査基板用測定点座標検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3001110B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008304222A (ja) * | 2007-06-05 | 2008-12-18 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 磁気検出方法およびその装置 |
JP2009107432A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Suzuki Motor Corp | 自動変速機のシフト操作装置 |
-
1990
- 1990-10-17 JP JP2278158A patent/JP3001110B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008304222A (ja) * | 2007-06-05 | 2008-12-18 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 磁気検出方法およびその装置 |
JP2009107432A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Suzuki Motor Corp | 自動変速機のシフト操作装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3001110B2 (ja) | 2000-01-24 |
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Legal Events
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R250 | Receipt of annual fees |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |