JP2991589B2 - 薄膜磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 - Google Patents
薄膜磁気ヘッド及び磁気ディスク装置Info
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高トラック密度に適し
た磁気ディスク装置に係り、特に高トラック密度に適し
た磁気ディスク装置用の薄膜磁気ヘッドに関する。
た磁気ディスク装置に係り、特に高トラック密度に適し
た磁気ディスク装置用の薄膜磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】図２に、従来の磁気ディスク装置に用い
られている薄膜磁気ヘッドの概略を示す。図２（ａ）は
断面図、図２（ｂ）は磁気コアの記録媒体に対向する面
の形状を示す図である。従来の薄膜磁気ヘッドは、基板
６上に下部磁気コア２、磁気ギャップ層３、薄膜コイル
７、非磁性絶縁層８、上部磁気コア１及び保護膜９を順
次積層形成して構成される。１０は記録媒体に対向する
面である。図２（ｂ）に示すように、従来の薄膜磁気ヘ
ッドでは下部磁気コア２の幅が上部磁気コア１の幅より
広くなり、一般に、記録媒体に対向する磁気コア先端に
おいて、上部磁気コア１の磁気ギャップ３に接する辺４
ｃの長さと下部磁気コア２の磁気ギャップ３に接する辺
５ｃの長さに数μｍの差が生じる。
られている薄膜磁気ヘッドの概略を示す。図２（ａ）は
断面図、図２（ｂ）は磁気コアの記録媒体に対向する面
の形状を示す図である。従来の薄膜磁気ヘッドは、基板
６上に下部磁気コア２、磁気ギャップ層３、薄膜コイル
７、非磁性絶縁層８、上部磁気コア１及び保護膜９を順
次積層形成して構成される。１０は記録媒体に対向する
面である。図２（ｂ）に示すように、従来の薄膜磁気ヘ
ッドでは下部磁気コア２の幅が上部磁気コア１の幅より
広くなり、一般に、記録媒体に対向する磁気コア先端に
おいて、上部磁気コア１の磁気ギャップ３に接する辺４
ｃの長さと下部磁気コア２の磁気ギャップ３に接する辺
５ｃの長さに数μｍの差が生じる。
【０００３】磁気記録装置の高トラック密度化を実現す
るためには、磁気ヘッドのトラック幅加工精度の向上が
必要である。記録再生において有効なトラック幅は、下
部磁気コア２と上部磁気コア１の磁気ギャップ３を挾ん
で向かいあっている辺の長さＴｗ（以下、トラック幅と
呼ぶ。）で決まる。図２に示す従来の薄膜磁気ヘッドで
は、トラック幅は上部磁気コア１の幅で決定される。と
ころが、上部磁気コア１は非磁性絶縁層８の斜面部の段
差直下に形成するため、レジストが厚くなりトラック幅
加工精度が悪くなる。また、上部磁気コア１は斜面部を
もつ非磁性絶縁層８の上に形成されるため、上部磁気コ
ア１の膜厚を下部磁気コア２の膜厚よりも厚くして記録
特性を向上している場合が多い。この場合、トラック幅
を膜厚の厚い上部磁気コア１の幅で決定すると、トラッ
ク幅を形成する精度の面で不利である。このような点か
らして、トラック幅は平坦部に形成される下部磁気コア
２で決める方が有利であり、膜厚の薄い下部磁気コア２
の幅でトラック幅を決めれば、トラック幅加工精度は一
層の向上が期待できる。そこで、トラック幅が下部磁気
コア２の幅でほぼ決定される種々の薄膜磁気ヘッドが提
案されている。
るためには、磁気ヘッドのトラック幅加工精度の向上が
必要である。記録再生において有効なトラック幅は、下
部磁気コア２と上部磁気コア１の磁気ギャップ３を挾ん
で向かいあっている辺の長さＴｗ（以下、トラック幅と
呼ぶ。）で決まる。図２に示す従来の薄膜磁気ヘッドで
は、トラック幅は上部磁気コア１の幅で決定される。と
ころが、上部磁気コア１は非磁性絶縁層８の斜面部の段
差直下に形成するため、レジストが厚くなりトラック幅
加工精度が悪くなる。また、上部磁気コア１は斜面部を
もつ非磁性絶縁層８の上に形成されるため、上部磁気コ
ア１の膜厚を下部磁気コア２の膜厚よりも厚くして記録
特性を向上している場合が多い。この場合、トラック幅
を膜厚の厚い上部磁気コア１の幅で決定すると、トラッ
ク幅を形成する精度の面で不利である。このような点か
らして、トラック幅は平坦部に形成される下部磁気コア
２で決める方が有利であり、膜厚の薄い下部磁気コア２
の幅でトラック幅を決めれば、トラック幅加工精度は一
層の向上が期待できる。そこで、トラック幅が下部磁気
コア２の幅でほぼ決定される種々の薄膜磁気ヘッドが提
案されている。
【０００４】特開平２−６８７０４号公報は、上部磁気
コアの側端部（トラック幅方向の端部）が磁気ギャップ
に対し傾斜し、かつ上部磁気コアの磁気ギャップに接す
る部分の幅と下部磁気コアの幅を揃えた薄膜磁気ヘッド
を開示している。また、特開平４−５３０１２号公報及
び米国特許第５０８４９５７号明細書は、上部磁気コア
の側端部のうち磁気ギャップ近傍部分での幅が下部磁気
コアの幅と略同じである薄膜磁気ヘッドを開示してい
る。
コアの側端部（トラック幅方向の端部）が磁気ギャップ
に対し傾斜し、かつ上部磁気コアの磁気ギャップに接す
る部分の幅と下部磁気コアの幅を揃えた薄膜磁気ヘッド
を開示している。また、特開平４−５３０１２号公報及
び米国特許第５０８４９５７号明細書は、上部磁気コア
の側端部のうち磁気ギャップ近傍部分での幅が下部磁気
コアの幅と略同じである薄膜磁気ヘッドを開示してい
る。
【０００５】以上の薄膜磁気ヘッドの側端部形状は、ク
ロストークを低減することを目的とするものでもある。
隣接トラックからのクロストークは、上部磁気コアと下
部磁気コアの幅を膜厚方向に一定にすると低減できるこ
とが知られている。例えばアイ・イー・イー・イー・トラン
ズアクション・オン・マグネティクス、第２５巻、第５
号、３１９７〜３１９９頁に記載されているように、ト
ラック幅に対して余分な磁気コアの突出がなく、上部磁
気コアと下部磁気コアの側面のなす角度が大きいほど、
隣接トラックからのクロストークは低減される。
ロストークを低減することを目的とするものでもある。
隣接トラックからのクロストークは、上部磁気コアと下
部磁気コアの幅を膜厚方向に一定にすると低減できるこ
とが知られている。例えばアイ・イー・イー・イー・トラン
ズアクション・オン・マグネティクス、第２５巻、第５
号、３１９７〜３１９９頁に記載されているように、ト
ラック幅に対して余分な磁気コアの突出がなく、上部磁
気コアと下部磁気コアの側面のなす角度が大きいほど、
隣接トラックからのクロストークは低減される。
【０００６】しかしながら、各々数μｍの膜厚のある上
部磁気コアと下部磁気コアの幅を一定に高精度に加工す
るのは困難である。そこで、上述の薄膜磁気ヘッドのよ
うに、少なくとも磁気ギャップ近傍部分では上部磁気コ
アと下部磁気コアの幅を揃え、両磁気コアの側面のなす
角度を略１８０度にして、隣接トラックからのクロスト
ークを低減することが提案されている。
部磁気コアと下部磁気コアの幅を一定に高精度に加工す
るのは困難である。そこで、上述の薄膜磁気ヘッドのよ
うに、少なくとも磁気ギャップ近傍部分では上部磁気コ
アと下部磁気コアの幅を揃え、両磁気コアの側面のなす
角度を略１８０度にして、隣接トラックからのクロスト
ークを低減することが提案されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】高トラック密度磁気記
録における記録ではトラック幅から横方向にはみ出るフ
リンジの大きさが問題になり、再生では隣接トラックか
らのクロストークの増大による信号対雑音比の低下が問
題となる。隣接トラックからのクロストークを低減する
には、基本的には特開平４−５３０１２号公報で示され
た磁気コア形状が有効と考えられる。しかしながら、こ
の磁気コアの側端部形状は従来の磁気ヘッドに比べかな
り複雑である。
録における記録ではトラック幅から横方向にはみ出るフ
リンジの大きさが問題になり、再生では隣接トラックか
らのクロストークの増大による信号対雑音比の低下が問
題となる。隣接トラックからのクロストークを低減する
には、基本的には特開平４−５３０１２号公報で示され
た磁気コア形状が有効と考えられる。しかしながら、こ
の磁気コアの側端部形状は従来の磁気ヘッドに比べかな
り複雑である。
【０００８】隣接トラックからのクロストークが大きく
なるのは、磁気コアのトラック幅より広がる余分な突出
部分があるためである。すなわち、隣接トラックからの
クロストークは、記録媒体に対向する磁気コア先端の側
端部形状に大きく依存する。特に、狭トラック幅ではト
ラック中央部分からの再生出力はトラック幅に略比例し
て低下する一方、トラック端部からの再生出力は変わら
ないいために、トラック端部の影響が顕著となる。した
がって、十分なクロストーク低減効果を持つ薄膜磁気ヘ
ッドを得るためには、磁気コア先端の側端部形状とクロ
ストークとの関係を考慮して磁気コア先端の側端部形状
を決めることが不可欠である。本発明の目的は、磁気コ
ア先端の側端部形状を隣接トラックからのクロストーク
を小さくするのに適切な形状にし、高トラック密度でも
信号対雑音比の良好な狭トラック幅の薄膜磁気ヘッドを
提供することにある。
なるのは、磁気コアのトラック幅より広がる余分な突出
部分があるためである。すなわち、隣接トラックからの
クロストークは、記録媒体に対向する磁気コア先端の側
端部形状に大きく依存する。特に、狭トラック幅ではト
ラック中央部分からの再生出力はトラック幅に略比例し
て低下する一方、トラック端部からの再生出力は変わら
ないいために、トラック端部の影響が顕著となる。した
がって、十分なクロストーク低減効果を持つ薄膜磁気ヘ
ッドを得るためには、磁気コア先端の側端部形状とクロ
ストークとの関係を考慮して磁気コア先端の側端部形状
を決めることが不可欠である。本発明の目的は、磁気コ
ア先端の側端部形状を隣接トラックからのクロストーク
を小さくするのに適切な形状にし、高トラック密度でも
信号対雑音比の良好な狭トラック幅の薄膜磁気ヘッドを
提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明では、磁気コアの
側端部を所定の形状とすることによって前記目的を達成
する。すなわち、磁気ギャップを挟む下部磁気コアと上
部磁気コアの一方は、その幅が膜厚方向に略一定であ
り、他方の磁気コアは、その幅が磁気ギャップ近傍で略
一定であり、磁気ギャップから離れると磁気ギャップ近
傍よりも広い部分を有する薄膜磁気ヘッドにおいて、後
者の磁気コアの、幅が略一定である膜厚方向の長さｄ1
（μｍ）（ｄ1≠０）、幅が広がる部分にあたる磁気コ
アの側面と磁気ギャップ面との成す角度θ（度）、前記
磁気ギャップに接する前記下部磁気コアの辺と前記上部
磁気コアの辺の同じ側の端部の前記辺の方向の距離ｄ2
（μｍ）、下部磁気コアと上部磁気コアの磁気ギャップ
に接する辺のうち短い方の辺の端部と磁気コアの幅が最
も広がった部分の縁部の間の磁気ギャップ面方向の距離
ｄ3（μｍ）が下記条件を満たすようにする。９０＞θ
＞０、かつ、θ≧１５．５−３４．４×ｄ1＋４１０×
（ｄ2／ｄ3）4，０．６５＞ｄ2／ｄ3＞０
側端部を所定の形状とすることによって前記目的を達成
する。すなわち、磁気ギャップを挟む下部磁気コアと上
部磁気コアの一方は、その幅が膜厚方向に略一定であ
り、他方の磁気コアは、その幅が磁気ギャップ近傍で略
一定であり、磁気ギャップから離れると磁気ギャップ近
傍よりも広い部分を有する薄膜磁気ヘッドにおいて、後
者の磁気コアの、幅が略一定である膜厚方向の長さｄ1
（μｍ）（ｄ1≠０）、幅が広がる部分にあたる磁気コ
アの側面と磁気ギャップ面との成す角度θ（度）、前記
磁気ギャップに接する前記下部磁気コアの辺と前記上部
磁気コアの辺の同じ側の端部の前記辺の方向の距離ｄ2
（μｍ）、下部磁気コアと上部磁気コアの磁気ギャップ
に接する辺のうち短い方の辺の端部と磁気コアの幅が最
も広がった部分の縁部の間の磁気ギャップ面方向の距離
ｄ3（μｍ）が下記条件を満たすようにする。９０＞θ
＞０、かつ、θ≧１５．５−３４．４×ｄ1＋４１０×
（ｄ2／ｄ3）4，０．６５＞ｄ2／ｄ3＞０
【００１０】上記条件は、下部磁気コアと上部磁気コア
の磁気ギャップに接する辺の長さが等しい場合（ｄ2＝
０の場合）、磁気ギャップから離れると磁気コアの幅が
磁気ギャップ近傍よりも広い部分を有する方の磁気コア
で、磁気ギャップ近傍で磁気コアの幅が略一定となる部
分を有しない場合（ｄ1＝０の場合）、磁気コアの幅が
広がる部分にあたる側面と磁気ギャップ面が略平行とな
る場合（θ＝０の場合）であっても成立し、それぞれ上
式より導かれる条件を満足する形状とすることにより隣
接トラックからのクロストークを小さくすることができ
る。
の磁気ギャップに接する辺の長さが等しい場合（ｄ2＝
０の場合）、磁気ギャップから離れると磁気コアの幅が
磁気ギャップ近傍よりも広い部分を有する方の磁気コア
で、磁気ギャップ近傍で磁気コアの幅が略一定となる部
分を有しない場合（ｄ1＝０の場合）、磁気コアの幅が
広がる部分にあたる側面と磁気ギャップ面が略平行とな
る場合（θ＝０の場合）であっても成立し、それぞれ上
式より導かれる条件を満足する形状とすることにより隣
接トラックからのクロストークを小さくすることができ
る。
【００１１】
【作用】隣接トラックからのクロストークが生ずる原因
は、隣接トラックの記録磁化からの磁束が、磁気コア先
端の媒体対向面の側端部から吸い込まれるためである。
したがって、磁気コアのトラック幅より広がる余分な突
出部分は、隣接トラックからのクロストークを大きくす
る原因となる。しかしながら、本発明者らは、計算機シ
ミュレーションによる検討によって、磁気コアの一部の
幅がトラック幅より広くても、磁気ギャップ近傍で磁気
コアの幅をトラック幅と略同じに保ち、磁気ギャップか
ら離れたところで磁気コアの幅が広がる部分を有する浮
上面形状とすれば、隣接トラックからのクロストークを
低減することができることを見出した。
は、隣接トラックの記録磁化からの磁束が、磁気コア先
端の媒体対向面の側端部から吸い込まれるためである。
したがって、磁気コアのトラック幅より広がる余分な突
出部分は、隣接トラックからのクロストークを大きくす
る原因となる。しかしながら、本発明者らは、計算機シ
ミュレーションによる検討によって、磁気コアの一部の
幅がトラック幅より広くても、磁気ギャップ近傍で磁気
コアの幅をトラック幅と略同じに保ち、磁気ギャップか
ら離れたところで磁気コアの幅が広がる部分を有する浮
上面形状とすれば、隣接トラックからのクロストークを
低減することができることを見出した。
【００１２】図３に、磁気ヘッドのトラック幅方向での
磁界分布を示す。縦軸は磁気ギャップの中間での磁界で
あり、トラック中央の値で規格化してある。横軸はトラ
ック中央からのトラック幅方向への距離であり、トラッ
ク幅で規格化してある。破線は図２に示した従来の薄膜
磁気ヘッドの磁界分布、実線は上部磁気コアの磁気ギャ
ップ近傍部分の幅と下部磁気コアの幅を同じにした磁気
ヘッドの磁界分布を示している。前者の磁気ヘッドに比
べ、後者の磁気ヘッドはトラック幅の端まで強い磁界を
発生し、トラック幅の外側では急峻に磁界は減衰する。
後者の磁気ヘッドの発生する記録磁界は高トラック密度
に適している。また、後者の磁気ヘッドではトラック端
部での漏れ磁界が小さいことから、クロストークが低い
ことが予測される。
磁界分布を示す。縦軸は磁気ギャップの中間での磁界で
あり、トラック中央の値で規格化してある。横軸はトラ
ック中央からのトラック幅方向への距離であり、トラッ
ク幅で規格化してある。破線は図２に示した従来の薄膜
磁気ヘッドの磁界分布、実線は上部磁気コアの磁気ギャ
ップ近傍部分の幅と下部磁気コアの幅を同じにした磁気
ヘッドの磁界分布を示している。前者の磁気ヘッドに比
べ、後者の磁気ヘッドはトラック幅の端まで強い磁界を
発生し、トラック幅の外側では急峻に磁界は減衰する。
後者の磁気ヘッドの発生する記録磁界は高トラック密度
に適している。また、後者の磁気ヘッドではトラック端
部での漏れ磁界が小さいことから、クロストークが低い
ことが予測される。
【００１３】図４、図５及び図６は、計算機シミュレー
ションにより得られた隣接トラックからのクロストーク
と薄膜磁気ヘッドの磁気コア先端の側端部形状との関係
を示している。図４において横軸は、磁気ギャップ近傍
で上部磁気コアの幅が略一定である膜厚方向の長さｄ1
（以下、段高さと呼ぶ。）である。縦軸は隣接トラック
からのクロストーク量であり、段高さが０の時の値で規
格化してある。破線で示したのは、トラック幅より広が
る余分な突出部分のない磁気ヘッドのクロストーク量で
ある。段高さを高くすることによりクロストーク量は減
少する。段高さが０．５μｍ以上では、クロストーク量
の減少は段高さに対して略直線的になる。また、段高さ
を１．５μｍ以上に高くしても、さらに得られるクロス
トーク低減の効果はそれほど大きくはならない。
ションにより得られた隣接トラックからのクロストーク
と薄膜磁気ヘッドの磁気コア先端の側端部形状との関係
を示している。図４において横軸は、磁気ギャップ近傍
で上部磁気コアの幅が略一定である膜厚方向の長さｄ1
（以下、段高さと呼ぶ。）である。縦軸は隣接トラック
からのクロストーク量であり、段高さが０の時の値で規
格化してある。破線で示したのは、トラック幅より広が
る余分な突出部分のない磁気ヘッドのクロストーク量で
ある。段高さを高くすることによりクロストーク量は減
少する。段高さが０．５μｍ以上では、クロストーク量
の減少は段高さに対して略直線的になる。また、段高さ
を１．５μｍ以上に高くしても、さらに得られるクロス
トーク低減の効果はそれほど大きくはならない。
【００１４】図５において横軸は、上部磁気コアの幅が
広がる部分にあたる側面と磁気ギャップ面との成す角度
θ（以下、広がり角と呼ぶ。）である。縦軸は隣接トラ
ックからのクロストーク量であり、広がり角が０度の時
の値で規格化してある。破線で示したのは、トラック幅
より広がる余分な突出部分のない磁気ヘッドのクロスト
ーク量である。広がり角を大きくすることによりクロス
トーク量は減少する。広がり角が１５度以上では、クロ
ストーク量の減少は広がり角に対して略直線的になる。
また、広がり角を４５度以上に大きくしても、さらに得
られるクロストーク低減の効果はそれほど大きくはなら
ない。
広がる部分にあたる側面と磁気ギャップ面との成す角度
θ（以下、広がり角と呼ぶ。）である。縦軸は隣接トラ
ックからのクロストーク量であり、広がり角が０度の時
の値で規格化してある。破線で示したのは、トラック幅
より広がる余分な突出部分のない磁気ヘッドのクロスト
ーク量である。広がり角を大きくすることによりクロス
トーク量は減少する。広がり角が１５度以上では、クロ
ストーク量の減少は広がり角に対して略直線的になる。
また、広がり角を４５度以上に大きくしても、さらに得
られるクロストーク低減の効果はそれほど大きくはなら
ない。
【００１５】図６において横軸は、磁気ギャップに接す
る下部磁気コアの辺と上部磁気コアの辺の同じ側の端部
の辺の方向の距離ｄ2である。縦軸は隣接トラックから
のクロストーク量であり、磁気ギャップに接する磁気コ
アの辺の長さの差が１．５μｍの時の値で規格化してあ
る。ここで、磁気コアの磁気ギャップに接する辺のうち
短い方の長さと、磁気コアの最も広がった幅との差ｄ3
は１．５μｍ、段高さは０．５μｍ、広がり角は０度で
ある。磁気ギャップに接する下部磁気コアの辺と上部磁
気コアの辺の同じ側の端部の辺の方向の距離を小さくす
ることにより、クロストーク量は減少する。
る下部磁気コアの辺と上部磁気コアの辺の同じ側の端部
の辺の方向の距離ｄ2である。縦軸は隣接トラックから
のクロストーク量であり、磁気ギャップに接する磁気コ
アの辺の長さの差が１．５μｍの時の値で規格化してあ
る。ここで、磁気コアの磁気ギャップに接する辺のうち
短い方の長さと、磁気コアの最も広がった幅との差ｄ3
は１．５μｍ、段高さは０．５μｍ、広がり角は０度で
ある。磁気ギャップに接する下部磁気コアの辺と上部磁
気コアの辺の同じ側の端部の辺の方向の距離を小さくす
ることにより、クロストーク量は減少する。
【００１６】磁気コアの示すクロストーク特性は、上記
の段高さ、広がり角及び磁気ギャップに接する下部磁気
コアの辺と上部磁気コアの辺の同じ側の端部の辺の方向
の距離の効果の組合せとなる。したがって、隣接トラッ
クからのクロストークを低減するには、ただ単に磁気ギ
ャップ近傍部分での上部磁気コアと下部磁気コアの側面
のなす角度を略１８０度にするだけでは不十分であり、
磁気コアの側端部の全体形状を考慮することが必要にな
る。上記のクロストーク特性の結果から磁気コアの側端
部形状を最適化し、所定の範囲とすることにより、本発
明は、従来型の薄膜磁気ヘッドよりも隣接トラックから
のクロストークが小さく、狭トラック幅に適した薄膜磁
気ヘッドを実現するものである。
の段高さ、広がり角及び磁気ギャップに接する下部磁気
コアの辺と上部磁気コアの辺の同じ側の端部の辺の方向
の距離の効果の組合せとなる。したがって、隣接トラッ
クからのクロストークを低減するには、ただ単に磁気ギ
ャップ近傍部分での上部磁気コアと下部磁気コアの側面
のなす角度を略１８０度にするだけでは不十分であり、
磁気コアの側端部の全体形状を考慮することが必要にな
る。上記のクロストーク特性の結果から磁気コアの側端
部形状を最適化し、所定の範囲とすることにより、本発
明は、従来型の薄膜磁気ヘッドよりも隣接トラックから
のクロストークが小さく、狭トラック幅に適した薄膜磁
気ヘッドを実現するものである。
【００１７】
【実施例】本発明の実施例を以下、図面に基づいて詳細
に説明する。図１に、本発明による薄膜磁気ヘッドの類
型を示す。図は、各薄膜磁気ヘッドの記録媒体に対向す
る面の形状を表し、１及び２はそれぞれ上部磁気コア及
び下部磁気コアを示す。また、３はアルミナ等セラミッ
ク材料からなる非磁性絶縁層で形成された磁気ギャップ
である。これらの磁気ヘッドは、例えば特開平２−６８
７０４号公報や、特開平４−５３０１２号公報に示され
る手法によって作成する。
に説明する。図１に、本発明による薄膜磁気ヘッドの類
型を示す。図は、各薄膜磁気ヘッドの記録媒体に対向す
る面の形状を表し、１及び２はそれぞれ上部磁気コア及
び下部磁気コアを示す。また、３はアルミナ等セラミッ
ク材料からなる非磁性絶縁層で形成された磁気ギャップ
である。これらの磁気ヘッドは、例えば特開平２−６８
７０４号公報や、特開平４−５３０１２号公報に示され
る手法によって作成する。
【００１８】〔実施例１〕図１（ａ）は、本発明による
薄膜磁気ヘッドの第１の実施例の説明図である。本実施
例の特徴は、下部磁気コア２の幅が膜厚方向に略一定で
あり、上部磁気コア１は、磁気ギャップ３近傍での幅が
膜厚方向に略一定となる部分４ａ及び磁気ギャップ３か
ら離れるとともに幅が広がる部分４ｂを有することであ
る。
薄膜磁気ヘッドの第１の実施例の説明図である。本実施
例の特徴は、下部磁気コア２の幅が膜厚方向に略一定で
あり、上部磁気コア１は、磁気ギャップ３近傍での幅が
膜厚方向に略一定となる部分４ａ及び磁気ギャップ３か
ら離れるとともに幅が広がる部分４ｂを有することであ
る。
【００１９】本実施例では、下部磁気コア２の側面と上
部磁気コア１の磁気ギャップ３近傍の側面４ａが、磁気
ギャップ３を挾んで略１８０度になっているので、隣接
トラックからのクロストークは小さくなる。また、上部
磁気コア１の側面４ｂを磁気ギャップ３に対し磁気ギャ
ップ３から離れる方向に傾斜させることによりクロスト
ークはさらに低減される。
部磁気コア１の磁気ギャップ３近傍の側面４ａが、磁気
ギャップ３を挾んで略１８０度になっているので、隣接
トラックからのクロストークは小さくなる。また、上部
磁気コア１の側面４ｂを磁気ギャップ３に対し磁気ギャ
ップ３から離れる方向に傾斜させることによりクロスト
ークはさらに低減される。
【００２０】図７に、隣接トラックからのクロストーク
特性を本実施例及び従来の薄膜磁気ヘッドで比較した結
果を示す。縦軸はクロストーク量であり、５０ｋＦＣＩ
での再生出力に対する隣接トラックからの１３ｋＦＣＩ
での再生出力の比である。横軸はトラック間隔である。
ヘッドＡは従来の薄膜磁気ヘッド、ヘッドＢは第１の実
施例で段高さｄ1が１．０μｍのヘッドである。それぞ
れトラック幅は５μｍ、下部磁気コア２と上部磁気コア
１の磁気ギャップに接する辺のうち短い方の辺の端部
と、磁気コアの最も広がった幅との差ｄ3は１．５μｍ
である。
特性を本実施例及び従来の薄膜磁気ヘッドで比較した結
果を示す。縦軸はクロストーク量であり、５０ｋＦＣＩ
での再生出力に対する隣接トラックからの１３ｋＦＣＩ
での再生出力の比である。横軸はトラック間隔である。
ヘッドＡは従来の薄膜磁気ヘッド、ヘッドＢは第１の実
施例で段高さｄ1が１．０μｍのヘッドである。それぞ
れトラック幅は５μｍ、下部磁気コア２と上部磁気コア
１の磁気ギャップに接する辺のうち短い方の辺の端部
と、磁気コアの最も広がった幅との差ｄ3は１．５μｍ
である。
【００２１】図７に示されているように、一般にトラッ
ク間隔の減少とともにクロストークは増大するが、本実
施例によるヘッドＢは、クロストーク特性がヘッドＡよ
りも約４．６ｄＢ改善される。ヘッドＣのように段高さ
が存在しない形状にし、下部磁気コア２でトラック幅を
決め、トラック幅精度を改善することができるが、ヘッ
ドＣのクロストーク特性はヘッドＡよりも約４．７ｄＢ
悪くなる。このように、従来の薄膜磁気ヘッドよりもク
ロストークを低減するには、第１の実施例ではある値以
上の段高さｄ1が必要であることがわかる。
ク間隔の減少とともにクロストークは増大するが、本実
施例によるヘッドＢは、クロストーク特性がヘッドＡよ
りも約４．６ｄＢ改善される。ヘッドＣのように段高さ
が存在しない形状にし、下部磁気コア２でトラック幅を
決め、トラック幅精度を改善することができるが、ヘッ
ドＣのクロストーク特性はヘッドＡよりも約４．７ｄＢ
悪くなる。このように、従来の薄膜磁気ヘッドよりもク
ロストークを低減するには、第１の実施例ではある値以
上の段高さｄ1が必要であることがわかる。
【００２２】さらに詳しく第１の実施例における段高さ
と広がり角について検討したところ、図８に示す結果が
得られた。すなわち、広がり角θ（度）と段高さｄ
1（μｍ）が下記（１）式を満たし、図８の斜線部の領
域に入るようにすることにより、隣接トラックからのク
ロストークを従来の薄膜磁気ヘッドよりも低減できる。 ９０＞θ≧１５．５−３４．４×ｄ1 （１） 磁気ギャップ３を挾んで成す磁気コアの側面は、本実施
例のように磁気ギャップ３に垂直であることが望ましい
が、磁気コアの側面が磁気ギャップ３と成す角度が７５
〜１０５度の範囲にあれば、クロストーク特性の改善の
点で問題はない。また、上下の磁気コアの側面同士の成
す角度は、１５０〜１８０度の範囲にあれば問題ない。
と広がり角について検討したところ、図８に示す結果が
得られた。すなわち、広がり角θ（度）と段高さｄ
1（μｍ）が下記（１）式を満たし、図８の斜線部の領
域に入るようにすることにより、隣接トラックからのク
ロストークを従来の薄膜磁気ヘッドよりも低減できる。 ９０＞θ≧１５．５−３４．４×ｄ1 （１） 磁気ギャップ３を挾んで成す磁気コアの側面は、本実施
例のように磁気ギャップ３に垂直であることが望ましい
が、磁気コアの側面が磁気ギャップ３と成す角度が７５
〜１０５度の範囲にあれば、クロストーク特性の改善の
点で問題はない。また、上下の磁気コアの側面同士の成
す角度は、１５０〜１８０度の範囲にあれば問題ない。
【００２３】特に、段高さｄ1を約０．４５μｍ以上に
すれば、広がり角θに関係なく、従来の薄膜磁気ヘッド
よりも隣接トラックからのクロストークを低減できる。
また、広がり角θを１５．５度以上にし、上部磁気コア
と下部磁気コアの磁気ギャップに接する辺の長さを揃え
れば、段高さに関係なく従来の薄膜磁気ヘッドよりも隣
接トラックからのクロストークを低減できる。
すれば、広がり角θに関係なく、従来の薄膜磁気ヘッド
よりも隣接トラックからのクロストークを低減できる。
また、広がり角θを１５．５度以上にし、上部磁気コア
と下部磁気コアの磁気ギャップに接する辺の長さを揃え
れば、段高さに関係なく従来の薄膜磁気ヘッドよりも隣
接トラックからのクロストークを低減できる。
【００２４】以上の検討結果から、形状としては、広が
り角θを９０度程度まで大きくすることも考えうるが、
プロセス面から考えると広がり角θが大きい場合には、
段高さの変動量が大きくなり、得られる浮上面形状のば
らつきが大きくなる問題がある。この点からすると、広
がり角θは４５度以下が望ましい。
り角θを９０度程度まで大きくすることも考えうるが、
プロセス面から考えると広がり角θが大きい場合には、
段高さの変動量が大きくなり、得られる浮上面形状のば
らつきが大きくなる問題がある。この点からすると、広
がり角θは４５度以下が望ましい。
【００２５】〔実施例２〕 図１（ｂ）は、本発明による薄膜磁気ヘッドの第２の実
施例の説明図である。本実施例は、磁気ギャップ３に接
する上部磁気コアの辺４ｃが下部磁気コアの辺５ｃより
も広い点で第１の実施例と異なる。本実施例において、
トラック幅は上部磁気コアの辺４ｃと下部磁気コアの辺
５ｃの短い方５ｃで決まり、辺４ｃと辺５ｃの同じ側の
端部の辺の方向の距離ｄ2は隣接トラックからのクロス
トークの増大の原因となる。
施例の説明図である。本実施例は、磁気ギャップ３に接
する上部磁気コアの辺４ｃが下部磁気コアの辺５ｃより
も広い点で第１の実施例と異なる。本実施例において、
トラック幅は上部磁気コアの辺４ｃと下部磁気コアの辺
５ｃの短い方５ｃで決まり、辺４ｃと辺５ｃの同じ側の
端部の辺の方向の距離ｄ2は隣接トラックからのクロス
トークの増大の原因となる。
【００２６】発明者等の検討によれば、上部磁気コアと
下部磁気コアの磁気ギャップに接する辺の長さが異なっ
ている場合でも、長い方の辺の長さが磁気コアの最も広
がった幅よりも十分に狭ければ、隣接トラックからのク
ロストークを低減でき、前記実施例と同様の効果が得ら
れる。図９に、従来の薄膜磁気ヘッドよりも隣接トラッ
クからのクロストークを低減しうる上部磁気コアと下部
磁気コアの磁気ギャップに接する辺の同じ側の端部の辺
の方向の距離ｄ2と広がり角θの関係を、段高さが０μ
ｍの場合について示す。横軸は、上部磁気コア１と下部
磁気２コアの磁気ギャップ３に接する辺の同じ側の端部
の辺の方向の距離ｄ2（μｍ）を、前記磁気コアの磁気
ギャップに接する辺のうち短い方の長さと磁気コアの最
も広がった幅との差ｄ3（μｍ）で規格化した値であ
る。縦軸は、広がり角θ（度）である。
下部磁気コアの磁気ギャップに接する辺の長さが異なっ
ている場合でも、長い方の辺の長さが磁気コアの最も広
がった幅よりも十分に狭ければ、隣接トラックからのク
ロストークを低減でき、前記実施例と同様の効果が得ら
れる。図９に、従来の薄膜磁気ヘッドよりも隣接トラッ
クからのクロストークを低減しうる上部磁気コアと下部
磁気コアの磁気ギャップに接する辺の同じ側の端部の辺
の方向の距離ｄ2と広がり角θの関係を、段高さが０μ
ｍの場合について示す。横軸は、上部磁気コア１と下部
磁気２コアの磁気ギャップ３に接する辺の同じ側の端部
の辺の方向の距離ｄ2（μｍ）を、前記磁気コアの磁気
ギャップに接する辺のうち短い方の長さと磁気コアの最
も広がった幅との差ｄ3（μｍ）で規格化した値であ
る。縦軸は、広がり角θ（度）である。
【００２７】計算機シミュレーションの結果、図９の斜
線部の領域に入る下記（２）式の条件を満たす磁気コア
先端の側端部形状において、従来の薄膜磁気ヘッドより
も隣接トラックからのクロストークを低減できる。但
し、ｄ2／ｄ3が約０．６５以上では従来の薄膜磁気ヘッ
ドよりも隣接トラックからのクロストークを低減できな
くなる。 ９０＞θ≧１５．５＋４１０×（ｄ2／ｄ3）4 （２）
線部の領域に入る下記（２）式の条件を満たす磁気コア
先端の側端部形状において、従来の薄膜磁気ヘッドより
も隣接トラックからのクロストークを低減できる。但
し、ｄ2／ｄ3が約０．６５以上では従来の薄膜磁気ヘッ
ドよりも隣接トラックからのクロストークを低減できな
くなる。 ９０＞θ≧１５．５＋４１０×（ｄ2／ｄ3）4 （２）
【００２８】図１０に、従来の薄膜磁気ヘッドよりも隣
接トラックからのクロストークを低減しうる上部磁気コ
アと下部磁気コアの磁気ギャップに接する辺の同じ側の
端部の辺の方向の距離ｄ2と段高さｄ1の関係を、広がり
角が０度の場合について示す。横軸は、上部磁気コア１
と下部磁気コア２の磁気ギャップ３に接する辺の同じ側
の端部の辺の方向の距離ｄ2（μｍ）を、前記磁気コア
の磁気ギャップに接する辺のうち短い方の長さと磁気コ
アの最も広がった幅との差ｄ3（μｍ）で規格化した値
である。縦軸は段高さｄ1（μｍ）である。計算機シミ
ュレーションの結果、図１０の斜線部の領域に入る下記
（３）式の条件を満たす磁気コア先端の側端部形状にお
いて、従来の薄膜磁気ヘッドよりも隣接トラックからの
クロストークを低減できる。 ｄ1≧０．４５＋１１．９×（ｄ2／ｄ3）4 （３）
接トラックからのクロストークを低減しうる上部磁気コ
アと下部磁気コアの磁気ギャップに接する辺の同じ側の
端部の辺の方向の距離ｄ2と段高さｄ1の関係を、広がり
角が０度の場合について示す。横軸は、上部磁気コア１
と下部磁気コア２の磁気ギャップ３に接する辺の同じ側
の端部の辺の方向の距離ｄ2（μｍ）を、前記磁気コア
の磁気ギャップに接する辺のうち短い方の長さと磁気コ
アの最も広がった幅との差ｄ3（μｍ）で規格化した値
である。縦軸は段高さｄ1（μｍ）である。計算機シミ
ュレーションの結果、図１０の斜線部の領域に入る下記
（３）式の条件を満たす磁気コア先端の側端部形状にお
いて、従来の薄膜磁気ヘッドよりも隣接トラックからの
クロストークを低減できる。 ｄ1≧０．４５＋１１．９×（ｄ2／ｄ3）4 （３）
【００２９】以上により、上部磁気コアと下部磁気コア
の磁気ギャップに接する辺の同じ側の端部の辺の方向の
距離ｄ2が０μｍの場合、段高さｄ1が０μｍの場合、及
び広がり角θが０度の場合について、従来の薄膜磁気ヘ
ッドよりも隣接トラックからのクロストークを低減しう
る磁気コア側端部形状が、それぞれ（１）式、（２）式
及び（３）式で示されることが分かった。さらに、隣接
トラックからのクロストークを低減しうる磁気コア側端
部形状として、上部磁気コアと下部磁気コアの磁気ギャ
ップに接する辺の同じ側の端部の辺の方向の距離ｄ
2（μｍ）、段高さｄ1（μｍ）、及び広がり角（度）の
間には、一般に次式の関係が成立する。 ９０＞θ≧１５．５−３４．４×ｄ1＋４１０×（ｄ2 ／ｄ3）4 （４）
の磁気ギャップに接する辺の同じ側の端部の辺の方向の
距離ｄ2が０μｍの場合、段高さｄ1が０μｍの場合、及
び広がり角θが０度の場合について、従来の薄膜磁気ヘ
ッドよりも隣接トラックからのクロストークを低減しう
る磁気コア側端部形状が、それぞれ（１）式、（２）式
及び（３）式で示されることが分かった。さらに、隣接
トラックからのクロストークを低減しうる磁気コア側端
部形状として、上部磁気コアと下部磁気コアの磁気ギャ
ップに接する辺の同じ側の端部の辺の方向の距離ｄ
2（μｍ）、段高さｄ1（μｍ）、及び広がり角（度）の
間には、一般に次式の関係が成立する。 ９０＞θ≧１５．５−３４．４×ｄ1＋４１０×（ｄ2 ／ｄ3）4 （４）
【００３０】（４）式は（１）式と（２）式を合成した
形になっている。（１）式より、段高さｄ1と広がり角
θは略逆比例の傾向を示し、（２）式及び（３）式よ
り、段高さｄ1と広がり角θが上部磁気コアと下部磁気
コアの磁気ギャップに接する辺の同じ側の端部の辺の方
向の距離ｄ2に対して略同様の傾向を示すため、（１）
式にｄ2の効果を加えた形の（４）式の関係が成立す
る。（１）式、（２）式及び（３）式は、（４）式で夫
々ｄ2を０μｍ、ｄ1を０μｍ、又はθを０度することに
より導かれる。
形になっている。（１）式より、段高さｄ1と広がり角
θは略逆比例の傾向を示し、（２）式及び（３）式よ
り、段高さｄ1と広がり角θが上部磁気コアと下部磁気
コアの磁気ギャップに接する辺の同じ側の端部の辺の方
向の距離ｄ2に対して略同様の傾向を示すため、（１）
式にｄ2の効果を加えた形の（４）式の関係が成立す
る。（１）式、（２）式及び（３）式は、（４）式で夫
々ｄ2を０μｍ、ｄ1を０μｍ、又はθを０度することに
より導かれる。
【００３１】したがって、第２の実施例において、辺４
ｃと辺５ｃの短い方の長さと磁気コアの最も広がった幅
との差ｄ3に対する、辺４ｃと辺５ｃの同じ側の端部の
辺の方向の距離ｄ2の比、広がり角θ及び段高さｄ1につ
いて上記の条件を満たせば、隣接トラックからのクロス
トークを十分低減できる磁気ヘッド先端形状となる。本
実施例では、下部磁気コア２と上部磁気コア１の端部が
磁気ギャップ３を挾んで成す角度が略９０度となってし
まうが、ｄ2／ｄ3に対し広がり角θと段高さｄ1を所定
の大きさにすることにより、隣接トラックからのクロス
トークは十分低減される。
ｃと辺５ｃの短い方の長さと磁気コアの最も広がった幅
との差ｄ3に対する、辺４ｃと辺５ｃの同じ側の端部の
辺の方向の距離ｄ2の比、広がり角θ及び段高さｄ1につ
いて上記の条件を満たせば、隣接トラックからのクロス
トークを十分低減できる磁気ヘッド先端形状となる。本
実施例では、下部磁気コア２と上部磁気コア１の端部が
磁気ギャップ３を挾んで成す角度が略９０度となってし
まうが、ｄ2／ｄ3に対し広がり角θと段高さｄ1を所定
の大きさにすることにより、隣接トラックからのクロス
トークは十分低減される。
【００３２】〔実施例３〕 図１（ｃ）は、本発明による薄膜磁気ヘッドの第３の実
施例の説明図である。本実施例の特徴は、第１の実施例
に対して、磁気ギャップ３に接する下部磁気コアの辺５
ｃを上部磁気コアの辺４ｃよりも長くするものである。
本実施例において、トラック幅は上部磁気コアの辺４ｃ
と下部磁気コアの辺５ｃの短い方４ｃで決まり、辺４ｃ
と辺５ｃの同じ側の端部の辺の方向の距離ｄ2は隣接ト
ラックからのクロストークの増大の原因となる。本実施
例の磁気コア側端部形状においても、従来の薄膜磁気ヘ
ッドよりも隣接トラックからのクロストークを低減しう
る形状について計算機シミュレーションを行った結果、
前記実施例２と同様に（１）式、及び（２）式が成立
し、一般に前記の（４）式が成立することが分かった。
施例の説明図である。本実施例の特徴は、第１の実施例
に対して、磁気ギャップ３に接する下部磁気コアの辺５
ｃを上部磁気コアの辺４ｃよりも長くするものである。
本実施例において、トラック幅は上部磁気コアの辺４ｃ
と下部磁気コアの辺５ｃの短い方４ｃで決まり、辺４ｃ
と辺５ｃの同じ側の端部の辺の方向の距離ｄ2は隣接ト
ラックからのクロストークの増大の原因となる。本実施
例の磁気コア側端部形状においても、従来の薄膜磁気ヘ
ッドよりも隣接トラックからのクロストークを低減しう
る形状について計算機シミュレーションを行った結果、
前記実施例２と同様に（１）式、及び（２）式が成立
し、一般に前記の（４）式が成立することが分かった。
【００３３】〔実施例４〕図１（ｄ）は、本発明による
薄膜磁気ヘッドの第４の実施例の説明図である。本実施
例の特徴は、上部磁気コア１の幅が膜厚方向に略一定で
あり、下部磁気コア２は、磁気ギャップ３近傍での幅が
膜厚方向に略一定となる部分５ａ及び磁気ギャップ３か
ら離れるとともに幅が広がる部分５ｂを有することであ
る。本実施例では、上部磁気コア１の側面と下部磁気コ
ア２の磁気ギャップ３近傍の側面５ａが、磁気ギャップ
３を挾んで略１８０度になっているので、隣接トラック
からのクロストークは小さくなる。また、下部磁気コア
２の側面５ａを磁気ギャップ３に対し磁気ギャップ３か
ら離れる方向に傾斜させることによりクロストークはさ
らに低減される。
薄膜磁気ヘッドの第４の実施例の説明図である。本実施
例の特徴は、上部磁気コア１の幅が膜厚方向に略一定で
あり、下部磁気コア２は、磁気ギャップ３近傍での幅が
膜厚方向に略一定となる部分５ａ及び磁気ギャップ３か
ら離れるとともに幅が広がる部分５ｂを有することであ
る。本実施例では、上部磁気コア１の側面と下部磁気コ
ア２の磁気ギャップ３近傍の側面５ａが、磁気ギャップ
３を挾んで略１８０度になっているので、隣接トラック
からのクロストークは小さくなる。また、下部磁気コア
２の側面５ａを磁気ギャップ３に対し磁気ギャップ３か
ら離れる方向に傾斜させることによりクロストークはさ
らに低減される。
【００３４】第４の実施例は第１の実施例の上部磁気コ
アと下部磁気コアの形状を入れ替えたものに相当する。
前記第１の実施例のクロストーク特性は、上部磁気コア
の磁気ギャップ近傍での幅が膜厚方向に略一定となり、
磁気ギャップから離れると磁気コアの幅が広がる部分を
もつことによる。したがって、前記の磁気コアの側端部
形状を下部磁気コア側に適用した場合でも、同様に隣接
トラックからのクロストーク低減の効果を得られること
は明らかである。
アと下部磁気コアの形状を入れ替えたものに相当する。
前記第１の実施例のクロストーク特性は、上部磁気コア
の磁気ギャップ近傍での幅が膜厚方向に略一定となり、
磁気ギャップから離れると磁気コアの幅が広がる部分を
もつことによる。したがって、前記の磁気コアの側端部
形状を下部磁気コア側に適用した場合でも、同様に隣接
トラックからのクロストーク低減の効果を得られること
は明らかである。
【００３５】
【発明の効果】本発明によれば、磁気ギャップ近傍の磁
気コアの幅は略揃えられており、トラック幅を下部磁極
で決めるため、トラック幅の精度を向上させることがで
きる。また、磁気コア先端の側端部形状において、磁気
コアの幅が磁気ギャップ近傍より広がる部分にあたる磁
気コアの側面が磁気ギャップ面となす角度、磁気ギャッ
プ近傍で磁気コアの幅が略一定である膜厚方向の長さ、
及び磁気ギャップに接する上下磁気コアの辺の同じ側の
端部の辺の方向の距離を適切な値としたので、十分に隣
接トラックからのクロストークを低減できる。また、本
発明の磁気ヘッドを記録ヘッドとして用いた場合には、
トラック幅から横方向にはみ出るフリンジの大きさを小
さくすることができる。以上の効果により本発明の薄膜
磁気ヘッドは、高トラック密度でも信号対雑音比の良好
な磁気ディスク装置の実現を可能にする。
気コアの幅は略揃えられており、トラック幅を下部磁極
で決めるため、トラック幅の精度を向上させることがで
きる。また、磁気コア先端の側端部形状において、磁気
コアの幅が磁気ギャップ近傍より広がる部分にあたる磁
気コアの側面が磁気ギャップ面となす角度、磁気ギャッ
プ近傍で磁気コアの幅が略一定である膜厚方向の長さ、
及び磁気ギャップに接する上下磁気コアの辺の同じ側の
端部の辺の方向の距離を適切な値としたので、十分に隣
接トラックからのクロストークを低減できる。また、本
発明の磁気ヘッドを記録ヘッドとして用いた場合には、
トラック幅から横方向にはみ出るフリンジの大きさを小
さくすることができる。以上の効果により本発明の薄膜
磁気ヘッドは、高トラック密度でも信号対雑音比の良好
な磁気ディスク装置の実現を可能にする。
【図１】本発明の実施例を示す図。
【図２】従来の薄膜磁気ヘッドの概略図。
【図３】薄膜磁気ヘッドのトラック端部での磁界分布を
示す図。
示す図。
【図４】隣接トラックからのクロストークと段高さの関
係を示す図。
係を示す図。
【図５】隣接トラックからのクロストークと広がり角の
関係を示す図。
関係を示す図。
【図６】隣接トラックからのクロストークと磁気ギャッ
プに接する磁気コアの辺の同じ側の端部の辺の方向の距
離との関係を示す図。
プに接する磁気コアの辺の同じ側の端部の辺の方向の距
離との関係を示す図。
【図７】従来の薄膜磁気ヘッドと本発明の薄膜磁気ヘッ
ドのクロストーク特性の比較を示す図。
ドのクロストーク特性の比較を示す図。
【図８】隣接トラックからのクロストークを低減しうる
広がり角と段高さの関係を示す図。
広がり角と段高さの関係を示す図。
【図９】磁気ギャップに接する磁気コアの辺の同じ側の
端部の辺の方向の距離と広がり角の関係を示す図。
端部の辺の方向の距離と広がり角の関係を示す図。
【図１０】磁気ギャップに接する磁気コアの辺の同じ側
の端部の辺の方向の距離と段高さの関係を示す図。
の端部の辺の方向の距離と段高さの関係を示す図。
【符号の説明】１…上部磁気コア、２…下部磁気コア、
３…磁気ギャップ、４ａ…上部磁気コアの磁気ギャップ
近傍での幅が膜厚方向に略一定となる部分、４ｂ…上部
磁気コアの幅が広がる部分、４ｃ…上部磁気コアの磁気
ギャップ接する辺、５ａ…下部磁気コアの磁気ギャップ
近傍での幅が膜厚方向に略一定となる部分、５ｂ…下部
磁気コアの幅が広がる部分、５ｃ…下部磁気コアの磁気
ギャップ接する辺、６…基板、７…導体コイル、８…非
磁性絶縁膜、９…保護膜、１０…薄膜磁気ヘッドの記録
媒体に対向する面
３…磁気ギャップ、４ａ…上部磁気コアの磁気ギャップ
近傍での幅が膜厚方向に略一定となる部分、４ｂ…上部
磁気コアの幅が広がる部分、４ｃ…上部磁気コアの磁気
ギャップ接する辺、５ａ…下部磁気コアの磁気ギャップ
近傍での幅が膜厚方向に略一定となる部分、５ｂ…下部
磁気コアの幅が広がる部分、５ｃ…下部磁気コアの磁気
ギャップ接する辺、６…基板、７…導体コイル、８…非
磁性絶縁膜、９…保護膜、１０…薄膜磁気ヘッドの記録
媒体に対向する面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−68704（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−168407（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−147508（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−20226（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 5/31
Claims (4)
- 【請求項１】一端が磁気ギャップを挾んで記録媒体に対
向し、他端が接続されて磁気回路を構成する下部磁気コ
ア及び上部磁気コアと、該磁気回路に鎖交する導体膜か
ら成る巻線を含む薄膜磁気ヘッドにおいて、 前記下部磁気コアと前記上部磁気コアの記録媒体に対向
する面の形状が、一方の磁気コアにおいては該磁気コア
の幅が該磁気コアの膜厚方向に略一定であり、他方の磁
気コアにおいては前記磁気ギャップ近傍で該磁気コアの
幅が略一定であり、前記磁気ギャップから離れると該磁
気コアの幅が前記磁気ギャップ近傍での幅よりも広い部
分を有し、前記他方の磁気コアの、前記幅が略一定であ
る膜厚方向の長さｄ1（μｍ）（ｄ1≠０）、前記幅が広
がる部分にあたる該磁気コアの側面と前記磁気ギャップ
面との成す角度θ（度）、前記磁気ギャップに接する前
記下部磁気コアの辺と前記上部磁気コアの辺の同じ側の
端部の前記辺の方向の距離ｄ2（μｍ）、前記下部磁気
コアと前記上部磁気コアの前記磁気ギャップに接する辺
のうち短い方の辺の端部と前記磁気コアの幅が最も広が
った部分の縁部の間の前記辺の方向の距離ｄ3（μｍ）
が ９０＞θ＞０、かつ、θ≧１５．５−３４．４×ｄ1＋
４１０×（ｄ2／ｄ3）4， 及び ０．６５＞ｄ2／ｄ3＞０の条件を満たすことを特
徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項２】一端が磁気ギャップを挾んで記録媒体に対
向し、他端が接続されて磁気回路を構成する下部磁気コ
ア及び上部磁気コアと、該磁気回路に鎖交する導体膜か
ら成る巻線を含む薄膜磁気ヘッドにおいて、 前記下部磁気コアと前記上部磁気コアの前記磁気ギャッ
プに接する辺の長さが等しく、前記下部磁気コアと前記
上部磁気コアの記録媒体に対向する面の形状が、一方の
磁気コアにおいては該磁気コアの幅が該磁気コアの膜厚
方向に略一定であり、他方の磁気コアにおいては前記磁
気ギャップ近傍で該磁気コアの幅が略一定であり、前記
磁気ギャップから離れると該磁気コアの幅が前記磁気ギ
ャップ近傍での幅よりも広い部分を有し、前記他方の磁
気コアの、前記幅が略一定である膜厚方向の長さｄ
1（μｍ）（ｄ1≠０）、前記幅が広がる部分にあたる該
磁気コアの側面と前記磁気ギャップ面との成す角度θ
（度）が ９０＞θ＞０、かつ、θ≧１５．５−３４．４×ｄ1の
条件を満たすことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項３】一端が磁気ギャップを挾んで記録媒体に対
向し、他端が接続されて磁気回路を構成する下部磁気コ
ア及び上部磁気コアと、該磁気回路に鎖交する導体膜か
ら成る巻線を含む薄膜磁気ヘッドにおいて、 前記下部磁気コアと前記上部磁気コアの記録媒体に対向
する面の形状が、一方の磁気コアにおいては該磁気コア
の幅が該磁気コアの膜厚方向に略一定であり、他方の磁
気コアにおいては前記磁気ギャップ近傍で該磁気コアの
幅が略一定であり、前記磁気ギャップから離れると該磁
気コアの幅が前記磁気ギャップ近傍での幅よりも広い部
分を有し、前記他方の磁気コアで、該磁気コアの幅が広
がる部分にあたる側面と前記磁気ギャップ面が略平行で
あり、前記他方の磁気コアの、前記幅が略一定である膜
厚方向の長さｄ1（μｍ）（ｄ1≠０）、前記磁気ギャッ
プに接する前記下部磁気コアの辺と前記上部磁気コアの
辺の同じ側の端部の前記辺の方向の距離ｄ2（μｍ）、
前記下部磁気コアと前記上部磁気コアの前記磁気ギャッ
プに接する辺のうち短い方の辺の端部と前記磁気コアの
幅が最も広がった部分の縁部の間の前記辺の方向の距離
ｄ3（μｍ）が ｄ1≧０．４５＋１１．９×（ｄ2／ｄ3）4， 及び ０．６５＞ｄ2／ｄ3＞０の条件を満たすことを特
徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項４】請求項１〜３のいずれか１項記載の薄膜磁
気ヘッドを搭載した磁気ディスク装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5188129A JP2991589B2 (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | 薄膜磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5188129A JP2991589B2 (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | 薄膜磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0744817A JPH0744817A (ja) | 1995-02-14 |
| JP2991589B2 true JP2991589B2 (ja) | 1999-12-20 |
Family
ID=16218238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5188129A Expired - Fee Related JP2991589B2 (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | 薄膜磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2991589B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1125421A (ja) * | 1997-07-04 | 1999-01-29 | Fujitsu Ltd | 磁気ヘッド |
| JP2000099918A (ja) * | 1998-09-18 | 2000-04-07 | Fujitsu Ltd | 薄膜誘導書き込み磁気ヘッドおよびその製造方法 |
| JP2000099920A (ja) * | 1998-09-18 | 2000-04-07 | Fujitsu Ltd | 先端副磁極付き薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
-
1993
- 1993-07-29 JP JP5188129A patent/JP2991589B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0744817A (ja) | 1995-02-14 |
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