JP2969981B2 - 2軸出力モジュール及びこれを用いた駆動装置 - Google Patents

2軸出力モジュール及びこれを用いた駆動装置

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JP2969981B2 JP3016597A JP1659791A JP2969981B2 JP 2969981 B2 JP2969981 B2 JP 2969981B2 JP 3016597 A JP3016597 A JP 3016597A JP 1659791 A JP1659791 A JP 1659791A JP 2969981 B2 JP2969981 B2 JP 2969981B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、自動化ラインに組み込
まれるXYテーブルや工具等を駆動するのに好適な駆動
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の、例えば、XYテーブルのほとん
どの駆動装置は、直交する2本のX方向及びY方向リニ
アガイドに案内されるテーブルをボールねじ等で駆動す
るタイプが用いられている。
【0003】又、上記構成のXYテーブルを例えば、自
動化された基板製造ラインに組み込む場合には、基板等
の移載行うコンベアがXYテーブルと干渉するので、テ
ーブル面とコンベア面とに段差を設け、テーブル上にコ
ンベアへの基板移載機構(リフト機能と水平方向の移載
機能とを有した機構)が設けられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記構成のX
Yテーブルの駆動において、絶対精度はX方向リニアガ
イド及びY方向リニアガイドの組み付け精度やボールね
じ等の送り精度に依存し、キャリブレーションが難しい
という問題点がある。
【0005】又、X方向リニアガイド及びY方向リニア
ガイドの大きさによりテーブルの移動範囲が限定される
という問題点もある。又、テーブル上にコンベアへの移
載機構が必要となるが、この移載機構はリフト機能をも
必要なので、機構が複雑になるという問題点がある。更
に、一般に、ボールねじの移動速度は低く(1 〜1.5m/s
ec)、高速な移動ができず、又、ボールねじは入手性が
悪く、納期がかかるという問題点もある。
【0006】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、その第1の目的は、小型で、内部の配線が容易
で、取り付けに制約がない2軸出力モジュールを提供す
ることにある。第2の目的は、容易にキャリブレーショ
ンが可能で、しかも広い動作範囲を有する駆動装置を提
供することにある。第3の目的は、高速で、しかも構造
が簡単な駆動装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記第1の目的を解決す
る請求項1の2軸出力モジュールは、ベース側に取り付
けられるフランジと、このフランジの中心穴に回転可能
に配設され、一端部には前記第2のアームが取り付けら
れるシャフトと、前記フランジを介して一方のサイドに
設けられ、ステータがフランジ側,ロータはケーシング
に取り付けられるとともに、ケーシングには前記第1の
アームが取り付けられる第1のモータと、前記フランジ
を介して他方のサイドに設けられ、ステータが前記フラ
ンジ側,ロータはケーシングに取り付けられるととも
に、ケーシングには、前記シャフトの他端部が取り付け
られる第2のモータとから構成されるものである。
【0008】上記第2及び第3の目的を達成する請求項
2の2軸出力モジュールを用いた駆動装置は、同軸上で
各々回転可能に設けられた第1のアーム及び第2のアー
ムと、前記第1及び第2のアームを各々駆動する2軸出
力モジュールと、前記第1のアームの先端部に基端部が
回転可能に取り付けられた第3のアームと、前記第2の
アームの先端部に基端部が回転可能に取り付けられ、先
端部が前記第3のアームの先端部に回転可能に取り付け
られた第4のアームと、前記第3のアームの先端部に取
り付けられたθ軸モータとを具備し、工具やテーブル等
の被駆動物がこのθ軸モータの出力軸に取り付けられる
ものである。
【0009】更に、上記第2及び第3の目的を達成する
請求項3の2軸出力モジュールを用いた駆動装置は、同
軸上で各々回転可能に設けられた第1のアーム及び第2
のアームと、前記第1及び第2のアームを各々駆動する
2軸出力モジュールと、前記第1のアームの先端部に基
端部が回転可能に取り付けられた第3のアームと、前記
第2のアームの先端部に基端部が回転可能に取り付けら
れ、先端部が前記第3のアームの先端部に回転可能に取
り付けられた第4のアームと、ベース側でy方向に設け
られたY方向ガイドレールと、このY方向ガイドレール
に摺動可能に係合するサブテーブルと、このサブテーブ
ル上でx方向に設けられたX方向ガイドレールとを具備
し、工具やテーブル等の被駆動物が、このX方向ガイド
レールに摺動可能に係合し、前記第3及び第4のアーム
の先端部が回転可能に取り付けられるものである。
【0010】
【作用】請求項1の2軸出力モジュールは、第1のモー
タが駆動されると、第1のモータのロータの回転力はケ
ーシングを介して第1のアームに伝達される。第2のモ
ータが駆動されると、第2のモータのロータの回転力は
ケーシング,シャフトを介して第2のアームに伝達され
る。
【0011】請求項2の発明の駆動装置において、第1
のアーム及び第2のアームが2軸出力モジュールにより
各々駆動されると、第3及び第4のアームも駆動され、
被駆動物はXY方向に駆動される。そして、θ軸モータ
が駆動されると被駆動物はθ軸を中心に回転する。
【0012】請求項3の発明の駆動装置において、第1
のアーム及び第2のアームが2軸出力モジュールにより
各々駆動されると、第3及び第4のアームも駆動され、
サブテーブルはY方向ガイドレールに案内されてY方向
に移動し、工具やテーブル等の被駆動物はX方向ガイド
テーブルに案内されてX方向に移動する。
【0013】
【実施例】次に図面を用いて本発明の一実施例を説明す
る。図1は本発明の第1の実施例を説明する構成図、図
2は図1における2軸出力モジュールの断面構成図、図
3は図1に示すXYテーブルの制御を説明する図、図4
は図1に示すXYテーブルを生産ラインに設置したとき
の構成図、図5は本発明の第2の実施例を説明する構成
図である。
【0014】先ず、図1乃至図4を用いて本発明の第1
の実施例を説明する。先ず、図2を用いて2軸出力モジ
ュール1の説明を行う。この2軸出力モジュール1は第
1のモータ(DDモータ)2及び第2のモータ(DDモ
ータ)3より構成されている。そして、第1のモータ2
のベースである第1のフランジ4と、第2のモータ3の
ベースである第2のフランジ5とは対向積層配置されて
いる。
【0015】一方、ベース6にはこの2軸出力モジュー
ル1の取り付け用の穴6aが穿設されている。この穴6
aに2軸出力モジュール1がセットされ、第1のフラン
ジ4及び第2のフランジ5が、ベース6の穴6aの周縁
部近傍にボルト7及びナット8を用いて取り付けられて
いる。
【0016】次に、第1のモータ2を説明する。第1の
フランジ4上には、ボルト9を用いてスリーブ10が取
り付けられている。このスリーブ10には、ベアリング
11を介してケーシング12の下端部が回転可能に取り
付けられ、更に、スリーブ10の上部にはステータ12
が取り付けられている。ケーシング12の内周面には、
ステータ13に対して回転するロータ14が取り付けら
れている。ケーシング12の上端部には、ボルト15を
用いて、第1のアーム16が取り付けられている。
【0017】次に、第2のモータ3を説明する。第2の
フランジ5には、ボルト17を用いてスリーブ18が取
り付けられている。このスリーブ18には、ベアリング
19を介してケーシング20の上端部が回転可能に取り
付けられ、更に、スリーブ18の下部にはステータ21
が取り付けられている。ケーシング20の内周面には、
ステータ21に対して回転するロータ22が取り付けら
れている。ロータ22の下端部には、ボルト23を用い
てジョイント24が取り付けられている。このジョイン
ト24の下端部は、第2のモータ3の下端部から第1の
モータ2の上端部まで延出する中空のシャフト25の下
端部に形成されたつば部25aにボルト26を用いて取
り付けられている。
【0018】シャフト25の上端面は、ボルト27を用
いて円盤上のジョイント28に取り付けられている。更
にこのジョイント28には、第2のアーム29がボルト
30を用いて取り付けられている。一方、第1のアーム
16には、ボルト31を用いてスリーブ32が取り付け
られている。このスリーブ32には、ベアリング33を
介して第2のアーム29が回転可能に取り付けられてい
る。尚、本実施例においては、第1のアーム16と第2
のアーム29とは同じ長さになるように設定されてい
る。
【0019】次に、図1を用いて、本実施例の駆動装置
の構成を説明する。第1のアーム16の先端部には、第
3のアーム41の基端部が回転可能に取り付けられてい
る。又、第2のアーム29の先端部には第4のアーム4
2の基端部が回転可能に取り付けられている。そして、
第3のアーム41及び第4のアーム42の先端部は互い
に回転可能なように取り付けられ、第1のアーム16,
第2のアーム29,第3のアーム41及び第4のアーム
42とで、所謂パンタグラフ機構が形成されている。
尚、本実施例においては、第3のアーム41と第4のア
ーム42とは同じ長さになるように設定されている。
【0020】第3のアーム41の先端部には、θ軸モー
タ(θ軸;X―Y 平面に垂直な軸)43が設けられてい
る。そして、このθ軸モータ43の出力軸には、テーブ
ル(XYテーブル)44が取り付けられている。
【0021】次に、上記構成の作動を説明する。2軸出
力モジュール1の第1のモータ2に電流を流すと、ロー
タ14がステータ13に対して回転する。このロータ1
4の回転は、ケーシング12を介して第1のアーム16
に伝達され、第1のアーム16は回転する。
【0022】同様に、2軸出力モジュール1の第2のモ
ータ3に電流を流すと、ロータ22がステータ21に対
して回転し、このロータ22の回転は、ケーシング2
0,ジョイント24,シャフト25,ジョイント28を
介して第2のアーム29に伝達され、第2のアーム29
は第1のアーム16と同軸上で回転する。
【0023】この第1のアーム16と第2のアーム29
との回転により、テーブル44は図1の一点鎖線に示す
ように、さまざまな位置をとることが可能となる。
【0024】尚、本実施例では、このテーブル44がど
の位置にあっても、更に、移動中であっても、テーブル
44がX 軸に平行(いかなる状態でも回転しない)にな
るように制御を行っている。
【0025】この制御は、下記のようにして行われる。
図3に示すように、 第1のアーム16と第2のアーム29のなす角;
(θ1 −θ2 ) 第1のアーム16と第2のアーム29とのなす角の二等
分線の方向θ3 ; θ3 =(θ1 −θ2 )/2 ここで、テーブル44がいかなる位置においても、回転
しないようにするためには、第1のアーム16と第2の
アーム29とのなす角の二等分線とテーブルとの角度θ
4 が(90°−θ3 )となるように制御を行っている。
【0026】但し、本実施例においては、第3のアーム
41上にθ軸モータ43を取り付けているので、第3の
アーム41の方向ψをθ4 に加味する必要がある。
【0027】そして、θ3 (f(θ1,θ2 ))を計算
し、テーブル44の回転角を制御している。もしくは、
テーブル44にジャイロを設け、ジャイロと2軸出力モ
ジュール1との間でフィードバックする。更には、両者
の結果をうまく分析し、出力とすることにより、テーブ
ル44の回転角を制御することができる。
【0028】次に、図4を用いて、本実施例の駆動装置
を基板生産ラインに設置した時の説明を行う。図におい
て、第1のベルトコンベア51と第2のベルトコンベア
52との間には、2軸出力モジュール1が配設されてい
る。そしてテーブル44上には、移載装置として移載ベ
ルトコンベア53が設けられている。
【0029】このような構成で、第1のベルトコンベア
51で搬送されてきた基板(ワーク)は、テーブル44
上の移載ベルトコンベア53によって引き込まれ、移載
ベルトコンベア53上にセットされる。このセットが完
了すると、2軸出力モジュール1が駆動され、テーブル
44を作業エリアWへ移動させる。ここで、基板に対し
てハンダ付け等の作業が行われ、再び、第1のベルトコ
ンベア51及び第2のベルトコンベア52の間に移動さ
せる。この時、θ軸モータ43を駆動させ、テーブル4
4を180°反転させる。そして、移載ベルトコンベア
53を用いて第2のベルトコンベア52へ基板を移載
し、一連の作業を終了する。
【0030】上記構成によれば、本実施例の駆動装置の
取り付けは、2軸出力モジュール1をベース6にボルト
7を用いて取り付けるだけでよいので、取り付けが簡単
となる。テーブル44上の基板(ワーク)へは、上側及
び下側の両側よりアクセスが可能となる。テーブル44
上の移載機構にリフト機能が不要となるため、構造が簡
単となる。作業エリアWにコンベア部を加えた大きさが
略装置外形となるためコンパクトになる。更に、XYテ
ーブルとしての動作エリアにとどまらず、アームの最長
時の半径内は、動作エリアとすることができるので、テ
ーブル型のマテリアルハンドリング装置として利用でき
る。
【0031】又、テーブル44の駆動にボールスクリュ
ーを用いていないので、移動速度をアップすることがで
きる。更に、2軸出力モジュール1及びθ軸モータ43
を制御することにより、XYテーブルのキャリブレーシ
ョンを簡単に行うことができる。
【0032】更に、本実施例の2軸出力モジュール1
は、従来の従来の汎用アクチュエータモジュール(ロボ
ット)に比べて下記のような特徴を有している。
【0033】スカラー型のロボット、例えば、回転する
第1アームの先端部に第2アームの駆動源が設けられた
ロボット、を考えると、このスカラー型ロボットは第1
アームの駆動源は第2のアームの駆動源をも回転させな
ければならないので、第1のアームの駆動源は大型のも
のとなるが、本実施例の2軸出力モジュール1は、駆動
源を小型のものとすることができる。又、スカラー型ロ
ボットは、可動部上に駆動源があるので、配線にも注意
する必要があるが、本実施例の2軸出力モジュール1
は、可動部には駆動源を設けていないので、配線が楽
で、多回転が可能となる。更に、シャフト25の中空部
内を介して配線を行うことも可能である。
【0034】又、水平多関節型のロボット、例えば、モ
ータ軸を対向させて取り付け、アームが2つのモータの
間より延出するロボット、を考えると、アームが2つの
モータの間より延出しているので、アプリケーションに
制約があるが、本実施例の2軸出力モジュール1ではそ
のような制約はない。
【0035】次に、図5を用いて、本発明の第2の実施
例を説明する。本実施例において、第1の実施例と同一
部分には同一符号を付し、それらの説明は省略する。ベ
ース6上にy方向にY方向ガイドレール61が設けら
れ、このY方向ガイドレール61に摺動可能にサブテー
ブル62が係合している。サブテーブル62上には、x
方向にX方向ガイドレール63が設けられ、テーブル6
4がこのX方向ガイドテーブル63に摺動可能に係合し
ている。そして、第3及び第4のアーム41,42の先
端部が回転可能にテーブル64に取り付けられている。
【0036】上記構成においても、2軸出力モジュール
1をベース6にボルト7を用いて取り付けるだけでよい
ので、取り付けが簡単となる。又、テーブル63の駆動
にボールスクリューを用いていないので、移動速度をア
ップすることができる。
【0037】尚、本発明は上記実施例に限るものではな
い。上記実施例では駆動装置の被駆動物としてテーブル
(XYテーブル)である場合で説明をおこなったが、被
駆動物として、他に、工具等であってもよい。
【0038】
【発明の効果】以上述べたように請求項1の発明によれ
ば、小型で、内部の配線が容易で、取り付けに制約がな
い2軸出力モジュールを実現できる。
【0039】又、請求項2の発明においては、リニアガ
イド及びボールねじを用いていないので、リニアガイド
の組み付け精度やボールねじの送り精度に依存せず、キ
ャリブレーションが簡単で、しかも、駆動速度が高速な
駆動装置を実現できる。更に、リニアガイドの大きさに
より移動範囲が限定されるということもなくなり、広い
動作範囲を有することになる。又、θ軸モータを設けた
ことにより、XYテーブルを駆動する場合、テーブル上
に移載機構を設けることがなくなり、機構を簡単にする
ことができる。
【0040】更に、請求項3の発明においては、ボール
ねじを用いていないので、このボールねじの送り精度に
依存せず、キャリブレーションが簡単で、しかも、駆動
速度が高速となる駆動装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を説明する構成図であ
る。
【図2】図1における2軸出力モジュールの断面構成図
である。
【図3】図1に示すXYテーブルの制御を説明する図で
ある。
【図4】図1に示すXYテーブルを生産ラインに設置し
たときの構成図である。
【図5】本発明の第2の実施例を説明する構成図であ
る。
【符号の説明】
1 2軸出力モジュール 2 第1のモータ 3 第2のモータ 4 第1のフランジ 5 第2のフランジ 6 ベース 12,20 ケーシング 13,22 ロータ 14,21 ステータ 16 第1のアーム 25 シャフト 29 第2のアーム 41 第3のアーム 42 第4のアーム 43 θ軸モータ 44 テーブル 61 Y軸方向ガイドレール 62 サブテーブル 63 X方向ガイドレール 64 テーブル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B25J 17/00 B25J 9/02 B25J 9/06

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ベース(6)側に取り付けられるフラン
    ジ(4,5)と、 このフランジ(4,5)の中心穴に回転可能に配設さ
    れ、一端部には前記第2のアーム(29)が取り付けら
    れるシャフト(25)と、 前記フランジ(4,5)を介して一方のサイドに設けら
    れ、ステータ(13)がフランジ(4,5)側,ロータ
    (14)はケーシング(12)に取り付けられるととも
    に、ケーシング(12)には前記第1のアーム(16)
    が取り付けられる第1のモータ(2)と、 前記フランジ(4,5)を介して他方のサイドに設けら
    れ、ステータ(21)が前記フランジ(4,5)側,ロ
    ータ(22)はケーシング(20)に取り付けられると
    ともに、ケーシング(20)には、前記シャフト(2
    5)の他端部が取り付けられる第2のモータ(3)と、を備えることを特徴とする2軸出力モジュール。
  2. 【請求項2】 同軸上で各々回転可能に設けられた第1
    のアーム(16)及び第2のアーム(29)と、 前記第1及び第2のアーム(16,29)を各々駆動す
    請求項1記載の2軸出力モジュール(1)と、 前記第1のアーム(16)の先端部に基端部が回転可能
    に取り付けられた第3のアーム(41)と、 前記第2のアーム(29)の先端部に基端部が回転可能
    に取り付けられ、先端部が前記第3のアーム(41)の
    先端部に回転可能に取り付けられた第4のアーム(4
    2)と、 前記第3のアーム(41)の先端部に取り付けられたθ
    軸モータ(43)とを具備し、 工具やテーブル等の被駆動物がこのθ軸モータ(43)
    の出力軸に取り付けられることを特徴とする2軸出力モ
    ジュールを用いた駆動装置。
  3. 【請求項3】 同軸上で各々回転可能に設けられた第1
    のアーム(16)及び第2のアーム(29)と、 前記第1及び第2のアーム(16,29)を各々駆動す
    請求項1記載の2軸出力モジュール(1)と、 前記第1のアーム(16)の先端部に基端部が回転可能
    に取り付けられた第3のアーム(41)と、 前記第2のアーム(29)の先端部に基端部が回転可能
    に取り付けられ、先端部が前記第3のアーム(41)の
    先端部に回転可能に取り付けられた第4のアーム(4
    2)と、 ベース側でy方向に設けられたY方向ガイドレール(6
    1)と、 このY方向ガイドレール(61)に摺動可能に係合する
    サブテーブル(62)と、 このサブテーブル(62)上でx方向に設けられたX方
    向ガイドレール(63)とを具備し、 工具やテーブル等の被駆動物が、このX方向ガイドレー
    ル(63)に摺動可能に係合し、前記第3及び第4のア
    ーム(41,42)の先端部が回転可能に取り付けられ
    ることを特徴とする2軸出力モジュールを用いた駆動装
    置。
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