JP2588418B2 - ３次元マニピュレータ - Google Patents
３次元マニピュレータInfo
- Publication number
- JP2588418B2 JP2588418B2 JP63080404A JP8040488A JP2588418B2 JP 2588418 B2 JP2588418 B2 JP 2588418B2 JP 63080404 A JP63080404 A JP 63080404A JP 8040488 A JP8040488 A JP 8040488A JP 2588418 B2 JP2588418 B2 JP 2588418B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- end effector
- dimensional
- moving bodies
- manipulator
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、エンドエフェクタを３次元的に移動させ
ることができる３次元マニピュレータに関する。
ることができる３次元マニピュレータに関する。
２次元的または３次元的に移動させることができる多
次元マニピュレータは既に種々のタイプのものが提案さ
れており、特に産業用ロボットなどの分野では数多くの
技術が利用されている。しかしながら、高精度で多次元
位置決めを行なわせようとすると装置の複雑化やコスト
アップは避けられないものとなっている。このため、ワ
ーク側をＸ−Ｙテーブルによって移動させてエンドエフ
ェクタに対する相対的位置決めを行なうことも多い。そ
して、このようなＸ−Ｙテーブルの駆動制御方式として
は、たとえば特開昭62−179004号公報に開示された方式
などがある。
次元マニピュレータは既に種々のタイプのものが提案さ
れており、特に産業用ロボットなどの分野では数多くの
技術が利用されている。しかしながら、高精度で多次元
位置決めを行なわせようとすると装置の複雑化やコスト
アップは避けられないものとなっている。このため、ワ
ーク側をＸ−Ｙテーブルによって移動させてエンドエフ
ェクタに対する相対的位置決めを行なうことも多い。そ
して、このようなＸ−Ｙテーブルの駆動制御方式として
は、たとえば特開昭62−179004号公報に開示された方式
などがある。
しかしながら、Ｘ−Ｙテーブルの駆動制御もまた容易
ではなく、複雑な制御を行なわねばならない。またＸ−
Ｙテーブルはそのサイズがかなり大きく、かさばってし
まうという問題もある。このため、コンパクトで安価で
あるとともに位置決め精度も高い多次元マニピュレータ
の開発が望まれていた。
ではなく、複雑な制御を行なわねばならない。またＸ−
Ｙテーブルはそのサイズがかなり大きく、かさばってし
まうという問題もある。このため、コンパクトで安価で
あるとともに位置決め精度も高い多次元マニピュレータ
の開発が望まれていた。
この発明は従来技術における上述の課題の解決を意図
しており、コンパクトかつ安価で、位置決め精度も高い
３次元マニピュレータを提供することを目的とする。
しており、コンパクトかつ安価で、位置決め精度も高い
３次元マニピュレータを提供することを目的とする。
上記の目的を達成するため、この発明の３次元マニピ
ュレータでは、複数の１次元案内部材上をそれぞれ移動
自在な３つの移動体に３体のアームがそれぞれ回動自在
に取付けられ、前記３体のアームが所定の連結部位にお
いて互いに回動自在に連結されてリンク機構が形成され
るとともに、前記３つの移動体のそれぞれを駆動して前
記各１次元案内部材上で独立に移動させる３つの駆動手
段が設けられ、かつ前記リンク機構にエンドエフェクタ
が連結されている点にある。
ュレータでは、複数の１次元案内部材上をそれぞれ移動
自在な３つの移動体に３体のアームがそれぞれ回動自在
に取付けられ、前記３体のアームが所定の連結部位にお
いて互いに回動自在に連結されてリンク機構が形成され
るとともに、前記３つの移動体のそれぞれを駆動して前
記各１次元案内部材上で独立に移動させる３つの駆動手
段が設けられ、かつ前記リンク機構にエンドエフェクタ
が連結されている点にある。
３つの移動体を同方向に移動させると、リンク機構
は、その関節角を変化させずに、全体として案内部材が
伸びる方向と同一の方向へ移動する。これにより、エン
ドエフェクタは、上記方向と同一の方向に移動可能であ
る。これに対して、複数の移動体を互いに異なる方向に
移動させると、リンク機構における関節角が変化する。
アームの長さは固定されているため、これによってエン
ドエフェクタは、案内部材が伸びる方向に対して非平行
な方向へと移動する。これらの動きを組合わせることに
より、エンドエフェクタを３次元的に移動させて位置決
めすることが可能である。
は、その関節角を変化させずに、全体として案内部材が
伸びる方向と同一の方向へ移動する。これにより、エン
ドエフェクタは、上記方向と同一の方向に移動可能であ
る。これに対して、複数の移動体を互いに異なる方向に
移動させると、リンク機構における関節角が変化する。
アームの長さは固定されているため、これによってエン
ドエフェクタは、案内部材が伸びる方向に対して非平行
な方向へと移動する。これらの動きを組合わせることに
より、エンドエフェクタを３次元的に移動させて位置決
めすることが可能である。
先ず、この発明に関連する構造を有する２次元マニピ
ュレータの提案例について説明する。即ち、第１図は、
その２次元マニピュレータの一部切欠要部斜視図であ
る。このマニピュレータ１は、Ｘ方向に１次元的に伸び
る案内部材２を有しており、案内部材２は、互いに平行
な一対のガイドレール3a,3bと、ネジ杆４とを備えてい
る。これらのガイドレール3a,3bには、一対の移動体5a,
5bが摺動自在に取付けられている。移動体5a,5bはガイ
ドレール3a,3bによって支持されるとともに、それらの
Ｘ方向の移動がガイドレール3a,3bによってガイドされ
る。
ュレータの提案例について説明する。即ち、第１図は、
その２次元マニピュレータの一部切欠要部斜視図であ
る。このマニピュレータ１は、Ｘ方向に１次元的に伸び
る案内部材２を有しており、案内部材２は、互いに平行
な一対のガイドレール3a,3bと、ネジ杆４とを備えてい
る。これらのガイドレール3a,3bには、一対の移動体5a,
5bが摺動自在に取付けられている。移動体5a,5bはガイ
ドレール3a,3bによって支持されるとともに、それらの
Ｘ方向の移動がガイドレール3a,3bによってガイドされ
る。
移動体5a,5bには、モータ6a,6bがそれぞれ取付けられ
ている。これらのモータ6a,6bは、例えばブラシレス型
のサーボモータであり、その内部には、モータのロータ
と一体的に形成したボールナット（図示せず）が内蔵さ
れている。そして、そのボールナットはネジ杆４と螺合
しており、そのボールナットとネジ杆４とによってボー
ルねじが形成されている。このため、図示しないそれぞ
れの給電線を通じてモータ6a,6bに給電し、それによっ
てモータ6a,6bに回転力を発生させることにより、移動
体5a,5bは独立にＸ方向または（−Ｘ）方向に移動す
る。なお、各モータ6a,6b内には、ロータ回転角検知の
ためのロータリエンコーダを設けておくことができる。
ている。これらのモータ6a,6bは、例えばブラシレス型
のサーボモータであり、その内部には、モータのロータ
と一体的に形成したボールナット（図示せず）が内蔵さ
れている。そして、そのボールナットはネジ杆４と螺合
しており、そのボールナットとネジ杆４とによってボー
ルねじが形成されている。このため、図示しないそれぞ
れの給電線を通じてモータ6a,6bに給電し、それによっ
てモータ6a,6bに回転力を発生させることにより、移動
体5a,5bは独立にＸ方向または（−Ｘ）方向に移動す
る。なお、各モータ6a,6b内には、ロータ回転角検知の
ためのロータリエンコーダを設けておくことができる。
移動体5a,5bには、クロスローラベアリングなどで形
成された回動機構7a,7bによって、アーム8a,8bがそれぞ
れＸ−Ｙ平面上で回動自在に支持されている。このた
め、アーム8a,8bは、Ｘ−Ｙ平面内で旋回可能である。
アーム8a,8bのそれぞれの長さは互いに異なっていても
よいが、この提案例では同一の長さＬ（第１図中には図
示せず。）とされている。
成された回動機構7a,7bによって、アーム8a,8bがそれぞ
れＸ−Ｙ平面上で回動自在に支持されている。このた
め、アーム8a,8bは、Ｘ−Ｙ平面内で旋回可能である。
アーム8a,8bのそれぞれの長さは互いに異なっていても
よいが、この提案例では同一の長さＬ（第１図中には図
示せず。）とされている。
アーム8a,8bのそれぞれの他端は、クロスローラベア
リングなどで形成された回動機構９を介して、互いにＸ
−Ｙ面内で回動自在に連結されている。したがって、ア
ーム8a,8bは、それらの端部を連結部位とするリンク機
構10を形成している。また、この連結部位の下方におい
て、エアーチャックによって構成されたエンドエフェク
タ11が一方のアーム8bの端部に取付けられている。この
エアーチェックは、エアーホース12を介して供給される
エアーによって開閉する。
リングなどで形成された回動機構９を介して、互いにＸ
−Ｙ面内で回動自在に連結されている。したがって、ア
ーム8a,8bは、それらの端部を連結部位とするリンク機
構10を形成している。また、この連結部位の下方におい
て、エアーチャックによって構成されたエンドエフェク
タ11が一方のアーム8bの端部に取付けられている。この
エアーチェックは、エアーホース12を介して供給される
エアーによって開閉する。
次に、このマニピュレータ１の基本的動作について説
明する。ここでは、第１図の機構を模式化してＸ−Ｙ平
面図として示した第２図を参照する。ただし、第２図に
おいては、案内部材２上の移動体5a,5bの基準位置とし
て、Ｘ＝Xa,Xbをそれぞれ想定している。
明する。ここでは、第１図の機構を模式化してＸ−Ｙ平
面図として示した第２図を参照する。ただし、第２図に
おいては、案内部材２上の移動体5a,5bの基準位置とし
て、Ｘ＝Xa,Xbをそれぞれ想定している。
まず、移動体5a,5bをともにＸ方向に同一量だけ移動
させた場合には（第２図（ａ））、リンク機構10の関節
角θは不変のままで、リンク機構10が全体としてＸ方向
へ並進移動する（破線）。このため、エンドエフェクタ
11のＹ座標Y0は不変のままで、そのＸ座標が（＋）側に
変化する。逆に、移動体5a,5bを（−Ｘ）方向に同一量
だけ移動させると、Ｙ座標Y0を不変に保ったままで、エ
ンドエフェクタ11は（−Ｘ）側に移動する（第２図
（ａ）実線）。
させた場合には（第２図（ａ））、リンク機構10の関節
角θは不変のままで、リンク機構10が全体としてＸ方向
へ並進移動する（破線）。このため、エンドエフェクタ
11のＹ座標Y0は不変のままで、そのＸ座標が（＋）側に
変化する。逆に、移動体5a,5bを（−Ｘ）方向に同一量
だけ移動させると、Ｙ座標Y0を不変に保ったままで、エ
ンドエフェクタ11は（−Ｘ）側に移動する（第２図
（ａ）実線）。
一方、移動体5a,5bを互いに逆方向に同一量だけ移動
させると（第２図（ｂ））、リンク機構10のＸ方向重心
位置はそのままで、その関節角θが変化する。このた
め、移動体5a,5bが互いに近づくような移動を行なわせ
れば、破線で示すようにエンドエフェクタ11のＹ座標が
増大し、また、移動体5a,5bが互いに遠ざかる方向に移
動を行なわせれば、実線で示すようにエンドエフェクタ
11のＹ座標が減少する。これらにおいて、エンドエフェ
クタ11のＹ座標X0は不変である。
させると（第２図（ｂ））、リンク機構10のＸ方向重心
位置はそのままで、その関節角θが変化する。このた
め、移動体5a,5bが互いに近づくような移動を行なわせ
れば、破線で示すようにエンドエフェクタ11のＹ座標が
増大し、また、移動体5a,5bが互いに遠ざかる方向に移
動を行なわせれば、実線で示すようにエンドエフェクタ
11のＹ座標が減少する。これらにおいて、エンドエフェ
クタ11のＹ座標X0は不変である。
これらのことから、移動体5a,5bのそれぞれの移動方
向と移動量とを制御することにより、エンドエフェクタ
11は直角二次元Ｘ−Ｙ平面内で任意に動き得ることがわ
かる。その可動範囲は、第２図（ｃ）に破線で囲んで示
す矩形領域Ａであって、この矩形領域Ａの上辺および下
辺の長さは主として案内部材２の長さによって規定さ
れ、左辺および右辺の長さは主としてアーム8a,8bの長
さＬによって規定される。
向と移動量とを制御することにより、エンドエフェクタ
11は直角二次元Ｘ−Ｙ平面内で任意に動き得ることがわ
かる。その可動範囲は、第２図（ｃ）に破線で囲んで示
す矩形領域Ａであって、この矩形領域Ａの上辺および下
辺の長さは主として案内部材２の長さによって規定さ
れ、左辺および右辺の長さは主としてアーム8a,8bの長
さＬによって規定される。
エンドエフェクタ11を領域Ａ内の任意の点（Xc,Yc）
に位置決めする際に、移動体5a,5bをどの位置まで移動
させればよいかは、簡単な幾何学的計算で求めることが
できる。理解を容易にする目的で移動体5a,5b自身の大
きさを無視する近似を行なった場合を考える。この場合
には、第２図（ｃ）に示すように、点（Xc,Yc）を中心
とし、アーム8a,8bの長さＬを半径とする円Ｃを想定
し、この円Ｃが、案内部材２を表現する線分１と交わる
２点のＸ座標X1,X2を求める。そして、このＸ座標X1,X2
の位置まで、移動体5a,5bをそれぞれ移動させればよ
い。移動体5a,5b自体の大きさを考慮した場合への拡張
も容易である。このため、マニピュレータ１を制御する
コントローラ（図示せず）を設けたときに、そのコント
ローラにおける制御シーケンスも比較的簡単となる。
に位置決めする際に、移動体5a,5bをどの位置まで移動
させればよいかは、簡単な幾何学的計算で求めることが
できる。理解を容易にする目的で移動体5a,5b自身の大
きさを無視する近似を行なった場合を考える。この場合
には、第２図（ｃ）に示すように、点（Xc,Yc）を中心
とし、アーム8a,8bの長さＬを半径とする円Ｃを想定
し、この円Ｃが、案内部材２を表現する線分１と交わる
２点のＸ座標X1,X2を求める。そして、このＸ座標X1,X2
の位置まで、移動体5a,5bをそれぞれ移動させればよ
い。移動体5a,5b自体の大きさを考慮した場合への拡張
も容易である。このため、マニピュレータ１を制御する
コントローラ（図示せず）を設けたときに、そのコント
ローラにおける制御シーケンスも比較的簡単となる。
以上のように、この提案例のマニピュレータ１では、
移動体5a,5bを１次元的に並進駆動させる機構のみでエ
ンドエフェクタ11を２次元的に移動させることができる
ため、機構的にコンパクトとなる。また精密位置決めに
必要とされる高価なボールねじなどの数も少なくてすむ
ため、比較的安価にマニピュレータ１を構成することが
できる。特に、モータ6a,6bとしてナット組込型の一体
化モータを使うことで、この効果はさらに高まってい
る。さらに、機構的に簡単であることから、各部の変形
や可動部のガタなどに起因する位置決め誤差も少なく、
高精度の位置決めが可能となる。
移動体5a,5bを１次元的に並進駆動させる機構のみでエ
ンドエフェクタ11を２次元的に移動させることができる
ため、機構的にコンパクトとなる。また精密位置決めに
必要とされる高価なボールねじなどの数も少なくてすむ
ため、比較的安価にマニピュレータ１を構成することが
できる。特に、モータ6a,6bとしてナット組込型の一体
化モータを使うことで、この効果はさらに高まってい
る。さらに、機構的に簡単であることから、各部の変形
や可動部のガタなどに起因する位置決め誤差も少なく、
高精度の位置決めが可能となる。
次に、この発明の一実施例である３次元マニピュレー
タについて説明する。なお、前記提案例における部材と
同様構成部分は同様符号を付し、その詳細な説明を省略
する。
タについて説明する。なお、前記提案例における部材と
同様構成部分は同様符号を付し、その詳細な説明を省略
する。
即ち、第3A図に示すように、前記提案部材２に対応す
る構造の１次元案内部材2a〜2cを互いに平行に配置して
設ける。そして、前記移動体5a,5bに対応する構造の移
動体5A〜5Cの３つをこれらの案内部材2a〜2cにそれぞれ
移動自在に取付け、各移動体5A〜5Cに前記アーム8a,8b
に対応する構造の３体のアーム8A〜8Cが回動自在に支持
される。
る構造の１次元案内部材2a〜2cを互いに平行に配置して
設ける。そして、前記移動体5a,5bに対応する構造の移
動体5A〜5Cの３つをこれらの案内部材2a〜2cにそれぞれ
移動自在に取付け、各移動体5A〜5Cに前記アーム8a,8b
に対応する構造の３体のアーム8A〜8Cが回動自在に支持
される。
また、各アーム8A〜8Cはその他端部を連結部位とする
リンク機構10aを形成し、この連結部位の下方にエンド
エフェクタ11が取付けられる。
リンク機構10aを形成し、この連結部位の下方にエンド
エフェクタ11が取付けられる。
このように構成すれば、各移動体5A〜5Cのそれぞれの
移動方向と移動量を制御することにより、エンドエフェ
クタ11はＸ−Ｙ−Ｚ直角座標系で規定される３次元空間
内で移動可能である。なお、この際、案内部材2a〜2cの
うちの任意の２つは互いに兼用されていてもよい。ただ
し、このような３次元マニピュレータの場合には、各回
動部を、所定の立体角内で回動自在に構成する。また、
エンドエフェクタ11は常に所定の方向（たとえば下方）
を向くようにしておく。
移動方向と移動量を制御することにより、エンドエフェ
クタ11はＸ−Ｙ−Ｚ直角座標系で規定される３次元空間
内で移動可能である。なお、この際、案内部材2a〜2cの
うちの任意の２つは互いに兼用されていてもよい。ただ
し、このような３次元マニピュレータの場合には、各回
動部を、所定の立体角内で回動自在に構成する。また、
エンドエフェクタ11は常に所定の方向（たとえば下方）
を向くようにしておく。
第3B図は、第3A図の構成を具体化した一例を示す模式
機構図である。この例では、アーム8A〜8Cのそれぞれを
平行リンク機構によって形成している。エンドエフェク
タ11の軸11aをアーム8Aの垂直辺8aに固定することによ
り、エンドエフェクタ11は常に下方を向いている。アー
ム8Aのみを平行リンク構成としてもよい。
機構図である。この例では、アーム8A〜8Cのそれぞれを
平行リンク機構によって形成している。エンドエフェク
タ11の軸11aをアーム8Aの垂直辺8aに固定することによ
り、エンドエフェクタ11は常に下方を向いている。アー
ム8Aのみを平行リンク構成としてもよい。
また、上記実施例において、前記提案例の如く、移動
体5A〜5Cに取付けたモータでボールナットを回転させる
構造としてもよく、各移動体5A〜5Cごとにネジ杆を設け
るときには、案内部材2a〜2c側にモータを設けて、それ
らのネジ杆を回転させる構造としてもよい。もっとも、
移動体5A〜5Cに取付けたモータでボールナットを回転さ
せる構造の方が機構的に最も簡単である、ネジ杆を兼用
することが望ましい。
体5A〜5Cに取付けたモータでボールナットを回転させる
構造としてもよく、各移動体5A〜5Cごとにネジ杆を設け
るときには、案内部材2a〜2c側にモータを設けて、それ
らのネジ杆を回転させる構造としてもよい。もっとも、
移動体5A〜5Cに取付けたモータでボールナットを回転さ
せる構造の方が機構的に最も簡単である、ネジ杆を兼用
することが望ましい。
従って、前記提案例と同様、各移動体5A〜5Bを１次元
的に移動制御させる機構のみでエンドエフェクタ11を３
次元的に移動させることができるため、機構的にコンパ
クトとなる。また精密位置決めに必要とされる高価なボ
ールねじなどの数も少なく構成でき、比較的安価にマニ
ピュレータを構成することができる。特に、モータとし
てナット組込型の一体化モータを使うことで、この効果
はさらに高まる。さらに、機構的に簡単であることか
ら、各部の変形や可動部のガタなどに起因する位置決め
誤差も少なく、高精度の位置決めが可能となる。
的に移動制御させる機構のみでエンドエフェクタ11を３
次元的に移動させることができるため、機構的にコンパ
クトとなる。また精密位置決めに必要とされる高価なボ
ールねじなどの数も少なく構成でき、比較的安価にマニ
ピュレータを構成することができる。特に、モータとし
てナット組込型の一体化モータを使うことで、この効果
はさらに高まる。さらに、機構的に簡単であることか
ら、各部の変形や可動部のガタなどに起因する位置決め
誤差も少なく、高精度の位置決めが可能となる。
なお、この発明の３次元マニピュレータは、従来Ｘ−
Ｙテーブルを用いて位置決めを行なっていた分野のほ
か、種々のハンドリングシステムや加工システムなどに
も利用可能である。
Ｙテーブルを用いて位置決めを行なっていた分野のほ
か、種々のハンドリングシステムや加工システムなどに
も利用可能である。
以上説明したように、この発明によれば、各移動体を
それぞれ独立に各１次元案内部材上で移動させることに
よってエンドエフェクタの３次元の位置決めが可能とな
り、機構的にコンパクトかつ安価で、高精度な位置決め
にも適した３次元マニピュレータを得ることができる。
それぞれ独立に各１次元案内部材上で移動させることに
よってエンドエフェクタの３次元の位置決めが可能とな
り、機構的にコンパクトかつ安価で、高精度な位置決め
にも適した３次元マニピュレータを得ることができる。
第１図は、この発明に関連する提案例の一部切欠要部斜
視図、 第２図は、同提案例の動作原理を示す平面模式図、 第3A図はこの発明の実施例の説明図、 第3B図は第3A図のマニピュレータを具体化した一例を示
す模式機構図である。 2a,2b,2c……案内部材 5A,5B,5C……移動体 8A,8B,8C……アーム 10a……リンク機構 11……エンドエフェクタ
視図、 第２図は、同提案例の動作原理を示す平面模式図、 第3A図はこの発明の実施例の説明図、 第3B図は第3A図のマニピュレータを具体化した一例を示
す模式機構図である。 2a,2b,2c……案内部材 5A,5B,5C……移動体 8A,8B,8C……アーム 10a……リンク機構 11……エンドエフェクタ
Claims (1)
- 【請求項１】複数の１次元案内部材上をそれぞれ移動自
在な３つの移動体に３体のアームがそれぞれ回動自在に
取付けられ、前記３体のアームが所定の連結部位におい
て互いに回動自在に連結されてリンク機構が形成される
とともに、 前記３つの移動体のそれぞれを駆動して前記各１次元案
内部材上で独立に移動させる３つの駆動手段が設けら
れ、かつ 前記リンク機構にエンドエフェクタが連結されているこ
とを特徴とする３次元マニピュレータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63080404A JP2588418B2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | ３次元マニピュレータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63080404A JP2588418B2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | ３次元マニピュレータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01252379A JPH01252379A (ja) | 1989-10-09 |
| JP2588418B2 true JP2588418B2 (ja) | 1997-03-05 |
Family
ID=13717352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63080404A Expired - Lifetime JP2588418B2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | ３次元マニピュレータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2588418B2 (ja) |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3731846B2 (ja) * | 1998-03-19 | 2006-01-05 | 日立工機株式会社 | リンクアーム機構の制御方法 |
| US6575691B1 (en) | 1998-07-22 | 2003-06-10 | Tokyo Electron Limited | Transfer arm |
| US20020182036A1 (en) * | 2001-06-04 | 2002-12-05 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor wafer handling robot for linear transfer chamber |
| JPWO2006134667A1 (ja) * | 2005-06-17 | 2009-01-08 | 株式会社中田製作所 | 溶接角度の制御装置と制御方法 |
| DE502006000954D1 (de) * | 2006-03-28 | 2008-07-31 | Festo Ag & Co | Handhabungsvorrichtung mit einer Trägereinheit mit mehreren Arbeitsmodulen |
| JP5352174B2 (ja) * | 2008-10-08 | 2013-11-27 | Ｊｕｋｉ株式会社 | 電子部品実装装置 |
| JP5866154B2 (ja) * | 2011-07-06 | 2016-02-17 | キヤノン電子株式会社 | パラレルリンクロボット |
| CN104520075B (zh) * | 2012-08-09 | 2017-03-15 | 富士通株式会社 | 机器人 |
| JP6043561B2 (ja) * | 2012-09-26 | 2016-12-14 | キヤノン電子株式会社 | パラレルリンクロボット |
| CN105881494A (zh) * | 2014-11-07 | 2016-08-24 | 江南大学 | 一种1t&(2t)&2r五自由度解耦混联机构 |
| CN105619378A (zh) * | 2014-11-07 | 2016-06-01 | 江南大学 | 一种(2t)&3r五自由度解耦混联机构 |
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Family Cites Families (2)
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-
1988
- 1988-03-31 JP JP63080404A patent/JP2588418B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01252379A (ja) | 1989-10-09 |
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