JP2961006B2 - 真空用直進導入器 - Google Patents
真空用直進導入器Info
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- JP2961006B2 JP2961006B2 JP1612992A JP1612992A JP2961006B2 JP 2961006 B2 JP2961006 B2 JP 2961006B2 JP 1612992 A JP1612992 A JP 1612992A JP 1612992 A JP1612992 A JP 1612992A JP 2961006 B2 JP2961006 B2 JP 2961006B2
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- Japan
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- straight
- outer tube
- introducer
- shaft
- vacuum
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/02—Feed or outlet devices therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空容器を用いた製品
のプラズマＣＶＤ装置やスパッタリング装置等のマニピ
ュレータに適用される直進導入器に関する。
のプラズマＣＶＤ装置やスパッタリング装置等のマニピ
ュレータに適用される直進導入器に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種直進導入器は、従来、図３に示す
ように、外向きフランジ１付きの外部管２内に挿入され
た直進軸３の軸端と外部管２との間にベローズ４が設け
られ、このべローズ４の内部が真空で外部が大気という
状態で、当該べローズ４の伸縮により直進軸３を出し入
れする機構となっている。
ように、外向きフランジ１付きの外部管２内に挿入され
た直進軸３の軸端と外部管２との間にベローズ４が設け
られ、このべローズ４の内部が真空で外部が大気という
状態で、当該べローズ４の伸縮により直進軸３を出し入
れする機構となっている。
【０００３】また、直進の精度出しのために、外部管２
の端部に螺合した回転ねじ５の先端に直進軸３を係合さ
せ、精度良く位置決めできるように工夫されている。
の端部に螺合した回転ねじ５の先端に直進軸３を係合さ
せ、精度良く位置決めできるように工夫されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の直進
導入器では、ベローズ４を使用しているため、ベローズ
の寿命が導入器の寿命となり、あまり長寿命は望めな
い。
導入器では、ベローズ４を使用しているため、ベローズ
の寿命が導入器の寿命となり、あまり長寿命は望めな
い。
【０００５】また、ベローズの最収縮時と最伸長時の長
さの差が導入器のストロークとなるため、あまり長いス
トロークは取れない。
さの差が導入器のストロークとなるため、あまり長いス
トロークは取れない。
【０００６】さらに、大気中にある回転ねじ５は直進軸
３の回転とともに直進運動をするため、モータを直結し
て運転する場合は必要であり、これにより外部のデッド
スペースも大きくなるという不具合があった。
３の回転とともに直進運動をするため、モータを直結し
て運転する場合は必要であり、これにより外部のデッド
スペースも大きくなるという不具合があった。
【０００７】そこで、本発明の目的は、長寿命はでスト
ロークが長く、外部のデッドスペースも小さくて済む直
進導入器を提供することにある。
ロークが長く、外部のデッドスペースも小さくて済む直
進導入器を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の、本発明の構成は、外部管の一端に真空容器へ気密に
接続するためのフランジを付設するとともに、外部管の
他端には回転軸を気密に貫通させ、この回転軸の真空側
端部を、前記外部管内に配設されたボールねじのねじ軸
部に一体結合する一方、該ボールねじのナット部に、前
記外部管の内部に先端部を外部管から突出させた状態で
回転不能でかつ軸心方向へ移動可能に挿入された直進軸
管の基端部を一体結合したことを特徴とする。
の、本発明の構成は、外部管の一端に真空容器へ気密に
接続するためのフランジを付設するとともに、外部管の
他端には回転軸を気密に貫通させ、この回転軸の真空側
端部を、前記外部管内に配設されたボールねじのねじ軸
部に一体結合する一方、該ボールねじのナット部に、前
記外部管の内部に先端部を外部管から突出させた状態で
回転不能でかつ軸心方向へ移動可能に挿入された直進軸
管の基端部を一体結合したことを特徴とする。
【０００９】
【作用】前記構成によれば、ボールねじ機構により、真
空中にて回転運動が直進運動に変換され、長寿命で長ス
トロークの導入器が達成される。
空中にて回転運動が直進運動に変換され、長寿命で長ス
トロークの導入器が達成される。
【００１０】また、大気側での回転軸の変位が全くない
ので、回転軸にモータを容易に直結でき、しかもデッド
スペースも少なくて済む。
ので、回転軸にモータを容易に直結でき、しかもデッド
スペースも少なくて済む。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て説明する。図１は本発明に係る真空用直進導入器の断
面図である。
て説明する。図１は本発明に係る真空用直進導入器の断
面図である。
【００１２】図示のように、細長い外部管１０の開放さ
れた左端には図示しない真空容器へ気密に接続するため
の外向きフランジ１１が付設されるとともに、閉塞され
た右端には回転軸１２がラジアル軸受１３やシール部材
１４を介して貫通している。
れた左端には図示しない真空容器へ気密に接続するため
の外向きフランジ１１が付設されるとともに、閉塞され
た右端には回転軸１２がラジアル軸受１３やシール部材
１４を介して貫通している。
【００１３】そして、前記回転軸１２の左端には、外部
管１０内に収容されたボールねじ１５のねじ軸部１５ａ
の右端が一体結合される。このねじ軸部１５ａの左端は
前記外向きフランジ１１まで延出される。
管１０内に収容されたボールねじ１５のねじ軸部１５ａ
の右端が一体結合される。このねじ軸部１５ａの左端は
前記外向きフランジ１１まで延出される。
【００１４】一方、ボールねじ１５のナット部１５ｂに
は、外部管１０及び外向きフランジ１１の内部に回転が
不能でかつ左右方向に直進運動が可能に挿入された直進
軸管１６の右端部が一体結合される。この直進軸管１６
の左端には取付座１７が付設される。
は、外部管１０及び外向きフランジ１１の内部に回転が
不能でかつ左右方向に直進運動が可能に挿入された直進
軸管１６の右端部が一体結合される。この直進軸管１６
の左端には取付座１７が付設される。
【００１５】なお、図中１８はスラスト軸受で、１９は
回転止め用の突条である。
回転止め用の突条である。
【００１６】このように構成されるため、回転軸１２の
回転によりボールねじ１５のナット部１５ｂが真空中に
て直進運動し、これにより直進軸管１６がボールねじ１
５のねじ軸部１５ａに対して伸縮して直進運動する。
回転によりボールねじ１５のナット部１５ｂが真空中に
て直進運動し、これにより直進軸管１６がボールねじ１
５のねじ軸部１５ａに対して伸縮して直進運動する。
【００１７】この結果、長寿命（ベローズを用いないこ
とによる）で長ストローク（ねじ軸部１５ａの長さ分の
ストローク）の導入器が達成される。
とによる）で長ストローク（ねじ軸部１５ａの長さ分の
ストローク）の導入器が達成される。
【００１８】また、回転運動から直進運動への変換は真
空中で行われるので、大気側での回転軸１２の変位は全
くなく、回転軸１２にモータを容易に直結できるととも
に、デッドスペースも小さくて済む。
空中で行われるので、大気側での回転軸１２の変位は全
くなく、回転軸１２にモータを容易に直結できるととも
に、デッドスペースも小さくて済む。
【００１９】次に、図２に本発明に係る真空用直進導入
器をプラズマＣＶＤ装置やスパッタリング装置等の真空
容器に適用した例を示す。
器をプラズマＣＶＤ装置やスパッタリング装置等の真空
容器に適用した例を示す。
【００２０】これによれば、導入器の回転軸１２にステ
ッピングモータ２０を直結し、回転角により、直進軸１
６の取付座１７に接続されたハンドリング装置２１の真
空容器２２内での位置決めを高精度に行なえるようにな
っている。
ッピングモータ２０を直結し、回転角により、直進軸１
６の取付座１７に接続されたハンドリング装置２１の真
空容器２２内での位置決めを高精度に行なえるようにな
っている。
【００２１】また、本例では、シール部材１４に磁性流
体シールを用いて低リークの仕様となっている。
体シールを用いて低リークの仕様となっている。
【００２２】以上説明したように本発明によれば、真空
容器内に長いストロークで直進導入が可能となり、長寿
命でデッドスペースの少ない、しかも高精度な直進導入
器が実現できる。
容器内に長いストロークで直進導入が可能となり、長寿
命でデッドスペースの少ない、しかも高精度な直進導入
器が実現できる。
【図１】本発明に係る直進導入器の一実施例を示す断面
図である。
図である。
【図２】同じく本発明に係る直進導入器の応用例を示す
概略構成図である。
概略構成図である。
【図３】従来例の断面図である。
１０ 外部管 １１ 外向きフランジ １２ 回転軸 １５ ボールねじ １５ａ ねじ軸部 １５ｂ ナット部 １６ 直進軸管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B01J 3/00 B23Q 5/40 C23C 14/34 C23C 16/50 C30B 25/12 H01L 21/68 H01L 21/203 H01L 21/205 F16H 25/22
Claims (1)
- 【請求項１】 外部管の一端に真空容器へ気密に接続す
るためのフランジを付設するとともに、外部管の他端に
は回転軸を気密に貫通させ、この回転軸の真空側端部
を、前記外部管内に配設されたボールねじのねじ軸部に
一体結合する一方、該ボールねじのナット部に、前記外
部管の内部に先端部を外部管から突出させた状態で回転
不能でかつ軸心方向へ移動可能に挿入された直進軸管の
基端部を一体結合したことを特徴とする真空用直進導入
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1612992A JP2961006B2 (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 真空用直進導入器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1612992A JP2961006B2 (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 真空用直進導入器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05208128A JPH05208128A (ja) | 1993-08-20 |
| JP2961006B2 true JP2961006B2 (ja) | 1999-10-12 |
Family
ID=11907890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1612992A Expired - Fee Related JP2961006B2 (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 真空用直進導入器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2961006B2 (ja) |
-
1992
- 1992-01-31 JP JP1612992A patent/JP2961006B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05208128A (ja) | 1993-08-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990706 |
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