JP2960980B2 - 電子顕微鏡の試料移動装置 - Google Patents
電子顕微鏡の試料移動装置Info
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 16
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、電子顕微鏡の試料ホ
ールダ軸を回転方向に転動して、試料を傾斜させる試料
移動装置であって、試料ホールダ軸を回転させても、試
料の観察目標点が電子線軸からずれないようにする機構
（ユーセントリック）を改良した電子顕微鏡の試料移動
装置に関する。
ールダ軸を回転方向に転動して、試料を傾斜させる試料
移動装置であって、試料ホールダ軸を回転させても、試
料の観察目標点が電子線軸からずれないようにする機構
（ユーセントリック）を改良した電子顕微鏡の試料移動
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子顕微鏡においては、図３に示すよう
に、電子線経路を形成する鏡筒１が設けられているが、
鏡筒１の電子線軸Ｃ上に試料台２が設置されており、試
料台２を支持する試料ホールダ３が設けられ、試料ホー
ルダ３は電子線軸Ｃに直交する方向に延びる円筒形を形
成しており、試料ホールダ３の外周部には保持筒４が設
けられ、試料ホールダ３は保持筒４の内部で軸方向に摺
動可能であり、また保持筒５は試料ホールダ３の試料台
２に近い部分は球体部５を形成している。
に、電子線経路を形成する鏡筒１が設けられているが、
鏡筒１の電子線軸Ｃ上に試料台２が設置されており、試
料台２を支持する試料ホールダ３が設けられ、試料ホー
ルダ３は電子線軸Ｃに直交する方向に延びる円筒形を形
成しており、試料ホールダ３の外周部には保持筒４が設
けられ、試料ホールダ３は保持筒４の内部で軸方向に摺
動可能であり、また保持筒５は試料ホールダ３の試料台
２に近い部分は球体部５を形成している。
【０００３】そして試料ホールダ３は球体部５の部分
で、傾斜体６に対して電子線軸Ｃに直交する平面内で回
動可能になっており、さらに保持筒４は試料ホールダ３
を内部に保持した状態でその軸Ａを中心として回転し、
これによって試料ホールダ３の先端部に置かれている試
料台２を、電子線軸Ｃに対して傾斜させることができる
ようになっている。なお試料ホールダ３と保持筒４との
間及び球体部５と鏡筒２との間には、真空シール５ａが
装着されている。
で、傾斜体６に対して電子線軸Ｃに直交する平面内で回
動可能になっており、さらに保持筒４は試料ホールダ３
を内部に保持した状態でその軸Ａを中心として回転し、
これによって試料ホールダ３の先端部に置かれている試
料台２を、電子線軸Ｃに対して傾斜させることができる
ようになっている。なお試料ホールダ３と保持筒４との
間及び球体部５と鏡筒２との間には、真空シール５ａが
装着されている。
【０００４】試料台２を支持する試料ホールダ３を、保
持筒４の中で軸Ａの方向に移動させるには、図の左方の
駆動部材７を動かし、連結部材８を介して移動させるよ
うにするが、試料ホールダ３と保持筒４の間の摺動摩擦
力を、極力軽減させる必要があるため、図４に示すよう
に、保持筒４の内部に支持ローラ１０及び押圧ローラ１
１を装着させる。支持ローラ１０は保持筒４の下方に、
垂直上方から１２０°の角度で、ローラの円筒面が試料
ホールダ３の外周面に接するように、それぞれ左右に配
置されており、一方図５に示すように、軸受部材１２に
支持された押圧ローラ１１が試料ホールダ３を押圧して
おり、押圧ローラ１２を支持する軸受部材１２は、保持
筒４に取付けられたばね１３により、上方から垂直に下
方に向って押圧され、試料ホールダ３を一定の位置に保
持している。
持筒４の中で軸Ａの方向に移動させるには、図の左方の
駆動部材７を動かし、連結部材８を介して移動させるよ
うにするが、試料ホールダ３と保持筒４の間の摺動摩擦
力を、極力軽減させる必要があるため、図４に示すよう
に、保持筒４の内部に支持ローラ１０及び押圧ローラ１
１を装着させる。支持ローラ１０は保持筒４の下方に、
垂直上方から１２０°の角度で、ローラの円筒面が試料
ホールダ３の外周面に接するように、それぞれ左右に配
置されており、一方図５に示すように、軸受部材１２に
支持された押圧ローラ１１が試料ホールダ３を押圧して
おり、押圧ローラ１２を支持する軸受部材１２は、保持
筒４に取付けられたばね１３により、上方から垂直に下
方に向って押圧され、試料ホールダ３を一定の位置に保
持している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで試料を観察す
るときには、試料台２を電子線軸Ｃに対して傾斜させる
必要があるが、そのために試料ホールダ３を内部に保持
したまま、保持筒４をその軸の回りに回転させることに
なる。このとき保持筒４内で試料ホールダ３を保持して
いる支持ローラ１０は、図６及び図７に示すように、支
持ローラ１０のスピンドル１０ａにより、保持筒４内の
支持軸受１４によって支持されているが、支持ローラ１
０とこれを支持する支持軸受１４との間にガタが発生
し、そのため試料台２の上の試料９が電子線軸Ｃからず
れるという問題がある。
るときには、試料台２を電子線軸Ｃに対して傾斜させる
必要があるが、そのために試料ホールダ３を内部に保持
したまま、保持筒４をその軸の回りに回転させることに
なる。このとき保持筒４内で試料ホールダ３を保持して
いる支持ローラ１０は、図６及び図７に示すように、支
持ローラ１０のスピンドル１０ａにより、保持筒４内の
支持軸受１４によって支持されているが、支持ローラ１
０とこれを支持する支持軸受１４との間にガタが発生
し、そのため試料台２の上の試料９が電子線軸Ｃからず
れるという問題がある。
【０００６】このガタは増幅率が拡大すればさらに大き
くなるので、電子顕微鏡の性能を左右するものとなる。
特に保持筒４の回転を、時計回りから反時計回りという
ように反転させる場合は、試料ホールダ３と保持筒４と
の間にねじれが起きて、試料９の位置が電子線軸Ｃから
大きくずれてしまうという問題がある。
くなるので、電子顕微鏡の性能を左右するものとなる。
特に保持筒４の回転を、時計回りから反時計回りという
ように反転させる場合は、試料ホールダ３と保持筒４と
の間にねじれが起きて、試料９の位置が電子線軸Ｃから
大きくずれてしまうという問題がある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するための手段として、その構成を、電子顕微鏡の
鏡筒の電子線軸に略直交する軸を軸線とする試料ホール
ダの外周部に、回転可能に取付けられた保持筒と、該試
料ホールダを前記軸線方向に摺動可能に保持するため該
保持筒に設けられた支持部とを有する電子顕微鏡の試料
移動装置において、前記支持部に円錐形ローラを装着し
たものである。
解決するための手段として、その構成を、電子顕微鏡の
鏡筒の電子線軸に略直交する軸を軸線とする試料ホール
ダの外周部に、回転可能に取付けられた保持筒と、該試
料ホールダを前記軸線方向に摺動可能に保持するため該
保持筒に設けられた支持部とを有する電子顕微鏡の試料
移動装置において、前記支持部に円錐形ローラを装着し
たものである。
【０００８】
【作用】試料ホールダを摺動可能に保持するための支持
部に円錐形ローラを装着したので、保持筒に対して試料
ホールダを上から押圧している力は、前記円錐ローラに
加えられ、該円錐ローラを横方向から押圧することにな
り、その分力が該円錐ローラのスラストとなるので、試
料ホールダと保持筒との間にガタが生じても、円錐ロー
ラが円錐のより太い直径の部分で当接するように、円錐
の軸方向に移動することになり、そのガタが埋められて
しまうとこになる。よって円錐ローラを使用する限りに
おいてガタが消滅してしまい、試料ホールダは常にガタ
のない状態で保持筒に保持される。
部に円錐形ローラを装着したので、保持筒に対して試料
ホールダを上から押圧している力は、前記円錐ローラに
加えられ、該円錐ローラを横方向から押圧することにな
り、その分力が該円錐ローラのスラストとなるので、試
料ホールダと保持筒との間にガタが生じても、円錐ロー
ラが円錐のより太い直径の部分で当接するように、円錐
の軸方向に移動することになり、そのガタが埋められて
しまうとこになる。よって円錐ローラを使用する限りに
おいてガタが消滅してしまい、試料ホールダは常にガタ
のない状態で保持筒に保持される。
【０００９】
【実施例】電子顕微鏡の鏡筒１、電子線軸Ｃ、試料台
２、試料ホールダ３、保持筒４、球体部５等について
は、図３のものと同様であり、また試料ホールダ３は電
子線経路を形成する鏡筒１の電子線軸Ｃに直交する軸を
軸線としており、その外周部には保持筒４が設けられ
る。この他試料台２を支持する試料ホールダ３を、保持
筒４の中で軸Ａの方向に移動させるには、図の左方の駆
動部材７を動かし、連結部材８を介して移動させるよう
にする点なども従来技術と同様である。よって図３をそ
のまゝ用いることとし、同一部材は同一符号を以て示
す。
２、試料ホールダ３、保持筒４、球体部５等について
は、図３のものと同様であり、また試料ホールダ３は電
子線経路を形成する鏡筒１の電子線軸Ｃに直交する軸を
軸線としており、その外周部には保持筒４が設けられ
る。この他試料台２を支持する試料ホールダ３を、保持
筒４の中で軸Ａの方向に移動させるには、図の左方の駆
動部材７を動かし、連結部材８を介して移動させるよう
にする点なども従来技術と同様である。よって図３をそ
のまゝ用いることとし、同一部材は同一符号を以て示
す。
【００１０】こゝで試料ホールダ３と保持筒４の断面
は、図１に示すように、円筒状の試料ホールダ３の外周
部の保持筒４の内部には、保持筒４の試料ホールダ保持
面下方の試料ホールダ３を軸線Ａの方向に摺動可能に支
持する支持部Ｓに、従来技術の円筒形支持ローラ１０の
代わりに、試料ホールダ３の保持面下方の左右対称の位
置に、円錐形支持ローラ１５を装着する。
は、図１に示すように、円筒状の試料ホールダ３の外周
部の保持筒４の内部には、保持筒４の試料ホールダ保持
面下方の試料ホールダ３を軸線Ａの方向に摺動可能に支
持する支持部Ｓに、従来技術の円筒形支持ローラ１０の
代わりに、試料ホールダ３の保持面下方の左右対称の位
置に、円錐形支持ローラ１５を装着する。
【００１１】この支持ローラ１５は支持部Ｓにおいて、
保持筒４の垂直上方から１２０°の角度の点を接触点と
して、支持ローラ１５の円筒面１６が試料ホールダ３の
外周面に接するように配置されている。そして従来技術
と同様に、軸受部材１２に支持された押圧ローラ１１
は、試料ホールダ３を保持筒４に取付けられたばね１３
により、上方から垂直に下方に向かって押圧して、試料
ホールダ３を一定の位置に保持している。
保持筒４の垂直上方から１２０°の角度の点を接触点と
して、支持ローラ１５の円筒面１６が試料ホールダ３の
外周面に接するように配置されている。そして従来技術
と同様に、軸受部材１２に支持された押圧ローラ１１
は、試料ホールダ３を保持筒４に取付けられたばね１３
により、上方から垂直に下方に向かって押圧して、試料
ホールダ３を一定の位置に保持している。
【００１２】試料ホールダ３には図２に示すように、円
筒形の押圧ローラ１１によって、Ｐなる力で押圧され、
その押圧力Ｐは２つの円錐形支持ローラ１５に分散し、
Ｐ1となって支持ローラ１５の円錐面１６に垂直に加え
られる。この押圧力Ｐ1 は支持ローラ１５を横方向から
押圧することになり、円錐面１６を押圧する力Ｐ1 の分
力が、支持ローラ１５を横方向に押す力Ｐ2 及び軸方向
に押す力Ｐ3 となる。こゝで円錐形支持ローラ１５の円
錐角をθとすれば、 Ｐ2 ＝Ｐ1 cos θ Ｐ3 ＝Ｐ1 sin θ である。
筒形の押圧ローラ１１によって、Ｐなる力で押圧され、
その押圧力Ｐは２つの円錐形支持ローラ１５に分散し、
Ｐ1となって支持ローラ１５の円錐面１６に垂直に加え
られる。この押圧力Ｐ1 は支持ローラ１５を横方向から
押圧することになり、円錐面１６を押圧する力Ｐ1 の分
力が、支持ローラ１５を横方向に押す力Ｐ2 及び軸方向
に押す力Ｐ3 となる。こゝで円錐形支持ローラ１５の円
錐角をθとすれば、 Ｐ2 ＝Ｐ1 cos θ Ｐ3 ＝Ｐ1 sin θ である。
【００１３】こうして支持ローラ１５を軸方向に押す力
（スラスト）Ｐ3 が発生することにより、円錐形支持ロ
ーラ１５は常時軸方向に押圧されているので、試料ホー
ルダ３と保持筒４との間にガタが生じても、円錐形支持
ローラ１５が円錐のより太い直径の部分で当接するよう
に、軸方向に移動することになり、そのガタが埋められ
てしまうとこになる。
（スラスト）Ｐ3 が発生することにより、円錐形支持ロ
ーラ１５は常時軸方向に押圧されているので、試料ホー
ルダ３と保持筒４との間にガタが生じても、円錐形支持
ローラ１５が円錐のより太い直径の部分で当接するよう
に、軸方向に移動することになり、そのガタが埋められ
てしまうとこになる。
【００１４】そして左右に設けられている円錐形支持ロ
ーラ１５は、図２に示すように円錐形の方向が、図２の
試料ホールダ３の断面の、中心線に対して対称になるよ
うな向きに配設されており、軸方向に押す力Ｐ3 は互い
に打ち消し合うことになる。よって支持ローラとして円
錐形支持ローラ１５を使用する限りにおいてガタが消滅
し、しかもスラストは打ち消し合うので、試料ホールダ
３は常にガタのない状態で保持筒４に保持される。
ーラ１５は、図２に示すように円錐形の方向が、図２の
試料ホールダ３の断面の、中心線に対して対称になるよ
うな向きに配設されており、軸方向に押す力Ｐ3 は互い
に打ち消し合うことになる。よって支持ローラとして円
錐形支持ローラ１５を使用する限りにおいてガタが消滅
し、しかもスラストは打ち消し合うので、試料ホールダ
３は常にガタのない状態で保持筒４に保持される。
【００１５】なお上記の実施例では円錐ローラ１５は、
円錐の頂点が下方にあるものについて述べたが、円錐の
方向を反対にして、円錐の頂点が上方にあるものでも、
中心線に対して対称になるような向きに配設されていれ
ば、同様な効果を有するものとなる。また円錐ローラ１
５の位置は、必ずしも保持筒４の垂直上方からそれぞれ
１２０°の角度の点を接触点として、ローラの円錐面が
試料ホールダ３の外周面に接するように配置されない
で、適宜の角度となっているものでもよい。
円錐の頂点が下方にあるものについて述べたが、円錐の
方向を反対にして、円錐の頂点が上方にあるものでも、
中心線に対して対称になるような向きに配設されていれ
ば、同様な効果を有するものとなる。また円錐ローラ１
５の位置は、必ずしも保持筒４の垂直上方からそれぞれ
１２０°の角度の点を接触点として、ローラの円錐面が
試料ホールダ３の外周面に接するように配置されない
で、適宜の角度となっているものでもよい。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、電子顕微鏡等の試料移動装置において、試料ホール
ダを軸線方向に摺動可能に支持する支持部に、円錐形ロ
ーラを装着したので、保持筒及び試料ホールダを傾斜さ
せた場合においても、電子線軸に対する目標試料位置の
ガタを除去することができ、像の逃げを極めて小さく抑
えることができるという効果を有する。
ば、電子顕微鏡等の試料移動装置において、試料ホール
ダを軸線方向に摺動可能に支持する支持部に、円錐形ロ
ーラを装着したので、保持筒及び試料ホールダを傾斜さ
せた場合においても、電子線軸に対する目標試料位置の
ガタを除去することができ、像の逃げを極めて小さく抑
えることができるという効果を有する。
【図１】本発明の実施例の構成を示し、試料ホールダと
保持筒の、円錐形支持ローラ及び押圧ローラの部分で切
断した断面図である。
保持筒の、円錐形支持ローラ及び押圧ローラの部分で切
断した断面図である。
【図２】図１と同一部分において、円錐ローラにかかる
力の詳細を示す断面図である。
力の詳細を示す断面図である。
【図３】電子顕微鏡の試料ホールダの部分における鏡筒
の横断面図で、従来技術と本願発明の両方に共通する図
である。
の横断面図で、従来技術と本願発明の両方に共通する図
である。
【図４】従来技術における試料ホールダと保持筒を、支
持ローラ及び押圧ローラの部分で切断した断面図であ
る。
持ローラ及び押圧ローラの部分で切断した断面図であ
る。
【図５】試料ホールダと保持筒の、押圧ローラの部分を
示す斜視図で、従来技術と本願発明の両方に共通する図
である。
示す斜視図で、従来技術と本願発明の両方に共通する図
である。
【図６】従来技術における試料ホールダと保持筒に配置
された支持ローラの装着状態を示す断面図である。
された支持ローラの装着状態を示す断面図である。
【図７】従来技術における試料ホールダと保持筒に配置
された支持ローラのスピンドルとローラの部分の斜視図
である。
された支持ローラのスピンドルとローラの部分の斜視図
である。
Ｃ 電子線軸 Ａ 電子線軸に直交する軸線 １ 鏡筒 ３ 試料ホールダ ４ 保持筒 １５ 円錐形ローラ Ｓ 保持筒の支持部
Claims (1)
- 【請求項１】 電子顕微鏡の鏡筒の電子線軸に略直交す
る軸を軸線とする試料ホールダの外周部に、回転可能に
取付けられた保持筒と、該試料ホールダを前記軸線方向
に摺動可能に保持するため該保持筒に設けられた支持部
とを有する電子顕微鏡の試料移動装置において、前記支
持部に円錐形ローラを装着したことを特徴とする電子顕
微鏡の試料移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3089258A JP2960980B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 電子顕微鏡の試料移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3089258A JP2960980B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 電子顕微鏡の試料移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06111746A JPH06111746A (ja) | 1994-04-22 |
| JP2960980B2 true JP2960980B2 (ja) | 1999-10-12 |
Family
ID=13965737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3089258A Expired - Fee Related JP2960980B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 電子顕微鏡の試料移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2960980B2 (ja) |
-
1991
- 1991-03-29 JP JP3089258A patent/JP2960980B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06111746A (ja) | 1994-04-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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