JP2956665B2 - ウエハー搬送装置 - Google Patents
ウエハー搬送装置Info
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- JP2956665B2 JP2956665B2 JP23552897A JP23552897A JP2956665B2 JP 2956665 B2 JP2956665 B2 JP 2956665B2 JP 23552897 A JP23552897 A JP 23552897A JP 23552897 A JP23552897 A JP 23552897A JP 2956665 B2 JP2956665 B2 JP 2956665B2
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体基板(以下ウ
エハーと記す)を搬送するためのウエハー搬送装置に関
するものである。
エハーと記す)を搬送するためのウエハー搬送装置に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体装置の製造工場では、半導体装置
の製造が自動化され、ウエハー処理装置へのウエハーの
ロード、アンロードがロボット等を用いて自動化されて
いる。このようなウエハーのロード、アンロード時には
ウエハー搬送装置が使用される。また、ウエハーは近年
のデバイスのパッケージの多様化により年々薄型化およ
び大口径化されている。
の製造が自動化され、ウエハー処理装置へのウエハーの
ロード、アンロードがロボット等を用いて自動化されて
いる。このようなウエハーのロード、アンロード時には
ウエハー搬送装置が使用される。また、ウエハーは近年
のデバイスのパッケージの多様化により年々薄型化およ
び大口径化されている。
【0003】従来、このようなウエハーの搬送装置で
は、図7(A)、図7(B)および図7(C)にそれぞ
れ平面図、側面図、正面図に示したように、1本のア−
ム14上にウエハー5の重心を合わせて載置させ、ウエ
ハー5を吸着孔8を介して真空吸着(真空チャック)に
よって吸着した状態で、直線方向に移動させたりあるい
は裏返しも含めた旋回移動搬送させる。
は、図7(A)、図7(B)および図7(C)にそれぞ
れ平面図、側面図、正面図に示したように、1本のア−
ム14上にウエハー5の重心を合わせて載置させ、ウエ
ハー5を吸着孔8を介して真空吸着(真空チャック)に
よって吸着した状態で、直線方向に移動させたりあるい
は裏返しも含めた旋回移動搬送させる。
【0004】このようなウエハー搬送装置(チャック)
は、例えば、特開平4−242954号公報、特開平2
−39548号公報あるいは特開昭64−28912号
公報等に開示されている。上記構成において例えば、薄
型化された直径300mmの大口径ウエハー5を図8に
示す様なウエハーキャリア4に収納する場合、矢印D方
向に、支持部材3に設けられた当該アーム14に搭載さ
せたウエハー5を搬送した場合、ウエハー5の中央部が
アーム14で保持されるため、図7(C)及び図8
(A)に示す様に、アーム14の中心軸に略沿ったウエ
ハー5の直径部分を中心軸として、所定の幅dだけ両側
に、例えばd=3mm程度垂れ下がる事になる。
は、例えば、特開平4−242954号公報、特開平2
−39548号公報あるいは特開昭64−28912号
公報等に開示されている。上記構成において例えば、薄
型化された直径300mmの大口径ウエハー5を図8に
示す様なウエハーキャリア4に収納する場合、矢印D方
向に、支持部材3に設けられた当該アーム14に搭載さ
せたウエハー5を搬送した場合、ウエハー5の中央部が
アーム14で保持されるため、図7(C)及び図8
(A)に示す様に、アーム14の中心軸に略沿ったウエ
ハー5の直径部分を中心軸として、所定の幅dだけ両側
に、例えばd=3mm程度垂れ下がる事になる。
【0005】一方、当該半導体ウエハー5が、ウエハー
キャリア4の中央部にアーム14によって移動せしめら
れた時点、つまり、半導体ウエハーが、図8の側面図に
図示されている様になウエハーキャリア4への収納時に
は、ウエハーキャリア4の両端2カ所のスロット6の部
分にウエハー5の互いに対向する端縁部が搭載されるこ
とから、ウエハーキャリア4への当該ウエハー5の収納
時には、このウエハー5は、その径の大きさ或いはその
厚さによっても異なるが、ウエハー5の自重によって中
央部が約5mm程度垂れ下がるように凹状の反り(図8
(C)の正面図に図示)が発生する。
キャリア4の中央部にアーム14によって移動せしめら
れた時点、つまり、半導体ウエハーが、図8の側面図に
図示されている様になウエハーキャリア4への収納時に
は、ウエハーキャリア4の両端2カ所のスロット6の部
分にウエハー5の互いに対向する端縁部が搭載されるこ
とから、ウエハーキャリア4への当該ウエハー5の収納
時には、このウエハー5は、その径の大きさ或いはその
厚さによっても異なるが、ウエハー5の自重によって中
央部が約5mm程度垂れ下がるように凹状の反り(図8
(C)の正面図に図示)が発生する。
【0006】従って、当該半導体ウエハーを当該支持部
材により移動する支持バーに搭載して、移動させ、当該
ウエハーを図8に示されている様なウエハーキャリア4
に収納させる場合或いは当該ウエハーキャリア4から所
定のウエハー5を取り出す場合には、係るウエハー5の
反りの状態を考慮しながら、当該ウエハー5が当該ウエ
ハーキャリア4のスロット6と或いは既に収納されてい
る他のウエハー5と互いに接触しない様に当該支持バー
を移動させる必要があり、更には、当該ウエハーキャリ
ア4に設けられているスロット6の間隙との関係も考慮
する必要が有った。
材により移動する支持バーに搭載して、移動させ、当該
ウエハーを図8に示されている様なウエハーキャリア4
に収納させる場合或いは当該ウエハーキャリア4から所
定のウエハー5を取り出す場合には、係るウエハー5の
反りの状態を考慮しながら、当該ウエハー5が当該ウエ
ハーキャリア4のスロット6と或いは既に収納されてい
る他のウエハー5と互いに接触しない様に当該支持バー
を移動させる必要があり、更には、当該ウエハーキャリ
ア4に設けられているスロット6の間隙との関係も考慮
する必要が有った。
【0007】係る搬送操作に於ける従来のウエハー搬送
装置の動作に有っては、多数のウエハー5が搭載された
ウエハーキャリア4から所定のウエハー5を取り出すた
めに、各ウエハー5間に上記少なくとも4mm程度の厚
さのアーム14をスロット6に挿入させている。図8に
示すように、アーム14に所定のウエハー5が載ったら
ウエハーキャリア4とウエハー5が接触しない位置まで
アーム14を上昇させた後、アーム14をウエハーキャ
リア4から引き出す。
装置の動作に有っては、多数のウエハー5が搭載された
ウエハーキャリア4から所定のウエハー5を取り出すた
めに、各ウエハー5間に上記少なくとも4mm程度の厚
さのアーム14をスロット6に挿入させている。図8に
示すように、アーム14に所定のウエハー5が載ったら
ウエハーキャリア4とウエハー5が接触しない位置まで
アーム14を上昇させた後、アーム14をウエハーキャ
リア4から引き出す。
【0008】この場合に、従来の搬送装置の場合は、収
納するか、或いは当該ウエハーキャリア4から取り出す
ウエハー5がその上に既に収納されている他のウエハー
5と接触する事が多く、従って、多数枚のウエハー5を
搭載するためのウエハーキャリア4の多くのスロットの
ピッチは、各々10mm以上必要となる。
納するか、或いは当該ウエハーキャリア4から取り出す
ウエハー5がその上に既に収納されている他のウエハー
5と接触する事が多く、従って、多数枚のウエハー5を
搭載するためのウエハーキャリア4の多くのスロットの
ピッチは、各々10mm以上必要となる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】従って、このように薄
型化された大口径ウエハー5をウエハーキャリア4に収
納して様々なウエハー処理を行なうには、ウエハーキャ
リア4それ自体を大型化する必要がある。しかしなが
ら、ウエハーキャリア4を使用する設備は共通であるた
めウエハーキャリア4のサイズをウエハー5に合わせ使
い分けることは、作業が煩雑になり作業ミスの要因とな
る。さらに、サイズが異なるウエハーキャリア−4を準
備しなければならないという管理上の不具合もある。
型化された大口径ウエハー5をウエハーキャリア4に収
納して様々なウエハー処理を行なうには、ウエハーキャ
リア4それ自体を大型化する必要がある。しかしなが
ら、ウエハーキャリア4を使用する設備は共通であるた
めウエハーキャリア4のサイズをウエハー5に合わせ使
い分けることは、作業が煩雑になり作業ミスの要因とな
る。さらに、サイズが異なるウエハーキャリア−4を準
備しなければならないという管理上の不具合もある。
【0010】本発明の目的は、上記した従来技術の欠点
を改良し、薄型化したウエハーあるいは大口径ウエハー
の搬送時に、当該ウエハーキャリアを大型にすることな
く、ウエハーの自重で、当該ウエハーそのものに反りが
生じても、ウエハーの搬送操作には何等の不具合を起こ
させない搬送装置を提供することである。
を改良し、薄型化したウエハーあるいは大口径ウエハー
の搬送時に、当該ウエハーキャリアを大型にすることな
く、ウエハーの自重で、当該ウエハーそのものに反りが
生じても、ウエハーの搬送操作には何等の不具合を起こ
させない搬送装置を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成する為、以下に示す様な基本的な技術構成を採用す
るものである。即ち、本発明に係るウエハー搬送装置
は、円形の半導体ウエハーを搬送するためのウエハー搬
送装置であって、前記半導体ウエハーを載置する1対の
支持バーと、前記1対の支持バーの各々の1端を支持す
るための支持部材からなっており、前記した一対の支持
バーは、互いに平行に配置され且つウエハーの搬送方向
に前記支持部材から突出せしめられ、且つ前記1対の支
持バーは、互いにその間隔を変えることができる様に構
成されているウエハー搬送装置である。
達成する為、以下に示す様な基本的な技術構成を採用す
るものである。即ち、本発明に係るウエハー搬送装置
は、円形の半導体ウエハーを搬送するためのウエハー搬
送装置であって、前記半導体ウエハーを載置する1対の
支持バーと、前記1対の支持バーの各々の1端を支持す
るための支持部材からなっており、前記した一対の支持
バーは、互いに平行に配置され且つウエハーの搬送方向
に前記支持部材から突出せしめられ、且つ前記1対の支
持バーは、互いにその間隔を変えることができる様に構
成されているウエハー搬送装置である。
【0012】
【発明の実施の形態】本発明に係るウエハー搬送装置
は、上記したような技術構成を採用しているので、1対
(2本)の支持バー上にウエハーが載置した状態でウエ
ハーを搬送することになるため、従来の1本の支持バー
で搬送するよりウエハーが安定化する。しかも通常ウエ
ハーが収納されるウエハーキャリア内では、通常当該半
導体ウエハーはその両端を上向きに凹状に反った状態に
収納されている。そのため本発明のウエハー搬送装置で
搬送中の当該ウエハーの反り方向が、従来の場合と異な
り、当該ウエハーキャリア4内に既に収納されているウ
エハーの反り状態と一致する様にして搬送する事になる
ので、当該ウエハー5を該ウエハーキャリア4に収納す
る場合を含めて当該ウエハーキャリア4に対して出し入
れする時の当該支持バーの上下方向の移動距離、及び当
該ウエハーキャリア4のスロットの幅を従来よりも小さ
く設定でき従って、ウエハーキャリア4の大型化を回避
する事が可能となる。
は、上記したような技術構成を採用しているので、1対
(2本)の支持バー上にウエハーが載置した状態でウエ
ハーを搬送することになるため、従来の1本の支持バー
で搬送するよりウエハーが安定化する。しかも通常ウエ
ハーが収納されるウエハーキャリア内では、通常当該半
導体ウエハーはその両端を上向きに凹状に反った状態に
収納されている。そのため本発明のウエハー搬送装置で
搬送中の当該ウエハーの反り方向が、従来の場合と異な
り、当該ウエハーキャリア4内に既に収納されているウ
エハーの反り状態と一致する様にして搬送する事になる
ので、当該ウエハー5を該ウエハーキャリア4に収納す
る場合を含めて当該ウエハーキャリア4に対して出し入
れする時の当該支持バーの上下方向の移動距離、及び当
該ウエハーキャリア4のスロットの幅を従来よりも小さ
く設定でき従って、ウエハーキャリア4の大型化を回避
する事が可能となる。
【0013】
【実施例】以下、本発明の具体的な実施例を図面を参照
して詳細に説明する。図1(A)及び図1(B)は、本
発明に係るウエハー搬送装置を一具体例の構成を説明す
る図であり、図中、半導体ウエハー5を搬送するための
ウエハー搬送装置30であって、前記半導体ウエハー5
を載置する1対の支持バー2、2’と、前記1対の支持
バー2、2’の各々の1端を支持するための支持部材3
からなるウエハー搬送装置30が示されている。
して詳細に説明する。図1(A)及び図1(B)は、本
発明に係るウエハー搬送装置を一具体例の構成を説明す
る図であり、図中、半導体ウエハー5を搬送するための
ウエハー搬送装置30であって、前記半導体ウエハー5
を載置する1対の支持バー2、2’と、前記1対の支持
バー2、2’の各々の1端を支持するための支持部材3
からなるウエハー搬送装置30が示されている。
【0014】本発明に係る当該ウエハー搬送装置30に
於いては、前記した一対の支持バー2、2’は、互いに
平行に配置され且つウエハーの搬送方向(D)に前記支
持部材3から突出せしめられているものである。更に、
本発明に於いては、図2(A)及び図2(B)に示す様
に、当該一対の支持バー2、2’のそれぞれの支持バー
は、搬送せしめられる前記ウエハー5の互いに対向する
縁端部31、31’近傍の部位P、P’にそれぞれ当接
する様に配置されている事が望ましい。
於いては、前記した一対の支持バー2、2’は、互いに
平行に配置され且つウエハーの搬送方向(D)に前記支
持部材3から突出せしめられているものである。更に、
本発明に於いては、図2(A)及び図2(B)に示す様
に、当該一対の支持バー2、2’のそれぞれの支持バー
は、搬送せしめられる前記ウエハー5の互いに対向する
縁端部31、31’近傍の部位P、P’にそれぞれ当接
する様に配置されている事が望ましい。
【0015】然も、本発明に於ける当該ウエハー5の上
記端縁部P、P’は、当該半導体ウエハー5の縁端部
で、特に反りの少ない部分に対応しうる位置である事が
望ましい。ここで、本発明に係るウエハー搬送装置30
に付いて更に詳細に説明するならば、当該1対のウエハ
ー支持バー2、2’の位置は、支持部材3の重心Gを通
る横中心軸Oに対して対称位置にあり、ウエハー5を支
持バー2、2’に載置した際にウエハー5の反りが最も
小さくなる位置になるように支持部材3にネジ止めある
いは嵌合等によって固定配置されている。
記端縁部P、P’は、当該半導体ウエハー5の縁端部
で、特に反りの少ない部分に対応しうる位置である事が
望ましい。ここで、本発明に係るウエハー搬送装置30
に付いて更に詳細に説明するならば、当該1対のウエハ
ー支持バー2、2’の位置は、支持部材3の重心Gを通
る横中心軸Oに対して対称位置にあり、ウエハー5を支
持バー2、2’に載置した際にウエハー5の反りが最も
小さくなる位置になるように支持部材3にネジ止めある
いは嵌合等によって固定配置されている。
【0016】従って、支持バー2、2’とウエハー5と
の相対位置関係は以下に図2(A)及び図2(B)に示
す様に、ウエハー5の縁端部31、31’から互いに略
同一距離にある点P、P’に支持バー2、2’が当接配
置されることが重要である。支持バー2、2’と支持部
材3はセラミック製あるいは金属製の中空板材が好適に
使用される。
の相対位置関係は以下に図2(A)及び図2(B)に示
す様に、ウエハー5の縁端部31、31’から互いに略
同一距離にある点P、P’に支持バー2、2’が当接配
置されることが重要である。支持バー2、2’と支持部
材3はセラミック製あるいは金属製の中空板材が好適に
使用される。
【0017】図2(A)、図2(B)および図2(C)
は図1に示した具体例に於けるウエハー搬送装置30に
ウエハー5を載置しかつ所定のウエハーキャリア4に搬
送する時の状態を示すそれぞれ正面図、平面図および側
面図である。尚、図2(A)は、当該ウエハー搬送装置
30の移動方向Dから見た正面図である。
は図1に示した具体例に於けるウエハー搬送装置30に
ウエハー5を載置しかつ所定のウエハーキャリア4に搬
送する時の状態を示すそれぞれ正面図、平面図および側
面図である。尚、図2(A)は、当該ウエハー搬送装置
30の移動方向Dから見た正面図である。
【0018】図2(B)に示したように、ウエハー5は
ウエハー搬送装置30の支持バー2、2’に載置された
ウエハー5はその縁端部31、31’から所定の同一距
離(d)に配置され、ウエハー5の重心をとると共に、
特に図2(A)に示すように反り(Y)が従来の方法に
比べて略最小になっている。支持バー2、2’の取り付
け位置は、ウエハー5のサイズによっても異なるが、ス
ロット6の深さ、約10mmと、スロット6と支持バー
2との間で必要とされる余裕、約1mmとの和の距離、
約11mmが当該ウエハー5が、その搬送操作中に於
て、他のウエハーと接触したり、スロット部分と接触し
たりする事を防止するために望ましい。
ウエハー搬送装置30の支持バー2、2’に載置された
ウエハー5はその縁端部31、31’から所定の同一距
離(d)に配置され、ウエハー5の重心をとると共に、
特に図2(A)に示すように反り(Y)が従来の方法に
比べて略最小になっている。支持バー2、2’の取り付
け位置は、ウエハー5のサイズによっても異なるが、ス
ロット6の深さ、約10mmと、スロット6と支持バー
2との間で必要とされる余裕、約1mmとの和の距離、
約11mmが当該ウエハー5が、その搬送操作中に於
て、他のウエハーと接触したり、スロット部分と接触し
たりする事を防止するために望ましい。
【0019】また該ウエハー5の縁端部31、31’は
ウエハー5がウエハーキャリア4に搭載、収納されてい
る基点でもあり、この基点からウエハーの中心側に1m
m程度はいった位置P、P’は、ウエハー5の反り量が
最少の位置である。ウエハーキャリア4内のウエハー5
は、ウエハーキャリア4内のスロット6にウエハー5の
縁端部31、31’が搭載された形態で収納され、その
収納状態ではウエハー5は自重により凹状態に反りを生
じている。
ウエハー5がウエハーキャリア4に搭載、収納されてい
る基点でもあり、この基点からウエハーの中心側に1m
m程度はいった位置P、P’は、ウエハー5の反り量が
最少の位置である。ウエハーキャリア4内のウエハー5
は、ウエハーキャリア4内のスロット6にウエハー5の
縁端部31、31’が搭載された形態で収納され、その
収納状態ではウエハー5は自重により凹状態に反りを生
じている。
【0020】以下、本実施例を使用してウエハーキャリ
ア4内へウエハーを収納する際の動作を説明する。図3
(A)及び図3(B)を参照して、ウエハーキャリア4
へウエハー5を収納する際の動作を説明する。ウエハー
キャリア4にウエハー5を本実施例のウエハー搬送装置
1を用いて収納する場合、先ず、ウエハー搬送装置30
の支持バー2、2’上にウエハー5を載置する。この時
ウエハー5は図2(C)に示したように凹状に反った状
態となっている。
ア4内へウエハーを収納する際の動作を説明する。図3
(A)及び図3(B)を参照して、ウエハーキャリア4
へウエハー5を収納する際の動作を説明する。ウエハー
キャリア4にウエハー5を本実施例のウエハー搬送装置
1を用いて収納する場合、先ず、ウエハー搬送装置30
の支持バー2、2’上にウエハー5を載置する。この時
ウエハー5は図2(C)に示したように凹状に反った状
態となっている。
【0021】次に、このように凹状に反ったウエハー5
を従来技術で説明したのを同様の移動方向で搬送してウ
エハーキャリア4内のスロット6に挿入する。所定位置
まで支持バー2、2’を送り込んでウエハー5を所定位
置まで挿入した後、支持バー2、2’をわずかに下降さ
せてスロット6にウエハー5の両縁端部31、31’を
搭載し収納する。
を従来技術で説明したのを同様の移動方向で搬送してウ
エハーキャリア4内のスロット6に挿入する。所定位置
まで支持バー2、2’を送り込んでウエハー5を所定位
置まで挿入した後、支持バー2、2’をわずかに下降さ
せてスロット6にウエハー5の両縁端部31、31’を
搭載し収納する。
【0022】次に下側の収納ウエハー(もしあれば)に
接触しないように注意深く支持バー2、2’をウエハー
キャリア4から引き出すようにウエハー搬送装置1を移
動させる。このようにしてウエハー5をウエハーキャリ
ア4内のスロット6に収納するとその際の反りは、支持
バー2、2’上にウエハー5を載置した際に生じる反り
と同様の向き(凹状)でしかも同程度の自重による反り
である。そのため支持バー2、2’上のウエハー5の上
面位置Uと前に収納した上のウエハー5と接触しない
し、また下面位置Wも下側に配置された他のウエハーと
も接触しないで当該ウエハーキャリア4に対してウエハ
ー5を挿入する事が可能となる。
接触しないように注意深く支持バー2、2’をウエハー
キャリア4から引き出すようにウエハー搬送装置1を移
動させる。このようにしてウエハー5をウエハーキャリ
ア4内のスロット6に収納するとその際の反りは、支持
バー2、2’上にウエハー5を載置した際に生じる反り
と同様の向き(凹状)でしかも同程度の自重による反り
である。そのため支持バー2、2’上のウエハー5の上
面位置Uと前に収納した上のウエハー5と接触しない
し、また下面位置Wも下側に配置された他のウエハーと
も接触しないで当該ウエハーキャリア4に対してウエハ
ー5を挿入する事が可能となる。
【0023】一方、上記のようにウエハー5をウエハー
キャリア内に収納した状態からウエハー搬送装置1を用
いて取り出す動作を説明する。先ず、凹状に反った状態
のウエハー5の下面に沿うようにウエハー搬送装置30
の支持バー2、2’を注意深く挿入する。ウエハー5と
スロット6が接触しない様に、約5mm当該ウエハー搬
送装置30の支持バー2、2’を僅かに上げて、当該ウ
エハー5を引き出すことによってウエハーキャリア4か
らのウエハー5の取り出しが完了する。
キャリア内に収納した状態からウエハー搬送装置1を用
いて取り出す動作を説明する。先ず、凹状に反った状態
のウエハー5の下面に沿うようにウエハー搬送装置30
の支持バー2、2’を注意深く挿入する。ウエハー5と
スロット6が接触しない様に、約5mm当該ウエハー搬
送装置30の支持バー2、2’を僅かに上げて、当該ウ
エハー5を引き出すことによってウエハーキャリア4か
らのウエハー5の取り出しが完了する。
【0024】以上説明したように、本ウエハー搬送装置
を使用すればウエハーキャリア4内のスロット6に既に
収納されているウエハーに接触することなく新たなウエ
ハーを下側(あるいは上側)のスロットに収納したり、
あるいは取り出しが可能である。本実施例ではウエハー
5を載置する支持バー2、2’は1対(2本)としてい
るのは以下の理由による。
を使用すればウエハーキャリア4内のスロット6に既に
収納されているウエハーに接触することなく新たなウエ
ハーを下側(あるいは上側)のスロットに収納したり、
あるいは取り出しが可能である。本実施例ではウエハー
5を載置する支持バー2、2’は1対(2本)としてい
るのは以下の理由による。
【0025】つまり、もしこの支持バーを3本以上にす
れば、ウエハーキャリア4内にウエハー5が既に収納さ
れている状態では、ウエハー搬送装置1の支持バーに載
置した時のウエハーの反りと反りの程度が異なってく
る。そのため、既に収納されているウエハーの反りと新
たに収納するウエハーの反りの程度を合わせ込みを行な
った後でなければウエハー搬送装置1の支持バー2をウ
エハーキャリア4内に挿入し、あるいは、所定のウエハ
ーを支持バー2で取り出しすることができない。
れば、ウエハーキャリア4内にウエハー5が既に収納さ
れている状態では、ウエハー搬送装置1の支持バーに載
置した時のウエハーの反りと反りの程度が異なってく
る。そのため、既に収納されているウエハーの反りと新
たに収納するウエハーの反りの程度を合わせ込みを行な
った後でなければウエハー搬送装置1の支持バー2をウ
エハーキャリア4内に挿入し、あるいは、所定のウエハ
ーを支持バー2で取り出しすることができない。
【0026】また、ウエハー搬送装置1上のウエハー5
をウエハーキャリア4に収納する場合には、ウエハーキ
ャリア4に既に収納されている他のウエハー5の反りに
接触しないように、3本以上の複数の支持バー2のスロ
ットに対する高さを調整した上で、ウエハー5を所定の
スロット6に収納しなければならない。従って、支持バ
ーが3本以上あるとウエハーをウエハーキャリアのスロ
ットに収納する場合、あるいはそのスロットから取り出
しする場合の両方の場合でウエハー搬送装置1の支持バ
ー2の高さを調節する必要がある。
をウエハーキャリア4に収納する場合には、ウエハーキ
ャリア4に既に収納されている他のウエハー5の反りに
接触しないように、3本以上の複数の支持バー2のスロ
ットに対する高さを調整した上で、ウエハー5を所定の
スロット6に収納しなければならない。従って、支持バ
ーが3本以上あるとウエハーをウエハーキャリアのスロ
ットに収納する場合、あるいはそのスロットから取り出
しする場合の両方の場合でウエハー搬送装置1の支持バ
ー2の高さを調節する必要がある。
【0027】このような支持バーの高さの調節は技術的
に可能であってもその装置が複雑となり、トラブルの要
因となる。従って、ウエハー搬送装置1の支持バーは3
本以上とはせず、上記実施例のように2本のみに構成す
るのである。本発明に係る当該ウエハー搬送装置30の
他の具体例としては、前記1対の支持バーは、互いにそ
の間隔を変えることができる様に構成されているもので
ある。
に可能であってもその装置が複雑となり、トラブルの要
因となる。従って、ウエハー搬送装置1の支持バーは3
本以上とはせず、上記実施例のように2本のみに構成す
るのである。本発明に係る当該ウエハー搬送装置30の
他の具体例としては、前記1対の支持バーは、互いにそ
の間隔を変えることができる様に構成されているもので
ある。
【0028】つまり、本発明に係る当該ウエハー搬送装
置30は、多種類にウエハー5を搬送しうる様に構成さ
れる事が望ましく、その為、前記1対の支持バー2、
2’の各々の1端を支持するための支持部材3が例えば
所定のガイド13に沿って摺動する様に構成されている
事が望ましい。そして当該支持部材3は、任意の駆動手
段、例えばモーター等によって、両支持バー2、2’の
間隔が、自由に変更しえる様に構成されている事が望ま
しい。
置30は、多種類にウエハー5を搬送しうる様に構成さ
れる事が望ましく、その為、前記1対の支持バー2、
2’の各々の1端を支持するための支持部材3が例えば
所定のガイド13に沿って摺動する様に構成されている
事が望ましい。そして当該支持部材3は、任意の駆動手
段、例えばモーター等によって、両支持バー2、2’の
間隔が、自由に変更しえる様に構成されている事が望ま
しい。
【0029】より具体的には、図4に示す様に、当該支
持部材3、3’は、適宜のモータ等の駆動手段10によ
って回転する螺旋溝を有する駆動軸12と嵌合せしめて
おき、当該駆動手段10を任意の方向に回転させる事に
よって、当該支持バー2、2’を矢印P及びQの方向に
互いに反対の方向に移動させて、その相互の間隔を変更
する事が可能となる。
持部材3、3’は、適宜のモータ等の駆動手段10によ
って回転する螺旋溝を有する駆動軸12と嵌合せしめて
おき、当該駆動手段10を任意の方向に回転させる事に
よって、当該支持バー2、2’を矢印P及びQの方向に
互いに反対の方向に移動させて、その相互の間隔を変更
する事が可能となる。
【0030】かかる構成を採用する事によって、種々の
径のウエハー、特に大口径のウエハーを有効に利用する
ことができ、従って任意のサイズからなる半導体ウエハ
ー5を取り扱う事が可能となる。又、本発明に係る当該
ウエハー搬送装置30の他の具体例としては、前記一対
の支持バー2、2’を支持している前記支持部材3、
3’は、前記支持バー2、2’を上下方向に所定の距離
変位せしめる機構を有している事が望ましい。
径のウエハー、特に大口径のウエハーを有効に利用する
ことができ、従って任意のサイズからなる半導体ウエハ
ー5を取り扱う事が可能となる。又、本発明に係る当該
ウエハー搬送装置30の他の具体例としては、前記一対
の支持バー2、2’を支持している前記支持部材3、
3’は、前記支持バー2、2’を上下方向に所定の距離
変位せしめる機構を有している事が望ましい。
【0031】当該支持部材3、3’の上下方向の移動機
構は図示してはいないが、従来公知の機構を使用する事
が出来る。更に、本発明に係るウエハー搬送装置30の
更に別の具体例としては、図5に示す様に、前記1対の
支持バー2、2’の各々の自由端に突起部7を形成した
ことである。
構は図示してはいないが、従来公知の機構を使用する事
が出来る。更に、本発明に係るウエハー搬送装置30の
更に別の具体例としては、図5に示す様に、前記1対の
支持バー2、2’の各々の自由端に突起部7を形成した
ことである。
【0032】即ち、支持バー2、2’の自由先端部に突
起7を設けることによって、ウエハー5が自重により先
端方向へ垂れ下がり、わずかな振動で支持バーから落下
するのを防止することができる。従って、本具体例に於
いては、支持バー2、2’上にウエハー5を安定配置す
ることができる。本具体例の突起7は実施例1に追加し
て設けた例であるが、勿論実施例2に追加して設けるこ
とができる。
起7を設けることによって、ウエハー5が自重により先
端方向へ垂れ下がり、わずかな振動で支持バーから落下
するのを防止することができる。従って、本具体例に於
いては、支持バー2、2’上にウエハー5を安定配置す
ることができる。本具体例の突起7は実施例1に追加し
て設けた例であるが、勿論実施例2に追加して設けるこ
とができる。
【0033】又、本発明に係る更に他の具体例として
は、当該1対の支持バー2、2’に前記半導体ウエハー
5を吸着するための吸着機構8が設けられているもので
ある。即ち、図6に示す様に、支持バー2、2’を中空
構造にして吸着孔8を複数個、本実施例では各支持バー
に2個設けてある。このような吸着孔8を適宜の真空源
に接続させる事によってウエハー5を吸着させて支持バ
ー2、2’からのウエハーの落下をより確実に防止する
ことができる。
は、当該1対の支持バー2、2’に前記半導体ウエハー
5を吸着するための吸着機構8が設けられているもので
ある。即ち、図6に示す様に、支持バー2、2’を中空
構造にして吸着孔8を複数個、本実施例では各支持バー
に2個設けてある。このような吸着孔8を適宜の真空源
に接続させる事によってウエハー5を吸着させて支持バ
ー2、2’からのウエハーの落下をより確実に防止する
ことができる。
【0034】なおいずれにせよ上記実施例では支持バー
に剛性を持たせるように支持バー自体の強度を上げる必
要がある。
に剛性を持たせるように支持バー自体の強度を上げる必
要がある。
【0035】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によるウエ
ハー搬送装置によれば、薄型化したウエハーあるいは大
口径ウエハーがウエハーの自重で反りを生じても搬送す
る場合に不具合を起こさず搬送することができる。特に
本発明はウエハーキャリアからのウエハーの出し入れ時
に有効に使用することができる。
ハー搬送装置によれば、薄型化したウエハーあるいは大
口径ウエハーがウエハーの自重で反りを生じても搬送す
る場合に不具合を起こさず搬送することができる。特に
本発明はウエハーキャリアからのウエハーの出し入れ時
に有効に使用することができる。
【図1】図1は、本発明のウエハー搬送装置の一具体例
の構成を示す図であり、図1(A)は正面図、図1
(B)は平面図及び図1(C)は側面図である。
の構成を示す図であり、図1(A)は正面図、図1
(B)は平面図及び図1(C)は側面図である。
【図2】図2は、図1に示す具体例に於けるウエハー搬
送装置30にウエハー5を載置、搬送時の状態を示す図
であり、図2(A)は正面図であり、図2(B)は平面
図であり又図2(C)は側面図である。
送装置30にウエハー5を載置、搬送時の状態を示す図
であり、図2(A)は正面図であり、図2(B)は平面
図であり又図2(C)は側面図である。
【図3】図3は、本発明に係るウエハー搬送装置に於け
るウエハーキャリアへウエハーを収納する際の動作を説
明するための概略図であり、図3(A)は、ウエハーキ
ャリアの正面図であり図3(B)はその側面図である。
るウエハーキャリアへウエハーを収納する際の動作を説
明するための概略図であり、図3(A)は、ウエハーキ
ャリアの正面図であり図3(B)はその側面図である。
【図4】図4は、本発明に係るウエハー搬送装置の他の
具体例を示す平面図である。
具体例を示す平面図である。
【図5】図5は、本発明のウエハー搬送装置の別の具体
例の構成を示す側面図である。
例の構成を示す側面図である。
【図6】図6は、本発明のウエハー搬送装置の更に他の
具体例を示す平面図である。
具体例を示す平面図である。
【図7】図7は、従来に於けるウエハー搬送装置の構成
例を示す図であり、図7(A)は側面図、図7(B)は
平面図であり、(C)は平面図、正面図である。
例を示す図であり、図7(A)は側面図、図7(B)は
平面図であり、(C)は平面図、正面図である。
【図8】従来のウエハー搬送装置の動作を説明するため
の概略図であり、図8(A)及び図8(B)は側面図で
あり、図1(C)は正面図である。
の概略図であり、図8(A)及び図8(B)は側面図で
あり、図1(C)は正面図である。
30…ウエハー搬送装置 2、2’…支持バー 3、3’…支持部材 4…ウエハーキャリア 5…ウエハー 6…スロット 7…突起 8…吸着孔 10…モ−タ− 12…駆動軸 13…ガイド 14…アーム(支持バー)
Claims (3)
- 【請求項1】 円形の半導体ウエハーを搬送するための
ウエハー搬送装置であって、前記半導体ウエハーを載置
する1対の支持バーと、前記1対の支持バーの各々の1
端を支持するための支持部材からなっており、前記した
一対の支持バーは、互いに平行に配置され且つウエハー
の搬送方向に前記支持部材から突出せしめられ、且つ前
記1対の支持バーは、互いにその間隔を変えることがで
きる様に構成されていることを特徴とするウエハー搬送
装置。 - 【請求項2】 前記1対の支持バーの各々の1端を支持
するための支持部材が、当該一対の支持バーにより形成
された平面に平行で、且つ当該支持バーに対して直交す
る方向に設けられた軸に沿って摺動可能に構成されてい
る事を特徴とする請求項1記載のウエハー搬送装置。 - 【請求項3】 前記1対の支持バーの各々の先端部に突
起部を形成したことを特徴とする請求項2記載のウエハ
ー搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23552897A JP2956665B2 (ja) | 1997-09-01 | 1997-09-01 | ウエハー搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23552897A JP2956665B2 (ja) | 1997-09-01 | 1997-09-01 | ウエハー搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1171025A JPH1171025A (ja) | 1999-03-16 |
JP2956665B2 true JP2956665B2 (ja) | 1999-10-04 |
Family
ID=16987317
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23552897A Expired - Lifetime JP2956665B2 (ja) | 1997-09-01 | 1997-09-01 | ウエハー搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2956665B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002305233A (ja) * | 2001-04-05 | 2002-10-18 | Olympus Optical Co Ltd | ウェハ搬送用アーム |
JP2006179836A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Nec Electronics Corp | 搬送フォーク |
JP5041504B2 (ja) * | 2005-01-06 | 2012-10-03 | ローム株式会社 | 半導体基板移送装置及び半導体基板移送方法 |
JP4652177B2 (ja) * | 2005-09-02 | 2011-03-16 | 株式会社デンソー | 半導体装置の製造方法およびその製造方法の実施に用いられる製造装置 |
JP5134546B2 (ja) * | 2005-11-17 | 2013-01-30 | オー・ツェー・エリコン・バルザース・アクチェンゲゼルシャフト | 円板状の工作物のための搬送装置 |
JP4895635B2 (ja) | 2006-02-20 | 2012-03-14 | セイコーインスツル株式会社 | 搬送装置 |
JP7324667B2 (ja) * | 2019-09-20 | 2023-08-10 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
-
1997
- 1997-09-01 JP JP23552897A patent/JP2956665B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1171025A (ja) | 1999-03-16 |
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