JP2955856B1 - 表示素子表面欠陥抽出方法を具備した表示素子の表示画面検査方法とその実施に使用する検査装置 - Google Patents
表示素子表面欠陥抽出方法を具備した表示素子の表示画面検査方法とその実施に使用する検査装置Info
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Abstract
【要約】
【課題】 ディスプレーの表示素子表面のゴミ付着等に
起因する欠陥を検出把握し前記ディスプレー合否におけ
る欠陥検出の誤認識を防止する表示素子検査方法。 【解決手段】 移動ステージ上に搭載された表示素子を
下部のバックライトで照射し、該表示素子の上部に設け
たＣＣＤのセンサカメラに該表示素子の画像の検出光度
を取り込み、画像処理部で処理して表示素子の合否を判
定する検査装置において、該バックライトを消灯する手
段と表示素子の側面上部に照射ランプ手段を設けて、本
来の表示素子のＴＦＴの欠陥を検査する前に、バックラ
イトを消灯し又は光を遮断して前記照射ランプ手段で表
示素子の表面を照射し、該表面の光度をセンサカメラに
取り込み、該表示素子の表面のゴミ等の欠陥を把握する
ステップよりなる表面欠陥抽出方法を具備した表示素子
検査方法。
起因する欠陥を検出把握し前記ディスプレー合否におけ
る欠陥検出の誤認識を防止する表示素子検査方法。 【解決手段】 移動ステージ上に搭載された表示素子を
下部のバックライトで照射し、該表示素子の上部に設け
たＣＣＤのセンサカメラに該表示素子の画像の検出光度
を取り込み、画像処理部で処理して表示素子の合否を判
定する検査装置において、該バックライトを消灯する手
段と表示素子の側面上部に照射ランプ手段を設けて、本
来の表示素子のＴＦＴの欠陥を検査する前に、バックラ
イトを消灯し又は光を遮断して前記照射ランプ手段で表
示素子の表面を照射し、該表面の光度をセンサカメラに
取り込み、該表示素子の表面のゴミ等の欠陥を把握する
ステップよりなる表面欠陥抽出方法を具備した表示素子
検査方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶ディスプレー、
プラズマディスプレー等（以下ディスプレーという）の
表示画面の検査方法に関するもので、特に該表示画面の
保護フィルムの傷やゴミが原因で発生するディスプレー
等の欠陥を抽出して検査する表示素子の表示画面の検査
方法を具備した表示素子の表示画面検査方法と実施に使
用する検査装置に関するものである。
プラズマディスプレー等（以下ディスプレーという）の
表示画面の検査方法に関するもので、特に該表示画面の
保護フィルムの傷やゴミが原因で発生するディスプレー
等の欠陥を抽出して検査する表示素子の表示画面の検査
方法を具備した表示素子の表示画面検査方法と実施に使
用する検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ディスプレーの表示素子の表示画面を検
査する方法としては、ＣＣＤセンサカメラを用いＣＣＤ
素子の受光面に表示素子の画素像を結ばせ表示画面を読
み取る検査方法が用いられていることが衆知である。
査する方法としては、ＣＣＤセンサカメラを用いＣＣＤ
素子の受光面に表示素子の画素像を結ばせ表示画面を読
み取る検査方法が用いられていることが衆知である。
【０００３】この方法による従来の技術として本出願人
の特開平５−２７７０４号の発明がある。この発明は、
ディスプレー等の表示素子の表示画面をＣＣＤセンサカ
メラで読み取りその良否を検査し個々の画素の光度を評
価する検査手段を提供したもので、図５、図６に示すよ
うな構成を有するものである。図５に於いて、移動ステ
ージ３上に搭載されたディスプレーの表示素子１とその
上方の所定の位置に配置されたＣＣＤセンサカメラ２の
位置関係を基準位置に設定し、該基準位置に対応した位
置関係で抽出した対応関係情報に基づく対応するセンサ
画素の検出光度により画素の光度を画像処理部４により
抽出する構成のものである。図６は画像処理部４の一実
施例の構成を示すが、図６において、２はセンサカメ
ラ、１０はＡ／Ｄ変換回路、２０は表示素子イメージメ
モリ、３０は対応関係情報格納メモリ、３１は対応関係
情報格納メモリ３０の番地を発生するアドレスカウン
タ、３２は対応関係情報格納メモリ３０の読みだしレジ
スタ、１００はクロック信号線、１０１は対応情報信号
線、１０２は対応番地情報信号線、Ｆは対応情報フィー
ルドである。前記の通り、該実施例は公知につき説明を
省略する。
の特開平５−２７７０４号の発明がある。この発明は、
ディスプレー等の表示素子の表示画面をＣＣＤセンサカ
メラで読み取りその良否を検査し個々の画素の光度を評
価する検査手段を提供したもので、図５、図６に示すよ
うな構成を有するものである。図５に於いて、移動ステ
ージ３上に搭載されたディスプレーの表示素子１とその
上方の所定の位置に配置されたＣＣＤセンサカメラ２の
位置関係を基準位置に設定し、該基準位置に対応した位
置関係で抽出した対応関係情報に基づく対応するセンサ
画素の検出光度により画素の光度を画像処理部４により
抽出する構成のものである。図６は画像処理部４の一実
施例の構成を示すが、図６において、２はセンサカメ
ラ、１０はＡ／Ｄ変換回路、２０は表示素子イメージメ
モリ、３０は対応関係情報格納メモリ、３１は対応関係
情報格納メモリ３０の番地を発生するアドレスカウン
タ、３２は対応関係情報格納メモリ３０の読みだしレジ
スタ、１００はクロック信号線、１０１は対応情報信号
線、１０２は対応番地情報信号線、Ｆは対応情報フィー
ルドである。前記の通り、該実施例は公知につき説明を
省略する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ディス
プレーの表示素子の表示画面は、慎重な取扱いにもかか
わらず、表示画面を保護する手段に、例えば保護フィル
ムの傷や又ゴミの付着が原因で発生する欠陥があり、該
表示画面の検出光度による検査には表示素子の表面の欠
陥が混在するため、表示素子の検査の障害となってお
り、前記表示画面の保護フィルムの傷やゴミの付着によ
る欠陥を除去し、前記混在によるディスプレーの合否に
おける欠陥検出の誤認識を防止することが望まれてい
る。
プレーの表示素子の表示画面は、慎重な取扱いにもかか
わらず、表示画面を保護する手段に、例えば保護フィル
ムの傷や又ゴミの付着が原因で発生する欠陥があり、該
表示画面の検出光度による検査には表示素子の表面の欠
陥が混在するため、表示素子の検査の障害となってお
り、前記表示画面の保護フィルムの傷やゴミの付着によ
る欠陥を除去し、前記混在によるディスプレーの合否に
おける欠陥検出の誤認識を防止することが望まれてい
る。
【０００５】従って、本発明の目的は、前記表示画面の
保護フィルムの傷やゴミの付着に起因する欠陥を検出把
握して、所定の対応をなし、前記ディスプレーの合否に
おける欠陥検出の誤認識を防止する表示素子の表面欠陥
抽出手段を具備した表示素子の検査方法を提供すること
にある。
保護フィルムの傷やゴミの付着に起因する欠陥を検出把
握して、所定の対応をなし、前記ディスプレーの合否に
おける欠陥検出の誤認識を防止する表示素子の表面欠陥
抽出手段を具備した表示素子の検査方法を提供すること
にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、請求項１において、表示用光源からの透過光により
表示を行うようにした、移動ステージ上に搭載されたデ
ィスプレーの表示素子とその上方の所定の位置にＣＣＤ
センサカメラを配置し、該ＣＣＤセンサカメラと接続し
た画像処理部を設けて、前記の表示素子とＣＣＤセンサ
カメラの位置関係を基準位置に設定し、該基準位置に対
応した関係位置で抽出した表示素子のセンサ画素の検出
光度に基づいて画像処理部により該センサ画素の光度を
抽出するようにした表示素子の表示画面を検査画面とし
て表示素子のＴＥＴの良否を検査するための表示素子の
表示画面検査方法において、前記表示素子のＴＥＴの良
否の検査に先立ち、前記透過光を消灯又は遮断すると共
に、前記移動ステージの側面上方から前記表示素子の表
面を所定の照射ランプで照射するようにし前記ＣＣＤセ
ンサカメラで前記表示素子の表面のセンサ画素の光度を
検出して該表示画面の傷及びゴミに起因する欠陥を抽出
する表示素子表面欠陥抽出方法を具備した表示素子の表
示画面検査手段を構成した。
め、請求項１において、表示用光源からの透過光により
表示を行うようにした、移動ステージ上に搭載されたデ
ィスプレーの表示素子とその上方の所定の位置にＣＣＤ
センサカメラを配置し、該ＣＣＤセンサカメラと接続し
た画像処理部を設けて、前記の表示素子とＣＣＤセンサ
カメラの位置関係を基準位置に設定し、該基準位置に対
応した関係位置で抽出した表示素子のセンサ画素の検出
光度に基づいて画像処理部により該センサ画素の光度を
抽出するようにした表示素子の表示画面を検査画面とし
て表示素子のＴＥＴの良否を検査するための表示素子の
表示画面検査方法において、前記表示素子のＴＥＴの良
否の検査に先立ち、前記透過光を消灯又は遮断すると共
に、前記移動ステージの側面上方から前記表示素子の表
面を所定の照射ランプで照射するようにし前記ＣＣＤセ
ンサカメラで前記表示素子の表面のセンサ画素の光度を
検出して該表示画面の傷及びゴミに起因する欠陥を抽出
する表示素子表面欠陥抽出方法を具備した表示素子の表
示画面検査手段を構成した。
【０００７】又、請求項２において、ディスプレーの表
示素子を搭載する移動ステージの下面から該表示素子を
透過光で照射するようにしたバックライトと、該移動ス
テージの側面上方から前記表示素子表面を照射するよう
にした所定の照射ランプと、前記バックライトと前記照
射ランプとの照射制御をする切替スイッチ手段と、光源
用電源と、接続手段と、前記画像処理部の表示素子の表
示画面の傷およびゴミに起因する欠陥を抽出する手段と
よりなる表示素子の表面欠陥抽出手段を構成した請求項
１の検査方法の実施に使用する第１実施例の検査装置を
構成した。
示素子を搭載する移動ステージの下面から該表示素子を
透過光で照射するようにしたバックライトと、該移動ス
テージの側面上方から前記表示素子表面を照射するよう
にした所定の照射ランプと、前記バックライトと前記照
射ランプとの照射制御をする切替スイッチ手段と、光源
用電源と、接続手段と、前記画像処理部の表示素子の表
示画面の傷およびゴミに起因する欠陥を抽出する手段と
よりなる表示素子の表面欠陥抽出手段を構成した請求項
１の検査方法の実施に使用する第１実施例の検査装置を
構成した。
【０００８】又、請求項３において、ディスプレーの表
示素子を搭載する移動ステージの下面から該表示素子を
透過光で照射するようにしたバックライトと、該ディス
プレーの表示素子と移動ステージとの間に設け前記透過
光を適宜遮断する可動式の機械的シャツタと、該移動ス
テージの側面上方から前記表示素子の表面を照射するよ
うにした所定の照射ランプと、前記バックライトの照射
制御をする切替スイッチ手段と、光源用電源と、接続手
段と、前記画像処理部の表示素子の表示画面の傷及びゴ
ミに起因する欠陥を抽出する手段とよりなる表示素子の
表面欠陥抽出手段を設けて構成した請求項１の検査方法
の実施に使用する第２実施例の検査装置を構成した。
示素子を搭載する移動ステージの下面から該表示素子を
透過光で照射するようにしたバックライトと、該ディス
プレーの表示素子と移動ステージとの間に設け前記透過
光を適宜遮断する可動式の機械的シャツタと、該移動ス
テージの側面上方から前記表示素子の表面を照射するよ
うにした所定の照射ランプと、前記バックライトの照射
制御をする切替スイッチ手段と、光源用電源と、接続手
段と、前記画像処理部の表示素子の表示画面の傷及びゴ
ミに起因する欠陥を抽出する手段とよりなる表示素子の
表面欠陥抽出手段を設けて構成した請求項１の検査方法
の実施に使用する第２実施例の検査装置を構成した。
【０００９】
【発明の実施の形態】前記の通り、本発明を、請求項１
の検査方法とその方法の実施に使用する請求項２及び３
の検査装置を構成し、本来の表示素子のＴＦＴの欠陥を
検査する前に表示素子の表面を検査するようにしたの
で、移動ステージに搭載された表示素子は、前記表面欠
陥抽出方法により表示表面の欠陥の有無が把握され所定
の対応をとることができディスプレーの合否における欠
陥検出の誤認識を防止することが可能であり、その成果
は顕著である。
の検査方法とその方法の実施に使用する請求項２及び３
の検査装置を構成し、本来の表示素子のＴＦＴの欠陥を
検査する前に表示素子の表面を検査するようにしたの
で、移動ステージに搭載された表示素子は、前記表面欠
陥抽出方法により表示表面の欠陥の有無が把握され所定
の対応をとることができディスプレーの合否における欠
陥検出の誤認識を防止することが可能であり、その成果
は顕著である。
【００１０】
【実施例】本発明の１実施例を図面と共に詳細に説明す
る。図１は、本発明の表示素子の表面欠陥抽出方法を用
いる第一実施例の構成概要説明図である。図２は同じく
第二実施例の構成概要説明図である。図３は本発明の一
実施例のフローチャートである。図４は本発明の実施例
を説明する拡大説明図である。
る。図１は、本発明の表示素子の表面欠陥抽出方法を用
いる第一実施例の構成概要説明図である。図２は同じく
第二実施例の構成概要説明図である。図３は本発明の一
実施例のフローチャートである。図４は本発明の実施例
を説明する拡大説明図である。
【００１１】図１において、１は表示素子であり、前記
の通りディスプレーの表示素子１である。２はセンサカ
メラであって、センサカメラ２はＣＣＤ素子の受光面に
表示素子の画素を結ばせ表示画面を読み取るものでＣＣ
Ｄセンサカメラが用いられる。３は移動ステージ、４は
画像処理部であって、画像処理部４において公知の手段
により画像処理がなされる。５はバックライトであっ
て、バックライト５はＬＣＤパネルの透過光用光源であ
り、移動ステージ３の所定の下部に配置されて、該ＬＣ
Ｄパネル上の表示素子を下面から照射する。７は照射ラ
ンプであって、移動ステージ３の側面上方に配置され、
表示素子の表面を照射する表面欠陥専用の反射光光源で
ある。８は切替スイッチ手段である。９は駆動用電源で
あって、該切替スイッチ手段８により、バックライト５
と照射ランプ７とを切り替えて駆動する。図１の第１実
施例においては、表示素子１の表示画面を検査画面とし
てその良否の検査に先立ち、移動ステージ３上の表示素
子１の下面からの透過光を切替スイッチ手段８により消
灯しておくと共に、照射ランプ７を点灯して表示素子１
の表面を照射する。ＣＣＤセンサカメラ２の受光面の表
示素子１の画素を読取り前記の通り画像処理部４におい
て公知の手段により画像処理がなされ、表示素子１の表
面の傷及びゴミに起因する欠陥を抽出する。
の通りディスプレーの表示素子１である。２はセンサカ
メラであって、センサカメラ２はＣＣＤ素子の受光面に
表示素子の画素を結ばせ表示画面を読み取るものでＣＣ
Ｄセンサカメラが用いられる。３は移動ステージ、４は
画像処理部であって、画像処理部４において公知の手段
により画像処理がなされる。５はバックライトであっ
て、バックライト５はＬＣＤパネルの透過光用光源であ
り、移動ステージ３の所定の下部に配置されて、該ＬＣ
Ｄパネル上の表示素子を下面から照射する。７は照射ラ
ンプであって、移動ステージ３の側面上方に配置され、
表示素子の表面を照射する表面欠陥専用の反射光光源で
ある。８は切替スイッチ手段である。９は駆動用電源で
あって、該切替スイッチ手段８により、バックライト５
と照射ランプ７とを切り替えて駆動する。図１の第１実
施例においては、表示素子１の表示画面を検査画面とし
てその良否の検査に先立ち、移動ステージ３上の表示素
子１の下面からの透過光を切替スイッチ手段８により消
灯しておくと共に、照射ランプ７を点灯して表示素子１
の表面を照射する。ＣＣＤセンサカメラ２の受光面の表
示素子１の画素を読取り前記の通り画像処理部４におい
て公知の手段により画像処理がなされ、表示素子１の表
面の傷及びゴミに起因する欠陥を抽出する。
【００１２】図２において、６は機械的シャツタであっ
て、機械的シャツタ６はディスプレーの表示素子１と移
動ステージ３の間をシャツタ制御部１１で可動するよう
に制御して適宜バックライト５からの照射光を点灯した
まま遮断するようにしてある。その他の構成は図１の実
施例と同一であるから説明を省略する。
て、機械的シャツタ６はディスプレーの表示素子１と移
動ステージ３の間をシャツタ制御部１１で可動するよう
に制御して適宜バックライト５からの照射光を点灯した
まま遮断するようにしてある。その他の構成は図１の実
施例と同一であるから説明を省略する。
【００１３】図３は前記第１実施例を説明するフローチ
ャートであり、第一ステップは、切替スイッチ手段８に
より、照射ランプ７を点灯すると同時にバックライト５
を消灯するステップ、第二ステップは、表示素子１の表
面の画像をセンサカメラ２に取り込むステップ、第三ス
テップは、該取り込んだ表面の画像を画像処理部４で処
理して欠陥を検出するステップ、第四ステップは、切替
スイッチ手段８により照射ランプ７を消灯すると同時に
バックライト５を点灯しその照射光で表示素子１を照射
し、その画像をセンサカメラ２に取り込むステップ、第
５ステップは、該取り込んだ画像を画像処理して該表示
素子１の検査画面の欠陥を検出するステップ、第六ステ
ップは、前記第三ステップの欠陥を第五ステップの欠陥
から除去する第六ステップで構成される表示素子表面欠
陥抽出方法を具備した表示素子の表示画面検査方法を実
施した検査装置のフローチャートである。第２実施例の
フローチャートは自明につき省略する。
ャートであり、第一ステップは、切替スイッチ手段８に
より、照射ランプ７を点灯すると同時にバックライト５
を消灯するステップ、第二ステップは、表示素子１の表
面の画像をセンサカメラ２に取り込むステップ、第三ス
テップは、該取り込んだ表面の画像を画像処理部４で処
理して欠陥を検出するステップ、第四ステップは、切替
スイッチ手段８により照射ランプ７を消灯すると同時に
バックライト５を点灯しその照射光で表示素子１を照射
し、その画像をセンサカメラ２に取り込むステップ、第
５ステップは、該取り込んだ画像を画像処理して該表示
素子１の検査画面の欠陥を検出するステップ、第六ステ
ップは、前記第三ステップの欠陥を第五ステップの欠陥
から除去する第六ステップで構成される表示素子表面欠
陥抽出方法を具備した表示素子の表示画面検査方法を実
施した検査装置のフローチャートである。第２実施例の
フローチャートは自明につき省略する。
【００１４】図４において、１．１は、拡大された側面
図を示す表示素子、１２は液晶の表面ガラス、１３は液
晶の裏面ガラス、１４は偏向板であり、偏向板１４は表
面、裏面に設けてある。１５は液晶内部である。Ａは表
面ゴミ又は傷、ＢはＴＦＴの不良による欠陥の部位の１
例を示す。前記した、図１、図２に示された通り、照射
ランプ７から照射された光線７．１は表示素子１の表面
の液晶の表面ガラス１２に照射され、そこに付着された
ゴミ又は傷Ａの画面をセンサカメラ２で取り込み画像処
理部４で画像処理がなされる。バックライト５は、消灯
又はシャツタ６で遮断されているので、ＴＦＴの不良に
よる欠陥は取り込まれなく、表示素子１の表面状態が取
り込まれる。
図を示す表示素子、１２は液晶の表面ガラス、１３は液
晶の裏面ガラス、１４は偏向板であり、偏向板１４は表
面、裏面に設けてある。１５は液晶内部である。Ａは表
面ゴミ又は傷、ＢはＴＦＴの不良による欠陥の部位の１
例を示す。前記した、図１、図２に示された通り、照射
ランプ７から照射された光線７．１は表示素子１の表面
の液晶の表面ガラス１２に照射され、そこに付着された
ゴミ又は傷Ａの画面をセンサカメラ２で取り込み画像処
理部４で画像処理がなされる。バックライト５は、消灯
又はシャツタ６で遮断されているので、ＴＦＴの不良に
よる欠陥は取り込まれなく、表示素子１の表面状態が取
り込まれる。
【００１５】
【発明の効果】前記の通り、本発明を構成しディスプレ
ーの表示素子のＴＦＴの欠陥を検査する前に、該表示素
子の表面の保護面の傷又はゴミによる欠陥を検出し表示
素子の表面の欠陥を把握することにより、該ディスプレ
ーの合否における欠陥検出の誤認識を防止することが可
能であり、その成果は顕著である効果が期待できる。
ーの表示素子のＴＦＴの欠陥を検査する前に、該表示素
子の表面の保護面の傷又はゴミによる欠陥を検出し表示
素子の表面の欠陥を把握することにより、該ディスプレ
ーの合否における欠陥検出の誤認識を防止することが可
能であり、その成果は顕著である効果が期待できる。
【図１】本発明の表示素子の表面欠陥抽出方法を用いる
第１実施例の概要構成説明図である。
第１実施例の概要構成説明図である。
【図２】本発明の表示素子の表面欠陥抽出方法を用いる
第２実施例の概要構成説明図である。
第２実施例の概要構成説明図である。
【図３】本発明の第１実施例のフローチャートである。
【図４】本発明の実施例の部分拡大説明図である。
【図５】従来例の概要構成説明図である。
【図６】従来例の画像処理部の回路図である。
１ 表示素子 ２ ＣＣＤセンサカメラ ３ 移動ステージ ４ 画像処理部 ５ バックライト ６ 機械的シャツタ ７ 照射ランプ ７．１ 光線 ８ 切替スイッチ手段 ９ 光源用電源 １０ Ａ／Ｄ変換回路 １１ シャツタ盛業部 １２ 液晶の表面ガラス １３ 液晶の裏面ガラス １４ 偏向板 １５ 液晶内部 Ａ 表面のゴミ又は傷の部位の１例 Ａ．１ 光線 Ｂ ＴＦＴの不良による欠陥の部位の１例 ２０ 表示素子イメージメモリ ３０ 対応関係情報格納メモリ ３１ 対応関係情報格納メモリ３０の番地を発生す
るアドレスカウンタ ３２ 対応関係情報格納メモリ３０の読みだし情報
を格納する読みだしレジスタ １００ クロック信号線 １０１ 対応情報信号線 １０２ 対応番地情報信号線 Ｆ 対応情報フィールド
るアドレスカウンタ ３２ 対応関係情報格納メモリ３０の読みだし情報
を格納する読みだしレジスタ １００ クロック信号線 １０１ 対応情報信号線 １０２ 対応番地情報信号線 Ｆ 対応情報フィールド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01M 11/00 - 11/02 G09G 3/20 670 G01N 21/88 G02F 1/13 101 G09G 3/36 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (3)
- 【請求項１】 表示用光源からの透過光により表示を行
うようにした移動ステージ上に搭載されたディスプレー
の表示素子とその上方の所定の位置にＣＣＤセンサカメ
ラを配置し、該ＣＣＤセンサカメラと接続した画像処理
部を設けて、前記の表示素子とＣＣＤセンサカメラの位
置関係を基準位置に設定し、該基準位置に対応した関係
位置で抽出した表示素子のセンサ画素の検出光度に基づ
いて画像処理部により該センサ画素の光度を抽出するよ
うにした表示素子の表示画面を検査画面として表示素子
の良否を検査するための表示素子の表示画面検査方法に
おいて、 前記表示素子の良否の検査に先立ち、前記透過光を消灯
又は遮断すると共に、前記移動ステージの側面上方から
前記表示素子の表面を所定の照射ランプで照射するよう
にし前記ＣＣＤセンサカメラで前記表示素子の表面のセ
ンサ画素の光度を検出して該表示画面の傷及びゴミに起
因する欠陥を抽出する表示素子表面欠陥抽出方法を具備
した表示素子の表示画面検査方法。 - 【請求項２】 ディスプレーの表示素子を搭載する移動
ステージの下面から該表示素子を透過光で照射するよう
にしたバックライトと、該移動ステージの側面上方から
前記表示素子の表面を照射するようにした所定の照射ラ
ンプと、前記バックライトと前記照射ランプとの照射制
御をする切替スイッチ手段と、光源用電源と、接続手段
と、前記画像処理部の表示素子の表示画面の傷およびゴ
ミに起因する欠陥を抽出する手段とよりなる表示素子の
表面欠陥抽出手段を構成した請求項１の検査方法の実施
に使用する第１実施例の検査装置。 - 【請求項３】 ディスプレーの表示素子を搭載する移動
ステージの下面から該表示素子を透過光で照射するよう
にしたバックライトと、該ディスプレーの表示素子と移
動ステージとの間に設け前記透過光を適宜遮断する可動
式の機械的シャツタと、該移動ステージの側面上方から
前記表示素子の表面を照射するようにした所定の照射ラ
ンプと、前記バックライトの照射制御をする切替スイッ
チ手段と、光源用電源と、接続手段と、前記画像処理部
の表示素子の表示画面の傷及びゴミに起因する欠陥を抽
出する手段とよりなる表示素子の表面欠陥抽出手段を設
けて構成した請求項１の検査方法の実施に使用する第２
実施例の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15542398A JP2955856B1 (ja) | 1998-05-21 | 1998-05-21 | 表示素子表面欠陥抽出方法を具備した表示素子の表示画面検査方法とその実施に使用する検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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