JP2921654B2 - 流体移送用カップリング装置 - Google Patents

流体移送用カップリング装置

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JP2921654B2
JP2921654B2 JP7127200A JP12720095A JP2921654B2 JP 2921654 B2 JP2921654 B2 JP 2921654B2 JP 7127200 A JP7127200 A JP 7127200A JP 12720095 A JP12720095 A JP 12720095A JP 2921654 B2 JP2921654 B2 JP 2921654B2
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    • B08B9/032—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages by the mechanical action of a moving fluid, e.g. by flushing
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、流体、即ち、半導体製
造に際して用いるエッチング液のような高純度薬液等の
液体、ガス、その他の流動体を、生産工場の貯蔵タンク
から輸送トラックのコンテナへ移送するような際に用い
る流体移送用カップリング装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】上記用途に用いられるカップリング装置
として、特公平３−５３０３４号公報記載のものが知ら
れている。それは、同一軸線上に置かれた固定状態のメ
ス形カプラと移動可能なオス形カプラとを有し、オス形
カプラはメス形カプラ内に進入して水密状態に結合し得
るようになっている。
【０００３】そして、メス形カプラ側には、その結合に
先立ってオス形カプラの頭部を洗滌する機構が設けてあ
る。即ち、メス形カプラはオス形カプラの頭部が進入す
るカップ状のカプラヘッドを有しており、そのカプラヘ
ッドには、オス形カプラの頭部を取巻くように一群の洗
浄液噴射孔を形成したスプレ−環が設置されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のカップリン
グ装置におけるオス形カプラの頭部洗浄機構は、一群の
洗浄液噴射孔を穿孔したスプレ−環であり、これによっ
た場合噴射孔はオス形カプラの表面に向けられ、分散し
て噴射されるために噴射力が弱く、ムラなく十分な洗浄
が行われるとは言い難い。そこで本発明は、確実且つ迅
速に上記洗浄を行ない得る流体移送用カップリング装置
を提供することを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、ハウジング内
に、ベローズを支持するベローズホルダーと前記ベロー
ズホルダーに固定されたシャワーリングとを前記ハウジ
ングの長さ方向に移動可能に設置し、前記ベローズは先
端に前記シャワーリング内に配置される通流弁機構を有
し、前記シャワーリングは、先端に前記通流弁機構に対
応する通流弁機構を備えたカップリングすべきプラグの
頭部が進入する断面円形の洗浄室を備え、前記洗浄室の
中途にはＯリング等のシール手段を配備すると共に前記
洗浄室の側壁に前記洗浄室の接線方向に向けて噴射孔を
穿設し、前記ハウジングに前記噴射孔に洗浄水を供給す
るシャワーノズルを設置すると共に排水孔を形成したこ
とを特徴とする流体移送用カップリング装置、を以て上
記課題を解決した。好ましくは、前記洗浄室のＯリング
設置部より先端側の内壁にテーパを付ける。
【０００６】
【作 用】プラグの頭部を洗浄室内中程まで進入させた
後シャワ−ノズルから洗浄水を噴射させると、洗浄水は
円形洗浄室の内壁に沿ってラセン状に流れてプラグ頭部
の外周面を洗浄する。そのためプラグ頭部は、余す所な
く確実に洗浄される。
【０００７】
【実施例】本発明の好ましい実施例を添付図面に依拠し
て説明する。図１はその縦断面図で、図中１は供給側の
フレキシブルチュ−ブである。フレキシブルチュ−ブ１
は入口側にホ−スガイド２を嵌着したプラグ用スリ−ブ
３内に挿入され、フランジ４が形成されたその先端部
が、プラグ用スリ−ブ３の内端側に嵌合された押えリン
グ５において係止される。
【０００８】６はフランジ４に突き合わせ配置されるプ
ラグで、そのフランジ４当接面にＯリングが配備され
る。７はプラグ用スリ−ブ３に固定された固定ナット
で、プラグ６に形成された段部に引掛る係止部８を有
し、以てプラグ６をプラグ用スリ−ブ３に連結する。
【０００９】９は上記固定ナット７部分を嵌入する中央
開口１０を有するプラグ受けで、その一端面にフロント
カバ−１１が、また他端面にサイドフランジ１２が固定
される。１３はブシュ形状のプラグガイドで、その筒部
がサイドフランジ１２の中央開口部に嵌装された状態で
サイドフランジ１２に固定される。このプラグガイド１
３内にプラグ６が進入する。
【００１０】１５〜１８はハウジング構成部で、それら
が一体に接合されて１つのハウジングが形成される。外
側のハウジング構成部１５の外端面にはサイドフランジ
１２が固定され、反対側ハウジング構成部１８の外端面
にはサイドフランジ１９が固定され、サイドフランジ１
２とサイドフランジ１９は複数のロッド２０で結合され
てハウジングを支持する。
【００１１】２１はハウジング構成部１７からハウジン
グ構成部１８にかけてそれらの内側に摺動可能に設置さ
れた筒状のベロ−ズホルダ−で、その内側に中間伸縮部
を有するベロ−ズ２２が挿入される。ベロ−ズホルダ−
２１はピストンの機能を果たす。即ち、ハウジング構成
部１８にはハウジング構成部１７内に嵌合するストッパ
−２３が形成され、また、ハウジング構成部１７の開口
端部の孔径を縮径化することにより、ストッパ−２３に
対向するストッパ−２４が形成される。
【００１２】ベロ−ズホルダ−２１には、ベロ−ズ２２
の先端部に設置されたシャワ−リング２５が固定され
る。シャワ−リング２５の外周面は、ストッパ−２４及
びハウジング構成部１５、１６の内周面に摺接する。か
くしてベロ−ズホルダ−２１のハウジング構成部１７摺
接部２１ａの一方の側に、ストッパ−２３とハウジング
構成部１７と摺接部２１ａとに囲まれる空気室２６が形
成され、摺接部２１ａの他方の側に、ストッパ−２４を
含むハウジング構成部１７とシャワ−リング２５と摺接
部２１ａとに囲まれる空気室２７が形成される。
【００１３】ハウジング構成部１７には給排気口２８、
２９が形成される。一方の給排気口２８は空気室２６に
連通し、他方の給排気口２９は空気室２７に連通する。
かくして図１に示す状態において給排気口２８から空気
室２６内に空圧が供給されると、摺接部２１ａが空圧に
より押されることによりベロ−ズホルダ−２１は、スト
ッパ−２４に当接するまで図１において左方に移動す
る。その際空気室２７内の空気は給排気口２９から排出
される。そして、給排気口２８、２９における空圧出入
関係が入れ替わると、ベロ−ズホルダ−２１は、ストッ
パ−２３に当接するまで図１において右方向に移動す
る。
【００１４】なお、一々説明をしてないが、固定部と移
動部間における摺接部に、気密、水密保持のために適宜
Ｏリング等を設置することは言うまでもない。
【００１５】プラグ６はその先端部に通流弁機構を構成
するバルブ３１を備える。バルブ３１は固定部３２と可
動部３３と両者間に配装されるスプリング３４とから成
る。スプリング３４は、常時可動部３３を押圧し、以て
可動部３３の先端部（Ｏリング）がプラグ６の先端開口
部３５を閉塞するよう作用する。可動部３３は通液孔３
６を有しており、可動部３３がスプリング３４の押圧力
に抗して押されて先端開口部３５が開くことにより、移
送すべき流体が通液孔３６を通って先端開口部３５から
出るようになっている。
【００１６】一方ベロ−ズ２２の先端部には、スプリン
グ３８を介して可動部３９が配備され、可動部３９は常
時スプリング３８に押圧され、可動部３９の先端部（Ｏ
リング）がシャワ−リング２５の内壁に形成した遮止部
４１に圧接することにより、遮止部４１を閉塞する。可
動部３９も通液孔４０を有しており、可動部３９がスプ
リング３８の押圧力に抗して押されて遮止部４１が開く
ことにより、通液するようになっている。
【００１７】シャワ−リング２５は先端側に断面円形の
洗浄室２５ａを有している。４３はハウジング構成部１
６の切欠部４４においてシャワ−リング２５に設置され
たシャワ−ノズルで、洗浄水を供給するその水流孔４５
に連通する噴射孔４６がシャワ−リング２５の円型洗浄
室２５ａの好ましくは接線方向に向けて開口される（図
２参照）。シャワ−リング２５の洗浄室２５ａの内側面
にはＯリング４７が嵌め付けられ、その内側面のＯリン
グ４７設置部より先端側はテ−パ面４８となっている。
【００１８】ハウジング構成部１５には排水孔５０が穿
設され、そこに、継手５１を介して排水パイプ５２が接
続される。なお、図３における５３、５４は一対の光透
過型センサ−で、ベロ−ズホルダ−２１の端部の有無を
検出することにより、シャワ−リング２５が後退位置
（図１の実線で示す位置）にあるか、前進位置（図１の
仮想線で示す位置）にあるかを判定する。５５は液漏れ
の有無を検出するセンサ−である。
【００１９】上記構成において、プラグ用スリ−ブ３を
持ってプラグ６をプラグ受け９の中央開口１０からハウ
ジング内に挿入し、固定ナット７をプラグガイド１３に
突き当てる。その際、シャワ−リング２５は後退位置に
ある。そこでシャワ−ノズル４３から洗浄水がジェット
噴射されると、噴射孔４６はシャワ−リング２５の内側
面の接線方向に向いているので、洗浄水はその内側面に
沿ってラセン状に回転しながら先端部へと向かい、テ−
パ面４８に至ってプラグ６の外周面に沿って進む。それ
によりプラグ６の外周面は、強い水勢の洗浄水によって
余す所なく確実に洗浄される。その後洗浄水はテ−パ面
４８に沿って先端側に導かれ、排水孔５０から排出され
る。
【００２０】プラグ６の洗浄後給排気口２８から空圧が
供給されると、ベロ−ズホルダ−２１及びこれと一体と
なったベロ−ズ２２とシャワ−リング２５とが、図１に
おいて左方向に移動する。そして、プラグ６の外側面が
Ｏリング４７に接圧後、可動部３３と可動部３９とが互
いにスプリング３４、３８に抗して押圧し合い、やがて
プラグ６の端面が遮止部４１に当接すると共に、先端開
口部３５及び遮止部４１が開く。かくしてフレキシブル
チュ−ブ１を通って供給される液体が、通液孔３６、４
０を経てベロ−ズ２２内に移動する。
【００２１】送液作業終了後は、給排気口２９側に空圧
が供給されることによりベロ−ズホルダ−２１、ベロ−
ズ２２及びシャワ−リング２５が元の位置に戻される。
そうすると可動部３３と可動部３９とが離れ、それぞれ
スプリング３４、３８の作用で元の位置に戻って先端開
口部３５ないし遮止部４１を閉塞し、液漏れを防止す
る。
【００２２】なお、上記実施例は液体の移送に関するも
のとして説明してきたが、同一の構成で以て他の流体、
即ち、ガスや粘稠物等についても利用し得るものであ
る。
【００２３】
【発明の効果】本発明は上述した通りであって、種々の
流体の移送用プラグのカップリングに際して洗浄液の強
い水流が洗浄すべきプラグの外周面に沿って起こるの
で、プラグ外周面をムラなく確実に洗浄することができ
る効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施例の縦断面図である。
【図２】 図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図３】 図１におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【符号の説明】
１５ ハウジング構成部 １６ ハウジング構成部 １７ ハウジング構成部 １８ ハウジング構成部 ２１ ベロ−ズホルダ− ２２ ベロ−ズ ２５ シャワ−リング ２５ａ 洗浄室 ３１ バルブ（通流弁機構） ３９ 可動部（通流弁機構） ４０ 通液孔（通流弁機構） ４３ シャワ−ノズル ４６ 噴射孔 ４７ Ｏリング ４８ テ−パ面 ５０ 排水孔

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ハウジング内に、ベローズを支持するベ
    ローズホルダーと前記ベローズホルダーに固定されたシ
    ャワーリングとを前記ハウジングの長さ方向に移動可能
    に設置し、前記ベローズは先端に前記シャワーリング内
    に配置される通流弁機構を有し、前記シャワーリング
    は、先端に前記通流弁機構に対応する通流弁機構を備え
    たカップリングすべきプラグの頭部が進入する断面円形
    の洗浄室を備え、前記洗浄室の中途にはＯリング等のシ
    ール手段を配備すると共に前記洗浄室の側壁に前記洗浄
    室の接線方向に向けて噴射孔を穿設し、前記ハウジング
    に前記噴射孔に洗浄水を供給するシャワーノズルを設置
    すると共に排水孔を形成したことを特徴とする流体移送
    用カップリング装置。
  2. 【請求項２】 前記洗浄室のＯリング設置部より先端側
    の内壁にテーパを付けた請求項１記載の流体移送用カッ
    プリング装置。
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