JP2883628B2 - X―yテーブル装置 - Google Patents

X―yテーブル装置

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JP2883628B2 JP10108189A JP10108189A JP2883628B2 JP 2883628 B2 JP2883628 B2 JP 2883628B2 JP 10108189 A JP10108189 A JP 10108189A JP 10108189 A JP10108189 A JP 10108189A JP 2883628 B2 JP2883628 B2 JP 2883628B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、テーブルを直交するX軸及びY軸の方向に
移動可能にし、該テーブルに載置した物体を2次元平面
内で所定の位置に移動させるX−Yテーブル装置に関す
る。
〔従来の技術〕
テーブルを直交するX軸及びY軸の方向に移動可能に
し、該テーブルに載置した物体を2次元平面内で所定の
位置に移動させるX−Yテーブル装置は良く知られてい
る。公知のX−Yテーブル装置は、X方向に移動するテ
ーブルとその上(あるいはその下)の側に配置したY方
向に移動するテーブルとから成る。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記従来のX−Yテーブル装置は、X方向に移動する
テーブルとY方向の移動するテーブルとが2段に重な
り、装置の高さがどうしても高くならざるを得なかっ
た。
また、テーブルの上部または下部から光線を通過させ
る際には、二つのテーブルの中央部およびテーブルを支
えるベース部の双方に穴をあけることが必要となるが、
計三つの穴を重複させて光を通過させることは簡単では
ない。
本発明は、この点に鑑みてなされたものであり、高さ
を低くして占有空間を最小限に抑えるとともに、テーブ
ルを通過する投光を容易にするX−Yテーブル装置を提
供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
かかる目的を達成するため、本発明によれば、テーブ
ルを直交する2つの軸X及びYの方向に移動可能にし、
該テーブルに載置した物体を2次元平面内で所定の位置
に移動させるX−Yテーブル装置であって、1台のテー
ブルと、このテーブルのY方向に対向する縁部には該テ
ーブルをX方向に移動可能に案内する第1のガイドが設
けられ、前記テーブルのX方向に対向する縁部にも該テ
ーブルをY方向に移動可能に案内する第2のガイドが設
けられ、第2のガイドはX方向に対向する縁部の一方に
おいてテーブルをX方向に移動させる第1駆動機構に連
結されるとともに、他方の縁部において前記第1駆動機
構による駆動の方向とは反対の方向に弾性部材により付
勢され、第1のガイドはY方向に対向する縁部の一方に
おいてテーブルをY方向に移動させる第2駆動機構に連
結されるとともに、他方の縁部において前記第2駆動機
構による駆動の方向とは反対の方向に弾性部材により付
勢されていることを特徴とするX−Yテーブル装置が提
供される。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら
説明する。第1図及び第2図を参照すると、本発明のX
−Yテーブル装置1では、テーブル2が1台しかない。
そして、このテーブル2に対しては、第1図に示すX方
向及びY方向に移動させる機構が設けられている。すな
わち、テーブル2のY方向に対向する縁部3、3には、
テーブル2をX方向に移動させる第1のガイド4、4が
設けられている。また、テーブル2のX方向に対向する
縁部5、5にも、テーブル2をY方向に移動させる第2
のガイド6、6が設けられている。
これらのガイド4及び6はそれぞれ、第1図及び第2
図に図示のように、枠7とボール8とによって構成する
ことができる。特に、枠7はテーブル2の縁部との間で
ボール8を支持するように形成されていてテーブル2の
移動を滑らかにする。また、第2のガイド6、6にはテ
ーブル2をX方向に移動させる第1の駆動機構9が連結
されている。更に詳しくは、ガイド6を構成する枠7及
び7には、移動方向に沿って各方向に延びるシャフト10
及び11が連結されている。
一方のシャフト10には直線的な運動を成すリニア・ア
クチエータ12が連結され、テーブル2を第1図及び第2
図の右側に押し込むように駆動する。また、他方のシャ
フト11にはばね13等の手段が設けられ、押し込まれたシ
ャフト11を左側に戻すように付勢している。また、第2
図に明らかなように、テーブル2をX方向に駆動するた
め、リニア・アクチエータ12に連結されたシャフト10を
移動自在に支持するとともに、ばね13に連結されたシャ
フト11を移動可能に支持するベース部材14が設けられて
いる。更に詳しくは、ベース部材14にはシャフト10を移
動可能に支持するベアリング部15とシャフト11を移動可
能に支持するベアリング部16とを備えており、テーブル
2をリニア・アクチエータ12の駆動によってX方向に移
動可能に支持している。
第1のガイド4、4は、上記の第1駆動機構9と同様
に、テーブル2をY方向に移動させる第2の駆動機構に
連結されている。すなわち、テーブル2には、各枠7の
部分にシャフト20及び21が連結され、一方のシャフト20
にはリニア・アクチエータ22が連結され、他方のシャフ
ト21にはばね(図示せず)が設けられ、これにより、リ
ニア・アクチエータ22によって第1図の上側に押し込ま
れたシャフト21を下側に戻すように付勢する。また、テ
ーブル2を移動可能に支持するために、リニア・アクチ
エータ22に連結されたシャフト20を移動自在に支持する
ベアリング部25とシャフト21を移動可能に支持するベア
リング部26とが設けられている。
かかる構成により、テーブル2は、リニア・アクチエ
ータ12及び22の付勢によって、X方向及びY方向の所定
の位置に移動でき、リニア・アクチエータ12及び22の付
勢を解除すれば、ばね13等の弾性力を受けて反対方向に
移動できる。従って、テーブル2の上に載置した物体を
所定の位置に配置できる。
なお、上記の実施例はテーブル2をX方向及びY方向
に移動させる機構の1例を開示するものであって、かか
る具体的な例に限定するものではない。例えば、ガイド
をレール部材で構成してもよく、あり溝等によって案内
するものであってもよい。また、テーブルの駆動手段も
直線運動を生じさせるものであれば、ラック機構等であ
ってもよい。
〔発明の効果〕 本発明のX−Yテーブル装置によれば、1台のテーブ
ルと、このテーブルのY方向に対向する縁部には該テー
ブルをX方向に移動させる第1のガイドが設けられ、前
記テーブルのX方向に対向する縁部にも該テーブルをY
方向に移動させる第2のガイドが設けられ、第2のガイ
ドはテーブルをX方向に移動させる第1駆動機構に連結
され、第1のガイドはテーブルをY方向に移動させる第
2駆動機構に連結されているので、X−Yテーブル装置
の高さが低くなり、占有空間を小さくすることができ
る。さらに、X−Yテーブルは一つだけであるので、テ
ーブル下部の構造を簡単にすることができ、ベース部材
およびテーブル中央に当てをあけ、テーブル下部または
上部から光を通過させることが簡単に実施できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るX−Yテーブル装置の平面図、第
2図はII−II線に沿った断面図である。 〔符号の説明〕 1……X−Yテーブル装置 2……X−Yテーブル 3……Y方向に対向する縁部 4……第1ガイド 5……X方向に対向する縁部 6……第2ガイド 7……枠 8……ボール 9……第一駆動機構 10、11……シャフト 12……リニア・アクチエータ 13……ばね 14……ベース部材 15、16……ベアリング部 20、21……シャフト 22……リニア・アクチエータ 25、26……ベアリング部

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】テーブルを直交する2つの軸X及びYの方
    向に移動可能にし、該テーブルに載置した物体を2次元
    平面内で所定の位置に移動させるX−Yテーブル装置に
    おいて、 1台のテーブルと、このテーブルのY方向に対向する縁
    部には該テーブルをX方向に移動可能に案内する第1の
    ガイドが設けられ、前記テーブルのX方向に対向する縁
    部にも該テーブルをY方向に移動可能に案内する第2の
    ガイドが設けられ、 前記第2のガイドはX方向に対向する縁部の一方におい
    てテーブルをX方向に移動させる第1駆動機構に連結さ
    れるとともに、他方の縁部において前記第1駆動機構に
    よる駆動の方向とは反対の方向に弾性部材により付勢さ
    れ、 前記第1のガイドはY方向に対向する縁部の一方におい
    て前記テーブルをY方向に移動させる第2駆動機構に連
    結されるとともに、他方の縁部において前記第2駆動機
    構による駆動の方向とは反対の方向に弾性部材により付
    勢されており、 前記第1および第2のガイドのぞれぞれは、枠と複数個
    のボールとによって構成され、前記枠は、前記テーブル
    の縁部との間で前記複数個のボールを支持するように形
    成されていることを特徴とするX−Yテーブル装置。
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JPH0335950A (ja) * 1989-06-30 1991-02-15 Myotoku Kk 移動テーブル装置

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