JP2940663B2 - ステージの縦横移動旋回支持機構 - Google Patents
ステージの縦横移動旋回支持機構Info
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- JP2940663B2 JP2940663B2 JP7313920A JP31392095A JP2940663B2 JP 2940663 B2 JP2940663 B2 JP 2940663B2 JP 7313920 A JP7313920 A JP 7313920A JP 31392095 A JP31392095 A JP 31392095A JP 2940663 B2 JP2940663 B2 JP 2940663B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は精密測定器具、精密
加工機構、精密位置決め装置等に使用される、ステージ
の縦横移動旋回支持機構に関するものである。
加工機構、精密位置決め装置等に使用される、ステージ
の縦横移動旋回支持機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ステージを縦横方向に移動可能に
構成した、いわゆるＸ−Ｙ移動テーブルにおいては、左
右一対の直動案内軸受と一つの送りねじ機構により一方
向に移動可能に構成した一軸移動機構の２組を、その移
動方向が直交するように上下に重ねて組み合わせること
により、上述した移動を可能に構成しており、これに旋
回機構を組み合わせることにより縦横移動と旋回を可能
としている。
構成した、いわゆるＸ−Ｙ移動テーブルにおいては、左
右一対の直動案内軸受と一つの送りねじ機構により一方
向に移動可能に構成した一軸移動機構の２組を、その移
動方向が直交するように上下に重ねて組み合わせること
により、上述した移動を可能に構成しており、これに旋
回機構を組み合わせることにより縦横移動と旋回を可能
としている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような構成では、
ａ．支持台からステージまでの高さが高くなって、不安
定である、ｂ．機構の占有スペースが大きい、ｃ．組立
て工数がかかる、ｄ．組立精度を確保するのが比較的難
しい、等々の課題がある。
ａ．支持台からステージまでの高さが高くなって、不安
定である、ｂ．機構の占有スペースが大きい、ｃ．組立
て工数がかかる、ｄ．組立精度を確保するのが比較的難
しい、等々の課題がある。
【０００４】このような課題を解決するために種々の工
夫がされつつあり、例えば特開平１−２４２９８９号公
報に記載のものでは、縦、横移動機構及び旋回機構を、
夫々の機構の組合せでなく構成している。
夫がされつつあり、例えば特開平１−２４２９８９号公
報に記載のものでは、縦、横移動機構及び旋回機構を、
夫々の機構の組合せでなく構成している。
【０００５】
【発明の目的】本発明では、このような構成を更に発展
させ、軽量で安価な縦横移動旋回支持機構を提供するこ
とを第１の目的とするものである。
させ、軽量で安価な縦横移動旋回支持機構を提供するこ
とを第１の目的とするものである。
【０００６】また本発明では、ステージの中央部分に対
応する位置に機構部材を配置しないようにすることによ
り、このステージの中央部分を有効に利用し得るように
することを第２の目的とするものである。
応する位置に機構部材を配置しないようにすることによ
り、このステージの中央部分を有効に利用し得るように
することを第２の目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明では、内側支持板と２つの外側支持板の
縁に、夫々の位置をずらして複数の凹部を構成し、２つ
の外側支持板を内側支持板の凹部の位置において結合部
材により結合することにより、内側支持板と、この内側
支持板を挟んで一体に結合した２つの外側支持板とを備
え、内側支持板と夫々の外側支持板間に保持部材に保持
したボールを介装して、内側支持板と外側支持板を平面
上で相対的に自由運動可能として、夫々内側支持板側と
外側支持板側を取付部とした支持ユニットを構成し、内
側支持板の取付部材は、一方側の外側支持板の凹部の位
置において突出させた構成とし、この支持ユニットを支
持台とステージ間に複数取付けて構成したステージの縦
横移動旋回支持機構を提案する。
ために、本発明では、内側支持板と２つの外側支持板の
縁に、夫々の位置をずらして複数の凹部を構成し、２つ
の外側支持板を内側支持板の凹部の位置において結合部
材により結合することにより、内側支持板と、この内側
支持板を挟んで一体に結合した２つの外側支持板とを備
え、内側支持板と夫々の外側支持板間に保持部材に保持
したボールを介装して、内側支持板と外側支持板を平面
上で相対的に自由運動可能として、夫々内側支持板側と
外側支持板側を取付部とした支持ユニットを構成し、内
側支持板の取付部材は、一方側の外側支持板の凹部の位
置において突出させた構成とし、この支持ユニットを支
持台とステージ間に複数取付けて構成したステージの縦
横移動旋回支持機構を提案する。
【０００８】そして本発明では、以上の構成において、
内側支持板側を支持台に取付け、外側支持板側をステー
ジに取付ける構成としたり、または逆に、内側支持板側
をステージに取付け、外側支持板側を支持台に取付ける
構成とすることができる。
内側支持板側を支持台に取付け、外側支持板側をステー
ジに取付ける構成としたり、または逆に、内側支持板側
をステージに取付け、外側支持板側を支持台に取付ける
構成とすることができる。
【０００９】そして本発明では、以上の構成において、
支持ユニットの形状を細長形状に構成することを提案す
る。
支持ユニットの形状を細長形状に構成することを提案す
る。
【００１０】また本発明では、上記の構成において、少
なくともステージを枠状に形成して中央部に窓部を構成
し、枠部に複数の支持ユニットを設置することを提案す
る。そして、この場合、上述したように支持ユニットを
細長形状に構成した場合において、ステージの対向する
枠部に一対設置することを提案する。
なくともステージを枠状に形成して中央部に窓部を構成
し、枠部に複数の支持ユニットを設置することを提案す
る。そして、この場合、上述したように支持ユニットを
細長形状に構成した場合において、ステージの対向する
枠部に一対設置することを提案する。
【００１１】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図１〜図５は本発明の実施の
形態の平面図で、符号１は支持台、２はこの支持台１上
に支持するステージ、３は支持台１とステージ２間に設
置して、ステージ２を縦横移動旋回可能に支持する支持
ユニットである。図１に示すように、ステージ２は枠状
に形成して、中央部に窓部４ａを構成している。同様に
支持台１も枠状に形成して窓部４ｂを構成していて、こ
れらの窓部４ａ，４ｂにより貫通空間を構成している。
尚、支持台１の窓部４ｂはステージ２の窓部４ａよりも
広く構成している。このような枠の形状は、図に示すよ
うに矩形枠とする他、方形枠、円形枠等、適宜である。
このような貫通空間ができることから、例えばステージ
２にマスク等を設置すると共に、貫通空間を隔てた適所
に露光部を構成する等の使用をすることができる。
図面を参照して説明する。図１〜図５は本発明の実施の
形態の平面図で、符号１は支持台、２はこの支持台１上
に支持するステージ、３は支持台１とステージ２間に設
置して、ステージ２を縦横移動旋回可能に支持する支持
ユニットである。図１に示すように、ステージ２は枠状
に形成して、中央部に窓部４ａを構成している。同様に
支持台１も枠状に形成して窓部４ｂを構成していて、こ
れらの窓部４ａ，４ｂにより貫通空間を構成している。
尚、支持台１の窓部４ｂはステージ２の窓部４ａよりも
広く構成している。このような枠の形状は、図に示すよ
うに矩形枠とする他、方形枠、円形枠等、適宜である。
このような貫通空間ができることから、例えばステージ
２にマスク等を設置すると共に、貫通空間を隔てた適所
に露光部を構成する等の使用をすることができる。
【００１２】次に本発明に適用する支持ユニット３の実
施の形態を、図２〜図４について説明する。この実施の
形態では、内側支持板２６と外側支持板２７ａ，２７ｂ
は帯板状とし、夫々の長手辺側に位置をずらして複数の
凹部２８ａ，２８ｂを構成している。即ち、外側支持板
２７ａ，２７ｂでは両端と中央に凹部２８ｂを構成する
と共に、内側支持板２６では両端と中央以外の２個所に
凹部２８ａを構成している。
施の形態を、図２〜図４について説明する。この実施の
形態では、内側支持板２６と外側支持板２７ａ，２７ｂ
は帯板状とし、夫々の長手辺側に位置をずらして複数の
凹部２８ａ，２８ｂを構成している。即ち、外側支持板
２７ａ，２７ｂでは両端と中央に凹部２８ｂを構成する
と共に、内側支持板２６では両端と中央以外の２個所に
凹部２８ａを構成している。
【００１３】このため、このような内側支持板２６と外
側支持板２７ａ，２７ｂを重ねると、夫々の凹部２８
ａ，２８ｂは重ならずに交互に位置する。即ち、外側支
持板２７ａ，２７ｂの凹部２８ｂ以外の個所、即ち凸部
２９ｂは内側支持板２６の凹部２８ａに対応するので、
内側支持板２６の両面側に対応する外側支持板２７ａ，
２７ｂの凸部１９ｂ間に、内側支持板２６の凹部２８ａ
を通して結合部材３０により結合することができる。一
方、内側支持板２６の凸部２９ａは外側支持板２７ｂの
凹部２８ｂに対応するので、上記凸部２９ａから外側支
持板２７ｂの凹部２８ｂを通して内側支持板２６の取付
部材３１を突出させることができる。
側支持板２７ａ，２７ｂを重ねると、夫々の凹部２８
ａ，２８ｂは重ならずに交互に位置する。即ち、外側支
持板２７ａ，２７ｂの凹部２８ｂ以外の個所、即ち凸部
２９ｂは内側支持板２６の凹部２８ａに対応するので、
内側支持板２６の両面側に対応する外側支持板２７ａ，
２７ｂの凸部１９ｂ間に、内側支持板２６の凹部２８ａ
を通して結合部材３０により結合することができる。一
方、内側支持板２６の凸部２９ａは外側支持板２７ｂの
凹部２８ｂに対応するので、上記凸部２９ａから外側支
持板２７ｂの凹部２８ｂを通して内側支持板２６の取付
部材３１を突出させることができる。
【００１４】以上のように内側支持板２６の両面側の外
側支持板２７ａ，２７ｂを結合部材３０により結合する
に際して、内側支持板２６と外側支持板２７ａ，２７ｂ
間に保持部材３２に保持したボール３３を介装すること
により、内側支持板２６と外側支持板２７ａ，２７ｂを
平面上で相対的に自由運動可能とすることができる。
尚、保持部材３２には遊び孔３５を形成すると共に内側
支持板２６と外側支持板２７ａ，２７ｂ間には遊び孔３
５内を通るストッパー３４を設けており、このストッパ
ー３４と遊び孔３５が自由運動のストロークを規定す
る。従って、この遊び孔３５の寸法を適宜設計すること
により、自由運動のストロークを調節することができ
る。
側支持板２７ａ，２７ｂを結合部材３０により結合する
に際して、内側支持板２６と外側支持板２７ａ，２７ｂ
間に保持部材３２に保持したボール３３を介装すること
により、内側支持板２６と外側支持板２７ａ，２７ｂを
平面上で相対的に自由運動可能とすることができる。
尚、保持部材３２には遊び孔３５を形成すると共に内側
支持板２６と外側支持板２７ａ，２７ｂ間には遊び孔３
５内を通るストッパー３４を設けており、このストッパ
ー３４と遊び孔３５が自由運動のストロークを規定す
る。従って、この遊び孔３５の寸法を適宜設計すること
により、自由運動のストロークを調節することができ
る。
【００１５】以上の構成において、内側支持板２６の取
付部材３１を支持台１の枠部に取り付けると共に、上側
の外側支持板２７ａをステージ２の枠部に取り付けるこ
とにより、支持台１上にステージ２を支持することがで
きる。例えば図１は、細長形状の支持ユニット３におい
てステージの縦横移動旋回支持機構を構成する場合の、
支持ユニット３の配置の実施の形態を示すもので、図１
に示すようにステージ２及び支持台１を枠状に構成した
ものにおいて、それらの対向する枠部に一対設置するこ
とにより、ステージ２の荷重を支えることができ、構成
が簡素化されて組立てが非常に簡単になると共に軽量化
が図れる。
付部材３１を支持台１の枠部に取り付けると共に、上側
の外側支持板２７ａをステージ２の枠部に取り付けるこ
とにより、支持台１上にステージ２を支持することがで
きる。例えば図１は、細長形状の支持ユニット３におい
てステージの縦横移動旋回支持機構を構成する場合の、
支持ユニット３の配置の実施の形態を示すもので、図１
に示すようにステージ２及び支持台１を枠状に構成した
ものにおいて、それらの対向する枠部に一対設置するこ
とにより、ステージ２の荷重を支えることができ、構成
が簡素化されて組立てが非常に簡単になると共に軽量化
が図れる。
【００１６】こうして、ステージ２と支持台１間に、適
宜の駆動機構を構成することにより、ステージ２を支持
台１に対して所定の縦横移動旋回を行うことができる。
このような駆動機構は、例えば上述した特開平１−２４
２９８９号公報に記載のもの等、適宜の駆動機構を利用
することができる。
宜の駆動機構を構成することにより、ステージ２を支持
台１に対して所定の縦横移動旋回を行うことができる。
このような駆動機構は、例えば上述した特開平１−２４
２９８９号公報に記載のもの等、適宜の駆動機構を利用
することができる。
【００１７】そこで、駆動機構の実施の形態を説明する
と、図１において、符号１１は直動軸受であり、レール
１２をステージ２の枠部の軸方向と直交する方向に設置
すると共に、このレール１２に軸受本体１３を直線移動
可能に保持している。レール１２は、概ね、支持ユニッ
ト３間のステージ２の枠部、即ち、両端に支持ユニット
３を設置している辺の中間と、この辺に隣接する辺の夫
々に設置しており、図中下側のレール１２と左右側のレ
ール１２は直交している。そして夫々において軸受本体
１３はヒンジ部１４を介してリニアアクチュエータ１５
の作動ロッド１６に固定しており、リニアアクチュエー
タ１５の基部は支持台１の枠部に固定している。
と、図１において、符号１１は直動軸受であり、レール
１２をステージ２の枠部の軸方向と直交する方向に設置
すると共に、このレール１２に軸受本体１３を直線移動
可能に保持している。レール１２は、概ね、支持ユニッ
ト３間のステージ２の枠部、即ち、両端に支持ユニット
３を設置している辺の中間と、この辺に隣接する辺の夫
々に設置しており、図中下側のレール１２と左右側のレ
ール１２は直交している。そして夫々において軸受本体
１３はヒンジ部１４を介してリニアアクチュエータ１５
の作動ロッド１６に固定しており、リニアアクチュエー
タ１５の基部は支持台１の枠部に固定している。
【００１８】以上の構成において、例えば図１の状態で
下側の直動軸受１１を駆動するリニアアクチュエータ１
５の作動ロッド１６を伸長すると、軸受本体１３はレー
ル１２を介してステージ２を図中左方向に押し、この方
向は左右側のレール１２の移動方向であるので、ステー
ジ２は図中左方向に移動する。逆に、下側のリニアアク
チュエータ１５の作動ロッド１６を短縮すると、軸受本
体１３はレール１２を介してステージ２を引っ張り、ス
テージ２は図中右方向に移動する。
下側の直動軸受１１を駆動するリニアアクチュエータ１
５の作動ロッド１６を伸長すると、軸受本体１３はレー
ル１２を介してステージ２を図中左方向に押し、この方
向は左右側のレール１２の移動方向であるので、ステー
ジ２は図中左方向に移動する。逆に、下側のリニアアク
チュエータ１５の作動ロッド１６を短縮すると、軸受本
体１３はレール１２を介してステージ２を引っ張り、ス
テージ２は図中右方向に移動する。
【００１９】次に、図１において図中下側の直動軸受１
１のリニアアクチュエータ１５はそのままで、左右側の
リニアアクチュエータ１５の作動ロッド１６を等量同方
向、即ち図中下方向又は上方向に移動すると、下側のレ
ール１２が軸受本体１３に対して移動してステージ２は
下方に移動する。
１のリニアアクチュエータ１５はそのままで、左右側の
リニアアクチュエータ１５の作動ロッド１６を等量同方
向、即ち図中下方向又は上方向に移動すると、下側のレ
ール１２が軸受本体１３に対して移動してステージ２は
下方に移動する。
【００２０】次に、図中下側の直動軸受１１のリニアア
クチュエータ１５はそのままで、左側の直動軸受１１の
リニアアクチュエータ１５の作動ロッド１６を伸長させ
ると共に、右側の直動軸受１１のリニアアクチュエータ
１５の作動ロッド１６を短縮させると、ステージ２は図
中時計方向に旋回する。この際の各部材間の距離の変化
は、各ヒンジ部１４の回りの回動と、各軸受本体１３に
対する各レール１２の移動により吸収するため、機構上
の不都合は起こらない。
クチュエータ１５はそのままで、左側の直動軸受１１の
リニアアクチュエータ１５の作動ロッド１６を伸長させ
ると共に、右側の直動軸受１１のリニアアクチュエータ
１５の作動ロッド１６を短縮させると、ステージ２は図
中時計方向に旋回する。この際の各部材間の距離の変化
は、各ヒンジ部１４の回りの回動と、各軸受本体１３に
対する各レール１２の移動により吸収するため、機構上
の不都合は起こらない。
【００２１】以上の構成において、支持ユニット３は、
図１に示すように対向位置に一対構成する他、夫々の枠
部の一辺の両端と、対向する辺の中間の３個所に設置し
て、いわゆる３点支持式に支持することもできる。勿
論、支持ユニット３の設置数は、支持台１やステージ２
の形状や大きさ等に応じて適宜に設定することができ
る。また図の構成とは逆に、図示は省略するが、内側支
持板２６の取付部材３１をステージ２の枠部に取付ける
と共に、外側支持板６を支持台１の枠部に取り付けるこ
とにより支持台１上にステージ２を支持することもでき
る。
図１に示すように対向位置に一対構成する他、夫々の枠
部の一辺の両端と、対向する辺の中間の３個所に設置し
て、いわゆる３点支持式に支持することもできる。勿
論、支持ユニット３の設置数は、支持台１やステージ２
の形状や大きさ等に応じて適宜に設定することができ
る。また図の構成とは逆に、図示は省略するが、内側支
持板２６の取付部材３１をステージ２の枠部に取付ける
と共に、外側支持板６を支持台１の枠部に取り付けるこ
とにより支持台１上にステージ２を支持することもでき
る。
【００２２】
【発明の効果】本発明は、以上のとおりであるので、次
のような効果がある。ａ． 縦、横移動機構と旋回支持機構を上下に重ねて組み
合わせずにステージの縦横移動旋回支持機構を構成する
ことができる。ｂ． 縦横移動旋回させるステージは枠状に構成すること
ができるので、機構の軽量化を図ることができる。ｃ． 枠状のステージにより、縦横移動旋回可能な支持部
材や駆動部材に邪魔されない貫通空間を構成することが
できるので、この貫通空間を通した露光等、貫通空間を
有効に利用することができる。ｄ． 精密加工を必要とする支持ユニットの小型化を図
れ、加工が容易となる。ｅ． 支持ユニットを細長形状に構成して、長さ方向のス
トロークを大きくすることが可能である。ｆ． 支持ユニットを細長形状に構成したものでは、最少
２つの設置により枠状のステージを自由運動可能に支持
することができる。
のような効果がある。ａ． 縦、横移動機構と旋回支持機構を上下に重ねて組み
合わせずにステージの縦横移動旋回支持機構を構成する
ことができる。ｂ． 縦横移動旋回させるステージは枠状に構成すること
ができるので、機構の軽量化を図ることができる。ｃ． 枠状のステージにより、縦横移動旋回可能な支持部
材や駆動部材に邪魔されない貫通空間を構成することが
できるので、この貫通空間を通した露光等、貫通空間を
有効に利用することができる。ｄ． 精密加工を必要とする支持ユニットの小型化を図
れ、加工が容易となる。ｅ． 支持ユニットを細長形状に構成して、長さ方向のス
トロークを大きくすることが可能である。ｆ． 支持ユニットを細長形状に構成したものでは、最少
２つの設置により枠状のステージを自由運動可能に支持
することができる。
【図１】 本発明の支持機構の平面図である。
【図２】 支持ユニットの更に他の実施の形態の斜視図
である。
である。
【図３】 図２の支持ユニットの平面図である。
【図４】 図２の支持ユニットの正面図である。
【図５】 図２の支持ユニットの側面図である。
１ 支持台 ２ ステージ ３ 支持ユニット ４ａ，４ｂ 窓部 ２６ 内側支持板 ２７ａ，２７ｂ 外側支持板 ２８ａ，２８ｂ 凹部 ２９ａ，２９ｂ 凸部 ３０ 結合部材 ３１ 取付部材 ３２ 保持部材 ３３ ボール ３４ ストッパー ３５ 遊び孔
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B23Q 1/00 - 1/76 B23Q 5/22 B23Q 5/34 G12B 5/00 H01L 21/68
Claims (6)
- 【請求項１】 内側支持板と２つの外側支持板の縁に、
夫々の位置をずらして複数の凹部を構成し、２つの外側
支持板を内側支持板の凹部の位置において結合部材によ
り結合することにより、内側支持板と、この内側支持板
を挟んで一体に結合した２つの外側支持板とを備え、内
側支持板と夫々の外側支持板間に保持部材に保持したボ
ールを介装して、内側支持板と外側支持板を平面上で相
対的に自由運動可能として、夫々内側支持板側と外側支
持板側を取付部とした支持ユニットを構成し、内側支持
板の取付部材は、一方側の外側支持板の凹部の位置にお
いて突出させた構成とし、この支持ユニットを支持台と
ステージ間に複数取付けて構成したことを特徴とするス
テージの縦横移動旋回支持機構 - 【請求項２】 内側支持板側を支持台に取付け、外側支
持板側をステージに取付ける構成としたことを特徴とす
る請求項１記載のステージの縦横移動旋回支持機構 - 【請求項３】 内側支持板側をステージに取付け、外側
支持板側を支持台に取付ける構成としたことを特徴とす
る請求項１記載のステージの縦横移動旋回支持機構 - 【請求項４】 支持ユニットを細長形状に構成したこと
を特徴とする請求項１〜３までのいずれか１項に記載の
ステージの縦横移動旋回支持機構 - 【請求項５】 少なくともステージを枠状に形成して中
央部に窓部を構成し、枠部に複数の支持ユニットを設置
することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記
載のステージの縦横移動旋回支持機構 - 【請求項６】 支持ユニットは細長形状に構成し、ステ
ージの対向する枠部に一対設置したことを特徴とする請
求項５記載のステージの縦横移動旋回支持機構
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7313920A JP2940663B2 (ja) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | ステージの縦横移動旋回支持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7313920A JP2940663B2 (ja) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | ステージの縦横移動旋回支持機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09155666A JPH09155666A (ja) | 1997-06-17 |
| JP2940663B2 true JP2940663B2 (ja) | 1999-08-25 |
Family
ID=18047117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7313920A Expired - Fee Related JP2940663B2 (ja) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | ステージの縦横移動旋回支持機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2940663B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11300557A (ja) | 1998-04-15 | 1999-11-02 | Thk Co Ltd | 移動テーブル装置 |
| JP3604686B1 (ja) * | 2003-06-03 | 2004-12-22 | 株式会社ファースト | ４軸ＸＹθテーブルとその制御方法 |
| JP4742663B2 (ja) * | 2005-04-26 | 2011-08-10 | 株式会社安川電機 | アライメント装置 |
| JP2009063540A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-03-26 | Hiwin Mikrosystem Corp | 超高正方向負荷用位置合せ装置 |
| JP5843458B2 (ja) * | 2011-03-29 | 2016-01-13 | ヒーハイスト精工株式会社 | 滑動テーブル |
| KR200465028Y1 (ko) * | 2011-03-29 | 2013-02-07 | 지엠티 글로벌 아이엔씨 | 고부하 얼라인먼트 보정구동플랫폼장치 |
| KR200469098Y1 (ko) * | 2012-03-20 | 2013-09-23 | 지엠티 글로벌 아이엔씨 | 얼라인먼트 플랫폼 구조. |
| JP6213207B2 (ja) * | 2013-12-17 | 2017-10-18 | 日本精工株式会社 | ＸＹθテーブル装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62282294A (ja) * | 1986-05-30 | 1987-12-08 | 松下電器産業株式会社 | 位置決めテ−プル |
| JPH01240246A (ja) * | 1988-03-22 | 1989-09-25 | Kazuya Hirose | テーブルの縦横移動機構 |
| JPH01242989A (ja) * | 1988-03-24 | 1989-09-27 | Kazuya Hirose | テーブルの縦横移動旋回機構 |
| JPH029550A (ja) * | 1988-12-21 | 1990-01-12 | Hitachi Ltd | ６自由度微動ステージの駆動装置 |
| JP2515316Y2 (ja) * | 1990-03-13 | 1996-10-30 | エヌティエヌ株式会社 | 移動テーブル |
| JPH04128130U (ja) * | 1991-05-13 | 1992-11-24 | エヌテイエヌ株式会社 | 移動テーブル |
| JPH07181276A (ja) * | 1993-12-22 | 1995-07-21 | Toshiba Corp | テーブル装置 |
-
1995
- 1995-12-01 JP JP7313920A patent/JP2940663B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09155666A (ja) | 1997-06-17 |
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