JP2882745B2 - マガジン位置決め排出装置及びこれを具備したボンディング装置 - Google Patents
マガジン位置決め排出装置及びこれを具備したボンディング装置Info
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- JP2882745B2 JP2882745B2 JP3190294A JP3190294A JP2882745B2 JP 2882745 B2 JP2882745 B2 JP 2882745B2 JP 3190294 A JP3190294 A JP 3190294A JP 3190294 A JP3190294 A JP 3190294A JP 2882745 B2 JP2882745 B2 JP 2882745B2
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- discharging
- lead frame
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、マガジン位置決め排出
装置とこれを具備したボンディング装置とに関する。
装置とこれを具備したボンディング装置とに関する。
【0002】
【従来技術】この種の装置の一例として、図12乃至図
14に示すワイヤボンディング装置がある。なお、当該
ワイヤボンディング装置はその詳細な構成が実開平4−
20232号公報等において開示されている故、ここで
は装置全体としての説明は概略に留め、要部のみについ
て詳しく説明する。
14に示すワイヤボンディング装置がある。なお、当該
ワイヤボンディング装置はその詳細な構成が実開平4−
20232号公報等において開示されている故、ここで
は装置全体としての説明は概略に留め、要部のみについ
て詳しく説明する。
【0003】図12に示すように、当該ワイヤボンディ
ング装置においては、複数枚のリードフレームL\Fを
配列収容(紙面に対して垂直な方向において配列)した
マガジンMがマガジン位置決め排出装置としてのローダ
151に装填される。該各リードフレームL\Fにはそ
の長手方向に沿って複数のICチップ153が等ピッチ
にて装着されている。
ング装置においては、複数枚のリードフレームL\Fを
配列収容(紙面に対して垂直な方向において配列)した
マガジンMがマガジン位置決め排出装置としてのローダ
151に装填される。該各リードフレームL\Fにはそ
の長手方向に沿って複数のICチップ153が等ピッチ
にて装着されている。
【0004】装填されたマガジンM内の各リードフレー
ムL\Fのうち例えば最下段の1枚が図示しないフレー
ム移送手段によって取り出され、ボンディングステージ
たるヒータープレート155上に移送される。なお、該
フレーム移送手段により移送されるリードフレームL\
Fは、その両側に対応するように配置された1対のガイ
ドレール157、158により案内される。
ムL\Fのうち例えば最下段の1枚が図示しないフレー
ム移送手段によって取り出され、ボンディングステージ
たるヒータープレート155上に移送される。なお、該
フレーム移送手段により移送されるリードフレームL\
Fは、その両側に対応するように配置された1対のガイ
ドレール157、158により案内される。
【0005】上記のようにリードフレームL\Fがヒー
タープレート155上に達すると、上記フレーム移送手
段は該リードフレームL\Fを各ICチップ153の配
列ピッチずつ間欠送りし、これに伴って各ICチップ1
53と該リードフレームに形成されているリード(図示
せず)とが、ボンディング手段160により導電性のワ
イヤを用いてボンディング接続される。そして、ボンデ
ィングを完了したリードフレームL\Fは、上記フレー
ム移送手段によって更に後送され、ローダ151と同様
の構成を有するマガジン位置決め排出装置としてのアン
ローダ162に装填されている空のマガジンM内に収容
される。
タープレート155上に達すると、上記フレーム移送手
段は該リードフレームL\Fを各ICチップ153の配
列ピッチずつ間欠送りし、これに伴って各ICチップ1
53と該リードフレームに形成されているリード(図示
せず)とが、ボンディング手段160により導電性のワ
イヤを用いてボンディング接続される。そして、ボンデ
ィングを完了したリードフレームL\Fは、上記フレー
ム移送手段によって更に後送され、ローダ151と同様
の構成を有するマガジン位置決め排出装置としてのアン
ローダ162に装填されている空のマガジンM内に収容
される。
【0006】次に、後述する位置決め手段が作動するこ
とによって、マガジンMがその収容した各リードフレー
ムL\Fの配列ピッチの1ピッチ分だけ下降させられ、
上記の一連の動作が最下段から2枚目のリードフレーム
について行われる。以下、マガジンM内の各リードフレ
ームL\Fについてボンディングを終了するまで繰り返
される。
とによって、マガジンMがその収容した各リードフレー
ムL\Fの配列ピッチの1ピッチ分だけ下降させられ、
上記の一連の動作が最下段から2枚目のリードフレーム
について行われる。以下、マガジンM内の各リードフレ
ームL\Fについてボンディングを終了するまで繰り返
される。
【0007】ここで、上記ローダ151について詳述す
る。なお、前述したように、アンローダ162に関して
はローダ151と同様の構成である故、その説明を省略
する。
る。なお、前述したように、アンローダ162に関して
はローダ151と同様の構成である故、その説明を省略
する。
【0008】図12にその概略を示すように、ローダ1
51は、マガジンM内に配列収容された各リードフレー
ムL\Fを前述したフレーム移送手段をして1枚ずつ押
し出させるために該マガジンMをリードフレームL\F
の配列ピッチずつ下降若しくは上昇(紙面に対して垂直
な方向)させて位置決めする位置決め手段165と、該
位置決め手段165を搭載した可動ベース166と、該
可動ベース166上に設けられて該マガジンMをその移
動方向に対して垂直な水平面内において規制する規制手
段167とを有している。但し、該規制手段167によ
るマガジンMの規制とは、マガジンMを完全に固定状態
とする訳ではなく、マガジンMとの間に適当な隙間を隔
てての規制であり、上記位置決め手段165の作動によ
るマガジンMの下降(若しくは上昇)動作を可能とする
ものである。
51は、マガジンM内に配列収容された各リードフレー
ムL\Fを前述したフレーム移送手段をして1枚ずつ押
し出させるために該マガジンMをリードフレームL\F
の配列ピッチずつ下降若しくは上昇(紙面に対して垂直
な方向)させて位置決めする位置決め手段165と、該
位置決め手段165を搭載した可動ベース166と、該
可動ベース166上に設けられて該マガジンMをその移
動方向に対して垂直な水平面内において規制する規制手
段167とを有している。但し、該規制手段167によ
るマガジンMの規制とは、マガジンMを完全に固定状態
とする訳ではなく、マガジンMとの間に適当な隙間を隔
てての規制であり、上記位置決め手段165の作動によ
るマガジンMの下降(若しくは上昇)動作を可能とする
ものである。
【0009】上記可動ベース166は、当該ワイヤボン
ディング装置の本体である架台170上に図示しない案
内機構を介して取り付けられ、矢印0にて示す方向、す
なわち前述の両ガイドレール157,158により画定
されるフレーム搬送路に対して垂直な方向において位置
調整可能となっている。そして、図13に示す調整手段
172により移動させられる。図示のように、この調整
手段172は、可動ベース166が移動すべき方向0に
おいて延在して設けられてその両端部にて軸受174に
より軸支されたねじ軸175と、該ねじ軸175に螺合
すると共に可動ベース166に結合されたナット176
と、該ねじ軸175を回転駆動するパルスモータ177
とを備えている。
ディング装置の本体である架台170上に図示しない案
内機構を介して取り付けられ、矢印0にて示す方向、す
なわち前述の両ガイドレール157,158により画定
されるフレーム搬送路に対して垂直な方向において位置
調整可能となっている。そして、図13に示す調整手段
172により移動させられる。図示のように、この調整
手段172は、可動ベース166が移動すべき方向0に
おいて延在して設けられてその両端部にて軸受174に
より軸支されたねじ軸175と、該ねじ軸175に螺合
すると共に可動ベース166に結合されたナット176
と、該ねじ軸175を回転駆動するパルスモータ177
とを備えている。
【0010】次に、上記位置決め手段165については
下記のように構成されている。
下記のように構成されている。
【0011】すなわち、図13に示すように、矢印Zに
て示す上下方向において延在して設けられて軸受180
を介して可動ベース166に取り付けられたねじ軸18
1と、該ねじ軸181を回転駆動するパルスモータ18
2と、該ねじ軸181に螺合した昇降部材183と、該
昇降部材183に結合し、マガジンMを担持する可動担
持部材としてのマガジン受部185と、該マガジン受部
185の先端部に摺動可能(矢印P方向)に設けられて
マガジンMを押え保持するためのチャック186とを有
している。
て示す上下方向において延在して設けられて軸受180
を介して可動ベース166に取り付けられたねじ軸18
1と、該ねじ軸181を回転駆動するパルスモータ18
2と、該ねじ軸181に螺合した昇降部材183と、該
昇降部材183に結合し、マガジンMを担持する可動担
持部材としてのマガジン受部185と、該マガジン受部
185の先端部に摺動可能(矢印P方向)に設けられて
マガジンMを押え保持するためのチャック186とを有
している。
【0012】一方、上記位置決め手段165と共に可動
ベース166上に設けられた規制手段167について
は、図14に示すように構成されている。
ベース166上に設けられた規制手段167について
は、図14に示すように構成されている。
【0013】図14に示すように、この規制手段167
は、略L字状に形成されたフレーム190を有してお
り、該フレーム190は上記可動ベース166に対して
固定されている。また、該フレーム190の屈曲部の近
傍には断面形状がL字状の規制部材192が配置されて
おり、これも上記可動ベース166に対して固定されて
いる。
は、略L字状に形成されたフレーム190を有してお
り、該フレーム190は上記可動ベース166に対して
固定されている。また、該フレーム190の屈曲部の近
傍には断面形状がL字状の規制部材192が配置されて
おり、これも上記可動ベース166に対して固定されて
いる。
【0014】上記フレーム190の一辺には、上記の規
制部材192と協働してマガジンMをその幅方向(矢印
R方向)において規制するための規制部材193が該幅
方向において移動可能に取り付けられている。この規制
部材193にはナット194が固着され、フレーム19
0に該規制部材193の移動方向と平行に取り付けられ
たねじ軸195に該ナット194が螺合している。ま
た、フレーム190上には、該ねじ軸195を回転駆動
するパルスモータ197が固設されている。なお、両規
制部材192、193は、その各々の長さ(図14にお
ける紙面に対して垂直な方向の寸法)が、複数のマガジ
ンMを重ねた状態でガイドできるように設定されてい
る。
制部材192と協働してマガジンMをその幅方向(矢印
R方向)において規制するための規制部材193が該幅
方向において移動可能に取り付けられている。この規制
部材193にはナット194が固着され、フレーム19
0に該規制部材193の移動方向と平行に取り付けられ
たねじ軸195に該ナット194が螺合している。ま
た、フレーム190上には、該ねじ軸195を回転駆動
するパルスモータ197が固設されている。なお、両規
制部材192、193は、その各々の長さ(図14にお
ける紙面に対して垂直な方向の寸法)が、複数のマガジ
ンMを重ねた状態でガイドできるように設定されてい
る。
【0015】上記規制部材193には、その略全長にわ
たってカム199が設けられている。このカム199
は、図13に示したチャック186をマガジン受部18
5上のマガジンMに対して脱着させるべく駆動するもの
である。
たってカム199が設けられている。このカム199
は、図13に示したチャック186をマガジン受部18
5上のマガジンMに対して脱着させるべく駆動するもの
である。
【0016】一方、フレーム190の他方の辺には、固
定側としての上記規制部材192と協働してマガジンM
をその長さ方向(矢印S方向)において規制するための
規制部材203が該長さ方向において移動可能に取り付
けられている。該規制部材203にはナット204が固
着され、フレーム190に該規制部材203の移動方向
と平行に取り付けられたねじ軸205に該ナット204
が螺合している。また、フレーム190には、該ねじ軸
205を回転駆動するパルスモータ207が固設されて
いる。なお、該規制部材203は、上下方向(紙面に対
して垂直な方向)において、上記した規制部材192及
び193と略同じ長さを有している。
定側としての上記規制部材192と協働してマガジンM
をその長さ方向(矢印S方向)において規制するための
規制部材203が該長さ方向において移動可能に取り付
けられている。該規制部材203にはナット204が固
着され、フレーム190に該規制部材203の移動方向
と平行に取り付けられたねじ軸205に該ナット204
が螺合している。また、フレーム190には、該ねじ軸
205を回転駆動するパルスモータ207が固設されて
いる。なお、該規制部材203は、上下方向(紙面に対
して垂直な方向)において、上記した規制部材192及
び193と略同じ長さを有している。
【0017】また、図14に示すように、上記規制部材
203の所定位置にはマガジンプッシャー210が設け
られている。
203の所定位置にはマガジンプッシャー210が設け
られている。
【0018】次に、上記した構成のローダ151の動作
について説明する。
について説明する。
【0019】まず、図14に示す各規制部材192、1
93及び203により囲まれる空間内に、上方から、複
数のマガジンMを重ねるようにして挿入し、図13に示
すマガジン受部185上に載置する。この状態で作動指
令信号が発せられ、図14に示す各パルスモータ10
7、207が共に正回転させられる。これにより、両規
制部材193及び203が各々規制部材192に向けて
移動し、各マガジンMは規制される。なお、この規制動
作が完了したことは、上記両規制部材193、203上
に設けられた検知手段212及び213(図14参照)
によって検知される。また、この規制動作と同時に、図
13に示すパルスモータ177が回転させられて可動ベ
ース166が移動し、図12に示す各ガイドレール15
7、158により画定されるフレーム搬送路に対してマ
ガジンM内のリードフレームL\Fが円滑に流入すべ
く、マガジンMの幅方向の位置出しが行われる。但し、
前述してように、このとき、上記各規制部材192、1
93、203とマガジンMとの間には適当な隙間が設け
られ、図13に示す位置決め手段165の作動によるマ
ガジンMの下降(若しくは上昇)動作を可能とする。
93及び203により囲まれる空間内に、上方から、複
数のマガジンMを重ねるようにして挿入し、図13に示
すマガジン受部185上に載置する。この状態で作動指
令信号が発せられ、図14に示す各パルスモータ10
7、207が共に正回転させられる。これにより、両規
制部材193及び203が各々規制部材192に向けて
移動し、各マガジンMは規制される。なお、この規制動
作が完了したことは、上記両規制部材193、203上
に設けられた検知手段212及び213(図14参照)
によって検知される。また、この規制動作と同時に、図
13に示すパルスモータ177が回転させられて可動ベ
ース166が移動し、図12に示す各ガイドレール15
7、158により画定されるフレーム搬送路に対してマ
ガジンM内のリードフレームL\Fが円滑に流入すべ
く、マガジンMの幅方向の位置出しが行われる。但し、
前述してように、このとき、上記各規制部材192、1
93、203とマガジンMとの間には適当な隙間が設け
られ、図13に示す位置決め手段165の作動によるマ
ガジンMの下降(若しくは上昇)動作を可能とする。
【0020】次いで、図13に示すパルスモータ182
が回転させられ、各マガジンMはこれを担持したマガジ
ン受部185と共に、収容しているリードフレームL\
Fの配列ピッチずつ下降する。前述したように、このマ
ガジンMの下降動作に連動して、リードフレームL\F
が1枚ずつマガジン外に取り出され、ボンディングが行
われる。
が回転させられ、各マガジンMはこれを担持したマガジ
ン受部185と共に、収容しているリードフレームL\
Fの配列ピッチずつ下降する。前述したように、このマ
ガジンMの下降動作に連動して、リードフレームL\F
が1枚ずつマガジン外に取り出され、ボンディングが行
われる。
【0021】かくして、1つ目、すなわち最下段のマガ
ジンM内のすべてのリードフレームL\Fについてボン
ディングが終了して該マガジンMが空になると、図14
に示したマガジンプッシャー210が突出動作させら
れ、これによって、上方に位置する2つ目のマガジンM
が規制部材192に対して押圧固定される。そして、空
になった1つ目のマガジンMのみがマガジン受部185
と共に更に下降させられて回収位置に達し、該マガジン
受部185上から回収される。
ジンM内のすべてのリードフレームL\Fについてボン
ディングが終了して該マガジンMが空になると、図14
に示したマガジンプッシャー210が突出動作させら
れ、これによって、上方に位置する2つ目のマガジンM
が規制部材192に対して押圧固定される。そして、空
になった1つ目のマガジンMのみがマガジン受部185
と共に更に下降させられて回収位置に達し、該マガジン
受部185上から回収される。
【0022】1つ目のマガジンが回収されると、マガジ
ン受部185は再び上昇させられ、2つ目のマガジンM
の底面に当接してこれを受ける。この時点で上記マガジ
ンプッシャー210が引込動作させられ、該マガジンM
はマガジン受部185により担持される。以下、1つ目
のマガジンに対すると同様の一連の動作が行われ、この
2つ目のマガジンM内の各リードフレームL\Fに関し
てもボンディングが施される。
ン受部185は再び上昇させられ、2つ目のマガジンM
の底面に当接してこれを受ける。この時点で上記マガジ
ンプッシャー210が引込動作させられ、該マガジンM
はマガジン受部185により担持される。以下、1つ目
のマガジンに対すると同様の一連の動作が行われ、この
2つ目のマガジンM内の各リードフレームL\Fに関し
てもボンディングが施される。
【0023】ところで、上述したマガジンMの回収のた
めに、下記の構成が多く採用される。
めに、下記の構成が多く採用される。
【0024】図13において、マガジン受部185につ
き、これが最上昇位置及び最下降位置にある状態を夫々
実線及び二点鎖線にて示している。この最上昇位置と
は、前述したマガジンプッシャー210(図14参照)
が引込動作を行うことによって、リードフレームL\F
を収容したマガジンMが当該マガジン受部185に対し
て供給される供給位置である。また、最下降位置とは、
空になったマガジンMを回収すべき位置まで持ち来すた
めの位置である。図示のように、この回収位置にはマガ
ジンMを受ける受台215が設けられ、マガジン受部1
85が上記最下降位置に至ることにより、マガジンMは
該受台215上に載置される。なお、該マガジンMは、
マガジン受部185が該最下降位置に達するよりも少し
上方にて受台215上に当接してこれに載せられるので
あり、マガジン受部185は該最下降位置に達した時点
では該マガジンMから離脱する状態となる。
き、これが最上昇位置及び最下降位置にある状態を夫々
実線及び二点鎖線にて示している。この最上昇位置と
は、前述したマガジンプッシャー210(図14参照)
が引込動作を行うことによって、リードフレームL\F
を収容したマガジンMが当該マガジン受部185に対し
て供給される供給位置である。また、最下降位置とは、
空になったマガジンMを回収すべき位置まで持ち来すた
めの位置である。図示のように、この回収位置にはマガ
ジンMを受ける受台215が設けられ、マガジン受部1
85が上記最下降位置に至ることにより、マガジンMは
該受台215上に載置される。なお、該マガジンMは、
マガジン受部185が該最下降位置に達するよりも少し
上方にて受台215上に当接してこれに載せられるので
あり、マガジン受部185は該最下降位置に達した時点
では該マガジンMから離脱する状態となる。
【0025】上記のように受台215上に載置されたマ
ガジンMを作業者等による回収作業に供すべく前方に向
けて排出するマガジン排出手段が設けられている。この
マガジン排出手段は、図13において各々二点鎖線及び
実線で示す排出位置及び非排出位置の間で往復動自在に
してマガジンMを排出するための排出部材217と、該
排出部材217を作動させるエアシリンダ機構などの駆
動手段(図示せず)とからなる。該排出手段は、前述し
た位置決め手段165との関係から、図15に示すタイ
ミングにて作動する。
ガジンMを作業者等による回収作業に供すべく前方に向
けて排出するマガジン排出手段が設けられている。この
マガジン排出手段は、図13において各々二点鎖線及び
実線で示す排出位置及び非排出位置の間で往復動自在に
してマガジンMを排出するための排出部材217と、該
排出部材217を作動させるエアシリンダ機構などの駆
動手段(図示せず)とからなる。該排出手段は、前述し
た位置決め手段165との関係から、図15に示すタイ
ミングにて作動する。
【0026】図15における(a)は、上記位置決め手
段165が具備するマガジン受部185の位置と、ボン
ディング装置作動の経過時間との関係を示す図である。
また、図15の(b)はこの図15の(a)における経
過時間に対応して上記排出手段が如何に作動するかを示
す図であり、該図においてONとは上記排出部材217
が排出位置に移動している状態を示し、OFFは非排出
位置に移動している状態を示す。該図に示すように、ボ
ンディング作業に伴うマガジン受部185の1ピッチず
つの間欠的下降動作によって時間t2 −t1 が経過し、
この時刻t2 に達すると該マガジン受部185は最下降
位置に速やかに下降する。これにより、空となった1つ
目のマガジンMが図13に示す受台215上に載置され
る。この載置と同時に上記排出部材217が非排出位置
から排出位置に向けて移動して該マガジンMは装置の前
方に排出され、作業者等により回収される。この後、時
間t3 −t2 の経過を待ってマガジン受部185が最上
昇位置へと移動し、続く時間t4 −t3 の間に2つ目の
マガジンMが供給され、担持する。また、この時刻t3
において上記排出部材217が非排出位置に戻される。
そして、この2つ目のマガジン内の各リードフレームに
関するボンディング作業に時間t5 −t4 が経過し、以
降、上記と同様に一連の作業が続けられる。
段165が具備するマガジン受部185の位置と、ボン
ディング装置作動の経過時間との関係を示す図である。
また、図15の(b)はこの図15の(a)における経
過時間に対応して上記排出手段が如何に作動するかを示
す図であり、該図においてONとは上記排出部材217
が排出位置に移動している状態を示し、OFFは非排出
位置に移動している状態を示す。該図に示すように、ボ
ンディング作業に伴うマガジン受部185の1ピッチず
つの間欠的下降動作によって時間t2 −t1 が経過し、
この時刻t2 に達すると該マガジン受部185は最下降
位置に速やかに下降する。これにより、空となった1つ
目のマガジンMが図13に示す受台215上に載置され
る。この載置と同時に上記排出部材217が非排出位置
から排出位置に向けて移動して該マガジンMは装置の前
方に排出され、作業者等により回収される。この後、時
間t3 −t2 の経過を待ってマガジン受部185が最上
昇位置へと移動し、続く時間t4 −t3 の間に2つ目の
マガジンMが供給され、担持する。また、この時刻t3
において上記排出部材217が非排出位置に戻される。
そして、この2つ目のマガジン内の各リードフレームに
関するボンディング作業に時間t5 −t4 が経過し、以
降、上記と同様に一連の作業が続けられる。
【0027】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の装置に
おいては、一旦排出されたマガジンMが装置の振動によ
って、受台215上を装置後方(図13における右方)
に向けて逆戻りすることが懸念され、この場合、後続の
マガジンMを担持して下降してくるマガジン受部185
が該マガジンに衝突し、両者が損傷する恐れがある。
おいては、一旦排出されたマガジンMが装置の振動によ
って、受台215上を装置後方(図13における右方)
に向けて逆戻りすることが懸念され、この場合、後続の
マガジンMを担持して下降してくるマガジン受部185
が該マガジンに衝突し、両者が損傷する恐れがある。
【0028】本発明は上記従来技術の欠点に鑑みてなさ
れたものであって、排出したマガジンと装置作動部との
衝突を防止したマガジン位置決め排出装置及びこれを具
備したボンディング装置を提供することを目的としてい
る。
れたものであって、排出したマガジンと装置作動部との
衝突を防止したマガジン位置決め排出装置及びこれを具
備したボンディング装置を提供することを目的としてい
る。
【0029】
【課題を解決するための手段】本発明は、フレームを複
数枚配列収容するマガジンを該マガジンが供給される供
給位置にて可動担持部材上に担持してフレーム配列方向
において移動させて位置決めすると共に、所定回収位置
まで持ち来し得る位置決め手段と、排出位置及び非排出
位置の間で往復動自在な排出部材を具備して前記回収位
置に至ったマガジンを該排出部材によって前記位置決め
手段による位置決めの方向に対して交差する方向に排出
するマガジン排出手段とを有するマガジン位置決め排出
装置において、排出したマガジンの排出方向とは反対側
の面に係合し得る位置に前記可動担持部材が達したとき
に前記排出部材を前記排出位置から非排出位置に作動さ
せるように構成したものである。また、本発明は、フレ
ームを複数枚配列収容するマガジンを該マガジンが供給
される供給位置にて可動担持部材上に担持してフレーム
配列方向において移動させて位置決めすると共に、所定
回収位置まで持ち来し得る位置決め手段と、前記フレー
ムを該マガジン及びボンディングステージの間で移送す
るフレーム移送手段と、排出位置及び非排出位置の間で
往復動自在な排出部材を具備して前記回収位置に至った
マガジンを該排出部材によって前記位置決め手段による
位置決めの方向に対して交差する方向に排出するマガジ
ン排出手段とを有するボンディング装置において、排出
したマガジンの排出方向とは反対側の面に係合し得る位
置に前記可動担持部材が達したときに前記排出部材を前
記排出位置から非排出位置に作動させるように構成した
ものである。
数枚配列収容するマガジンを該マガジンが供給される供
給位置にて可動担持部材上に担持してフレーム配列方向
において移動させて位置決めすると共に、所定回収位置
まで持ち来し得る位置決め手段と、排出位置及び非排出
位置の間で往復動自在な排出部材を具備して前記回収位
置に至ったマガジンを該排出部材によって前記位置決め
手段による位置決めの方向に対して交差する方向に排出
するマガジン排出手段とを有するマガジン位置決め排出
装置において、排出したマガジンの排出方向とは反対側
の面に係合し得る位置に前記可動担持部材が達したとき
に前記排出部材を前記排出位置から非排出位置に作動さ
せるように構成したものである。また、本発明は、フレ
ームを複数枚配列収容するマガジンを該マガジンが供給
される供給位置にて可動担持部材上に担持してフレーム
配列方向において移動させて位置決めすると共に、所定
回収位置まで持ち来し得る位置決め手段と、前記フレー
ムを該マガジン及びボンディングステージの間で移送す
るフレーム移送手段と、排出位置及び非排出位置の間で
往復動自在な排出部材を具備して前記回収位置に至った
マガジンを該排出部材によって前記位置決め手段による
位置決めの方向に対して交差する方向に排出するマガジ
ン排出手段とを有するボンディング装置において、排出
したマガジンの排出方向とは反対側の面に係合し得る位
置に前記可動担持部材が達したときに前記排出部材を前
記排出位置から非排出位置に作動させるように構成した
ものである。
【0030】
【実施例】次に、本発明の実施例としてのワイヤボンデ
ィング装置について添付図面を参照しつつ説明する。な
お、本実施例ではワイヤボンディングを例として説明す
るが、本発明はダイボンディング等にも適用可能である
ことは勿論である。また、当該ワイヤボンディング装置
は、以下に説明する部分以外は図12乃至図14に示し
た従来のワイヤボンディング装置と同様に構成されてい
る故、ワイヤボンディング装置全体としての説明は省略
し、要部のみの説明に留める。また、以下の説明におい
て、該従来のワイヤボンディング装置の構成部分と同一
の構成部分に関しては同じ参照符号を付している。
ィング装置について添付図面を参照しつつ説明する。な
お、本実施例ではワイヤボンディングを例として説明す
るが、本発明はダイボンディング等にも適用可能である
ことは勿論である。また、当該ワイヤボンディング装置
は、以下に説明する部分以外は図12乃至図14に示し
た従来のワイヤボンディング装置と同様に構成されてい
る故、ワイヤボンディング装置全体としての説明は省略
し、要部のみの説明に留める。また、以下の説明におい
て、該従来のワイヤボンディング装置の構成部分と同一
の構成部分に関しては同じ参照符号を付している。
【0031】図1乃至図3において参照符号1にて示す
のはマガジン位置決め排出装置としてのローダであり、
該ローダ1は図12における各ガイドレール157、1
58及びボンディング手段160の左側、すなわちリー
ドフレーム搬送方向上流側に配置される。該ローダ1に
は未ボンディング状態のリードフレームL\Fを多数配
列収容したマガジンMが装填され、該マガジンから該リ
ードフレームL\Fを1枚ずつ取り出してボンディング
手段160に向けて供給することを行う。なお、図12
における各ガイドレール157、158の右側には、他
のマガジン位置決め排出装置として、空のマガジンMが
装填されたアンローダ(図示せず)が配設されている。
該アンローダは、上記ボンディング手段160によりボ
ンディングを施されて搬送されてくるリードフレームL
\Fを該マガジン内に順次受け入れて配列収納すること
を行う。該アンローダは上記ローダ1とほぼ同様の構成
である故、該アンローダについての説明は省略し、ロー
ダ1についてのみ説明する。
のはマガジン位置決め排出装置としてのローダであり、
該ローダ1は図12における各ガイドレール157、1
58及びボンディング手段160の左側、すなわちリー
ドフレーム搬送方向上流側に配置される。該ローダ1に
は未ボンディング状態のリードフレームL\Fを多数配
列収容したマガジンMが装填され、該マガジンから該リ
ードフレームL\Fを1枚ずつ取り出してボンディング
手段160に向けて供給することを行う。なお、図12
における各ガイドレール157、158の右側には、他
のマガジン位置決め排出装置として、空のマガジンMが
装填されたアンローダ(図示せず)が配設されている。
該アンローダは、上記ボンディング手段160によりボ
ンディングを施されて搬送されてくるリードフレームL
\Fを該マガジン内に順次受け入れて配列収納すること
を行う。該アンローダは上記ローダ1とほぼ同様の構成
である故、該アンローダについての説明は省略し、ロー
ダ1についてのみ説明する。
【0032】ローダ1は、図2乃至図4において参照符
号5にて示す位置決め手段を有している。この位置決め
手段5には上述したように多数のリードフレームL\F
を収容したマガジンMが装着され、該位置決め手段5は
該マガジンMをその収容したリードフレームL\Fの配
列ピッチずつ間欠的に下降させて位置決めすることを行
う。また、図1において参照符号6にて示すのは押出手
段であり、該押出手段6は、上記位置決め手段5による
マガジンMの間欠的な下降位置決め動作に合わせ、該マ
ガジンM内の各リードフレームL\Fを最下段のものか
ら1枚ずつボンディング位置に向けて移送すべく押し出
すことを行う。なお、該押出手段6によりマガジンM外
に押し出されたリードフレームL\Fは、図示しないフ
レーム移送手段によってボンディング位置に向けて移送
され、ボンディング終了後は該フレーム移送手段によっ
て更に後送されて前述したアンローダ上のマガジンM内
に収容される。
号5にて示す位置決め手段を有している。この位置決め
手段5には上述したように多数のリードフレームL\F
を収容したマガジンMが装着され、該位置決め手段5は
該マガジンMをその収容したリードフレームL\Fの配
列ピッチずつ間欠的に下降させて位置決めすることを行
う。また、図1において参照符号6にて示すのは押出手
段であり、該押出手段6は、上記位置決め手段5による
マガジンMの間欠的な下降位置決め動作に合わせ、該マ
ガジンM内の各リードフレームL\Fを最下段のものか
ら1枚ずつボンディング位置に向けて移送すべく押し出
すことを行う。なお、該押出手段6によりマガジンM外
に押し出されたリードフレームL\Fは、図示しないフ
レーム移送手段によってボンディング位置に向けて移送
され、ボンディング終了後は該フレーム移送手段によっ
て更に後送されて前述したアンローダ上のマガジンM内
に収容される。
【0033】まず、上記位置決め手段5について詳述す
る。
る。
【0034】図4から特に明らかなように、この位置決
め手段5は装置架台170に固定されたベース8上に設
けられており、矢印Zにて示す上下方向において延在し
て設けられて軸受10を介して該ベース8に取付けられ
たねじ軸12と、該ねじ軸12を回転駆動するパルスモ
ータ13と、該ねじ軸12に螺合した昇降部材14と、
該昇降部材14に結合し、マガジンMを受けるマガジン
受部15すなわち可動担持部材とを有している。ねじ軸
12の上端部及びパルスモータ13の出力軸13aには
夫々歯付ベルト車12b,13bが嵌着され、該両歯付
ベルト車に歯付ベルト17が掛け回されており、これに
よって動力の伝達がなされる。なお、これらパルスモー
タ13等は図1にも示している。また、パルスモータ1
3はブラケット19を介して上記ベース8に取付けられ
ている。
め手段5は装置架台170に固定されたベース8上に設
けられており、矢印Zにて示す上下方向において延在し
て設けられて軸受10を介して該ベース8に取付けられ
たねじ軸12と、該ねじ軸12を回転駆動するパルスモ
ータ13と、該ねじ軸12に螺合した昇降部材14と、
該昇降部材14に結合し、マガジンMを受けるマガジン
受部15すなわち可動担持部材とを有している。ねじ軸
12の上端部及びパルスモータ13の出力軸13aには
夫々歯付ベルト車12b,13bが嵌着され、該両歯付
ベルト車に歯付ベルト17が掛け回されており、これに
よって動力の伝達がなされる。なお、これらパルスモー
タ13等は図1にも示している。また、パルスモータ1
3はブラケット19を介して上記ベース8に取付けられ
ている。
【0035】ローダ1は、また、上述した構成の位置決
め手段5により移動せられるマガジンMをその移動方
向、すなわち各リードフレームL\Fの配列方向に対し
て垂直な面内において規制する規制手段を有しており、
次いで、この規制手段について説明する。なお、該規制
手段も上記位置決め手段5と共に上記ベース8上に設け
られ、装置架台170に対して固定された状態となって
いる。
め手段5により移動せられるマガジンMをその移動方
向、すなわち各リードフレームL\Fの配列方向に対し
て垂直な面内において規制する規制手段を有しており、
次いで、この規制手段について説明する。なお、該規制
手段も上記位置決め手段5と共に上記ベース8上に設け
られ、装置架台170に対して固定された状態となって
いる。
【0036】図1乃至図3に示すように、当該規制手段
は、上記ベース8上に固設された固定フレーム21と、
各々固定フレーム21上に矢印Gにて示す方向において
往復動自在に設けられた一対の可動フレーム23及び2
4と、該各可動フレーム23、24を夫々移動させる駆
動手段26及び27とを有している。両可動フレーム2
3、24と固定フレーム21との間には、トラックレー
ル29a、30a及びスライダ29b、30bからなる
直動案内ユニットが介装され、これによって該両可動フ
レーム23、24が上記矢印G方向において可動となっ
ている。なお、図1及び図2に示すように、可動フレー
ム23上の所定位置には、出力ロッド31aを具備した
マガジンプッシャー31が設けられている。
は、上記ベース8上に固設された固定フレーム21と、
各々固定フレーム21上に矢印Gにて示す方向において
往復動自在に設けられた一対の可動フレーム23及び2
4と、該各可動フレーム23、24を夫々移動させる駆
動手段26及び27とを有している。両可動フレーム2
3、24と固定フレーム21との間には、トラックレー
ル29a、30a及びスライダ29b、30bからなる
直動案内ユニットが介装され、これによって該両可動フ
レーム23、24が上記矢印G方向において可動となっ
ている。なお、図1及び図2に示すように、可動フレー
ム23上の所定位置には、出力ロッド31aを具備した
マガジンプッシャー31が設けられている。
【0037】上記各駆動手段26及び27については次
のように構成されている。
のように構成されている。
【0038】まず、駆動手段26は、図1及び図2に示
すようにこれが駆動すべき可動フレーム23の移動方向
Gにおいて延在して設けられて軸受33を介して固定フ
レーム21に取り付けられたねじ軸34と、該ねじ軸3
4を回転駆動するパルスモータ35と、該ねじ軸34に
螺合すると共に可動フレーム23に固着されたナット3
6とを有している。ねじ軸34の一端部及びパルスモー
タ35の出力軸35aには各々歯付ベルト車34b,3
5bが嵌着され、該両歯付ベルト車に歯付ベルト37が
掛け回されており、これによってパルスモータ35より
の動力がねじ軸34に伝達される。また、ねじ軸34の
一端部にはカップリング39を介して信号発生手段とし
てのエンコーダ40が連結されている。このエンコーダ
40は、上記パルスモータ35の回転量に応じたパルス
信号を発する。
すようにこれが駆動すべき可動フレーム23の移動方向
Gにおいて延在して設けられて軸受33を介して固定フ
レーム21に取り付けられたねじ軸34と、該ねじ軸3
4を回転駆動するパルスモータ35と、該ねじ軸34に
螺合すると共に可動フレーム23に固着されたナット3
6とを有している。ねじ軸34の一端部及びパルスモー
タ35の出力軸35aには各々歯付ベルト車34b,3
5bが嵌着され、該両歯付ベルト車に歯付ベルト37が
掛け回されており、これによってパルスモータ35より
の動力がねじ軸34に伝達される。また、ねじ軸34の
一端部にはカップリング39を介して信号発生手段とし
てのエンコーダ40が連結されている。このエンコーダ
40は、上記パルスモータ35の回転量に応じたパルス
信号を発する。
【0039】一方、可動フレーム24を駆動する駆動手
段27に関しても同様であり、図1及び図3に示すよう
に、可動フレーム24の移動方向Gにおいて延在して設
けられて軸受43を介して固定フレーム21に取り付け
られたねじ軸44と、該ねじ軸44を回転駆動するパル
スモータ45と、該ねじ軸44に螺合すると共に可動フ
レーム24に固着されたナット46とを有している。ね
じ軸44の一端部及びパルスモータ45の出力軸45a
には各々歯付ベルト車44b,45bが嵌着され、該両
歯付ベルト車に歯付ベルト47が掛け回されており、こ
れによって動力伝達が行われる。また、ねじ軸44の一
端部にはカップリング49を介して信号発生手段として
のエンコーダ50が連結されている。このエンコーダ5
0は、上記パルスモータ45の回転量に応じたパルス信
号を発する。
段27に関しても同様であり、図1及び図3に示すよう
に、可動フレーム24の移動方向Gにおいて延在して設
けられて軸受43を介して固定フレーム21に取り付け
られたねじ軸44と、該ねじ軸44を回転駆動するパル
スモータ45と、該ねじ軸44に螺合すると共に可動フ
レーム24に固着されたナット46とを有している。ね
じ軸44の一端部及びパルスモータ45の出力軸45a
には各々歯付ベルト車44b,45bが嵌着され、該両
歯付ベルト車に歯付ベルト47が掛け回されており、こ
れによって動力伝達が行われる。また、ねじ軸44の一
端部にはカップリング49を介して信号発生手段として
のエンコーダ50が連結されている。このエンコーダ5
0は、上記パルスモータ45の回転量に応じたパルス信
号を発する。
【0040】図1及び図3に示すように、上記した可動
フレーム24上には、可動ブラケット53が矢印H(図
1参照)にて示す方向において往復動自在に設けられて
いる。詳しくは、この可動ブラケット53と可動フレー
ム24との間にはトラックレール54a及びスライダ5
4bからなる直動案内ユニットが介装され、これによっ
て該可動ブラケット53が可動となっている。
フレーム24上には、可動ブラケット53が矢印H(図
1参照)にて示す方向において往復動自在に設けられて
いる。詳しくは、この可動ブラケット53と可動フレー
ム24との間にはトラックレール54a及びスライダ5
4bからなる直動案内ユニットが介装され、これによっ
て該可動ブラケット53が可動となっている。
【0041】なお、上記矢印H方向は前述した矢印G方
向に対して垂直であり、マガジンMの長さ方向及び幅方
向がこれら矢印H及びG方向に夫々一致するようになさ
れている。
向に対して垂直であり、マガジンMの長さ方向及び幅方
向がこれら矢印H及びG方向に夫々一致するようになさ
れている。
【0042】上記可動ブラケット53を移動させる駆動
手段56が設けられており、該駆動手段56は次のよう
に構成されている。
手段56が設けられており、該駆動手段56は次のよう
に構成されている。
【0043】図1乃至図3に示すように、この駆動手段
56は、可動ブラケット53が移動すべき矢印H方向
(図1参照)において延在して設けられて軸受63を介
して可動フレーム24に取付けられたねじ軸64と、該
ねじ軸64を回転駆動するパルスモータ65と、該ねじ
軸64に螺合すると共に可動ブラケット53に固着され
たナット66とを有している。ねじ軸64の一端部及び
パルスモータ65の出力軸65aには各々歯付ベルト車
64b、65bが嵌着され、該両歯付ベルト車に歯付ベ
ルト67が掛け回されており、これによってパルスモー
タ65よりの動力がねじ軸64に伝達される。また、ね
じ軸64の一端部にはカップリング69を介して信号発
生手段としてのエンコーダ70が連結されている。この
エンコーダ70は、上記パルスモータ65の回転量に応
じたパルス信号を発する。
56は、可動ブラケット53が移動すべき矢印H方向
(図1参照)において延在して設けられて軸受63を介
して可動フレーム24に取付けられたねじ軸64と、該
ねじ軸64を回転駆動するパルスモータ65と、該ねじ
軸64に螺合すると共に可動ブラケット53に固着され
たナット66とを有している。ねじ軸64の一端部及び
パルスモータ65の出力軸65aには各々歯付ベルト車
64b、65bが嵌着され、該両歯付ベルト車に歯付ベ
ルト67が掛け回されており、これによってパルスモー
タ65よりの動力がねじ軸64に伝達される。また、ね
じ軸64の一端部にはカップリング69を介して信号発
生手段としてのエンコーダ70が連結されている。この
エンコーダ70は、上記パルスモータ65の回転量に応
じたパルス信号を発する。
【0044】図1乃至図3に示すように、前述した各可
動フレーム23及び24並びに可動ブラケット53に
は、マガジンMを規制するための長尺の規制部材73,
74及び75が上下方向(矢印Z方向)において延在し
た状態にて取付けられている。これら規制部材73乃至
75は、これらを夫々搭載した可動フレーム23、24
並びに可動ブラケット53の作動により、互いに相対的
に近接及び離間する。なお、該可動フレーム23、24
及び可動ブラケット53と、これら可動フレーム及び可
動ブラケットを駆動すべく設けられた各駆動手段26、
27及び56について、該各規制部材73、74及び7
5を相対的に移動させる規制部材駆動手段と総称する。
動フレーム23及び24並びに可動ブラケット53に
は、マガジンMを規制するための長尺の規制部材73,
74及び75が上下方向(矢印Z方向)において延在し
た状態にて取付けられている。これら規制部材73乃至
75は、これらを夫々搭載した可動フレーム23、24
並びに可動ブラケット53の作動により、互いに相対的
に近接及び離間する。なお、該可動フレーム23、24
及び可動ブラケット53と、これら可動フレーム及び可
動ブラケットを駆動すべく設けられた各駆動手段26、
27及び56について、該各規制部材73、74及び7
5を相対的に移動させる規制部材駆動手段と総称する。
【0045】図から明らかなように、規制部材73は全
体として矩形板状に形成され、一対設けられている。ま
た、他の規制部材74及び75は1本ずつ設けられ、図
1から明らかなように各々断面形状はL字状となってい
る。マガジンMは、該両規制部材74及び75の各一辺
に形成された規制面74a、75aと上記の矩形板状の
規制部材73とによって、リードフレームL\Fの移送
方向に対して垂直な方向、すなわち該マガジンの幅方向
において規制される。また、両規制部材74及び75の
各他辺に形成された規制面74b、75bにより、マガ
ジンMの長さ方向、すなわちリードフレーム移送方向に
おける規制が行われる。なお、図2に示すように、規制
部材74には、リードフレームL\Fをボンディング位
置に向けて搬送する際に該リードフレームL\Fを通過
させるためのスリット74dが形成されている。
体として矩形板状に形成され、一対設けられている。ま
た、他の規制部材74及び75は1本ずつ設けられ、図
1から明らかなように各々断面形状はL字状となってい
る。マガジンMは、該両規制部材74及び75の各一辺
に形成された規制面74a、75aと上記の矩形板状の
規制部材73とによって、リードフレームL\Fの移送
方向に対して垂直な方向、すなわち該マガジンの幅方向
において規制される。また、両規制部材74及び75の
各他辺に形成された規制面74b、75bにより、マガ
ジンMの長さ方向、すなわちリードフレーム移送方向に
おける規制が行われる。なお、図2に示すように、規制
部材74には、リードフレームL\Fをボンディング位
置に向けて搬送する際に該リードフレームL\Fを通過
させるためのスリット74dが形成されている。
【0046】ところで、図1及び図2に示すように、マ
ガジンMの幅方向における片側に配置された各規制部材
73には、リードフレーム搬送レベル80に対応する位
置を始めとして、その長手方向に沿って複数のローラ8
1が設けられている。これらのローラ81のうち、特
に、リードフレーム搬送レベル80に対応するものは、
マガジンMをその他側に設けられた規制部材74,75
に向けて付勢するためのものである。該各ローラには該
各ローラをマガジンMに当接させるべく押圧するための
機構(図示せず)が付加されている。
ガジンMの幅方向における片側に配置された各規制部材
73には、リードフレーム搬送レベル80に対応する位
置を始めとして、その長手方向に沿って複数のローラ8
1が設けられている。これらのローラ81のうち、特
に、リードフレーム搬送レベル80に対応するものは、
マガジンMをその他側に設けられた規制部材74,75
に向けて付勢するためのものである。該各ローラには該
各ローラをマガジンMに当接させるべく押圧するための
機構(図示せず)が付加されている。
【0047】次いで、図1に示した押出手段6の構成に
ついて詳細に説明する。
ついて詳細に説明する。
【0048】図1に示すように、当該押出手段6は、該
押出手段6の本体部分を構成する可動フレーム84を備
えている。図1に示すように、該可動フレーム84は、
トラックレール86a及びスライダ86bからなる案内
手段としての直動案内ユニットを介してベース8、従っ
て当該ワイヤボンディング装置の架台170に対して直
線的に可動に取り付けられている。詳しくは、可動フレ
ーム84には平板状の中継部材87が一端にて固着さ
れ、該中継部材87の他端がスライダ86bに固着され
ている。該トラックレール86aはリードフレームL\
Fを移送すべき方向において伸長しており、上記可動フ
レーム84はこの方向において可動となっている。
押出手段6の本体部分を構成する可動フレーム84を備
えている。図1に示すように、該可動フレーム84は、
トラックレール86a及びスライダ86bからなる案内
手段としての直動案内ユニットを介してベース8、従っ
て当該ワイヤボンディング装置の架台170に対して直
線的に可動に取り付けられている。詳しくは、可動フレ
ーム84には平板状の中継部材87が一端にて固着さ
れ、該中継部材87の他端がスライダ86bに固着され
ている。該トラックレール86aはリードフレームL\
Fを移送すべき方向において伸長しており、上記可動フ
レーム84はこの方向において可動となっている。
【0049】上記可動フレーム84には、図示しない直
動案内ユニットを介して、アーム部材93がリードフレ
ームL\Fを移送すべき方向において可動に取り付けら
れており、該可動フレーム93にはプッシャ94が結合
されている。該プッシャ94は、図1乃至図3に示した
マガジンM内の各リードフレームL\Fに係合してこれ
を1枚ずつ押し出すための部材である。
動案内ユニットを介して、アーム部材93がリードフレ
ームL\Fを移送すべき方向において可動に取り付けら
れており、該可動フレーム93にはプッシャ94が結合
されている。該プッシャ94は、図1乃至図3に示した
マガジンM内の各リードフレームL\Fに係合してこれ
を1枚ずつ押し出すための部材である。
【0050】上述した可動フレーム84と、直動案内ユ
ニット(図示せず)と、アーム部材93と、これらに関
連する周辺の部材とによって、上記プッシャ94を往復
動自在に支持する支持機構が構成されている。この支持
機構は、マガジンMをリードフレーム移送方向において
規制する規制部材75に対して下記のように結合されて
いる。
ニット(図示せず)と、アーム部材93と、これらに関
連する周辺の部材とによって、上記プッシャ94を往復
動自在に支持する支持機構が構成されている。この支持
機構は、マガジンMをリードフレーム移送方向において
規制する規制部材75に対して下記のように結合されて
いる。
【0051】図1に示すように、規制部材75の端面に
はスライドプレート96がその一端部にて取り付けられ
ている。図示のように、該スライドプレート96はリー
ドフレーム移送方向に対して略垂直に伸長している。一
方、上記可動フレーム84の上端部には2つのベアリン
グ(例えばボールベアリング)97が配置されており、
スライドプレート96は該両ベアリング97により両側
から挟まれるように延在し、各ベアリングはスライドプ
レート96との相対移動に伴って該スライドプレート9
6の両側面に沿って転動する状態となる。上記支持機構
と規制部材75はかかる構成を介して結合されている。
はスライドプレート96がその一端部にて取り付けられ
ている。図示のように、該スライドプレート96はリー
ドフレーム移送方向に対して略垂直に伸長している。一
方、上記可動フレーム84の上端部には2つのベアリン
グ(例えばボールベアリング)97が配置されており、
スライドプレート96は該両ベアリング97により両側
から挟まれるように延在し、各ベアリングはスライドプ
レート96との相対移動に伴って該スライドプレート9
6の両側面に沿って転動する状態となる。上記支持機構
と規制部材75はかかる構成を介して結合されている。
【0052】当該ワイヤボンディング装置においては、
上述のように、マガジンMからリードフレームL\Fを
押し出すためのプッシャ94を往復動自在に支持した支
持機構について、該マガジンをリードフレーム移送方向
において規制する規制部材75に対して結合している。
この構成によれば、リードフレームL\Fの品種交換を
行うべくなされるマガジンMの種類交換時に、該マガジ
ンMを規制すべく該規制部材75が規制部材駆動手段
(前述)によって駆動されて該マガジンMに近接する際
に上記支持機構も該規制部材75と連動してこの新たな
マガジン内のリードフレームの近傍所定位置に持ち来さ
れる。従って、マガジンMからリードフレームL\Fを
押し出すために必要なプッシャ94の作動ストロークは
小さくて済み、その結果、該プッシャ94を含む押出手
段6が小型となり、ワイヤボンディング装置全体として
の小型化が達成される。
上述のように、マガジンMからリードフレームL\Fを
押し出すためのプッシャ94を往復動自在に支持した支
持機構について、該マガジンをリードフレーム移送方向
において規制する規制部材75に対して結合している。
この構成によれば、リードフレームL\Fの品種交換を
行うべくなされるマガジンMの種類交換時に、該マガジ
ンMを規制すべく該規制部材75が規制部材駆動手段
(前述)によって駆動されて該マガジンMに近接する際
に上記支持機構も該規制部材75と連動してこの新たな
マガジン内のリードフレームの近傍所定位置に持ち来さ
れる。従って、マガジンMからリードフレームL\Fを
押し出すために必要なプッシャ94の作動ストロークは
小さくて済み、その結果、該プッシャ94を含む押出手
段6が小型となり、ワイヤボンディング装置全体として
の小型化が達成される。
【0053】ところで、前述したように、上記支持機構
と規制部材75は、スライドプレート96及びベアリン
グ97を介して結合している。これらスライドプレート
96及びベアリング97は、該支持機構及び規制部材7
5の双方をリードフレーム移送方向に対して垂直な方向
において相対的かつ直線的に案内する案内手段として作
用する。該支持機構と規制部材75との間にこのような
案内手段を介装したのは、該規制部材75がマガジンM
をリードフレーム移送方向において規制するだけでな
く、該リードフレーム移送方向に対して垂直な方向にお
いても可動にして該方向においてもマガジンMを規制す
る作用をなすためである。すなわち、上記支持機構と規
制部材75との間に上記のような案内手段を介装したこ
とにより、規制部材75がマガジンMをリードフレーム
移送方向に対して垂直な方向において規制すべく移動し
ようとも、スライドプレート96とベアリング97の相
対移動が行われるのみとなる。そして、規制部材75が
マガジンMをリードフレーム移送方向において規制すべ
く移動する際には、駆動力は該規制部材75からスライ
ドプレート96及びベアリング97を順次介して上記支
持機構に伝達され、該支持機構は規制部材75と共にリ
ードフレーム移送方向に移動することとなる。
と規制部材75は、スライドプレート96及びベアリン
グ97を介して結合している。これらスライドプレート
96及びベアリング97は、該支持機構及び規制部材7
5の双方をリードフレーム移送方向に対して垂直な方向
において相対的かつ直線的に案内する案内手段として作
用する。該支持機構と規制部材75との間にこのような
案内手段を介装したのは、該規制部材75がマガジンM
をリードフレーム移送方向において規制するだけでな
く、該リードフレーム移送方向に対して垂直な方向にお
いても可動にして該方向においてもマガジンMを規制す
る作用をなすためである。すなわち、上記支持機構と規
制部材75との間に上記のような案内手段を介装したこ
とにより、規制部材75がマガジンMをリードフレーム
移送方向に対して垂直な方向において規制すべく移動し
ようとも、スライドプレート96とベアリング97の相
対移動が行われるのみとなる。そして、規制部材75が
マガジンMをリードフレーム移送方向において規制すべ
く移動する際には、駆動力は該規制部材75からスライ
ドプレート96及びベアリング97を順次介して上記支
持機構に伝達され、該支持機構は規制部材75と共にリ
ードフレーム移送方向に移動することとなる。
【0054】なお、上記規制部材75を、本実施例のよ
うにリードフレーム移送方向及びこれに垂直な方向の2
方向に移動可能とせず、リードフレーム移送方向におい
てのみ可動とする場合、上記のような案内手段を設ける
必要はなく、規制部材75を上記支持機構に対して直結
すればよい。
うにリードフレーム移送方向及びこれに垂直な方向の2
方向に移動可能とせず、リードフレーム移送方向におい
てのみ可動とする場合、上記のような案内手段を設ける
必要はなく、規制部材75を上記支持機構に対して直結
すればよい。
【0055】上記の構成を採用したことによって、更に
下記の効果が奏される。
下記の効果が奏される。
【0056】すなわち、上記構成においては、上記支持
機構が結合されるのは、マガジンMをリードフレーム移
送方向において規制する規制部材75であるから、プッ
シャ94は横ずれ、すなわちリードフレーム移送方向に
対して垂直な方向におけるずれを生ずることなく常にリ
ードフレーム後端の中央部(リードフレームの幅方向の
中央部)を押すこととなる。よって、プッシャ94が横
ずれを生ずる場合にこれを修正して円滑なフレーム押出
しを行わせるために作業者によって行われるべき調整作
業は殆ど必要とせず、作業効率が向上する。
機構が結合されるのは、マガジンMをリードフレーム移
送方向において規制する規制部材75であるから、プッ
シャ94は横ずれ、すなわちリードフレーム移送方向に
対して垂直な方向におけるずれを生ずることなく常にリ
ードフレーム後端の中央部(リードフレームの幅方向の
中央部)を押すこととなる。よって、プッシャ94が横
ずれを生ずる場合にこれを修正して円滑なフレーム押出
しを行わせるために作業者によって行われるべき調整作
業は殆ど必要とせず、作業効率が向上する。
【0057】更に、この他、従来はマガジンMをワイヤ
ボンディング装置から取り外す際に、その取り外す方向
によってプッシャが妨げとなる場合、作業者がプッシャ
をマガジンとの干渉を回避し得る位置まで移動させなけ
ればならず作業性の低下を招来する原因となっていた
が、当該ワイヤボンディング装置においてはこの問題も
解決され、この点からも作業効率の向上が図られる。す
なわち、マガジンMの取り外し時に上記規制部材75に
よるマガジンMの規制状態を解除すべく規制部材駆動手
段(前述)を作動させて該規制部材75をマガジンMか
ら離間する方向に移動させると、必然的にプッシャ94
もマガジンMから離間することとなり、上記のような作
業者によるプッシャの回避作業を行う必要がないのであ
る。
ボンディング装置から取り外す際に、その取り外す方向
によってプッシャが妨げとなる場合、作業者がプッシャ
をマガジンとの干渉を回避し得る位置まで移動させなけ
ればならず作業性の低下を招来する原因となっていた
が、当該ワイヤボンディング装置においてはこの問題も
解決され、この点からも作業効率の向上が図られる。す
なわち、マガジンMの取り外し時に上記規制部材75に
よるマガジンMの規制状態を解除すべく規制部材駆動手
段(前述)を作動させて該規制部材75をマガジンMか
ら離間する方向に移動させると、必然的にプッシャ94
もマガジンMから離間することとなり、上記のような作
業者によるプッシャの回避作業を行う必要がないのであ
る。
【0058】なお、上述した押出手段6は、その具備す
る上記プッシャ94を駆動するプッシャ駆動手段(図示
せず)を有している。また、図12に示すように、上記
プッシャ94によりマガジンM外に押し出されたリード
フレームL\Fの先端がガイドレール157及び158
間の所定位置に達したことを検知するためのリードフレ
ーム検出センサ139が設けられている。この所定位置
とは、該リードフレームL\Fを移送してヒータープレ
ート155上や更に後段のアンローダ(図示せず)に向
けて移動させるフレーム移送手段(図示せず)が、該リ
ードフレームL\Fを受け取り得る位置である。上記プ
ッシャ駆動手段の作動によってプッシャ94が上記ホー
ム位置から発進した後、リードフレームL\Fをマガジ
ンM外に押し出し、該リードフレームL\Fの先端がこ
のリードフレーム検出センサ139により検出される
と、その検出信号に応じて該プッシャ駆動手段は直ちに
停止される。かかる構成のため、取り扱われるリードフ
レームの種類が変更されてその長さが如何ように変わろ
うとも、プッシャ94の作動ストロークはこれに合わせ
て自動的に調整されることとなり、各種リードフレーム
は確実に上記フレーム移送手段に受け渡される。
る上記プッシャ94を駆動するプッシャ駆動手段(図示
せず)を有している。また、図12に示すように、上記
プッシャ94によりマガジンM外に押し出されたリード
フレームL\Fの先端がガイドレール157及び158
間の所定位置に達したことを検知するためのリードフレ
ーム検出センサ139が設けられている。この所定位置
とは、該リードフレームL\Fを移送してヒータープレ
ート155上や更に後段のアンローダ(図示せず)に向
けて移動させるフレーム移送手段(図示せず)が、該リ
ードフレームL\Fを受け取り得る位置である。上記プ
ッシャ駆動手段の作動によってプッシャ94が上記ホー
ム位置から発進した後、リードフレームL\Fをマガジ
ンM外に押し出し、該リードフレームL\Fの先端がこ
のリードフレーム検出センサ139により検出される
と、その検出信号に応じて該プッシャ駆動手段は直ちに
停止される。かかる構成のため、取り扱われるリードフ
レームの種類が変更されてその長さが如何ように変わろ
うとも、プッシャ94の作動ストロークはこれに合わせ
て自動的に調整されることとなり、各種リードフレーム
は確実に上記フレーム移送手段に受け渡される。
【0059】続いて、これまで説明した構成に基づき、
当該ワイヤボンディング装置全体の作動制御について説
明する。
当該ワイヤボンディング装置全体の作動制御について説
明する。
【0060】図5に示すように、前述した各エンコーダ
40、50及び70より発せられるパルス信号は、当該
ワイヤボンディング装置の作動制御を司る制御部(以
下、CPUと称する)104に送られ、該CPU104
はこれらのパルス信号や、キーボード105及び撮像装
置(図示せず:図12に示すヒータープレート155の
上方に配置されている)等より送信される信号を受け
て、各パルスモータ35、45、65、13及び押出手
段6並びにフレーム移送手段(図5のみに示すだけであ
り、具体的には図示してはいない)107及びボンディ
ング手段160(図12参照)を後述のタイミングを以
て作動させる。
40、50及び70より発せられるパルス信号は、当該
ワイヤボンディング装置の作動制御を司る制御部(以
下、CPUと称する)104に送られ、該CPU104
はこれらのパルス信号や、キーボード105及び撮像装
置(図示せず:図12に示すヒータープレート155の
上方に配置されている)等より送信される信号を受け
て、各パルスモータ35、45、65、13及び押出手
段6並びにフレーム移送手段(図5のみに示すだけであ
り、具体的には図示してはいない)107及びボンディ
ング手段160(図12参照)を後述のタイミングを以
て作動させる。
【0061】まず、上記構成のワイヤボンディング装置
において、取り扱われるリードフレームL\Fの種類が
変更される場合の調整動作について、図6乃至図9をも
参照しつつ説明する。この場合、上記CPU104(図
5参照)はROM(ReadOnly Memory)
108に予め入力されている作業手順情報を読み出して
これに基づき作動制御を行う。また、後述のように、R
AM(RandomAccess Memory)10
9に情報を入力し、記憶させる。
において、取り扱われるリードフレームL\Fの種類が
変更される場合の調整動作について、図6乃至図9をも
参照しつつ説明する。この場合、上記CPU104(図
5参照)はROM(ReadOnly Memory)
108に予め入力されている作業手順情報を読み出して
これに基づき作動制御を行う。また、後述のように、R
AM(RandomAccess Memory)10
9に情報を入力し、記憶させる。
【0062】キーボード105(図5参照)が操作され
ることなどによって指令信号が発せられると、CPU1
04は、図1に示す各パルスモータ35、45及び65
を夫々逆回転させて各ねじ軸34,44及び64を回転
駆動し、以て各可動フレーム23,24及び可動ブラケ
ット53を移動させ、各規制部材73,74及び75を
図6に示すように外側、すなわち互いに離間する方向に
移動させ、夫々の基準位置に位置決めする。この各規制
部材73,74,75の相互離間方向における基準位置
を第1基準位置と称する。また、各規制部材73,7
4,75の相互近接方向における基準位置も第2基準位
置として設定している。各規制部材73、74及び75
がこの第2基準位置にあるとき、当該ワイヤボンディン
グ装置にて取扱われるべき最小寸法のマガジンでも、こ
れら規制部材間に挿入することはできない。すなわち、
該第2基準位置とは、各規制部材73、74、75の相
互の間隔が、この最小のマガジンの外径寸法よりも小と
なるように設定されているのである。
ることなどによって指令信号が発せられると、CPU1
04は、図1に示す各パルスモータ35、45及び65
を夫々逆回転させて各ねじ軸34,44及び64を回転
駆動し、以て各可動フレーム23,24及び可動ブラケ
ット53を移動させ、各規制部材73,74及び75を
図6に示すように外側、すなわち互いに離間する方向に
移動させ、夫々の基準位置に位置決めする。この各規制
部材73,74,75の相互離間方向における基準位置
を第1基準位置と称する。また、各規制部材73,7
4,75の相互近接方向における基準位置も第2基準位
置として設定している。各規制部材73、74及び75
がこの第2基準位置にあるとき、当該ワイヤボンディン
グ装置にて取扱われるべき最小寸法のマガジンでも、こ
れら規制部材間に挿入することはできない。すなわち、
該第2基準位置とは、各規制部材73、74、75の相
互の間隔が、この最小のマガジンの外径寸法よりも小と
なるように設定されているのである。
【0063】従って、CPU104は、各規制部材7
3、74、75が互いに近接する方向への移動を開始し
た後、該第2基準位置に至ると、これを以てマガジンが
装填されていない状態の検知と判定する。また、各規制
部材73、74、75が上記第1基準位置より発進して
第2基準位置に向う間に各エンコーダ40,50及び7
0よりのパルス信号が得られなくなると、これを以て、
マガジンMの規制完了及びその存在の検知とする。
3、74、75が互いに近接する方向への移動を開始し
た後、該第2基準位置に至ると、これを以てマガジンが
装填されていない状態の検知と判定する。また、各規制
部材73、74、75が上記第1基準位置より発進して
第2基準位置に向う間に各エンコーダ40,50及び7
0よりのパルス信号が得られなくなると、これを以て、
マガジンMの規制完了及びその存在の検知とする。
【0064】すなわち、マガジンMが存在する場合にお
いては、各規制部材73,74,75がマガジンMに係
合した状態となればそれ以上移動し得ないことから、上
記各エンコーダ40,50,70よりのパルス信号が断
たれる。この状態を以て検知として該各パルスモータを
停止する訳である。また、各規制部材73、74、75
がマガジンMに係合した後、単に各パルスモータ35、
45、65を予め定めた作動量だけ逆回転させることに
よりマガジンMと各規制部材73、74、75との隙間
を常に正確に設定することができる。
いては、各規制部材73,74,75がマガジンMに係
合した状態となればそれ以上移動し得ないことから、上
記各エンコーダ40,50,70よりのパルス信号が断
たれる。この状態を以て検知として該各パルスモータを
停止する訳である。また、各規制部材73、74、75
がマガジンMに係合した後、単に各パルスモータ35、
45、65を予め定めた作動量だけ逆回転させることに
よりマガジンMと各規制部材73、74、75との隙間
を常に正確に設定することができる。
【0065】さて、前述のように、各規制部材73,7
4,75が相互に離間して第1基準位置に達すると、こ
の状態で該各規制部材の間に新たに取り扱うべきリード
フレームを収容したマガジンMを例えば2つ、上下に重
ねた状態で上方から挿入し、位置決め手段5が具備する
マガジン受部15上に載置する。
4,75が相互に離間して第1基準位置に達すると、こ
の状態で該各規制部材の間に新たに取り扱うべきリード
フレームを収容したマガジンMを例えば2つ、上下に重
ねた状態で上方から挿入し、位置決め手段5が具備する
マガジン受部15上に載置する。
【0066】この状態で作動指令信号が発せられ、例え
ば、マガジンMの幅方向における片側に位置する規制部
材73を駆動するためのパルスモータ35が正回転せら
れ、図7に示すように該規制部材73が他側の規制部材
74,75に向けて移動する。これにより、マガジンM
は該規制部材73により押圧されて該両規制部材74,
75に押し付けられ、各規制部材73,74,75によ
り幅方向において挾持された状態となる。但し、規制部
材73に関してはそれ自体がマガジンMに当接するので
はなく、図1及び図2に示すローラ81が当接する。こ
の挾持状態になると、移動して来た規制部材73はそれ
以上移動し得ないことからパルスモータ35が停止し、
エンコーダ40からのパルス信号が得られなくなる。C
PU104(図5参照)はこの状態を以てマガジン幅方
向の規制完了と共にマガジンの存在を確認してパルスモ
ータ35への給電を停止する。なお、この際、パルスモ
ータ35がその慣性によって数パルス分は余分に回転し
てしまうことを考慮し、パルスモータ停止後にこの数パ
ルス分だけ逆回転させることが好ましい。
ば、マガジンMの幅方向における片側に位置する規制部
材73を駆動するためのパルスモータ35が正回転せら
れ、図7に示すように該規制部材73が他側の規制部材
74,75に向けて移動する。これにより、マガジンM
は該規制部材73により押圧されて該両規制部材74,
75に押し付けられ、各規制部材73,74,75によ
り幅方向において挾持された状態となる。但し、規制部
材73に関してはそれ自体がマガジンMに当接するので
はなく、図1及び図2に示すローラ81が当接する。こ
の挾持状態になると、移動して来た規制部材73はそれ
以上移動し得ないことからパルスモータ35が停止し、
エンコーダ40からのパルス信号が得られなくなる。C
PU104(図5参照)はこの状態を以てマガジン幅方
向の規制完了と共にマガジンの存在を確認してパルスモ
ータ35への給電を停止する。なお、この際、パルスモ
ータ35がその慣性によって数パルス分は余分に回転し
てしまうことを考慮し、パルスモータ停止後にこの数パ
ルス分だけ逆回転させることが好ましい。
【0067】この後、上記パルスモータ35が僅かに逆
回転せられる。これにより、上記各規制部材73、7
4、75とマガジンMの側面との間に適当な隙間(図示
せず)が設けられる。
回転せられる。これにより、上記各規制部材73、7
4、75とマガジンMの側面との間に適当な隙間(図示
せず)が設けられる。
【0068】次に、パルスモータ65が正回転せられ
て、マガジンMの長さ方向における片側に位置する規制
部材75が図8に示すように他側に位置する規制部材7
4に向けて移動する。これにより、マガジンMは該規制
部材75により押圧されて規制部材74に押し付けら
れ、該両規制部材74,75により長さ方向において挾
持された状態となる。上記規制部材73の近接動作時と
同様に、このように挾持状態になると、規制部材75は
それ以上移動し得ないことからパルスモータ65が停止
し、エンコーダ70からのパルス信号が得られなくな
る。上記CPU104はこの状態を以てマガジン長さ方
向の規制完了を確認してパルスモータ65への給電を停
止する。この後、パルスモータ65が僅かに逆回転せら
れる。これにより、上記両規制部材74、75とマガジ
ンMの端面との間に適当な隙間(図示せず)が設けられ
る。なお、この規制部材75の移動に伴い、前述したプ
ッシャ94及びその支持機構がこの新たなマガジンM内
のリードフレームL\Fの近傍所定位置に持ち来され
る。
て、マガジンMの長さ方向における片側に位置する規制
部材75が図8に示すように他側に位置する規制部材7
4に向けて移動する。これにより、マガジンMは該規制
部材75により押圧されて規制部材74に押し付けら
れ、該両規制部材74,75により長さ方向において挾
持された状態となる。上記規制部材73の近接動作時と
同様に、このように挾持状態になると、規制部材75は
それ以上移動し得ないことからパルスモータ65が停止
し、エンコーダ70からのパルス信号が得られなくな
る。上記CPU104はこの状態を以てマガジン長さ方
向の規制完了を確認してパルスモータ65への給電を停
止する。この後、パルスモータ65が僅かに逆回転せら
れる。これにより、上記両規制部材74、75とマガジ
ンMの端面との間に適当な隙間(図示せず)が設けられ
る。なお、この規制部材75の移動に伴い、前述したプ
ッシャ94及びその支持機構がこの新たなマガジンM内
のリードフレームL\Fの近傍所定位置に持ち来され
る。
【0069】かくして、マガジンMは、各規制部材7
3、74、75により囲まれた状態にて上下方向におい
て移動自在となり、位置決め手段5によるマガジンMの
昇降動作が可能となる。
3、74、75により囲まれた状態にて上下方向におい
て移動自在となり、位置決め手段5によるマガジンMの
昇降動作が可能となる。
【0070】次いで、パルスモータ35が逆回転せられ
ると共にパルスモータ45が正回転せられ、図9に示す
ように、各規制部材73、74、75がマガジン幅方向
に同じ分解能及び同じ速度にて同期して移動せられ、リ
ードフレームL\Fを案内すべき経路の中心110に対
して、マガジンMの幅方向における中心が一致した時点
で停止せられる。
ると共にパルスモータ45が正回転せられ、図9に示す
ように、各規制部材73、74、75がマガジン幅方向
に同じ分解能及び同じ速度にて同期して移動せられ、リ
ードフレームL\Fを案内すべき経路の中心110に対
して、マガジンMの幅方向における中心が一致した時点
で停止せられる。
【0071】上記のようにマガジンMの幅方向中心をリ
ードフレーム搬送経路の中心110に一致させるべく各
規制部材73、74、75を同じ方向に移動させる際
(図9に図示の状態)、これら各規制部材の移動量につ
いては、その前工程として行われる一方の規制部材73
のみの第1基準位置から停止位置までの移動量をWとす
るならば、W/2に設定される。
ードフレーム搬送経路の中心110に一致させるべく各
規制部材73、74、75を同じ方向に移動させる際
(図9に図示の状態)、これら各規制部材の移動量につ
いては、その前工程として行われる一方の規制部材73
のみの第1基準位置から停止位置までの移動量をWとす
るならば、W/2に設定される。
【0072】なお、上記のマガジンMの位置出し動作と
並行して図12に示すガイドレール157、158が、
該マガジンMに収容されるべきリードフレームL\Fを
搬送し得るようにそのレール間隔を調整される。このレ
ール間隔の調整は上記各規制部材73、74及び75の
調整と同様に行われる。
並行して図12に示すガイドレール157、158が、
該マガジンMに収容されるべきリードフレームL\Fを
搬送し得るようにそのレール間隔を調整される。このレ
ール間隔の調整は上記各規制部材73、74及び75の
調整と同様に行われる。
【0073】上述のようにして、新たに取り扱うべきリ
ードフレームL\F及びマガジンMに応じた調整が完了
する。CPU104(図5参照)は、上記のようにして
調整を完了すると、各規制部材73、74及び75並び
に各ガイドレール157、158(図12参照)の設定
位置をRAM109(図5参照)に入力して記憶させ
る。そして、再び同種のリードフレームL\F及びマガ
ジンMが取り扱われる際にこの記憶した情報を読み出し
て直ちに位置設定を行う。このように、各規制部材7
3、74、75並びに各ガイドレール157、158の
位置設定を自動的にデジタル制御にて行い、品種毎のデ
ータを記憶し、必要に応じて該データを読み出すので品
種交換時の設定が容易に行え、時間の短縮、作業の簡素
化が図られる。
ードフレームL\F及びマガジンMに応じた調整が完了
する。CPU104(図5参照)は、上記のようにして
調整を完了すると、各規制部材73、74及び75並び
に各ガイドレール157、158(図12参照)の設定
位置をRAM109(図5参照)に入力して記憶させ
る。そして、再び同種のリードフレームL\F及びマガ
ジンMが取り扱われる際にこの記憶した情報を読み出し
て直ちに位置設定を行う。このように、各規制部材7
3、74、75並びに各ガイドレール157、158の
位置設定を自動的にデジタル制御にて行い、品種毎のデ
ータを記憶し、必要に応じて該データを読み出すので品
種交換時の設定が容易に行え、時間の短縮、作業の簡素
化が図られる。
【0074】上述のように調整が完了すると、図1に示
した押出手段6が作動させられる。これにより、重ねて
装填されている2つのマガジンMのうち、下側のマガジ
ンM内に収容されているリードフレームL\Fのうち最
下段の1枚が押し出される。なお、この押し出し時にお
けるマガジン受部15及び各マガジンMの、リードフレ
ーム搬送レベル80に対する位置を図10の(a)に示
している。この押し出されたリードフレームL\Fはフ
レーム移送手段(図示せず)によってヒータープレート
155(図12参照)上に移送される。
した押出手段6が作動させられる。これにより、重ねて
装填されている2つのマガジンMのうち、下側のマガジ
ンM内に収容されているリードフレームL\Fのうち最
下段の1枚が押し出される。なお、この押し出し時にお
けるマガジン受部15及び各マガジンMの、リードフレ
ーム搬送レベル80に対する位置を図10の(a)に示
している。この押し出されたリードフレームL\Fはフ
レーム移送手段(図示せず)によってヒータープレート
155(図12参照)上に移送される。
【0075】上記のようにリードフレームL\Fがヒー
タープレート155上に達すると、上記フレーム移送手
段は該リードフレームL\Fを各ICチップ153(図
12参照)の配列ピッチずつ間欠送りし、これに伴って
各ICチップ153と該リードフレームに形成されてい
るリード(図示せず)とが、ボンディング手段160
(図12参照)により導電性のワイヤを用いてボンディ
ング接続される。そして、ボンディングを完了したリー
ドフレームL\Fは、上記フレーム移送手段によって更
に後送され、ローダ1と同様の構成を有するアンローダ
(図示せず)に装填されている空のマガジンM内に収容
される。
タープレート155上に達すると、上記フレーム移送手
段は該リードフレームL\Fを各ICチップ153(図
12参照)の配列ピッチずつ間欠送りし、これに伴って
各ICチップ153と該リードフレームに形成されてい
るリード(図示せず)とが、ボンディング手段160
(図12参照)により導電性のワイヤを用いてボンディ
ング接続される。そして、ボンディングを完了したリー
ドフレームL\Fは、上記フレーム移送手段によって更
に後送され、ローダ1と同様の構成を有するアンローダ
(図示せず)に装填されている空のマガジンM内に収容
される。
【0076】次に、位置決め手段5が具備するパルスモ
ータ13が作動することによって、マガジンMを担持し
たマガジン受部15がマガジンMに収容された各リード
フレームL\Fの配列ピッチの1ピッチ分だけ下降させ
られ、各マガジンMも下降する。そして、上記の一連の
動作が最下段から2枚目のリードフレームについて行わ
れる。以下、1つ目のマガジンM内の各リードフレーム
L\Fについてボンディングを終了するまで同様の動作
が繰り返される。なお、1つ目のマガジンM内のすべて
のリードフレームL\Fについてボンディングが終了し
た状態におけるマガジン受部15及び各マガジンMの、
リードフレーム搬送レベル80に対する位置を図10の
(b)に示している。
ータ13が作動することによって、マガジンMを担持し
たマガジン受部15がマガジンMに収容された各リード
フレームL\Fの配列ピッチの1ピッチ分だけ下降させ
られ、各マガジンMも下降する。そして、上記の一連の
動作が最下段から2枚目のリードフレームについて行わ
れる。以下、1つ目のマガジンM内の各リードフレーム
L\Fについてボンディングを終了するまで同様の動作
が繰り返される。なお、1つ目のマガジンM内のすべて
のリードフレームL\Fについてボンディングが終了し
た状態におけるマガジン受部15及び各マガジンMの、
リードフレーム搬送レベル80に対する位置を図10の
(b)に示している。
【0077】かくして、1つ目、すなわち下段のマガジ
ンM内のすべてのリードフレームL\Fについてボンデ
ィングが終了して該マガジンMが空になると、図1及び
図2に示したマガジンプッシャー31の出力ロッド31
aが突出動作させられ、これによって、上方に位置する
2つ目のマガジンMが規制部材74、75に対して押圧
固定される。そして、空になった1つ目のマガジンMの
みがマガジン受部15と共に更に下降させられて回収位
置に達し、該マガジン受部15上から回収される。この
過程を図10の(c)及び(d)に示す。
ンM内のすべてのリードフレームL\Fについてボンデ
ィングが終了して該マガジンMが空になると、図1及び
図2に示したマガジンプッシャー31の出力ロッド31
aが突出動作させられ、これによって、上方に位置する
2つ目のマガジンMが規制部材74、75に対して押圧
固定される。そして、空になった1つ目のマガジンMの
みがマガジン受部15と共に更に下降させられて回収位
置に達し、該マガジン受部15上から回収される。この
過程を図10の(c)及び(d)に示す。
【0078】1つ目のマガジンが回収されると、マガジ
ン受部15は再び上昇させられ、2つ目のマガジンMの
底面に当接してこれを受ける。この時点で上記マガジン
プッシャー31の出力ロッド31aが引込動作させら
れ、該マガジンMがマガジン受部15により担持され
る。以下、1つ目のマガジンに対すると同様の一連の動
作が行われ、この2つ目のマガジンM内の各リードフレ
ームL\Fに関してもボンディングが施される。なお、
図10の(c)に示すように、この時、更に次のマガジ
ンM(二点鎖線で示す)が追加される。
ン受部15は再び上昇させられ、2つ目のマガジンMの
底面に当接してこれを受ける。この時点で上記マガジン
プッシャー31の出力ロッド31aが引込動作させら
れ、該マガジンMがマガジン受部15により担持され
る。以下、1つ目のマガジンに対すると同様の一連の動
作が行われ、この2つ目のマガジンM内の各リードフレ
ームL\Fに関してもボンディングが施される。なお、
図10の(c)に示すように、この時、更に次のマガジ
ンM(二点鎖線で示す)が追加される。
【0079】ところで、当該ワイヤボンディング装置に
おいては、上述のようにしてローダ1上ですべてのリー
ドフレームL\Fが取り出されて空になったマガジンM
の回収のために、下記の構成が付加されている。なお、
図示しないが、アンローダ(図示せず)においては、ボ
ンディング終了後のリードフレームが収容されたマガジ
ンの回収を行うために同様の構成が採用されている。
おいては、上述のようにしてローダ1上ですべてのリー
ドフレームL\Fが取り出されて空になったマガジンM
の回収のために、下記の構成が付加されている。なお、
図示しないが、アンローダ(図示せず)においては、ボ
ンディング終了後のリードフレームが収容されたマガジ
ンの回収を行うために同様の構成が採用されている。
【0080】図2において、マガジン受部15につき、
これが最上昇位置及び最下降位置にある状態を夫々一点
鎖線及び二点鎖線にて示している。この最上昇位置と
は、前述したマガジンプッシャー31(図1及び図2参
照)が引込動作を行うことによって、リードフレームL
\Fを収容したマガジンMが当該マガジン受部15に対
して供給される供給位置であり、図10の(a)の状態
がこれである。また、最下降位置とは、空になったマガ
ジンMを回収すべき位置まで持ち来すための位置であ
り、図10の(d)の状態がこれである。図2に示すよ
うに、この回収位置にはマガジンMを受ける受台111
が設けられ、マガジン受部15が上記最下降位置に至る
ことにより、マガジンMは該受台111上に載置され
る。なお、該マガジンMは、マガジン受部15が該最下
降位置に達するよりも少し上方にて受台111の上面に
当接してこれに載せられるのであり、図10の(d)に
示すように、マガジン受部15は該最下降位置に達した
時点では該マガジンMから離脱する状態となる。なお、
図10の(d)において、この離脱の距離をαにて示し
ている。また、受台111は図1にも示している。ま
た、上記マガジン受部15の昇降の位置については、該
マガジン受部15を昇降させるためのねじ軸12に連結
されたエンコーダ113(図5参照:具体的には図示せ
ず、この図5のみに示す)より発せられるパルス信号に
基づいて検出される。
これが最上昇位置及び最下降位置にある状態を夫々一点
鎖線及び二点鎖線にて示している。この最上昇位置と
は、前述したマガジンプッシャー31(図1及び図2参
照)が引込動作を行うことによって、リードフレームL
\Fを収容したマガジンMが当該マガジン受部15に対
して供給される供給位置であり、図10の(a)の状態
がこれである。また、最下降位置とは、空になったマガ
ジンMを回収すべき位置まで持ち来すための位置であ
り、図10の(d)の状態がこれである。図2に示すよ
うに、この回収位置にはマガジンMを受ける受台111
が設けられ、マガジン受部15が上記最下降位置に至る
ことにより、マガジンMは該受台111上に載置され
る。なお、該マガジンMは、マガジン受部15が該最下
降位置に達するよりも少し上方にて受台111の上面に
当接してこれに載せられるのであり、図10の(d)に
示すように、マガジン受部15は該最下降位置に達した
時点では該マガジンMから離脱する状態となる。なお、
図10の(d)において、この離脱の距離をαにて示し
ている。また、受台111は図1にも示している。ま
た、上記マガジン受部15の昇降の位置については、該
マガジン受部15を昇降させるためのねじ軸12に連結
されたエンコーダ113(図5参照:具体的には図示せ
ず、この図5のみに示す)より発せられるパルス信号に
基づいて検出される。
【0081】上記のように受台111上に載置されたマ
ガジンMを作業者等による回収作業に供すべく、上記位
置決め手段5による位置決め方向である上下方向に対し
て直行する前方に向けて排出するマガジン排出手段が設
けられている。このマガジン排出手段は、図2において
各々二点鎖線及び実線で示す排出位置及び非排出位置の
間で往復動自在にしてマガジンMを排出するための排出
部材117と、該排出部材117をその出力軸118a
の往復動によって作動させる駆動手段としての(エア)
シリンダ機構118とからなる。なお、このシリンダ機
構118は図5にも示している。該排出手段は、前述し
た位置決め手段5との関係から、図11に示すタイミン
グにて作動する。
ガジンMを作業者等による回収作業に供すべく、上記位
置決め手段5による位置決め方向である上下方向に対し
て直行する前方に向けて排出するマガジン排出手段が設
けられている。このマガジン排出手段は、図2において
各々二点鎖線及び実線で示す排出位置及び非排出位置の
間で往復動自在にしてマガジンMを排出するための排出
部材117と、該排出部材117をその出力軸118a
の往復動によって作動させる駆動手段としての(エア)
シリンダ機構118とからなる。なお、このシリンダ機
構118は図5にも示している。該排出手段は、前述し
た位置決め手段5との関係から、図11に示すタイミン
グにて作動する。
【0082】図11における(a)は、上記位置決め手
段5が具備するマガジン受部15の位置と、ボンディン
グ装置作動の経過時間との関係を示す図である。また、
図11の(b)はこの図11の(a)における経過時間
に対応して上記排出手段が如何に作動するかを示す図で
あり、該図においてONとは上記排出部材117が排出
位置に移動している状態を示し、OFFは非排出位置に
移動している状態を示す。該図に示すように、ボンディ
ング作業に伴うマガジン受部15の1ピッチずつの間欠
的下降動作によって時間t2 −t1 が経過し、この時刻
t2 に達すると該マガジン受部15は最下降位置に速や
かに下降する。これにより、空となった1つ目のマガジ
ンMが図2に示す受台111上に載置される。この載置
と同時に上記排出部材117が非排出位置から排出位置
に向けて移動して該マガジンMは装置の前方に排出さ
れ、作業者等により回収される。この後、時間t3 −t
2 の経過を待ってマガジン受部15が最上昇位置へと移
動し、続く時間t4 −t3 の間に2つ目のマガジンMが
供給され、担持する。そして、この2つ目のマガジン内
の各リードフレームに関するボンディング作業に時間t
5 −t4 が経過し、以降、上記と同様に一連の作業が続
けられる。
段5が具備するマガジン受部15の位置と、ボンディン
グ装置作動の経過時間との関係を示す図である。また、
図11の(b)はこの図11の(a)における経過時間
に対応して上記排出手段が如何に作動するかを示す図で
あり、該図においてONとは上記排出部材117が排出
位置に移動している状態を示し、OFFは非排出位置に
移動している状態を示す。該図に示すように、ボンディ
ング作業に伴うマガジン受部15の1ピッチずつの間欠
的下降動作によって時間t2 −t1 が経過し、この時刻
t2 に達すると該マガジン受部15は最下降位置に速や
かに下降する。これにより、空となった1つ目のマガジ
ンMが図2に示す受台111上に載置される。この載置
と同時に上記排出部材117が非排出位置から排出位置
に向けて移動して該マガジンMは装置の前方に排出さ
れ、作業者等により回収される。この後、時間t3 −t
2 の経過を待ってマガジン受部15が最上昇位置へと移
動し、続く時間t4 −t3 の間に2つ目のマガジンMが
供給され、担持する。そして、この2つ目のマガジン内
の各リードフレームに関するボンディング作業に時間t
5 −t4 が経過し、以降、上記と同様に一連の作業が続
けられる。
【0083】ここで、図11から明らかなように、空と
なった1つ目のマガジンMを排出すべく上記排出位置に
移動されていた排出部材117が非排出位置に戻される
のは、2つ目のマガジンMに関し、これに収容されてい
る各リードフレームL\Fについてのボンディング作業
がある程度進んだ時点tα(上記時刻t3 からt5 まで
の任意の時刻)である。この時、図2及び図10の
(e)に示すように、マガジン受部15は、既に排出さ
れた1つ目のマガジンMの排出方向とは反対側の面12
0に先端が係合し得る位置に達している。
なった1つ目のマガジンMを排出すべく上記排出位置に
移動されていた排出部材117が非排出位置に戻される
のは、2つ目のマガジンMに関し、これに収容されてい
る各リードフレームL\Fについてのボンディング作業
がある程度進んだ時点tα(上記時刻t3 からt5 まで
の任意の時刻)である。この時、図2及び図10の
(e)に示すように、マガジン受部15は、既に排出さ
れた1つ目のマガジンMの排出方向とは反対側の面12
0に先端が係合し得る位置に達している。
【0084】従って、一旦排出された1つ目のマガジン
Mがワイヤボンディング装置の作動に伴う振動等によっ
て受台111上を装置後方(図2における右方)に向け
て逆戻りすることがあろうとも、上記マガジン受部15
はこの排出されたマガジンMの背面120に先端にて摺
接しつつ下降することとなり、該マガジンとの衝突は回
避される。
Mがワイヤボンディング装置の作動に伴う振動等によっ
て受台111上を装置後方(図2における右方)に向け
て逆戻りすることがあろうとも、上記マガジン受部15
はこの排出されたマガジンMの背面120に先端にて摺
接しつつ下降することとなり、該マガジンとの衝突は回
避される。
【0085】当該ボンディング装置においては、上述し
た排出マガジンの逆戻り防止動作が、取り扱うべき各種
寸法のマガジンに関してなされる。これは、下記のティ
ーチングが行われることによる。
た排出マガジンの逆戻り防止動作が、取り扱うべき各種
寸法のマガジンに関してなされる。これは、下記のティ
ーチングが行われることによる。
【0086】まず、図2において二点鎖線にて示し、ま
た、図10の(d)に示すマガジン受部15の位置、す
なわち、最下降位置を該マガジン受部15の基準位置と
して設定している。但し、詳しくはマガジン受部15の
マガジン担持面の位置である。そして、ある寸法のマガ
ジンMについて、図10の(a)乃至(e)に示すよう
に一連の動作を行わせる。
た、図10の(d)に示すマガジン受部15の位置、す
なわち、最下降位置を該マガジン受部15の基準位置と
して設定している。但し、詳しくはマガジン受部15の
マガジン担持面の位置である。そして、ある寸法のマガ
ジンMについて、図10の(a)乃至(e)に示すよう
に一連の動作を行わせる。
【0087】すなわち、第1に、マガジン受部15を図
10の(a)に示す最上昇位置に持ち来す。前述したよ
うに、この最上昇位置とは、供給されるマガジンMを当
該マガジン受部15が受け取る位置である、該マガジン
受部15上に載置された下段のマガジンM内の最下段の
リードフレームの位置がリードフレーム搬送レベル80
に一致する。自動的に、あるいは操作者が図5に示すキ
ーボード105を操作することなどにより、この最上昇
位置をRAM109(図5参照)に記憶させる。図10
において、上記基準位置たる最下降位置からこの最上昇
位置までの距離をSにて示している。この距離Sは、図
5に示したエンコーダ113より発せられるパルス数と
1パルス毎のマガジン受部15の単位移動距離とを乗算
して得られ、この演算はCPU104(図5に図示)が
その具備した演算回路(図示せず)にて行う。
10の(a)に示す最上昇位置に持ち来す。前述したよ
うに、この最上昇位置とは、供給されるマガジンMを当
該マガジン受部15が受け取る位置である、該マガジン
受部15上に載置された下段のマガジンM内の最下段の
リードフレームの位置がリードフレーム搬送レベル80
に一致する。自動的に、あるいは操作者が図5に示すキ
ーボード105を操作することなどにより、この最上昇
位置をRAM109(図5参照)に記憶させる。図10
において、上記基準位置たる最下降位置からこの最上昇
位置までの距離をSにて示している。この距離Sは、図
5に示したエンコーダ113より発せられるパルス数と
1パルス毎のマガジン受部15の単位移動距離とを乗算
して得られ、この演算はCPU104(図5に図示)が
その具備した演算回路(図示せず)にて行う。
【0088】第2に、マガジン受部15が図10の
(b)の状態まで下降したとき、すなわち、下段のマガ
ジンM内の最上段のリードフレームの位置がリードフレ
ーム搬送レベル80に一致したとき、該マガジン受部1
5の位置を上記RAM109に記憶させる。このとき、
該マガジン受部15の、上記最上昇位置からの距離は、
上記の距離Sと同様にしてAとして算出される。また、
一方、マガジンM内におけるリードフレームの配列ピッ
チについて、A/(n−1)(n:リードフレーム配列
段)として算出し、記憶させる。
(b)の状態まで下降したとき、すなわち、下段のマガ
ジンM内の最上段のリードフレームの位置がリードフレ
ーム搬送レベル80に一致したとき、該マガジン受部1
5の位置を上記RAM109に記憶させる。このとき、
該マガジン受部15の、上記最上昇位置からの距離は、
上記の距離Sと同様にしてAとして算出される。また、
一方、マガジンM内におけるリードフレームの配列ピッ
チについて、A/(n−1)(n:リードフレーム配列
段)として算出し、記憶させる。
【0089】続いて、第3として、マガジン受部15が
図10の(c)の状態まで下降したとき、すなわち、上
段のマガジンM内の最下段のリードフレームの位置がリ
ードフレーム搬送レベル80に一致したとき、該マガジ
ン受部15の位置を上記RAM109に記憶させる。こ
のとき、図10の(b)に示すマガジン受部15の位置
からの距離は、Bとして算出される。
図10の(c)の状態まで下降したとき、すなわち、上
段のマガジンM内の最下段のリードフレームの位置がリ
ードフレーム搬送レベル80に一致したとき、該マガジ
ン受部15の位置を上記RAM109に記憶させる。こ
のとき、図10の(b)に示すマガジン受部15の位置
からの距離は、Bとして算出される。
【0090】上記CPU104は、上記の両距離A及び
Bを加算(A+B)し、この加算値をマガジンMの高さ
Tとして求め、該TをRAM109に記憶させる。図1
0の(e)において参照符号Uにて示すのは、図2に示
した排出部材117を排出位置(二点鎖線で示す)から
非排出位置(実線で示す)に戻す際においてマガジン受
部15がとるべき上記基準位置からの距離であるが、こ
れについて、U<T+αとすれば、排出されたマガジン
の逆戻りが該マガジン受部15によって防止される訳で
ある。なお、このαに関しては前述しており、これは機
構上定まる数値であり、既知である。
Bを加算(A+B)し、この加算値をマガジンMの高さ
Tとして求め、該TをRAM109に記憶させる。図1
0の(e)において参照符号Uにて示すのは、図2に示
した排出部材117を排出位置(二点鎖線で示す)から
非排出位置(実線で示す)に戻す際においてマガジン受
部15がとるべき上記基準位置からの距離であるが、こ
れについて、U<T+αとすれば、排出されたマガジン
の逆戻りが該マガジン受部15によって防止される訳で
ある。なお、このαに関しては前述しており、これは機
構上定まる数値であり、既知である。
【0091】CPU104は、上記Uの値として、T+
αよりも小となる適宜の数値を設定し、上記RAM10
9に入力し、記憶させる。
αよりも小となる適宜の数値を設定し、上記RAM10
9に入力し、記憶させる。
【0092】上記の一連のティーチングが各種寸法のマ
ガジンについて行われ、各種マガジンに関して上記Uの
値が記憶される。そして、再び同種のマガジンが取り扱
われる際にこの記憶した情報を読み出して直ちにマガジ
ン受部15の位置設定を行う。なお、本実施例において
は、上記の各距離S、A、B等をアナログ値として算出
して制御する場合を示しているが、エンコーダ113よ
り得られるパルス数そのものを用いてディジタル制御を
行ってもよいことは勿論である。
ガジンについて行われ、各種マガジンに関して上記Uの
値が記憶される。そして、再び同種のマガジンが取り扱
われる際にこの記憶した情報を読み出して直ちにマガジ
ン受部15の位置設定を行う。なお、本実施例において
は、上記の各距離S、A、B等をアナログ値として算出
して制御する場合を示しているが、エンコーダ113よ
り得られるパルス数そのものを用いてディジタル制御を
行ってもよいことは勿論である。
【0093】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
排出したマガジンと装置作動部との衝突が防止され、作
業を円滑に続けることができるという効果が得られる。
排出したマガジンと装置作動部との衝突が防止され、作
業を円滑に続けることができるという効果が得られる。
【図1】図1は、本発明に係るワイヤボンディング装置
の要部の、一部断面を含む平面図である。
の要部の、一部断面を含む平面図である。
【図2】図2は、図1に関する、一部断面を含むA−A
矢視図である。
矢視図である。
【図3】図3は、図1に関するB−B矢視図である。
【図4】図4は、図1に関する、一部断面を含むC−C
矢視図である。
矢視図である。
【図5】図5は、図1乃至図4に示したワイヤボンディ
ング装置の動作制御系を示すブロック図である。
ング装置の動作制御系を示すブロック図である。
【図6】図6は、図1乃至図4に示したワイヤボンディ
ング装置の動作説明図である。
ング装置の動作説明図である。
【図7】図7は、図1乃至図4に示したワイヤボンディ
ング装置の動作説明図である。
ング装置の動作説明図である。
【図8】図8は、図1乃至図4に示したワイヤボンディ
ング装置の動作説明図である。
ング装置の動作説明図である。
【図9】図9は、図1乃至図4に示したワイヤボンディ
ング装置の動作説明図である。
ング装置の動作説明図である。
【図10】図10は、図1乃至図4に示したワイヤボン
ディング装置の動作説明図である。
ディング装置の動作説明図である。
【図11】図11は、図1乃至図4に示したワイヤボン
ディング装置の動作説明図である。
ディング装置の動作説明図である。
【図12】図12は、従来のワイヤボンディング装置の
平面図である。
平面図である。
【図13】図13は、図12に示したワイヤボンディン
グ装置の要部の、一部断面を含む側面図である。
グ装置の要部の、一部断面を含む側面図である。
【図14】図14は、図12に示したワイヤボンディン
グ装置の要部の平面図である。
グ装置の要部の平面図である。
【図15】図15は、図12乃至図14に示したワイヤ
ボンディング装置の動作説明図である。
ボンディング装置の動作説明図である。
M マガジン L\F リードフレーム
(フレーム) 1 ローダ(マガジン
位置決め排出装置) 5 位置決め手段 6 押出手段 8 ベース 13、35、45、65 パルスモータ 14 昇降部材 15 マガジン受部(可
動担持部材) 21 固定フレーム 23、24 可動フレーム 26、27、56 駆動手段 31 マガジンプッシャ
ー 40、50、70、113 エンコーダ 53 可動ブラケット 73、74、75 規制部材 80 リードフレーム搬
送レベル 84 可動フレーム 93 アーム部材 94 プッシャ 104 CPU 105 キーボード 107 フレーム移送手段 108 ROM 109 RAM 111 受台 117 排出部材 118 シリンダ機構 155 ヒータープレート 157、158 ガイドレール 170 装置架台
(フレーム) 1 ローダ(マガジン
位置決め排出装置) 5 位置決め手段 6 押出手段 8 ベース 13、35、45、65 パルスモータ 14 昇降部材 15 マガジン受部(可
動担持部材) 21 固定フレーム 23、24 可動フレーム 26、27、56 駆動手段 31 マガジンプッシャ
ー 40、50、70、113 エンコーダ 53 可動ブラケット 73、74、75 規制部材 80 リードフレーム搬
送レベル 84 可動フレーム 93 アーム部材 94 プッシャ 104 CPU 105 キーボード 107 フレーム移送手段 108 ROM 109 RAM 111 受台 117 排出部材 118 シリンダ機構 155 ヒータープレート 157、158 ガイドレール 170 装置架台
Claims (3)
- 【請求項1】 フレームを複数枚配列収容するマガジン
を該マガジンが供給される供給位置にて可動担持部材上
に担持してフレーム配列方向において移動させて位置決
めすると共に、所定回収位置まで持ち来し得る位置決め
手段と、排出位置及び非排出位置の間で往復動自在な排
出部材を具備して前記回収位置に至ったマガジンを該排
出部材によって前記位置決め手段による位置決めの方向
に対して交差する方向に排出するマガジン排出手段とを
有し、排出したマガジンの排出方向とは反対側の面に係
合し得る位置に前記可動担持部材が達したときに前記排
出部材を前記排出位置から非排出位置に作動させるよう
になされていることを特徴とするマガジン位置決め排出
装置。 - 【請求項2】 前記可動担持部材の基準位置を設定し、
排出したマガジンと係合し得る該可動担持部材の位置を
該基準位置に基づき演算処理により求め、これを記憶手
段に記憶させることを特徴とする請求項1記載のマガジ
ン位置決め排出装置。 - 【請求項3】 フレームを複数枚配列収容するマガジン
を該マガジンが供給される供給位置にて可動担持部材上
に担持してフレーム配列方向において移動させて位置決
めすると共に、所定回収位置まで持ち来し得る位置決め
手段と、前記フレームを該マガジン及びボンディングス
テージの間で移送するフレーム移送手段と、排出位置及
び非排出位置の間で往復動自在な排出部材を具備して前
記回収位置に至ったマガジンを該排出部材によって前記
位置決め手段による位置決めの方向に対して交差する方
向に排出するマガジン排出手段とを有し、排出したマガ
ジンの排出方向とは反対側の面に係合し得る位置に前記
可動担持部材が達したときに前記排出部材を前記排出位
置から非排出位置に作動させるようになされていること
を特徴とするボンディング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3190294A JP2882745B2 (ja) | 1994-02-03 | 1994-02-03 | マガジン位置決め排出装置及びこれを具備したボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3190294A JP2882745B2 (ja) | 1994-02-03 | 1994-02-03 | マガジン位置決め排出装置及びこれを具備したボンディング装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07221124A JPH07221124A (ja) | 1995-08-18 |
JP2882745B2 true JP2882745B2 (ja) | 1999-04-12 |
Family
ID=12343941
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3190294A Expired - Fee Related JP2882745B2 (ja) | 1994-02-03 | 1994-02-03 | マガジン位置決め排出装置及びこれを具備したボンディング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2882745B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG102609A1 (en) * | 2001-01-10 | 2004-03-26 | Aem Tech Engineers Pte Ltd | Handling apparatus & method for a lead frame processing system |
-
1994
- 1994-02-03 JP JP3190294A patent/JP2882745B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07221124A (ja) | 1995-08-18 |
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