JP2877615B2 - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、高感度でかつ保存安定
性にすぐれた感光性樹脂組成物、殊にドライフィルムと
したときの未露光状態での保存安定性が良好な感光性樹
脂組成物に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

〈金属面への感光性樹脂組成物の成層、露光〉ポリエス
テルフィルムなどのベースフィルム上に感光性樹脂組成
物を層状に塗布成層し、その上からポリエチレンフィル
ム、ポリビニルアルコールフィルムなどの保護フィルム
を積層したラミネートフィルムは、一般にドライフィル
ムと称され、プリント配線板の製造用、金属の精密加工
用に広く使用されている。

【０００３】その使用にあたっては、まずドライフィル
ムからベースフィルムまたは保護フィルムのうち接着力
の小さい方のフィルムを剥離除去して感光性樹脂組成物
層の側を銅張基板の銅面に貼り付けた後、パターンマス
クを他方のフィルム上に当接させた状態で露光し（当該
他方のベースフィルムを剥離除去してから露光する場合
もある）、ついでその他方のフィルムを剥離除去して現
像に供する。露光後の現像方式としては、溶剤現像型の
ものと稀アルカリ現像型のものとがある。

【０００４】ドライフィルムのほか、金属面に直接感光
性樹脂組成物を塗布成層し、その上に積層したポリエス
テルフィルムなどのフィルムを介してパターンマスクを
密着させ、露光を行う方法もよく知られている。

【０００５】〈Ｎ−フェニルグリシン類を光重合開始剤
とする感光性樹脂組成物〉上述の感光性樹脂組成物の中
には、感度を向上させるべく、Ｎ−フェニルグリシンま
たはその誘導体を光重合開始剤とするものが知られてい
る。

【０００６】たとえば特開昭６１−１４４６４１号公報
には、常圧において１００℃以上の沸点を有する付加重
合性化合物、チオキサントン、Ｎ−アリール−α−アミ
ノ酸（Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−フェニル−Ｎ−メチ
ルグリシン等）を含有してなる光重合性組成物が示され
ている。

【０００７】特開昭６１−１７３２４２号公報には、常
圧において１００℃以上の沸点を有しかつ少なくとも１
種のエチレン性不飽和基を有する化合物、ベンゾフェノ
ン、ｐ−，ｐ’−ジメチル（またはエチル）アミノベン
ゾフェノン、Ｎ−フェニルグリシンまたはその誘導体よ
りなる光重合性組成物が示されている。

【０００８】特開昭６２−１２３４５０号公報には、常
圧において１００℃以上の沸点を有する付加重合性化合
物、Ｎ−アリール−α−アミノ酸（Ｎ−メチル−Ｎ−フ
ェニルグリシン等）、３００〜５５０nmの光を吸収する
光増感剤を含有してなる光重合性組成物が示されてい
る。

【０００９】特開平１−２３８６５６号公報、特開平２
−２３８６５６号公報にも、Ｎ−フェニルグリシンを開
始剤として用いた実施例が示されている。

【００１０】〈カルボン酸を含む感光性樹脂組成物〉カ
ルボン酸を含む感光性樹脂組成物も知られている。たと
えば特開昭６２−８１４１号公報には、シュウ酸（塩）
を用いた保存安定性の良い光重合成組成物が示されてい
る。特開昭６１−１９４４３８号公報には、フタル酸等
の酸を用いた基板上にスカム、ステインの少ない光重合
可能な組成物が示されている。特開昭６２−１０６４４
９号公報および特開昭６２−１０６４５０号公報には、
フタル酸、トリメリット酸等のカルボン酸を用いたコン
トラストの高い発色硬化感光組成物が示されている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】開始剤系にＮ−フェニ
ルグリシンを含む感光性樹脂組成物（殊にドライフィル
ム用の感光性樹脂組成物）は、感度が高いものの、たと
えばこれをドライフィルムとして未露光状態で保存する
とベース染料が変色するという問題点がある。

【００１２】Ｎ−フェニルグリシンにかかる先に引用し
た特開昭６１−１７３２４２号公報および特開昭６２−
１２３４５０号公報には、保存安定性につき言及がある
が、特開昭６１−１７３２４２号公報における保存安定
性とはドライフィルム化以前のドープ状態でのゲル化に
かかるものであり（４頁右上欄１０行、５頁右上欄１９
行〜６頁左下欄参照）、特開昭６２−１２３４５０号公
報におけるドライフィルムとしたときの未露光状態での
保存安定性は３０分〜９時間程度にすぎない（１０頁の
表４参照）。

【００１３】本発明は、このような背景下において、高
感度でかつ保存安定性にすぐれ、殊にドライフィルムと
した後の遮光（黒色ポリエチレンフィルムによる包装）
保存状態やイエローランプ下での保存状態での安定性、
特に後者のイエローランプ下での保存安定性が良好な感
光性樹脂組成物を提供することを目的とするものであ
る。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明の感光性樹脂組成
物は、ベースポリマー(A) 、エチレン性不飽和化合物
(B) 、光重合開始剤(C) よりなる組成物において、光重
合開始剤(C) として、Ｎ−フェニルグリシンと共に、ア
ミノベンゾフェノン系開始剤、ケタール系開始剤、イミ
ダゾール二量体系開始剤、ベンゾイン系開始剤、ベンゾ
フェノン系開始剤、チオキサントン系開始剤、アセトフ
ェノン系開始剤および含ハロゲン系開始剤よりなる群か
ら選ばれた少なくとも１種の開始剤を含むものを使用す
ること、２５℃におけるｐＫａが２〜４でありかつサリ
チル酸、モノクロル酢酸、マロン酸およびｏ−フタル酸
よりなる群から選ばれたカルボン酸を併用すること、お
よびＮ−フェニルグリシン１重量部に対する前記カルボ
ン酸の配合量が 0.5〜５重量部であることを特徴とする
ものである。

【００１５】以下本発明を詳細に説明する。

【００１６】ベースポリマー(A) ベースポリマー(A) としては、アクリル系樹脂、ポリエ
ステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリウレタン系樹
脂、エポキシ系樹脂などが用いられる。これらの中で
は、（メタ）アクリレートを主成分とし、必要に応じエ
チレン性不飽和カルボン酸や他の共重合可能なモノマー
を共重合したアクリル系共重合体が重要である。アセト
アセチル基含有アクリル系共重合体を用いることもでき
る。

【００１７】ここでアクリル酸エステルとしては、メチ
ル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレー
ト、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）ア
クリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、２−エチ
ルヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メ
タ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、ジ
メチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシ
エチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピル（メ
タ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレートな
どが例示される。

【００１８】エチレン性不飽和カルボン酸としては、ア
クリル酸、メタクリル酸、クロトン酸などのモノカルボ
ン酸が好適に用いられ、そのほか、マレイン酸、フマー
ル酸、イタコン酸などのジカルボン酸、あるいはそれら
の無水物やハーフエステルも用いることができる。これ
らの中では、アクリル酸とメタクリル酸が特に好まし
い。

【００１９】稀アルカリ現像型とするときは、エチレン
性不飽和カルボン酸を１５〜３０重量％程度（酸価で１
００〜２００mgKOH/g 程度）共重合することが必要であ
る。

【００２０】他の共重合可能モノマーとしてはアクリル
アミド、メタクリルアミド、アクリロニトリル、メタク
リロニトリル、スチレン、α−メチルスチレン、酢酸ビ
ニル、アルキルビニルエーテルなどが例示できる。

【００２１】エチレン性不飽和化合物(B) エチレン性不飽和化合物(B) としては、エチレングリコ
ールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ
（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ
（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、ブチレングリコールジ（メタ）アク
リレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレ
ート、１，６−ヘキサングリコールジ（メタ）アクリレ
ート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレー
ト、グリセリンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリス
リトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトー
ルトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトール
ペンタ（メタ）アクリレート、２，２−ビス（４−（メ
タ２−ヒドロキシ−３−（メタ）アクリロイルオキシプ
ロピル（メタ）アクリレート、エチレングリコールジグ
リシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ジエチレン
グリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレー
ト、１，６−ヘキサメチルジグリシジルエーテルジ（メ
タ）アクリレート、フタル酸ジグリシジルエステルジ
（メタ）アクリレート、グリセリンポリグリシジルエー
テルポリ（メタ）アクリレートなどの多官能モノマーが
あげられる。これらの多官能モノマーと共に、単官能モ
ノマーを適当量併用することもできる。

【００２２】単官能モノマーの例としては、２−ヒドロ
キシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロ
ピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メ
タ）アクリレート、２−フェノキシ−２−ヒドロキシプ
ロピル（メタ）アクリレート、２−（メタ）アクリロイ
ルオキシ−２−ヒドロキシプロピルフタレート、３−ク
ロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、
グリセリンモノ（メタ）アクリレート、２−（メタ）ア
クリロイルオキシエチルアシッドホスフェート、フタル
酸誘導体のハーフ（メタ）アクリレート、Ｎ−メチロー
ル（メタ）アクリルアミドなどがあげられる。

【００２３】ベースポリマー(A) １００重量部に対する
エチレン性不飽和化合物(B) の割合は、１０〜２００重
量部、特に３０〜１００重量部の範囲から選ぶことが望
ましい。エチレン性不飽和化合物(B) の過少は硬化不
良、可撓性の低下、現像速度の遅延を招き、エチレン性
不飽和化合物(B) の過多は粘着性の増大、コールドフロ
ー、硬化レジストの剥離速度低下を招く。

【００２４】光重合開始剤(C) 光重合開始剤(C) としては、Ｎ−フェニルグリシンと共
に、アミノベンゾフェノン系開始剤、ケタール系開始
剤、イミダゾール二量体系開始剤、ベンゾイン系開始
剤、ベンゾフェノン系開始剤、チオキサントン系開始
剤、アセトフェノン系開始剤および含ハロゲン系開始剤
よりなる群から選ばれた少なくとも１種の開始剤を含む
ものを使用する。上記開始剤としては、４，４’−ビス
（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、ベンジルジメチル
ケタール、ヘキサアリールイミダゾール二量体、ベンゾ
イン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエ
ーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン
ｎ−ブチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、
３，３’−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノン、ベ
ンゾフェノン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベン
ゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾ
フェノン、１，１−ジクロロアセトフェノン、ｐ−ｔ−
ブチルジクロロアセトフェノン、２−クロロチオキサン
トン、２−メチルチオキサントン、２，４−ジエチルチ
オキサントン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、
２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、
２，２−ジクロロ−４−フェノキシアセトフェノン、ト
リブロモフェニルスルホン、トリブロモメチルフェニル
スルホンなどを含むものが用いられる。

【００２５】光重合開始剤(C) の配合割合は、べースポ
リマー(A) とエチレン性不飽和化合物(B) との合計量１
００重量部に対し１〜２０重量部程度とするのが適当で
ある。このうちＮ−フェニルグリシンは0.01〜５重量部
程度、殊に0.01〜１重量部を占めることが望ましい。

【００２６】光発色剤、染料 本発明の組成物には、通常、光発色剤や染料を添加す
る。光発色剤としては、ロイコクリスタルバイオレッ
ト、トリス（４−ジエチルアミノ−ｏ−トリル）メタ
ン、ビス（４−ジエチルアミノ−ｏ−トリル）フェニル
メタン、ビス（４−ジエチルアミノ−ｏ−トリル）チエ
ニル−２−メタン、ビス（２−クロロ−４−ジエチルア
ミノフェニル）フェニルメタン、ロイコマラカイトグリ
ーンなどが例示される。染料としては、マラカイトグリ
ーン、ビクトリアピュアブルー、フクシン、メチルオレ
ンジ、ナイルブルー２Ｂ、ナイトグリーンＢ、スピロン
ブルー、アシッドバイオレットＲＲＨ、オーラミン塩基
などが例示される。

【００２７】光発色剤、染料の配合割合は、べースポリ
マー(A) とエチレン性不飽和化合物(B) との合計量１０
０重量部に対し、それぞれ0.01〜３重量部程度、0.01〜
１重量部程度とするのが適当である。

【００２８】カルボン酸 そして本発明においては、２５℃におけるｐＫａが２〜
４でありかつサリチル酸、モノクロル酢酸、マロン酸お
よびｏ−フタル酸よりなる群から選ばれたカルボン酸を
併用する。

【００２９】上記カルボン酸の配合量は、Ｎ−フェニル
グリシン１重量部に対し 0.5〜５重量部程度とする。カ
ルボン酸の過少はドライフィルムについている色の褪色
を招き、カルボン酸の過多は露光前の発色を招く。

【００３０】他の添加剤 本発明の感光性樹脂組成物には、そのほか、密着性付与
剤、可塑剤、酸化防止剤、熱重合禁止剤、溶剤、表面張
力改質剤、安定剤、連鎖移動剤、消泡剤、難燃剤などの
添加剤を適宜添加することができる。

【００３１】配合順序 上記各成分の配合順序には特に限定はないが、エチレン
性不飽和化合物(B) は使用に先立ち最後に配合する方が
望ましい場合が多い。

【００３２】成層方法 上記の感光性樹脂組成物は、これをポリエステルフィル
ム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルムな
どのベースフィルム面に塗工した後、その塗工面の上か
らポリエチレンフィルム、ポリビニルアルコール系フイ
ルムなどの保護フィルムを被覆してドライフィルムとす
る。

【００３３】ドライフィルムのほか、金属面に直接感光
性樹脂組成物を塗布成層することもできる。

【００３４】露光 ドライフィルムの場合は、ベースフィルムと感光性樹脂
組成物層との接着力および保護フィルムと感光性樹脂組
成物層との接着力を比較し、接着力の低い方のフィルム
を剥離してから感光性樹脂組成物層の側を銅張基板の銅
面などの金属面に貼り付けた後、他方のフィルム上にパ
ターンマスクを密着させて露光する。感光性樹脂組成物
層が粘着性を有しないときは、前記他方のフィルムを剥
離してからパターンマスクを感光性樹脂組成物層に直接
接触させて露光することもできる。

【００３５】金属面に直接塗工した場合は、その塗工面
に直接またはポリエステルフィルムなどを介してパター
ンマスクを接触させ、露光に供する。

【００３６】露光は通常紫外線照射により行い、その際
の光源としては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、カーボン
アーク灯、キセノン灯、メタルハライドランプ、ケミカ
ルランプなどが用いられる。露光量は、４０〜２００ｍ
Ｊ／ｃｍ^２程度とすることが多い。紫外線照射後は、必
要に応じ加熱を行って硬化の完全を図ることもできる。

【００３７】現像 露光後は、レジスト上のフィルムを剥離除去してから現
像を行う。本発明の感光性樹脂組成物が稀アルカリ現像
型であるときは、露光後の現像は、炭酸ソーダ、炭酸カ
リウムなどのアルカリの稀薄水溶液を用いて行う。溶剤
現像型であるときは、１，１，１−トリクロロエタンな
どの溶剤を用いて現像を行う。

【００３８】エッチング、メッキ エッチング法を採用するときは、塩化第二鉄水溶液や塩
化第二銅水溶液などのエッチング液を用いて常法に従っ
てエッチングを行う。メッキ法を採用するときは、脱脂
剤、ソフトエッチング剤などのメッキ前処理剤を用いて
前処理を行った後、メッキ液を用いてメッキを行う。

【００３９】硬化レジストの剥離除去 硬化レジストの剥離除去は、溶剤現像型の感光性樹脂組
成物の場合には、塩化メチレンなどの溶剤を用いて行
う。稀アルカリ現像型の感光性樹脂組成物の場合には、
水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどの１〜５重量％
程度の濃度のアルカリ水溶液からなるアルカリ剥離液を
用いて行う。

【００４０】用途 本発明の感光性樹脂組成物は、プリント配線板の製造
用、金属の精密加工用をはじめ、種々の用途に用いるこ
とができる。

【００４１】

【作用】本発明の感光性樹脂組成物は、高感度であるの
みならず、たとえばこれをドライフィルムとして未露光
状態で保存しても、長期にわたり保存することができ
る。

【００４２】

【実施例】次に実施例をあげて本発明をさらに説明す
る。以下「部」、「％」とあるのは重量基準で表わした
ものである。

【００４３】実施例１〜４、比較例１〜５ 〈ドープの調製〉ベースポリマー(A) として、メチルメ
タクリレート／ｎ−ブチルメタクリレート／スチレン／
メタクリル酸（重量比５０／２０／５／２５）共重合体
を準備した。

【００４４】エチレン性不飽和化合物(B) として、エチ
レンオキサイド変性トリメチロールプロパントリ（メ
タ）アクリレート（日本化薬株式会社製の「ＴＨＥ−３
３０」）、ポリエチレングリコール（２００）ジアクリ
レート（共栄社油脂工業株式会社製の「４ＥＧ−Ａ」）
および２−アクリロイルオキシエチル−２−ヒドロキシ
エチルフタル酸（共栄社油脂工業株式会社製の「ＨＯＡ
−ＭＰＥ」）よりなるアクリル系モノマー３種の重量比
で１５／１５／６の混合物を準備した。

【００４５】光重合開始剤(C) として、下記の処方のも
のを準備した。 ・Ｎ−フェニルグリシン 0.15部 ・ベンゾフェノン 1.0 部 ・ベンジルジメチルケタール 4.0 部 ・４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン 0.12部 ・ヘキサアリールイミダゾール二量体 1.0 部 合計 6.27部

【００４６】光発色剤および染料として、下記のものを
準備した。 ・ロイコクリスタルバイオレット（光発色剤） ・マラカイトグリーン（染料）

【００４７】上記のベースポリマー(A) ５５部、エチレ
ン性不飽和化合物(B) ３６部、光重合開始剤(C) 6.27
部、光発色剤 0.7部、染料0.05部、および下記のカルボ
ン酸を下記の量混合し、ドープを調製した。比較のた
め、カルボン酸を配合しない場合、カルボン酸を配合せ
ずかつＮ−フェニルグリシンを配合しない場合について
も、同様にドープを調製した。 実施例１ サリチル酸（ｐＫａ＝3.00） 0.5 部 実施例２ モノクロル酢酸（ｐＫａ＝2.87） 0.5 部 実施例３ マロン酸（ｐＫａ＝2.86） 0.3 部 実施例４ ｏ−フタル酸（ｐＫａ＝2.89） 0.18部 比較例１ （カルボン酸配合せず） 比較例２ コハク酸（ｐＫａ＝4.21） 0.15部 比較例３ マレイン酸（ｐＫａ＝1.92） 0.15部 比較例４ マレイン酸（ｐＫａ＝1.92） 1.0 部 比較例５ （カルボン酸およびＮ−フェニルグリシンの
双方を配合せず）

【００４８】〈ドライフィルムの作成〉それぞれのドー
プを、ギャップ１０ミルのアプリケーターを用いて厚さ
２０μm のポリエステルフィルム上に塗工し、室温で１
分３０秒放置した後、６０℃、９０℃、１１０℃のオー
ブンでそれぞれ３分間乾燥して、レジスト厚５０μm の
ドライフィルムとなした（ただし保護フィルムは設けて
いない）。

【００４９】〈銅張積層板へのラミネート〉 このドライフィルムを、オーブンで６０℃に予熱した銅
張積層板上に、ラミネートロール温度１００℃、同ロー
ル圧３ｋｇ／ｃｍ^２、ラミネート速度１．５ｍ／ｍｉｎ
にてラミネートした。

【００５０】〈感度評価のための露光と現像〉感度評価
のため、この基板にストーファーステップタブレット
（２１段）を重ねて、３ＫＷ超高圧水銀灯を用いて露光
した。露光後１５分経過してから、ポリエステルフィル
ムを剥離し、１％炭酸ソーダ水溶液で現像した。現像条
件は、スプレー圧 1.5kg/cm²、液温３０℃、現像時間５
０秒とした。ステップタブレットの８段まで硬化する露
光量をもって感度を評価した。

【００５１】〈解像性、細線密着性評価のための露光と
現像〉同様にラミネートした基板に、ライン幅とスペー
ス幅が５０μm 〜３００μmの各組み合わせを持つ直線
パターンのマスクおよびライン幅が３０μm 〜１５０μ
m 、スペース幅が４００μm のパターンのマスクを重ね
て、それぞれ６０mj/cm²で露光し、同様に現像した。こ
れを塩化銅（２３０〜２５０g/リットル）−塩酸（２
Ｎ）系エッチング液により、スプレー圧２kg/cm²、９０
秒の条件でエッチングした後、解像性、細線密着性を評
価した。

【００５２】〈未露光ドライフィルムの保存安定性〉 また、上述のドライフィルムを、黄色光２０００Ｌｘに
て３６時間照射し、マラカイトグリーンの褪色、ロイコ
クリスタルバイオレットの発色を調べた。マラカイトグ
リーンの褪色がなく、かつロイコクリスタルバイオレッ
トの発色がなければ保存安定性が良好であることを意味
する。

【００５３】〈結果〉感度評価、解像性、細線密着性、
保存安定性の結果を表１に示す。

【００５４】

【表１】 感度評価 解 像 性 細線密着性 保 存 安 定 性 (mj/cm²) Ｌ幅／Ｓ幅 Ｌ幅／Ｓ幅 ＭＧの褪色 LCV の発色 実施例１ 90 60／50 50／400 なし なし 実施例２ 70 60／50 50／400 なし なし 実施例３ 90 60／50 50／400 なし なし 実施例４ 50 60／50 50／400 なし なし 比較例１ 70 60／50 50／400 あり なし 比較例２ 80 60／50 50／400 あり なし 比較例３ 80 60／50 50／400 なし あり 比較例４ 90 60／50 50／400 なし あり 比較例５ 240 70／70 60／400 なし なし （注） ・ 感度評価は、ステップタブレット８段まで硬化する
ときの露光量である。 ・ 解像性の項中、Ｌ幅はライン幅 (μm)、Ｓ幅はスペ
ース幅 (μm)であり、この幅のパターンまで解像できる
ことを表わす。 ・ 細線密着性の項中、Ｌ幅はライン幅 (μm)、Ｓ幅は
スペース幅 (μm)であり、この幅のパターンまでエッチ
ング後も基板上に密着していることを表わす。 ・ 保存安定性の項中、「ＭＧの褪色」とあるのはマラ
カイトグリーンの褪色の有無、「ＬＣＶの発色」とある
のはロイコクリスタルバイオレットの発色の有無であ
る。

【００５５】表１から、実施例の感光性樹脂組成物は、
これをドライフィルムとして未露光状態で保存したとき
の保存安定性がすぐれていることがわかる。

【００５６】

【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物は、感度、解
像性および細線密着性が良好であるのみならず、保存安
定性がすぐれており、たとえばこれをドライフィルムと
し未露光状態で保存しても、長期間にわたり感光が防止
できる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−287556（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−122937（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−106450（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−194438（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−146903（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−178227（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G03F 7/004 - 7/31

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ベースポリマー(A) 、エチレン性不飽和化
   合物(B) 、光重合開始剤(C) よりなる組成物において、
   光重合開始剤(C) として、Ｎ−フェニルグリシンと共
   に、アミノベンゾフェノン系開始剤、ケタール系開始
   剤、イミダゾール二量体系開始剤、ベンゾイン系開始
   剤、ベンゾフェノン系開始剤、チオキサントン系開始
   剤、アセトフェノン系開始剤および含ハロゲン系開始剤
   よりなる群から選ばれた少なくとも１種の開始剤を含む
   ものを使用すること、２５℃におけるｐＫａが２〜４で
   ありかつサリチル酸、モノクロル酢酸、マロン酸および
   ｏ−フタル酸よりなる群から選ばれたカルボン酸を併用
   すること、およびＮ−フェニルグリシン１重量部に対す
   る前記カルボン酸の配合量が 0.5〜５重量部であること
   を特徴とする感光性樹脂組成物。
2. 【請求項２】光重合開始剤(C) と共に、光発色剤または
   染料を併用することを特徴とする請求項１記載の感光性
   樹脂組成物。
3. 【請求項３】ドライフィルム用の感光性樹脂組成物であ
   る請求項１または２記載の感光性樹脂組成物。