JP2871235B2 - 能動液晶表示装置 - Google Patents
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Description
関し、特に欠陥画素電極をゲート・バスおよび/或いは
ソース・バスに短絡せしめて画素欠陥を緩和する構成を
具備した能動液晶表示装置に関する。
1、図2を参照して説明するに、11は透明基板であ
り、その上には画素電極15のマトリックスが形成され
ている。16はTFT(薄膜トランジスタ)であり、画
素電極15と同様透明基板11上に設けられたものであ
る。TFT16は画素電極15のそれぞれに1個づつ対
応している。18はゲート・バスであり、画素電極15
の各行に沿って形成されている。19はソース・バスで
あり、画素電極15の各列に沿って形成されたものであ
る。TFT16の各々はそのゲートをゲート・バス18
に接続し、そのソースをソース・バス19に接続してい
る。そして、TFT16のドレインは画素電極15に接
続している。17は透明基板12内面に形成された共通
電極であり、この共通電極17と画素電極15のマトリ
ックスおよびTFT16を含む透明基板11との間には
液晶14が封入されている。
バス19は共に選択的に駆動されるのであるが、これら
によりゲートおよびソースの双方が駆動されたTFT1
6のみが導通してこれに対応する画素電極15に電圧が
印加され、この画素電極と共通電極17との間の液晶1
4の光学的状態が変化することとなる。ノーマリー・ホ
ワイト・モードを採用する能動液晶表示装置において
は、電圧が印加された画素電極に対応する画素の光学的
状態が白側から黒側に変化し、このことにより表示をす
ることができる。
これが例えばノーマリー・ホワイト・モードを採用する
能動液晶表示装置である場合、画素電極と共通電極との
間が常に無電圧となる画素欠陥が生ずると、この画素は
常に白である白欠陥画素となる。この白欠陥は欠陥とし
て大変に目立つものであるところから、液晶表示装置製
造の歩留まりは当然に悪くなる。この様な画素欠陥の弊
害を緩和するために、欠陥画素電極をゲート・バス或い
はソース・バスに短絡せしめて能動液晶表示装置の動作
中これに電位を与え、白欠陥を黒欠陥化する技術が開発
されている。以下、図4、図5を参照してこの技術につ
いて説明する。
害を緩和する技術の説明をするに先だって、液晶表示装
置の製造工程を図3を参照して簡単に説明しておく。透
明基板11上のTFTを形成する位置に対応するところ
に光を遮断する例えばクロム、モリブデンによりライト
・シールド21を形成し、次いで絶縁層22を透明基板
11上面全面に形成する。そして、その上面に画素電極
15、ソース・バス19がITOの如き透明導電体によ
り形成され、更に画素電極15およびソース・バス19
にまたがってTFT16を構成する半導体層23が形成
される。これらの上に更に窒化シリコンによりゲート絶
縁膜24を形成し、この絶縁膜24の上面の半導体層2
3に対応するところにゲート電極25を形成し、これに
接続するゲート・バス18も形成される。なお、ライト
・シールド21は半導体層23に光が入射して光導電効
果が生ずるのを防止するためのものである。
はソース・バスに短絡せしめてこの白欠陥を黒欠陥化し
て白欠陥の目立ち具合を緩和する技術についてである
が、これは透明基板11上に絶縁層22を形成するに先
だって、画素電極15とソース・バス19との間を短絡
する例えばクロム、モリブデンより成る短絡用金属層2
8を各画素に対応して透明基板11上に形成しておく。
そして、画素電極15とソース・バス19の上面には同
様に例えばクロム、モリブデンより成る溶接用金属層2
9、31を具備せしめておく。もし、図4、222に図
示される画素電極15が欠陥画素電極である場合は、溶
接用金属層29および31と短絡用金属層28とが重な
った部分に着目してここにレーザ光34を照射し、これ
ら金属層を融解すると共に絶縁層22を破壊することに
より、溶融金属35、36および短絡用金属層28を介
してこの欠陥画素電極15とソース・バス19との間を
短絡する。欠陥画素電極15がソース・バス19に接続
した結果、ソース・バス19に通常印加されている電位
が欠陥画素電極15にも印加されることとなり、この欠
陥画素電極15は白欠陥画素電極であったところ、逆に
黒欠陥画素電極となるに到る。ノーマリー・ホワイト・
モードを採用する能動液晶表示装置である場合は、黒欠
陥は白欠陥と比較して目立ちにくく、白欠陥画素電極を
黒欠陥画素電極にすることにより液晶表示装置製造の歩
留まりを向上することができることになる。
陥画素電極にすることにより液晶表示装置の歩留まりを
向上する上述の技術は、溶接用金属層29および31と
短絡用金属層28とが重なった部分に着目してここにレ
ーザ光34を照射し、これら金属層を融解すると共に絶
縁層22を破壊する工程を採用するものである。液晶表
示装置における画素は極く微小なものであり、金属層お
よび絶縁膜は極く薄いものであることは言うまでもな
く、そして溶接用金属層29および31と短絡用金属層
28はクロム或いはモリブデンの様な高融点のものが採
用されることから、レーザ光34を照射して上述の金属
層を融解、絶縁層を破壊する際の高温に起因して、金属
層と絶縁膜との間に剥離の生ずる恐れが多分にある。金
属層のこの様な剥離が発生した場合、共通電極17に短
絡するに到る恐れは充分にある。
能動液晶表示装置を提供しようとするものである。
装置は、欠陥画素電極をゲート・バス18および/或い
はソース・バス19に短絡せしめて能動液晶表示装置の
動作中この欠陥画素電極に電位を与える構成を具備する
上述した通りの能動液晶表示装置において短絡用金属層
28および溶接用金属層29、31により構成したレー
ザ溶融部上方に展性、延性に富む金属層40、41を形
成した。
明する。図7は図6の鎖線A−Aにおける断面を示す図
である。ここで、図6は図4に対応する図であり、図7
は図5に対応する図である。これらの図において共通す
る参照数字は互いに同一の部材を示すものとする。
電極をゲート・バス18および/或いはソース・バス1
9に短絡せしめて能動液晶表示装置の動作中この欠陥画
素電極に電位を与える構成を具備する上述した通りの能
動液晶表示装置において短絡用金属層28および溶接用
金属層29、31により構成したレーザ溶融部上方に展
性、延性に富む金属層40、41を形成したものに相当
する。以下、図3をも含めて説明する。
する位置に対応するところに光を遮断するライト・シー
ルド21を例えばクロム、モリブデンにより形成する。
この工程においては、その後の工程において形成される
画素電極15とゲート・バス18或いはソース・バス1
9相互間に亘る短絡用金属層28を各画素電極に対応し
て透明基板11上面にライト・シールド21と同一の金
属例えばクロム、モリブデンにより、ライト・シールド
21と同時に形成する。
び短絡用金属層28を含めて透明基板11上面全面には
絶縁層22を形成する。絶縁層22の上面には、画素電
極15、ソース・バス19をITOの如き透明導電体に
より形成すると共に画素電極15およびソース・バス1
9にまたがってTFT16を構成する半導体層23を形
成する。このとき、画素電極15上面とソース・バス1
9上面の短絡用金属層28に対応するところには、上述
の金属と同様の金属例えばクロム、モリブデンより成る
溶接用金属層29、31が形成される。なお、画素電極
15上面のゲート・バス18についての短絡用金属層に
対応するところにも溶接用金属層を形成しておく。
よび半導体層23を含む絶縁層22の上面には窒化シリ
コンより成るゲート絶縁膜24が形成される。ゲート絶
縁膜24上面には、その半導体層23に対応してゲート
電極25を形成すると共にゲート電極25に接続するゲ
ート・バス18が形成される。このとき、ゲート・バス
18上面の短絡用金属層に対応するところには上述の金
属と同様の金属例えばクロム、モリブデンより成る溶接
用金属層が形成される。そして、この工程においては、
画素電極15上面とソース・バス19上面に形成された
溶接用金属層29、31に対応するゲート絶縁膜24上
面に、この発明に基づいて展性、延性に富む金属層4
0、41を、ゲート電極25と同一の金属例えばアルミ
ニウムにより、ゲート電極25と同時に形成する。これ
らの上面は保護層26により被覆される。
18上面に形成された溶接用金属層に対応する保護層2
6上面に、この発明に基づいて展性、延性に富む金属層
を、例えばアルミニウムにより形成する。能動液晶表示
装置の製造後、欠陥画素が発見された場合、図7に示さ
れる如く、透明基板11下面からレーザ照射し、短絡用
金属層28および溶接用金属層29、31を溶融すると
共に絶縁層22を破壊して画素電極15とソース・バス
19とを電気的に接続することができる。
晶表示装置は、欠陥画素電極をゲート・バス18および
/或いはソース・バス19に短絡せしめて能動液晶表示
装置の動作中この欠陥画素電極に電位を与える構成を具
備する上述した通りの能動液晶表示装置において、短絡
用金属層および溶接用金属層により構成したレーザ溶融
部上方に展性、延性に富む金属層を形成してレーザ溶融
部上方をカバーするものであり、図7に示される如く、
透明基板11下面からレーザ照射し、短絡用金属層28
および溶接用金属層29、31を溶融すると共に絶縁層
22を破壊して画素電極15とソース・バス19とを電
気的に接続する作業を実施しても、このカバーにより金
属層と絶縁膜との間に剥離が発生するのを防止すること
ができた。
如く、ゲート電極25と同一の金属例えばアルミニウム
によりゲート電極25と同時に形成することができるの
で、各別の製造工程の増加もない。この発明の説明はト
ップ・ゲート構造の能動液晶表示装置についてのもので
あったが、これはボトム・ゲート構造の能動液晶表示装
置についてもあてはまることは言うまでもなく、また白
欠陥画素電極を黒欠陥画素電極にする場合を例にした
が、黒欠陥画素電極を白欠陥画素電極にする場合にも適
用することができるものであることも言うまでもない。
を示す図。
断面をを示す図。
Claims (1)
- 【請求項1】 透明基板上面全面に絶縁層を形成し、絶
縁層の上面に画素電極、ソース・バスを形成すると共に
画素電極およびソース・バスにまたがってTFTを構成
する半導体層を形成し、これら画素電極、ソース・バス
および半導体層の上にゲート絶縁膜を形成し、ゲート絶
縁膜上面にその半導体層に対応してゲート電極を形成す
ると共にゲート電極に接続するゲート・バスを形成し、
ゲート電極およびゲート・バス上面には保護層を形成
し、画素電極とゲート・バスおよび/或いはソース・バ
ス相互間に亘る短絡用金属層を各画素電極について透明
基板上面に形成し、画素電極上面とゲート・バスおよび
/或いはソース・バスの上面に溶接用金属層を具備し、
溶接用金属層上方のゲート絶縁膜上面および/或いは保
護層上面に展性、延性に富む金属層を形成したことを特
徴とする能動液晶表示装置。
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