JP2854896B2 - 圧力センサー - Google Patents

圧力センサー

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JP2854896B2
JP2854896B2 JP1313103A JP31310389A JP2854896B2 JP 2854896 B2 JP2854896 B2 JP 2854896B2 JP 1313103 A JP1313103 A JP 1313103A JP 31310389 A JP31310389 A JP 31310389A JP 2854896 B2 JP2854896 B2 JP 2854896B2
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、容量性圧力変換器を有する圧力センサー、
特に、ハウジングに装着後、変換器に対して較正可能な
信号条件づけ電気回路を有しハウジングに装着される圧
力に応答する容量性圧力変換器を備える圧力センサーに
関する。
従来の技術 米国特許第4,716,492号に示される様な公知の圧力セ
ンサーは、セラミック基部に対して接近して間隔を設け
られシールされて重なる関係に装着される薄いセラミッ
ク隔膜と、コンデンサを形成するために相互に対して接
近して所定の間隔を設けられる関係に配置されるコンデ
ンサ板として役立つ様に該隔膜および基部の夫々の対向
面に沈着される金属被覆とを有する容量性圧力変換器を
備えている。コンデンサ板に結合される変換器端子は、
変換器基部の反対側面に配置され、変換器端子に結合さ
れる信号条件づけ電気回路は、変換器に装着される。電
気絶縁材料のカップ形コネクタ体部は、電気回路上に装
着され、加えられる圧力に変換器隔膜を露出するポート
と、コネクタ体部に対して変形されるリムとを有する金
属ハウジングスリーブによって変換器に固定される。該
配置では、隔膜は、加えられる圧力の変化によってコン
デンサの静電容量を変更する様に隔膜に加えられる圧力
の変化に応答して可動であり、電気回路は、加えられる
圧力に相当する電気的出力信号を与える。該電気回路
は、センサーが低コストの量産に好適であるために広い
用途に適応する様に、センサーハウジングに装着後に容
量性圧力変換器に対して較正可能である。センサーを適
正に較正して較正後にセンサーを密封し、センサーがか
なりの電磁的干渉のある自動車の環境等における使用に
適合可能なことを保証する様に経済的な態様でセンサー
を組立てることは、幾分困難である。
発明の要約 本発明の目的は、新規で改良された圧力センサーを提
供し、改良された容量性圧力変換器を有する該センサー
を提供し、低コストにおける一層経済的で信頼性のある
製造に適応する構造を有する該センサーを提供し、ハウ
ジング内に装着後に便利な態様で相互に対して較正され
る様に共通ハウジング内に装着される容量性圧力変換器
と、信号条件づけ回路とを有する該圧力センサーを提供
し、該較正後に容易に密封される該センサー提供し、自
動車環境等で使用するために改良された電磁的適合性を
有する該センサーを提供することである。
要約すると、本発明の新規で改良された圧力センサー
は、加えられる圧力によって変化する静電容量を与える
様に加えられる圧力に露出されるべき一面を有する容量
性圧力変換器を備えている。変換器端子は、変換器の反
対側面に配置される。好ましくは電気絶縁材料で形成さ
れるコネクタ体部は、それに装着されるコネクタ端子を
有し、金属ハウジングは、それ等の間にチャンバを形成
する様に変換器の反対側面に対して重なる関係にコネク
タ体部を固定する。電気回路は、加えられる圧力に相当
する電気信号を与える様に変換器およびコネクタの端子
に電気的に結合されチャンバ内に配置される。好ましく
は、コネクタ体部は、底と、側壁と、リムとを有するカ
ップ形であり、チャンバを形成する様に対向する変換器
面に対して対向する関係に配置されるリムを有し、コネ
クタ端子は、チャンバの外部へ体部の底を通ってチャン
バから延びる。好ましくは、ハウジングは、加えられる
圧力に変換器の一面を露出するポートと、容量性変換器
の対向面に対してコネクタ体部のリムを締付けるコネク
タ体部上で変形されたスリーブのリムとを有しコネクタ
体部の少なくとも一部と、変換器とを収容する金属スリ
ーブを備えている。該回路は、好ましくは、ハウジング
に装着後に変換器に対して較正される様に構成される。
本発明によると、該電気回路は、好ましくは、変換器
端子に対して電気的に結合される関係で電気回路の構成
要素を装着し変換器の対向面に対して重なる関係に配置
される一端部と、コネクタ端子に電気的に結合され回路
パスを装着し該一端部の上に折曲げられる反対側端部と
を有する可撓性基板を備えている。好ましくは、該電気
回路は、それに対する電気的接地結合を形成する回路パ
スを有し、これ等の接地結合回路パスは、改良された電
磁的適合性を有するセンサーを与える様にセンサーの金
属ハウジングに容量的に結合される。好ましくは、可撓
性基板は、それから延びる一体のタブと、該タブに形成
される回路パッドと、該回路パッドと回路の接地結合回
路パスとの間に結合されるコンデンサとを有し、該タブ
は、回路パッドが回路の接地結合回路パスをハウジング
に容量的に結合するために電気的な結合係合においてハ
ウジングに締付けられる様に、コネクタ体部と金属ハウ
ジングスリーブとの間に延びる。好ましくは、可撓性基
板は、その各端部から延びるタブと、各タブの回路パッ
ドと、夫々の回路パスと回路の接地結合回路パスとの間
に結合されるコンデンサと、回路パスがこれ等の間の各
々に対して電気的に結合される関係において締付けられ
るために各々に対して重なる関係でコネクタ体部と変換
器との間に延びる様に、折曲げられる可撓性基板の端部
と、基板の各端部の電気回路の接地結合のハウジングへ
の容量性結合を与えるためにハウジングとの電気的結合
の係合において締付けられコネクタ体部と金属ハウジン
グスリーブとの間に延びる少なくとも1つのタブとを有
している。
好ましくは、電気回路がハウジングへの装着後に較正
される様に構成されるとき、コネクタ体部は、センサー
を較正するために回路の該較正部分への近接を許容する
様に可撓性基板の電気回路の較正部分に隣接してその反
対側端部を配置するためにチャンバ内に延びハウジング
の外側に一端において開口する一体の管状部分を有して
いる。カプセルに包むための材料は、チャンバを密封す
るためにコネクタ体部の管状部分に挿入され、該管状部
分は、回路の他の部分の適正な作用を保証するために回
路の較正部分に対してカプセルを包むための材料を制限
する。
本発明の新規で改良された圧力センサーのその他の目
的、利点および詳細は、本発明の実施例に関し添付図面
を参照する下記の説明によって明らかになる。
実施例 図面を参照すると、第1図、第2図、第5図、第6図
の10は、好ましくは図示の様に平坦な円板形状の圧力に
応答する容量性圧力変換器12を有する本発明の新規な圧
力センサーを示し、該変換器は、加えられる流体圧力等
に露出されるべき1つの面12.1と、それに配置される変
換器端子を有する反対側面12.2とを備えている。好まし
くは、該変換器は、アルミナ等の様なセラミック材料の
薄い隔膜14を有し、該隔膜は、ガラスシール材18等(第
7図参照)によって同様の材料のセラミック基部16に対
して接近して間隔を設けられシールされて重なる関係で
装着され、加えられる圧力の変化に応答して基部に対し
て可動である。金属被覆20,22は、加えられる圧力によ
って変化する静電容量を有するコンデンサを形成するた
めに接近して間隔を設けられる関係に配置されるコンデ
ンサ板として役立つ様に隔膜および基部の対向面14.1,1
6.1に設けられる。端子24,26は、変換器の対向面に配置
される様にセラミック基部を通ってシールされた関係で
コンデンサ板から延びる。この様に述べた如く、該変換
器の構造は、上述の米国特許で言及した様に周知であ
る。該被覆は、非常に薄くて均等な厚さを有し、従っ
て、金属被覆の間の間隔は、非常に精密に予め定めら
れる。所望により、金属保護リング16.2は、コンデンサ
板16.1を包囲し、対応する端子34を備えている。
本発明によると、該センサーは、チャンバ38をそれ等
の間に形成する様に変換器の反対側面12.2に対して重な
る関係に配置されるガラス補強改質ポリエチレンテラフ
タレートの様な電気絶縁材料のコネクタ体部36を更に有
している。好ましくは、コネクタ体部は、底36.1と、側
壁36.2と、リム36.3と、リムのまわりに延びるフランジ
36.4とを有するカップ形であり、好ましくは体部の底を
経てチャンバからセンサーの外部の位置へ延びる複数の
コネクタ端子40,42,44を有している。コネクタ体部は、
チャンバ38を形成する様に変換器の対向面12.2に対向す
る関係のリム36.3によって配置される。ハウジング46
は、変換器面12.1を加えられる圧力に露出するためのポ
ート46.1と、変換器面12.1と該ポートとの間に配置され
るシール用Oリング48等と、変換器およびコネクタ体部
の少なくとも一部を収容する金属スリーブ46.2とを有
し、該スリーブは、チャンバ38を形成するためにコネク
タ体部と、変換器とを一体に締付ける様にフランジ36.4
の様なコネクタ体部の少なくとも一部を被ってスエージ
ング等によって変形されたリム部分46.3を有している。
センサー10は、容量性変換器に加えられる圧力に相当
する電気信号を与える様に、第2図から第6図までに全
体を50で示されチャンバ38内に配置される電気回路を更
に備えている。好ましくは、該回路は、ハウジング46に
装着後、変換器に対して較正される様に構成される。該
回路が上述の米国特許で言及した様に周知であるため、
該回路の総ての詳細は、ここに記載されず、該回路は、
集積回路ユニット、抵抗器、コンデンサ等の様な回路の
構成要素を有することが認められる。本発明によると、
電気回路50は、商標カプタン(Kaptan)によって販売さ
れるポリイミド材料の様な丈夫で柔軟で耐熱性の電気絶
縁材料の可撓性基板52を更に有している。可撓性基板の
一端部52.1は、相互にまた変換器端子に対して電気的に
結合される関係で電気回路の構成要素を装着する変換器
の対向面12.2に対して重なる関係に配置され、可撓性基
板の反対側端部52.2は、チャンバ38内のコネクタ体部の
底の下に横たわる様に第2図、第5図に示す如く第1部
分52.1を被って折曲げられ、該反対側端部は、コネクタ
端子に電気的に結合されてそれに形成される回路パスを
有している。所望により、可撓性基板の反対側端部は、
回路構成要素をも装着する。
好ましくは、例えば特に第3図に示す様に、可撓性基
板は、コンデンサ58,60,62,86および抵抗器64を有する
基板の端部52.1に装着される集積回路ユニット53と、夫
々の変換器端子24,26,34の上に装着される可撓性基板の
開口部52.3とを有している。可撓性基板の反対側端部5
2.2は、中間の低減された巾の容易に曲げ得るヒンジ部
分52.4によって第1部分52.1に結合され、それに装着さ
れるコンデンサ54,56,82および抵抗器66と、夫々のコネ
クタ端子40,42,44の上に装着される開口部52.5とを有し
ている。回路パスは、所望の態様で相互と、変換器と、
コネクタ端子とに回路構成要素を電気的に結合するため
に可撓性基板に沈着される。該配置では、コネクタ端子
40は、センサーを+5V DC電源に結合するのに役立ち、
コネクタ端子42は、センサーに接地結合を与え、コネク
タ端子44は、加えられる圧力に相当する信号出力をセン
サーに与え、変換器端子24は、変換器に電力の入力を与
え、変換器端子26は、変換器からの圧力検出信号を集積
回路ユニットに与え、変換器端子34は、変換器の保護リ
ング16.2に結合され、回路パスパッド70は、周知の態様
で変換器12に対して電気回路50を較正するために集積回
路ユニットへの入力を許容し、回路パス72は、電気回路
50に接地結合を与え、保護リング16.2に結合される回路
パス74は、検出器信号を電磁的に遮蔽するために検出器
端子の回路パス76のまわりに延び、他の回路パス78は、
第3図に図式的に示す様に回路結合を与えるために相互
と、端子とへ回路構成要素を電気的に結合する。
本発明によると、回路の電気的接地結合を形成する電
気回路50の回路パス部分は、センサーがかなりの電磁的
干渉に露出されている自動車の環境において使用するの
に改良された電磁的適合性をセンサーに与える様にセン
サーの金属ハウジング46に好ましくは容量的に結合され
る。好ましくは、例えば可撓性基板の一体のタブ部分5
2.6は、可撓性基板の端部52.2から延び、それに形成さ
れる回路パッド80を有している。コンデンサ82は、回路
に接地結合を与える回路パス72と、回路パッドとの間で
電気的に結合され、可撓性基板に装着される。好ましく
は、また、可撓性基板の第2タブ部分52.7は、可撓性基
板の第1端部52.1から延び、第2回路パッド84は、同様
に該タブに設けられる。第2コンデンサ86は、回路50に
接地結合を与える回路パス72と回路パッド84との間で電
気的に結合され可撓性基板の第1端部に装着される。こ
れ等のタブは、可撓性基板の端部が第6図に示す様に相
互に対して折曲げられる関係にあるとき、該タブが相互
に対して電気的に結合される関係で締付けられる様にコ
ネクタ体部のリム36.3と変換器の対向面12.2との間で各
々に対して重なった関係に延び、少なくとも1つのタブ
52.6が回路50の接地結合の回路パスの複数の部分をセン
サーハウジングに容量的に結合するために金属ハウジン
グにその回路パッド80を電気的に係合させる様にハウジ
ングの変形されたリム46.3とコネクタ体部との間に延び
る如く配置される。
本発明によると、センサーは、センサーハウジング46
への装着後に変換器12に対する電気回路50の較正を可能
にする様に回路パスパッド70への近接を可能にする開口
部を有している。好ましくは、コネクタ体部は、ハウジ
ングの外側へ一端36.6において開口し回路パスパッド70
に隣接するその反対側端部36.7において開口する様にチ
ャンバ38内に延びる一体の管状部分36.5を有している。
管状部分36.5は、破線36.5aで第3図に示される。該配
置では、電気接点プローブ(図示せず)は、周知の態様
で回路50を較正するためにパッド70に係合する様に管状
部分36.5を経て挿入される如く構成される。該管状部分
は、プローブが回路50の他の部分に係合しないことを保
証する。次に、該プローブは、引抜かれ、ゴム材料等を
加硫する通常の室温の様なカプセルに包むための材料88
は、第2図に示す様にチャンバを密封する様に管状部分
に挿入され、管状部分は、カプセルに包むための材料が
回路への悪影響を回避するために回路50の較正用パッド
70の領域に制限されることを保証する。所望により、カ
プセルに包むための材料は、チャンバ38を更に密封する
ために90で示す様にコネクタ端子のまわりと、ハウジン
グスリーブの変形されたリムのまわりとにも沈着され
る。
該構造では、本発明の新規で改良された圧力センサー
は、経済的な態様で変換器特性の改良された信頼性と、
不変性とを有する変換器12を提供する。電気回路50は、
センサーの外側で経済的な態様において容易かつ確実に
組立てられると共に、確実な態様で変換器およびコネク
タの端子に固定的に結合される様に構成される。可撓性
回路基板は、可撓性基板の端部が上述の様に金属ハウジ
ングのスリーブ46.2内に収容されるために相互の上に便
利に折曲げられるのを可能にするのに充分な長さを有し
ている。次に、ハウジングスリーブのリムは、相互に所
望の組立てられた関係にコネクタ体部と、変換器とを固
定する様に容易かつ確実に変形される。コンデンサは、
センサーにおけるかなり改良された電磁的適合性を与え
るために回路の接地結合回路パスの複数の部分をセンサ
ーハウジングに容量的に結合する様に配置され、これに
より、センサーは、かなりな電磁的干渉に露出される自
動車の環境等において使用されるとき、改良された性能
を表示する様に構成される。該回路は、便利かつ経済的
な態様で較正される様に構成され、較正後、シール材料
による回路への損傷の危険なしに容易に密封される。
本発明の好適実施例が本発明を例示するために記載さ
れたが、本発明は、特許請求の範囲に属する総ての変更
およびの同等なものを包含することを理解すべきであ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のセンサーの平面図、第2図は第1図の
線2−2に沿う断面図、第3図は第1図のセンサーに使
用される可撓性回路基板の拡大平面図、第4図は第3図
に示される回路の略図、第5図は第1図の線5−5に沿
う第2図と同様な断面図、第6図は第1図の線6−6に
沿う部分的な断面図、第7図は第2図の線7−7に沿う
拡大断面図を示す。 10……圧力センサー、12……圧力変換器、 12.1……1つの面、12.2……反対側面、 24,26……変換器端子、36……コネクタ体部、 36.1……底、36.2……側壁、 36.3……リム、38……チャンバ 40,42,44……コネクタ体部端子、 46……ハウジング、46.1……ポート、 46.2……金属スリーブ、46.3……リム部分、 50……電気回路、52……可撓性基板、 52.1……一端部、52.2……反対側端部、 53……集積回路ユニット、54,56,82,58,60,62,86……コ
ンデンサ、 64,66……抵抗器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 トーマス チャーボネオウ アメリカ合衆国マサチューセッツ州 プ レインビル,ハンコック ストリート 35 (56)参考文献 特開 昭62−267636(JP,A) 実開 昭63−63738(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01L 9/12

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】圧力ポートと、 圧力ポートに加えられた圧力を電気信号に変換する圧力
    変換部と前記電気信号を前記圧力変換部の所定の面側か
    ら出力するための出力端子とを有する圧力変換手段と、 前記圧力変換手段の側部を包囲するように配置されたス
    リーブを含むハウジングと、 センサー出力を提供するためのコネクタ端子を含む電気
    絶縁材料からなり、前記ハウジングの一端部に結合され
    て前記圧力変換部の前記所定の面上に空間を形成可能と
    するコネクタ体部と、 前記空間内に前記所定の面上に配置された可撓性基板を
    含む回路手段であって、前記可撓性基板は、センサー出
    力を較正するためのキャリブレーション回路を含む集積
    回路装置と、前記圧力変換手段の前記出力端子を接続す
    るための第1の接続部と、センサー出力用の端子を接続
    するための第2の接続部と、前記集積回路装置、前記第
    1及び第2の接続部間の所定の箇所を電気的に接続する
    導電通路とを有し、前記可撓性基板の少なくとも前記集
    積回路装置を実装する本質的な部分は前記圧力変換部の
    前記所定の面と実質的に平行に保持された回路手段と、 を有することを特徴とする圧力センサー。
  2. 【請求項2】前記可撓性基板の第1及び第2の接続部は
    開口をそれぞれ備え、各開口を介して前記出力端子及び
    前記センサー出力用の端子を接続することを特徴とする
    請求項1に記載の圧力センサー。
  3. 【請求項3】前記可撓性基板は、前記集積回路装置への
    センサー出力を較正するためのデータ入力部を有するこ
    とを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ
    ー。
  4. 【請求項4】前記コネクタ体部には開口が形成され、該
    開口を介して前記可撓性基板のデータ入力部にアクセス
    可能であることを特徴とする請求項3に記載の圧力セン
    サー。
  5. 【請求項5】前記可撓性基板の前記本質的な部分は、ヒ
    ンジ部分を介して第1の領域と第2の領域に分けられ、
    前記第1の領域には前記第1の接続部が形成され、前記
    第2の領域には前記第2の接続部が形成され、前記ヒン
    ジ部分を介して折り曲げられることを特徴とする請求項
    1ないし4いずれかに記載の圧力センサー。
  6. 【請求項6】前記可撓性基板は、ポリイミド材を用いて
    構成されることを特徴とする請求項1ないし5いずれか
    に記載の圧力センサー。
  7. 【請求項7】前記圧力変換素子は、圧力に応答して容量
    を変化させる容量性変換素子であることを特徴とする請
    求項1ないし6いずれかに記載の圧力センサー。
JP1313103A 1988-12-02 1989-12-01 圧力センサー Expired - Fee Related JP2854896B2 (ja)

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JPH02189435A JPH02189435A (ja) 1990-07-25
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