JP4671664B2 - 容量性圧力トランスジューサ - Google Patents
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Description
12 容量性圧力検出素子
12a セラミック・ベース
12b ダイアフラム
14 条件付け電子回路
14a 導電タブ
14b ASIC
14c キャパシタ
16,16’ 六角形ポート・ハウジング
16a,16a’ 平坦面
16b,16b’ 結合部
16c 流体受け通路
16d,16d’ 空洞部
16e,16e’ 側壁
16f 薄壁部
18 ガスケット
20,20’ コネクタ
20a,20a’ ベース部
20b 凹部
22 トランスジューサ端子
24 シールド
24a 流体受け穴
26 導電ガスケット
28 スリーブ
28a 半径方向内方へ伸張する部分
30 Oリング
Claims (6)
- 加えられた流体圧と共に変化する容量値を提供するように流体圧源にさらされる第1の表面を備えた容量性圧力検出素子と、
その容量を出力電圧信号に変換する電子回路と、
電気絶縁コネクタとトランスジューサ端子であって、この電気絶縁コネクタは、前記電子回路への接続のために前記トランスジューサ端子を取り付けていると共に、前記電子回路が配置される回路室を形成する頭部を備えている、前記電気絶縁コネクタとトランスジューサ端子と、
流体受け穴が形成された底壁と前記底壁から自由端部まで延びる周側壁とを有する導電性のカップ状部材であって、前記圧力検出素子と前記電気絶縁コネクタの頭部が前記カップ状部材内に受け取られ、前記周側壁の自由端部が前記頭部にクリンプされ、前記カップ状部材が電気的に前記電子回路に接続される、前記カップ状部材と、
前記カップ状部材を受け入れた電気的絶縁スリーブと、
第1と第2の端部を有する金属性のハウジングであって、前記第1の端部には自由端を備えた周壁が形成され、前記ハウジングの周壁は空洞部を形成し、前記ハウジングの結合部には前記第2の端部から前記空洞部へ延びる流体通路が形成される、前記ハウジングとを有し、
前記カップ状部材、前記電気絶縁コネクタの頭部、及び前記電気的絶縁スリーブは、前記ハウジングの空洞部内に受け入れられ、前記ハウジングの周壁の自由端は、前記頭部にクリンプされていて、前記カップ状部材が前記電気絶縁スリーブにより前記ハウジングから電気的に絶縁されている、流体圧力センサ。 - 前記ハウジングの空洞部は底壁を有し、前記電気絶縁スリーブは前記ハウジングの底壁の少なくとも一部と前記カップ状部材との間を延びている、請求項1記載の流体圧力センサ。
- 回路基板を更に有し、前記電子回路は前記回路基板に取り付けられ、前記回路基板は前記電子回路から延びる導電性のトレースを有するタブを備えており、前記タブの少なくとも一部は、前記電子回路の導電性トレースを前記カップ状部材に電気接続するために前記電気絶縁コネクタの頭部と前記カップ状部材のクリンプ部分との間に配置されている、請求項1記載の流体圧力センサ。
- 前記カップ状部材の底壁と、前記容量性圧力検出素子の第1の表面との間に配置された環状ガスケットを更に有する、請求項1記載の流体圧力センサ。
- 前記ガスケットは、導電性である、請求項4記載の流体圧力センサ。
- 前記ハウジングの空洞部は、底壁を有し、前記ハウジングの底壁と前記カップ状部材との間であって当該底壁上に受けられたOリングを更に有する、請求項1記載の流体圧力センサ。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/700,229 US6781814B1 (en) | 2003-11-03 | 2003-11-03 | Capacitive pressure transducer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005140779A JP2005140779A (ja) | 2005-06-02 |
JP4671664B2 true JP4671664B2 (ja) | 2011-04-20 |
Family
ID=32869886
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004318833A Expired - Fee Related JP4671664B2 (ja) | 2003-11-03 | 2004-11-02 | 容量性圧力トランスジューサ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6781814B1 (ja) |
JP (1) | JP4671664B2 (ja) |
CN (1) | CN1614375A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015509181A (ja) * | 2011-11-15 | 2015-03-26 | エス3シー インコーポレイテッドS3C Inc. | 水中電子センサ |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3880568B2 (ja) * | 2002-10-25 | 2007-02-14 | 鹿児島日本電気株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
US6891711B1 (en) * | 2004-04-08 | 2005-05-10 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Ultra-miniature, high temperature, capacitive inductive pressure transducer |
US7197937B2 (en) | 2005-01-26 | 2007-04-03 | Sensata Technologies, Inc. | Hermetic pressure sensing device |
US7383737B1 (en) | 2007-03-29 | 2008-06-10 | Delphi Technologies, Inc | Capacitive pressure sensor |
US8100018B2 (en) * | 2009-02-06 | 2012-01-24 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Pressure transducers employing radiation hardened electronics |
EP2612402B1 (en) | 2010-08-31 | 2018-10-10 | A. RAYMOND et Cie | Quick connector with a sensor housing |
US8943895B2 (en) * | 2012-09-07 | 2015-02-03 | Dynisco Instruments Llc | Capacitive pressure sensor |
ITTO20121130A1 (it) * | 2012-12-21 | 2014-06-22 | Metallux Sa | Sensore di pressione |
US10416025B1 (en) * | 2013-10-28 | 2019-09-17 | Amphenol (Maryland), Inc. | Electrically isolated vibration sensor |
DE102013223442A1 (de) * | 2013-11-18 | 2015-05-21 | Robert Bosch Gmbh | Drucksensoranordnung zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums in einem Messraum |
JP5997686B2 (ja) * | 2013-12-06 | 2016-09-28 | 長野計器株式会社 | 物理量測定センサ |
CN105043658A (zh) * | 2015-06-19 | 2015-11-11 | 宁波南车时代传感技术有限公司 | 空调用压力传感器 |
WO2017187710A1 (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 太陽誘電株式会社 | 振動波形センサ及び脈波検出装置 |
BR112019003979A2 (pt) * | 2016-09-30 | 2019-05-28 | Rosemount Inc | sistema transmissor de pressão de processo, e, método para acoplar um transmissor de pressão de processo a uma pressão de um fluido de processo industrial. |
US10197466B2 (en) * | 2016-11-30 | 2019-02-05 | Texas Instruments Incorporated | Methods and apparatus to calibrate micro-electromechanical systems |
US10386256B2 (en) | 2016-11-30 | 2019-08-20 | Texas Instruments Incorporated | Methods and apparatus to calibrate micro-electromechanical systems |
US10444104B2 (en) * | 2016-11-30 | 2019-10-15 | Texas Instruments Incorporated | Methods and apparatus to calibrate micro-electromechanical systems |
CN107014525B (zh) * | 2017-05-19 | 2023-06-16 | 深圳安培龙科技股份有限公司 | 一种抗导电流体和电磁干扰的陶瓷电容式压力传感器 |
CN108731852A (zh) * | 2018-08-13 | 2018-11-02 | 常州盛士达传感器有限公司 | 一种电容式压力传感器 |
CN209326840U (zh) | 2018-12-27 | 2019-08-30 | 热敏碟公司 | 压力传感器及压力变送器 |
US20210184385A1 (en) * | 2019-12-12 | 2021-06-17 | Vitesco Technologies USA, LLC | Compressible conductive elastomer for electrical connection of orthogonal substrates |
CN115200772A (zh) * | 2022-07-19 | 2022-10-18 | 上海捷氢科技股份有限公司 | 压力传感器及质子交换膜燃料电池*** |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09280987A (ja) * | 1996-04-10 | 1997-10-31 | Fuji Electric Co Ltd | 静電容量型圧力センサ |
JPH1114485A (ja) * | 1997-06-24 | 1999-01-22 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
JP2000205983A (ja) * | 1999-01-07 | 2000-07-28 | Hokuriku Electric Ind Co Ltd | 静電容量型圧力センサユニット |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4442474A (en) * | 1981-12-14 | 1984-04-10 | Sperry Corporation | Capacitive pressure transducer |
US4982351A (en) | 1986-05-05 | 1991-01-01 | Texas Instruments Incorporated | Low cost high precision sensor |
US5656780A (en) * | 1996-03-28 | 1997-08-12 | Kavlico Corporation | Capacitive pressure transducer with an integrally formed front housing and flexible diaphragm |
US5760311A (en) * | 1996-11-25 | 1998-06-02 | Cal Corporation | Capacitive pressure transducer with reference capacitor |
-
2003
- 2003-11-03 US US10/700,229 patent/US6781814B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-11-02 JP JP2004318833A patent/JP4671664B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-11-03 CN CNA2004100883576A patent/CN1614375A/zh active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09280987A (ja) * | 1996-04-10 | 1997-10-31 | Fuji Electric Co Ltd | 静電容量型圧力センサ |
JPH1114485A (ja) * | 1997-06-24 | 1999-01-22 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
JP2000205983A (ja) * | 1999-01-07 | 2000-07-28 | Hokuriku Electric Ind Co Ltd | 静電容量型圧力センサユニット |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015509181A (ja) * | 2011-11-15 | 2015-03-26 | エス3シー インコーポレイテッドS3C Inc. | 水中電子センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6781814B1 (en) | 2004-08-24 |
CN1614375A (zh) | 2005-05-11 |
JP2005140779A (ja) | 2005-06-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20060731 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061117 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070730 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100922 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101111 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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