JP2852696B2 - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
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- JP2852696B2 JP2852696B2 JP2182841A JP18284190A JP2852696B2 JP 2852696 B2 JP2852696 B2 JP 2852696B2 JP 2182841 A JP2182841 A JP 2182841A JP 18284190 A JP18284190 A JP 18284190A JP 2852696 B2 JP2852696 B2 JP 2852696B2
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- Japan
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- exposure apparatus
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、フォトリソグラフィ用の露光装置、特に、
IC、LSI、超LSI等の半導体素子製造用として好適な露光
装置に関するものである。
IC、LSI、超LSI等の半導体素子製造用として好適な露光
装置に関するものである。
［従来の技術］ 半導体露光装置は、操作部と本体部によって構成され
ている。
ている。
操作部は、操作部CPU、表示装置、入力装置、補助入
力装置、補助記憶装置、および通信I/Fで構成され、ウ
エハの焼付けに関する各種制御データの入力、装置の動
作を制御する命令の入力、装置本体の動作状態の表示、
入力した制御データの保存、および保存したデータの再
利用といった機能を持っている。
力装置、補助記憶装置、および通信I/Fで構成され、ウ
エハの焼付けに関する各種制御データの入力、装置の動
作を制御する命令の入力、装置本体の動作状態の表示、
入力した制御データの保存、および保存したデータの再
利用といった機能を持っている。
本体部は、ウエハの搬送装置、ウエハステージ、焼付
レンズ、露光証明源、各種環境・位置センサ、アクチュ
エータ、本体部CPU、および通信I/Fといったものから構
成され、ウエハの焼付シーケンスを実行する機能を持
つ。
レンズ、露光証明源、各種環境・位置センサ、アクチュ
エータ、本体部CPU、および通信I/Fといったものから構
成され、ウエハの焼付シーケンスを実行する機能を持
つ。
従来、本体部と操作部は1Kbps（bit/second）程度の
比較的低速で伝送距離も短い通信路で結ばれて各種制御
データもしくはコマンドの送受信を行なっている。この
ため、従来では、本体部と操作部は１対１の形式で近接
され配置されている。
比較的低速で伝送距離も短い通信路で結ばれて各種制御
データもしくはコマンドの送受信を行なっている。この
ため、従来では、本体部と操作部は１対１の形式で近接
され配置されている。
［発明が解決しようとする課題］ 現在、半導体の微細化および高集積化に伴ない、半導
体製造の各工程における発塵は、半導体の生産性に極め
て悪い影響を与えている。したがって、露光装置におい
ても発塵に対する対策が装置の重要な性能一つと考えら
れている。さて、従来の技術においては、装置本体部と
操作部は一体となって構成されていたため、装置を設置
するクリーンルーム内にオペレータが入り込んで装置の
操作を行なう必要があり、人間によるクリーンルーム内
の発塵の問題は避けられないという欠点があった。
体製造の各工程における発塵は、半導体の生産性に極め
て悪い影響を与えている。したがって、露光装置におい
ても発塵に対する対策が装置の重要な性能一つと考えら
れている。さて、従来の技術においては、装置本体部と
操作部は一体となって構成されていたため、装置を設置
するクリーンルーム内にオペレータが入り込んで装置の
操作を行なう必要があり、人間によるクリーンルーム内
の発塵の問題は避けられないという欠点があった。
現在は、また、半導体の生産性向上のため操作効率の
向上も露光装置の重要な課題と考えられている。従来の
技術では、装置本体部の一つに１台の操作部が必ず必要
であったので、一人のオペレータが複数の装置を操作し
ようとするとオペレータが１台ずつ移動して操作するこ
とになり、操作効率が向上しないという欠点があった。
向上も露光装置の重要な課題と考えられている。従来の
技術では、装置本体部の一つに１台の操作部が必ず必要
であったので、一人のオペレータが複数の装置を操作し
ようとするとオペレータが１台ずつ移動して操作するこ
とになり、操作効率が向上しないという欠点があった。
同様に、１台の操作部で設定されたウエハの焼付けに
関するデータを別の装置に設定する場合、一度そのデー
タをフロッピーディスクなどの媒体に保存し、それを他
の装置にオペレータが運んで設定しなければならないた
め、時間がかかるだけでなくデータの設定の誤りを誘発
する可能性も高いという欠点があった。
関するデータを別の装置に設定する場合、一度そのデー
タをフロッピーディスクなどの媒体に保存し、それを他
の装置にオペレータが運んで設定しなければならないた
め、時間がかかるだけでなくデータの設定の誤りを誘発
する可能性も高いという欠点があった。
本発明はこのような問題点に鑑みなされたもので、そ
の目的は、例えばクリーンルーム内に配置された複数の
露光装置本体部をクリーンルーム外に配置された操作部
で支障なく操作することができるような操作性の向上を
図った露光装置を提供することにある。
の目的は、例えばクリーンルーム内に配置された複数の
露光装置本体部をクリーンルーム外に配置された操作部
で支障なく操作することができるような操作性の向上を
図った露光装置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 前記の目的を達成するため、本発明の露光装置は、ウ
エハに対する焼付シーケンスを実行する複数の露光装置
本体部と、前記露光装置本体部のそれぞれに通信路を介
して接続される操作部を有し、前記操作部は表示画面上
で前記露光装置本体部ごとの表示エリアを表示する表示
部と、前記表示部の表示画面上で前記露光装置本体部ご
との表示エリアを選択するための補助入力部を有し、前
記表示部は前記補助入力部を介して選択された表示エリ
アを他の表示エリアと異なる表示とすることにより前記
操作部で入力されたデータもしくはコマンドが前記露光
装置大体部の内のどれに向けたものであるかを識別可能
とすることを特徴とする。
エハに対する焼付シーケンスを実行する複数の露光装置
本体部と、前記露光装置本体部のそれぞれに通信路を介
して接続される操作部を有し、前記操作部は表示画面上
で前記露光装置本体部ごとの表示エリアを表示する表示
部と、前記表示部の表示画面上で前記露光装置本体部ご
との表示エリアを選択するための補助入力部を有し、前
記表示部は前記補助入力部を介して選択された表示エリ
アを他の表示エリアと異なる表示とすることにより前記
操作部で入力されたデータもしくはコマンドが前記露光
装置大体部の内のどれに向けたものであるかを識別可能
とすることを特徴とする。
また、前記露光装置本体部のそれぞれはアドレスを有
し、前記操作部は入力されたデータもしくはコマンドを
アドレスを付して前記通信路に送り、前記露光装置本体
部は前記アドレスに応じて前記データもしくはコマンド
を前記通信路から受け取ることを特徴とし、前記通信路
はバス方式通信路を有し、前記露光装置本体部はクリー
ンルーム内に配置され、前記操作部はクリーンルーム外
に配置されていることを特徴とする。
し、前記操作部は入力されたデータもしくはコマンドを
アドレスを付して前記通信路に送り、前記露光装置本体
部は前記アドレスに応じて前記データもしくはコマンド
を前記通信路から受け取ることを特徴とし、前記通信路
はバス方式通信路を有し、前記露光装置本体部はクリー
ンルーム内に配置され、前記操作部はクリーンルーム外
に配置されていることを特徴とする。
更に、前記操作部は前記通信路を介して接続されて複
数設けられ、一方の操作部に設けられた補助記憶装置内
のデータを他方の操作部から前記通信路を介して取り込
み、前記他方の操作部は前記補助記憶装置からのデータ
を編集し前記露光装置本体部へ前記通信路を介して送り
出すことを特徴とし、前記表示部は更に前記露光装置本
体部からのデータを前記露光装置本体部ごとに識別可能
なように表示することを特徴とする。
数設けられ、一方の操作部に設けられた補助記憶装置内
のデータを他方の操作部から前記通信路を介して取り込
み、前記他方の操作部は前記補助記憶装置からのデータ
を編集し前記露光装置本体部へ前記通信路を介して送り
出すことを特徴とし、前記表示部は更に前記露光装置本
体部からのデータを前記露光装置本体部ごとに識別可能
なように表示することを特徴とする。
［作用］ 本発明によれば複数の露光装置本体部を１つの操作部
で操作することが可能となる。また両者を遠く離しても
オペレータは操作部側から各露光装置本体部に対して適
切なデータもしくはコマンドを与えることができる。こ
のため、例えばクリーンルーム外からクリーンルーム内
の複数の露光装置本体部を遠く離れて操作することも可
能となり、オペレータによるクリーンルーム内の発塵問
題も解決でき、更にそのために操作性が低下することも
ない。また、本発明によれば、１人のオペレータが移動
せずに複数の露光装置本体部を操作することができるの
で、操作効率を飛躍的に向上できる。
で操作することが可能となる。また両者を遠く離しても
オペレータは操作部側から各露光装置本体部に対して適
切なデータもしくはコマンドを与えることができる。こ
のため、例えばクリーンルーム外からクリーンルーム内
の複数の露光装置本体部を遠く離れて操作することも可
能となり、オペレータによるクリーンルーム内の発塵問
題も解決でき、更にそのために操作性が低下することも
ない。また、本発明によれば、１人のオペレータが移動
せずに複数の露光装置本体部を操作することができるの
で、操作効率を飛躍的に向上できる。
更に、一つの操作部に設けられた補助記憶装置を他の
操作部で共有可能にすれば、各露光装置本体部ごとのウ
エハに関する焼付データ等のデータ設定を効率よく行な
うことが可能となり、フロッピーディスク等の媒体を用
いて各露光装置本体部ごとにデータを設定する場合に比
して誤設定等の問題も起き難くすることができる。
操作部で共有可能にすれば、各露光装置本体部ごとのウ
エハに関する焼付データ等のデータ設定を効率よく行な
うことが可能となり、フロッピーディスク等の媒体を用
いて各露光装置本体部ごとにデータを設定する場合に比
して誤設定等の問題も起き難くすることができる。
［実施例］ 以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明する。
第１図は、本発明の一実施例に係る半導体露光装置の
ブロック回路構成を示す。同図において、１は露光装置
本体部が設置されているクリーンルームの外壁を表わし
ている。２は高速（数メガbps）で伝送距離の長いバス
方式の通信路であり、本実施例では複数（本図では３
つ）の本体部と１つの操作部を結びつけている。3,4,5
はそれぞれ露光装置本体部I,II,III、6,7,8はそれぞれ
の本体部のCPU、9,10,11は通信インターフェースであ
る。12は装置操作部ＩのCPU、13は装置部Ｉ通信インタ
ーフェース、14は操作部Ｉ表示装置、15は操作部Ｉ入力
装置、16は補助入力装置、17は補助記憶装置である。
ブロック回路構成を示す。同図において、１は露光装置
本体部が設置されているクリーンルームの外壁を表わし
ている。２は高速（数メガbps）で伝送距離の長いバス
方式の通信路であり、本実施例では複数（本図では３
つ）の本体部と１つの操作部を結びつけている。3,4,5
はそれぞれ露光装置本体部I,II,III、6,7,8はそれぞれ
の本体部のCPU、9,10,11は通信インターフェースであ
る。12は装置操作部ＩのCPU、13は装置部Ｉ通信インタ
ーフェース、14は操作部Ｉ表示装置、15は操作部Ｉ入力
装置、16は補助入力装置、17は補助記憶装置である。
第２図は、第１図における操作部Ｉの詳細を示す外観
図である。同図において、32は表示部の画面を分割した
表示エリアＩ、33は表示エリアII、34を表示エリアII
I、35は補助入力装置の表示を表わしている。
図である。同図において、32は表示部の画面を分割した
表示エリアＩ、33は表示エリアII、34を表示エリアII
I、35は補助入力装置の表示を表わしている。
さて、本実施例においては第１図に示すように半導体
の焼付けの動作を行なう本体部I,II,IIIは、クリーンル
ーム外壁１によって囲まれるクリーンルーム内に設置さ
れている。これらの本体部は各CPU6,7,8によって実際の
動作を制御している。これらのCPUは通信インターフェ
ース9,10,11によって高速で伝送距離の長いバス方式の
通信路２に接続されている。この通信路２は一般に数百
メートルの伝送距離を持ち、また数メガbyte/secの伝送
速度を有している。また、各インターフェース部もしく
は通信ソフトウエアには通信相手の識別に使用するアド
レスが設定されており、このアドレスにより、この通信
バス路につながっているCPUは通信相手の指定をしたり
また自分に対する通信であるかどうかの識別が可能であ
る。この高速で伝送距離の長いバス方式の通信路２に操
作CPU12も通信インターフェース13を介して接続されて
いる。したがって、この通信方式により操作部CPUなら
びにその周辺装置で構成される操作部を最大500メート
ル程度まで本体部より離して設置可能でありクリーンル
ーム外からの装置の操作が可能になる。
の焼付けの動作を行なう本体部I,II,IIIは、クリーンル
ーム外壁１によって囲まれるクリーンルーム内に設置さ
れている。これらの本体部は各CPU6,7,8によって実際の
動作を制御している。これらのCPUは通信インターフェ
ース9,10,11によって高速で伝送距離の長いバス方式の
通信路２に接続されている。この通信路２は一般に数百
メートルの伝送距離を持ち、また数メガbyte/secの伝送
速度を有している。また、各インターフェース部もしく
は通信ソフトウエアには通信相手の識別に使用するアド
レスが設定されており、このアドレスにより、この通信
バス路につながっているCPUは通信相手の指定をしたり
また自分に対する通信であるかどうかの識別が可能であ
る。この高速で伝送距離の長いバス方式の通信路２に操
作CPU12も通信インターフェース13を介して接続されて
いる。したがって、この通信方式により操作部CPUなら
びにその周辺装置で構成される操作部を最大500メート
ル程度まで本体部より離して設置可能でありクリーンル
ーム外からの装置の操作が可能になる。
次に、複数の本体部を１台の操作部で操作するには、
第２図のごとく表示部14の画面を複数の表示エリアI,I
I,III（32,33,34）に疑似的に分割する。この疑似的に
分割されたエリアはソフトウェアで管理されている。ま
た補助入力装置16は、表示部画面内の２次元座標を指定
することができる。この座標指定は補助入力表示35のよ
うな矢印状の表示により座標を指定する。この補助入力
もソフトウェアにより管理されており、前記矢印形状の
表示は補助入力装置16の操作により表示部画面内を移動
する。オペレータが本体部I3をコントロールするために
は、まず補助入力装置16を操作し、補助入力表示35を表
示エリアI32に動かす。この時、ソフトウェアは補助入
力表示35の画面内座標により表示エリアI32内に補助入
力表示35が進入したことを知ることができる。ソフトウ
ェアではこの表示エリア進入により表示エリアＩが現在
選択されていることをオペレータに通知するために例え
ば表示エリアＩ内の背景色を変化させる。この通知方法
は他にも表示エリアの枠をより太い枠で表示するとか、
エリア内の文字を変えるといった手法でもよい。同様
に、表示エリアII,IIIを本体部II,IIIに割り当てる。こ
のようにして表示エリアＩから入力されたデータおよび
コマンドはすべて本体部Ｉに、表示エリアIIからのもの
は本体部IIに、表示エリアIIIからのものは本体部IIIに
対する入力となる。この機能はバス方式の通信アドレス
設定機能により容易に実現される。例えば表示エリアＩ
と本体部Ｉとの関係について説明すると、以下のようで
ある。操作部CPUのソフトウェアは表示エリアＩから入
力されたデータに本体部Ｉの通信アドレスＩを付けて操
作部CPUによりインターフェース13を経由して高速で伝
送距離の長いバス方式の通信路２へ送る。バスに送られ
たデータもしくはコマンドは、アドレス１への送信であ
ることが本体部ＩのCPU6によりインターフェース９を通
じて識別され、CPU6は自分へのデータもしくはコマンド
として受とり、本体部Ｉの動作制御に使用する。また、
本体部Ｉより操作部に表示させる場合、本体部ICPU6が
データを操作部Ｉのアドレス０を付けてバス２へ送信す
ることにより、操作部CPU12は表示エリアＩへ表示可能
である。このような工夫により１つの操作部で複数の本
体部が操作可能になり、かつ一つの操作部をあたかも複
数の操作部のように使用可能である。
第２図のごとく表示部14の画面を複数の表示エリアI,I
I,III（32,33,34）に疑似的に分割する。この疑似的に
分割されたエリアはソフトウェアで管理されている。ま
た補助入力装置16は、表示部画面内の２次元座標を指定
することができる。この座標指定は補助入力表示35のよ
うな矢印状の表示により座標を指定する。この補助入力
もソフトウェアにより管理されており、前記矢印形状の
表示は補助入力装置16の操作により表示部画面内を移動
する。オペレータが本体部I3をコントロールするために
は、まず補助入力装置16を操作し、補助入力表示35を表
示エリアI32に動かす。この時、ソフトウェアは補助入
力表示35の画面内座標により表示エリアI32内に補助入
力表示35が進入したことを知ることができる。ソフトウ
ェアではこの表示エリア進入により表示エリアＩが現在
選択されていることをオペレータに通知するために例え
ば表示エリアＩ内の背景色を変化させる。この通知方法
は他にも表示エリアの枠をより太い枠で表示するとか、
エリア内の文字を変えるといった手法でもよい。同様
に、表示エリアII,IIIを本体部II,IIIに割り当てる。こ
のようにして表示エリアＩから入力されたデータおよび
コマンドはすべて本体部Ｉに、表示エリアIIからのもの
は本体部IIに、表示エリアIIIからのものは本体部IIIに
対する入力となる。この機能はバス方式の通信アドレス
設定機能により容易に実現される。例えば表示エリアＩ
と本体部Ｉとの関係について説明すると、以下のようで
ある。操作部CPUのソフトウェアは表示エリアＩから入
力されたデータに本体部Ｉの通信アドレスＩを付けて操
作部CPUによりインターフェース13を経由して高速で伝
送距離の長いバス方式の通信路２へ送る。バスに送られ
たデータもしくはコマンドは、アドレス１への送信であ
ることが本体部ＩのCPU6によりインターフェース９を通
じて識別され、CPU6は自分へのデータもしくはコマンド
として受とり、本体部Ｉの動作制御に使用する。また、
本体部Ｉより操作部に表示させる場合、本体部ICPU6が
データを操作部Ｉのアドレス０を付けてバス２へ送信す
ることにより、操作部CPU12は表示エリアＩへ表示可能
である。このような工夫により１つの操作部で複数の本
体部が操作可能になり、かつ一つの操作部をあたかも複
数の操作部のように使用可能である。
第３図は、２つの操作部I,IIと６つの本体部Ｉ〜VIと
を高速で伝送距離の長いバス方式の通信路によって接続
した例を示す。同図において、第１図のものと共通する
部分は共通の番号を付してある。第３図において、18は
装置操作部IIのCPU、19は装置II通信インターフェー
ス、20は操作部II表示装置、21は操作部II入力装置、22
は補助入力装置、23,24,25はそれぞれ露光装置本体部I
V,V,VI、26,27,28はそれぞれの本体部のCPU、29,30,31
は通信インターフェースである。
を高速で伝送距離の長いバス方式の通信路によって接続
した例を示す。同図において、第１図のものと共通する
部分は共通の番号を付してある。第３図において、18は
装置操作部IIのCPU、19は装置II通信インターフェー
ス、20は操作部II表示装置、21は操作部II入力装置、22
は補助入力装置、23,24,25はそれぞれ露光装置本体部I
V,V,VI、26,27,28はそれぞれの本体部のCPU、29,30,31
は通信インターフェースである。
次に、第１図の装置対し、第３図のごとくバス通信路
２を延長し、かつこのバス通信路２に、さらに、操作部
II CPU18、本体部IV,V,VI（23,24,25）を結んだ構成に
ついて説明する。操作部Ｉにおいてウエハの焼付けに関
するデータを作成し補助記憶装置へ保存する。ここで操
作部Ｉより本体部I,II,III,IV,V,VIへこの焼付けデータ
を設定する場合、操作部I CPUは各本体部に割り当てら
れたアドレス1,2,3,4,5,6,7の情報を負荷して焼付けデ
ータをバス通信路へ送信すれば、各本体部CPU（6,7,8,2
6,27,28）は自分のアドレスの付加されたウエハの焼付
けに関するデータを取り込んで自分の設定データとする
ことができる。
２を延長し、かつこのバス通信路２に、さらに、操作部
II CPU18、本体部IV,V,VI（23,24,25）を結んだ構成に
ついて説明する。操作部Ｉにおいてウエハの焼付けに関
するデータを作成し補助記憶装置へ保存する。ここで操
作部Ｉより本体部I,II,III,IV,V,VIへこの焼付けデータ
を設定する場合、操作部I CPUは各本体部に割り当てら
れたアドレス1,2,3,4,5,6,7の情報を負荷して焼付けデ
ータをバス通信路へ送信すれば、各本体部CPU（6,7,8,2
6,27,28）は自分のアドレスの付加されたウエハの焼付
けに関するデータを取り込んで自分の設定データとする
ことができる。
さらに、操作部IIより同様の操作を行なうことも以下
の手順で実現できる。操作部II CPU18は補助記憶装置を
もたないため、バス通信路２へ自分のアドレス４と補助
記憶装置をもつ操作部Ｉのアドレス０を付加したウエハ
に関する焼付けデータ要求を送信する。操作部Ｉはこの
要求送信を受け、ウエハの焼付けに関するデータを操作
部II（アドレス４）へ送信する。この送信データを操作
部IIは取り込み、操作部II内でデータを編集したりまた
操作部IIより各本体部へ送信したりすることが実現す
る。このような手法により補助記憶装置17を操作部Ｉと
IIで見掛け上共有して使用することができる。
の手順で実現できる。操作部II CPU18は補助記憶装置を
もたないため、バス通信路２へ自分のアドレス４と補助
記憶装置をもつ操作部Ｉのアドレス０を付加したウエハ
に関する焼付けデータ要求を送信する。操作部Ｉはこの
要求送信を受け、ウエハの焼付けに関するデータを操作
部II（アドレス４）へ送信する。この送信データを操作
部IIは取り込み、操作部II内でデータを編集したりまた
操作部IIより各本体部へ送信したりすることが実現す
る。このような手法により補助記憶装置17を操作部Ｉと
IIで見掛け上共有して使用することができる。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、複数の露光装
置本体部を１つの操作部で操作することが可能となる。
また、両者を遠く離してもオペレータは操作部側から各
露光装置本体部に対して適切なデータもしくはコマンド
を与えることができる。このため、例えばクリーンルー
ム外からクリーンルーム内の複数の露光装置本体部を遠
く離れて操作することも可能となり、オペレータによる
クリーンルーム内の発塵問題も解決でき、更にそのため
に操作性が低下することもない。また、本発明によれ
ば、１人のオペレータが移動せずに複数の露光装置本体
部を操作することができるので、操作効率を飛躍的に向
上できる。
置本体部を１つの操作部で操作することが可能となる。
また、両者を遠く離してもオペレータは操作部側から各
露光装置本体部に対して適切なデータもしくはコマンド
を与えることができる。このため、例えばクリーンルー
ム外からクリーンルーム内の複数の露光装置本体部を遠
く離れて操作することも可能となり、オペレータによる
クリーンルーム内の発塵問題も解決でき、更にそのため
に操作性が低下することもない。また、本発明によれ
ば、１人のオペレータが移動せずに複数の露光装置本体
部を操作することができるので、操作効率を飛躍的に向
上できる。
更に、一つの操作部に設けられた補助記憶装置を他の
操作部で共有可能にすれば、各露光装置本体部ごとのウ
エハに関する焼付データ等のデータ設定を効率よく行な
うことが可能となり、フロッピーディスク等の媒体を用
いて各露光装置本体部ごとにデータを設定する場合に比
して誤設定等の問題も起き難くすることができる。
操作部で共有可能にすれば、各露光装置本体部ごとのウ
エハに関する焼付データ等のデータ設定を効率よく行な
うことが可能となり、フロッピーディスク等の媒体を用
いて各露光装置本体部ごとにデータを設定する場合に比
して誤設定等の問題も起き難くすることができる。
第１図は、本発明の一実施例に係る露光装置の構成を表
わすブロック図、 第２図は、第１図における操作部の詳細を表わす外観
図、そして 第３図は、本発明の他の実施例に係る、補助記憶装置を
共有した露光装置の構成を表わすブロック図である。 1:クリーンルーム外壁、2:高速で伝送距離の長いバス方
式の通信路、3:本体部Ｉ、4:本体部II、5:本体部III、
6:本体部I CPU、7:本体部II CPU、8:本体部III CPU、9:
本体部Ｉ通信インターフェース、10:本体部II通信イン
ターフェース、11:本体部III通信インターフェース、1
2:操作部I CPU、13:操作部Ｉ通信インターフェース、1
4:操作部Ｉ表示部、15:操作部Ｉ入力装置、16:操作部Ｉ
補助入力装置、17:補助記憶装置、18:操作部II CPU、1
9:操作部II通信インターフェース、20:操作部II表示
部、:21:操作部II入力装置、22:操作部II補助入力装
置、23:本体部IV、24:本体部Ｖ、25:本体部VI、26:本体
部IV CPU、27:本体部V CPU、28:本体部VI CPU、29:本体
部IV通信インターフェース、30:本体部Ｖ通信インター
フェース、31:本体部VI通信インターフェース、32:表示
エリアＩ、33:表示エリアII、34:表示エリアIII、35:補
助入力表示。
わすブロック図、 第２図は、第１図における操作部の詳細を表わす外観
図、そして 第３図は、本発明の他の実施例に係る、補助記憶装置を
共有した露光装置の構成を表わすブロック図である。 1:クリーンルーム外壁、2:高速で伝送距離の長いバス方
式の通信路、3:本体部Ｉ、4:本体部II、5:本体部III、
6:本体部I CPU、7:本体部II CPU、8:本体部III CPU、9:
本体部Ｉ通信インターフェース、10:本体部II通信イン
ターフェース、11:本体部III通信インターフェース、1
2:操作部I CPU、13:操作部Ｉ通信インターフェース、1
4:操作部Ｉ表示部、15:操作部Ｉ入力装置、16:操作部Ｉ
補助入力装置、17:補助記憶装置、18:操作部II CPU、1
9:操作部II通信インターフェース、20:操作部II表示
部、:21:操作部II入力装置、22:操作部II補助入力装
置、23:本体部IV、24:本体部Ｖ、25:本体部VI、26:本体
部IV CPU、27:本体部V CPU、28:本体部VI CPU、29:本体
部IV通信インターフェース、30:本体部Ｖ通信インター
フェース、31:本体部VI通信インターフェース、32:表示
エリアＩ、33:表示エリアII、34:表示エリアIII、35:補
助入力表示。
Claims (5)
- 【請求項１】ウエハに対する焼付シーケンスを実行する
複数の露光装置本体部と、前記露光装置本体部のそれぞ
れに通信路を介して接続される操作部を有し、前記操作
部は表示画面上で前記露光装置本体部ごとの表示エリア
を表示する表示部と、前記表示部の表示画面上で前記露
光装置本体部ごとの表示エリアを選択するための補助入
力部を有し、前記表示部は前記補助入力部を介して選択
された表示エリアを他の表示エリアと異なる表示とする
ことにより前記操作部で入力されたデータもしくはコマ
ンドが前記露光装置本体部の内のどれに向けたものであ
るかを識別可能とすることを特徴とする露光装置。 - 【請求項２】前記露光装置本体部のそれぞれはアドレス
を有し、前記操作部は入力されたデータもしくはコマン
ドをアドレスを付して前記通信路に送り、前記露光装置
本体部は前記アドレスに応じて前記データもしくはコマ
ンドを前記通信路から受け取ることを特徴とする請求項
１の露光装置。 - 【請求項３】前記通信路はバス方式通信路を有し、前記
露光装置本体部はクリーンルーム内に配置され、前記操
作部はクリーンルーム外に配置されていることを特徴と
する請求項１の露光装置。 - 【請求項４】前記操作部は前記通信路を介して接続され
て複数設けられ、一方の操作部に設けられた補助記憶装
置内のデータを他方の操作部から前記通信路を介して取
り込み、前記他方の操作部は前記補助記憶装置からのデ
ータを編集し前記露光装置本体部へ前記通信路を介して
送り出すことを特徴とする請求項１の露光装置。 - 【請求項５】前記表示部は更に前記露光装置本体部から
のデータを前記露光装置本体部ごとに識別可能なように
表示することを特徴とする請求項１の露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2182841A JP2852696B2 (ja) | 1990-07-12 | 1990-07-12 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2182841A JP2852696B2 (ja) | 1990-07-12 | 1990-07-12 | 露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0470753A JPH0470753A (ja) | 1992-03-05 |
| JP2852696B2 true JP2852696B2 (ja) | 1999-02-03 |
Family
ID=16125395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2182841A Expired - Fee Related JP2852696B2 (ja) | 1990-07-12 | 1990-07-12 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2852696B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2559529B2 (ja) * | 1990-09-21 | 1996-12-04 | 株式会社日立製作所 | 荷電粒子露光装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6225419A (ja) * | 1985-07-25 | 1987-02-03 | Canon Inc | 半導体製造装置 |
| JPH0752705B2 (ja) * | 1986-06-18 | 1995-06-05 | 東芝機械株式会社 | ウエハ処理装置用制御システム |
| JPS63174311A (ja) * | 1987-01-14 | 1988-07-18 | Hitachi Ltd | Ｃｖｄ装置 |
-
1990
- 1990-07-12 JP JP2182841A patent/JP2852696B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0470753A (ja) | 1992-03-05 |
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