JP2838638B2 - アクティブ測距用集積回路の製造方法 - Google Patents
アクティブ測距用集積回路の製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カメラのアクティブオ
ートフォーカス用の集積回路の製造方法に関し、特にメ
タル配線の切り替えにより、三角測量方式のカメラのア
クティブオートフォーカス用に適した集積回路あるいは
光量弁別方式のカメラのアクティブオートフォーカス用
に適した集積回路という２種類の集積回路を製造するア
クティブ測距用集積回路の製造方法に関する。
ートフォーカス用の集積回路の製造方法に関し、特にメ
タル配線の切り替えにより、三角測量方式のカメラのア
クティブオートフォーカス用に適した集積回路あるいは
光量弁別方式のカメラのアクティブオートフォーカス用
に適した集積回路という２種類の集積回路を製造するア
クティブ測距用集積回路の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】アクティブオートフォーカス方式のカメ
ラは、カメラから赤外光を放射し、反射光を捕らえてそ
の情報で被写体までの距離を割り出してカメラのピント
を合わすものであり、その方式には、ＰＳＤ（ポジショ
ン・センシティブ・ダイオード）を使用して三角測量の
原理によって距離を算出する三角測量方式と、ＳＰＤ
（シリコン・フォト・ディテクター）を使用して単に反
射光量の弁別だけを行うことにより距離を算出する光量
弁別方式とが知られており、従来は、何れもそれ専用の
集積回路を製造し使用するのが一般的であった。
ラは、カメラから赤外光を放射し、反射光を捕らえてそ
の情報で被写体までの距離を割り出してカメラのピント
を合わすものであり、その方式には、ＰＳＤ（ポジショ
ン・センシティブ・ダイオード）を使用して三角測量の
原理によって距離を算出する三角測量方式と、ＳＰＤ
（シリコン・フォト・ディテクター）を使用して単に反
射光量の弁別だけを行うことにより距離を算出する光量
弁別方式とが知られており、従来は、何れもそれ専用の
集積回路を製造し使用するのが一般的であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、光量弁別方
式は三角測量方式に比べて性能は劣るが、集積回路以外
の部品も安価であるため、低廉なカメラのオートフォー
カスに賞用されている。しかし、集積回路の製造におい
ては初期コストが比較的大きいため、光量弁別方式の為
だけの集積回路を製造する場合には、その製造コストに
より製品自体の価格の上昇を招くことになる。
式は三角測量方式に比べて性能は劣るが、集積回路以外
の部品も安価であるため、低廉なカメラのオートフォー
カスに賞用されている。しかし、集積回路の製造におい
ては初期コストが比較的大きいため、光量弁別方式の為
だけの集積回路を製造する場合には、その製造コストに
より製品自体の価格の上昇を招くことになる。
【０００４】そこで本発明の目的は、三角測量方式に必
要な回路に工夫を施し、集積回路の製造段階においてメ
タル配線だけを変更すれば、同一集積回路を光量弁別方
式にも流用することができるようにして、三角測量方式
と光量弁別方式との２種類の方式に使用する集積回路を
安価に製造し得るようにすることにある。
要な回路に工夫を施し、集積回路の製造段階においてメ
タル配線だけを変更すれば、同一集積回路を光量弁別方
式にも流用することができるようにして、三角測量方式
と光量弁別方式との２種類の方式に使用する集積回路を
安価に製造し得るようにすることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】三角測量方式の場合、或
る程度より遠い被写体では反射光量が微弱なため、ノイ
ズで演算結果が不定となる問題がある。そのため、ＰＳ
Ｄの２つの電極の出力のうち遠距離で比率の大きくなる
側の出力信号のレベルが或る基準レベルより小さいとき
に、その出力信号をその基準レベルに固定するようなク
ランプ回路を設けて、出力信号が無限遠の場合と同様に
なるような対策を施している。他方、光量弁別方式の場
合、そのようなクランプ回路は不要であるが、その代わ
りに反射光量を弁別するための基準信号を発生する基準
信号発生回路が必要である。そこで本発明は、メタル配
線を切り替えるだけで、クランプ回路としても、基準信
号発生回路としても動作し得るクランプ回路兼基準信号
発生回路を使用し、三角測量方式のアクティブ測距用の
集積回路を製造する際には、クランプ回路兼基準信号発
生回路がクランプ回路として動作するようメタル配線を
施し、併せて、入力電流の対数に比例した電圧を出力す
る対数圧縮ダイオードの順方向電圧を増幅するホロワ回
路の出力と前記クランプ回路のクランプ信号とを接続し
て演算回路に導くメタル配線を施すようにしている。ま
た、三角測量方式のアクティブ測距用の集積回路を製造
する場合には、クランプ回路兼基準信号発生回路が基準
信号発生回路として動作するようメタル配線を施し、併
せて、前記ホロワ回路の出力と基準信号発生回路の出力
とを両者を比較するコンパレータの入力に導くメタル配
線を施すようにしている。
る程度より遠い被写体では反射光量が微弱なため、ノイ
ズで演算結果が不定となる問題がある。そのため、ＰＳ
Ｄの２つの電極の出力のうち遠距離で比率の大きくなる
側の出力信号のレベルが或る基準レベルより小さいとき
に、その出力信号をその基準レベルに固定するようなク
ランプ回路を設けて、出力信号が無限遠の場合と同様に
なるような対策を施している。他方、光量弁別方式の場
合、そのようなクランプ回路は不要であるが、その代わ
りに反射光量を弁別するための基準信号を発生する基準
信号発生回路が必要である。そこで本発明は、メタル配
線を切り替えるだけで、クランプ回路としても、基準信
号発生回路としても動作し得るクランプ回路兼基準信号
発生回路を使用し、三角測量方式のアクティブ測距用の
集積回路を製造する際には、クランプ回路兼基準信号発
生回路がクランプ回路として動作するようメタル配線を
施し、併せて、入力電流の対数に比例した電圧を出力す
る対数圧縮ダイオードの順方向電圧を増幅するホロワ回
路の出力と前記クランプ回路のクランプ信号とを接続し
て演算回路に導くメタル配線を施すようにしている。ま
た、三角測量方式のアクティブ測距用の集積回路を製造
する場合には、クランプ回路兼基準信号発生回路が基準
信号発生回路として動作するようメタル配線を施し、併
せて、前記ホロワ回路の出力と基準信号発生回路の出力
とを両者を比較するコンパレータの入力に導くメタル配
線を施すようにしている。
【０００６】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
詳細に説明する。
詳細に説明する。
【０００７】図１は本発明の一実施例の製造方法により
製造されるアクティブ測距用集積回路の要部構成図であ
り、Ｑ１，Ｑ７，Ｑ８，Ｑ１８はダイオード、Ｑ２〜Ｑ
６，Ｑ９〜Ｑ１７，Ｑ１９〜Ｑ２１はトランジスタ（な
お、Ｑ１９の×２はトランジスタを２個パラレルにして
いることを意味する）、Ｃ１，Ｃ２はコンデンサ、Ｒ１
〜Ｒ６は抵抗、ＶＲは外付けの半固定抵抗器、Ｉ１は定
電流源、ＣＯＭＰはコンパレータ、Ｍは演算回路、Ｖｃ
ｃは電源、ＰＡはプリアンプ回路、ＩＮＣは他の１チャ
ンネルの入力回路を示す。
製造されるアクティブ測距用集積回路の要部構成図であ
り、Ｑ１，Ｑ７，Ｑ８，Ｑ１８はダイオード、Ｑ２〜Ｑ
６，Ｑ９〜Ｑ１７，Ｑ１９〜Ｑ２１はトランジスタ（な
お、Ｑ１９の×２はトランジスタを２個パラレルにして
いることを意味する）、Ｃ１，Ｃ２はコンデンサ、Ｒ１
〜Ｒ６は抵抗、ＶＲは外付けの半固定抵抗器、Ｉ１は定
電流源、ＣＯＭＰはコンパレータ、Ｍは演算回路、Ｖｃ
ｃは電源、ＰＡはプリアンプ回路、ＩＮＣは他の１チャ
ンネルの入力回路を示す。
【０００８】このうち、トランジスタＱ９〜Ｑ１７，Ｑ
１９〜Ｑ２１，定電流源Ｉ１，ダイオードＱ１８，コン
デンサＣ２，抵抗Ｒ２〜Ｒ６がクランプ回路兼基準信号
発生回路ＣＳを構成し、トランジスタＱ２〜Ｑ６および
コンデンサＣ１がホロワ回路ＦＷを構成し、Ｑ１が対数
圧縮ダイオードを構成し、ダイオードＱ７，Ｑ８および
３０ＫΩの抵抗Ｒ１がクランプ回路兼基準信号発生回路
ＣＳ内のトランジスタＱ１６および１０ＫΩの抵抗Ｒ４
と共にバイアス回路を構成している。
１９〜Ｑ２１，定電流源Ｉ１，ダイオードＱ１８，コン
デンサＣ２，抵抗Ｒ２〜Ｒ６がクランプ回路兼基準信号
発生回路ＣＳを構成し、トランジスタＱ２〜Ｑ６および
コンデンサＣ１がホロワ回路ＦＷを構成し、Ｑ１が対数
圧縮ダイオードを構成し、ダイオードＱ７，Ｑ８および
３０ＫΩの抵抗Ｒ１がクランプ回路兼基準信号発生回路
ＣＳ内のトランジスタＱ１６および１０ＫΩの抵抗Ｒ４
と共にバイアス回路を構成している。
【０００９】図１において、三角測量方式のアクティブ
測距用集積回路を製造する場合、メタル配線の工程にお
いて、同図の符号Ａを付した破線の配線箇所をメタル配
線により結線し、同図の符号Ｂを付した破線の配線箇所
は結線しない。即ち、クランプ回路兼基準信号発生回路
ＣＳ内では、トランジスタＱ１２のベースおよびトラン
ジスタＱ１７のコレクタを１２ＫΩの抵抗Ｒ２を介して
ダイオードＱ１８のカソードおよびトランジスタＱ１９
のコレクタに接続し、トランジスタＱ１９のエミッタを
５ＫΩの抵抗Ｒ５に接続し、トランジスタＱ１２のエミ
ッタ電圧は６ＫΩの抵抗Ｒ３を介さずにクランプ回路兼
基準信号発生回路ＣＳの出力として取り出す。また、ク
ランプ回路兼基準信号発生回路ＣＳの出力とホロワ回路
ＦＷの出力とを接続して演算回路Ｍの入力に導く。
測距用集積回路を製造する場合、メタル配線の工程にお
いて、同図の符号Ａを付した破線の配線箇所をメタル配
線により結線し、同図の符号Ｂを付した破線の配線箇所
は結線しない。即ち、クランプ回路兼基準信号発生回路
ＣＳ内では、トランジスタＱ１２のベースおよびトラン
ジスタＱ１７のコレクタを１２ＫΩの抵抗Ｒ２を介して
ダイオードＱ１８のカソードおよびトランジスタＱ１９
のコレクタに接続し、トランジスタＱ１９のエミッタを
５ＫΩの抵抗Ｒ５に接続し、トランジスタＱ１２のエミ
ッタ電圧は６ＫΩの抵抗Ｒ３を介さずにクランプ回路兼
基準信号発生回路ＣＳの出力として取り出す。また、ク
ランプ回路兼基準信号発生回路ＣＳの出力とホロワ回路
ＦＷの出力とを接続して演算回路Ｍの入力に導く。
【００１０】これによって、図１の回路は三角測量方式
のアクティブ測距用回路として動作する。即ち、三角測
量方式のアクティブ測距におけるＰＳＤの２つの出力信
号のうちの遠距離でその割合の大きくなる方の出力電流
をプリアンプ回路ＰＡからダイオードＱ１のカソードに
印加すると、その電流の対数に比例した電圧がダイオー
ドＱ１の順方向電圧として得られ、この電圧がホロワ回
路ＦＷでインピーダンス変換され、トランジスタＱ３の
エミッタ電圧として取り出される。
のアクティブ測距用回路として動作する。即ち、三角測
量方式のアクティブ測距におけるＰＳＤの２つの出力信
号のうちの遠距離でその割合の大きくなる方の出力電流
をプリアンプ回路ＰＡからダイオードＱ１のカソードに
印加すると、その電流の対数に比例した電圧がダイオー
ドＱ１の順方向電圧として得られ、この電圧がホロワ回
路ＦＷでインピーダンス変換され、トランジスタＱ３の
エミッタ電圧として取り出される。
【００１１】他方、クランプ回路兼基準信号発生回路Ｃ
Ｓでは、トランジスタＱ１１〜Ｑ１５およびコンデンサ
Ｃ２がホロワ回路を構成し、トランジスタＱ９，Ｑ１
０，Ｑ１１，Ｑ１７，Ｑ２０が１つのカレントミラー回
路を構成し、トランジスタＱ１９，Ｑ２１が他の１つの
カレントミラー回路を構成している。従って、定電流源
Ｉ１の電流を１０μＡとすると、カレントミラーの原理
から、トランジスタＱ１１，Ｑ１７，Ｑ２０，Ｑ２１の
コレクタ電流は１０μＡ，トランジスタＱ１９のコレク
タ電流は２０μＡとなり、ダイオードＱ１８の電流が１
０μＡとなって、結局トランジスタＱ１２のベース電圧
は、トランジスタＱ１７のコレクタ電流が１２ＫΩの抵
抗Ｒ２に流れたことにより電圧降下が１２０ｍＶとなる
ので、この値がＫ・Ｔ／ｑ×ｌｏｇ１００（ここでＫは
ボルツマン定数，Ｔは絶対温度，ｑは電子の電荷，ｌｏ
ｇは自然対数）にほぼ等しいことから１００ｎＡ流れて
いるダイオードの電圧をホロワしたものと等価になる。
このホロワ回路の出力、つまりトランジスタＱ１２のエ
ミッタ出力がホロワ回路ＦＷの出力に接続されているた
め、プリアンプ回路ＰＡからの入力電流が非常に小さい
ときも、入力が１００ｎＡの場合のレベル以下（電圧的
には以上）には下がらない。
Ｓでは、トランジスタＱ１１〜Ｑ１５およびコンデンサ
Ｃ２がホロワ回路を構成し、トランジスタＱ９，Ｑ１
０，Ｑ１１，Ｑ１７，Ｑ２０が１つのカレントミラー回
路を構成し、トランジスタＱ１９，Ｑ２１が他の１つの
カレントミラー回路を構成している。従って、定電流源
Ｉ１の電流を１０μＡとすると、カレントミラーの原理
から、トランジスタＱ１１，Ｑ１７，Ｑ２０，Ｑ２１の
コレクタ電流は１０μＡ，トランジスタＱ１９のコレク
タ電流は２０μＡとなり、ダイオードＱ１８の電流が１
０μＡとなって、結局トランジスタＱ１２のベース電圧
は、トランジスタＱ１７のコレクタ電流が１２ＫΩの抵
抗Ｒ２に流れたことにより電圧降下が１２０ｍＶとなる
ので、この値がＫ・Ｔ／ｑ×ｌｏｇ１００（ここでＫは
ボルツマン定数，Ｔは絶対温度，ｑは電子の電荷，ｌｏ
ｇは自然対数）にほぼ等しいことから１００ｎＡ流れて
いるダイオードの電圧をホロワしたものと等価になる。
このホロワ回路の出力、つまりトランジスタＱ１２のエ
ミッタ出力がホロワ回路ＦＷの出力に接続されているた
め、プリアンプ回路ＰＡからの入力電流が非常に小さい
ときも、入力が１００ｎＡの場合のレベル以下（電圧的
には以上）には下がらない。
【００１２】演算回路Ｍには、この出力と、他の１チャ
ンネルの入力回路ＩＮＣ（ＰＳＤの残りの出力信号を処
理する回路であって、プリアンプ回路ＰＡおよびホロワ
回路ＦＷと同様な回路が含まれている）からの出力とが
入力されており、演算回路Ｍはこれら２つの出力を演算
することで測距結果のデータを得る。このとき、被写体
までの距離が非常に大きい場合には反射してくる信号の
レベルが非常に小さくなり、光電変換素子の変換時のシ
ョットノイズや回路が有しているノイズに信号出力が埋
もれてしまうような状況下では、クランプ回路兼基準信
号発生回路ＣＳの出力によって、ＰＳＤの２つの出力信
号のうち比率の高くなる側の信号のレベルが所定値にク
ランプされるので、測距結果として無限遠の結果が出力
される。
ンネルの入力回路ＩＮＣ（ＰＳＤの残りの出力信号を処
理する回路であって、プリアンプ回路ＰＡおよびホロワ
回路ＦＷと同様な回路が含まれている）からの出力とが
入力されており、演算回路Ｍはこれら２つの出力を演算
することで測距結果のデータを得る。このとき、被写体
までの距離が非常に大きい場合には反射してくる信号の
レベルが非常に小さくなり、光電変換素子の変換時のシ
ョットノイズや回路が有しているノイズに信号出力が埋
もれてしまうような状況下では、クランプ回路兼基準信
号発生回路ＣＳの出力によって、ＰＳＤの２つの出力信
号のうち比率の高くなる側の信号のレベルが所定値にク
ランプされるので、測距結果として無限遠の結果が出力
される。
【００１３】次に、図１の回路において、光量弁別方式
のアクティブ測距用集積回路を製造する場合、同図の符
号Ｂを付した破線の配線箇所をメタル配線により結線
し、Ａの配線箇所は結線しない。即ち、クランプ回路兼
基準信号発生回路ＣＳ内では、トランジスタＱ１９のエ
ミッタを外付けの半固定抵抗器ＶＲに接続し、トランジ
スタＱ１２のベースをダイオードＱ１８のカソードおよ
びトランジスタＱ１９のコレクタに接続し、トランジス
タＱ１２のエミッタを６ＫΩの抵抗Ｒ３を介してトラン
ジスタＱ１７のコレクタおよびクランプ回路兼基準信号
発生回路ＣＳの出力端に接続する。そして、クランプ回
路兼基準信号発生回路ＣＳの出力とホロワ回路ＦＷの出
力とをコンパレータＣＯＭＰの入力端子に接続する。
のアクティブ測距用集積回路を製造する場合、同図の符
号Ｂを付した破線の配線箇所をメタル配線により結線
し、Ａの配線箇所は結線しない。即ち、クランプ回路兼
基準信号発生回路ＣＳ内では、トランジスタＱ１９のエ
ミッタを外付けの半固定抵抗器ＶＲに接続し、トランジ
スタＱ１２のベースをダイオードＱ１８のカソードおよ
びトランジスタＱ１９のコレクタに接続し、トランジス
タＱ１２のエミッタを６ＫΩの抵抗Ｒ３を介してトラン
ジスタＱ１７のコレクタおよびクランプ回路兼基準信号
発生回路ＣＳの出力端に接続する。そして、クランプ回
路兼基準信号発生回路ＣＳの出力とホロワ回路ＦＷの出
力とをコンパレータＣＯＭＰの入力端子に接続する。
【００１４】これによって、図１の回路は光量弁別方式
のアクティブ測距用回路として動作する。即ち、光量弁
別方式においては入力は１つであり、この入力が三角測
量方式の場合の遠距離でその割合の大きくなる出力電流
用のプリアンプＰＡを使用して増幅されてダイオードＱ
１で対数圧縮され、トランジスタＱ３でホロワされてコ
ンパレータＣＯＭＰの１つの入力となる。他方、クラン
プ回路兼基準信号発生回路ＣＳでは、トランジスタＱ１
９のエミッタ電流が外付けの半固定抵抗器ＶＲにより或
る値に定められ、その値と同じ電流値がダイオードＱ１
８に流れ、この電流がトランジスタＱ１２でホロワさ
れ、抵抗Ｒ３で約１桁レベルシフトされた後、コンパレ
ータＣＯＭＰの他方の入力に、比較基準信号として入力
される。コンパレータＣＯＭＰはホロワ回路ＦＷからの
信号とクランプ回路兼基準信号発生回路ＣＳからの信号
とを比較し、前者が後者より大きければ近距離であるこ
とを示す比較結果を出力回路に出力し、そうでなけば遠
距離であることを示す比較結果を出力回路に出力する。
のアクティブ測距用回路として動作する。即ち、光量弁
別方式においては入力は１つであり、この入力が三角測
量方式の場合の遠距離でその割合の大きくなる出力電流
用のプリアンプＰＡを使用して増幅されてダイオードＱ
１で対数圧縮され、トランジスタＱ３でホロワされてコ
ンパレータＣＯＭＰの１つの入力となる。他方、クラン
プ回路兼基準信号発生回路ＣＳでは、トランジスタＱ１
９のエミッタ電流が外付けの半固定抵抗器ＶＲにより或
る値に定められ、その値と同じ電流値がダイオードＱ１
８に流れ、この電流がトランジスタＱ１２でホロワさ
れ、抵抗Ｒ３で約１桁レベルシフトされた後、コンパレ
ータＣＯＭＰの他方の入力に、比較基準信号として入力
される。コンパレータＣＯＭＰはホロワ回路ＦＷからの
信号とクランプ回路兼基準信号発生回路ＣＳからの信号
とを比較し、前者が後者より大きければ近距離であるこ
とを示す比較結果を出力回路に出力し、そうでなけば遠
距離であることを示す比較結果を出力回路に出力する。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、三角測量
方式で必要となるクランプ回路を光量弁別方式で必要な
基準信号発生回路に流用し、製造段階でメタル配線を切
り替えて、三角測量方式，光量弁別方式の２種類のアク
ティブ測距用集積回路を作り分けるようにしたので、チ
ップ面積をそれほど増大させることなく、製造工程をほ
ぼ共通化して２種類の集積回路を安価に製造することが
できる。
方式で必要となるクランプ回路を光量弁別方式で必要な
基準信号発生回路に流用し、製造段階でメタル配線を切
り替えて、三角測量方式，光量弁別方式の２種類のアク
ティブ測距用集積回路を作り分けるようにしたので、チ
ップ面積をそれほど増大させることなく、製造工程をほ
ぼ共通化して２種類の集積回路を安価に製造することが
できる。
【図１】本発明の一実施例の製造方法により製造される
アクティブ測距用集積回路の要部構成図である。
アクティブ測距用集積回路の要部構成図である。
Ｑ１，Ｑ７，Ｑ８，Ｑ１８…ダイオード Ｃ１，Ｃ２…コンデンサ Ｒ１〜Ｒ６…抵抗 ＶＲ…外付けの半固定抵抗器 Ｉ１…定電流源 ＣＯＭＰ…コンパレータ Ｑ２〜Ｑ６，Ｑ９〜Ｑ１７，Ｑ１９〜Ｑ２１…トランジ
スタ Ｍ…演算回路 Ｖｃｃ…電源 ＰＡ…プリアンプ回路 ＩＮＣ…他の１チャンネルの入力回路 ＦＷ…ホロワ回路 ＣＳ…クランプ回路兼基準信号発生回路
スタ Ｍ…演算回路 Ｖｃｃ…電源 ＰＡ…プリアンプ回路 ＩＮＣ…他の１チャンネルの入力回路 ＦＷ…ホロワ回路 ＣＳ…クランプ回路兼基準信号発生回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01C 3/00 - 3/32 G01B 11/00 - 11/00 G02B 7/32
Claims (1)
- 【請求項１】 三角測量方式のアクティブ測距における
ＰＳＤの２つの出力信号のうちの遠距離でその割合の大
きくなる方の出力信号をクランプするためのクランプ信
号を出力するクランプ回路として動作するか、光量弁別
方式のアクティブ測距におけるＳＰＤの出力信号と比較
する信号であって外付けの可変抵抗器によって出力レベ
ルの調整が可能な基準信号を出力する基準信号発生回路
として動作するかを、数箇所のメタル配線の切り替えに
より変更できるクランプ回路兼基準信号発生回路を使用
し、 前記クランプ回路兼基準信号発生回路がクランプ回路と
して動作する側にメタル配線を施し、併せて、入力電流
の対数に比例した電圧を出力する対数圧縮ダイオードの
順方向電圧を増幅するホロワ回路の出力と前記クランプ
回路のクランプ信号とを接続して演算回路に導くメタル
配線を施すことにより、三角測量方式のアクティブ測距
用の集積回路を製造し、 前記クランプ回路兼基準信号発生回路が基準信号発生回
路として動作する側にメタル配線を施し、併せて、前記
ホロワ回路の出力と前記基準信号発生回路の出力とを両
者を比較するコンパレータの入力に導くメタル配線を施
すことにより、光量弁別方式のアクティブ測距用の集積
回路を製造するようにしたことを特徴とするアクティブ
測距用集積回路の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23237493A JP2838638B2 (ja) | 1993-08-25 | 1993-08-25 | アクティブ測距用集積回路の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23237493A JP2838638B2 (ja) | 1993-08-25 | 1993-08-25 | アクティブ測距用集積回路の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0763550A JPH0763550A (ja) | 1995-03-10 |
| JP2838638B2 true JP2838638B2 (ja) | 1998-12-16 |
Family
ID=16938230
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23237493A Expired - Fee Related JP2838638B2 (ja) | 1993-08-25 | 1993-08-25 | アクティブ測距用集積回路の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2838638B2 (ja) |
-
1993
- 1993-08-25 JP JP23237493A patent/JP2838638B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0763550A (ja) | 1995-03-10 |
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