JP2818698B2 - 複数光ビームのパワー補正方法及び光ビーム走査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は複数光ビームのパワー補
正方法及びこの複数光ビームのパワー補正方法を用いた
光ビーム走査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、マルチ周波数音響光学素子
（ＡＯＭ）を備えた光学変調装置を用いて複数本のレー
ザビームを形成することにより安定かつ高速に読取り或
いは記録できる光ビーム走査装置が提案されている（特
公昭６３−５７４１号公報、特開昭５４−５４５５号公
報、特開昭５７−４１６１８号公報、特公昭５３−９８
５６号公報、実開昭５５−２９４１４号公報等参照）。

【０００３】かかるマルチ周波数音響光学素子を用いて
画像を記録するレーザビーム記録装置等の光ビーム走査
装置では、異なる周波数の信号を各々出力する複数の発
振器と、発振器の出力端の各々に接続されかつ発振器か
ら出力された信号の振幅を制御する複数の振幅制御器
と、複数の振幅制御器から出力された信号の各々を混合
して音響光学素子に入力する混合手段と、を備えてい
る。音響光学素子にレーザビームが入射された状態で前
記複数の信号が入力されると、前記レーザビームが音響
光学効果によって回折し、音響光学素子から前記信号の
数と同数のレーザビームが回折光として射出される。な
お、射出される各々のレーザビームの回折角度は前記信
号の周波数に依存し、各々のレーザビームのパワーは前
記信号の振幅にほぼ依存する。レーザビーム記録装置で
はこの複数のレーザビームを走査光学系及び記録光学系
を介して同時に感光材料の感光面へ照射する。

【０００４】ところで、音響光学素子に一定振幅でかつ
周波数の異なる所定数の信号を混合して入力し所定数の
レーザビームを射出させる場合、図１０（Ａ）に示すよ
うに、レーザビーム１本当りの回折効率すなわちレーザ
ビーム１本当りのパワーは、射出させるレーザビームの
本数が多くなるに従って低下することが知られている。
このため、前述のレーザビーム記録装置等では記録する
画像に濃度むらが発生することになる。これを解決する
ために本出願人は、レーザビーム１本当りのパワーを射
出させるレーザビームの本数に拘わらず一定する技術を
既に提案している（特願平１−２７２３３２号公報、特
願平２−２７４７５５号公報参照）。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、射出さ
せるレーザビームの本数とレーザビーム１本当りのパワ
ーとの関係は、音響光学素子に入力する複数の信号の各
々の振幅によっても変化する。例として図１０（Ｂ）に
示すように、射出させるレーザビームのパワーをより大
きくするために音響光学素子に入力する信号の振幅を大
きくした場合、射出させるレーザビームの本数を多くし
ていったときのレーザビーム１本当りのパワーの低下率
はより大きくなる。従って、前記同時多ビーム光変調装
置の技術をレーザビーム記録装置に適用した場合には、
例えば画像記録倍率の変更に伴ってレーザビームの書込
みパワーを記録倍率に応じた所定値に変更するために音
響光学素子に入力する信号の振幅を変更すると、画像に
濃度むらが発生することになる。

【０００６】これを解決するために、図１１に示すよう
な構成の回路によって補正することが考えられる。すな
わち、信号数計数回路２００によって音響光学素子から
射出させるレーザビームの本数を表すデータを得る。こ
のデータは射出させるレーザビームの本数に応じてパワ
ーの補正を行うためのデジタルデータであり、ＤＡＣ２
０２でアナログ信号に変換されてリレー回路２０４へ出
力される。なお、ＤＡＣ２０２には一定の基準電圧Ｖ
_REF が入力される。リレー回路２０４は各記録倍率に対
応して複数のリレー２０６Ａ、２０６Ｂ、・・が設けら
れており、前記アナログ信号は各リレー２０６Ａ、２０
６Ｂ、・・の入力側に導かれる。リレー２０６Ａ、２０
６Ｂ、・・の出力側には各々可変抵抗器２０８Ａ、２０
８Ｂ、・・が接続されている。可変抵抗器２０８Ａ、２
０８Ｂ、・・の各々の抵抗値は、図１０（Ｂ）に示すよ
うに射出させるレーザビームの本数とレーザビーム１本
当りのパワーとの関係において、記録倍率毎に異なる傾
きを補正するような値に設定されている。

【０００７】一方、記録倍率を表す信号がデコーダ２１
０に入力され、デコーダ２１０は入力された信号が表す
記録倍率に対応したリレー２０６の励磁コイルをオンす
る。従って変換されたアナログ信号は記録倍率に対応す
るリレー２０６、可変抵抗器２０８を通過し、記録倍率
に対応した補正信号とされて出力される。この補正信号
を用いて音響光学素子に入力する信号の振幅を補正する
ことにより、レーザビーム１本当りのパワーは記録倍率
に応じた所定値となり、音響光学素子から射出させるレ
ーザビームの本数の変化に拘わらず一定となる。

【０００８】しかし、例えばレーザビーム発生器の経時
変化等により音響光学素子に入射されるレーザビームの
パワーが変動した場合、一定の書込みパワーを得るため
には音響光学素子に入力する信号の振幅を調整する必要
があるが、これにより射出させるレーザビームの本数と
レーザビーム１本当りのパワーとの関係が変化するの
で、記録倍率毎の補正量が一定の場合にはレーザビーム
１本当りのパワーが射出させるレーザビームの本数によ
って変動する。前記回路構成において記録倍率毎の補正
量を変更する場合には、前記多数の可変抵抗器２０８
Ａ、２０８Ｂ、・・の抵抗値を調整する必要があるの
で、音響光学素子に入射されるレーザビームのパワーの
変動にリアルタイムに対応することができず、また調整
作業が煩雑であった。

【０００９】本発明は上記事実を考慮して成されたもの
で、音響光学素子に入力する信号の振幅を変更した場合
にも音響光学素子から射出させる光ビームの単一光ビー
ム当りのパワーを射出させる光ビームの本数に拘わらず
一定にすることができる複数光ビームのパワー補正方法
を得ることが目的である。

【００１０】また本発明は、音響光学素子に入力する信
号の振幅を変更した場合にも音響光学素子から射出させ
る光ビームの単一光ビーム当りのパワーを射出させる光
ビームの本数に拘わらず一定にすることができる光ビー
ム走査装置を得ることが目的である。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明に係
る複数光ビームのパワー補正方法は、所定の振幅で異な
る周波数の所定数の信号のうちの少なくとも１個が入力
され該入力された信号の振幅に応じたパワーでかつ入力
された信号の周波数に応じた方向へ入射された光ビーム
を射出させる音響光学素子を備えた光ビーム走査系の複
数光ビームのパワーを補正するにあたり、前記所定数の
信号を個々に入力したときに射出される単一光ビームの
パワーを測定し、前記所定数の信号を個々に入力したと
きに射出される単一光ビームのパワーが各々所定値とな
るように前記信号の振幅を各々制御した後に、複数の信
号を混合して入力したときに射出される複数光ビームの
パワーを測定し、前記複数光ビームのパワーの測定結果
と前記所定値とを比較して、混合して入力する信号の数
の変化に対する制御信号の変化の傾きを、任意の数の信
号を混合して入力したときに射出される任意の数の光ビ
ームの単一光ビーム当りのパワーが前記所定値に等しく
なるように決定し、混合入力する信号の数に従い前記決
定した傾きに応じて変化させた制御信号によって前記信
号の振幅を補正する。

【００１２】請求項２記載の発明に係る光ビーム走査装
置は、異なる周波数の信号を各々出力する所定数の発振
回路と、前記所定数の発振回路から出力された信号の各
々の振幅を入力された第１の制御信号に応じて各々独立
に制御する所定数の第１の振幅制御回路と、前記所定数
の発振回路から出力された所定数の信号の振幅を入力さ
れた第２の制御信号に応じて各々同じように制御する第
２の振幅制御回路と、前記第１の振幅制御回路及び前記
第２の振幅制御回路で振幅が制御された少なくとも１個
の信号が入力され入力された信号の振幅に応じたパワー
でかつ入力された信号の周波数に応じた方向へ入射され
た光ビームを射出させる音響光学素子と、音響光学素子
から射出された光ビームのパワーを測定する測定手段
と、前記第１の振幅制御回路へ前記第１の制御信号を入
力すると共に、前記測定手段によって測定された、前記
所定数の信号を１個ずつ音響光学素子へ各々入力したと
きに射出される各光ビームのパワーに基づいて、前記所
定数の信号を１個ずつ音響光学素子へ各々入力したとき
に射出される各光ビームのパワーが各々所定値になるよ
うに前記第１の制御信号を調整する第１の入力手段と、
前記第２の振幅制御回路へ前記第２の制御信号を入力す
ると共に、前記第１の入力手段が前記第１の制御信号の
調整を行った後に前記測定手段によって測定された、複
数の信号を混合して音響光学素子に入力したときに射出
される複数光ビームのパワーと前記所定値とを比較し
て、混合して入力する信号の数の変化に対する第２の制
御信号の変化の傾きを、任意の数の信号を混合して入力
したときに射出される任意の数の光ビームの単一光ビー
ム当りのパワーが前記所定値に等しくなるように決定
し、混合入力する信号の数に従い前記決定した傾きに応
じて前記第２の制御信号を調整する第２の入力手段と、
を有している。

【００１３】請求項３記載の発明に係る光ビーム走査装
置は、異なる周波数の信号を各々出力する所定数の発振
回路と、発振回路の各々に接続され発振回路から出力さ
れた信号の振幅を入力された振幅制御信号に応じて制御
する振幅制御回路と、前記振幅制御回路から出力された
所定数の信号のうちの少なくとも１個が入力され入力さ
れた信号の振幅に応じたパワーでかつ入力された信号の
周波数に応じた方向へ入射された光ビームを射出させる
音響光学素子と、音響光学素子から射出された光ビーム
のパワーを測定する測定手段と、前記所定数の発振回路
から出力された所定数の信号の振幅を各々独立に制御す
るための第１の制御信号を出力すると共に、前記測定手
段によって測定された、前記所定数の信号を１個ずつ音
響光学素子へ各々入力したときに射出される各光ビーム
のパワーに基づいて、前記所定数の信号を１個ずつ音響
光学素子へ各々入力したときに射出される各光ビームの
パワーが各々所定値になるように前記第１の制御信号を
調整する第１の出力手段と、前記所定数の発振回路から
出力された所定数の信号の振幅を各々同じように制御す
るための第２の制御信号を出力すると共に、前記第１の
出力手段が前記第１の制御信号の調整を行った後に前記
測定手段によって測定された、複数の信号を混合して音
響光学素子に入力したときに射出される複数光ビームの
パワーと前記所定値とを比較して、混合して入力する信
号の数の変化に対する第２の制御信号の変化の傾きを、
任意の数の信号を混合して入力したときに射出される任
意の数の光ビームの単一光ビーム当りのパワーが前記所
定値に等しくなるように決定し、混合入力する信号の数
に従い前記決定した傾きに応じて前記第２の制御信号を
調整する第２の出力手段と、前記第１の出力手段から出
力された第１の制御信号と前記第２の出力手段から出力
された第２の制御信号との和を前記振幅制御信号として
振幅制御回路へ入力する入力手段と、を有している。

【００１４】

【作用】請求項１記載の発明では、まず所定数の信号を
音響光学素子に個々に入力したときに射出される単一光
ビームのパワーを測定し、所定数の信号を個々に入力し
たときに射出される単一光ビームのパワーが各々所定値
となるように前記所定数の信号の振幅を各々制御する。
これにより、例えば音響光学素子に入射される光ビーム
のパワーが変動しても、音響光学素子に入力する信号の
振幅が変更されてこの変動分が補正される。また、単一
光ビーム当りのパワーの目標値（所定値）が変更された
場合にも、単一光ビーム当りのパワーを目標値に一致さ
せることができる。請求項１の発明では、次に複数の信
号を混合して音響光学素子に入力したときに射出される
複数光ビームのパワーを測定し、複数光ビームのパワー
の測定結果と所定値とを比較して、混合して入力する信
号の数の変化に対する制御信号の変化の傾きを、任意の
数（但し、所定数以下）の信号を混合して入力したとき
に射出される任意の数の光ビームの単一光ビーム当りの
パワーが所定値に等しくなるように決定し、混合入力す
る信号の数に従い前記決定した傾きに応じて変化させた
制御信号によって信号の振幅を補正する。これにより、
音響光学素子に入射される光ビームのパワーが変化した
場合や、単一光ビーム当りのパワーの目標値（所定値）
が変更された場合にも、音響光学素子から射出させる光
ビームの単一光ビーム当りのパワーを、射出させる光ビ
ームの本数に拘わらず一定にすることができる。

【００１５】請求項１の発明によれば、例えば特開昭５
４−１６４１５２号公報等に記載されているように、所
定数の信号に加えてダミー信号も音響光学素子に入力
し、音響光学素子からダミー光を射出させることで、音
響光学素子から射出させる光ビームの単一光ビーム当り
のパワーの変化を抑制したりする必要がないので、所定
数の信号の周波数差を大きくすることができ、音響光学
素子の光ビーム射出側に光学系を設ける場合にも、該光
学系の設計の自由度が高くなると共に、音響光学素子に
入射された光ビームのパワーを有効に利用することがで
きる。 また、請求項１の発明は、特開昭５３−１４８４
６１号公報に記載の技術のように多数の補正値を求める
必要はなく、所定数の信号を個々に入力したときに射出
される単一光ビームのパワーが各々所定値となるように
信号の振幅を各々制御した後に、複数の信号を混合して
入力したときに射出される複数光ビームのパワーの測定
結果と所定値とを比較して制御信号の変化の傾きを決定
することで、上記公報における多数の補正値の決定に相
当する処理が完了し、音響光学素子から射出させる光ビ
ームの単一光ビーム当りのパワーを、射出させる光ビー
ムの本数に拘わらず一定にする補正を実行可能となるの
で、短時間で処理を行うことができると共に、多数の補
正値を記憶するための大容量の記憶手段も不要となる。

【００１６】請求項２記載の発明において、第１の入力
手段は、所定数の発振回路から出力された信号の各々の
振幅を各々独立に制御するための第１の制御信号を第１
の振幅制御回路へ入力すると共に、測定手段によって測
定された、所定数の信号を１個ずつ音響光学素子へ各々
入力したときに射出される各光ビームのパワーに基づい
て、所定数の信号を１個ずつ音響光学素子へ各々入力し
たときに射出される各光ビームのパワーが各々所定値に
なるように第１の制御信号を調整する。これにより、例
えば音響光学素子に入射される光ビームのパワーが変動
した場合には、この変動分を補正する第１の制御信号が
第１の振幅制御回路に入力され、第１の振幅制御回路で
は第１の制御信号に応じて信号の振幅を変更するので、
１個の信号を音響光学素子に入力したときに射出される
光ビームのパワーは所定値に維持される。また第２の入
力手段は、所定数の発振回路から出力された所定数の信
号の振幅を各々同じように制御するための前記第２の制
御信号を第２の振幅制御回路へ入力すると共に、第１の
入力手段が第１の制御信号の調整を行った後に測定手段
によって測定された、複数の信号を混合して音響光学素
子に入力したときに射出される複数光ビームのパワーと
所定値とを比較して、混合して入力する信号の数の変化
に対する第２の制御信号の変化の傾きを、任意の数（但
し、所定数以下）の信号を混合して入力したときに射出
される任意の数の光ビームの単一光ビーム当りのパワー
が所定値に等しくなるように決定し、混合入力する信号
の数に従い決定した傾きに応じて第２の制御信号を調整
する。これにより、音響光学素子から射出させる光ビー
ムの単一光ビーム当りのパワーが音響光学素子から射出
させる光ビームの本数に拘わらず一定の所定値となるよ
うに、第２の振幅制御回路で信号の振幅が制御される。
従って、音響光学素子に入射される光ビームのパワーが
変化した場合や、単一光ビーム当りのパワーの目標値
（所定値）が変更された場合にも、音響光学素子から射
出させる光ビームの単一光ビーム当りのパワーを、射出
させる光ビームの本数に拘わらず一定にすることができ
る。また、本請求項２の発明では多数の可変抵抗器等を
用いる必要がなく抵抗値の調整作業は不要となるので、
上記補正を容易に行うことができる。更に請求項２の発
明は、請求項１の発明と同様に、音響光学素子の光ビー
ム射出側に光学系を設ける場合の光学系の設計の自由度
が高くなると共に、音響光学素子に入射された光ビーム
のパワーを有効に利用することができ、多数の補正値を
記憶するための大容量の記憶手段も不要となる。

【００１７】なお、本請求項２の発明において、第１の
振幅制御回路及び第２の振幅制御回路の配置は発振回路
と音響光学素子との間であればよく、第２の振幅制御回
路で振幅制御された信号を第１の振幅制御回路でさらに
振幅制御するようにしてもよい。

【００１８】請求項３記載の発明において、振幅制御回
路は発振回路から出力された信号の振幅を入力された振
幅制御信号に応じて制御する。一方、第１の出力手段は
所定数の発振回路から出力された所定数の信号の振幅を
各々独立に制御するための第１の制御信号を出力すると
共に、測定手段によって測定された、所定数の信号を１
個ずつ音響光学素子へ各々入力したときに射出される各
光ビームのパワーに基づいて、所定数の信号を１個ずつ
音響光学素子へ各々入力したときに射出される各光ビー
ムのパワーが各々所定値になるように第１の制御信号を
調整する。これにより、例えば音響光学素子に入射され
る光ビームのパワーが変動した場合にはこの変動分を補
正した第１の制御信号が出力される。また、第２の出力
手段は所定数の発振回路から出力された所定数の信号の
振幅を各々同じように制御するための第２の制御信号を
出力すると共に、第１の出力手段が第１の制御信号の調
整を行った後に測定手段によって測定された、複数の信
号を混合して音響光学素子に入力したときに射出される
複数光ビームのパワーと所定値とを比較して、混合して
入力する信号の数の変化に対する第２の制御信号の変化
の傾きを、任意の数の信号を混合して入力したときに射
出される任意の数の光ビームの単一光ビーム当りのパワ
ーが所定値に等しくなるように決定し、混合入力する信
号の数に従い決定した傾きに応じて第２の制御信号を調
整する。また入力手段は、この第１の制御信号と第２の
制御信号との和を振幅制御信号として前記振幅制御回路
へ入力する。このため、振幅制御回路に入力される振幅
制御信号は、１個の信号を音響光学素子に入力したとき
に射出される光ビームのパワーを所定値に維持し、かつ
任意の数（但し所定数以下）の信号を音響光学素子に入
力したときに射出される任意の数の光ビームの単一光ビ
ーム当りのパワーを音響光学素子に１個の信号を入力し
たときに射出される光ビームのパワーと等しくする信号
となる。これにより、音響光学素子に入射される光ビー
ムのパワーが変化した場合や、単一光ビーム当りのパワ
ーの目標値（所定値）が変更された場合にも、音響光学
素子から射出させる光ビームの単一光ビーム当りのパワ
ーを射出させる光ビームの本数に拘わらず一定にするこ
とができる。 また、本請求項３の発明においても多数の
可変抵抗器等を用いる必要がなく抵抗値の調整作業は不
要となるので、上記補正を容易に行うことができる。更
に請求項３の発明においても、請求項１及び請求項２の
発明と同様に、音響光学素子の光ビーム射出側に光学系
を設ける場合の光学系の設計の自由度が高くなると共
に、音響光学素子に入射された光ビームのパワーを有効
に利用することができ、多数の補正値を記憶するための
大容量の記憶手段も不要となる。

【００１９】なお、上記発明において音響光学素子から
射出した光ビームを用いて画像等の記録を行い、記録倍
率等に応じて光ビームをパワーを変更する場合には、音
響光学素子に１個の信号を入力して射出される単一光ビ
ームのパワーを制御するときの基準値である前記所定値
を前記記録倍率に応じて変更することによって対応する
ことができる。

【００２０】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図３には本発明に係るレーザビーム記録装
置１０が示されている。このレーザビーム記録装置１０
は、電源１４に接続されたＨｅ−Ｎｅレーザ１２を備え
ている。このＨｅ−Ｎｅレーザに代えて他の気体レーザ
或いは固体レーザ、半導体レーザ等を用いてもよい。Ｈ
ｅ−Ｎｅレーザ１２のレーザビーム射出側には、レンズ
１６、ＡＯＭ（音響光学素子）１８及びレンズ２４が順
に配列されている。ＡＯＭ１８は音響光学効果を生ずる
音響光学媒質２１を備えている。音響光学媒質２１の対
向する面には、入力された高周波信号に応じて超音波を
出力するトランスデューサ１７と、音響光学媒質２１を
通過した超音波を吸収する吸音体１９とが貼付されてい
る。トランスデューサ１７は、ＡＯＭ１８を駆動するＡ
ＯＭドライバ２０に接続され、ＡＯＭドライバ２０は制
御回路２２に接続されている。本実施例では、ＡＯＭ１
８に入射されたレーザビームから最大８本のレーザビー
ムが回折され、記録用レーザビームとして射出される。

【００２１】レンズ２４のレーザビーム射出側には、ミ
ラー２６、ダイクロイックミラー２５、ポリゴンミラー
（回転多面鏡）２８、レンズ２９及びダイクロイックミ
ラー３２が順に配列されている。ダイクロイックミラー
２５の近傍にはレンズ２７及び半導体レーザ１３が配置
されている。半導体レーザ１３は半導体レーザドライバ
１５に接続されている。半導体レーザ１３から射出され
たレーザビームはレンズ２７を介して参照用レーザビー
ムとしてダイクロイックミラー２５に入射され、ポリゴ
ンミラー２８側へ反射される。ポリゴンミラー２８はポ
リゴンミラードライバ３０に接続されており、ポリゴン
ミラードライバ３０によって高速回転される。記録用レ
ーザビーム及び参照用レーザビームはポリゴンミラー２
８で反射され、前記記録用レーザビームはダイクロイッ
クミラー３２で反射され、参照用レーザビームはダイク
ロイックミラー３２を透過する。またダイクロイックミ
ラー３２を透過した前記参照用レーザビームを受光可能
な位置には、リニアエンコーダ３３及び光電変換器３１
が順に配列されている。これにより、ダイクロイックミ
ラー３２を透過した参照用レーザビームはリニアエンコ
ーダ３３上に走査される。

【００２２】リニアエンコーダ３３は、透明部と不透明
部とが主走査方向に一定ピッチで交互に多数縞状に配置
された平面板で構成され、このリニアエンコーダ３３を
ポリゴンミラー２８で反射された参照用レーザビームで
走査すると、参照用レーザビームが透明部を透過するた
め光電変換器３１からパルス信号が出力される。この光
電変換器３１からのパルス信号は、ガルバノメータミラ
ーの角度を制御するガルバノメータミラードライバ３６
Ａに入力される。ダイクロイックミラー３２の反射側に
は、ミラー３４、ガルバノメータミラー３６、ミラー３
８が順に配列されている。ミラー３８で反射された記録
用レーザビームはレンズ４０を通してステージ４２に照
射される。ミラー３８とレンズ４０との間には、非記録
時（例えば、あるコマから他のコマへ記録を変更すると
き、あるフィッシュから他のフィッシュへ記録を変更す
るとき等）にレーザビームを遮断するように閉じられる
シャッター６１が配置されている。このシャッター６１
のレーザビーム入射側の面には光電変換器６０（本発明
の測定手段）が取り付けられている。ステージ４２に
は、マイクロフィルム等の記録材料４４が配置されてい
る。この記録材料４４は、それぞれリール４６及びリー
ル４８に層状に巻付けられている。

【００２３】図１に示すように、上記で説明した位置に
配置されかつＡＯＭ１８から回折光として射出された記
録用レーザビームを受光して該レーザビームのパワーに
応じた大きさの電圧を出力する光電変換器６０は、制御
回路２２の増幅器８８の入力側に接続されている。増幅
器８８の出力側にはＡＤＣ（アナログ−デジタル変換
器）８２、レジスタ９０が順に接続されている。ＡＤＣ
８２は光電変換器６０から出力され増幅器８８で増幅さ
れた信号を、前記受光したレーザビームのパワーを表す
デジタルデータに変換する。レジスタ９０は前記デジタ
ルデータを一時的に保持する。レジスタ９０はデータバ
スライン９２に接続されている。データバスライン９２
にはＣＰＵ（中央処理装置）８０も接続されており、相
互間のデータおよびコマンドの入出力が可能となってい
る。ＣＰＵ８０はレジスタ９０に保持されたレーザビー
ムのパワーを表すデータに基づいて処理を行う。

【００２４】データバスライン９２にはレジスタ８４
Ａ、８４Ｂ、８４Ｃ、８４Ｄ、８４Ｅ、８４Ｆ、８４
Ｇ、８４Ｈが接続されており、各レジスタは各々ＤＡＣ
（デジタル−アナログ変換器）８６Ａ、８６Ｂ、８６
Ｃ、８６Ｄ、８６Ｅ、８６Ｆ、８６Ｇ、８６Ｈに接続さ
れている。レジスタ８４Ａ、８４Ｂ、８４Ｃ、８４Ｄ、
８４Ｅ、８４Ｆ、８４Ｇ、８４Ｈには、ＡＯＭ１８から
射出された８本のレーザビームの各々のレベルを調整す
るデジタルデータが供給される。このデジタルデータは
各ＤＡＣ８６でアナログ信号に変換され、ＡＯＭドライ
バ２０の後述するローカルレベル制御回路６４Ａ〜６４
Ｈの各々へレベル制御信号として出力される。

【００２５】データバスライン９２には文字生成回路９
４が接続されている。文字生成回路９４にはホストコン
ピュータ等から転送された画像データがＣＰＵ８０によ
って供給され、文字生成回路９４はこれを一旦格納す
る。文字生成回路９４には遅延回路５８及び信号数計数
回路５４が接続されている。文字生成回路９４は一旦格
納した画像データからレーザビームによる画像の記録順
に８画素分毎に画像データ（８ビット）を取り出し、前
記遅延回路５８及び信号数計数回路５４へ出力する。遅
延回路５８では入力された画像データを所定時間遅延し
た後、ＡＯＭドライバ２０の後述するスイッチ回路６６
Ａ〜６６Ｈの各々へ出力する。一方、信号数計数回路５
４は入力された８ビットの画像データを、８個のビット
のオン（１）の数を表す４ビットのデータへ変換し、第
２ＤＡＣ（デジタル−アナログ変換器）５６へ出力す
る。

【００２６】また、データバスライン９２にはレジスタ
５０、第１ＤＡＣ（デジタル−アナログ変換器）５２が
順次接続されている。レジスタ５０には、８ビットの補
正データがＣＰＵ８０から供給される。この補正データ
は、ＡＯＭ１８に入力する信号の振幅を変更した場合に
も、ＡＯＭ１８から射出させるレーザビームのレーザビ
ーム１本当りのパワーを射出させるレーザビームの本数
に拘わらず一定にするための補正量を表している。レジ
スタ５０はこの補正データを一時的に保持し、第１ＤＡ
Ｃ５２へ出力する。第１ＤＡＣ５２では入力されたデジ
タルの補正データを、前記補正量に対応した電圧レベル
のアナログ信号へ変換する。第１ＤＡＣ５２の出力端子
は前記第２ＤＡＣ５６の基準電圧入力端子に接続されて
おり、第１ＤＡＣ５２は補正量に対応した電圧レベルの
アナログ信号を基準電圧Ｖ_REF として第２ＤＡＣ５６へ
供給する。

【００２７】図４に示すように、第２ＤＡＣ５６から出
力される信号の電圧レベルは、前記信号数計数回路５４
から入力されるデータの値が大きくなるに従って、すな
わち画像データのオンの数が多くなるに従って高くな
り、高くなる度合いは基準電圧Ｖ_REF の電圧レベルに応
じて変化する。すなわち、基準電圧Ｖ_REF の電圧レベル
が大きい場合には画像データのオンの個数の増加に対し
て第２ＤＡＣ５６の出力電圧レベルが高くなる度合いが
大きく（傾きが大きく）なる。また、基準電圧Ｖ _REF の
電圧レベルが小さい場合には画像データのオンの個数の
増加に対して第２ＤＡＣ５６の出力電圧レベルが高くな
る度合いが小さく（傾きが小さく）なる。この傾きの大
きさは基準電圧Ｖ_REF の電圧レベルに応じて連続的に変
化する。従って、基準電圧Ｖ_REF の電圧レベル、すなわ
ちレジスタ５０に供給する補正データの値を変更するこ
とによって前記傾きを変化させることができる。なお、
画像データのオンの数が１の場合に第２ＤＡＣ５６から
出力される信号の電圧レベルは、基準電圧Ｖ_REF が変更
されても変化しないように設定されている。

【００２８】第２ＤＡＣ５６からの出力信号は増幅器９
６で増幅された後、ＡＯＭドライバ２０の後述するトー
タルレベル制御回路７０ＡＢ〜７０ＧＨの各々に振幅補
正信号として供給される。

【００２９】図２に示すように、ＡＯＭドライバ２０は
各々周波数がｆ１〜ｆ８の発振回路６２Ａ、６２Ｂ、６
２Ｃ、６２Ｄ、６２Ｅ、６２Ｆ、６２Ｇ、６２Ｈ、ロー
カルレベル制御回路６４Ａ、６４Ｂ、６４Ｃ、６４Ｄ、
６４Ｅ、６４Ｆ、６４Ｇ、６４Ｈ、スイッチ回路６６
Ａ、６６Ｂ、６６Ｃ、６６Ｄ、６６Ｅ、６６Ｆ、６６
Ｇ、６６Ｈを備えている。ローカルレベル制御回路６４
Ａ〜６４Ｈの各々は発振回路６２Ａ〜６２Ｈの出力端の
各々に接続され、ローカルレベル制御回路６４Ａ〜６４
Ｈの出力端にはスイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈが各々接続
されている。ローカルレベル制御回路としては、ダブル
バランスドミキサーやピンダイオードアッテネータを使
用することができる。ローカルレベル制御回路６４Ａ〜
６４Ｈのレベル制御端の各々には、前述のＤＡＣ８６Ａ
〜８６Ｈの各々からのレベル制御信号が入力される。ま
た、スイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈの制御端の各々には、
遅延回路５８からの８ビットのパラレル信号で入力され
る画像データの各々１ビットが入力される。

【００３０】スイッチ回路６６Ａ、６６Ｂの各出力端
は、２つの信号を１：１の割合で混合するコンバイナ６
８ＡＢの入力端に各々接続されている。同様に、スイッ
チ回路６６Ｃ、６６Ｄの各出力端はコンバイナ６８ＣＤ
の入力端に接続され、スイッチ回路６６Ｅ、６６Ｆの各
出力端はコンバイナ６８ＥＦの入力端に接続され、スイ
ッチ回路６６Ｇ、６６Ｈの各出力端はコンバイナ６８Ｇ
Ｈの入力端に接続されている。

【００３１】コンバイナ６８ＡＢの出力端はトータルレ
ベル制御回路７０ＡＢを介して増幅回路７２ＡＢに接続
されている。同様に、コンバイナ６８ＣＤの出力端はト
ータルレベル制御回路７０ＣＤを介して増幅回路７２Ｃ
Ｄに接続され、コンバイナ６８ＥＦの出力端はトータル
レベル制御回路７０ＥＦを介して増幅回路７２ＥＦに接
続され、コンバイナＧＨの出力端はトータルレベル制御
回路７０ＧＨを介して増幅回路７２ＧＨに接続されてい
る。増幅回路７２ＡＢ、７２ＣＤの各出力端はコンバイ
ナ７４の入力端に接続され、増幅回路７２ＥＦ、７２Ｇ
Ｈの各出力端はコンバイナ７６の入力端に接続されてい
る。コンバイナ７４、７６の出力端はコンバイナ７８に
接続され、コンバイナ７８の出力端は増幅回路７９の入
力端に接続されている。増幅回路７９は入力された信号
を一定の増幅率で増幅する。増幅回路７９の出力端はＡ
ＯＭ１８のトランスデューサ１７に接続されている。ト
ータルレベル制御回路７０ＡＢ〜７０ＧＨはダブルバラ
ンスドミキサーやピンダイオードアッテネータで構成さ
れ、各々のレベル制御端には前述の制御回路２２の増幅
回路９６から出力された振幅補正信号が分配されて供給
される。

【００３２】次に本実施例の作用を説明する。各発振回
路６２Ａ〜６２Ｈから出力された信号はローカルレベル
制御回路６４Ａ〜６４Ｈに入力される。ローカルレベル
制御回路６４Ａ〜６４Ｈには、後述するレベル調整処理
によって設定されたレベルを表すレベル制御信号が各々
ＤＡＣ８６Ａ〜８６Ｈから入力される。ローカルレベル
制御回路６４Ａ〜６４Ｈはレベル制御信号に基づいて振
幅を調節する。ローカルレベル制御回路６４Ａ〜６４Ｈ
でレベル調整された信号はスイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈ
へ供給される。一方、ホストコンピューター等から供給
された画像データは文字発生回路９４に一旦格納され、
８ビット毎の画像データとしてレーザビームによる画像
の記録順に遅延回路５８及び信号数計数回路５４に供給
される。遅延回路５８で一定時間遅延された８ビットの
画像データは各スイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈに１ビット
づつ分配されて入力される。スイッチ回路６６Ａ〜６６
Ｈは入力された１ビットの画像データがオン（１）の場
合には信号を通過させ、オフ（０）の場合には信号を遮
断する。スイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈを通過した信号は
コンバイナ６８ＡＢ〜６８ＧＨで混合されてトータルレ
ベル制御回路７０ＡＢ〜７０ＧＨに出力される。

【００３３】一方、信号数計数回路５４は、文字発生回
路９４から入力された信号のオンの個数に応じたデジタ
ル信号を第２ＤＡＣ５６へ出力する。第２ＤＡＣ５６に
は、この信号のオンの個数に応じたデジタル信号と共
に、レジスタ５０、第１ＤＡＣ５２を介してアナログ信
号に変換された補正データが基準電圧Ｖ_REF として入力
され、ＡＯＭ１８から射出させるレーザビームの単一レ
ーザビーム当りのパワーを、射出させるレーザビームの
本数に拘わらず一定にするための振幅補正信号を出力す
る。なお、この振幅補正信号のレベルを設定して信号の
振幅を補正する振幅補正処理については後述する。前記
振幅補正信号はトータルレベル制御回路７０ＡＢ〜７０
ＧＨの制御端の各々に入力される。トータルレベル制御
回路７０ＡＢ〜７０ＧＨは入力された振幅補正信号に基
づいて信号の振幅を調整する。トータルレベル制御回路
７０ＡＢ〜７０ＧＨで振幅が調整された各々の信号は、
増幅回路７２ＡＢ〜７２ＧＨ、コンバイナ７４、７６、
コンバイナ７８を介して混合され、増幅回路７９で一定
の増幅率で増幅された後、ＡＯＭ１８のトランスデュー
サ１７に供給される。

【００３４】トランスデューサ１７は入力された信号
を、入力された信号の数、周波数及び振幅に応じた超音
波信号に変換する。この超音波信号は、音響光学媒質２
１を伝播して吸音体１９に吸音される。このとき、Ｈｅ
−Ｎｅレーザ１２からレーザビームが入射されている場
合には、このレーザビームから入力された信号の数と同
数のレーザビームが、信号の振幅に応じたパワーでかつ
各信号の周波数に応じた方向へ回折光として射出され
る。ＡＯＭ１８から射出されたレーザビームは、ポリゴ
ンミラー２８によって主走査方向に走査され、ガルバノ
メータミラー３６によって副走査方向に走査される。

【００３５】図７は、ガルバノメータミラー３６のミラ
ーの角度を経過時間に応じて示したものである。第ｎ齣
の記録が開始される前の非記録期間において、第ｎ齣の
画像データが準備されると共に記録材料が１齣分搬送さ
れて記録材料の位置決めが行われる。このとき、シャッ
タは閉じられている。なお、記録が開始されると、シャ
ッタが開かれガルバノメータミラー３６のミラー角度が
記録終了角度になるまでに第ｎ齣のデータが転送されて
第ｎ齣の画像記録が行われる。また、この非記録期間の
うちのチェック期間においては、前述のレベル調整処理
及び振幅補正処理が行われる。

【００３６】最初にレベル調整処理について、図５に示
すフローチャートを参照して説明する。ＡＯＭ１８から
射出されたレーザビームは、閉じられたシャッタに取付
けられた光電変換器６０に入射される。このレベル調整
処理はトータルレベル制御回路７０ＡＢ〜７０ＧＨに一
定の電圧レベルの振幅補正信号を供給した状態で行わ
れ、各発振回路６２Ａ〜６２Ｈに対応するレーザビーム
毎に次のようにして処理される。

【００３７】ステップ１００ではＮの初期値として１を
設定し、ステップ１０２では８本のレーザビームの第１
番目のＡＯＭドライバ２０のスイッチ回路のみをオンす
る画像データを、文字生成回路９４、遅延回路５８を介
してスイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈへ供給する。これによ
り、発振回路６２Ａ〜６２Ｈから信号を出力した状態で
スイッチ回路６６Ａだけがオン状態になる。次のステッ
プ１０４では予め記憶されている記録倍率毎の基準値の
うち現在設定されている記録倍率に対応する基準値Ｌ１
を取り込む。ステップ１０６では、光電変換器６０で受
光しＡＤＣ８２でデジタル値に変換されてレジスタ９０
に保持されている８本のレーザビームの第１番目のレー
ザビームのパワーＰ１を取り込む。ステップ１０８では
設定値Ｌ１とＰ１値の偏差Ｘを演算し、設定値Ｌ１とＰ
１値とが等しいか否か判断する。ステップ１０８の判定
が肯定された場合、すなわち偏差Ｘが０の場合にはステ
ップ１１０へ移行してローカルレベル制御回路６４Ａへ
出力するレベル制御信号の電圧レベルとしてＰ１値を記
憶する。また、ステップ１０８の判定が否定された場
合、すなわち偏差Ｘが０以外の場合にはステップ１１２
へ移行し、ローカルレベル制御回路６４へ出力するレベ
ル制御信号の電圧レベルとしてＰ１値に偏差Ｘを加算し
た値を記憶する。

【００３８】ステップ１１４では、ステップ１１０また
はステップ１１２で記憶したレベル制御信号の電圧レベ
ルを表すデータを、第１番目のレーザビームのパワーを
制御するローカルレベル制御回路６４Ａに対応するレジ
スタ８４Ａへ出力する。これにより、ローカルレベル制
御回路６４Ａには、レジスタ８４Ａに記憶された値がＤ
ＡＣ８６Ａによりアナログ電圧値に変換されてレベル制
御信号として入力される。従って、光電変換器６０で受
光されたレーザビームのパワーが基準値より大きい場合
にはローカルレベル制御回路６４Ａへ出力するレベル制
御信号の電圧レベルを低下させ、信号の振幅が小さくな
るように制御し、受光されたレーザビームのパワーが基
準値より小さいときはローカルレベル制御回路６４Ａへ
出力するレベル制御信号の電圧レベルを上昇させ、信号
の振幅が大きくなるように制御する。この結果、ＡＯＭ
から射出された第１番目のレーザビームのパワーが記録
倍率に応じた基準値Ｌ１となるように調整される。

【００３９】ステップ１１６ではＮ≧８か否かを判定し
てレベル調整を行うレーザビームの残り本数を判断し、
未だレベル調整するレーザビームが有るときには、ステ
ップ１１８でＮを１インクリメントしてステップ１０２
へ戻り、次のレーザビームのレベル調整を行う。これに
より、スイッチ回路６６Ｂ〜６６Ｈを順にオンして上記
と同様にして、発振回路６２Ｂ〜６２Ｈについてレベル
調整が行われ、このチェック期間では発振回路６２Ａ〜
６２Ｈの全てについてのレベル調整が個々に行われる。
全てのレーザビームのレベル調整が終了した場合には、
この制御ルーチンを終了する。このようにして、記録倍
率の変更やＨｅ−Ｎｅレーザ１２から入射されるレーザ
ビームのパワーの変動に応じて信号の振幅が調整され、
ＡＯＭ１８から１本のレーザビームを射出させた場合の
レーザビームのパワーが記録倍率に応じた所定値にな
る。また、画像記録中にＡＯＭ１８から１本のレーザビ
ームを射出させた場合のレーザビームのパワーが前記所
定値を維持するように、上記のレジスタ８４Ａ〜８４Ｈ
の各々に電圧値Ｐ１〜Ｐ８が記憶される。

【００４０】上記レベル調整処理に続いて振幅補正処理
が行われる。この振幅補正処理について、図６のフロー
チャートを参照して説明する。

【００４１】ステップ１２０では補正ステップ幅ＧＡ１
及び補正値ＧＡ２に初期値を設定する。次のステップ１
２２では補正値ＧＡ２を補正データとしてレジスタ５０
にセットする。これにより、第２ＤＡＣ５６に補正値Ｇ
Ａ２に対応した電圧レベルの基準電圧Ｖ_REF が入力され
る。ステップ１２４ではスイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈの
いずれかがオンするような画像データを文字生成回路９
４、遅延回路５８を介してスイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈ
へ供給する。また、この画像データは信号数計数回路５
４を介して第２ＤＡＣ５６へも供給され、第２ＤＡＣ５
６は１本のレーザビームを射出させる場合の振幅補正信
号をトータルレベル制御回路７０ＡＢ〜７０ＧＨに供給
する。これにより、８本のうちの１本のレーザビームの
みがＡＯＭ１８から射出されて光電変換器６０で受光さ
れ、該レーザビームのパワーが増幅器８８、ＡＤＣ８２
を介してデジタルデータへ変換され、レジスタ９０に保
持される。ステップ１２６ではレジスタ９０に保持され
たレーザビームのパワーを取込み、ＬＥ１として記憶す
る。

【００４２】ステップ１２８ではスイッチ回路６６Ａ〜
６６Ｈの全てがオンするような画像データを文字生成回
路９４、遅延回路５８を介してスイッチ回路６６Ａ〜６
６Ｈへ供給する。また、第２ＤＡＣ５６は８本のレーザ
ビームを射出する場合の前記基準電圧Ｖ_REF に対応した
レベルの振幅補正信号をトータルレベル制御回路７０Ａ
Ｂ〜７０ＧＨに供給する。これにより、８本のレーザビ
ームがＡＯＭ１８から射出されて光電変換器６０で受光
され、この８本のレーザビームのパワーの合計を表すデ
ータが増幅器８８、ＡＤＣ８２を介してデジタルデータ
へ変換され、レジスタ９０に保持される。ステップ１３
０ではレジスタ９０に保持されたレーザビームのパワー
を取込み、ＬＥ８として記憶する。次のステップ１３２
では前記ＬＥ１のパワーを８倍した値とＬＥ８との偏差
ΔＬを演算する。この偏差ΔＬは、ＡＯＭ１８から１本
のレーザビームを射出させた場合のレーザビームのパワ
ーと、ＡＯＭ１８から８本のレーザビームを射出させた
場合のレーザビーム１本当りのパワーと、の偏差の８倍
の値である。

【００４３】ステップ１３４では補正ステップ幅ＧＡ１
を２で除算する。ステップ１３６ではステップ１３４の
演算を行った結果ＧＡ１が１よりも小さくなったか否か
判定する。ステップ１３６の判定が否定された場合には
ステップ１３８へ移行し、ΔＬの値が０か、０よりも大
きいか、または０よりも小さいかを判定する。ステップ
１３８でΔＬの値が０よりも大きいと判断した場合に
は、ステップ１４０で補正値ＧＡ２に前記補正ステップ
幅ＧＡ１を加算した値を設定してステップ１２２へ戻
る。またステップ１３８でΔＬの値が０よりも小さいと
判断した場合には、ステップ１４２で補正値ＧＡ２から
前記補正ステップ幅ＧＡ１を減算した値を設定してステ
ップ１２２へ戻る。

【００４４】ステップ１２２ではステップ１４０または
ステップ１４２で値が変更された補正値ＧＡ２が再びセ
ットする。これにより変更された補正値に応じた振幅補
正信号がトータルレベル制御回路７０ＡＢ〜７０ＧＨに
供給され、ステップ１２４以下では変更された補正値に
基づいて前記ΔＬを演算して補正値ＧＡ２を再度演算す
る。なお、補正ステップ幅ＧＡ１はステップ１２２乃至
ステップ１４４の処理が１回実行される毎に値が半分と
なり補正値ＧＡ２の変更幅は徐々に小さくされる。この
ため補正値ＧＡ２の値の収束は速く、ステップ１２２乃
至ステップ１４４の処理の実行回数は少なくて済む。ス
テップ１３８でΔＬの値が０と判断された場合には処理
を終了する。

【００４５】また、ステップ１３６の判定が肯定された
場合には、ステップ１４４へ移行する。ステップ１４４
ではＧＡ２の値が０またはＦＦＨとなったか否か判定す
る。なお、前記Ｈは１６進数表示であることを表し、Ｆ
ＦＨは８ビットの全てのビットが１であることを表す。
ステップ１４４の判定が肯定された場合にはステップ１
４６で補正不能を表示して処理を終了する。また、ステ
ップ１４４の判定が否定された場合は補正ステップ幅Ｇ
Ａ１を１以下にすることができないため処理を終了す
る。

【００４６】以上の処理によって補正値ＧＡ２（信号の
オンの数の変化に対する振幅補正信号の変化の傾き）が
決定され、補正データとしてレジスタ５０に保持され
る。この補正値ＧＡ２は第１ＤＡＣ５２でアナログ信号
に変換され、画像を記録している間第２ＤＡＣ５６へ基
準電圧Ｖ_REF として供給される。また、第２ＤＡＣ５６
には画像データのオンの数に対応するデータが信号数計
数回路５４から供給され、第２ＤＡＣ５６は画像データ
のオンの数のレーザビームを射出させる場合の基準電圧
Ｖ_REF に応じた振幅補正信号を出力する。この振幅補正
信号は増幅器９６を介してトータルレベル制御回路７０
ＡＢ、７０ＣＤ、７０ＥＦ、７０ＧＨの各々に供給され
る。トータルレベル制御回路はこの振幅補正信号に応じ
てコンバイナ６８ＡＢ〜６８ＧＨから出力された信号の
振幅を補正する。これによって、ＡＯＭ１８から出力さ
れるレーザビームの各々のパワーは第８図に示すように
信号のオンの数に拘わらず一定になり、かつ画像記録倍
率に拘わらず一定となる。また、Ｈｅ−Ｎｅレーザ１２
から入射されるレーザビームのパワーが変動しても一定
となる。従って画像の濃度むらが防止される。

【００４７】このように、本実施例ではまず複数のレー
ザビームをＡＯＭ１８から１本毎に射出させて各々のパ
ワーが基準値となるようにローカルレベル制御回路６４
Ａ〜６４Ｈで制御し、次に１本のレーザビームを射出さ
せてパワーを測定し、８本のレーザビームを射出させて
パワーを測定し、この２つの測定値に基づいてレーザビ
ーム１本当りのパワーの偏差を演算してこの偏差が射出
させるレーザビームの数に拘わらず０になるように振幅
を補正するようにしたので、ＡＯＭ１８に入力する信号
の振幅を変更した場合にも、ＡＯＭ１８から射出させる
複数本のレーザビームのレーザビーム１本当りのパワー
を、射出させるレーザビームの数に拘わらず正確にかつ
自動的に一定にすることができる。

【００４８】また、本実施例ではリレーや可変抵抗器等
の部品を用いていないので集積度を向上させることが容
易であり、レーザビーム走査装置を小型化できる。ま
た、可変抵抗器等の部品を用いていないため、抵抗値の
調整等の作業は不要である。

【００４９】なお、ＡＯＭドライバ２０を図９に示すよ
うな回路構成としてもよい。図９に示すＡＯＭドライバ
２０ではローカルレベル制御回路６４Ａ〜６４Ｈ及びト
ータルレベル制御回路７０ＡＢ〜７０ＧＨに代えてレベ
ル制御回路９９Ａ〜９９Ｈ及び加算器９８Ａ〜９８Ｈが
設けられている。ＤＡＣ８６Ａ〜８６Ｈの各々から出力
されたレベル制御信号は、加算器９８Ａ〜９８Ｈに入力
される。また、第２ＡＣ５６から出力された振幅補正信
号も増幅器９６を介して加算器９８Ａ〜９８Ｈに各々入
力される。加算器９８Ａ〜９８Ｈは、各々に入力された
前記レベル制御信号と振幅補正信号との和に対応するレ
ベルの振幅制御信号をレベル制御回路９９Ａ〜９９Ｈの
制御端に入力する。このためこの振幅制御信号は、ＡＯ
Ｍ１８から１本のレーザビームを射出させたときのパワ
ーを記録倍率に応じた基準値に維持し、かつＡＯＭ１８
から複数のレーザビームを射出させたときのレーザビー
ム１本当りのパワーを前記基準値にする信号となる。従
って、ＡＯＭ１８に入力する信号の振幅を変更した場合
にも、ＡＯＭ１８から射出させるレーザビームのレーザ
ビーム１本当りのパワーを射出させるレーザビームの本
数に拘わらず一定にすることができる。

【００５０】なお、本実施例ではレーザビームのパワー
検出を行う光電変換器６０をレーザビームの記録走査光
路上に設けられたシャッター６１に設けた例について説
明したが、ＡＯＭ１８のレーザビーム射出側に透過率の
低いミラーを配置し、このミラーの裏側にセンサーを配
置してもよい。また、シャッター上に反射ミラーを設
け、その反射光を受光可能な位置に光電変換器等を設け
てレーザビームのパワーを検出してもよい。

【００５１】また、本実施例では２つの信号を混合する
コンバイナ６８ＡＢ〜６８ＧＨの後段にトータルレベル
制御回路７０ＡＢ〜７０ＧＨを接続した例について説明
したが、コンバイナ７４、７６の後段またはコンバイナ
７８の後段にトータルレベル制御回路を接続してもよ
い。また、上記では光変調器として音響光学素子を用い
た例について説明したが、光導波路形変調器を用いても
よい。

【００５２】さらに、本実施例ではレーザビームのパワ
ー補正を１齣毎の非記録時に行う例について説明した
が、少なくとも１以上の主走査毎、少なくとも１以上の
画像毎または少なくとも１以上のフィッシュ毎に行って
もよく、またこれらを組合せた時期に行ってもよい。

【００５３】また、本実施例では光ビームとしてレーザ
ビームを用いた光ビーム走査装置の例について説明した
が、ＬＥＤの光を光ビームとして用いる走査装置でもよ
く、また、他の光源を用いて光ビームにしてもよい。

【００５４】

【発明の効果】請求項１記載の発明では、所定数の信号
を音響光学素子に個々に入力したときに射出される単一
光ビームのパワーを測定し、測定したパワーが各々所定
値となるように前記信号の振幅を各々制御した後に、複
数の信号を混合して入力したときに射出される複数光ビ
ームのパワーを測定し、混合入力する信号の数の変化に
対する制御信号の変化の傾きを、任意の数の信号を混合
入力したときに射出される任意の数の光ビームの単一光
ビーム当りのパワーが所定値に等しくなるように決定
し、混合入力する信号の数に従い決定した傾きに応じて
変化させた制御信号によって信号の振幅を補正するよう
にしたので、音響光学素子に入射される光ビームのパワ
ーが変化した場合や、単一光ビーム当りのパワーの目標
値が変更された場合にも、音響光学素子から射出させる
光ビームの単一光ビーム当りのパワーを射出させる光ビ
ームの本数に拘わらず一定にすることができる、という
優れた効果が得られる。

【００５５】請求項２記載の発明では、第１の入力手段
が、第１の振幅制御回路へ第１の制御信号を入力すると
共に、測定手段によって測定された、前記所定数の信号
を１個ずつ音響光学素子へ各々入力したときに射出され
る各光ビームのパワーに基づいて、所定数の信号を１個
ずつ音響光学素子へ各々入力したときに射出される各光
ビームのパワーが各々所定値になるように第１の制御信
号を調整し、第２の入力手段が、第２の振幅制御回路へ
第２の制御信号を入力すると共に、第１の入力手段が第
１の制御信号の調整を行った後に測定手段によって測定
された、複数の信号を混合して音響光学素子に入力した
ときに射出される複数光ビームのパワーと所定値とを比
較して、混合して入力する信号の数の変化に対する第２
の制御信号の変化の傾きを、任意の数の信号を混合して
入力したときに射出される任意の数の光ビームの単一光
ビーム当りのパワーが所定値に等しくなるように決定
し、混合入力する信号の数に従い決定した傾きに応じて
第２の制御信号を調整するので、音響光学素子に入射さ
れる光ビームのパワーが変化した場合や、単一光ビーム
当りのパワーの目標値が変更された場合にも音響光学素
子から射出させる光ビームの単一光ビーム当りのパワー
を射出させる光ビームの本数に拘わらず一定にすること
ができる、という優れた効果が得られる。

【００５６】請求項３記載の発明では、第１の出力手段
が、所定数の信号の振幅を各々独立に制御するための第
１の制御信号を出力すると共に、測定手段によって測定
された、所定数の信号を１個ずつ音響光学素子へ各々入
力したときに射出される各光ビームのパワーに基づい
て、所定数の信号を１個ずつ音響光学素子へ各々入力し
たときに射出される各光ビームのパワーが各々所定値に
なるように第１の制御信号を調整し、第２の出力手段
が、所定数の信号の振幅を各々同じように制御するため
の第２の制御信号を出力すると共に、第１の出力手段が
第１の制御信号の調整を行った後に測定手段によって測
定された、複数の信号を音響光学素子に入力したときに
射出される複数光ビームのパワーと所定値とを比較し
て、混合して入力する信号の数の変化に対する第２の制
御信号の変化の傾きを、任意の数の信号を混合して入力
したときに射出される任意の数の光ビームの単一光ビー
ム当りのパワーが所定値に等しくなるように決定し、混
合入力する信号の数に従い決定した傾きに応じて第２の
制御信号を調整し、入力手段が第１の制御信号と第２の
制御信号との和を振幅制御信号として振幅制御回路へ入
力するので、音響光学素子に入射される光ビームのパワ
ーが変化した場合や、単一光ビーム当りのパワーの目標
値が変更された場合にも音響光学素子から射出させる光
ビームの単一光ビーム当りのパワーを射出させる光ビー
ムの本数に拘わらず一定にすることができる、という優
れた効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例に係るレーザビーム記録装置の制御回
路近傍の概略構成を示す概略ブロック図である。

【図２】ＡＯＭドライバの概略構成を示す概略ブロック
図である。

【図３】レーザビーム記録装置の概略構成図である。

【図４】ＤＡＣ（デジタル−アナログ変換器）の基準電
圧Ｖ_REF を変化させた場合の、信号のオンの数と出力信
号のレベルとの関係の変化を示す線図である。

【図５】本実施例の作用としてレベル調整処理を説明す
るフローチャートである。

【図６】振幅補正処理を説明するフローチャートであ
る。

【図７】非記録期間を説明するタイムチャートである。

【図８】記録倍率を変更した場合の、信号のオンの数と
ＡＯＭから射出されるレーザビームのパワーとの関係を
表す線図である。

【図９】ＡＯＭドライバの他の例の概略構成を示す概略
ブロック図である。

【図１０】（Ａ）は音響光学素子から射出するビーム本
数を変化させた場合のビーム１本当りの回折効率の変化
を表す図表、（Ｂ）はビームのパワーを変化させた場合
のビーム１本当りの回折効率の変化を表す図表である。

【図１１】従来の技術によりレーザビームの書込みパワ
ーの変更による画像の濃度むらを防止するようにした回
路の概略構成図である。

【符号の説明】

１０ レーザビーム記録装置 １２ Ｈｅ−Ｎｅレーザ １８ ＡＯＭ（音響光学素子） ５２ 第１ＤＡＣ（デジタル−アナログ変換器） ５６ 第２ＤＡＣ（デジタル−アナログ変換器） ６０ 光電変換器 ６２ 発振回路 ６４ ローカルレベル制御回路 ６８ コンバイナ ７０ トータルレベル制御回路 ７４ コンバイナ ７６ コンバイナ ８０ ＣＰＵ

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の振幅で異なる周波数の所定数の信
   号のうちの少なくとも１個が入力され該入力された信号
   の振幅に応じたパワーでかつ入力された信号の周波数に
   応じた方向へ入射された光ビームを射出させる音響光学
   素子を備えた光ビーム走査系の複数光ビームのパワーを
   補正するにあたり、 前記所定数の信号を個々に入力したときに射出される単
   一光ビームのパワーを測定し、 前記所定数の信号を個々に入力したときに射出される単
   一光ビームのパワーが各々所定値となるように前記信号
   の振幅を各々制御した後に、 複数の信号を混合して入力したときに射出される複数光
   ビームのパワーを測定し、前記複数光ビームのパワーの測定結果と前記所定値とを
   比較して、混合して入力する信号の数の変化に対する制
   御信号の変化の傾きを、任意の数の信号を混合して入力
   したときに射出される任意の数の光ビームの単一光ビー
   ム当りのパワーが前記所定値に等しくなるように決定
   し、 混合入力する信号の数に従い前記決定した傾きに応じて
   変化させた制御信号によって 前記信号の振幅を補正する
   複数光ビームのパワー補正方法。
2. 【請求項２】 異なる周波数の信号を各々出力する所定
   数の発振回路と、 前記所定数の発振回路から出力された信号の各々の振幅
   を入力された第１の制御信号に応じて各々独立に制御す
   る所定数の第１の振幅制御回路と、 前記所定数の発振回路から出力された所定数の信号の振
   幅を入力された第２の制御信号に応じて各々同じように
   制御する第２の振幅制御回路と、 前記第１の振幅制御回路及び前記第２の振幅制御回路で
   振幅が制御された少なくとも１個の信号が入力され入力
   された信号の振幅に応じたパワーでかつ入力された信号
   の周波数に応じた方向へ入射された光ビームを射出させ
   る音響光学素子と、 音響光学素子から射出された光ビームのパワーを測定す
   る測定手段と、 前記第１の振幅制御回路へ前記第１の制御信号を入力す
   ると共に、前記測定手段によって測定された、前記所定
   数の信号を１個ずつ音響光学素子へ各々入力したときに
   射出される各光ビームのパワーに基づいて、前記所定数
   の信号を１個ずつ音響光学素子へ各々入力したときに射
   出される各光ビームのパワーが各々所定値になるように
   前記第１の制御信号を調整する第１の入力手段と、 前記第２の振幅制御回路へ前記第２の制御信号を入力す
   ると共に、前記第１の入力手段が前記第１の制御信号の
   調整を行った後に前記測定手段によって測定された、複
   数の信号を混合して音響光学素子に入力したときに射出
   される複数光ビームのパワーと前記所定値とを比較し
   て、混合して入力する信号の数の変化に対する第２の制
   御信号の変化の傾きを、任意の数の信号を混合して入力
   したときに射出される任意の数の光ビームの単一光ビー
   ム当りのパワーが前記所定値に等しくなるように決定
   し、混合入力する信号の数に従い前記決定した傾きに応
   じて前記第２の制御信号を調整する第２の入力手段と、 を有する光ビーム走査装置。
3. 【請求項３】 異なる周波数の信号を各々出力する所定
   数の発振回路と、 発振回路の各々に接続され発振回路から出力された信号
   の振幅を入力された振幅制御信号に応じて制御する振幅
   制御回路と、 前記振幅制御回路から出力された所定数の信号のうちの
   少なくとも１個が入力され入力された信号の振幅に応じ
   たパワーでかつ入力された信号の周波数に応じた方向へ
   入射された光ビームを射出させる音響光学素子と、 音響光学素子から射出された光ビームのパワーを測定す
   る測定手段と、 前記所定数の発振回路から出力された所定数の信号の振
   幅を各々独立に制御するための第１の制御信号を出力す
   ると共に、前記測定手段によって測定された、前記所定
   数の信号を１個ずつ音響光学素子へ各々入力したときに
   射出される各光ビームのパワーに基づいて、前記所定数
   の信号を１個ずつ音響光学素子へ各々入力したときに射
   出される各光ビームのパワーが各々所定値になるように
   前記第１の制御信号を調整する第１の出力手段と、 前記所定数の発振回路から出力された所定数の信号の振
   幅を各々同じように制御するための第２の制御信号を出
   力すると共に、前記第１の出力手段が前記第１の制御信
   号の調整を行った後に前記測定手段によって測定され
   た、複数の信号を混合して音響光学素子に入力したとき
   に射出される複数光ビームのパワーと前記所定値とを比
   較して、混合して入力する信号の数の変化に対する第２
   の制御信号の変化の傾きを、任意の数の信号を混合して
   入力したときに射出される任意の数の光ビームの単一光
   ビーム当りのパワーが前記所定値に等しくなるように決
   定し、混合入力する信号の数に従い前記決定した傾きに
   応じて前記第２の制御信号を調整する第２の出力手段
   と、 前記第１の出力手段から出力された第１の制御信号と前
   記第２の出力手段から出力された第２の制御信号との和
   を前記振幅制御信号として振幅制御回路へ入力する入力
   手段と、 を有する光ビーム走査装置。