JP2677448B2 - 光ビーム走査装置 - Google Patents
光ビーム走査装置Info
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- JP2677448B2 JP2677448B2 JP2274757A JP27475790A JP2677448B2 JP 2677448 B2 JP2677448 B2 JP 2677448B2 JP 2274757 A JP2274757 A JP 2274757A JP 27475790 A JP27475790 A JP 27475790A JP 2677448 B2 JP2677448 B2 JP 2677448B2
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Description
する光ビーム走査装置に関する。
た光学変調装置を用いて複数本のレーザビームを形成す
ることにより安定かつ高速に読み取り或いは記録できる
光ビーム走査装置が提案されている(特公昭63−5741号
公報、特開昭54−5455号公報、特開昭57−41618号公
報、特公昭53−9856号公報等)。
する光ビーム記録装置等の光ビーム走査装置では、複数
のレーザビームを回転多面鏡(ポリゴンミラー)及びガ
ルバメノメータミラー等で構成される走査光学系により
主走査及び副走査を行って、2次元の平面走査をしてい
る。
使用されている。このレーザは瞬時にレーザビームが発
振されないため、画像記録前からレーザビームを常に発
振させている。レーザから発振されたレーザビームはAO
Mに入射する。AOMは入力した高周波信号に応じた超音波
を出力するトランスデユーサが張りつけられており、こ
のトランスデユーサが高周波信号によって振動された際
に、入射したレーザビームが内部で回折され複数のレー
ザビームとなって射出する。回折されたレーザビームは
入射したレーザビームの入射方向に対して偏向してい
る。
回転するポリゴンミラーの反射面で反射されることによ
り複数本の主走査が同時になされる。その後この反射さ
れたレーザビームは、所定速度で回転されるガルバノメ
ータミラーで反射されることにより副走査がなされる。
この副走査により複数本のレーザビームからなるレーザ
ビーム群の端部が隙間無く繋げられることにより2次元
の平面走査が行われ、記録材料に画像が記録される。
きるように、1コマの画像の記録開始直前ではガルバノ
メータミラーで反射されたレーザビームを記録画面近傍
に照射する位置で停止され、また、ポリコンミラーは常
に回転されている。ガルバノメータミラーは、その後回
転してレーザビームを副走査し、副走査終了後は副走査
した方向とは反対方向へ回転して元に戻り、上記と同様
に、レーザビームを記録画面近傍に照射する位置で停止
する。
要な露光をさせないため、AOMは入射したレーザビーム
を偏向せず、ポリコンミラーにレーザビームを照射しな
い。
ているため、光学系にフレアがあると散乱光の一部がポ
リゴンミラーを介してガルバノメータミラーに入射され
る場合があった。
に、記録画面近傍の一定位置で散乱光による副走査のみ
が停止期間中繰り返されることがある。散乱光が記録材
料の一定位置で走査を複数回繰り返されると、散乱光の
強度が例え低い場合であっても記録材料はこの散乱光で
線状に露光され、さらにガリバノメータミラーが振動し
た際には帯状に露光される。この散乱光による露光は高
感度の記録材料(例えば銀塩フイルム等)を使用した場
合では特に問題となる。
で、記録材料上で散乱光による同一位置での走査が繰り
返し行われないようにして、散乱光による記録材料の露
光を阻止した光ビーム走査装置を得ることが課題であ
る。
方向に回転させた位置でガルバノメータミラーの振動が
収まるのに必要な時間停止させ、その後反対方向へ回転
させて、反対方向へ回転させる間に光ビームを走査して
走査レンズ系を介して記録材料へ画像を記録する光ビー
ム走査装置において、前記ガルバノメータミラーの回転
停止時には、光ビームが走査レンズ系の画角外を通過す
るように前記ガルバノメータミラーを位置させることを
特徴としている。
ム走査装置において、前記ガルバノメータミラーは、反
射された光ビームが前記走査レンズ系の画角外を通過す
る位置にガルバノメータミラーを駆動するレベルまで基
準値から急激に立ち上がってこのレベルでガルバノメー
タミラーの振動が収まるのに必要な時間保持され、その
後所定量だけ急激に下がり、その後所定時間の傾斜で所
定値まで下がり、その後基準値まで急激に下がって前記
光ビームのレベル調整を行うに必要な時間保持される電
気信号によって駆動されることを特徴としている。
光ビームが走査レンズ系の画角外を通過するようガルバ
ノメータミラーを位置させる。
に光学系のフレアによる散乱光がガルバノメータミラー
に入射する光ビームの進路上に乗っても、ガルバノメー
タミラーで反射された散乱光は走査レンズ系の画角外を
通過するので、この散乱光によって記録材料は露光しな
い。
反射された光ビームが走査レンズ系の画角外を通過する
位置にガルバノメータミラーを駆動するレベルまで基準
値から急激に立ち上がってこのレベルでガルバノメータ
ミラーの振動が収まるのに必要な時間保持され、その後
所定量だけ急激に下がり、その後所定の傾斜で所定値ま
で下がり、その後基準値まで急激に下がって光ビームの
レベル調整を行うに必要な時間保持される電気信号によ
って駆動される。
された光ビームを走査レンズ系の画角外を通過する位置
にガルバノメータミラーを駆動するレベルまで基準値か
ら急激に立ち上がってこのレベルでガルバノメータミラ
ーの振動が収まるのに必要な時間保持されると、ガルバ
ノメータミラーは反射された光ビームを走査レンズ系の
画角外を通過させる位置で停止するので、仮に光学系の
フレアによる散乱光がガルバノメータミラーに入射する
光ビームの進路上に乗っても、ガルバノメータミラーで
反射された散乱光は走査レンズ系の画角外を通過させる
ことができる。
置10が示されている。
ーザビームが発振するようになっており、レーザビーム
は、レンズ16を介しマルチ周波数音響光学素子(以下AO
Mという)18へ入力される。
ている。音響光学媒質21の対向する面には、入力された
高周波信号に応じた超音波を出力するトランスデューサ
17と音響光学媒質21を伝播した超音波を吸収する吸音体
19とが貼着されている。トランスデューサ17は、AOM18
を駆動するAOMドライバ20に接続され、AOMドライバ20は
制御回路22に接続されている。この制御回路22はAOMド
ライバ20を制御してAOM18の光変調制御をする役目を有
しており、その構成については後述する。レンズ24のレ
ーザビーム射出側には、ミラー26、ダイクロイツクミラ
ー25、ポリゴンミラー(回転多面鏡)28、レンズ29、ダ
イクロイツクミラー32が順に配列されている。
ーザビームが入射されるように半導体レーザ13が配置さ
れている。半導体レーザ13には、半導体レーザドライバ
15が接続されている。ポリゴンミラー28には、ポリゴン
ミラー28を高速回転させるポリゴンドライバ30が接続さ
れている。また、ダイクロイツクミラー32を透過した参
照用レーザビームが受光可能な位置に、リニヤエンコー
ダ33および光電変換器31が順に配列されている。このた
め、ポリゴンミラー28に反射された参照用レーザビーム
はダイクロイツクミラー32を透過し、リニヤエンコーダ
33上に走査される。リニヤエンコーダ33は、透明部と不
透明部とが走査方向に一定ピッチで交互に多数縞状に配
置された平面板で構成され、このリニヤエンコーダ33を
ポリゴンミラー28で反射された参照用レーザビームで走
査する、参照用レーザビームが透明部を透過するため光
電変換器31からパルス信号が出力される。この光電変換
器31からのパルス信号はガルバノメータミラー36の角度
を制御するガルバノメータミラードライバ37に入力され
る。
34、ガルバメータミラー36、ミラー38が順に配列されて
いる。このハーフミラー34を透過したレーザビームが受
光可能な位置には、光電変換器60が配置されている。変
換器60は、受光したレーザビームの強度に応じた大きさ
の電圧を出力する。ミラー38で反射されたレーザビーム
はレンズ40を通してステージ42に照射される。ステージ
42には、マイクロフィルム等の記録材料44が配置されて
いる。この記録材料44は、それぞれリール46及びリール
48に層状に巻付けられている。
の光電発振回路62A〜62H(第4図)から出力される信号
の各々の振幅を制御するための信号を出力する信号発生
回路58に接続されている。この信号発生回路58はAOMド
ライバ20に接続されている。
タ50とレジスタ50に接続されたデータ変換器52を備えて
いる。この画像データは8ビットのパラレル信号で与え
られている。データ変換器52は、レジスタ50から入力さ
れる8ビットの信号のオンの個数に応じた4ビットのパ
ラレル信号を出力する。データ変換器52にはDAC(デジ
タル−アナログ変換器)54が接続されている。DAC54
は、データ変換器52から出力される4ビットのパラレル
信号を、アナログ信号に変換してAOMドライバ20に出力
する。このアナログ信号のレベルは、第7図に示すよう
に信号のオンの数が多くなるにしたがって高くなる。ま
た、画像データは遅延回路56で所定時間遅延された後AO
Mドライバ20に入力される。
がf1〜f8の信号を発振する発振回路62A、62B、62C、62
D、62E、62F、62G、62H、ローカルレベル制御回路64A、
64B、64C、64D、64E、64F、64G、64H、スイッチ回路66
A、66B、66C、66D、66E、66F、66G、66Hを備えている。
A〜62Hの出力端の各々に接続され、ローカルレベル制御
回路64A〜64Hの出力端にはスイッチ回路66A〜66Hが各々
接続されている。ローカルレベル制御回路としては、ダ
ブルバランスドミキサーやピンダイオードアッテネータ
を使用することができる。また、ローカルレベル制御回
路64A〜64Hのレベル制御端の各々には、信号発生回路58
が接続されている。そして、スイッチ回路66A〜66Hの制
御端の各々には、遅延回路56から出力される画像データ
の各々が入力されるように接続されている。
1の割合で混合するコンバイナ68ABの入力端に各々接続
されている。同様に、スイッチ回路66C、66Dの各出力端
はコンバイナ68CDの入力端に接続され、スイッチ回路66
E、66Fの各出力端はコンバイナ68EFの入力端に接続さ
れ、スイッチ回路66G、66Hの各出力端はコンバイナ68GH
の入力端に接続されている。
ABを介して増幅回路72ABに接続されている。同様に、コ
ンバイナ68CDの出力端はトータルレベル制御回路70CDを
介して増幅回路72CDに接続され、コンバイナ68EFの出力
端はトータルレベル制御回路70EFを介して増幅回路72EF
に接続され、コンバイナGHの出力端はトータルレベル制
御回路70GHを介して増幅回路72GHに接続されている。
端に接続され、増幅回路72EF、72GHの各出力端はコンバ
イナ76の入力端に接続されている。コンバイナ74、76の
出力端はコンバイナ78に接続され、コンバイナ78の出力
端はトランスデューサ17に接続されている。トランスレ
ベル制御回路は、ローカルレベル制御回路と同様にダブ
ルバランスドミキサーやピンダイオードアッテネータで
構成され、各々のレベル制御端には制御回路22のDAC54
の出力端が接続されている。
るガルバノメータドライバ37は、DA(デジタル−アナロ
グ変換器)80、オペアンプ82、84及び反転回路86、88か
ら構成されている。反転回路86の出力端子はオペアンプ
84の反転入力端子と接続されている。反転回路88の出力
端子はオペアンプ84の非反転入力端子と接続されてい
る。オペアンプ84の出力端子はオペアンプ82の非反転入
力端子と接続されており、このオペアンプ82の反転入力
端子はDAC80の出力端子と接続されている。また、オペ
アンプ82の出力端子はガルバノメータミラー36の入力端
子と接続されている。DAC80の入力端子にはコンピユー
タからの信号線が接続されている。DAC80には光電変換
回路31からのパルス信号をカウントすることにより形成
されるデジタルのアドレス信号(A)が入力されるよう
になっており、DAC80はこのデジタル信号をアナログ信
号(F)に変換して出力する。アドレス信号(A)は、
1ラスタ分の画素数に対応する数のパルスをカウントす
る毎に1ずつインクリメントされることによって形成さ
れる。したがって、このアナログ信号(F)は、パルス
信号から得ることのできる1画像中の主走査の回数の増
加に応じて直線的に増加する信号である(第9図参
照)。
信号はレジスタ50と遅延回路56へ供給される。データ変
換器52はレジスタ50から入力された信号のオンの数に応
じたデジタル信号を出力し、DAC54はこのデジタル信号
に応じたアナログ信号を出力する。このアナログ信号
は、トータルレベル制御回路70AB〜70GHの制御端の各々
に入力される。また、遅延回路56によって所定時間遅延
された画像データは、AOMドライバ20のスイッチ回路66A
〜66Hの各々に入力される。各発振回路62A〜62Hから出
力された信号は、ローカルレベル制御回路64A〜64Hによ
って振幅が調節された後スイッチ回路66A〜66H、コンバ
イナ68AB〜68GH、トータルレベル制御回路70AB〜70GH、
増幅回路72AB〜72GH、コンバイナ74、76、コンバイナ78
を介してAOM18のトランスデューサ17に供給される。ト
ランスデューサ17は、入力された信号を入力された信号
の周波数及び振幅に応じた超音波信号に変換する。この
超音波信号は、音響光学媒質21を伝播して吸音体19に吸
音される。このとき、レーザ12からレーザビームが発振
されていると、このレーザビームは音響光学媒質21によ
って超音波信号の振幅に応じた強さでかつ周波数に応じ
た方向に分割(本実施例では8本)される。AOM18で分
割されたマルチレーザビームは、レンズ24及びミラー26
を介してポリゴンミラー28へと至り、このポリゴンミラ
ー28の回転により反射方向が変更され、レーザビームは
主走査方向へ走査される。
走査レンズ29から射出後、ミラー32及びミラー34を介し
てガルバノメータミラー36へ入力される。
ドライバ37の作用を説明する。
(B)が入力されると反転回路86はガルバノメータミラ
ージャンプ信号(B)を反転した出力信号(H)を出力
する。したがって、ガルバノメータミラージヤンプ信号
(B)のレベルがハイのときには、反転回路86の出力信
号(H)のレベルはローになる。反転回路88にガルバノ
メータミラージャンプ信号(C)が入力されると、反転
回路88はガルバノメータミラージヤンプ信号(C)を反
転した出力信号(D)を出力する。したがって、ガルバ
ノメータミラージャンプ信号(C)のレベルがハイのと
きには、出力信号(D)のレベルはローになる。反転回
路86の出力信号(H)と反転回路88の出力信号(D)と
がオペアンプ84に入力されると、オペアンプ84の出力端
子から出力信号(H)と出力信号(D)との差信号
(E)が出力される。DAC80は入力するアドレス信号
(A)の数が増加するにしたがってリニアにレベルが増
加するアナログ信号(F)を出力する。DAC80のアナロ
グ信号(F)とオペアンプ84の差信号(E)とがオペア
ンプ82に入力されると、オペアンプ82の出力端子からア
ナログ信号(F)と差信号(E)との差信号(G)が出
力される。
ンプ信号(B)のレベルがロー、ガルバノメータミラー
ジャンプ信号(C)のレベルがハイのときには、DAC80
のアナログ信号(F)のレベルがロー、反転回路86の出
力信号(H)のレベルがハイ、反転回路88の出力信号
(D)のレベルがローとなる。このため、オペアンプ84
の差信号(E)のレベルがローとなり、オペアンプ82の
出力信号(G)のレベルがローとなる。したがって、ガ
ルバノメータミラー36は入射するレーザビームを副走査
終了側(第5図(I)矢印B方向)の画角外を通過さ
せ、かつハーフミラー34を透過して光電変換器60に照射
するようガルバノメータミラー36を位置させる。
ローでかつガルバノメータミラージヤンプ信号(C)の
レベルがローのときには、アナログ信号(F)のレベル
はアドレス信号(A)の増加にしたがって増加する。こ
のため、反転回路86の出力信号(H)のレベルがハイ、
反転回路88の出力信号(D)のレベルがハイとなって、
オペアンプ84の差信号(E)のレベルがハイとローの中
間となり、オペアンプ82の差信号(G)のレベルはアナ
ロぐ信号(F)のリニアなしレベルの増加にともなって
リニアに減少する。したがって、ガルバノメータミラー
36は差信号(G)のレベル変化にしたがって回転して、
入射したレーザビームを副走査方向へ走査する。
ンプ信号(B)のレベルがハイ、ガルバノメータミラー
ジヤンプ信号(C)のレベルがローのときには、DAC80
のアナログ信号(F)のレベルがロー、反転回路86の出
力信号(H)のレベルがロー、反転回路88の出力信号
(D)のレベルがハイとなる。このため、オペアンプ84
の差信号(E)のレベルはハイとなり、オペアンプ82の
出力信号(G)のレベルがハイとなる。したがって、ガ
ルバノメータミラー36に入射するレーザビームを副走査
開始側(第5図(I)反矢印B方向側)の画角外を通過
させるようにガルバノメータミラー36を位置させる。第
5図(I)に示す如く、オペアンプ82の出力信号(G)
のレベルが一定の時には、ガルバノメータミラー36は停
止されているので、レーザビームは一定位置でポリゴン
ミラー28による主走査方向(第5図矢印H方向)の走査
のみが行われる。
路62A〜62Hから出力される信号の振幅調整、すなわちレ
ベル調整が行われる。このレベル調整は、画像の記録が
開始される前の非記録期間に行われ、トータルレベル制
御回路70AB〜70GHのレベル制御端へ一定の電圧を印加
し、各発振回路62A〜62H毎にレベル調節が行われる。す
なわち、発振回路62A〜62Hから信号を出力した状態で、
スイッチ回路66Aだけオン状態とする。発振回路62Aから
出力された信号は、ローカルレベル制御回路64A、スイ
ッチ回路66A、コンバイナ68AB、トータルレベル制御回
路70AB、増幅回路72AB等を介してトランスデューサ17に
供給される。これにより、AOM18からは発振回路62Aから
出力された信号の振幅に応じた強さのレーザビームが射
出される。AOM18から射出されたレーザビームは、光電
変換器60で受光され、光電変換器60から受光したレーザ
ビームの強さに応じた電気信号が出力される。信号発生
回路58は、設定された基準値と光電変換器60から入力さ
れた信号のレベルとを比較する。信号発生回路58は、入
力された信号のレベルが基準値よりも大きいときはロー
カルレベル制御回路64Aの制御端に印加する電圧を低下
して信号の振幅が小さくなるように制御し、入力された
信号のレベルが基準値より小さいときはローカルレベル
制御回路64Aの制御端に印加する電圧を上昇させて信号
の振幅が大きくなるように制御する。この結果、AOMか
ら射出された1つのレーザビームの強さが目標値に調整
される。そして、スイッチ回路66B〜66Hを順にオンして
上記と同様にして、発振回路62B、・・・62Hについてレ
ベル調整が行われ、このチェック期間では発振回路62A
〜62Hの全てについてのレベル調整が行われる。画像記
録中は、信号発生回路58は上記のように調整された電圧
値を保持する。
ミラー28による主走査のみが行われているが、ガルバノ
メータミラー36は反射したレーザビームを画角外に通過
させるよう位置されているので、レーザビームは記録材
料44に照射されず、記録材料44は不要な露光をしない。
号(B)のレベルがハイ、ガルバノメータジヤンプ信号
(C)のレベルがローとなるので、ガルバノメータミラ
ー36は瞬時に回転して、主走査されたレーザビームを副
走査開始方向側(第5図反矢印B方向側)の走査レンズ
系の画角外を通過させるようにガルバノメータミラー36
を瞬時に位置させる。さらに、ガルバノメータジヤンプ
信号(B)のレベルは所定時間ハイとなった状態で所定
時間保持される。このときには、レーザビームがポリゴ
ンミラー28による主走査のみが行われているが、ガルバ
ノメータミラー36は反射したレーザビームを画角外に通
過させるよう位置されているので、レーザビームは記録
材料44に照射されず、記録材料44は不要な露光をしな
い。
10では、ガルバノメータミラー36の停止時には、レーザ
ビームがガルバノメータミラー36によって画角外を通過
するように位置されている。したがって、仮に光学系に
フレアがあって散乱光の一部がポリゴンミラー28を介し
てガルバノメータミラー36に入射しても、ガルバノメー
タミラー36の停止時には散乱光が記録材料上に照射され
ず、記録材料が散乱光で露光することがない。
では、入力信号に追従するが、急激な回転方向変換時や
急激な停止時では、入力信号に追従できず回転方向に振
動が起きる場合がある。この振動は記録画像のぼけの原
因になるため、振動が収まるまではガルバノメータミラ
ー36による副走査を行うことができない。また、制動力
を上げて振動が起きないようにすることも考えられる
が、この場合は急激な入力信号の変化に追従しない恐れ
があり、入力信号に追従しない範囲では同様に画像記録
の副走査には使用できない。しかしながら、本実施例で
はガルバノメータジヤンプ信号(B)のレベルが所定時
間ハイとなるので、ガルバノメータミラー36の急停止後
ガルバノメータミラー36の振動が起きた場合であって
も、この振動を所定時間内に治めることができる。
(G)のレベルが減少を始めるので、ガルバノメータミ
ラー36が回転を始め、レーザビームを副走査方向へ走査
する。
本のレーザビームが夫々画像データにしたがってオン、
オフしながら主走査及び副走査されてミラー38及びレン
ズ40を介してステージ42上の記録材料44へ照射され、画
像が記録される。ここで、第nコマのデータを記録して
いるときには、レジスタ50、データ変換器52及びDAC54
によってトータルレベル制御回路70AB、70CD、70EF、70
GHの各々に、第7図に示す画像データのオンの数に比例
したアナログ信号が供給され、トータルレベル制御回路
はこのアナログ信号に応じてコンバイナ68AB〜68GHから
出力された信号の振幅を制御する。これによって、AOM1
8から出力されるレーザビームの各々の光強度は第8図
に示すように信号のオン数に拘らず一定になり、画像デ
ータのオンの個数による画像濃度むらが防止される。な
お、信号のオンの個数によって振幅を制御しないとき
は、AOMから射出される1つのレーザビームの強度は、
同時に射出されるレーザビームの個数、すなわち画像デ
ータのオンの個数に応じて第6図に示すように変化す
る。
(C)のレベルがハイ、DAC80のアドレス信号(A)の
入力が零となので、第nコマの画像記録が終了される。
に記録材料44が1コマ分搬送されて記録材料44の位置決
めが行われ以後同様にして画像記録が行われる。
いた例について説明したが、光導波路形変調器を用いて
もよい。
をDAC、オペアンプ及び反転回路で構成されるガルバノ
メータミラードライバで出力信号(G)の波形を形成し
たが、本発明はこれに限らず、コンピユータのソフトウ
エアで波形を形成してもよい。
料を露光させる構成としたが本発明はこれに限らず、LE
Dの光ビームを用いて記録材料を露光させる構成として
もよい。
は、記録材料上で散乱光による同一位置での走査が繰り
返し行われないように散乱光による記録材料の露光を阻
止することができる優れた効果を有する。
を示すブロツク図、第2図は本発明が適用された光ビー
ム走査装置を示す概略図、第3図は実施例に係る制御回
路の詳細を示すブロツク図、第4図は本発明の実施例に
係るAOMドライバを示すブロツク図、第5図はガルバノ
メータミラードライバ37に入出力する信号と経過時間と
の関係、及びその時のレーザビームの照射位置を示した
線図、第6図は画像データのオンの数とレーザビームの
光強度との関係を示す線図、第7図は制御回路における
画像データのオンの数とDACから出力されるアナログ信
号のレベルとの関係を示す線図、第8図は画像データの
オンの数とレーザビームの強度との関係を示す線図、第
9図はガルバノメータドライバにおける画像データのオ
ンの数とDACから出力されるアナログ信号のレベルとの
関係を示す線図である。 10……光ビーム走査装置、 36……ガルバノメータミラー、 44……記録材料。
Claims (2)
- 【請求項1】ガルバノメータミラーを所定方向に回転さ
せた位置でガルバノメータミラーの振動が収まるのに必
要な時間停止させ、その後反対方向へ回転させて、反対
方向へ回転させる間に光ビームを走査して走査レンズ系
を介して記録材料へ画像を記録する光ビーム走査装置に
おいて、 前記ガルバノメータミラーの回転停止時には、光ビーム
が走査レンズ系の画角外を通過するように前記ガルバノ
メータミラーを位置させることを特徴とした光ビーム走
査装置。 - 【請求項2】前記ガルバノメータミラーは、反射された
光ビームが前記走査レンズ系の画角外を通過する位置に
ガルバノメータミラーを駆動するレベルまで基準値から
急激に立ち上がってこのレベルでガルバノメータミラー
の振動が収まるのに必要な時間保持され、その後所定量
だけ急激に下がり、その後所定時間の傾斜で所定値まで
下がり、その後基準値まで急激に下がって前記光ビーム
のレベル調整を行うに必要な時間保持される電気信号に
よって駆動されることを特徴とする請求項(1)に記載
の光ビーム走査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2274757A JP2677448B2 (ja) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | 光ビーム走査装置 |
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