JPH04238317A - 光ビーム走査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光ビーム走査装置にか
かり、特に、光ビームを走査光学系により主走査及び副
走査を行って２次元の平面走査を行う光ビーム走査装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、マルチ周波数音響光学素子（
ＡＯＭ）を備えた光学変調装置を用いて複数本のレーザ
ビームにより安定かつ高速に読取り或いは記録を行う光
ビーム走査装置が提案されている（特公昭６３−５７４
１号公報、特開昭５４−５４５５号公報、特開昭５７−
４１６１８公報、特公昭５３−９８５６号公報等）。

【０００３】かかる光ビーム走査装置では、音響光学素
子に異なる周波数の複数の信号を入力して、音響光学素
子に入射されたレーザビームを複数に分割すると共に、
レーザビームを回転多面鏡（ポリゴンミラー）及びガル
バノミラー等で構成される走査光学系により、主走査及
び副走査を行って、この複数レーザビームを同時に感光
面へ照射し、２次元の平面走査を行っている。

【０００４】上記光ビーム走査装置では、主走査記録位
置を一定にするため、走査用光ビームの他に同期信号形
成のための光ビームが必要となる。この同期信号の入力
時又はこの入力時から所定時間経過した時を主走査記録
時期として定めることにより、各主走査線の同期をとる
ことができる。

【０００５】このような同期信号生成のために、従来は
走査用光ビームを発振するレーザの他に、同期信号用光
ビームを発振するレーザを用いたものがある。この場合
、同期信号用光ビームは、走査光学系以前で走査用光ビ
ームと光路が一致するように合成され、その後、同期信
号用光ビームを分離して同期信号発生用のエンコーダへ
入射する必要がある。この合成と分離とを色分解プリズ
ム（ミラー）を用いて行うため、同期信号用光ビームと
走査用光ビームとは波長が異なるレーザが必要となる。

【０００６】しかしながら、上記同期信号用光ビームを
用いたものの構成では、波長の異なるレーザを２個設置
する必要があり、これらのレーザを駆動するための駆動
源も複数必要となるため、部品点数が多く、組付作業性
も悪い。特に現在では、１個のレーザを音響光学素子に
よって入力される光ビームを複数に分割し、複数本の主
走査を同時に行うことができるレーザ記録装置が開発さ
れており、同期信号を得るためのみに別のレーザを配設
することは好ましくない。

【０００７】また、上記問題点を解決するために、記録
用に使用されていない、音響光学素子を通過する０次光
を同期信号として適用したものが提案されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記光
ビーム走査装置は、音響光学素子に入力される同一の光
ビームを複数に分割して使用している。このとき、同時
に複数本の光ビームを使用して感光面を照射するときと
、全く光ビームを使用せず感光面を照射しないとき等と
では、音響光学素子を通過する光ビームの０次光の光量
が変動する。この音響光学素子を通過した記録に使用さ
れない０次光を同期信号に用いると、光量が変動するこ
とにより、検出信号の検出レベルが変動する。このため
、同期ズレによるジッタ等により、適正な画像が得られ
ないことがある。

【０００９】本発明は上記事実を考慮し、同期ズレによ
るジッタ等を生ぜずに適正な画像の得られる光ビーム走
査装置を提供することが目的である。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１の発明は、入射される光ビームを複数本に分
割する音響光学素子を備え、光ビームを走査光学系によ
り主走査及び副走査を行って２次元走査を行う光ビーム
走査装置であって、前記音響光学素子により分割された
光ビームの１本を用いて前記２次元走査の同期信号を発
生させる同期信号発生手段を設けたことを特徴とする。

【００１１】請求項２の発明は、入力された信号の周波
数に応じた複数の方向に光ビームを複数に分割すると共
に入力された信号の振幅に応じた強度に光変調を行う音
響光学素子を備え、光ビームを走査光学系により主走査
及び副走査を行って２次元走査を行う光ビーム走査装置
であって、前記音響光学素子により分割された光ビーム
の１本を用いて前記２次元走査の同期信号を発生させる
同期信号発生手段と、前記音響光学素子により分割され
た光ビームの各々の強度が所定値になるように前記信号
の振幅を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とす
る。

【００１２】

【作用】請求項１の発明の光ビーム走査装置は、光ビー
ムを走査光学系により主走査及び副走査を行って２次元
走査を行う。また、光ビーム走査装置は、入射される光
ビームを複数本に分割する音響光学素子を備えている。 同期信号発生手段は、前記音響光学素子により複数本に
分割される光ビームの内、前記音響光学素子により分割
された光ビームの１本を用いて、前記２次元走査の同期
信号を発生させている。

【００１３】請求項２の発明の光ビーム走査装置は、光
ビームを走査光学系により主走査及び副走査を行って２
次元走査を行う。また、光ビーム走査装置は、入力され
た信号の周波数に応じた複数の方向に光ビームを複数に
分割すると共に入力された信号の振幅に応じた強度に光
変調を行う音響光学素子を備えている。同期信号発生手
段は、前記音響光学素子により複数本に分割される光ビ
ームの内、前記音響光学素子により分割された光ビーム
の１本を用いて、前記２次元走査の同期信号を発生させ
ている。制御手段は、前記音響光学素子により分割され
た光ビームの各々の強度が所定値になるように前記信号
の振幅を制御する。

【００１４】これにより、前記音響光学素子により得ら
れる所定の強度の光ビームを用いて、安定した同期信号
を発生させることができる。

【００１５】

【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を詳細に
説明する。図２は、本発明の実施例が適用されたレーザ
ビーム走査装置１０を示すものである。このレーザビー
ム走査装置１０は、ベース定盤６２を備えており、ベー
ス定盤６２の上面には図示しない電源に接続されたＨｅ
−Ｎｅレーザ１２が配設されている。このＨｅ−Ｎｅレ
ーザ１２に代えて他の気体レーザ或いは半導体レーザ等
を用いてもよい。Ｈｅ−Ｎｅレーザ１２のレーザビーム
射出側には、ＡＯＭ入射レンズ１４、反射ミラー１６が
順に配列されている。Ｈｅ−Ｎｅレーザ１２から射出さ
れたレーザビームはＡＯＭ入射レンズ１４を介して反射
ミラー１６に照射され、反射ミラー１６により水平方向
に光軸方向と略直角の角度で反射される。

【００１６】反射ミラー１６のレーザビーム射出側には
ＡＯＭ（音響光学光変調素子）１８、ＡＯＭ射出レンズ
２０、反射ミラー２２、リレーレンズ２４が順に配列さ
れている。ＡＯＭ１８は、ＡＯＭドライバ７２（図３）
によって制御され、ＡＯＭドライバ７２には制御回路７
４が接続されている。この制御回路７４は、ＡＯＭドラ
イバ７２を制御して、ＡＯＭ１８による光変調の強度を
変更しており、構成については後述する。本実施例では
、ＡＯＭ１８により変調されて回折光として射出される
８本のレーザビームを用いる。

【００１７】また、図１に示すように、ＡＯＭ１８から
は、上記８本のレーザビームの他、走査用として適用し
ないレーザビームが出力される。このレーザビームは、
ＡＯＭ１８によって回折されない０次光であり、直線的
にＡＯＭ１８を通過する。ＡＯＭ１８を通過した０次光
は、その光路延長上に配設された遮光板５６により遮光
される。一方、ＡＯＭ１８により変調された８次光は、
その光路延長上に配設された１／２λ板８０へ入射され
る。この１／２λ板８０では、８次光の偏光面が９０°
回転される。１／２λ板８０を通過した８次光は、ミラ
ー８２を介して偏光ビームスプリツタ８４へ照射されて
いる。偏光ビームスプリツタ８４は、前記ＡＯＭ１８か
ら射出される走査用レーザビームの光路上に配設されて
おり、この結果８次光はこの走査用レーザビーム（１次
光から７次光）と合成されて反射ミラー２２へ照射され
る。

【００１８】反射ミラー２２に照射されたレーザビーム
は、水平方向へ略直角に反射され、リレーレンズ２４に
照射される。

【００１９】なお、ＡＯＭ射出レンズ２０と偏光ビーム
スプリツタ８４との間には、非記録時（例えば、あるコ
マから他のコマへ記録を変更するとき、あるフィッシュ
から他のフィッシュへ記録を変更するとき等）にＡＯＭ
により回折されたレーザビームが入射されてレーザビー
ムの強度がモニタできるように光電変換器５８が移動可
能に取り付けられている。

【００２０】リレーレンズ２４のレーザビーム射出側に
は、反射ミラー２６、第１シリンドリカルレンズ２８、
反射プリズム３０が順に配置されている。リレーレンズ
２４から射出されたレーザビームは、反射ミラー２６に
より垂直方向へ略直角に反射され、面倒れ補正のための
第１シリンドリカルレンズ２８を介して反射プリズム３
０に照射される。

【００２１】反射プリズム３０のレーザビーム射出側に
は反射ミラー３２、ポリゴンミラー３４が順に配置され
ている。反射ミラー３２は反射プリズム３０から射出さ
れたレーザビームをポリゴンミラー３４に入射させるよ
うに光軸と略４５°の角度を成す方向へ反射させる。ポ
リゴンミラー３４には、ポリゴンミラー３４を高速回転
させる図示しないポリゴンミラードライバが接続されて
おり、反射ミラー３２から照射されたレーザビームは、
このポリゴンミラー３４に主走査方向に偏向された後、
ポリゴンミラー３４の反射側に配置された走査レンズ３
６に照射される。

【００２２】走査レンズ３６のレーザビーム射出側には
偏向ビームスプリッタ８６、第２シリンドリカルレンズ
４２、長尺ミラー４４が順に配置されており、偏向ビー
ムスプリッタ８６の反射側にはリニアエンコーダ４０、
光電変換器６０が配置されている。なお、第２シリンド
リカルレンズ４２へ入射されたレーザビームは前記偏光
ビームスプリッタ８６を直線的に通過した走査用レーザ
ビームであり、前記８次光は、偏光ビームスプリッタ８
６により、直角に偏向される。すなわち、８次光はその
偏光面が１／２λ板８０によって回転されているので、
偏光ビームスプリッタ８６により走査用レーザビームと
は分離される。

【００２３】走査レンズ３６から射出された８次光は偏
光ビームスプリッタ８６において反射され、リニアエン
コーダ４０に照射される。リニヤエンコーダ４０は、透
明部と不透明部とが主走査方向に一定ピッチで交互に多
数縞状に配置された平面板で構成され、偏光ビームスプ
リッタ８６で反射された８次光がリニヤエンコーダ４０
上を走査すると、前記８次光が透明部を透過するため光
電変換器６０からパルス信号が出力される。この光電変
換器６０からのパルス信号は、同期信号として用いられ
ると共にガルバノミラー４８の角度を制御する図示しな
いガルバノミラードライバに入力されている。また、こ
の同期信号を用いて感光材料５４へ記録するタイミング
が取られる。一方、偏光ビームスプリッタ８６を透過し
た１次から７次光である記録用レーザビームは、面倒れ
補正のための第２シリンドリカルレンズ４２を介して長
尺ミラー４４に照射される。第２シリンドリカルレンズ
４２から射出されたレーザビームは長尺ミラー４４で水
平方向に光軸と略直角の角度に反射される。

【００２４】長尺ミラー４４のレーザビーム反射側には
リレーレンズ４６、ガルバノミラー４８が順に配設され
ている。ガルバノミラー４８は、前記図示しないガルバ
ノミラードライバによって、その反射面が副走査方向へ
移動可能になっており、リレーレンズ４６から射出され
たレーザビームは、ガルバノミラー４８で副走査方向に
副走査が行われると共に垂直方向に反射される。

【００２５】ガルバノミラー４８の反射側にはターレッ
ト５２に取り付けられた記録レンズ５０、マイクロフィ
ルム等の感光材料５４が順に配置されている。ガルバノ
ミラー４８で反射されたレーザビームは、記録レンズ５
０を介して感光材料５４に照射され、感光材料５４へ画
像を記録する。この感光材料５４の長手方向両端部は、
各々図示しないリールに層状に巻付けられており、１画
像の露光が終了すると、一方のリールから他方のリール
へ移動される。

【００２６】図４に示すように、ＡＯＭ１８のレーザビ
ーム射出側の上記で説明した位置に配置されかつ受光し
たレーザビームのパワーに応じた大きさの電圧を出力す
る光電変換器６０は、発振回路（図３）から出力される
信号の各々の振幅を制御するための信号を出力する信号
発生回路７０に接続されている。信号発生回路７０はＡ
ＯＭドライバ７２に接続されている。

【００２７】制御回路７４は、画像データを一時的に記
憶するレジスタ９０とレジスタ９０に接続されたデータ
変換器９２を備えている。この画像データは８ビットの
パラレル信号で与えられている。なお、この画像データ
の１つには、同期信号用のデータ信号が含まれている。 データ変換器９２は、レジスタ９０から入力される８ビ
ットの信号のオンの個数に応じた４ビットのパラレル信
号を出力する。データ変換器９２にはＤＡＣ９４が接続
されている。ＤＡＣ９４は、データ変換器９２から出力
される４ビットのパラレル信号を、アナログ信号に変換
してＡＯＭドライバ７２に出力する。このアナログ信号
のレベルは、図６に示すように、信号のオンの数が多く
なるに従って高くなる。また、画像データは遅延回路９
６で所定時間遅延された後ＡＯＭドライバ７２に入力さ
れる。

【００２８】ＡＯＭドライバ７２は、図３に示すように
、各々周波数がｆ１〜ｆ８の発振回路６２Ａ〜６２Ｈ、
ローカルレベル制御回路６４Ａ〜６４Ｈ、スイッチ回路
６６Ａ〜６６Ｈを備えている。ローカルレベル制御回路
６４Ａ〜６４Ｈの各々は発振回路６２Ａ〜６２Ｈの出力
端の各々に接続され、ローカルレベル制御回路６４Ａ〜
６４Ｈの出力端にはスイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈが各々
接続されている。ローカルレベル制御回路としては、ダ
ブルバランスドミキサーやピンダイオードアッテネータ
を使用することができる。また、ローカルレベル制御回
路６４Ａ〜６４Ｈのレベル制御端の各々には、信号発生
回路７０が接続されている。そして、スイッチ回路６６
Ａ〜６６Ｈの制御端の各々には、遅延回路９６から出力
される画像データの各々が入力されるように接続されて
いる。

【００２９】スイッチ回路６６Ａ、６６Ｂの各出力端は
、２つの信号を１：１の割合で混合するコンバイナ６８
ＡＢの入力端に各々接続されている。同様に、スイッチ
回路６６Ｃ、６６Ｄの各出力端はコンバイナ６８ＣＤの
入力端に接続され、スイッチ回路６６Ｅ、６６Ｆの各出
力端はコンバイナ６８ＥＦの入力端に接続され、スイッ
チ回路６６Ｇ、６６Ｈの各出力端はコンバイナ６８ＧＨ
の入力端に接続されている。

【００３０】コンバイナ６８ＡＢの出力端はトータルレ
ベル制御回路７０ＡＢを介して増幅回路７２ＡＢに接続
されている。同様に、コンバイナ６８ＣＤの出力端はト
ータルレベル制御回路７０ＣＤを介して増幅回路７２Ｃ
Ｄに接続され、コンバイナ６８ＥＦの出力端はトータル
レベル制御回路７０ＥＦを介して増幅回路７２ＥＦに接
続され、コンバイナＧＨの出力端はトータルレベル制御
回路７０ＧＨを介して増幅回路７２ＧＨに接続されてい
る。増幅回路７２ＡＢ、７２ＣＤの各出力端はコンバイ
ナ７４の入力端に接続され、増幅回路７２ＥＦ、７２Ｇ
Ｈの各出力端はコンバイナ７６の入力端に接続されてい
る。コンバイナ７４、７６の出力端はコンバイナ７８に
接続され、コンバイナ７８の出力端はトランスデューサ
１７に接続されている。トータルレベル制御回路は、ロ
ーカルレベル制御回路と同様にダブルバランスドミキサ
ーやピンダイオードアッテネータで構成され、各々のレ
ベル制御端には制御回路７４のＤＡＣ９４の出力端が接
続されている。

【００３１】以下、本実施例の作用を説明する。Ｈｅ−
Ｎｅレーザ１２から出力されたレーザビームは、ＡＯＭ
入射レンズ１４、反射ミラー１６を介してＡＯＭ１８へ
照射され、このＡＯＭ１８によって複数（本実施例では
８本）のレーザビームに副走査方向へ分割される。分割
されたレーザビームは、ＡＯＭ射出レンズ２０、偏光ビ
ームスプリツタ８４、反射ミラー２２、リレーレンズ２
４及び反射ミラー３０、３２を介してポリゴンミラー３
４へ照射され、このポリゴンミラー３４の回転により、
反射方向が変更されレーザビームは主走査される。

【００３２】ポリゴンミラー２８の反射面で反射された
レーザビームは走査レンズ３６、偏光ビームスプリッタ
８６、第２シリンドリカルレンズ４２、長尺ミラー４４
、リレーレンズ４６を介してガルバノミラー４８へと入
射される。ガルバノミラー４８では、その反射面がレー
ザビームの１主走査毎に副走査方向へ傾倒される。

【００３３】ガルバノミラー４８で反射されたレーザビ
ームは記録レンズ５０を介して感光材料５４へ照射され
、画像が記録される。

【００３４】この記録される画像のデータは図示しない
ホストコンピューター等から供給され、画像データは、
レジスタ９０と遅延回路９６に供給される。なお、この
画像データは、同期信号用のデータを含んでいる。デー
タ変換器９２は、レジスタ９０から入力された信号のオ
ンの個数に応じたデジタル信号を出力し、ＤＡＣ９４は
このデジタル信号に応じた図６に示すアナログ信号を出
力する。このアナログ信号は、トータルレベル制御回路
７０ＡＢ〜７０ＧＨの制御端の各々に入力される。また
、遅延回路９６によって所定時間遅延された画像データ
は、ＡＯＭドライバ７２のスイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈ
の各々に入力される。

【００３５】各発振回路６２Ａ〜６２Ｈから出力された
信号は、ローカルレベル制御回路６４Ａ〜６４Ｈによっ
て振幅が調節された後スイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈ、コ
ンバイナ６８ＡＢ〜６８ＧＨ、トータルレベル制御回路
７０ＡＢ〜７０ＧＨ、増幅回路７２ＡＢ〜７２ＧＨ、コ
ンバイナ７４、７６、コンバイナ７８を介してＡＯＭ１
８のトランスデューサ１７に供給される。トランスデュ
ーサ１７は、入力された信号を入力された信号の周波数
及び振幅に応じた超音波信号に変換する。この超音波信
号は、音響光学媒質２１を伝播して吸音体１９に吸音さ
れる。このとき、Ｈｅ−Ｎｅレーザ１２からレーザビー
ムが発振されていると、このレーザビームは、音響光学
媒質２１によって超音波信号の振幅に応じた強度かつ周
波数に応じた方向に分割される。ＡＯＭ１８で分割され
たマルチレーザビームは、ポリゴンミラー２８によって
主走査方向に走査され、ガルバノメータミラー３６によ
って副走査方向に走査される。

【００３６】図８は、ガルバノメータミラー３６のミラ
ーの角度を経過時間に応じて示したものである。第ｎ齣
の記録が開始される前の非記録期間において、第ｎ齣の
画像データが準備されると共に記録材料が１齣分搬送さ
れて記録材料の位置決めが行われる。なお、記録が開始
されると、ガルバノメータミラー３６のミラー角度が記
録終了角度になるまでに第ｎ齣のデータが転送されて第
ｎ齣の画像記録が行われる。また、この非記録期間のう
ちのチェック期間においては、光電変換器５８がＡＯＭ
から射出されたレーザビームの光路上に挿入され、各発
振回路６２Ａ〜６２Ｈから出力される信号の振幅調整、
すなわちレベル調整が行われる。

【００３７】このレベル調整においては、トータルレベ
ル制御回路７０ＡＢ〜７０ＧＨのレベル制御端へ一定の
電圧を印加し、各発振回路６２Ａ〜６２Ｈ毎にレベル調
整が行われる。すなわち、発振回路６２Ａ〜６２Ｈから
信号を出力した状態で、スイッチ回路６６Ａだけオン状
態とする。発振回路６２Ａから出力された信号は、ロー
カルレベル制御回路６４Ａ、スイッチ回路６６Ａ、コン
バイナ６８ＡＢ、トータルレベル制御回路７０ＡＢ、増
幅回路７２ＡＢ等を介してトランスデューサ１７に供給
される。これにより、ＡＯＭ１８からは、発振回路６２
Ａから出力された信号の振幅がローカルレベル制御回路
６４Ａに入力された信号発生回路７０の出力レベルで制
御され、ローカルレベル制御回路６４Ａからの出力の振
幅に応じた強度のレーザビームが射出される。ＡＯＭ１
８から射出されたレーザビームは、光電変換器５８で受
光され、光電変換器５８から受光したレーザビームの強
度に応じた電圧が出力される。信号発生回路７０は、予
め設定された基準値と光電変換器５８から入力された信
号のレベルとを比較する。

【００３８】信号発生回路７０は、入力された信号のレ
ベルが基準値より大きいときはローカルレベル制御回路
６４Ａの制御端に印加する電圧を低下して信号の振幅が
小さくなるように制御し、入力された信号のレベルが基
準値より小さいときはローカルレベル制御回路６４Ａの
制御端に印加する電圧を上昇させて信号の振幅が大きく
なるように制御する。この結果、ＡＯＭから射出された
１つのレーザビームの強度が目標値に調整される。

【００３９】そして、スイッチ回路６６Ｂ〜６６Ｈを順
にオンして上記と同様にして、発振回路６２Ｂ、・・・
６２Ｈについてレベル調整が行われ、このチェック期間
では発振回路６２Ａ〜６２Ｈの全てについてのレベル調
整が個々に行われる。画像記録中は、信号発生回路７０
に上記のように調整された電圧値を保持する。

【００４０】また、第ｎ齣のデータを記録しているとき
には、レジスタ９０、データ変換器９２及びＤＡＣ９４
によってトータルレベル制御回路７０ＡＢ、７０ＣＤ、
７０ＥＦ、７０ＧＨの各々に、図６に示す画像データの
オンの数に比例したアナログ信号が供給され、トータル
レベル制御回路はこのアナログ信号に応じてコンバイナ
６８ＡＢ〜６８ＧＨから出力された信号の振幅を制御す
る。これにより、ＡＯＭ１８から出力されるレーザビー
ムの各々の強度は図７に示すように信号のオンの数に拘
らず一定になり、画像データのオンの個数による画像濃
度むらが防止される。なお、信号のオンの個数によって
振幅を制御しないときは、ＡＯＭから射出される１つの
レーザビームの強度は、同時に射出されるレーザビーム
の個数、即ち画像データのオンの個数に応じて図５に示
すように変化する。

【００４１】ここで、本実施例のレーザビーム記録装置
１０では、主走査の記録時期を定める同期信号としてＡ
ＯＭ１８から出力される８次光を用いている。すなわち
、ＡＯＭ１８から出力された８次光は、まず、１／２λ
板８０によって偏光面が９０°回転され、次いで、ミラ
ー８２によって反射されて、偏光ビームスプリツタ８４
へ照射される。偏光ビームスプリツタ８４では、ＡＯＭ
１８によって回折された走査用レーザビームと８次光と
が合成され、この結果、８次光は前記走査用レーザビー
ムと同一の光路をを通って、走査レンズ３６から出力さ
れる。

【００４２】走査レンズ３６を出力した８次光は、偏光
ビームスプリツタ８６で直角方向へ偏向され、走査用レ
ーザビームとは分離される。これは、８次光の偏光面が
走査用レーザビームの偏光面とは９０°回転されている
ためであり、同一波長のレーザビームであっても容易に
分離することができる。

【００４３】偏光ビームスプリツタ８６によって分離さ
れた８次光は、リニヤエンコーダ４０を通過することに
より、その裏面にはパルス光が出力される。パルス光は
、光電検出器６０へ照射され、この光電検出器６０でそ
の光が検出され、同期信号として適用される。光電検出
器６０では、入力された光量を電流値に変換し、この電
流値が所定のしきい値を超えた時点で出力することによ
り、走査用レーザビームによる主走査記録時期を制御す
ることができる。

【００４４】さらに、所謂光の奪い合いによる光の強度
の変動が防止されると共に各々のレーザビームの強度の
変動も防止され、常時一定の光量が維持できる。このた
め、主走査による光量変動も少なくすることができ、検
出信号のＳ／Ｎ比も向上することができる。したがって
、同期信号は一定のレベルで検出され、検出されるレベ
ルの変動がないことにより、ジッタ等の発生しない良好
な画像が得られる。

【００４５】このように、本実施例ではＡＯＭ１８から
出力される８次光を偏光方向を変えて同期信号作成用と
して適用したので、波長の異なるレーザを別途設ける必
要がなく、部品点数を削減することができる。また、１
／２λ板８０を用い、８次光の偏光面を走査用レーザビ
ームに対して９０°回転させたので、偏光ビームスプリ
ツタ８４、８６を用いることにより、容易に走査用レー
ザビームと８次光とを合成及び分離することができる。

【００４６】また、本実施例では、１／２λ板８０を用
いて８次光の偏光面を９０°回転したが、ミラーの入射
側と反射側とにそれぞれ１／４λ板を設け、円偏光に一
度変換した後、偏光面を９０°回転するようにしてもよ
い。

【００４７】なお、リニヤエンコーダ４０を通過した光
を直接光電変換器６０へと案内したが、リニヤエンコー
ダ４０を通過した光をミラーで反射させて光電変換器６
０へと案内してもよく、また、ミラーに代えてアクリル
製又はガラス製の箱体を配置してもよい。

【００４８】上記の実施例では、同期信号用のレーザビ
ームを偏光させて合波、分離して同期信号を得た例につ
いて説明したが、他の実施例として、同期信号用のレー
ザビームを偏光させて合波、分離せずに同期信号を得る
ものを説明する。本実施例では、上記偏光ビームスプリ
ッタ８４、８６が必要なく。上記偏光ビームスプリッタ
８６の代わりに、ＡＯＭにより回折された８次光のみを
反射する位置に反射ミラーを配設する。これにより、Ａ
ＯＭにより回折されたレーザビームの全てはポリゴンミ
ラー３４において偏向されて、８次光のみが反射ミラー
に照射され、リニヤエンコーダ４０に照射される。この
ため、リニヤエンコーダ４０を通過した８次光は、光電
変換器６０に照射され、同期信号が得られる。他の制御
は上記実施例と同様である。このように、同期信号用の
レーザビームの偏光角を回転させてレーザビームを偏光
ビームスプリッタにより合波、分離することなく、同期
信号用を検出することもできる。

【００４９】以上説明したように上記実施例によれば、
複数のレーザビームで感光面に露光する場合に、音響光
学素子の特性が異なっていてもレーザビームの強度を所
定値にすることができると共に、経時による光ビームの
強度変動を少なくでき、複数レーザビーム各々の強度の
変化が防止されることにより、同期信号は一定のレベル
で検出され、検出されるレベルの変動がないことにより
、ジッタ等の発生しない良好な画像が得られる、という
効果が得られる。

【００５０】なお上記では、２つの信号を混合するコン
バイナ６８ＡＢ〜６８ＧＨの後段にトータルレベル制御
回路を接続した例について説明したが、コンバイナ７４
、７６の後段またはコンバイナ７８の後段にトータルレ
ベル制御回路を接続してもよい。また、上記では光変調
器として音響光学素子を用いた例について説明したが、
光導波路形変調器を用いてもよい。

【００５１】また、上記実施例では、ローカルレベル制
御回路およびトータルレベル制御回路により信号の振幅
を制御して、レーザビームの強度を一定にする例につい
て説明したが、ピークホールド回路等を用いてゲインを
制御し、同期信号としてのレーザビームの強度を一定に
してもよい。また、上記では、レーザビームのレベル調
整をする際に、スイッチ回路をオンオフさせているが、
同期信号としてのレーザビームは常時オンにして強度調
整のみを行ってもよい。

【００５２】上記実施例では、レーザビームの強度検出
を行うセンサーをレーザビームの記録走査光路上に設け
た例について説明したが、ＡＯＭの下流側に透過率の低
いミラーを配置し、このミラーの裏側にセンサーを配置
してもよい。また、シャッター上に反射ミラーを設け、
その反射光を受光可能な位置にセンサーを設けてレーザ
ビームの強度を検出してもよい。

【００５３】上記実施例では、また、光ビームとしてレ
ーザビームを用いた光ビーム走査装置の例について説明
したが、ＬＥＤの光を光ビームとして用いる走査装置で
もよく、また、他の光源を用いて光ビームにしてもよい
。

【００５４】なお、上記実施例では、レーザビームの強
度の補正を１齣毎の非記録時に行う例について説明した
が、少なくとも１以上の主走査毎、少なくとも１以上の
画像毎または少なくとも１以上のフィッシュ毎に行って
もよく、またこれらの組合せた時期に行ってもよい。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る光ビ
ーム走査装置は、音響光学素子により得られる回折光を
同期信号用の光源として適用したので、得られる回折光
の各々には、所謂光の奪い合いによる光の強度の変動が
防止され、常時、一定の光量が維持できる。このため、
主走査による光量変動も少なくすることができ、検出信
号のＳ／Ｎ比も向上することができ、さらに、同期信号
として検出されるレベルの変動がないことにより同期の
タイミング変動がなくなるために画質の向上が図れる、
という効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係る走査光学系の概略構成図
である。

【図２】本発明が適用されたレーザビーム走査装置を示
す概略斜視図である。

【図３】本発明の実施例に係るＡＯＭドライバーを示す
ブロツク図である。

【図４】ＡＯＭの制御回路を示すブロック図である。

【図５】画像データのオンの数とレーザビームのパワー
との関係を示す線図である。

【図６】画像データのオンの数とＤＡＣから出力される
アナログ信号のレベルとの関係を示す線図である。

【図７】画像データのオンの数とレーザビームのパワー
との関係を示す線図である。

【図８】ガルバノミラーの角度に対するチェック期間、
非記録期間及び記録期間の関係を示す線図である。

【符号の説明】

１０　　レーザビーム記録装置 １２　　Ｈｅ−Ｎｅレーザ １８　　ＡＯＭ ３４　　ポリゴンミラー ４８　　ガルバノミラー ７０　　信号発生回路 ７２　　ＡＯＭドライバ ７４　　制御回路

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　入射される光ビームを複数本に分割す
   る音響光学素子を備え、光ビームを走査光学系により主
   走査及び副走査を行って２次元走査を行う光ビーム走査
   装置であって、前記音響光学素子により分割された光ビ
   ームの１本を用いて前記２次元走査の同期信号を発生さ
   せる同期信号発生手段を設けたことを特徴とする光ビー
   ム走査装置。
2. 【請求項２】　　入力された信号の周波数に応じた複数
   の方向に光ビームを複数に分割すると共に入力された信
   号の振幅に応じた強度に光変調を行う音響光学素子を備
   え、光ビームを走査光学系により主走査及び副走査を行
   って２次元走査を行う光ビーム走査装置であって、前記
   音響光学素子により分割された光ビームの１本を用いて
   前記２次元走査の同期信号を発生させる同期信号発生手
   段と、前記音響光学素子により分割された光ビームの各
   々の強度が所定値になるように前記信号の振幅を制御す
   る制御手段と、を備えたことを特徴とする光ビーム走査
   装置。