JP2818698B2 - Power correction method for multiple light beams and light beam scanning device - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は複数光ビームのパワー補
正方法及びこの複数光ビームのパワー補正方法を用いた
光ビーム走査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for correcting the power of a plurality of light beams and a light beam scanning apparatus using the method for correcting the power of a plurality of light beams.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来より、マルチ周波数音響光学素子
（ＡＯＭ）を備えた光学変調装置を用いて複数本のレー
ザビームを形成することにより安定かつ高速に読取り或
いは記録できる光ビーム走査装置が提案されている（特
公昭６３−５７４１号公報、特開昭５４−５４５５号公
報、特開昭５７−４１６１８号公報、特公昭５３−９８
５６号公報、実開昭５５−２９４１４号公報等参照）。2. Description of the Related Art Conventionally, there has been proposed an optical beam scanning apparatus capable of reading or recording stably and at high speed by forming a plurality of laser beams by using an optical modulator having a multi-frequency acousto-optic device (AOM). (JP-B-63-5741, JP-A-54-5455, JP-A-57-41618, JP-B-53-98)
No. 56, Japanese Utility Model Laid-Open No. 55-29414, etc.).

【０００３】かかるマルチ周波数音響光学素子を用いて
画像を記録するレーザビーム記録装置等の光ビーム走査
装置では、異なる周波数の信号を各々出力する複数の発
振器と、発振器の出力端の各々に接続されかつ発振器か
ら出力された信号の振幅を制御する複数の振幅制御器
と、複数の振幅制御器から出力された信号の各々を混合
して音響光学素子に入力する混合手段と、を備えてい
る。音響光学素子にレーザビームが入射された状態で前
記複数の信号が入力されると、前記レーザビームが音響
光学効果によって回折し、音響光学素子から前記信号の
数と同数のレーザビームが回折光として射出される。な
お、射出される各々のレーザビームの回折角度は前記信
号の周波数に依存し、各々のレーザビームのパワーは前
記信号の振幅にほぼ依存する。レーザビーム記録装置で
はこの複数のレーザビームを走査光学系及び記録光学系
を介して同時に感光材料の感光面へ照射する。In a light beam scanning device such as a laser beam recording device for recording an image using such a multi-frequency acousto-optic element, a plurality of oscillators each outputting signals of different frequencies are connected to each of the output terminals of the oscillators. In addition, there are provided a plurality of amplitude controllers for controlling the amplitude of the signal output from the oscillator, and mixing means for mixing each of the signals output from the plurality of amplitude controllers and inputting the mixed signals to the acousto-optic device. When the plurality of signals are input in a state where the laser beam is incident on the acousto-optic element, the laser beam is diffracted by an acousto-optic effect, and the same number of laser beams as the number of the signals from the acousto-optic element are diffracted. Be injected. The diffraction angle of each emitted laser beam depends on the frequency of the signal, and the power of each laser beam substantially depends on the amplitude of the signal. In a laser beam recording apparatus, the plurality of laser beams are simultaneously irradiated on a photosensitive surface of a photosensitive material via a scanning optical system and a recording optical system.

【０００４】ところで、音響光学素子に一定振幅でかつ
周波数の異なる所定数の信号を混合して入力し所定数の
レーザビームを射出させる場合、図１０（Ａ）に示すよ
うに、レーザビーム１本当りの回折効率すなわちレーザ
ビーム１本当りのパワーは、射出させるレーザビームの
本数が多くなるに従って低下することが知られている。
このため、前述のレーザビーム記録装置等では記録する
画像に濃度むらが発生することになる。これを解決する
ために本出願人は、レーザビーム１本当りのパワーを射
出させるレーザビームの本数に拘わらず一定する技術を
既に提案している（特願平１−２７２３３２号公報、特
願平２−２７４７５５号公報参照）。When a predetermined number of signals having a constant amplitude and different frequencies are mixed and input to an acousto-optic element to emit a predetermined number of laser beams, as shown in FIG. It is known that the diffraction efficiency per laser beam, that is, the power per laser beam, decreases as the number of laser beams to be emitted increases.
Therefore, in the above-described laser beam recording apparatus and the like, density unevenness occurs in an image to be recorded. In order to solve this problem, the present applicant has already proposed a technique for keeping the power per laser beam constant irrespective of the number of laser beams to be emitted (Japanese Patent Application Nos. 1-273232 and 1-272332). 2-274755).

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、射出さ
せるレーザビームの本数とレーザビーム１本当りのパワ
ーとの関係は、音響光学素子に入力する複数の信号の各
々の振幅によっても変化する。例として図１０（Ｂ）に
示すように、射出させるレーザビームのパワーをより大
きくするために音響光学素子に入力する信号の振幅を大
きくした場合、射出させるレーザビームの本数を多くし
ていったときのレーザビーム１本当りのパワーの低下率
はより大きくなる。従って、前記同時多ビーム光変調装
置の技術をレーザビーム記録装置に適用した場合には、
例えば画像記録倍率の変更に伴ってレーザビームの書込
みパワーを記録倍率に応じた所定値に変更するために音
響光学素子に入力する信号の振幅を変更すると、画像に
濃度むらが発生することになる。However, the relationship between the number of laser beams to be emitted and the power per laser beam also varies depending on the amplitude of each of a plurality of signals input to the acousto-optic device. For example, as shown in FIG. 10B, when the amplitude of a signal input to the acousto-optic element is increased to increase the power of the emitted laser beam, the number of emitted laser beams is increased. In this case, the rate of decrease in power per laser beam becomes larger. Therefore, when the technology of the simultaneous multi-beam light modulation device is applied to a laser beam recording device,
For example, if the amplitude of the signal input to the acousto-optic element is changed to change the writing power of the laser beam to a predetermined value corresponding to the recording magnification in accordance with the change in the image recording magnification, density unevenness occurs in the image. .

【０００６】これを解決するために、図１１に示すよう
な構成の回路によって補正することが考えられる。すな
わち、信号数計数回路２００によって音響光学素子から
射出させるレーザビームの本数を表すデータを得る。こ
のデータは射出させるレーザビームの本数に応じてパワ
ーの補正を行うためのデジタルデータであり、ＤＡＣ２
０２でアナログ信号に変換されてリレー回路２０４へ出
力される。なお、ＤＡＣ２０２には一定の基準電圧Ｖ
_REF が入力される。リレー回路２０４は各記録倍率に対
応して複数のリレー２０６Ａ、２０６Ｂ、・・が設けら
れており、前記アナログ信号は各リレー２０６Ａ、２０
６Ｂ、・・の入力側に導かれる。リレー２０６Ａ、２０
６Ｂ、・・の出力側には各々可変抵抗器２０８Ａ、２０
８Ｂ、・・が接続されている。可変抵抗器２０８Ａ、２
０８Ｂ、・・の各々の抵抗値は、図１０（Ｂ）に示すよ
うに射出させるレーザビームの本数とレーザビーム１本
当りのパワーとの関係において、記録倍率毎に異なる傾
きを補正するような値に設定されている。In order to solve this, it is conceivable to make correction by a circuit having a configuration as shown in FIG. That is, the signal number counting circuit 200 obtains data representing the number of laser beams emitted from the acousto-optic element. This data is digital data for correcting power according to the number of laser beams to be emitted.
02 is converted to an analog signal and output to the relay circuit 204. Note that a fixed reference voltage V
_REF is input. The relay circuit 204 is provided with a plurality of relays 206A, 206B,... Corresponding to each recording magnification, and the analog signal is transmitted to each of the relays 206A, 206B.
6B,... Relay 206A, 20
The variable resistors 208A, 20B are provided on the output side of 6B,.
8B are connected. Variable resistor 208A, 2
08B,... Each have a different inclination for each recording magnification in the relationship between the number of laser beams emitted and the power per laser beam as shown in FIG. Is set to a value.

【０００７】一方、記録倍率を表す信号がデコーダ２１
０に入力され、デコーダ２１０は入力された信号が表す
記録倍率に対応したリレー２０６の励磁コイルをオンす
る。従って変換されたアナログ信号は記録倍率に対応す
るリレー２０６、可変抵抗器２０８を通過し、記録倍率
に対応した補正信号とされて出力される。この補正信号
を用いて音響光学素子に入力する信号の振幅を補正する
ことにより、レーザビーム１本当りのパワーは記録倍率
に応じた所定値となり、音響光学素子から射出させるレ
ーザビームの本数の変化に拘わらず一定となる。On the other hand, a signal indicating the recording magnification is supplied to the decoder 21.
0, the decoder 210 turns on the exciting coil of the relay 206 corresponding to the recording magnification indicated by the input signal. Therefore, the converted analog signal passes through the relay 206 and the variable resistor 208 corresponding to the recording magnification, and is output as a correction signal corresponding to the recording magnification. By using this correction signal to correct the amplitude of the signal input to the acousto-optic element, the power per laser beam becomes a predetermined value corresponding to the recording magnification, and the number of laser beams emitted from the acousto-optic element changes. Is constant irrespective of.

【０００８】しかし、例えばレーザビーム発生器の経時
変化等により音響光学素子に入射されるレーザビームの
パワーが変動した場合、一定の書込みパワーを得るため
には音響光学素子に入力する信号の振幅を調整する必要
があるが、これにより射出させるレーザビームの本数と
レーザビーム１本当りのパワーとの関係が変化するの
で、記録倍率毎の補正量が一定の場合にはレーザビーム
１本当りのパワーが射出させるレーザビームの本数によ
って変動する。前記回路構成において記録倍率毎の補正
量を変更する場合には、前記多数の可変抵抗器２０８
Ａ、２０８Ｂ、・・の抵抗値を調整する必要があるの
で、音響光学素子に入射されるレーザビームのパワーの
変動にリアルタイムに対応することができず、また調整
作業が煩雑であった。However, if the power of the laser beam incident on the acousto-optic device fluctuates due to, for example, a temporal change of the laser beam generator, the amplitude of the signal input to the acousto-optic device must be changed to obtain a constant writing power. It is necessary to adjust, but this changes the relationship between the number of laser beams to be emitted and the power per laser beam. Therefore, when the correction amount for each recording magnification is constant, the power per laser beam is required. Varies depending on the number of laser beams emitted. When changing the correction amount for each recording magnification in the circuit configuration, the number of variable resistors 208
Since it is necessary to adjust the resistance values of A, 208B,..., It is not possible to respond to the fluctuation of the power of the laser beam incident on the acousto-optic element in real time, and the adjustment operation is complicated.

【０００９】本発明は上記事実を考慮して成されたもの
で、音響光学素子に入力する信号の振幅を変更した場合
にも音響光学素子から射出させる光ビームの単一光ビー
ム当りのパワーを射出させる光ビームの本数に拘わらず
一定にすることができる複数光ビームのパワー補正方法
を得ることが目的である。The present invention has been made in view of the above-mentioned facts. Even when the amplitude of a signal input to an acousto-optic element is changed, the power per light beam of a light beam emitted from the acousto-optic element is reduced. It is an object of the present invention to provide a power correction method for a plurality of light beams that can be constant regardless of the number of light beams to be emitted.

【００１０】また本発明は、音響光学素子に入力する信
号の振幅を変更した場合にも音響光学素子から射出させ
る光ビームの単一光ビーム当りのパワーを射出させる光
ビームの本数に拘わらず一定にすることができる光ビー
ム走査装置を得ることが目的である。Further, according to the present invention, even when the amplitude of the signal input to the acousto-optic element is changed, the power per light beam emitted from the acousto-optic element is constant regardless of the number of the emitted light beams. It is an object of the present invention to obtain a light beam scanning device that can perform the following.

【００１１】[0011]

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明に係
る複数光ビームのパワー補正方法は、所定の振幅で異な
る周波数の所定数の信号のうちの少なくとも１個が入力
され該入力された信号の振幅に応じたパワーでかつ入力
された信号の周波数に応じた方向へ入射された光ビーム
を射出させる音響光学素子を備えた光ビーム走査系の複
数光ビームのパワーを補正するにあたり、前記所定数の
信号を個々に入力したときに射出される単一光ビームの
パワーを測定し、前記所定数の信号を個々に入力したと
きに射出される単一光ビームのパワーが各々所定値とな
るように前記信号の振幅を各々制御した後に、複数の信
号を混合して入力したときに射出される複数光ビームの
パワーを測定し、前記複数光ビームのパワーの測定結果
と前記所定値とを比較して、混合して入力する信号の数
の変化に対する制御信号の変化の傾きを、任意の数の信
号を混合して入力したときに射出される任意の数の光ビ
ームの単一光ビーム当りのパワーが前記所定値に等しく
なるように決定し、混合入力する信号の数に従い前記決
定した傾きに応じて変化させた制御信号によって前記信
号の振幅を補正する。According to a first aspect of the present invention, there is provided a power correction method for a plurality of light beams, wherein at least one of a predetermined number of signals having a predetermined amplitude and different frequencies is input and the input is performed. In correcting the power of a plurality of light beams of a light beam scanning system including an acousto-optic element that emits a light beam incident at a power corresponding to the amplitude of the signal and in a direction corresponding to the frequency of the input signal, The power of a single light beam emitted when a predetermined number of signals are individually input is measured, and the power of the single light beam emitted when the predetermined number of signals are individually input is a predetermined value. After controlling the amplitude of each of the signals, the power of a plurality of light beams emitted when a plurality of signals are mixed and input is measured, and the measurement result of the power of the plurality of light beams is obtained.
And the predetermined value, and the number of signals to be mixed and input.
The slope of the change of the control signal with respect to the change of
Any number of light beams emitted when mixing and inputting signals
Power per unit light beam equals the predetermined value
In accordance with the number of signals to be mixed and input.
The amplitude of the signal is corrected by a control signal changed according to the determined inclination .

【００１２】請求項２記載の発明に係る光ビーム走査装
置は、異なる周波数の信号を各々出力する所定数の発振
回路と、前記所定数の発振回路から出力された信号の各
々の振幅を入力された第１の制御信号に応じて各々独立
に制御する所定数の第１の振幅制御回路と、前記所定数
の発振回路から出力された所定数の信号の振幅を入力さ
れた第２の制御信号に応じて各々同じように制御する第
２の振幅制御回路と、前記第１の振幅制御回路及び前記
第２の振幅制御回路で振幅が制御された少なくとも１個
の信号が入力され入力された信号の振幅に応じたパワー
でかつ入力された信号の周波数に応じた方向へ入射され
た光ビームを射出させる音響光学素子と、音響光学素子
から射出された光ビームのパワーを測定する測定手段
と、前記第１の振幅制御回路へ前記第１の制御信号を入
力すると共に、前記測定手段によって測定された、前記
所定数の信号を１個ずつ音響光学素子へ各々入力したと
きに射出される各光ビームのパワーに基づいて、前記所
定数の信号を１個ずつ音響光学素子へ各々入力したとき
に射出される各光ビームのパワーが各々所定値になるよ
うに前記第１の制御信号を調整する第１の入力手段と、
前記第２の振幅制御回路へ前記第２の制御信号を入力す
ると共に、前記第１の入力手段が前記第１の制御信号の
調整を行った後に前記測定手段によって測定された、複
数の信号を混合して音響光学素子に入力したときに射出
される複数光ビームのパワーと前記所定値とを比較し
て、混合して入力する信号の数の変化に対する第２の制
御信号の変化の傾きを、任意の数の信号を混合して入力
したときに射出される任意の数の光ビームの単一光ビー
ム当りのパワーが前記所定値に等しくなるように決定
し、混合入力する信号の数に従い前記決定した傾きに応
じて前記第２の制御信号を調整する第２の入力手段と、
を有している。According to a second aspect of the present invention, there is provided a light beam scanning apparatus, comprising: a predetermined number of oscillation circuits each outputting a signal of a different frequency; and an amplitude of each of the signals output from the predetermined number of oscillation circuits. A predetermined number of first amplitude control circuits, each of which is independently controlled in accordance with the first control signal, and a second control signal to which a predetermined number of signals output from the predetermined number of oscillation circuits are input A second amplitude control circuit that controls each of the signals in the same manner according to the first and second amplitude control circuits, and a signal to which at least one signal whose amplitude is controlled by the first amplitude control circuit and the second amplitude control circuit is input and input. An acousto-optic element that emits a light beam incident at a power corresponding to the amplitude of the signal and in a direction corresponding to the frequency of the input signal, and a measuring unit that measures the power of the light beam emitted from the acousto-optic element, The first amplitude The first control signal is input to the control circuit, and based on the power of each light beam emitted when the predetermined number of signals are input to the acousto-optic element one by one, measured by the measuring means. First input means for adjusting the first control signal so that the power of each light beam emitted when the predetermined number of signals are input to the acousto-optic element one by one is each a predetermined value. When,
The second control signal is input to the second amplitude control circuit, and a plurality of signals measured by the measurement unit after the first input unit adjusts the first control signal are output. The power of a plurality of light beams emitted when mixed and input to the acousto-optic element is compared with the predetermined value.
And the second control for the change in the number of mixed input signals.
Input the slope of control signal change by mixing any number of signals
A single light beam of any number of light beams
Determined so that power per unit is equal to the specified value
According to the number of input signals.
Second input means for adjusting the second control signal Flip,
have.

【００１３】請求項３記載の発明に係る光ビーム走査装
置は、異なる周波数の信号を各々出力する所定数の発振
回路と、発振回路の各々に接続され発振回路から出力さ
れた信号の振幅を入力された振幅制御信号に応じて制御
する振幅制御回路と、前記振幅制御回路から出力された
所定数の信号のうちの少なくとも１個が入力され入力さ
れた信号の振幅に応じたパワーでかつ入力された信号の
周波数に応じた方向へ入射された光ビームを射出させる
音響光学素子と、音響光学素子から射出された光ビーム
のパワーを測定する測定手段と、前記所定数の発振回路
から出力された所定数の信号の振幅を各々独立に制御す
るための第１の制御信号を出力すると共に、前記測定手
段によって測定された、前記所定数の信号を１個ずつ音
響光学素子へ各々入力したときに射出される各光ビーム
のパワーに基づいて、前記所定数の信号を１個ずつ音響
光学素子へ各々入力したときに射出される各光ビームの
パワーが各々所定値になるように前記第１の制御信号を
調整する第１の出力手段と、前記所定数の発振回路から
出力された所定数の信号の振幅を各々同じように制御す
るための第２の制御信号を出力すると共に、前記第１の
出力手段が前記第１の制御信号の調整を行った後に前記
測定手段によって測定された、複数の信号を混合して音
響光学素子に入力したときに射出される複数光ビームの
パワーと前記所定値とを比較して、混合して入力する信
号の数の変化に対する第２の制御信号の変化の傾きを、
任意の数の信号を混合して入力したときに射出される任
意の数の光ビームの単一光ビーム当りのパワーが前記所
定値に等しくなるように決定し、混合入力する信号の数
に従い前記決定した傾きに応じて前記第２の制御信号を
調整する第２の出力手段と、前記第１の出力手段から出
力された第１の制御信号と前記第２の出力手段から出力
された第２の制御信号との和を前記振幅制御信号として
振幅制御回路へ入力する入力手段と、を有している。According to a third aspect of the present invention, there is provided a light beam scanning apparatus, wherein a predetermined number of oscillation circuits each outputting a signal of a different frequency, and an amplitude of a signal output from the oscillation circuit connected to each of the oscillation circuits. An amplitude control circuit for controlling in accordance with the amplitude control signal that has been input, and at least one of a predetermined number of signals output from the amplitude control circuit is input and input with power corresponding to the amplitude of the input signal. Acousto-optic element for emitting a light beam incident in a direction corresponding to the frequency of the signal, a measuring unit for measuring the power of the light beam emitted from the acousto-optic element, and an output from the predetermined number of oscillation circuits. A first control signal for independently controlling the amplitudes of the predetermined number of signals is output, and the predetermined number of signals measured by the measurement unit are each transmitted to the acousto-optic device one by one. The power of each light beam emitted when each of the predetermined number of signals is input to the acousto-optic element one by one based on the power of each light beam emitted when force is applied so that the power of each light beam emitted becomes a predetermined value. A first output unit for adjusting the first control signal; and a second control signal for controlling the amplitudes of the predetermined number of signals output from the predetermined number of oscillation circuits in the same manner. Emitted when the first output means adjusts the first control signal and mixes a plurality of signals measured by the measurement means and inputs the mixed signal to the acoustic optical element. And comparing the powers of the plurality of light beams with the predetermined value, and mixing and inputting the signals.
The slope of the change of the second control signal with respect to the change of the number of signals
A task that is emitted when an arbitrary number of signals are mixed and input.
The power per single light beam of any number of light beams is
Determined to be equal to the fixed value, and the number of mixed input signals
Second output means for adjusting the second control signal in accordance with the determined inclination, and a first control signal output from the first output means and a second control signal output from the second output means. Input means for inputting the sum with the second control signal to the amplitude control circuit as the amplitude control signal.

【００１４】[0014]

【作用】請求項１記載の発明では、まず所定数の信号を
音響光学素子に個々に入力したときに射出される単一光
ビームのパワーを測定し、所定数の信号を個々に入力し
たときに射出される単一光ビームのパワーが各々所定値
となるように前記所定数の信号の振幅を各々制御する。
これにより、例えば音響光学素子に入射される光ビーム
のパワーが変動しても、音響光学素子に入力する信号の
振幅が変更されてこの変動分が補正される。また、単一
光ビーム当りのパワーの目標値（所定値）が変更された
場合にも、単一光ビーム当りのパワーを目標値に一致さ
せることができる。請求項１の発明では、次に複数の信
号を混合して音響光学素子に入力したときに射出される
複数光ビームのパワーを測定し、複数光ビームのパワー
の測定結果と所定値とを比較して、混合して入力する信
号の数の変化に対する制御信号の変化の傾きを、任意の
数（但し、所定数以下）の信号を混合して入力したとき
に射出される任意の数の光ビームの単一光ビーム当りの
パワーが所定値に等しくなるように決定し、混合入力す
る信号の数に従い前記決定した傾きに応じて変化させた
制御信号によって信号の振幅を補正する。これにより、
音響光学素子に入射される光ビームのパワーが変化した
場合や、単一光ビーム当りのパワーの目標値（所定値）
が変更された場合にも、音響光学素子から射出させる光
ビームの単一光ビーム当りのパワーを、射出させる光ビ
ームの本数に拘わらず一定にすることができる。According to the first aspect of the invention, first, the power of a single light beam emitted when a predetermined number of signals are individually input to the acousto-optic element is measured, and when the predetermined number of signals are individually input. The amplitudes of the predetermined number of signals are controlled so that the powers of the single light beams emitted to the respective elements become predetermined values.
Thus, for example, even if the power of the light beam incident on the acousto-optic element changes, the amplitude of the signal input to the acousto-optic element is changed, and this change is corrected. Also single
Target value (predetermined value) of power per light beam changed
Even when the power per single light beam is
Can be made. In the invention of claim 1, to measure the power of a plurality light beams emitted when the input to the acousto-optic device by mixing a plurality of signals to the next, multiple light beam power
Compare the measurement result of
The slope of the control signal change with respect to the change in the number of signals
When a number (but not more than a predetermined number) of signals are mixed and input
Of any number of light beams emitted to a single light beam
Determine that the power is equal to the specified value, and
In accordance with the slope determined above according to the number of signals
The amplitude of the signal is corrected by the control signal . As a result,
The power of the light beam incident on the acousto-optic device has changed
Target value of power per single light beam (predetermined value)
Is changed, the power per light beam emitted from the acousto-optic element can be constant regardless of the number of emitted light beams.

【００１５】請求項１の発明によれば、例えば特開昭５
４−１６４１５２号公報等に記載されているように、所
定数の信号に加えてダミー信号も音響光学素子に入力
し、音響光学素子からダミー光を射出させることで、音
響光学素子から射出させる光ビームの単一光ビーム当り
のパワーの変化を抑制したりする必要がないので、所定
数の信号の周波数差を大きくすることができ、音響光学
素子の光ビーム射出側に光学系を設ける場合にも、該光
学系の設計の自由度が高くなると共に、音響光学素子に
入射された光ビームのパワーを有効に利用することがで
きる。 また、請求項１の発明は、特開昭５３−１４８４
６１号公報に記載の技術のように多数の補正値を求める
必要はなく、所定数の信号を個々に入力したときに射出
される単一光ビームのパワーが各々所定値となるように
信号の振幅を各々制御した後に、複数の信号を混合して
入力したときに射出される複数光ビームのパワーの測定
結果と所定値とを比較して制御信号の変化の傾きを決定
することで、上記公報における多数の補正値の決定に相
当する処理が完了し、音響光学素子から射出させる光ビ
ームの単一光ビーム当りのパワーを、射出させる光ビー
ムの本数に拘わらず一定にする補正を実行可能となるの
で、短時間で処理を行うことができると共に、多数の補
正値を記憶するための大容量の記憶手段も不要となる。 According to the first aspect of the present invention, for example,
As described in JP-A-4-164152 and the like,
Dummy signal is input to acousto-optic device in addition to constant signal
By emitting dummy light from the acousto-optic device,
Per beam of light beam emitted from acoustic optics
It is not necessary to suppress the change in power of
Can increase the frequency difference between the signals
When an optical system is provided on the light beam emission side of the device,
As the degree of freedom in academic system design increases,
Effective use of the power of the incident light beam
Wear. The invention of claim 1 is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 53-1484.
Obtain a large number of correction values as in the technique described in Japanese Patent Publication No. 61
No need to fire when a predetermined number of signals are input individually
So that the power of the single light beam
After controlling each signal amplitude, mix multiple signals
Measuring the power of multiple light beams emitted when input
Comparing the result with a predetermined value to determine the slope of the control signal change
By doing so, it is helpful to determine many correction values in the above-mentioned publication.
When the corresponding process is completed, the optical
Light beam that emits power per single light beam
It is possible to execute the correction to keep it constant regardless of the number of programs
Processing can be performed in a short time, and
A large-capacity storage means for storing a positive value is not required.

【００１６】請求項２記載の発明において、第１の入力
手段は、所定数の発振回路から出力された信号の各々の
振幅を各々独立に制御するための第１の制御信号を第１
の振幅制御回路へ入力すると共に、測定手段によって測
定された、所定数の信号を１個ずつ音響光学素子へ各々
入力したときに射出される各光ビームのパワーに基づい
て、所定数の信号を１個ずつ音響光学素子へ各々入力し
たときに射出される各光ビームのパワーが各々所定値に
なるように第１の制御信号を調整する。これにより、例
えば音響光学素子に入射される光ビームのパワーが変動
した場合には、この変動分を補正する第１の制御信号が
第１の振幅制御回路に入力され、第１の振幅制御回路で
は第１の制御信号に応じて信号の振幅を変更するので、
１個の信号を音響光学素子に入力したときに射出される
光ビームのパワーは所定値に維持される。また第２の入
力手段は、所定数の発振回路から出力された所定数の信
号の振幅を各々同じように制御するための前記第２の制
御信号を第２の振幅制御回路へ入力すると共に、第１の
入力手段が第１の制御信号の調整を行った後に測定手段
によって測定された、複数の信号を混合して音響光学素
子に入力したときに射出される複数光ビームのパワーと
所定値とを比較して、混合して入力する信号の数の変化
に対する第２の制御信号の変化の傾きを、任意の数（但
し、所定数以下）の信号を混合して入力したときに射出
される任意の数の光ビームの単一光ビーム当りのパワー
が所定値に等しくなるように決定し、混合入力する信号
の数に従い決定した傾きに応じて第２の制御信号を調整
する。これにより、音響光学素子から射出させる光ビー
ムの単一光ビーム当りのパワーが音響光学素子から射出
させる光ビームの本数に拘わらず一定の所定値となるよ
うに、第２の振幅制御回路で信号の振幅が制御される。
従って、音響光学素子に入射される光ビームのパワーが
変化した場合や、単一光ビーム当りのパワーの目標値
（所定値）が変更された場合にも、音響光学素子から射
出させる光ビームの単一光ビーム当りのパワーを、射出
させる光ビームの本数に拘わらず一定にすることができ
る。また、本請求項２の発明では多数の可変抵抗器等を
用いる必要がなく抵抗値の調整作業は不要となるので、
上記補正を容易に行うことができる。更に請求項２の発
明は、請求項１の発明と同様に、音響光学素子の光ビー
ム射出側に光学系を設ける場合の光学系の設計の自由度
が高くなると共に、音響光学素子に入射された光ビーム
のパワーを有効に利用することができ、多数の補正値を
記憶するための大容量の記憶手段も不要となる。 According to a second aspect of the present invention, the first input means outputs a first control signal for controlling the amplitude of each of the signals output from the predetermined number of oscillation circuits independently of each other.
And a predetermined number of signals measured based on the power of each light beam emitted when each of the predetermined number of signals measured by the measuring means is input to the acousto-optic device one by one. The first control signal is adjusted such that the power of each light beam emitted when each of the light beams is input to the acousto-optic element becomes a predetermined value. Thus, for example, when the power of the light beam incident on the acousto-optic element fluctuates, the first control signal for correcting the fluctuation is input to the first amplitude control circuit, and the first amplitude control circuit Now, since the amplitude of the signal is changed according to the first control signal,
The power of the light beam emitted when one signal is input to the acousto-optic element is maintained at a predetermined value. The second input means inputs the second control signal for controlling the amplitudes of the predetermined number of signals output from the predetermined number of oscillation circuits in the same manner to the second amplitude control circuit, first input means is determined by the measuring means after the adjustment of the first control signal, and power of a plurality light beams emitted when the input to the acousto-optic device by mixing a plurality of signals
Changes in the number of signals to be mixed and input by comparing with a predetermined value
The slope of the change of the second control signal with respect to
Injection when the signals are mixed and input
Power of a given number of light beams per single light beam
Is determined to be equal to a predetermined value
The second control signal is adjusted in accordance with the gradient determined according to the number . Thus, the signal is output by the second amplitude control circuit so that the power per light beam of the light beam emitted from the acousto-optic element has a predetermined value regardless of the number of light beams emitted from the acousto-optic element. Is controlled.
Therefore , the power of the light beam incident on the acousto-optic element is
If it changes, or the target value of power per single light beam
Even when (predetermined value) is changed , the power per light beam of the light beam emitted from the acousto-optic element can be kept constant regardless of the number of light beams emitted. Further, according to the second aspect of the present invention, it is not necessary to use a large number of variable resistors and the like, and the work of adjusting the resistance value is not required.
The above correction can be easily performed. Further, the invention according to claim 2 is , like the invention according to claim 1, a light beam of the acousto-optic element.
Freedom of optical system design when optical system is installed on the exit side
And the light beam incident on the acousto-optic device
Power can be used effectively and many correction values
A large-capacity storage means for storing is not required.

【００１７】なお、本請求項２の発明において、第１の
振幅制御回路及び第２の振幅制御回路の配置は発振回路
と音響光学素子との間であればよく、第２の振幅制御回
路で振幅制御された信号を第１の振幅制御回路でさらに
振幅制御するようにしてもよい。In the second aspect of the present invention, the first amplitude control circuit and the second amplitude control circuit may be arranged between the oscillation circuit and the acousto-optic element. The amplitude-controlled signal may be further subjected to amplitude control by the first amplitude control circuit.

【００１８】請求項３記載の発明において、振幅制御回
路は発振回路から出力された信号の振幅を入力された振
幅制御信号に応じて制御する。一方、第１の出力手段は
所定数の発振回路から出力された所定数の信号の振幅を
各々独立に制御するための第１の制御信号を出力すると
共に、測定手段によって測定された、所定数の信号を１
個ずつ音響光学素子へ各々入力したときに射出される各
光ビームのパワーに基づいて、所定数の信号を１個ずつ
音響光学素子へ各々入力したときに射出される各光ビー
ムのパワーが各々所定値になるように第１の制御信号を
調整する。これにより、例えば音響光学素子に入射され
る光ビームのパワーが変動した場合にはこの変動分を補
正した第１の制御信号が出力される。また、第２の出力
手段は所定数の発振回路から出力された所定数の信号の
振幅を各々同じように制御するための第２の制御信号を
出力すると共に、第１の出力手段が第１の制御信号の調
整を行った後に測定手段によって測定された、複数の信
号を混合して音響光学素子に入力したときに射出される
複数光ビームのパワーと所定値とを比較して、混合して
入力する信号の数の変化に対する第２の制御信号の変化
の傾きを、任意の数の信号を混合して入力したときに射
出される任意の数の光ビームの単一光ビーム当りのパワ
ーが所定値に等しくなるように決定し、混合入力する信
号の数に従い決定した傾きに応じて第２の制御信号を調
整する。また入力手段は、この第１の制御信号と第２の
制御信号との和を振幅制御信号として前記振幅制御回路
へ入力する。このため、振幅制御回路に入力される振幅
制御信号は、１個の信号を音響光学素子に入力したとき
に射出される光ビームのパワーを所定値に維持し、かつ
任意の数（但し所定数以下）の信号を音響光学素子に入
力したときに射出される任意の数の光ビームの単一光ビ
ーム当りのパワーを音響光学素子に１個の信号を入力し
たときに射出される光ビームのパワーと等しくする信号
となる。これにより、音響光学素子に入射される光ビー
ムのパワーが変化した場合や、単一光ビーム当りのパワ
ーの目標値（所定値）が変更された場合にも、音響光学
素子から射出させる光ビームの単一光ビーム当りのパワ
ーを射出させる光ビームの本数に拘わらず一定にするこ
とができる。 また、本請求項３の発明においても多数の
可変抵抗器等を用いる必要がなく抵抗値の調整作業は不
要となるので、上記補正を容易に行うことができる。更
に請求項３の発明においても、請求項１及び請求項２の
発明と同様に、音響光学素子の光ビーム射出側に光学系
を設ける場合の光学系の設計の自由度が高くなると共
に、音響光学素子に入射された光ビームのパワーを有効
に利用することができ、多数の補正値を記憶するための
大容量の記憶手段も不要となる。 According to the third aspect of the present invention, the amplitude control circuit controls the amplitude of the signal output from the oscillation circuit according to the input amplitude control signal. On the other hand, the first output means outputs a first control signal for independently controlling the amplitude of the predetermined number of signals output from the predetermined number of oscillation circuits, and outputs the predetermined number of signals measured by the measurement means. Signal of 1
Based on the power of each light beam emitted when each is input to the acousto-optic element, the power of each light beam emitted when a predetermined number of signals are respectively input to the acousto-optic element is The first control signal is adjusted to have a predetermined value. Thus, for example, when the power of the light beam incident on the acousto-optic element changes, a first control signal in which the change is corrected is output. The second output means outputs a second control signal for controlling the amplitudes of the predetermined number of signals output from the predetermined number of oscillation circuits in the same manner, and the first output means outputs the first control signal. The power of a plurality of light beams emitted when the plurality of signals are mixed and input to the acousto-optic element, which is measured by the measuring unit after the adjustment of the control signal, is compared with a predetermined value, and the mixing is performed. hand
Changes in the second control signal with respect to changes in the number of input signals
The slope of the
Power of any number of emitted light beams per single light beam
Is determined to be equal to the specified value, and
The second control signal is adjusted according to the slope determined according to the number of signals. The input means inputs the sum of the first control signal and the second control signal to the amplitude control circuit as an amplitude control signal. For this reason, the amplitude control signal input to the amplitude control circuit maintains the power of the light beam emitted when one signal is input to the acousto-optic element at a predetermined value, and
When an arbitrary number (but not more than a predetermined number) of signals is input to the acousto-optic element, the power per unit light beam of an arbitrary number of light beams emitted when one signal is input to the acousto-optic element Is a signal that is equal to the power of the light beam emitted to the light source. As a result, the light beam incident on the acousto-optic element
Changes in the power of the
Even when the target value (predetermined value) is changed , the power per light beam emitted from the acousto-optic element can be made constant regardless of the number of emitted light beams . Also, adjustment of the resistance value without the need to use a large number of variable resistors or the like in the invention of the claims 3 since unnecessary, it is possible to easily the correction. Change
In the invention of claim 3, the invention of claim 1 and claim 2
As in the invention, an optical system is provided on the light beam emission side of the acousto-optic element.
When the degree of freedom in designing an optical system when
The power of the light beam incident on the acousto-optic element
For storing a large number of correction values.
Large-capacity storage means is not required.

【００１９】なお、上記発明において音響光学素子から
射出した光ビームを用いて画像等の記録を行い、記録倍
率等に応じて光ビームをパワーを変更する場合には、音
響光学素子に１個の信号を入力して射出される単一光ビ
ームのパワーを制御するときの基準値である前記所定値
を前記記録倍率に応じて変更することによって対応する
ことができる。In the above invention, when recording an image or the like using the light beam emitted from the acousto-optic element and changing the power of the light beam in accordance with the recording magnification or the like, one acousto-optic element is required. This can be dealt with by changing the predetermined value, which is a reference value when controlling the power of a single light beam emitted by inputting a signal, according to the recording magnification.

【００２０】[0020]

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図３には本発明に係るレーザビーム記録装
置１０が示されている。このレーザビーム記録装置１０
は、電源１４に接続されたＨｅ−Ｎｅレーザ１２を備え
ている。このＨｅ−Ｎｅレーザに代えて他の気体レーザ
或いは固体レーザ、半導体レーザ等を用いてもよい。Ｈ
ｅ−Ｎｅレーザ１２のレーザビーム射出側には、レンズ
１６、ＡＯＭ（音響光学素子）１８及びレンズ２４が順
に配列されている。ＡＯＭ１８は音響光学効果を生ずる
音響光学媒質２１を備えている。音響光学媒質２１の対
向する面には、入力された高周波信号に応じて超音波を
出力するトランスデューサ１７と、音響光学媒質２１を
通過した超音波を吸収する吸音体１９とが貼付されてい
る。トランスデューサ１７は、ＡＯＭ１８を駆動するＡ
ＯＭドライバ２０に接続され、ＡＯＭドライバ２０は制
御回路２２に接続されている。本実施例では、ＡＯＭ１
８に入射されたレーザビームから最大８本のレーザビー
ムが回折され、記録用レーザビームとして射出される。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 3 shows a laser beam recording apparatus 10 according to the present invention. This laser beam recording device 10
Comprises a He-Ne laser 12 connected to a power supply 14. Instead of the He-Ne laser, another gas laser, solid laser, semiconductor laser, or the like may be used. H
On the laser beam emission side of the e-Ne laser 12, a lens 16, an AOM (acoustic optical element) 18, and a lens 24 are sequentially arranged. The AOM 18 includes an acousto-optic medium 21 that produces an acousto-optic effect. A transducer 17 that outputs ultrasonic waves in accordance with an input high-frequency signal and a sound absorber 19 that absorbs ultrasonic waves that have passed through the acousto-optic medium 21 are attached to opposing surfaces of the acousto-optic medium 21. A transducer 17 drives AOM 18
The AOM driver 20 is connected to the control circuit 22. In the present embodiment, AOM1
A maximum of eight laser beams are diffracted from the laser beam incident on 8 and emitted as recording laser beams.

【００２１】レンズ２４のレーザビーム射出側には、ミ
ラー２６、ダイクロイックミラー２５、ポリゴンミラー
（回転多面鏡）２８、レンズ２９及びダイクロイックミ
ラー３２が順に配列されている。ダイクロイックミラー
２５の近傍にはレンズ２７及び半導体レーザ１３が配置
されている。半導体レーザ１３は半導体レーザドライバ
１５に接続されている。半導体レーザ１３から射出され
たレーザビームはレンズ２７を介して参照用レーザビー
ムとしてダイクロイックミラー２５に入射され、ポリゴ
ンミラー２８側へ反射される。ポリゴンミラー２８はポ
リゴンミラードライバ３０に接続されており、ポリゴン
ミラードライバ３０によって高速回転される。記録用レ
ーザビーム及び参照用レーザビームはポリゴンミラー２
８で反射され、前記記録用レーザビームはダイクロイッ
クミラー３２で反射され、参照用レーザビームはダイク
ロイックミラー３２を透過する。またダイクロイックミ
ラー３２を透過した前記参照用レーザビームを受光可能
な位置には、リニアエンコーダ３３及び光電変換器３１
が順に配列されている。これにより、ダイクロイックミ
ラー３２を透過した参照用レーザビームはリニアエンコ
ーダ３３上に走査される。[0021] laser beam exit side of the lens 24, the mirror 26, the dichroic mirror 25, a polygon mirror (rotary polygon mirror) 28, a lens 29 and dichroic Kumi <br/> La over 32 are arranged in this order. The lens 27 and the semiconductor laser 13 are arranged near the dichroic mirror 25. The semiconductor laser 13 is connected to a semiconductor laser driver 15. The laser beam emitted from the semiconductor laser 13 enters the dichroic mirror 25 as a reference laser beam via the lens 27 and is reflected toward the polygon mirror 28. The polygon mirror 28 is connected to a polygon mirror driver 30, and is rotated at a high speed by the polygon mirror driver 30. The recording laser beam and the reference laser beam are polygon mirror 2
8, the recording laser beam is reflected by the dichroic mirror 32, and the reference laser beam passes through the dichroic mirror 32. The linear encoder 33 and the photoelectric converter 31 are located at positions where the reference laser beam transmitted through the dichroic mirror 32 can be received.
Are arranged in order. Thereby, the reference laser beam transmitted through the dichroic mirror 32 is scanned on the linear encoder 33.

【００２２】リニアエンコーダ３３は、透明部と不透明
部とが主走査方向に一定ピッチで交互に多数縞状に配置
された平面板で構成され、このリニアエンコーダ３３を
ポリゴンミラー２８で反射された参照用レーザビームで
走査すると、参照用レーザビームが透明部を透過するた
め光電変換器３１からパルス信号が出力される。この光
電変換器３１からのパルス信号は、ガルバノメータミラ
ーの角度を制御するガルバノメータミラードライバ３６
Ａに入力される。ダイクロイックミラー３２の反射側に
は、ミラー３４、ガルバノメータミラー３６、ミラー３
８が順に配列されている。ミラー３８で反射された記録
用レーザビームはレンズ４０を通してステージ４２に照
射される。ミラー３８とレンズ４０との間には、非記録
時（例えば、あるコマから他のコマへ記録を変更すると
き、あるフィッシュから他のフィッシュへ記録を変更す
るとき等）にレーザビームを遮断するように閉じられる
シャッター６１が配置されている。このシャッター６１
のレーザビーム入射側の面には光電変換器６０（本発明
の測定手段）が取り付けられている。ステージ４２に
は、マイクロフィルム等の記録材料４４が配置されてい
る。この記録材料４４は、それぞれリール４６及びリー
ル４８に層状に巻付けられている。The linear encoder 33 is composed of a flat plate in which transparent portions and opaque portions are alternately arranged in a stripe pattern at a constant pitch in the main scanning direction. When scanning is performed with the reference laser beam, a pulse signal is output from the photoelectric converter 31 because the reference laser beam passes through the transparent portion. The pulse signal from the photoelectric converter 31 is supplied to a galvanometer mirror driver 36 for controlling the angle of the galvanometer mirror.
A is input to A. On the reflection side of the dichroic mirror 32, a mirror 34, a galvanometer mirror 36, a mirror 3
8 are arranged in order. The recording laser beam reflected by the mirror 38 is applied to a stage 42 through a lens 40. The laser beam is cut off between the mirror 38 and the lens 40 during non-recording (for example, when recording is changed from one frame to another frame, when recording is changed from one fish to another fish, etc.). Shutter 61 that is closed as described above. This shutter 61
The photoelectric converter 60 (the present invention)
Measuring means) is attached. A recording material 44 such as a microfilm is arranged on the stage 42. The recording material 44 is wound in layers on a reel 46 and a reel 48, respectively.

【００２３】図１に示すように、上記で説明した位置に
配置されかつＡＯＭ１８から回折光として射出された記
録用レーザビームを受光して該レーザビームのパワーに
応じた大きさの電圧を出力する光電変換器６０は、制御
回路２２の増幅器８８の入力側に接続されている。増幅
器８８の出力側にはＡＤＣ（アナログ−デジタル変換
器）８２、レジスタ９０が順に接続されている。ＡＤＣ
８２は光電変換器６０から出力され増幅器８８で増幅さ
れた信号を、前記受光したレーザビームのパワーを表す
デジタルデータに変換する。レジスタ９０は前記デジタ
ルデータを一時的に保持する。レジスタ９０はデータバ
スライン９２に接続されている。データバスライン９２
にはＣＰＵ（中央処理装置）８０も接続されており、相
互間のデータおよびコマンドの入出力が可能となってい
る。ＣＰＵ８０はレジスタ９０に保持されたレーザビー
ムのパワーを表すデータに基づいて処理を行う。As shown in FIG. 1, a recording laser beam placed at the position described above and emitted from the AOM 18 as diffracted light is received, and a voltage having a magnitude corresponding to the power of the laser beam is output. The photoelectric converter 60 is connected to the input side of the amplifier 88 of the control circuit 22. An ADC (analog-digital converter) 82 and a register 90 are sequentially connected to the output side of the amplifier 88. ADC
82 converts the signal output from the photoelectric converter 60 and amplified by the amplifier 88 into digital data representing the power of the received laser beam. The register 90 temporarily holds the digital data. The register 90 is connected to the data bus line 92. Data bus line 92
Is also connected to a CPU (Central Processing Unit) 80, so that data and commands can be input and output between each other. The CPU 80 performs processing based on the data representing the power of the laser beam held in the register 90.

【００２４】データバスライン９２にはレジスタ８４
Ａ、８４Ｂ、８４Ｃ、８４Ｄ、８４Ｅ、８４Ｆ、８４
Ｇ、８４Ｈが接続されており、各レジスタは各々ＤＡＣ
（デジタル−アナログ変換器）８６Ａ、８６Ｂ、８６
Ｃ、８６Ｄ、８６Ｅ、８６Ｆ、８６Ｇ、８６Ｈに接続さ
れている。レジスタ８４Ａ、８４Ｂ、８４Ｃ、８４Ｄ、
８４Ｅ、８４Ｆ、８４Ｇ、８４Ｈには、ＡＯＭ１８から
射出された８本のレーザビームの各々のレベルを調整す
るデジタルデータが供給される。このデジタルデータは
各ＤＡＣ８６でアナログ信号に変換され、ＡＯＭドライ
バ２０の後述するローカルレベル制御回路６４Ａ〜６４
Ｈの各々へレベル制御信号として出力される。The data bus line 92 has a register 84
A, 84B, 84C, 84D, 84E, 84F, 84
G and 84H are connected, and each register is a DAC
(Digital-analog converter) 86A, 86B, 86
C, 86D, 86E, 86F, 86G, 86H. Registers 84A, 84B, 84C, 84D,
Digital data for adjusting the level of each of the eight laser beams emitted from the AOM 18 is supplied to 84E, 84F, 84G, and 84H. This digital data is converted into an analog signal by each DAC 86, and a local level control circuit 64A to 64A of the AOM driver 20 which will be described later.
H are output as level control signals.

【００２５】データバスライン９２には文字生成回路９
４が接続されている。文字生成回路９４にはホストコン
ピュータ等から転送された画像データがＣＰＵ８０によ
って供給され、文字生成回路９４はこれを一旦格納す
る。文字生成回路９４には遅延回路５８及び信号数計数
回路５４が接続されている。文字生成回路９４は一旦格
納した画像データからレーザビームによる画像の記録順
に８画素分毎に画像データ（８ビット）を取り出し、前
記遅延回路５８及び信号数計数回路５４へ出力する。遅
延回路５８では入力された画像データを所定時間遅延し
た後、ＡＯＭドライバ２０の後述するスイッチ回路６６
Ａ〜６６Ｈの各々へ出力する。一方、信号数計数回路５
４は入力された８ビットの画像データを、８個のビット
のオン（１）の数を表す４ビットのデータへ変換し、第
２ＤＡＣ（デジタル−アナログ変換器）５６へ出力す
る。The data bus line 92 has a character generation circuit 9
4 are connected. Image data transferred from a host computer or the like is supplied to the character generation circuit 94 by the CPU 80, and the character generation circuit 94 temporarily stores the image data. The delay circuit 58 and the signal number counting circuit 54 are connected to the character generation circuit 94. The character generation circuit 94 extracts the image data (8 bits) for every eight pixels from the image data once stored in the order of recording of the image by the laser beam, and outputs it to the delay circuit 58 and the signal number counting circuit 54. After delaying the image data input in the delay circuit 5 8 a predetermined time, the switch circuit 66 to be described later of the AOM driver 20
A to 66H are output. On the other hand, the signal number counting circuit 5
4 converts the input 8-bit image data into 4-bit data representing the number of ON (1) of 8 bits, and outputs the 4-bit data to a second DAC (digital-analog converter) 56.

【００２６】また、データバスライン９２にはレジスタ
５０、第１ＤＡＣ（デジタル−アナログ変換器）５２が
順次接続されている。レジスタ５０には、８ビットの補
正データがＣＰＵ８０から供給される。この補正データ
は、ＡＯＭ１８に入力する信号の振幅を変更した場合に
も、ＡＯＭ１８から射出させるレーザビームのレーザビ
ーム１本当りのパワーを射出させるレーザビームの本数
に拘わらず一定にするための補正量を表している。レジ
スタ５０はこの補正データを一時的に保持し、第１ＤＡ
Ｃ５２へ出力する。第１ＤＡＣ５２では入力されたデジ
タルの補正データを、前記補正量に対応した電圧レベル
のアナログ信号へ変換する。第１ＤＡＣ５２の出力端子
は前記第２ＤＡＣ５６の基準電圧入力端子に接続されて
おり、第１ＤＡＣ５２は補正量に対応した電圧レベルの
アナログ信号を基準電圧Ｖ_REF として第２ＤＡＣ５６へ
供給する。A register 50 and a first DAC (digital-analog converter) 52 are sequentially connected to the data bus line 92. Register 50 is supplied with 8-bit correction data from CPU 80. This correction data is a correction amount for making the power per laser beam emitted from the AOM 18 constant regardless of the number of the emitted laser beams even when the amplitude of the signal input to the AOM 18 is changed. Is represented. The register 50 temporarily holds the correction data, and stores the first DA
Output to C52. The first DAC 52 converts the input digital correction data into an analog signal having a voltage level corresponding to the correction amount. The output terminal of the 1DAC52 is connected to the reference voltage input terminal of said first 2DAC56, the 1DAC52 supplies a voltage level analog signal corresponding to the correction amount as a reference voltage V _REF to the first 2DAC56.

【００２７】図４に示すように、第２ＤＡＣ５６から出
力される信号の電圧レベルは、前記信号数計数回路５４
から入力されるデータの値が大きくなるに従って、すな
わち画像データのオンの数が多くなるに従って高くな
り、高くなる度合いは基準電圧Ｖ_REF の電圧レベルに応
じて変化する。すなわち、基準電圧Ｖ_REF の電圧レベル
が大きい場合には画像データのオンの個数の増加に対し
て第２ＤＡＣ５６の出力電圧レベルが高くなる度合いが
大きく（傾きが大きく）なる。また、基準電圧Ｖ _REF の
電圧レベルが小さい場合には画像データのオンの個数の
増加に対して第２ＤＡＣ５６の出力電圧レベルが高くな
る度合いが小さく（傾きが小さく）なる。この傾きの大
きさは基準電圧Ｖ_REF の電圧レベルに応じて連続的に変
化する。従って、基準電圧Ｖ_REF の電圧レベル、すなわ
ちレジスタ５０に供給する補正データの値を変更するこ
とによって前記傾きを変化させることができる。なお、
画像データのオンの数が１の場合に第２ＤＡＣ５６から
出力される信号の電圧レベルは、基準電圧Ｖ_REF が変更
されても変化しないように設定されている。As shown in FIG.
The voltage level of the input signal is determined by the signal number counting circuit 54.
As the value of the data input from
That is, as the number of ONs of the image data increases, the
And the degree of increase is the reference voltage V_REFVoltage level
Will change. That is, the reference voltage V_REFVoltage level
Is large, the increase in the number of ON
Therefore, the degree to which the output voltage level of the second DAC 56 increases
It becomes large (the inclination becomes large). Also, the reference voltage V _REFof
If the voltage level is low, the number of ON
The output voltage level of the second DAC 56 increases with the increase.
The degree of stagnation is small (the inclination is small). Large of this slope
The magnitude is the reference voltage V_REFContinuously changes according to the voltage level of
Become Therefore, the reference voltage V_REFVoltage level,
That is, the value of the correction data supplied to the register 50 is changed.
The inclination can be changed by the above. In addition,
When the number of ON of the image data is 1, from the second DAC 56
The voltage level of the output signal is the reference voltage V_REFChanged
It is set not to change even if it is done.

【００２８】第２ＤＡＣ５６からの出力信号は増幅器９
６で増幅された後、ＡＯＭドライバ２０の後述するトー
タルレベル制御回路７０ＡＢ〜７０ＧＨの各々に振幅補
正信号として供給される。The output signal from the second DAC 56 is
After being amplified by 6, the signal is supplied as an amplitude correction signal to each of the total level control circuits 70AB to 70GH described later of the AOM driver 20.

【００２９】図２に示すように、ＡＯＭドライバ２０は
各々周波数がｆ１〜ｆ８の発振回路６２Ａ、６２Ｂ、６
２Ｃ、６２Ｄ、６２Ｅ、６２Ｆ、６２Ｇ、６２Ｈ、ロー
カルレベル制御回路６４Ａ、６４Ｂ、６４Ｃ、６４Ｄ、
６４Ｅ、６４Ｆ、６４Ｇ、６４Ｈ、スイッチ回路６６
Ａ、６６Ｂ、６６Ｃ、６６Ｄ、６６Ｅ、６６Ｆ、６６
Ｇ、６６Ｈを備えている。ローカルレベル制御回路６４
Ａ〜６４Ｈの各々は発振回路６２Ａ〜６２Ｈの出力端の
各々に接続され、ローカルレベル制御回路６４Ａ〜６４
Ｈの出力端にはスイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈが各々接続
されている。ローカルレベル制御回路としては、ダブル
バランスドミキサーやピンダイオードアッテネータを使
用することができる。ローカルレベル制御回路６４Ａ〜
６４Ｈのレベル制御端の各々には、前述のＤＡＣ８６Ａ
〜８６Ｈの各々からのレベル制御信号が入力される。ま
た、スイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈの制御端の各々には、
遅延回路５８からの８ビットのパラレル信号で入力され
る画像データの各々１ビットが入力される。As shown in FIG. 2, the AOM driver 20 has oscillation circuits 62A, 62B, 6 having frequencies f1 to f8, respectively.
2C, 62D, 62E, 62F, 62G, 62H, local level control circuits 64A, 64B, 64C, 64D,
64E, 64F, 64G, 64H, switch circuit 66
A, 66B, 66C, 66D, 66E, 66F, 66
G, 66H. Local level control circuit 64
A to 64H are connected to the output terminals of the oscillation circuits 62A to 62H, respectively, and are connected to the local level control circuits 64A to 64H.
Switch circuits 66A to 66H are connected to output terminals of H, respectively. As the local level control circuit, a double balanced mixer or a pin diode attenuator can be used. Local level control circuits 64A-
Each of the 64H level control terminals includes the DAC 86A described above.
To 86H are input. Each of the control terminals of the switch circuits 66A to 66H includes:
One bit of image data input as an 8-bit parallel signal from the delay circuit 58 is input.

【００３０】スイッチ回路６６Ａ、６６Ｂの各出力端
は、２つの信号を１：１の割合で混合するコンバイナ６
８ＡＢの入力端に各々接続されている。同様に、スイッ
チ回路６６Ｃ、６６Ｄの各出力端はコンバイナ６８ＣＤ
の入力端に接続され、スイッチ回路６６Ｅ、６６Ｆの各
出力端はコンバイナ６８ＥＦの入力端に接続され、スイ
ッチ回路６６Ｇ、６６Ｈの各出力端はコンバイナ６８Ｇ
Ｈの入力端に接続されている。Each output terminal of the switch circuits 66A and 66B is connected to a combiner 6 for mixing the two signals at a ratio of 1: 1.
8AB are connected to the input terminals. Similarly, each output terminal of the switch circuits 66C and 66D is connected to a combiner 68CD.
The output terminals of the switch circuits 66E and 66F are connected to the input terminals of the combiner 68EF, and the output terminals of the switch circuits 66G and 66H are connected to the combiner 68G.
It is connected to the input terminal of H.

【００３１】コンバイナ６８ＡＢの出力端はトータルレ
ベル制御回路７０ＡＢを介して増幅回路７２ＡＢに接続
されている。同様に、コンバイナ６８ＣＤの出力端はト
ータルレベル制御回路７０ＣＤを介して増幅回路７２Ｃ
Ｄに接続され、コンバイナ６８ＥＦの出力端はトータル
レベル制御回路７０ＥＦを介して増幅回路７２ＥＦに接
続され、コンバイナＧＨの出力端はトータルレベル制御
回路７０ＧＨを介して増幅回路７２ＧＨに接続されてい
る。増幅回路７２ＡＢ、７２ＣＤの各出力端はコンバイ
ナ７４の入力端に接続され、増幅回路７２ＥＦ、７２Ｇ
Ｈの各出力端はコンバイナ７６の入力端に接続されてい
る。コンバイナ７４、７６の出力端はコンバイナ７８に
接続され、コンバイナ７８の出力端は増幅回路７９の入
力端に接続されている。増幅回路７９は入力された信号
を一定の増幅率で増幅する。増幅回路７９の出力端はＡ
ＯＭ１８のトランスデューサ１７に接続されている。ト
ータルレベル制御回路７０ＡＢ〜７０ＧＨはダブルバラ
ンスドミキサーやピンダイオードアッテネータで構成さ
れ、各々のレベル制御端には前述の制御回路２２の増幅
回路９６から出力された振幅補正信号が分配されて供給
される。The output terminal of the combiner 68AB is connected to an amplifier circuit 72AB via a total level control circuit 70AB. Similarly, the output terminal of the combiner 68CD is connected to the amplifier 72C via the total level control circuit 70CD.
D, the output terminal of the combiner 68EF is connected to the amplifier circuit 72EF via the total level control circuit 70EF, and the output terminal of the combiner GH is connected to the amplifier circuit 72GH via the total level control circuit 70GH. Each output terminal of the amplifier circuits 72AB and 72CD is connected to the input terminal of the combiner 74, and the amplifier circuits 72EF and 72G
Each output terminal of H is connected to an input terminal of the combiner 76. The output terminals of the combiners 74 and 76 are connected to the combiner 78, and the output terminal of the combiner 78 is connected to the input terminal of the amplifier circuit 79. The amplification circuit 79 amplifies the input signal at a constant amplification factor. The output terminal of the amplifier circuit 79 is A
It is connected to the transducer 17 of the OM 18. Each of the total level control circuits 70AB to 70GH is constituted by a double balanced mixer or a pin diode attenuator, and an amplitude correction signal output from the amplifier circuit 96 of the control circuit 22 is distributed and supplied to each level control terminal. .

【００３２】次に本実施例の作用を説明する。各発振回
路６２Ａ〜６２Ｈから出力された信号はローカルレベル
制御回路６４Ａ〜６４Ｈに入力される。ローカルレベル
制御回路６４Ａ〜６４Ｈには、後述するレベル調整処理
によって設定されたレベルを表すレベル制御信号が各々
ＤＡＣ８６Ａ〜８６Ｈから入力される。ローカルレベル
制御回路６４Ａ〜６４Ｈはレベル制御信号に基づいて振
幅を調節する。ローカルレベル制御回路６４Ａ〜６４Ｈ
でレベル調整された信号はスイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈ
へ供給される。一方、ホストコンピューター等から供給
された画像データは文字発生回路９４に一旦格納され、
８ビット毎の画像データとしてレーザビームによる画像
の記録順に遅延回路５８及び信号数計数回路５４に供給
される。遅延回路５８で一定時間遅延された８ビットの
画像データは各スイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈに１ビット
づつ分配されて入力される。スイッチ回路６６Ａ〜６６
Ｈは入力された１ビットの画像データがオン（１）の場
合には信号を通過させ、オフ（０）の場合には信号を遮
断する。スイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈを通過した信号は
コンバイナ６８ＡＢ〜６８ＧＨで混合されてトータルレ
ベル制御回路７０ＡＢ〜７０ＧＨに出力される。Next, the operation of this embodiment will be described. The signals output from the oscillation circuits 62A to 62H are input to the local level control circuits 64A to 64H. Local level control circuits 64A to 64H receive level control signals representing levels set by a level adjustment process described later from DACs 86A to 86H, respectively. The local level control circuits 64A to 64H adjust the amplitude based on the level control signal. Local level control circuits 64A to 64H
The signals whose levels have been adjusted by the switch circuits 66A to 66H
Supplied to On the other hand, the image data supplied from the host computer or the like is temporarily stored in the character generation circuit 94,
The image data is supplied to the delay circuit 58 and the signal number counting circuit 54 in the order of recording the image by the laser beam as image data of every 8 bits. The 8-bit image data delayed for a predetermined time by the delay circuit 58 is distributed and input to each of the switch circuits 66A to 66H one bit at a time. Switch circuits 66A to 66
H passes a signal when the input 1-bit image data is on (1), and blocks a signal when the input 1-bit image data is off (0). The signals passing through the switch circuits 66A to 66H are mixed by the combiners 68AB to 68GH and output to the total level control circuits 70AB to 70GH.

【００３３】一方、信号数計数回路５４は、文字発生回
路９４から入力された信号のオンの個数に応じたデジタ
ル信号を第２ＤＡＣ５６へ出力する。第２ＤＡＣ５６に
は、この信号のオンの個数に応じたデジタル信号と共
に、レジスタ５０、第１ＤＡＣ５２を介してアナログ信
号に変換された補正データが基準電圧Ｖ_REF として入力
され、ＡＯＭ１８から射出させるレーザビームの単一レ
ーザビーム当りのパワーを、射出させるレーザビームの
本数に拘わらず一定にするための振幅補正信号を出力す
る。なお、この振幅補正信号のレベルを設定して信号の
振幅を補正する振幅補正処理については後述する。前記
振幅補正信号はトータルレベル制御回路７０ＡＢ〜７０
ＧＨの制御端の各々に入力される。トータルレベル制御
回路７０ＡＢ〜７０ＧＨは入力された振幅補正信号に基
づいて信号の振幅を調整する。トータルレベル制御回路
７０ＡＢ〜７０ＧＨで振幅が調整された各々の信号は、
増幅回路７２ＡＢ〜７２ＧＨ、コンバイナ７４、７６、
コンバイナ７８を介して混合され、増幅回路７９で一定
の増幅率で増幅された後、ＡＯＭ１８のトランスデュー
サ１７に供給される。On the other hand, the signal number counting circuit 54 outputs to the second DAC 56 a digital signal corresponding to the number of ON signals input from the character generation circuit 94. To the second DAC 56, together with a digital signal corresponding to the number of ON states of this signal, correction data converted into an analog signal via the register 50 and the first DAC 52 is input as a reference voltage V _REF , and the laser beam emitted from the AOM 18 An amplitude correction signal is output to make the power per single laser beam constant regardless of the number of laser beams to be emitted. The amplitude correction processing for setting the level of the amplitude correction signal and correcting the amplitude of the signal will be described later. The amplitude correction signals are supplied to total level control circuits 70AB to 70AB.
Input to each of the control ends of GH. The total level control circuits 70AB to 70GH adjust the signal amplitude based on the input amplitude correction signal. Each signal whose amplitude has been adjusted by the total level control circuits 70AB to 70GH is
Amplifying circuits 72AB to 72GH, combiners 74 and 76,
After being mixed via the combiner 78 and amplified by the amplification circuit 79 at a constant amplification rate, it is supplied to the transducer 17 of the AOM 18.

【００３４】トランスデューサ１７は入力された信号
を、入力された信号の数、周波数及び振幅に応じた超音
波信号に変換する。この超音波信号は、音響光学媒質２
１を伝播して吸音体１９に吸音される。このとき、Ｈｅ
−Ｎｅレーザ１２からレーザビームが入射されている場
合には、このレーザビームから入力された信号の数と同
数のレーザビームが、信号の振幅に応じたパワーでかつ
各信号の周波数に応じた方向へ回折光として射出され
る。ＡＯＭ１８から射出されたレーザビームは、ポリゴ
ンミラー２８によって主走査方向に走査され、ガルバノ
メータミラー３６によって副走査方向に走査される。The transducer 17 converts the input signal into an ultrasonic signal according to the number, frequency and amplitude of the input signal. This ultrasonic signal is transmitted to the acousto-optic medium 2
1 is absorbed by the sound absorber 19. At this time, He
-When a laser beam is incident from the Ne laser 12, the same number of laser beams as the number of signals input from this laser beam have power corresponding to the amplitude of the signal and a direction corresponding to the frequency of each signal. Is emitted as diffracted light. The laser beam emitted from the AOM 18 is scanned by the polygon mirror 28 in the main scanning direction, and is scanned by the galvanometer mirror 36 in the sub-scanning direction.

【００３５】図７は、ガルバノメータミラー３６のミラ
ーの角度を経過時間に応じて示したものである。第ｎ齣
の記録が開始される前の非記録期間において、第ｎ齣の
画像データが準備されると共に記録材料が１齣分搬送さ
れて記録材料の位置決めが行われる。このとき、シャッ
タは閉じられている。なお、記録が開始されると、シャ
ッタが開かれガルバノメータミラー３６のミラー角度が
記録終了角度になるまでに第ｎ齣のデータが転送されて
第ｎ齣の画像記録が行われる。また、この非記録期間の
うちのチェック期間においては、前述のレベル調整処理
及び振幅補正処理が行われる。FIG. 7 shows the angle of the mirror of the galvanometer mirror 36 according to the elapsed time. In the non-recording period before the recording of the n-th exposure is started, the image data of the n-th exposure is prepared, and the recording material is conveyed by one exposure to position the recording material. At this time, the shutter is closed. When the recording is started, the data of the nth exposure is transferred and the image recording of the nth exposure is performed until the shutter is opened and the mirror angle of the galvanometer mirror 36 reaches the recording end angle. In the check period of the non-recording period, the above-described level adjustment processing and amplitude correction processing are performed.

【００３６】最初にレベル調整処理について、図５に示
すフローチャートを参照して説明する。ＡＯＭ１８から
射出されたレーザビームは、閉じられたシャッタに取付
けられた光電変換器６０に入射される。このレベル調整
処理はトータルレベル制御回路７０ＡＢ〜７０ＧＨに一
定の電圧レベルの振幅補正信号を供給した状態で行わ
れ、各発振回路６２Ａ〜６２Ｈに対応するレーザビーム
毎に次のようにして処理される。First, the level adjustment processing will be described with reference to the flowchart shown in FIG. The laser beam emitted from the AOM 18 enters a photoelectric converter 60 attached to a closed shutter. This level adjustment process is performed in a state where an amplitude correction signal of a constant voltage level is supplied to the total level control circuits 70AB to 70GH, and is processed as follows for each laser beam corresponding to each of the oscillation circuits 62A to 62H. .

【００３７】ステップ１００ではＮの初期値として１を
設定し、ステップ１０２では８本のレーザビームの第１
番目のＡＯＭドライバ２０のスイッチ回路のみをオンす
る画像データを、文字生成回路９４、遅延回路５８を介
してスイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈへ供給する。これによ
り、発振回路６２Ａ〜６２Ｈから信号を出力した状態で
スイッチ回路６６Ａだけがオン状態になる。次のステッ
プ１０４では予め記憶されている記録倍率毎の基準値の
うち現在設定されている記録倍率に対応する基準値Ｌ１
を取り込む。ステップ１０６では、光電変換器６０で受
光しＡＤＣ８２でデジタル値に変換されてレジスタ９０
に保持されている８本のレーザビームの第１番目のレー
ザビームのパワーＰ１を取り込む。ステップ１０８では
設定値Ｌ１とＰ１値の偏差Ｘを演算し、設定値Ｌ１とＰ
１値とが等しいか否か判断する。ステップ１０８の判定
が肯定された場合、すなわち偏差Ｘが０の場合にはステ
ップ１１０へ移行してローカルレベル制御回路６４Ａへ
出力するレベル制御信号の電圧レベルとしてＰ１値を記
憶する。また、ステップ１０８の判定が否定された場
合、すなわち偏差Ｘが０以外の場合にはステップ１１２
へ移行し、ローカルレベル制御回路６４へ出力するレベ
ル制御信号の電圧レベルとしてＰ１値に偏差Ｘを加算し
た値を記憶する。In step 100, 1 is set as an initial value of N, and in step 102, the first of eight laser beams is set.
The image data for turning on only the switch circuit of the AOM driver 20 is supplied to the switch circuits 66A to 66H via the character generation circuit 94 and the delay circuit 58. As a result, only the switch circuit 66A is turned on with the signals output from the oscillation circuits 62A to 62H. In the next step 104, the reference value L1 corresponding to the currently set recording magnification among the reference values for each recording magnification stored in advance.
Take in. In step 106, the light is received by the photoelectric converter 60, converted into a digital value by the ADC 82, and
The power P1 of the first laser beam among the eight laser beams held in the first stage is taken in. In step 108, the deviation X between the set values L1 and P1 is calculated, and the set values L1 and P1 are calculated.
It is determined whether or not 1 value is equal. If the determination in step 108 is affirmative, that is, if the deviation X is 0, the process proceeds to step 110 to store the value P1 as the voltage level of the level control signal output to the local level control circuit 64A. If the determination in step 108 is negative, that is, if the deviation X is other than 0, step 112
Then, the value obtained by adding the deviation X to the P1 value is stored as the voltage level of the level control signal output to the local level control circuit 64.

【００３８】ステップ１１４では、ステップ１１０また
はステップ１１２で記憶したレベル制御信号の電圧レベ
ルを表すデータを、第１番目のレーザビームのパワーを
制御するローカルレベル制御回路６４Ａに対応するレジ
スタ８４Ａへ出力する。これにより、ローカルレベル制
御回路６４Ａには、レジスタ８４Ａに記憶された値がＤ
ＡＣ８６Ａによりアナログ電圧値に変換されてレベル制
御信号として入力される。従って、光電変換器６０で受
光されたレーザビームのパワーが基準値より大きい場合
にはローカルレベル制御回路６４Ａへ出力するレベル制
御信号の電圧レベルを低下させ、信号の振幅が小さくな
るように制御し、受光されたレーザビームのパワーが基
準値より小さいときはローカルレベル制御回路６４Ａへ
出力するレベル制御信号の電圧レベルを上昇させ、信号
の振幅が大きくなるように制御する。この結果、ＡＯＭ
から射出された第１番目のレーザビームのパワーが記録
倍率に応じた基準値Ｌ１となるように調整される。At step 114, the data representing the voltage level of the level control signal stored at step 110 or 112 is output to the register 84A corresponding to the local level control circuit 64A for controlling the power of the first laser beam. . As a result, the value stored in the register 84A is stored in the local level control circuit 64A.
The signal is converted into an analog voltage value by the AC 86A and input as a level control signal. Therefore, when the power of the laser beam received by the photoelectric converter 60 is higher than the reference value, the voltage level of the level control signal output to the local level control circuit 64A is reduced, and the control is performed so that the signal amplitude is reduced. When the power of the received laser beam is smaller than the reference value, the voltage level of the level control signal output to the local level control circuit 64A is increased so that the amplitude of the signal is increased. As a result, AOM
Is adjusted so that the power of the first laser beam emitted from the laser beam becomes a reference value L1 corresponding to the recording magnification.

【００３９】ステップ１１６ではＮ≧８か否かを判定し
てレベル調整を行うレーザビームの残り本数を判断し、
未だレベル調整するレーザビームが有るときには、ステ
ップ１１８でＮを１インクリメントしてステップ１０２
へ戻り、次のレーザビームのレベル調整を行う。これに
より、スイッチ回路６６Ｂ〜６６Ｈを順にオンして上記
と同様にして、発振回路６２Ｂ〜６２Ｈについてレベル
調整が行われ、このチェック期間では発振回路６２Ａ〜
６２Ｈの全てについてのレベル調整が個々に行われる。
全てのレーザビームのレベル調整が終了した場合には、
この制御ルーチンを終了する。このようにして、記録倍
率の変更やＨｅ−Ｎｅレーザ１２から入射されるレーザ
ビームのパワーの変動に応じて信号の振幅が調整され、
ＡＯＭ１８から１本のレーザビームを射出させた場合の
レーザビームのパワーが記録倍率に応じた所定値にな
る。また、画像記録中にＡＯＭ１８から１本のレーザビ
ームを射出させた場合のレーザビームのパワーが前記所
定値を維持するように、上記のレジスタ８４Ａ〜８４Ｈ
の各々に電圧値Ｐ１〜Ｐ８が記憶される。In step 116, it is determined whether or not N ≧ 8, and the remaining number of laser beams for level adjustment is determined.
If there is still a laser beam whose level is to be adjusted, N is incremented by one in step 118 and step 102
Then, the level of the next laser beam is adjusted. As a result, the switch circuits 66B to 66H are sequentially turned on to adjust the levels of the oscillation circuits 62B to 62H in the same manner as described above. During this check period, the oscillation circuits 62A to 62H are turned on.
The level adjustment for all of 62H is performed individually.
When level adjustment of all laser beams is completed,
This control routine ends. In this manner, the amplitude of the signal is adjusted in accordance with the change in the recording magnification and the fluctuation in the power of the laser beam incident from the He-Ne laser 12,
The power of the laser beam when one laser beam is emitted from the AOM 18 becomes a predetermined value corresponding to the recording magnification. Further, the registers 84A to 84H are so arranged that the power of the laser beam when one laser beam is emitted from the AOM 18 during the image recording maintains the predetermined value.
Are stored with voltage values P1 to P8.

【００４０】上記レベル調整処理に続いて振幅補正処理
が行われる。この振幅補正処理について、図６のフロー
チャートを参照して説明する。Following the level adjustment process, an amplitude correction process is performed. This amplitude correction processing will be described with reference to the flowchart in FIG.

【００４１】ステップ１２０では補正ステップ幅ＧＡ１
及び補正値ＧＡ２に初期値を設定する。次のステップ１
２２では補正値ＧＡ２を補正データとしてレジスタ５０
にセットする。これにより、第２ＤＡＣ５６に補正値Ｇ
Ａ２に対応した電圧レベルの基準電圧Ｖ_REF が入力され
る。ステップ１２４ではスイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈの
いずれかがオンするような画像データを文字生成回路９
４、遅延回路５８を介してスイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈ
へ供給する。また、この画像データは信号数計数回路５
４を介して第２ＤＡＣ５６へも供給され、第２ＤＡＣ５
６は１本のレーザビームを射出させる場合の振幅補正信
号をトータルレベル制御回路７０ＡＢ〜７０ＧＨに供給
する。これにより、８本のうちの１本のレーザビームの
みがＡＯＭ１８から射出されて光電変換器６０で受光さ
れ、該レーザビームのパワーが増幅器８８、ＡＤＣ８２
を介してデジタルデータへ変換され、レジスタ９０に保
持される。ステップ１２６ではレジスタ９０に保持され
たレーザビームのパワーを取込み、ＬＥ１として記憶す
る。In step 120, the correction step width GA1
And an initial value for the correction value GA2. Next Step 1
At 22, the correction value GA2 is used as the correction data in the register 50.
Set to. As a result, the correction value G is stored in the second DAC 56.
A reference voltage V _REF of a voltage level corresponding to A2 is input. In step 124, image data such that one of the switch circuits 66A to 66H is turned on is output to the character generation circuit 9.
4. Switch circuits 66A to 66H via delay circuit 58
Supply to Also, this image data is sent to the signal number counting circuit 5.
4 to the second DAC 56 and the second DAC 5
Numeral 6 supplies an amplitude correction signal for emitting one laser beam to the total level control circuits 70AB to 70GH. As a result, only one of the eight laser beams is emitted from the AOM 18 and received by the photoelectric converter 60, and the power of the laser beam is increased by the amplifier 88 and the ADC 82.
Is converted to digital data via the register 90 and held in the register 90. In step 126, the power of the laser beam held in the register 90 is fetched and stored as LE1.

【００４２】ステップ１２８ではスイッチ回路６６Ａ〜
６６Ｈの全てがオンするような画像データを文字生成回
路９４、遅延回路５８を介してスイッチ回路６６Ａ〜６
６Ｈへ供給する。また、第２ＤＡＣ５６は８本のレーザ
ビームを射出する場合の前記基準電圧Ｖ_REF に対応した
レベルの振幅補正信号をトータルレベル制御回路７０Ａ
Ｂ〜７０ＧＨに供給する。これにより、８本のレーザビ
ームがＡＯＭ１８から射出されて光電変換器６０で受光
され、この８本のレーザビームのパワーの合計を表すデ
ータが増幅器８８、ＡＤＣ８２を介してデジタルデータ
へ変換され、レジスタ９０に保持される。ステップ１３
０ではレジスタ９０に保持されたレーザビームのパワー
を取込み、ＬＥ８として記憶する。次のステップ１３２
では前記ＬＥ１のパワーを８倍した値とＬＥ８との偏差
ΔＬを演算する。この偏差ΔＬは、ＡＯＭ１８から１本
のレーザビームを射出させた場合のレーザビームのパワ
ーと、ＡＯＭ１８から８本のレーザビームを射出させた
場合のレーザビーム１本当りのパワーと、の偏差の８倍
の値である。In step 128, the switch circuits 66A to 66A
The image data that turns on all of the switches 66H is switched via the character generation circuit 94 and the delay circuit 58 to the switch circuits 66A to 66A.
Supply to 6H. The second DAC 56 outputs an amplitude correction signal having a level corresponding to the reference voltage V _REF when emitting eight laser beams to the total level control circuit 70A.
B to 70 GH. As a result, eight laser beams are emitted from the AOM 18 and received by the photoelectric converter 60, and data representing the total power of the eight laser beams is converted into digital data via the amplifier 88 and the ADC 82, and 90. Step 13
At 0, the power of the laser beam held in the register 90 is fetched and stored as LE8. Next step 132
Then, a deviation ΔL between the value obtained by multiplying the power of the LE1 by 8 and LE8 is calculated. The deviation ΔL is the difference between the power of the laser beam when one laser beam is emitted from the AOM 18 and the power per laser beam when eight laser beams are emitted from the AOM 18. It is a double value.

【００４３】ステップ１３４では補正ステップ幅ＧＡ１
を２で除算する。ステップ１３６ではステップ１３４の
演算を行った結果ＧＡ１が１よりも小さくなったか否か
判定する。ステップ１３６の判定が否定された場合には
ステップ１３８へ移行し、ΔＬの値が０か、０よりも大
きいか、または０よりも小さいかを判定する。ステップ
１３８でΔＬの値が０よりも大きいと判断した場合に
は、ステップ１４０で補正値ＧＡ２に前記補正ステップ
幅ＧＡ１を加算した値を設定してステップ１２２へ戻
る。またステップ１３８でΔＬの値が０よりも小さいと
判断した場合には、ステップ１４２で補正値ＧＡ２から
前記補正ステップ幅ＧＡ１を減算した値を設定してステ
ップ１２２へ戻る。In step 134, the correction step width GA1
Is divided by 2. Results GA1 of <br/> was calculation of step 136 In step 134, it is determined whether it is less than 1. If the determination in step 136 is negative, the process proceeds to step 138, where it is determined whether the value of ΔL is 0, larger than 0, or smaller than 0. If it is determined in step 138 that the value of ΔL is larger than 0, a value obtained by adding the correction step width GA1 to the correction value GA2 is set in step 140, and the process returns to step 122. If it is determined in step 138 that the value of ΔL is smaller than 0, a value obtained by subtracting the correction step width GA1 from the correction value GA2 is set in step 142, and the process returns to step 122.

【００４４】ステップ１２２ではステップ１４０または
ステップ１４２で値が変更された補正値ＧＡ２が再びセ
ットする。これにより変更された補正値に応じた振幅補
正信号がトータルレベル制御回路７０ＡＢ〜７０ＧＨに
供給され、ステップ１２４以下では変更された補正値に
基づいて前記ΔＬを演算して補正値ＧＡ２を再度演算す
る。なお、補正ステップ幅ＧＡ１はステップ１２２乃至
ステップ１４４の処理が１回実行される毎に値が半分と
なり補正値ＧＡ２の変更幅は徐々に小さくされる。この
ため補正値ＧＡ２の値の収束は速く、ステップ１２２乃
至ステップ１４４の処理の実行回数は少なくて済む。ス
テップ１３８でΔＬの値が０と判断された場合には処理
を終了する。In step 122, the correction value GA2 whose value has been changed in step 140 or 142 is set again. As a result, an amplitude correction signal corresponding to the changed correction value is supplied to the total level control circuits 70AB to 70GH, and in step 124 and subsequent steps, the ΔL is calculated based on the changed correction value to calculate the correction value GA2 again. . Note that the value of the correction step width GA1 is reduced to half each time the processing of steps 122 to 144 is performed once, and the change width of the correction value GA2 is gradually reduced. Therefore, the value of the correction value GA2 converges quickly, and the number of executions of the processing of steps 122 to 144 can be reduced. If it is determined in step 138 that the value of ΔL is 0, the process ends.

【００４５】また、ステップ１３６の判定が肯定された
場合には、ステップ１４４へ移行する。ステップ１４４
ではＧＡ２の値が０またはＦＦＨとなったか否か判定す
る。なお、前記Ｈは１６進数表示であることを表し、Ｆ
ＦＨは８ビットの全てのビットが１であることを表す。
ステップ１４４の判定が肯定された場合にはステップ１
４６で補正不能を表示して処理を終了する。また、ステ
ップ１４４の判定が否定された場合は補正ステップ幅Ｇ
Ａ１を１以下にすることができないため処理を終了す
る。If the determination in step 136 is affirmative, the process proceeds to step 144. Step 144
Then, it is determined whether the value of GA2 is 0 or FFH. Note that H represents hexadecimal notation, and F
FH indicates that all 8 bits are 1.
If the determination in step 144 is affirmative, step 1
At 46, the display indicates that correction is impossible, and the process ends. If the determination in step 144 is negative, the correction step width G
Since A1 cannot be set to 1 or less, the process ends.

【００４６】以上の処理によって補正値ＧＡ２（信号の
オンの数の変化に対する振幅補正信号の変化の傾き）が
決定され、補正データとしてレジスタ５０に保持され
る。この補正値ＧＡ２は第１ＤＡＣ５２でアナログ信号
に変換され、画像を記録している間第２ＤＡＣ５６へ基
準電圧Ｖ_REF として供給される。また、第２ＤＡＣ５６
には画像データのオンの数に対応するデータが信号数計
数回路５４から供給され、第２ＤＡＣ５６は画像データ
のオンの数のレーザビームを射出させる場合の基準電圧
Ｖ_REF に応じた振幅補正信号を出力する。この振幅補正
信号は増幅器９６を介してトータルレベル制御回路７０
ＡＢ、７０ＣＤ、７０ＥＦ、７０ＧＨの各々に供給され
る。トータルレベル制御回路はこの振幅補正信号に応じ
てコンバイナ６８ＡＢ〜６８ＧＨから出力された信号の
振幅を補正する。これによって、ＡＯＭ１８から出力さ
れるレーザビームの各々のパワーは第８図に示すように
信号のオンの数に拘わらず一定になり、かつ画像記録倍
率に拘わらず一定となる。また、Ｈｅ−Ｎｅレーザ１２
から入射されるレーザビームのパワーが変動しても一定
となる。従って画像の濃度むらが防止される。By the above processing, the correction value GA2 (signal
The slope of the change in the amplitude correction signal with respect to the change in the number of ONs) is determined and held in the register 50 as correction data. This correction value GA2 is converted into an analog signal by the first DAC 52, and is supplied to the second DAC 56 as a reference voltage V _REF during image recording. Also, the second DAC 56
The data corresponding to the number of ON of the image data is supplied from the signal number counting circuit 54, and the second DAC 56 outputs an amplitude correction signal corresponding to the reference voltage V _REF for emitting the laser beam of the number of ON of the image data. Output. This amplitude correction signal is supplied to a total level control circuit 70 through an amplifier 96.
AB, 70CD, 70EF, and 70GH. The total level control circuit corrects the amplitude of the signal output from the combiners 68AB to 68GH according to the amplitude correction signal. As a result, as shown in FIG. 8, the power of each laser beam output from the AOM 18 becomes constant irrespective of the number of ON signals and becomes constant irrespective of the image recording magnification. In addition, the He-Ne laser 12
It becomes constant even if the power of the laser beam incident from the laser varies. Therefore, density unevenness of the image is prevented.

【００４７】このように、本実施例ではまず複数のレー
ザビームをＡＯＭ１８から１本毎に射出させて各々のパ
ワーが基準値となるようにローカルレベル制御回路６４
Ａ〜６４Ｈで制御し、次に１本のレーザビームを射出さ
せてパワーを測定し、８本のレーザビームを射出させて
パワーを測定し、この２つの測定値に基づいてレーザビ
ーム１本当りのパワーの偏差を演算してこの偏差が射出
させるレーザビームの数に拘わらず０になるように振幅
を補正するようにしたので、ＡＯＭ１８に入力する信号
の振幅を変更した場合にも、ＡＯＭ１８から射出させる
複数本のレーザビームのレーザビーム１本当りのパワー
を、射出させるレーザビームの数に拘わらず正確にかつ
自動的に一定にすることができる。As described above, in the present embodiment, first, a plurality of laser beams are emitted from the AOM 18 one by one, and the local level control circuit 64 controls the respective powers to the reference value.
A to 64H are controlled, then one laser beam is emitted to measure the power, and eight laser beams are emitted to measure the power. Based on these two measured values, one laser beam is emitted. And the amplitude is corrected so that the difference becomes 0 irrespective of the number of laser beams to be emitted. Therefore, even when the amplitude of the signal input to the AOM 18 is changed, the AOM 18 The power per laser beam of a plurality of laser beams to be emitted can be accurately and automatically made constant regardless of the number of laser beams to be emitted.

【００４８】また、本実施例ではリレーや可変抵抗器等
の部品を用いていないので集積度を向上させることが容
易であり、レーザビーム走査装置を小型化できる。ま
た、可変抵抗器等の部品を用いていないため、抵抗値の
調整等の作業は不要である。In this embodiment, since components such as a relay and a variable resistor are not used, the degree of integration can be easily improved, and the laser beam scanning device can be downsized. Further, since components such as a variable resistor are not used, there is no need to perform an operation such as adjusting a resistance value.

【００４９】なお、ＡＯＭドライバ２０を図９に示すよ
うな回路構成としてもよい。図９に示すＡＯＭドライバ
２０ではローカルレベル制御回路６４Ａ〜６４Ｈ及びト
ータルレベル制御回路７０ＡＢ〜７０ＧＨに代えてレベ
ル制御回路９９Ａ〜９９Ｈ及び加算器９８Ａ〜９８Ｈが
設けられている。ＤＡＣ８６Ａ〜８６Ｈの各々から出力
されたレベル制御信号は、加算器９８Ａ〜９８Ｈに入力
される。また、第２ＡＣ５６から出力された振幅補正信
号も増幅器９６を介して加算器９８Ａ〜９８Ｈに各々入
力される。加算器９８Ａ〜９８Ｈは、各々に入力された
前記レベル制御信号と振幅補正信号との和に対応するレ
ベルの振幅制御信号をレベル制御回路９９Ａ〜９９Ｈの
制御端に入力する。このためこの振幅制御信号は、ＡＯ
Ｍ１８から１本のレーザビームを射出させたときのパワ
ーを記録倍率に応じた基準値に維持し、かつＡＯＭ１８
から複数のレーザビームを射出させたときのレーザビー
ム１本当りのパワーを前記基準値にする信号となる。従
って、ＡＯＭ１８に入力する信号の振幅を変更した場合
にも、ＡＯＭ１８から射出させるレーザビームのレーザ
ビーム１本当りのパワーを射出させるレーザビームの本
数に拘わらず一定にすることができる。The AOM driver 20 may have a circuit configuration as shown in FIG. The AOM driver 20 shown in FIG. 9 includes level control circuits 99A to 99H and adders 98A to 98H instead of the local level control circuits 64A to 64H and the total level control circuits 70AB to 70GH. The level control signals output from each of the DACs 86A to 86H are input to adders 98A to 98H. The amplitude correction signal output from the second AC 56 is also input to the adders 98A to 98H via the amplifier 96. The adders 98A to 98H input amplitude control signals having levels corresponding to the sum of the level control signals and the amplitude correction signals input to the control terminals of the level control circuits 99A to 99H, respectively. Therefore, the amplitude control signal is AO
The power when one laser beam is emitted from M18 is maintained at a reference value corresponding to the recording magnification, and the AOM18
A signal that sets the power per laser beam when a plurality of laser beams are emitted from the laser beam to the reference value. Therefore, even when the amplitude of the signal input to the AOM 18 is changed, the power per laser beam emitted from the AOM 18 can be kept constant regardless of the number of the emitted laser beams.

【００５０】なお、本実施例ではレーザビームのパワー
検出を行う光電変換器６０をレーザビームの記録走査光
路上に設けられたシャッター６１に設けた例について説
明したが、ＡＯＭ１８のレーザビーム射出側に透過率の
低いミラーを配置し、このミラーの裏側にセンサーを配
置してもよい。また、シャッター上に反射ミラーを設
け、その反射光を受光可能な位置に光電変換器等を設け
てレーザビームのパワーを検出してもよい。In this embodiment, an example has been described in which the photoelectric converter 60 for detecting the power of the laser beam is provided on the shutter 61 provided on the recording / scanning optical path of the laser beam. A mirror having a low transmittance may be arranged, and a sensor may be arranged behind the mirror. Alternatively, a reflection mirror may be provided on the shutter, and a photoelectric converter or the like may be provided at a position where the reflected light can be received to detect the power of the laser beam.

【００５１】また、本実施例では２つの信号を混合する
コンバイナ６８ＡＢ〜６８ＧＨの後段にトータルレベル
制御回路７０ＡＢ〜７０ＧＨを接続した例について説明
したが、コンバイナ７４、７６の後段またはコンバイナ
７８の後段にトータルレベル制御回路を接続してもよ
い。また、上記では光変調器として音響光学素子を用い
た例について説明したが、光導波路形変調器を用いても
よい。In this embodiment, an example is described in which the total level control circuits 70AB to 70GH are connected after the combiners 68AB to 68GH for mixing two signals. A total level control circuit may be connected. In the above description, an example using an acousto-optic element as the optical modulator has been described, but an optical waveguide modulator may be used.

【００５２】さらに、本実施例ではレーザビームのパワ
ー補正を１齣毎の非記録時に行う例について説明した
が、少なくとも１以上の主走査毎、少なくとも１以上の
画像毎または少なくとも１以上のフィッシュ毎に行って
もよく、またこれらを組合せた時期に行ってもよい。Furthermore, in this embodiment, an example has been described in which the power of the laser beam is corrected during non-recording for each exposure, but at least one or more main scans, at least one or more images, or at least one or more fishes. May be performed at a time when these are combined.

【００５３】また、本実施例では光ビームとしてレーザ
ビームを用いた光ビーム走査装置の例について説明した
が、ＬＥＤの光を光ビームとして用いる走査装置でもよ
く、また、他の光源を用いて光ビームにしてもよい。In this embodiment, an example of a light beam scanning device using a laser beam as a light beam has been described. However, a scanning device using LED light as a light beam may be used. It may be a beam.

【００５４】[0054]

【発明の効果】請求項１記載の発明では、所定数の信号
を音響光学素子に個々に入力したときに射出される単一
光ビームのパワーを測定し、測定したパワーが各々所定
値となるように前記信号の振幅を各々制御した後に、複
数の信号を混合して入力したときに射出される複数光ビ
ームのパワーを測定し、混合入力する信号の数の変化に
対する制御信号の変化の傾きを、任意の数の信号を混合
入力したときに射出される任意の数の光ビームの単一光
ビーム当りのパワーが所定値に等しくなるように決定
し、混合入力する信号の数に従い決定した傾きに応じて
変化させた制御信号によって信号の振幅を補正するよう
にしたので、音響光学素子に入射される光ビームのパワ
ーが変化した場合や、単一光ビーム当りのパワーの目標
値が変更された場合にも、音響光学素子から射出させる
光ビームの単一光ビーム当りのパワーを射出させる光ビ
ームの本数に拘わらず一定にすることができる、という
優れた効果が得られる。According to the first aspect of the present invention, the power of a single light beam emitted when a predetermined number of signals are individually input to the acousto-optic device is measured, and the measured powers become predetermined values. After controlling the amplitude of each of the signals as described above, the power of a plurality of light beams emitted when a plurality of signals are mixed and input is measured, and a change in the number of signals to be mixed and input is measured.
Mix any number of signals with the slope of the control signal change
A single light of any number of light beams emitted when entered
Determined so that power per beam is equal to predetermined value
And according to the slope determined according to the number of mixed input signals
Since the amplitude of the signal is corrected by the changed control signal, the power of the light beam incident on the acousto-optic element is adjusted.
Changes, or the target power per single light beam
Even when the value is changed, there is an excellent effect that the power per light beam emitted from the acousto-optic element can be kept constant regardless of the number of emitted light beams.

【００５５】請求項２記載の発明では、第１の入力手段
が、第１の振幅制御回路へ第１の制御信号を入力すると
共に、測定手段によって測定された、前記所定数の信号
を１個ずつ音響光学素子へ各々入力したときに射出され
る各光ビームのパワーに基づいて、所定数の信号を１個
ずつ音響光学素子へ各々入力したときに射出される各光
ビームのパワーが各々所定値になるように第１の制御信
号を調整し、第２の入力手段が、第２の振幅制御回路へ
第２の制御信号を入力すると共に、第１の入力手段が第
１の制御信号の調整を行った後に測定手段によって測定
された、複数の信号を混合して音響光学素子に入力した
ときに射出される複数光ビームのパワーと所定値とを比
較して、混合して入力する信号の数の変化に対する第２
の制御信号の変化の傾きを、任意の数の信号を混合して
入力したときに射出される任意の数の光ビームの単一光
ビーム当りのパワーが所定値に等しくなるように決定
し、混合入力する信号の数に従い決定した傾きに応じて
第２の制御信号を調整するので、音響光学素子に入射さ
れる光ビームのパワーが変化した場合や、単一光ビーム
当りのパワーの目標値が変更された場合にも音響光学素
子から射出させる光ビームの単一光ビーム当りのパワー
を射出させる光ビームの本数に拘わらず一定にすること
ができる、という優れた効果が得られる。[0055] In the second aspect of the present invention, the first input means, to the first amplitude control circuit inputs the first control signal, measured by the measuring means, the pre-Symbol predetermined number of signals 1 Based on the power of each light beam emitted when each is input to the acousto-optic element, the power of each light beam emitted when a predetermined number of signals are respectively input to the acousto-optic element is The first control signal is adjusted so as to have a predetermined value, the second input means inputs the second control signal to the second amplitude control circuit, and the first input means outputs the first control signal. The power of a plurality of light beams emitted when a plurality of signals are mixed and input to the acousto-optic element, measured by the measuring means after the adjustment, is compared with a predetermined value.
In comparison, the change in the number of mixed input signals
The slope of the change in the control signal of any number of signals
A single light of any number of light beams emitted when entered
Determined so that power per beam is equal to predetermined value
And, since adjusting the <br/> second control signal in accordance with the inclination determined in accordance with the number of mixing the input signal, it is incident on the acousto-optic device
If the power of the light beam that is
An excellent effect that the power per light beam emitted from the acousto-optic element can be kept constant irrespective of the number of emitted light beams even when the target value of the hit power is changed. Is obtained.

【００５６】請求項３記載の発明では、第１の出力手段
が、所定数の信号の振幅を各々独立に制御するための第
１の制御信号を出力すると共に、測定手段によって測定
された、所定数の信号を１個ずつ音響光学素子へ各々入
力したときに射出される各光ビームのパワーに基づい
て、所定数の信号を１個ずつ音響光学素子へ各々入力し
たときに射出される各光ビームのパワーが各々所定値に
なるように第１の制御信号を調整し、第２の出力手段
が、所定数の信号の振幅を各々同じように制御するため
の第２の制御信号を出力すると共に、第１の出力手段が
第１の制御信号の調整を行った後に測定手段によって測
定された、複数の信号を音響光学素子に入力したときに
射出される複数光ビームのパワーと所定値とを比較し
て、混合して入力する信号の数の変化に対する第２の制
御信号の変化の傾きを、任意の数の信号を混合して入力
したときに射出される任意の数の光ビームの単一光ビー
ム当りのパワーが所定値に等しくなるように決定し、混
合入力する信号の数に従い決定した傾きに応じて第２の
制御信号を調整し、入力手段が第１の制御信号と第２の
制御信号との和を振幅制御信号として振幅制御回路へ入
力するので、音響光学素子に入射される光ビームのパワ
ーが変化した場合や、単一光ビーム当りのパワーの目標
値が変更された場合にも音響光学素子から射出させる光
ビームの単一光ビーム当りのパワーを射出させる光ビー
ムの本数に拘わらず一定にすることができる、という優
れた効果が得られる。According to the third aspect of the present invention, the first output means outputs the first control signal for independently controlling the amplitudes of the predetermined number of signals, and the first output means outputs the first control signal. Each light emitted when a predetermined number of signals are respectively input to the acousto-optic element based on the power of each light beam emitted when the number of signals is individually input to the acousto-optic element. The first control signal is adjusted so that the power of the beam becomes a predetermined value, and the second output means outputs a second control signal for controlling the amplitude of the predetermined number of signals in the same manner. In addition, the power of a plurality of light beams emitted when the plurality of signals are input to the acousto-optic element and measured by the measuring means after the first output means adjusts the first control signal, and a predetermined value. Compare
And the second control for the change in the number of mixed input signals.
Input the slope of control signal change by mixing any number of signals
A single light beam of any number of light beams
The power per unit is determined to be equal to the specified value,
The second control signal is adjusted according to the slope determined according to the number of signals to be input, and the input means inputs the sum of the first control signal and the second control signal to the amplitude control circuit as an amplitude control signal. Therefore, the power of the light beam
Changes, or the target power per single light beam
Even when the value is changed , an excellent effect is obtained that the power per light beam emitted from the acousto-optic element can be kept constant regardless of the number of emitted light beams.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本実施例に係るレーザビーム記録装置の制御回
路近傍の概略構成を示す概略ブロック図である。FIG. 1 is a schematic block diagram illustrating a schematic configuration near a control circuit of a laser beam recording apparatus according to an embodiment.

【図２】ＡＯＭドライバの概略構成を示す概略ブロック
図である。FIG. 2 is a schematic block diagram illustrating a schematic configuration of an AOM driver.

【図３】レーザビーム記録装置の概略構成図である。FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a laser beam recording device.

【図４】ＤＡＣ（デジタル−アナログ変換器）の基準電
圧Ｖ_REF を変化させた場合の、信号のオンの数と出力信
号のレベルとの関係の変化を示す線図である。FIG. 4 is a diagram showing a change in the relationship between the number of ON signals and the level of an output signal when a reference voltage V _REF of a DAC (digital-analog converter) is changed.

【図５】本実施例の作用としてレベル調整処理を説明す
るフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart illustrating a level adjustment process as an operation of the embodiment.

【図６】振幅補正処理を説明するフローチャートであ
る。FIG. 6 is a flowchart illustrating amplitude correction processing.

【図７】非記録期間を説明するタイムチャートである。FIG. 7 is a time chart illustrating a non-recording period.

【図８】記録倍率を変更した場合の、信号のオンの数と
ＡＯＭから射出されるレーザビームのパワーとの関係を
表す線図である。FIG. 8 is a diagram illustrating the relationship between the number of signal ONs and the power of the laser beam emitted from the AOM when the recording magnification is changed.

【図９】ＡＯＭドライバの他の例の概略構成を示す概略
ブロック図である。FIG. 9 is a schematic block diagram illustrating a schematic configuration of another example of the AOM driver.

【図１０】（Ａ）は音響光学素子から射出するビーム本
数を変化させた場合のビーム１本当りの回折効率の変化
を表す図表、（Ｂ）はビームのパワーを変化させた場合
のビーム１本当りの回折効率の変化を表す図表である。FIG. 10A is a table showing a change in diffraction efficiency per beam when the number of beams emitted from the acousto-optic element is changed, and FIG. 10B is a diagram showing a beam 1 when the power of the beam is changed. 5 is a table showing a change in diffraction efficiency per book.

【図１１】従来の技術によりレーザビームの書込みパワ
ーの変更による画像の濃度むらを防止するようにした回
路の概略構成図である。FIG. 11 is a schematic configuration diagram of a circuit for preventing image density unevenness due to a change in laser beam writing power according to a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０ レーザビーム記録装置 １２ Ｈｅ−Ｎｅレーザ １８ ＡＯＭ（音響光学素子） ５２ 第１ＤＡＣ（デジタル−アナログ変換器） ５６ 第２ＤＡＣ（デジタル−アナログ変換器） ６０ 光電変換器 ６２ 発振回路 ６４ ローカルレベル制御回路 ６８ コンバイナ ７０ トータルレベル制御回路 ７４ コンバイナ ７６ コンバイナ ８０ ＣＰＵ Reference Signs List 10 laser beam recording device 12 He-Ne laser 18 AOM (acousto-optic element) 52 first DAC (digital-to-analog converter) 56 second DAC (digital-to-analog converter) 60 photoelectric converter 62 oscillation circuit 64 local level control circuit 68 Combiner 70 Total level control circuit 74 Combiner 76 Combiner 80 CPU

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 所定の振幅で異なる周波数の所定数の信
号のうちの少なくとも１個が入力され該入力された信号
の振幅に応じたパワーでかつ入力された信号の周波数に
応じた方向へ入射された光ビームを射出させる音響光学
素子を備えた光ビーム走査系の複数光ビームのパワーを
補正するにあたり、 前記所定数の信号を個々に入力したときに射出される単
一光ビームのパワーを測定し、 前記所定数の信号を個々に入力したときに射出される単
一光ビームのパワーが各々所定値となるように前記信号
の振幅を各々制御した後に、 複数の信号を混合して入力したときに射出される複数光
ビームのパワーを測定し、前記複数光ビームのパワーの測定結果と前記所定値とを
比較して、混合して入力する信号の数の変化に対する制
御信号の変化の傾きを、任意の数の信号を混合して入力
したときに射出される任意の数の光ビームの単一光ビー
ム当りのパワーが前記所定値に等しくなるように決定
し、 混合入力する信号の数に従い前記決定した傾きに応じて
変化させた制御信号によって 前記信号の振幅を補正する
複数光ビームのパワー補正方法。At least one of a predetermined number of signals having a predetermined amplitude and a different frequency is input, and is incident at a power according to the amplitude of the input signal and in a direction corresponding to the frequency of the input signal. In correcting the power of the plurality of light beams of the light beam scanning system including the acousto-optic element that emits the light beam, the power of the single light beam emitted when the predetermined number of signals are individually input. After measuring and controlling the amplitude of the signals so that the power of the single light beam emitted when the predetermined number of signals are individually input becomes a predetermined value, a plurality of signals are mixed and input. Measuring the power of the plurality of light beams emitted when the measurement is performed, and comparing the measurement result of the power of the plurality of light beams with the predetermined value.
Control the change in the number of mixed input signals.
Input the slope of control signal change by mixing any number of signals
A single light beam of any number of light beams
Determined so that power per unit is equal to the specified value
And according to the number of input signals,
A power correction method for a plurality of light beams, wherein the amplitude of the signal is corrected by a changed control signal . 【請求項２】 異なる周波数の信号を各々出力する所定
数の発振回路と、 前記所定数の発振回路から出力された信号の各々の振幅
を入力された第１の制御信号に応じて各々独立に制御す
る所定数の第１の振幅制御回路と、 前記所定数の発振回路から出力された所定数の信号の振
幅を入力された第２の制御信号に応じて各々同じように
制御する第２の振幅制御回路と、 前記第１の振幅制御回路及び前記第２の振幅制御回路で
振幅が制御された少なくとも１個の信号が入力され入力
された信号の振幅に応じたパワーでかつ入力された信号
の周波数に応じた方向へ入射された光ビームを射出させ
る音響光学素子と、 音響光学素子から射出された光ビームのパワーを測定す
る測定手段と、 前記第１の振幅制御回路へ前記第１の制御信号を入力す
ると共に、前記測定手段によって測定された、前記所定
数の信号を１個ずつ音響光学素子へ各々入力したときに
射出される各光ビームのパワーに基づいて、前記所定数
の信号を１個ずつ音響光学素子へ各々入力したときに射
出される各光ビームのパワーが各々所定値になるように
前記第１の制御信号を調整する第１の入力手段と、 前記第２の振幅制御回路へ前記第２の制御信号を入力す
ると共に、前記第１の入力手段が前記第１の制御信号の
調整を行った後に前記測定手段によって測定された、複
数の信号を混合して音響光学素子に入力したときに射出
される複数光ビームのパワーと前記所定値とを比較し
て、混合して入力する信号の数の変化に対する第２の制
御信号の変化の傾きを、任意の数の信号を混合して入力
したときに射出される任意の数の光ビームの単一光ビー
ム当りのパワーが前記所定値に等しくなるように決定
し、混合入力する信号の数に従い前記決定した傾きに応
じて前記第２の制御信号を調整する第２の入力手段と、 を有する光ビーム走査装置。2. A predetermined number of oscillation circuits each outputting a signal of a different frequency, and the amplitude of each of the signals output from the predetermined number of oscillation circuits is independently set in accordance with the input first control signal. A predetermined number of first amplitude control circuits to be controlled; and a second control circuit for controlling the amplitudes of the predetermined number of signals output from the predetermined number of oscillation circuits in the same manner in accordance with the input second control signal. An amplitude control circuit, and at least one signal whose amplitude is controlled by the first amplitude control circuit and the second amplitude control circuit is input and has a power corresponding to the amplitude of the input signal and the input signal An acousto-optic element for emitting a light beam incident in a direction corresponding to the frequency of: a measuring means for measuring the power of the light beam emitted from the acousto-optic element; and When a control signal is input The predetermined number of signals are output one by one based on the power of each light beam emitted when each of the predetermined number of signals measured by the measurement means is input to the acousto-optic device one by one. First input means for adjusting the first control signal so that the power of each light beam emitted when each is input to the optical element has a predetermined value; and 2. When a plurality of signals measured by the measuring means after the first input means adjusts the first control signal and the plurality of signals are mixed and input to the acousto-optical element, And comparing the power of the plurality of light beams emitted to the predetermined value with the predetermined value.
And the second control for the change in the number of mixed input signals.
Input the slope of control signal change by mixing any number of signals
A single light beam of any number of light beams
Determined so that power per unit is equal to the specified value
According to the number of input signals.
And a second input means for adjusting the second control signal. 【請求項３】 異なる周波数の信号を各々出力する所定
数の発振回路と、 発振回路の各々に接続され発振回路から出力された信号
の振幅を入力された振幅制御信号に応じて制御する振幅
制御回路と、 前記振幅制御回路から出力された所定数の信号のうちの
少なくとも１個が入力され入力された信号の振幅に応じ
たパワーでかつ入力された信号の周波数に応じた方向へ
入射された光ビームを射出させる音響光学素子と、 音響光学素子から射出された光ビームのパワーを測定す
る測定手段と、 前記所定数の発振回路から出力された所定数の信号の振
幅を各々独立に制御するための第１の制御信号を出力す
ると共に、前記測定手段によって測定された、前記所定
数の信号を１個ずつ音響光学素子へ各々入力したときに
射出される各光ビームのパワーに基づいて、前記所定数
の信号を１個ずつ音響光学素子へ各々入力したときに射
出される各光ビームのパワーが各々所定値になるように
前記第１の制御信号を調整する第１の出力手段と、 前記所定数の発振回路から出力された所定数の信号の振
幅を各々同じように制御するための第２の制御信号を出
力すると共に、前記第１の出力手段が前記第１の制御信
号の調整を行った後に前記測定手段によって測定され
た、複数の信号を混合して音響光学素子に入力したとき
に射出される複数光ビームのパワーと前記所定値とを比
較して、混合して入力する信号の数の変化に対する第２
の制御信号の変化の傾きを、任意の数の信号を混合して
入力したときに射出される任意の数の光ビームの単一光
ビーム当りのパワーが前記所定値に等しくなるように決
定し、混合入力する信号の数に従い前記決定した傾きに
応じて前記第２の制御信号を調整する第２の出力手段
と、 前記第１の出力手段から出力された第１の制御信号と前
記第２の出力手段から出力された第２の制御信号との和
を前記振幅制御信号として振幅制御回路へ入力する入力
手段と、 を有する光ビーム走査装置。3. A predetermined number of oscillation circuits each outputting a signal of a different frequency, and amplitude control connected to each of the oscillation circuits to control the amplitude of a signal output from the oscillation circuit in accordance with the input amplitude control signal. And at least one of a predetermined number of signals output from the amplitude control circuit is input with power corresponding to the amplitude of the input signal and input in a direction corresponding to the frequency of the input signal. An acousto-optic device that emits a light beam; a measuring unit that measures the power of the light beam emitted from the acousto-optic device; and independently controlling the amplitude of a predetermined number of signals output from the predetermined number of oscillation circuits. And outputting the first control signal for outputting the predetermined number of signals measured by the measuring means to the acousto-optic device one by one. Based on the first control signal, the first control signal is adjusted such that the power of each light beam emitted when each of the predetermined number of signals is input to the acousto-optic element one by one becomes a predetermined value. Output means, and outputs a second control signal for controlling the amplitude of the predetermined number of signals output from the predetermined number of oscillation circuits in the same manner, and the first output means outputs the first control signal. The power of a plurality of light beams emitted when a plurality of signals are mixed and input to the acousto-optic element, measured by the measuring means after the control signal is adjusted, is compared with the predetermined value.
In comparison, the change in the number of mixed input signals
The slope of the change in the control signal of any number of signals
A single light of any number of light beams emitted when entered
Determined so that the power per beam is equal to the predetermined value.
According to the number of signals to be mixed and input.
Second output means for adjusting the second control signal in response thereto, a first control signal output from the first output means, and a second control signal output from the second output means. Input means for inputting the sum of the above to the amplitude control circuit as the amplitude control signal.