JP2810911B2

JP2810911B2 - 露光装置

Info

Publication number: JP2810911B2
Application number: JP6063057A
Authority: JP
Inventors: 努斎藤
Original assignee: Seiko Precision Inc
Current assignee: Seiko Precision Inc
Priority date: 1994-03-31
Filing date: 1994-03-31
Publication date: 1998-10-15
Anticipated expiration: 2013-10-15
Also published as: JPH07271048A; TW278313B

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、１対の原版フィルムの
パターンを基板の両面に露光する露光装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】通常、プリント基板を製造する際には、
まず、表裏両面に全面的に銅箔が形成された樹脂基板に
対し、所望のパターンを形成した原版フィルムを介して
紫外線を露光し、その後でエッチングを行い、紫外線の
当たった部分の銅を基板から剥離させることによって、
原版フィルムと白黒反転した状態に銅箔パターンを有す
るプリント基板が完成する。または、エッチング時に露
光部以外の部分の銅が基板から剥離し原版フィルム通り
の銅箔パターンを有するプリント基板が完成する。

【０００３】上記製造方法のうちの露光工程を行なう場
合、露光部内に塵埃（ゴミやほこりなど）が存在すると
この塵埃が基板や原版フィルムに付着して、所望のパタ
ーンが露光できなくなり、その結果製造したプリント基
板の配線パターン中に導通不良の箇所が生じたりして品
質の低下をもたらすおそれがある。そこで従来は、原版
フィルムを取り替えるときに、または長時間連続運転し
た場合は定期的に、作業者が手作業で上下枠や原版フィ
ルムの清掃を行っている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記の通り、従来は露
光装置の運転を停止して手作業にて上下枠や原版フィル
ムを清掃しているため、作業は面倒で完全に塵埃を取り
除くためには作業時間が長くかかる。特に、大型の基板
を露光するために大型化したり、構成が複雑化した露光
装置においては、機械内部の上下枠や原版フィルムを手
作業で清掃するのは容易ではなく、十分な清掃が行えな
いおそれがある。また、原版フィルムを交換する度に清
掃する必要があるため、特に多種小量生産の場合には作
業効率が悪くなる。

【０００５】そこで本発明の目的は、手作業によらず自
動的に原版フィルムの清掃が可能な露光装置を提供する
ことにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、１対の原版フィルムを基板の上下に配設
した状態で基板の両面に同時露光可能な露光部と、露光
部に隣接して設けられ未露光の基板が供給される基板投
入部と、露光部と基板投入部との間で基板を搬送可能な
搬送手段とを含む露光装置において、露光部には、下原
版フィルムを保持する下枠と、下枠と対向して設けられ
上原版フィルムを保持する上枠と、両枠間に配設された
基板の両面に両原版フィルムを介して露光可能な１対の
露光用光源と、両枠の相対位置関係を調整可能な枠位置
合わせ手段が設けられており、搬送手段には、両枠間を
進退し両原版フィルムを清掃可能なクリーンローラユニ
ットが設けられている。

【０００７】クリーンローラユニットは、外周部に塵埃
を付着可能な粘着部を有し回転自在に保持されている１
対のクリーンローラと、一方のクリーンローラを上方
へ、他方のクリーンローラを下方へそれぞれ移動させる
駆動機構とを有するものである。

【０００８】さらに、クリーンローラと当接して粘着部
に付着した塵埃を除去可能な粘着テープロールを有して
いる。

【０００９】

【実施例】以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説
明する。図１は本発明の一実施例に係る露光装置を示し
ている。この露光装置は、図１及び図２に示すように、
１対の原版フィルム１，２を基板３の両面に配設した状
態で両フィルム１，２上のパターンを基板３の両面に同
時露光する露光部４と、この露光部４に隣接して配置さ
れ、未露光の基板が供給される基板投入部５と、露光部
４と基板投入部５との間で基板３を搬送する搬送手段６
と、この搬送手段６に取り付けられたクリーンローラユ
ニット４０とを備えている。

【００１０】露光部４には、基台７と、基台７上に配置
され下原版フィルム１を保持する下枠８と、下枠８の上
方にこれと対向して設けられ、上原版フィルム２を保持
する上枠９と、上枠９に対する下枠８の位置を調整して
両フィルム１，２を位置合わせする第１のアライメント
手段（枠位置合わせ手段）１０と、上枠９を上下動させ
るＺ軸シリンダ１１と、１対の露光用光源１２，１３と
が設けられている。

【００１１】基台７上にはＸＹθテーブル１６が固定的
に配設されており、その上面に下枠８が載置されてい
る。このＸＹθテーブル１６は、モータ１６ａ，１６
ｂ，１６ｃ（図２参照）の作動により下枠８をＸ，Ｙ，
θ方向に位置調節可能なものである。下枠８内には、ガ
ラスでできた透明板１４が保持されており、透明板１４
が前記基台７の開口部７ａと対向するように配置されて
いる。図３，４に拡大して示すように、透明板１４の上
面にＩＴＯ（インジウム・ティン・オキサイド）からな
る透明電極１５が形成されており、透明電極１５には一
部に切欠部１５ａが設けてあるとともに図示しない外部
電源の一方の電極と接続される引出部１５ｂが設けてあ
る。透明電極１５上には下原版フィルム１が配設されて
おり、さらに下原版フィルム１上において、切欠部１５
ａと対向する位置に電極板２２が配設される。電極板２
２は、下原版フィルム１上に設けてある接続板２２ａ上
に一部が重なっており、この接続板２２ａが図示しない
外部電源の他方の電極と接続される。従って、電極板２
２と透明電極１５との間に電位差が生じ、静電気が発生
する。この透明電極１５および電極板２２が、発生する
静電気により下原版フィルム１を介して基板３を透明板
１４の上面に吸着保持するための吸着保持手段として作
用するものである。

【００１２】上枠９内には、アクリル樹脂でできた透明
板９ａが保持されており、透明板９ａに上原版フィルム
２が貼着されている（図１参照）。上枠９の一端（図面
左側）には、後述するクリーンローラ５６，５７の外周
の塵埃を取り除くための粘着テープロール５８が、取付
部材５９を介して取り付けられ、図示しないモータによ
り回転可能になっている。

【００１３】第１のアライメント手段１０は、ＸＹθテ
ーブル１６と、１対のＣＣＤカメラ１７と、アライメン
ト用光源１８とから構成されている。ＣＣＤカメラ１７
は、基台７内において、図１に示すアライメント位置と
この位置から左右に退避した退避位置との間で移動可能
に配置されている。そして、アライメント用光源１８か
らの照明光をＣＣＤカメラ１７で受光して得られる画像
信号に基づいて、ＸＹθテーブル１６を作動することに
より、下原版フィルム１のアライメントマークが上原版
フィルム２のアライメントマークと合致するように、上
枠９に対する下枠８の位置を調節可能になっている。

【００１４】露光用光源１２は上枠９の上方に、露光用
光源１３は下枠８の下方にそれぞれ配置されている。

【００１５】前記基板投入部５には、未露光の基板３が
投入された際におおまかな位置決めを行なうための基板
外形位置合わせ手段２０が設けられている。この基板外
形位置合わせ手段２０は、基板３を後述する搬送手段６
の吸着板３０により確実に保持可能とし、搬送手段６に
設けられたＸＹθテーブル３１による微調整によって露
光部における正確なアライメントが可能になる程度に位
置合わせしておくためのものである。本実施例では、基
準位置（下原版フィルム１に対応する基準の位置で、こ
の位置から基板を一定量平行移動したときに基板が下原
版フィルム１に対して正確に位置決めされるような位
置）から誤差が±１ｍｍ程度になるように調節される。

【００１６】この基板外形位置合わせ手段２０は、基台
７上に配置されたＸ方向の度当たりピン２３と、Ｙ方向
の幅寄せピン２４およびローラコンベア２５とから構成
されている。予め判明している基板３の寸法に応じて先
端部（図１，２の右方）の基準位置を決定し、その位置
に度当たりピン２３を位置させる。そこで基板３が投入
されると、ローラコンベア２５が回転することにより基
板３を前進させ、度当たりピン２３に接触した時点で基
板３を停止させ、Ｘ方向の位置決めをする。次に、Ｙ方
向の幅寄せピン２４を同時に基板３に向けて移動させ、
基板３の両端部（図２の上端または下端）のどちらか一
方が幅寄せピン２４に接触した時点から、その幅寄せピ
ン２４により基板を押進し、基板３の他方の端部が幅寄
せピン２４に接触した時点で停止する。すなわち、基板
の両端部（図２の上端と下端）がいずれも幅寄せピン２
４に接触する位置で停止し、Ｙ方向の位置決めを行な
う。

【００１７】次に、基板を搬送する搬送手段６につい
て、図１及び図２を参照して説明する。図示しないモー
タにより回転駆動されるプーリ２８ともう１つのプーリ
２９にタイミングベルト３９が掛け回されている。この
タイミングベルト３９の一部にスライダ３６が固着され
ている。スライダ３６にはガイド部３６ａが設けられて
おり、このガイド部３６ａはレール３８を摺動可能であ
る。プーリ２８，２９，レール３８は本体フレームに固
定的に支持されている。スライダ３６にはシリンダ３７
が固着してあり、このシリンダ３７の駆動軸に小型のＸ
Ｙθテーブル３１が取付けられている。ＸＹθテーブル
３１には、基板３の上面を吸着するための多数の吸引孔
（図示せず。）を有する吸着板３０が取付けられてい
る。また、吸着板３０の下面には、ＥＬ（エレクトロル
ミネセンス）素子２６が基板吸着をさまたげないように
固定されている。

【００１８】このような構成であるため、プーリ２８を
回転駆動することによってスライダ３６は図１左右方向
に移動可能であり、シリンダ３７の作動によりスライダ
３６に対しＸＹθテーブル３１を上下動可能であり、Ｘ
Ｙθテーブル３１の作動により吸着板３０をＸ，Ｙ，θ
方向に位置調節可能である。

【００１９】ＥＬ素子２６，ＸＹθテーブル３１，１対
のＣＣＤカメラ１７が、基板３を下枠８に対して位置合
わせする第２のアライメント手段（基板位置合わせ手
段）１９を構成している。

【００２０】搬送手段６の吸着板３０には、取付板４
１，４２を介してクリーンローラユニット４０が取り付
けられている。クリーンローラユニット４０の構成につ
いて以下に説明する。すなわち、ガイド板４３と、この
ガイド板４３に回転自在に取り付けられたピニオン４４
と、ピニオン４４を回転駆動する正逆転可能なモータ
（図示せず。）と、ピニオン４４と噛合しガイド板４３
に沿って上下に摺動する１対のラック４６，４７とを有
している。そして、このラック４６，４７に連結軸４
８，４９が連結され、連結軸４８，４９には保持部材５
０，５１が嵌合されるとともに、連結軸４８，４９の外
周において保持部材５０，５１とラック４６，４７との
間にバネ部材５２，５３が配設されている。保持部材５
０，５１は、連結軸４８，４９との摩擦力およびバネ部
材５２，５３の抗力と、ストッパ４８ａ，４９ａの作用
とによって保持されている。さらに、ガイド板４３に沿
って上下に摺動可能な支持軸５４，５５が保持部材５
０，５１に固着され、支持軸５４，５５にはクリーンロ
ーラ５６，５７が回転自在に保持されている。このクリ
ーンローラ５６，５７の外周は塵埃を付着可能な粘着部
となっている。ピニオン４４，ラック４６，４７が、ク
リーンローラ５６，５７の駆動機構を構成している。こ
のような構成であるため、スライダ３６の移動に伴って
クリーンローラユニット４０は左右に移動し、図示しな
いモータの駆動によってピニオン４４が回転すると、ラ
ック４６と一体的に連結軸４８，保持部材５０，支持軸
５４およびクリーンローラ５６が上昇する。同時に、ラ
ック４７と一体的に連結軸４９，保持部材５１，支持軸
５５およびクリーンローラ５７は下降する。この状態か
らモータが逆回転すると、クリーンローラ５６は下降
し、クリーンローラ５７は上昇して初期位置に復帰す
る。

【００２１】上記構成の露光装置の露光対象となる基板
３の一般的な構成について説明する。この基板３は、エ
ポキシ樹脂などからなる基板本体（図１，２を参照）の
表裏両面に全面的に銅箔が形成されており、この銅箔を
覆う薄い樹脂製のドライフィルムが貼着され、さらにこ
の両面にポリエステルなどからなる保護フィルム３４が
貼着されている。保護フィルム３４は基板３全体を覆う
のではなく、基板３の外周各辺からそれぞれ５ｍｍ程度
間隔をおいて貼着されている。なお、図面では基板本体
と銅箔とドライフィルムとを一体的に示しているが、こ
のドライフィルムが感光性を有するフォトレジストとし
ての作用を果たす。

【００２２】次に、上記構成を有する実施例の作動を説
明する。まず、上下枠８，９を露光装置に取り付ける前
に、下原版フィルム１を下枠８の透明板１４上に、上原
版フィルム２を上枠９の透明板９ａ上にそれぞれ粘着テ
ープ等で貼り付ける。次に下原版フィルム１の上に電極
板２２を貼付する。この貼付位置は、基板３の１つの外
縁部に対して２〜３ｍｍ程度内側に入り込むようにセッ
トする。すなわち、前述の通り、基板３の外周部には５
ｍｍ程度ドライフィルム面が露出しているので、そこに
電極板２２が接触するようにするためである。

【００２３】次に、下枠８をＸＹθテーブル１６上に取
り付けて固定すると共に、上枠９を上枠保持手段２７に
取り付ける。この時、上下の原版フィルム１，２間にク
リーンローラユニット４０，吸着板３０，スライダ３
６，シリンダ３７が通過可能なスペースを確保するよう
に、Ｚ軸シリンダ１１により上枠９の高さを調整してお
く。

【００２４】ここで両原版フィルム１，２の清掃を行
う。搬送手段６の吸着板３０に基板を吸着しない状態
で、図示しないモータを駆動してスライダ３６を図面右
方へ移動する。そして、クリーンローラユニット４０が
両枠８，９の間に到達した時点で図示しないセンサ（リ
ミットスイッチなど）が作動して図示しないもう一つの
モータが駆動される。これによって前述の通り、クリー
ンローラ５６は上昇して上原版フィルム２に、クリーン
ローラ５７は下降して下原版フィルム１に、それぞれ当
接する（図５参照）。保持部材５０，５１はバネ部材５
２，５３によって支持されているので、クリーンローラ
５６，５７は両原版フィルム１，２に対し圧接する。こ
の状態でスライダ３６をさらに右方へ移動させることに
より、クリーンローラ５６，５７は原版フィルム１，２
に圧接した状態で回転しながら、原版フィルム１，２全
域の塵埃を外周の粘着部に付着させて取り除く。

【００２５】こうして、スライダ３６が一定距離移動し
たことを図示しないセンサ（リミットスイッチなど）に
より検知したら、原版フィルム１，２の清掃が完了した
と判断し、図示しないモータを逆回転させ、クリーンロ
ーラ５６を下降させるとともにクリーンローラ５７を上
昇させて、両原版フィルム１，２から離す。そして、ス
ライダ３６を左方へ移動させ、上枠９の左側に位置させ
る（図６参照）。この状態で上枠９のＺ軸シリンダ１１
を作動させて上枠９を下降させるとともに、搬送手段６
のシリンダ３７を作動させてクリーンローラユニット４
０を上昇させ、クリーンローラ５６，５７を粘着テープ
ロール５８に同時に接触させる（図７参照）。そこで、
図示しないモータを作動させて粘着テープロール５８を
回転させることにより、クリーンローラ５６，５７の外
周に付着した塵埃を転写して取り除く。このようにして
塵埃の除去が完了すると、上枠９を上昇させ、スライダ
３６を下降させる。

【００２６】以上のようにして、原版フィルム１，２の
清掃と、クリーンローラ５６，５７の清掃が完了した
ら、第１のアライメント手段１０により上枠９と下枠８
の位置合わせを行なう。すなわち、ＣＣＤカメラ１７を
図１に示すアライメント位置に位置させた状態でアライ
メント用光源１８を点灯させ、アライメント用光源１８
からの照明光をＣＣＤカメラ１７で受光して得られる画
像信号に基づいて、下原版フィルム１のアライメントマ
ークが上原版フィルム２のアライメントマークと合致す
るようにＸＹθテーブル１６を駆動することにより、上
枠９に対する下枠８の位置を調節する。

【００２７】この後、透明電極１５および電極板２２に
通電し静電気を発生させる。この静電気により、下原版
フィルム１を下枠８の透明板１４上に吸着保持する。

【００２８】一方、基板投入部５に供給された未露光の
基板３を基板外形位置合わせ手段２０によりおおまかな
位置合わせを行なう。前述の通り、基板３を度当たりピ
ン２３に接触するまで前進させてＸ方向の位置決めをす
るとともに、基板３の両端部に接触するように幅寄せピ
ン２４を移動させてＹ方向の位置決めを行なう。

【００２９】こうして基板３のおおまかな位置合わせが
完了したら、吸着板３０により基板３を真空吸着し、そ
の状態で図示しないモータを駆動してスライダ３６を所
定量平行移動して両原版フィルム１，２間に位置させ
る。そして、シリンダ３７を作動させてＸＹθテーブル
３１を下降させ、基板３と下原版フィルム１とのクリア
ランスを１ｍｍ以下にする。この状態で、第２のアライ
メント手段１９を用いて基板３と下原版フィルム１を位
置合わせする。すなわち、ＥＬ素子２６を発光させ、基
板３のマークと下原版フィルム１のマークとをＣＣＤカ
メラ１７で認識し、それらが合致するようにＸＹθテー
ブル３１により基板３の位置を調節する。

【００３０】第２のアライメント手段１９により基板３
と下原版フィルム１との位置合わせを行なった後、さら
に基板３を下降させ下原版フィルム１に密着させる。前
記の通り、透明電極１５と電極板２２との間に電位差が
生じているので静電気が発生する。具体的には、電極板
２２は基板３のドライフィルム面と接しており、このド
ライフィルムは極めて薄いもので絶縁性が比較的弱いた
め、電極板２２から銅箔に導通される。そこでこの電極
板に導通された銅箔から、保護フィルム３４、下原版フ
ィルム１を介して透明電極１５へ至る経路の静電気が発
生する。この静電気によって、基板３および下原版フィ
ルム１は透明電極１５、すなわち下枠８に吸着保持され
る。従って、基板３が位置ずれする恐れはなくなる。

【００３１】そこで、図示しないモータを駆動して吸着
板３０を基板投入部５に戻し、その後にＺ軸シリンダ１
１により上枠９を下降させて、上原版フィルム２を基板
３の上面に密着させる。こうして、下原版フィルム１を
基板３の下面に、上原版フィルム２を基板３の上面にそ
れぞれ密着させた状態で、露光部４のＣＣＤカメラ１７
を図１に示すアライメント位置から左右に退避させる。

【００３２】この状態で、上下の露光用光源１２，１３
を点灯することにより、両原版フィルム１，２のパター
ンを基板３の両面に同時に露光する。

【００３３】この後、露光装置から基板３を取り外し、
熱を加えて乾燥した後、保護フィルム３４を剥離してエ
ッチング液に浸すと、露光部のドライフィルムおよび銅
箔が除去される。なお、ドライフィルムの種類によって
は、露光部以外の部分のドライフィルムおよび銅箔が除
去される場合もある。このようにして銅箔パターンを形
成する。その後、ドライフィルムを完全に剥離してか
ら、銅箔パターンのうち電気部品がマウントされたり、
端子として利用される部分を除いて、保護膜（図示せ
ず。）が被覆されプリント基板が完成する。多層基板を
製造する場合は、銅箔パターン形成後ドライフィルムを
剥離した基板を複数枚重ねて固着してから、上下両面に
保護膜を貼着することになる。

【００３４】なお、詳述しないが、基板３を露光部４に
搬送した時点で、次に露光すべき基板３が基板投入部５
に供給されるように設定し、大量の基板を次々に露光す
る構成としている。

【００３５】本発明によると、基板３を基板投入部５か
ら露光部４へ搬送するための搬送手段６にクリーンロー
ラユニット４０を設け、スライダ３６の移動により自動
的に原版フィルム１，２の清掃が行えるようにしたた
め、従来のように手作業で清掃する必要がなく、きわめ
て効率よく清掃が行えるようになり、作業時間も短縮さ
れる。また、ピニオン４４およびラック４６，４７から
なる駆動機構により１対のクリーンローラ５６，５７を
上下動可能にしたため、通常は両クリーンローラ５６，
５７をコンパクトにまとめて基板搬送時に邪魔にならな
いようにしておき、清掃時にのみ両クリーンローラ５
６，５７を広げて原版フィルム１，２と当接可能にする
ことにより、装置の大型化が防げる。センサと連動させ
て、自動的に駆動機構を作動させることにより、さらに
作業が簡単になる。

【００３６】クリーンローラ５６，５７と当接可能な粘
着テープロール５８を設けることにより、クリーンロー
ラ５６，５７の清掃も行えるため、常に清浄な状態のク
リーンローラ５６，５７で原版フィルム１，２を清掃で
きる。

【００３７】上記実施例では、原版フィルム１，２を交
換した時点で清掃を行うようにしているが、多数の基板
露光を行う場合、定期的に所定のタイミングで原版フィ
ルム１，２の清掃を行うようにプログラムしておくこと
もできる。この場合、露光装置の自動運転を停止するこ
となく、原版フィルムの清掃が行える。また、本発明に
かかる露光装置では、原版フィルムを貼り付けていない
状態で、クリーンローラユニット４０を作動させて上枠
９および下枠８を清掃することもできる。

【００３８】従来、下原版フィルム１上に基板３を載置
する際に、両者の間隙に介在する空気の影響などによ
り、基板３は下原版フィルム１上で滑り易く位置ずれを
生じていたが、本実施例においては静電気によって基板
３を吸着する力が働くため基板３が滑ることはなく位置
ずれを生じない。特に、基板３のドライフィルム面に接
する電極板２２と下原版フィルム１を介して基板３の下
方に位置する透明電極１５とに電界が加わり、基板３の
銅箔および下原版フィルム１を透過する経路で静電気が
生じる構成としているので、基板３および下原版フィル
ム１に対し十分な静電吸着力を及ぼすことができる。こ
のように、静電気を利用しているため、メカ的に保持す
るのが難しい極めて薄い基板（例えば厚さ０．４ｍｍ程
度の基板など）も容易に保持できる。さらに、透明電極
１５および電極板２２への通電のオン・オフによって基
板３の吸着，離脱が容易に行なえるため、露光後の基板
の搬送等も容易である。

【００３９】また、両原版フィルム１，２と基板３との
密着性を高めるために露光時にこれらを真空に吸引する
構成とした場合にも位置ずれを生じる恐れはない。

【００４０】図８には本発明の第２の実施例を示してい
る。なお、第１の実施例と共通の部分については、説明
を省略する。

【００４１】第２の実施例においては、透明板１４上に
ＩＴＯからなる透明電極１５が形成され、さらにその上
にＳｉＯ2 のスパッタリングにより保護膜３５が形成さ
れている。ＳｉＯ2 からなる保護膜３５は、透明電極１
５が設けられた透明板１４上全面を覆っている。

【００４２】この実施例によると、下原版フィルム１を
介して基板３を静電吸着するために透明電極１５に高電
圧（５００〜２０００Ｖ）を印加しても、保護膜３５に
遮られて使用者に高電圧が伝わることはなく、安全に作
業が行なえる。

【００４３】保護膜３５は、露光用光源１３からの光を
透過可能であって、透明電極１５へ電圧を印加した際
に、基板３を吸着可能なように下原版フィルム１上に静
電気を発生し得るとともに人体に影響を与えない程度に
絶縁作用を持つものであり、ＳｉＯ2 膜以外にも、ＩＴ
Ｏを蒸着した透明な樹脂フィルムなどが使用可能であ
る。

【００４４】

【発明の効果】以上説明した通り、基板を基板投入部か
ら露光部へ搬送するために設けられている搬送手段にク
リーンローラユニットを取り付け、自動的に原版フィル
ムの清掃が行えるようにしたため、従来のように手作業
で清掃する必要がなく、きわめて効率よく容易に清掃が
行えるようになる。

【００４５】また、駆動機構により１対のクリーンロー
ラを上下動可能にすると、清掃時にのみ両クリーンロー
ラを広げて原版フィルムと当接可能にするようにして、
通常は両クリーンローラをコンパクトにまとめて基板搬
送時に邪魔にならないようにすることができる。

【００４６】さらに、クリーンローラと当接可能な粘着
テープロールを設けた構成とすると、常に清浄な状態の
クリーンローラで原版フィルムを清掃できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る露光装置の一実施例を示す概略構
成図である。

【図２】図１に示す露光装置の要部を示す平面図であ
る。

【図３】図１に示す露光装置の下枠および基板を示す拡
大断面図である。

【図４】図３の一部切欠平面図である。

【図５】本発明に係る露光装置の原版フィルム清掃状態
を示す説明図である。

【図６】本発明に係る露光装置の原版フィルム清掃後の
状態を示す説明図である。

【図７】本発明に係る露光装置のクリーンローラ清掃状
態を示す説明図である。

【図８】本発明の第２の実施例の下枠および基板を示す
拡大断面図である。

【符号の説明】

１下原版フィルム２上原版フィルム３基板４露光部５基板投入部６搬送手段８下枠９上枠１０第１のアライメント手段（枠位置合わせ手
段）１２，１３露光用光源４０クリーンローラユニット４４ピニオン（駆動手段）４６，４７ラック（駆動手段）５６，５７クリーンローラ５８粘着テープロール

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】１対の原版フィルムを基板の上下に配設
した状態で上記基板の両面に同時露光可能な露光部と、
上記露光部に隣接して設けられ未露光の基板が供給され
る基板投入部と、上記露光部と上記基板投入部との間で
上記基板を搬送可能な搬送手段とを含み、上記露光部には、下原版フィルムを保持する下枠と、上
記下枠と対向して設けられ上原版フィルムを保持する上
枠と、上記両枠間に配設された上記基板の両面に上記両
原版フィルムを介して露光可能な１対の露光用光源と、
上記両枠の相対位置関係を調整可能な枠位置合わせ手段
が設けられており、上記搬送手段には、上記両枠間を進退し上記両原版フィ
ルムを清掃可能なクリーンローラユニットが設けられて
いることを特徴とする露光装置。
【請求項２】上記クリーンローラユニットは、外周部
に塵埃を付着可能な粘着部を有し回転自在に保持されて
いる１対のクリーンローラと、一方の上記クリーンロー
ラを上方へ、他方の上記クリーンローラを下方へそれぞ
れ移動させる駆動機構とを有することを特徴とする請求
項１に記載の露光装置。
【請求項３】上記クリーンローラと当接して上記粘着
部に付着した塵埃を除去可能な粘着テープロールを有す
ることを特徴とする請求項２に記載の露光装置。