JP2804642B2 - 磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法Info
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- JP2804642B2 JP2804642B2 JP16060191A JP16060191A JP2804642B2 JP 2804642 B2 JP2804642 B2 JP 2804642B2 JP 16060191 A JP16060191 A JP 16060191A JP 16060191 A JP16060191 A JP 16060191A JP 2804642 B2 JP2804642 B2 JP 2804642B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッドに係り、特
に、磁気ディスク等の磁気記録媒体に浮上状態で情報を
記録、再生する磁気ヘッドに関する。
に、磁気ディスク等の磁気記録媒体に浮上状態で情報を
記録、再生する磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ハードディスクドライブの磁気
ディスク等の磁気記録媒体の移動に伴って磁気ヘッドの
媒体対向面との間に形成される空気流の圧力を利用し
て、磁気ヘッドの媒体対向面を磁気記録媒体の表面より
所定間隔だけ浮上させた状態で、情報を記録、再生する
ようにした浮上型の磁気ヘッドが多く用いられている。
ディスク等の磁気記録媒体の移動に伴って磁気ヘッドの
媒体対向面との間に形成される空気流の圧力を利用し
て、磁気ヘッドの媒体対向面を磁気記録媒体の表面より
所定間隔だけ浮上させた状態で、情報を記録、再生する
ようにした浮上型の磁気ヘッドが多く用いられている。
【０００３】図２および図３はこのような従来の一般的
な磁気ヘッドを示したもので、この磁気ヘッド１は、ス
ライダ２を有しており、このスライダ２のトレーリング
エッジには、記録、再生素子としての薄膜ヘッド３が固
着されている。また、スライダ２の媒体対向面４のリー
ディングエッジ側には、空気の流入を円滑にするための
傾斜したベベル５が形成されており、前記スライダ２の
媒体対向面４両側には、磁気記録媒体６の移動方向と平
行に２本のレール７が形成されている。
な磁気ヘッドを示したもので、この磁気ヘッド１は、ス
ライダ２を有しており、このスライダ２のトレーリング
エッジには、記録、再生素子としての薄膜ヘッド３が固
着されている。また、スライダ２の媒体対向面４のリー
ディングエッジ側には、空気の流入を円滑にするための
傾斜したベベル５が形成されており、前記スライダ２の
媒体対向面４両側には、磁気記録媒体６の移動方向と平
行に２本のレール７が形成されている。
【０００４】そして、前記従来の磁気ヘッド１は、通常
は、磁気記録媒体６に当接されており、磁気記録媒体６
への情報の記録、再生時には、図３に示すように、前記
磁気ヘッド１を、薄膜ヘッド３が設けられているトレー
リングエッジ部分が磁気記録媒体６に最接近するように
して浮上させるようになっている。
は、磁気記録媒体６に当接されており、磁気記録媒体６
への情報の記録、再生時には、図３に示すように、前記
磁気ヘッド１を、薄膜ヘッド３が設けられているトレー
リングエッジ部分が磁気記録媒体６に最接近するように
して浮上させるようになっている。
【０００５】前記従来の磁気ヘッド１においては、前記
スライダ２の媒体対向面４を鏡面仕上げとし、前記磁気
記録媒体６に対する損傷や、空気流の円滑な流れを図る
ようになっているものであるが、前記鏡面仕上げにより
前記スライダ２の媒体対向面４が磁気記録媒体６に吸着
してしまい、前記スライダ２が磁気記録媒体６から浮上
しなくなってしまうことがあるという問題があった。
スライダ２の媒体対向面４を鏡面仕上げとし、前記磁気
記録媒体６に対する損傷や、空気流の円滑な流れを図る
ようになっているものであるが、前記鏡面仕上げにより
前記スライダ２の媒体対向面４が磁気記録媒体６に吸着
してしまい、前記スライダ２が磁気記録媒体６から浮上
しなくなってしまうことがあるという問題があった。
【０００６】前記スライダ２は、例えば、チタンカーバ
イド（ＴｉＣ）を含有するアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）系セ
ラミック材料としてのアルチック（Ａｌ2 Ｏ3 ・Ｔｉ
Ｃ）等により形成されており、このスライダ２の表面
は、図４に示すように、アルミナ９の内部にチタンカー
バイド８が混在する組成となっている。
イド（ＴｉＣ）を含有するアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）系セ
ラミック材料としてのアルチック（Ａｌ2 Ｏ3 ・Ｔｉ
Ｃ）等により形成されており、このスライダ２の表面
は、図４に示すように、アルミナ９の内部にチタンカー
バイド８が混在する組成となっている。
【０００７】そして、前記問題を解決するため、従来か
ら、図５に示すように、前記アルチックからなるスライ
ダ２の媒体対向面４にプラズマエッチング等の等方性エ
ッチングを施し、スライダ２のチタンカーバイド８部分
のみを選択的に除去して前記スライダ２の媒体対向面４
に微小な凹凸を形成することにより、前記スライダ２面
の磁気記録媒体６への吸着を防止することが行なわれて
いる。
ら、図５に示すように、前記アルチックからなるスライ
ダ２の媒体対向面４にプラズマエッチング等の等方性エ
ッチングを施し、スライダ２のチタンカーバイド８部分
のみを選択的に除去して前記スライダ２の媒体対向面４
に微小な凹凸を形成することにより、前記スライダ２面
の磁気記録媒体６への吸着を防止することが行なわれて
いる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来の磁
気ヘッドにおいては、前記等方性エッチングによりチタ
ンカーバイド８を除去してスライダ２の媒体対向面４に
凹凸を形成するものであり、図５に示すように、前記等
方性エッチングにおいては、活性イオン１０がスライダ
２の媒体対向面４に対して指向性なく入射されることに
なるので、スライダ２の媒体対向面４側に露出している
チタンカーバイド８がすべて除去されることになり、前
記アルミナ９の内部に、前記チタンカーバイド８が除去
された後のスライダ２の媒体対向面４に形成される開口
１１より大きな内部空洞１２が形成されてしまうことに
なる。そのため、この内部空洞１２により、アルミナ９
の開口周縁部１３が断面鋭角状に形成される場合があ
り、この開口周縁部１３の強度が極めて弱くなってしま
い、前記スライダ２の動作等により、前記開口周縁部１
３が欠けてしまうおそれがあるという問題を有してい
る。
気ヘッドにおいては、前記等方性エッチングによりチタ
ンカーバイド８を除去してスライダ２の媒体対向面４に
凹凸を形成するものであり、図５に示すように、前記等
方性エッチングにおいては、活性イオン１０がスライダ
２の媒体対向面４に対して指向性なく入射されることに
なるので、スライダ２の媒体対向面４側に露出している
チタンカーバイド８がすべて除去されることになり、前
記アルミナ９の内部に、前記チタンカーバイド８が除去
された後のスライダ２の媒体対向面４に形成される開口
１１より大きな内部空洞１２が形成されてしまうことに
なる。そのため、この内部空洞１２により、アルミナ９
の開口周縁部１３が断面鋭角状に形成される場合があ
り、この開口周縁部１３の強度が極めて弱くなってしま
い、前記スライダ２の動作等により、前記開口周縁部１
３が欠けてしまうおそれがあるという問題を有してい
る。
【０００９】その結果、図６に示すように、前記欠けに
よる異物１４が、前記スライダ２と磁気記録媒体６との
間に入り込んでしまい、前記スライダ２および磁気記録
媒体６の損傷を招いてしまうという問題を有している。
よる異物１４が、前記スライダ２と磁気記録媒体６との
間に入り込んでしまい、前記スライダ２および磁気記録
媒体６の損傷を招いてしまうという問題を有している。
【００１０】本発明はこれらの点に鑑みてなされたもの
であり、チタンカーバイド除去後のアルミナの開口周縁
部の欠けの発生を確実に防止することができ、スライダ
あるいは磁気記録媒体の損傷を防止することのできる磁
気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法を提供することを
目的とするものである。
であり、チタンカーバイド除去後のアルミナの開口周縁
部の欠けの発生を確実に防止することができ、スライダ
あるいは磁気記録媒体の損傷を防止することのできる磁
気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法を提供することを
目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
請求項１に記載の発明に係る磁気ヘッドは、チタンカー
バイドを含有するアルミナ系のセラミックからなるスラ
イダに記録、再生素子を搭載し、前記スライダを磁気記
録媒体に空気流を介して対向させてなる磁気ヘッドにお
いて、前記磁気ヘッドの媒体対向面に前記チタンカーバ
イドの部分が凹部となるように凹凸を形成し、前記チタ
ンカーバイド部の凹部の壁面が前記媒体対向面に対して
ほぼ直交するように構成したことをその特徴とするもの
である。 また、請求項２に記載の磁気ヘッドの製造方法
は、チタンカーバイドを含有するアルミナ系のセラミッ
クからなるスライダに記録、再生素子を搭載し、前記ス
ライダを磁気記録媒体に空気流を介して対向させてなる
磁気ヘッドの製造方法において、前記磁気ヘッドの媒体
対向面に、前記チタンカーバイドを異方性エッチングに
より除去してなる微小な凹凸を形成したことをその特徴
とするものである。
請求項１に記載の発明に係る磁気ヘッドは、チタンカー
バイドを含有するアルミナ系のセラミックからなるスラ
イダに記録、再生素子を搭載し、前記スライダを磁気記
録媒体に空気流を介して対向させてなる磁気ヘッドにお
いて、前記磁気ヘッドの媒体対向面に前記チタンカーバ
イドの部分が凹部となるように凹凸を形成し、前記チタ
ンカーバイド部の凹部の壁面が前記媒体対向面に対して
ほぼ直交するように構成したことをその特徴とするもの
である。 また、請求項２に記載の磁気ヘッドの製造方法
は、チタンカーバイドを含有するアルミナ系のセラミッ
クからなるスライダに記録、再生素子を搭載し、前記ス
ライダを磁気記録媒体に空気流を介して対向させてなる
磁気ヘッドの製造方法において、前記磁気ヘッドの媒体
対向面に、前記チタンカーバイドを異方性エッチングに
より除去してなる微小な凹凸を形成したことをその特徴
とするものである。
【００１２】
【作用】請求項１に記載の発明によれば、前記磁気ヘッ
ドの媒体対向面に前記チタンカーバイドの部分が凹部と
なり、かつ、この凹部の壁面が媒体対向面に対してほぼ
直交する凹凸を形成するようにしているので、アルミナ
の開口周縁部における強度を確保することができ、前記
アルミナの欠けの発生を確実に防止することができ、そ
の結果、前記欠けにより発生する異物によるスライダお
よび磁気記録媒体の損傷の発生を確実に防止することが
できるものである。 また、請求項２に記載の発明によれ
ば、スライダを構成するチタンカーバイドを異方性エッ
チングにより選択的に除去してスライダの媒体対向面に
凹凸を形成するようにしているので、チタンカーバイド
のうち、スライダ表面に直交する方向のみのエッチング
が行なわれることになり、前記アルミナの影になる部分
のエッチングが行なわれないことから、前記チタンカー
バイドが除去された後のスライダの媒体対向面に形成さ
れる開口より大きな内部空洞が形成されてしまうことが
なく、アルミナの開口周縁部における強度を確保するこ
とができ、前記アルミナの欠けの発生を確実に防止する
ことができ、その結果、前記欠けにより発生する異物に
よるスライダおよび磁気記録媒体の損傷の発生を確実に
防止することができるものである。
ドの媒体対向面に前記チタンカーバイドの部分が凹部と
なり、かつ、この凹部の壁面が媒体対向面に対してほぼ
直交する凹凸を形成するようにしているので、アルミナ
の開口周縁部における強度を確保することができ、前記
アルミナの欠けの発生を確実に防止することができ、そ
の結果、前記欠けにより発生する異物によるスライダお
よび磁気記録媒体の損傷の発生を確実に防止することが
できるものである。 また、請求項２に記載の発明によれ
ば、スライダを構成するチタンカーバイドを異方性エッ
チングにより選択的に除去してスライダの媒体対向面に
凹凸を形成するようにしているので、チタンカーバイド
のうち、スライダ表面に直交する方向のみのエッチング
が行なわれることになり、前記アルミナの影になる部分
のエッチングが行なわれないことから、前記チタンカー
バイドが除去された後のスライダの媒体対向面に形成さ
れる開口より大きな内部空洞が形成されてしまうことが
なく、アルミナの開口周縁部における強度を確保するこ
とができ、前記アルミナの欠けの発生を確実に防止する
ことができ、その結果、前記欠けにより発生する異物に
よるスライダおよび磁気記録媒体の損傷の発生を確実に
防止することができるものである。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１を参照して説明
する。
する。
【００１４】図１は本発明に係る磁気ヘッドのスライダ
部分の一実施例を示したもので、本実施例においては、
アルミナ９の内部にチタンカーバイド８が混在するアル
チックからなる磁気ヘッド１のスライダ２の媒体対向面
４に異方性エッチングを施すことにより、前記アルチッ
クのチタンカーバイド８のみを選択的に除去して、スラ
イダ２の表面に微小な凹凸を形成するようになってい
る。この異方性エッチングには、例えば、リアクティブ
イオンエッチング、反応性イオンビームエッチング等が
適用されるものであり、前記スライダ２の媒体対向面４
に対してほぼ直交する方向からエッチングを行なうよう
になっている。
部分の一実施例を示したもので、本実施例においては、
アルミナ９の内部にチタンカーバイド８が混在するアル
チックからなる磁気ヘッド１のスライダ２の媒体対向面
４に異方性エッチングを施すことにより、前記アルチッ
クのチタンカーバイド８のみを選択的に除去して、スラ
イダ２の表面に微小な凹凸を形成するようになってい
る。この異方性エッチングには、例えば、リアクティブ
イオンエッチング、反応性イオンビームエッチング等が
適用されるものであり、前記スライダ２の媒体対向面４
に対してほぼ直交する方向からエッチングを行なうよう
になっている。
【００１５】次に、本実施例の作用を説明する。
【００１６】本実施例においては、前記スライダ２を構
成するアルチックのチタンカーバイド８のみを選択的に
除去してスライダ２の媒体対向面４に凹凸を形成する際
に、異方性エッチングを行なうものであるが、前記異方
性エッチングにおいては、図１に示すように、スライダ
２の媒体対向面４に直交する方向性を持たせた活性イオ
ン１０を入射させるものであるため、チタンカーバイド
８のうち、スライダ２表面に直交する方向のみのエッチ
ングが行なわれることになる。
成するアルチックのチタンカーバイド８のみを選択的に
除去してスライダ２の媒体対向面４に凹凸を形成する際
に、異方性エッチングを行なうものであるが、前記異方
性エッチングにおいては、図１に示すように、スライダ
２の媒体対向面４に直交する方向性を持たせた活性イオ
ン１０を入射させるものであるため、チタンカーバイド
８のうち、スライダ２表面に直交する方向のみのエッチ
ングが行なわれることになる。
【００１７】そのため、前記アルミナ９の影になる部分
のエッチングが行なわれないので、前記チタンカーバイ
ド８が除去された後のスライダ２の媒体対向面４に形成
される開口１１より大きな内部空洞１２が形成されてし
まうことがない。
のエッチングが行なわれないので、前記チタンカーバイ
ド８が除去された後のスライダ２の媒体対向面４に形成
される開口１１より大きな内部空洞１２が形成されてし
まうことがない。
【００１８】したがって、本実施例においては、前記ス
ライダ２の媒体対向面４に微小な凹凸を形成するように
しているので、前記スライダ２面が磁気記録媒体（図示
せず）に吸着してしまうことを確実に防止することがで
きる。
ライダ２の媒体対向面４に微小な凹凸を形成するように
しているので、前記スライダ２面が磁気記録媒体（図示
せず）に吸着してしまうことを確実に防止することがで
きる。
【００１９】また、本実施例においては、前記スライダ
２の媒体対向面４の凹凸を異方性エッチングにより形成
するようにしているので、アルミナ９の内部に大きな内
部空洞１２が形成されることがなく、アルミナ９の開口
周縁部１３における強度を確保することができ、前記ア
ルミナ９の欠けの発生を確実に防止することができ、そ
の結果、前記欠けにより発生する異物によるスライダ２
および磁気記録媒体の損傷の発生を確実に防止すること
ができる。
２の媒体対向面４の凹凸を異方性エッチングにより形成
するようにしているので、アルミナ９の内部に大きな内
部空洞１２が形成されることがなく、アルミナ９の開口
周縁部１３における強度を確保することができ、前記ア
ルミナ９の欠けの発生を確実に防止することができ、そ
の結果、前記欠けにより発生する異物によるスライダ２
および磁気記録媒体の損傷の発生を確実に防止すること
ができる。
【００２０】なお、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、必要に応じて変更することができる。
のではなく、必要に応じて変更することができる。
【００２１】
【発明の効果】以上述べたように請求項１に記載の発明
に係る磁気ヘッドは、前記磁気ヘッドの媒体対向面に前
記チタンカーバイドの部分が凹部となり、かつ、この凹
部の壁面が媒体対向面に対してほぼ直交する凹凸を形成
するようにしているので、スライダ面が情報記録媒体に
吸着してしまうことを確実に防止することができ、ま
た、アルミナの開口周縁部における強度を確保すること
ができ、前記アルミナの欠けの発生を確実に防止するこ
とができ、その結果、前記欠けにより発生する異物によ
るスライダおよび磁気記録媒体の損傷の発生を確実に防
止することができる。 また、請求項２に記載の発明に
係る磁気ヘッドの製造方法は、スライダの媒体対向面に
微小な凹凸を形成するようにしているので、スライダ面
が情報記録媒体に吸着してしまうことを確実に防止する
ことができる。また、スライダの媒体対向面の凹凸を異
方性エッチングにより形成するようにしているので、ア
ルミナの内部に大きな内部空洞が形成されることがな
く、アルミナの開口周縁部における強度を確保すること
ができ、アルミナの欠けの発生を確実に防止することが
でき、その結果、前記欠けにより発生する異物によるス
ライダおよび磁気記録媒体の損傷の発生を確実に防止す
ることができる等の効果を奏する。
に係る磁気ヘッドは、前記磁気ヘッドの媒体対向面に前
記チタンカーバイドの部分が凹部となり、かつ、この凹
部の壁面が媒体対向面に対してほぼ直交する凹凸を形成
するようにしているので、スライダ面が情報記録媒体に
吸着してしまうことを確実に防止することができ、ま
た、アルミナの開口周縁部における強度を確保すること
ができ、前記アルミナの欠けの発生を確実に防止するこ
とができ、その結果、前記欠けにより発生する異物によ
るスライダおよび磁気記録媒体の損傷の発生を確実に防
止することができる。 また、請求項２に記載の発明に
係る磁気ヘッドの製造方法は、スライダの媒体対向面に
微小な凹凸を形成するようにしているので、スライダ面
が情報記録媒体に吸着してしまうことを確実に防止する
ことができる。また、スライダの媒体対向面の凹凸を異
方性エッチングにより形成するようにしているので、ア
ルミナの内部に大きな内部空洞が形成されることがな
く、アルミナの開口周縁部における強度を確保すること
ができ、アルミナの欠けの発生を確実に防止することが
でき、その結果、前記欠けにより発生する異物によるス
ライダおよび磁気記録媒体の損傷の発生を確実に防止す
ることができる等の効果を奏する。
【図１】本発明に係る磁気ヘッドの一実施例を示すスラ
イダの媒体対向面部分の拡大断面図
イダの媒体対向面部分の拡大断面図
【図２】従来の磁気ヘッドを示す斜視図
【図３】図２の磁気ヘッドの情報記録、再生状態を示す
説明図
説明図
【図４】従来の磁気ヘッドのスライダの媒体対向面部分
の拡大断面図
の拡大断面図
【図５】従来の磁気ヘッドのスライダの媒体対向面の凹
凸形成部分の拡大断面図
凸形成部分の拡大断面図
【図６】従来の磁気ヘッドの情報記録、再生時の異物混
入状態を示す説明図
入状態を示す説明図
１ 磁気ヘッド ２ スライダ ４ 媒体対向面 ８ チタンカーバイド ９ アルミナ １１ 開口 １２ 内部空洞 １３ 開口周縁部
Claims (2)
- 【請求項１】 チタンカーバイドを含有するアルミナ系
のセラミックからなるスライダに記録、再生素子を搭載
し、前記スライダを磁気記録媒体に空気流を介して対向
させてなる磁気ヘッドにおいて、前記磁気ヘッドの媒体
対向面に前記チタンカーバイドの部分が凹部となるよう
に凹凸を形成し、前記チタンカーバイド部の凹部の壁面
が前記媒体対向面に対してほぼ直交するように構成した
ことを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項２】 チタンカーバイドを含有するアルミナ系
のセラミックからなるスライダに記録、再生素子を搭載
し、前記スライダを磁気記録媒体に空気流を介して対向
させてなる磁気ヘッドの製造方法において、前記磁気ヘ
ッドの媒体対向面に、前記チタンカーバイドを異方性エ
ッチングにより除去してなる微小な凹凸を形成したこと
を特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16060191A JP2804642B2 (ja) | 1991-07-01 | 1991-07-01 | 磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16060191A JP2804642B2 (ja) | 1991-07-01 | 1991-07-01 | 磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0512820A JPH0512820A (ja) | 1993-01-22 |
| JP2804642B2 true JP2804642B2 (ja) | 1998-09-30 |
Family
ID=15718471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16060191A Expired - Fee Related JP2804642B2 (ja) | 1991-07-01 | 1991-07-01 | 磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2804642B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3497260B2 (ja) * | 1994-12-16 | 2004-02-16 | 富士写真フイルム株式会社 | 電源ユニットの誤装着防止装置 |
| JP3530332B2 (ja) * | 1997-01-23 | 2004-05-24 | 三洋電機株式会社 | 充電装置 |
| US8416526B2 (en) * | 2009-09-08 | 2013-04-09 | International Business Machines Corporation | Magnetic head with textured surfaces |
-
1991
- 1991-07-01 JP JP16060191A patent/JP2804642B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0512820A (ja) | 1993-01-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980707 |
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