JP2804642B2 - Magnetic head and method of manufacturing magnetic head - Google Patents
Magnetic head and method of manufacturing magnetic headInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッドに係り、特
に、磁気ディスク等の磁気記録媒体に浮上状態で情報を
記録、再生する磁気ヘッドに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head, and more particularly, to a magnetic head for recording and reproducing information on a magnetic recording medium such as a magnetic disk while flying.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、ハードディスクドライブの磁気
ディスク等の磁気記録媒体の移動に伴って磁気ヘッドの
媒体対向面との間に形成される空気流の圧力を利用し
て、磁気ヘッドの媒体対向面を磁気記録媒体の表面より
所定間隔だけ浮上させた状態で、情報を記録、再生する
ようにした浮上型の磁気ヘッドが多く用いられている。2. Description of the Related Art Generally, the pressure of an airflow formed between a magnetic recording medium such as a magnetic disk of a hard disk drive and the medium facing surface of a magnetic head is utilized to move the magnetic recording medium. A floating type magnetic head which records and reproduces information while flying above a surface of a magnetic recording medium by a predetermined distance is often used.
【０００３】図２および図３はこのような従来の一般的
な磁気ヘッドを示したもので、この磁気ヘッド１は、ス
ライダ２を有しており、このスライダ２のトレーリング
エッジには、記録、再生素子としての薄膜ヘッド３が固
着されている。また、スライダ２の媒体対向面４のリー
ディングエッジ側には、空気の流入を円滑にするための
傾斜したベベル５が形成されており、前記スライダ２の
媒体対向面４両側には、磁気記録媒体６の移動方向と平
行に２本のレール７が形成されている。FIG. 2 and FIG. 3 show such a conventional general magnetic head. The magnetic head 1 has a slider 2 and a trailing edge of the slider 2. , A thin film head 3 as a recording / reproducing element is fixed. On the leading edge side of the medium facing surface 4 of the slider 2, an inclined bevel 5 for smoothing the inflow of air is formed. Two rails 7 are formed in parallel to the moving direction of the rail 6.
【０００４】そして、前記従来の磁気ヘッド１は、通常
は、磁気記録媒体６に当接されており、磁気記録媒体６
への情報の記録、再生時には、図３に示すように、前記
磁気ヘッド１を、薄膜ヘッド３が設けられているトレー
リングエッジ部分が磁気記録媒体６に最接近するように
して浮上させるようになっている。The conventional magnetic head 1 is normally in contact with the magnetic recording medium 6 and the magnetic recording medium 6
Information on the recording, at the time of reproduction, as shown in FIG. 3, the magnetic head 1, a thin film head 3 is provided a tray
The ring edge portion is floated so as to be closest to the magnetic recording medium 6.
【０００５】前記従来の磁気ヘッド１においては、前記
スライダ２の媒体対向面４を鏡面仕上げとし、前記磁気
記録媒体６に対する損傷や、空気流の円滑な流れを図る
ようになっているものであるが、前記鏡面仕上げにより
前記スライダ２の媒体対向面４が磁気記録媒体６に吸着
してしまい、前記スライダ２が磁気記録媒体６から浮上
しなくなってしまうことがあるという問題があった。In the conventional magnetic head 1, the medium facing surface 4 of the slider 2 is mirror-finished so that the magnetic recording medium 6 is damaged and the air flow is smooth. However, there is a problem that the medium facing surface 4 of the slider 2 is attracted to the magnetic recording medium 6 due to the mirror finish, and the slider 2 may not float above the magnetic recording medium 6.
【０００６】前記スライダ２は、例えば、チタンカーバ
イド（ＴｉＣ）を含有するアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）系セ
ラミック材料としてのアルチック（Ａｌ2 Ｏ3 ・Ｔｉ
Ｃ）等により形成されており、このスライダ２の表面
は、図４に示すように、アルミナ９の内部にチタンカー
バイド８が混在する組成となっている。The slider 2 is made of, for example, Altic (Al 2 O 3 .Ti) as an alumina (Al 2 O 3 ) -based ceramic material containing titanium carbide (TiC).
As shown in FIG. 4, the surface of the slider 2 has a composition in which titanium carbide 8 is mixed with alumina 9.
【０００７】そして、前記問題を解決するため、従来か
ら、図５に示すように、前記アルチックからなるスライ
ダ２の媒体対向面４にプラズマエッチング等の等方性エ
ッチングを施し、スライダ２のチタンカーバイド８部分
のみを選択的に除去して前記スライダ２の媒体対向面４
に微小な凹凸を形成することにより、前記スライダ２面
の磁気記録媒体６への吸着を防止することが行なわれて
いる。In order to solve the above problem, conventionally, as shown in FIG. 5, the medium facing surface 4 of the slider 2 made of AlTiC is subjected to isotropic etching such as plasma etching to form the titanium carbide of the slider 2. 8 is selectively removed to remove the medium facing surface 4 of the slider 2.
By forming minute irregularities on the magnetic recording medium 6, the surface of the slider 2 is prevented from being attracted to the magnetic recording medium 6.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来の磁
気ヘッドにおいては、前記等方性エッチングによりチタ
ンカーバイド８を除去してスライダ２の媒体対向面４に
凹凸を形成するものであり、図５に示すように、前記等
方性エッチングにおいては、活性イオン１０がスライダ
２の媒体対向面４に対して指向性なく入射されることに
なるので、スライダ２の媒体対向面４側に露出している
チタンカーバイド８がすべて除去されることになり、前
記アルミナ９の内部に、前記チタンカーバイド８が除去
された後のスライダ２の媒体対向面４に形成される開口
１１より大きな内部空洞１２が形成されてしまうことに
なる。そのため、この内部空洞１２により、アルミナ９
の開口周縁部１３が断面鋭角状に形成される場合があ
り、この開口周縁部１３の強度が極めて弱くなってしま
い、前記スライダ２の動作等により、前記開口周縁部１
３が欠けてしまうおそれがあるという問題を有してい
る。However, in the conventional magnetic head, the titanium carbide 8 is removed by the isotropic etching to form irregularities on the medium facing surface 4 of the slider 2 as shown in FIG. As shown in (2), in the isotropic etching, the active ions 10 enter the medium facing surface 4 of the slider 2 without directivity. As a result, all of the titanium carbide 8 is removed, and inside the alumina 9, an internal cavity 12 larger than the opening 11 formed in the medium facing surface 4 of the slider 2 after the titanium carbide 8 is removed is formed. Will be done. Therefore, the inner cavity 12 allows the alumina 9
In some cases, the opening peripheral portion 13 is formed to have an acute angle in cross section, and the strength of the opening peripheral portion 13 becomes extremely weak.
3 has a problem that it may be missing.
【０００９】その結果、図６に示すように、前記欠けに
よる異物１４が、前記スライダ２と磁気記録媒体６との
間に入り込んでしまい、前記スライダ２および磁気記録
媒体６の損傷を招いてしまうという問題を有している。As a result, as shown in FIG. 6, the foreign matter 14 due to the chipping enters between the slider 2 and the magnetic recording medium 6, causing damage to the slider 2 and the magnetic recording medium 6. There is a problem that.
【００１０】本発明はこれらの点に鑑みてなされたもの
であり、チタンカーバイド除去後のアルミナの開口周縁
部の欠けの発生を確実に防止することができ、スライダ
あるいは磁気記録媒体の損傷を防止することのできる磁
気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法を提供することを
目的とするものである。The present invention has been made in view of the above points, and it is possible to reliably prevent the occurrence of chipping at the periphery of an opening of alumina after removing titanium carbide, and to prevent damage to a slider or a magnetic recording medium. Magnetism that can be
It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a magnetic head and a magnetic head .
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
請求項１に記載の発明に係る磁気ヘッドは、チタンカー
バイドを含有するアルミナ系のセラミックからなるスラ
イダに記録、再生素子を搭載し、前記スライダを磁気記
録媒体に空気流を介して対向させてなる磁気ヘッドにお
いて、前記磁気ヘッドの媒体対向面に前記チタンカーバ
イドの部分が凹部となるように凹凸を形成し、前記チタ
ンカーバイド部の凹部の壁面が前記媒体対向面に対して
ほぼ直交するように構成したことをその特徴とするもの
である。 また、請求項２に記載の磁気ヘッドの製造方法
は、チタンカーバイドを含有するアルミナ系のセラミッ
クからなるスライダに記録、再生素子を搭載し、前記ス
ライダを磁気記録媒体に空気流を介して対向させてなる
磁気ヘッドの製造方法において、前記磁気ヘッドの媒体
対向面に、前記チタンカーバイドを異方性エッチングに
より除去してなる微小な凹凸を形成したことをその特徴
とするものである。[MEANS FOR SOLVING THE PROBLEMS] To achieve the above object
The magnetic head according to the first aspect of the present invention is a titanium head.
Slurry made of alumina-based ceramic containing carbide
Mounted a recording / reproducing element on the
A magnetic head that faces a recording medium via an airflow
And the titanium cover is provided on the medium facing surface of the magnetic head.
The irregularities are formed so that the portions of the
The wall surface of the concave portion of the anchor portion is opposed to the medium facing surface.
Its feature is that it is configured to be almost orthogonal.
It is. A method for manufacturing a magnetic head according to claim 2.
Is formed by mounting a recording / reproducing element on a slider made of alumina-based ceramic containing titanium carbide, and facing the slider to a magnetic recording medium via an air flow.
The method of manufacturing a magnetic head is characterized in that minute irregularities formed by removing the titanium carbide by anisotropic etching are formed on the medium facing surface of the magnetic head.
【００１２】[0012]
【作用】請求項１に記載の発明によれば、前記磁気ヘッ
ドの媒体対向面に前記チタンカーバイドの部分が凹部と
なり、かつ、この凹部の壁面が媒体対向面に対してほぼ
直交する凹凸を形成するようにしているので、アルミナ
の開口周縁部における強度を確保することができ、前記
アルミナの欠けの発生を確実に防止することができ、そ
の結果、前記欠けにより発生する異物によるスライダお
よび磁気記録媒体の損傷の発生を確実に防止することが
できるものである。 また、請求項２に記載の発明によれ
ば、スライダを構成するチタンカーバイドを異方性エッ
チングにより選択的に除去してスライダの媒体対向面に
凹凸を形成するようにしているので、チタンカーバイド
のうち、スライダ表面に直交する方向のみのエッチング
が行なわれることになり、前記アルミナの影になる部分
のエッチングが行なわれないことから、前記チタンカー
バイドが除去された後のスライダの媒体対向面に形成さ
れる開口より大きな内部空洞が形成されてしまうことが
なく、アルミナの開口周縁部における強度を確保するこ
とができ、前記アルミナの欠けの発生を確実に防止する
ことができ、その結果、前記欠けにより発生する異物に
よるスライダおよび磁気記録媒体の損傷の発生を確実に
防止することができるものである。 According to the first aspect of the present invention, the magnetic head is provided.
The titanium carbide portion is a concave portion on the medium facing surface of the carbide.
And the wall surface of the concave portion is almost
Since it is designed to form orthogonal unevenness, alumina
The strength at the periphery of the opening can be secured,
The occurrence of chipping of alumina can be prevented without fail.
As a result, the slider and the
And prevent damage to the magnetic recording medium.
You can do it. Further, according to the invention described in claim 2,
For example, since titanium carbide constituting the slider is selectively removed by anisotropic etching to form irregularities on the medium facing surface of the slider, the titanium carbide is etched only in a direction perpendicular to the slider surface. Is performed, and since the etching of the shadowed portion of the alumina is not performed, an internal cavity larger than the opening formed in the medium facing surface of the slider after the titanium carbide is removed is formed. The strength of the alumina at the periphery of the opening can be ensured, and the occurrence of chipping of the alumina can be reliably prevented. As a result, the slider and the magnetic recording medium due to foreign matter generated by the chipping can be prevented. Damage can be reliably prevented from occurring.
【００１３】[0013]
【実施例】以下、本発明の実施例を図１を参照して説明
する。An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.
【００１４】図１は本発明に係る磁気ヘッドのスライダ
部分の一実施例を示したもので、本実施例においては、
アルミナ９の内部にチタンカーバイド８が混在するアル
チックからなる磁気ヘッド１のスライダ２の媒体対向面
４に異方性エッチングを施すことにより、前記アルチッ
クのチタンカーバイド８のみを選択的に除去して、スラ
イダ２の表面に微小な凹凸を形成するようになってい
る。この異方性エッチングには、例えば、リアクティブ
イオンエッチング、反応性イオンビームエッチング等が
適用されるものであり、前記スライダ２の媒体対向面４
に対してほぼ直交する方向からエッチングを行なうよう
になっている。FIG. 1 shows an embodiment of a slider portion of a magnetic head according to the present invention. In this embodiment,
By performing anisotropic etching on the medium facing surface 4 of the slider 2 of the magnetic head 1 made of AlTiC in which titanium carbide 8 is mixed in the alumina 9, only the AlTiC 8 is selectively removed. Fine irregularities are formed on the surface of the slider 2. For example, reactive ion etching, reactive ion beam etching, or the like is applied to the anisotropic etching.
The etching is performed from a direction substantially perpendicular to the direction.
【００１５】次に、本実施例の作用を説明する。Next, the operation of this embodiment will be described.
【００１６】本実施例においては、前記スライダ２を構
成するアルチックのチタンカーバイド８のみを選択的に
除去してスライダ２の媒体対向面４に凹凸を形成する際
に、異方性エッチングを行なうものであるが、前記異方
性エッチングにおいては、図１に示すように、スライダ
２の媒体対向面４に直交する方向性を持たせた活性イオ
ン１０を入射させるものであるため、チタンカーバイド
８のうち、スライダ２表面に直交する方向のみのエッチ
ングが行なわれることになる。In the present embodiment, anisotropic etching is performed when forming irregularities on the medium facing surface 4 of the slider 2 by selectively removing only the titanium carbide 8 of the Altic constituting the slider 2. However, in the anisotropic etching, as shown in FIG. 1, active ions 10 having a direction perpendicular to the medium facing surface 4 of the slider 2 are incident, so that the titanium carbide 8 Of these, the etching is performed only in the direction orthogonal to the surface of the slider 2.
【００１７】そのため、前記アルミナ９の影になる部分
のエッチングが行なわれないので、前記チタンカーバイ
ド８が除去された後のスライダ２の媒体対向面４に形成
される開口１１より大きな内部空洞１２が形成されてし
まうことがない。As a result, since the etching of the shadowed portion of the alumina 9 is not performed, an internal cavity 12 larger than the opening 11 formed in the medium facing surface 4 of the slider 2 after the removal of the titanium carbide 8 is formed. There is no formation.
【００１８】したがって、本実施例においては、前記ス
ライダ２の媒体対向面４に微小な凹凸を形成するように
しているので、前記スライダ２面が磁気記録媒体（図示
せず）に吸着してしまうことを確実に防止することがで
きる。Therefore, in the present embodiment, since the minute concavities and convexities are formed on the medium facing surface 4 of the slider 2, the surface of the slider 2 is attracted to a magnetic recording medium (not shown). This can be reliably prevented.
【００１９】また、本実施例においては、前記スライダ
２の媒体対向面４の凹凸を異方性エッチングにより形成
するようにしているので、アルミナ９の内部に大きな内
部空洞１２が形成されることがなく、アルミナ９の開口
周縁部１３における強度を確保することができ、前記ア
ルミナ９の欠けの発生を確実に防止することができ、そ
の結果、前記欠けにより発生する異物によるスライダ２
および磁気記録媒体の損傷の発生を確実に防止すること
ができる。In this embodiment, since the unevenness of the medium facing surface 4 of the slider 2 is formed by anisotropic etching, a large internal cavity 12 may be formed inside the alumina 9. In addition, the strength of the opening 9 of the alumina 9 at the opening peripheral portion 13 can be ensured, and the occurrence of chipping of the alumina 9 can be reliably prevented.
In addition, damage to the magnetic recording medium can be reliably prevented.
【００２０】なお、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、必要に応じて変更することができる。It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be modified as needed.
【００２１】[0021]
【発明の効果】以上述べたように請求項１に記載の発明
に係る磁気ヘッドは、前記磁気ヘッドの媒体対向面に前
記チタンカーバイドの部分が凹部となり、かつ、この凹
部の壁面が媒体対向面に対してほぼ直交する凹凸を形成
するようにしているので、スライダ面が情報記録媒体に
吸着してしまうことを確実に防止することができ、ま
た、アルミナの開口周縁部における強度を確保すること
ができ、前記アルミナの欠けの発生を確実に防止するこ
とができ、その結果、前記欠けにより発生する異物によ
るスライダおよび磁気記録媒体の損傷の発生を確実に防
止することができる。 また、請求項２に記載の発明に
係る磁気ヘッドの製造方法は、スライダの媒体対向面に
微小な凹凸を形成するようにしているので、スライダ面
が情報記録媒体に吸着してしまうことを確実に防止する
ことができる。また、スライダの媒体対向面の凹凸を異
方性エッチングにより形成するようにしているので、ア
ルミナの内部に大きな内部空洞が形成されることがな
く、アルミナの開口周縁部における強度を確保すること
ができ、アルミナの欠けの発生を確実に防止することが
でき、その結果、前記欠けにより発生する異物によるス
ライダおよび磁気記録媒体の損傷の発生を確実に防止す
ることができる等の効果を奏する。As described above, the first aspect of the present invention is as described above.
The magnetic head according to
The part of the titanium carbide becomes a concave part, and the concave part
The wall of the part forms irregularities almost perpendicular to the medium facing surface
So that the slider surface is
Adsorption can be reliably prevented.
In addition, to ensure the strength at the periphery of the opening of alumina
To ensure that the chipping of alumina does not occur.
As a result, foreign matter generated by the chipping
Slider and magnetic recording media
Can be stopped. Further, according to the second aspect of the present invention,
In such a method of manufacturing a magnetic head , since minute irregularities are formed on the medium facing surface of the slider, it is possible to reliably prevent the slider surface from being attracted to the information recording medium. In addition, since the unevenness of the medium facing surface of the slider is formed by anisotropic etching, a large internal cavity is not formed inside the alumina, and the strength at the periphery of the opening of the alumina can be secured. As a result, it is possible to reliably prevent the occurrence of chipping of alumina, and as a result, it is possible to surely prevent the slider and the magnetic recording medium from being damaged by foreign matter generated by the chipping.
【図１】本発明に係る磁気ヘッドの一実施例を示すスラ
イダの媒体対向面部分の拡大断面図FIG. 1 is an enlarged sectional view of a medium facing surface portion of a slider showing one embodiment of a magnetic head according to the present invention.
【図２】従来の磁気ヘッドを示す斜視図FIG. 2 is a perspective view showing a conventional magnetic head.
【図３】図２の磁気ヘッドの情報記録、再生状態を示す
説明図FIG. 3 is an explanatory diagram showing information recording and reproducing states of the magnetic head of FIG. 2;
【図４】従来の磁気ヘッドのスライダの媒体対向面部分
の拡大断面図FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of a medium facing surface portion of a slider of a conventional magnetic head.
【図５】従来の磁気ヘッドのスライダの媒体対向面の凹
凸形成部分の拡大断面図FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of a portion of a slider of a conventional magnetic head in which unevenness is formed on a medium facing surface
【図６】従来の磁気ヘッドの情報記録、再生時の異物混
入状態を示す説明図FIG. 6 is an explanatory view showing a state in which foreign matters are mixed in information recording and reproduction of a conventional magnetic head.
１ 磁気ヘッド ２ スライダ ４ 媒体対向面 ８ チタンカーバイド ９ アルミナ １１ 開口 １２ 内部空洞 １３ 開口周縁部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Magnetic head 2 Slider 4 Medium facing surface 8 Titanium carbide 9 Alumina 11 Opening 12 Internal cavity 13 Opening periphery
Claims (2)
のセラミックからなるスライダに記録、再生素子を搭載Equipped with recording / reproducing element on slider made of ceramic
し、前記スライダを磁気記録媒体に空気流を介して対向And the slider is opposed to the magnetic recording medium via an air flow.
させてなる磁気ヘッドにおいて、前記磁気ヘッドの媒体In the magnetic head, the medium of the magnetic head
対向面に前記チタンカーバイドの部分が凹部となるようThe part of the titanium carbide becomes a concave part on the facing surface
に凹凸を形成し、前記チタンカーバイド部の凹部の壁面Forming irregularities on the wall surface of the concave portion of the titanium carbide portion.
が前記媒体対向面に対してほぼ直交するように構成したIs configured to be substantially perpendicular to the medium facing surface.
ことを特徴とする磁気ヘッド。A magnetic head, characterized in that:
のセラミックからなるスライダに記録、再生素子を搭載
し、前記スライダを磁気記録媒体に空気流を介して対向
させてなる磁気ヘッドの製造方法において、前記磁気ヘ
ッドの媒体対向面に、前記チタンカーバイドを異方性エ
ッチングにより除去してなる微小な凹凸を形成したこと
を特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 2. A method of manufacturing a magnetic head , comprising: mounting a recording / reproducing element on a slider made of an alumina-based ceramic containing titanium carbide; and facing the slider to a magnetic recording medium via an air flow. A method of manufacturing a magnetic head , wherein fine irregularities formed by removing the titanium carbide by anisotropic etching are formed on the medium facing surface of the magnetic head.
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| JP16060191A JP2804642B2 (en) | 1991-07-01 | 1991-07-01 | Magnetic head and method of manufacturing magnetic head |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0512820A JPH0512820A (en) | 1993-01-22 |
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