JPH0512820A - 磁気ヘツド - Google Patents
磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPH0512820A JPH0512820A JP16060191A JP16060191A JPH0512820A JP H0512820 A JPH0512820 A JP H0512820A JP 16060191 A JP16060191 A JP 16060191A JP 16060191 A JP16060191 A JP 16060191A JP H0512820 A JPH0512820 A JP H0512820A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- magnetic head
- titanium carbide
- facing surface
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
縁部の欠けの発生を確実に防止することができ、スライ
ダあるいは磁気記録媒体の損傷を防止することのできる
磁気ヘッドを提供する。 【構成】 チタンカーバイド8を含有するアルミナ9系
のセラミックからなるスライダの媒体対向面4に、前記
チタンカーバイト8を異方性エッチングにより除去して
なる微小な凹凸を形成したことを特徴とする。
Description
に、磁気ディスク等の磁気記録媒体に浮上状態で情報を
記録、再生する磁気ヘッドに関する。
ディスク等の磁気記録媒体の移動に伴って磁気ヘッドの
媒体対向面との間に形成される空気流の圧力を利用し
て、磁気ヘッドの媒体対向面を磁気記録媒体の表面より
所定間隔だけ浮上させた状態で、情報を記録、再生する
ようにした浮上型の磁気ヘッドが多く用いられている。
な磁気ヘッドを示したもので、この磁気ヘッド1は、ス
ライダ2を有しており、このスライダ2のトレーディン
グエッジには、記録、再生素子としての薄膜ヘッド3が
固着されている。また、スライダ2の媒体対向面4のリ
ーディングエッジ側には、空気の流入を円滑にするため
の傾斜したベベル5が形成されており、前記スライダ2
の媒体対向面4両側には、磁気記録媒体6の移動方向と
平行に2本のレール7が形成されている。
は、磁気記録媒体6に当接されており、磁気記録媒体6
への情報の記録、再生時には、図3に示すように、前記
磁気ヘッド1を、薄膜ヘッド3が設けられているトレー
ディングエッジ部分が磁気記録媒体6に最接近するよう
にして浮上させるようになっている。
スライダ2の媒体対向面4を鏡面仕上げとし、前記磁気
記録媒体6に対する損傷や、空気流の円滑な流れを図る
ようになっているものであるが、前記鏡面仕上げにより
前記スライダ2の媒体対向面4が磁気記録媒体6に吸着
してしまい、前記スライダ2が磁気記録媒体6から浮上
しなくなってしまうことがあるという問題があった。
イド(TiC)を含有するアルミナ(Al2 O3 )系セ
ラミック材料としてのアルチック(Al2 O3 ・Ti
C)等により形成されており、このスライダ2の表面
は、図4に示すように、アルミナ9の内部にチタンカー
バイド8が混在する組成となっている。
ら、図5に示すように、前記アルチックからなるスライ
ダ2の媒体対向面4にプラズマエッチング等の等方性エ
ッチングを施し、スライダ2のチタンカーバイド8部分
のみを選択的に除去して前記スライダ2の媒体対向面4
に微小な凹凸を形成することにより、前記スライダ2面
の磁気記録媒体6への吸着を防止することが行なわれて
いる。
気ヘッドにおいては、前記等方性エッチングによりチタ
ンカーバイド8を除去してスライダ2の媒体対向面4に
凹凸を形成するものであり、図5に示すように、前記等
方性エッチングにおいては、活性イオン10がスライダ
2の媒体対向面4に対して指向性なく入射されることに
なるので、スライダ2の媒体対向面4側に露出している
チタンカーバイド8がすべて除去されることになり、前
記アルミナ9の内部に、前記チタンカーバイド8が除去
された後のスライダ2の媒体対向面4に形成される開口
11より大きな内部空洞12が形成されてしまうことに
なる。そのため、この内部空洞12により、アルミナ9
の開口周縁部13が断面鋭角状に形成される場合があ
り、この開口周縁部13の強度が極めて弱くなってしま
い、前記スライダ2の動作等により、前記開口周縁部1
3が欠けてしまうおそれがあるという問題を有してい
る。
よる異物14が、前記スライダ2と磁気記録媒体6との
間に入り込んでしまい、前記スライダ2および磁気記録
媒体6の損傷を招いてしまうという問題を有している。
であり、チタンカーバイド除去後のアルミナの開口周縁
部の欠けの発生を確実に防止することができ、スライダ
あるいは磁気記録媒体の損傷を防止することのできる磁
気ヘッドを提供することを目的とするものである。
本発明に係る磁気ヘッドは、チタンカーバイドを含有す
るアルミナ系のセラミックからなるスライダに記録、再
生素子を搭載し、前記スライダを磁気記録媒体に空気流
を介して対向させてなる磁気ヘッドにおいて、前記磁気
ヘッドの媒体対向面に、前記チタンカーバイトを異方性
エッチングにより除去してなる微小な凹凸を形成したこ
とをその特徴とするものである。
ーバイドを異方性エッチングにより選択的に除去してス
ライダの媒体対向面に凹凸を形成するようにしているの
で、チタンカーバイドのうち、スライダ表面に直交する
方向のみのエッチングが行なわれることになり、前記ア
ルミナの影になる部分のエッチングが行なわれないこと
から、前記チタンカーバイドが除去された後のスライダ
の媒体対向面に形成される開口より大きな内部空洞が形
成されてしまうことがなく、アルミナの開口周縁部にお
ける強度を確保することができ、前記アルミナの欠けの
発生を確実に防止することができ、その結果、前記欠け
により発生する異物によるスライダおよび磁気記録媒体
の損傷の発生を確実に防止することができるものであ
る。
する。
部分の一実施例を示したもので、本実施例においては、
アルミナ9の内部にチタンカーバイド8が混在するアル
チックからなる磁気ヘッド1のスライダ2の媒体対向面
4に異方性エッチングを施すことにより、前記アルチッ
クのチタンカーバイド8のみを選択的に除去して、スラ
イダ2の表面に微小な凹凸を形成するようになってい
る。この異方性エッチングには、例えば、リアクティブ
イオンエッチング、反応性イオンビームエッチング等が
適用されるものであり、前記スライダ2の媒体対向面4
に対してほぼ直交する方向からエッチングを行なうよう
になっている。
成するアルチックのチタンカーバイド8のみを選択的に
除去してスライダ2の媒体対向面4に凹凸を形成する際
に、異方性エッチングを行なうものであるが、前記異方
性エッチングにおいては、図1に示すように、スライダ
2の媒体対向面4に直交する方向性を持たせた活性イオ
ン10を入射させるものであるため、チタンカーバイド
8のうち、スライダ2表面に直交する方向のみのエッチ
ングが行なわれることになる。
のエッチングが行なわれないので、前記チタンカーバイ
ド8が除去された後のスライダ2の媒体対向面4に形成
される開口11より大きな内部空洞12が形成されてし
まうことがない。
ライダ2の媒体対向面4に微小な凹凸を形成するように
しているので、前記スライダ2面が磁気記録媒体(図示
せず)に吸着してしまうことを確実に防止することがで
きる。
2の媒体対向面4の凹凸を異方性エッチングにより形成
するようにしているので、アルミナ9の内部に大きな内
部空洞12が形成されることがなく、アルミナ9の開口
周縁部13における強度を確保することができ、前記ア
ルミナ9の欠けの発生を確実に防止することができ、そ
の結果、前記欠けにより発生する異物によるスライダ2
および磁気記録媒体の損傷の発生を確実に防止すること
ができる。
のではなく、必要に応じて変更することができる。
ドは、スライダの媒体対向面に微小な凹凸を形成するよ
うにしているので、スライダ面が情報記録媒体に吸着し
てしまうことを確実に防止することができる。また、ス
ライダの媒体対向面の凹凸を異方性エッチングにより形
成するようにしているので、アルミナの内部に大きな内
部空洞が形成されることがなく、アルミナの開口周縁部
における強度を確保することができ、アルミナの欠けの
発生を確実に防止することができ、その結果、前記欠け
により発生する異物によるスライダおよび磁気記録媒体
の損傷の発生を確実に防止することができる等の効果を
奏する。
イダの媒体対向面部分の拡大断面図
説明図
の拡大断面図
凸形成部分の拡大断面図
入状態を示す説明図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項1】 チタンカーバイドを含有するアルミナ系
のセラミックからなるスライダに記録、再生素子を搭載
し、前記スライダを磁気記録媒体に空気流を介して対向
させてなる磁気ヘッドにおいて、前記磁気ヘッドの媒体
対向面に、前記チタンカーバイトを異方性エッチングに
より除去してなる微小な凹凸を形成したことを特徴とす
る磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16060191A JP2804642B2 (ja) | 1991-07-01 | 1991-07-01 | 磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16060191A JP2804642B2 (ja) | 1991-07-01 | 1991-07-01 | 磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0512820A true JPH0512820A (ja) | 1993-01-22 |
JP2804642B2 JP2804642B2 (ja) | 1998-09-30 |
Family
ID=15718471
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16060191A Expired - Fee Related JP2804642B2 (ja) | 1991-07-01 | 1991-07-01 | 磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2804642B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5630193A (en) * | 1994-12-16 | 1997-05-13 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Power supply system for electronic instrument |
US5939859A (en) * | 1997-01-23 | 1999-08-17 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Battery charger with body slot and catch arrangement to prevent incorrect battery orientation |
US20110059336A1 (en) * | 2009-09-08 | 2011-03-10 | International Business Machines Corporation | Magnetic head with textured surfaces |
-
1991
- 1991-07-01 JP JP16060191A patent/JP2804642B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5630193A (en) * | 1994-12-16 | 1997-05-13 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Power supply system for electronic instrument |
US5939859A (en) * | 1997-01-23 | 1999-08-17 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Battery charger with body slot and catch arrangement to prevent incorrect battery orientation |
US20110059336A1 (en) * | 2009-09-08 | 2011-03-10 | International Business Machines Corporation | Magnetic head with textured surfaces |
US8416526B2 (en) * | 2009-09-08 | 2013-04-09 | International Business Machines Corporation | Magnetic head with textured surfaces |
US9011704B2 (en) | 2009-09-08 | 2015-04-21 | International Business Machines Corporation | Methods for texturing magnetic head surface |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2804642B2 (ja) | 1998-09-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5867890A (en) | Method for making a thin film merged magnetoresistive read/inductive write head having a pedestal pole tip | |
JPS59132416A (ja) | 磁気ヘツド・スライダ・アセンブリ | |
US5973881A (en) | Magnetic head slider with rail grooves narrowing from base thereof | |
JPS63317920A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
JP3740186B2 (ja) | 磁気ヘッドスライダの製造方法 | |
JPH0512820A (ja) | 磁気ヘツド | |
US5897984A (en) | Method for manufacturing a flying magnetic head slider | |
JP3581799B2 (ja) | マスター情報担体およびその製造方法 | |
US6591478B2 (en) | Method of producing magnetic head | |
JP2005032325A (ja) | 浮上型磁気ヘッドスライダの製造方法 | |
US5734536A (en) | Thin film magnetic head with pole having variable thickness | |
JPH0765322A (ja) | 浮動型薄膜ヘッド及びその製造方法 | |
CA2123436A1 (en) | Thin film transducer with reduced flying height | |
JPH11219574A (ja) | 磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 | |
KR900004744B1 (ko) | 자기헤드의 제조방법 | |
JP2680750B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
JP3252583B2 (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
JP2914118B2 (ja) | スライダー | |
JP3158562B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
JPH0845015A (ja) | 磁気ヘッド | |
JPH0668632A (ja) | 浮動ヘッドスライダ | |
JP2003022638A (ja) | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 | |
JP2977897B2 (ja) | 薄膜磁気テープヘッドの製造方法 | |
KR20000012095A (ko) | 헤드와 기록 및 재생 헤드 장치 | |
JP3790353B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980707 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070717 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080717 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090717 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090717 Year of fee payment: 11 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090717 Year of fee payment: 11 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |