JP2803515B2 - 染色ポリシランフィルムの製造方法 - Google Patents
染色ポリシランフィルムの製造方法Info
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- JP2803515B2 JP2803515B2 JP5040405A JP4040593A JP2803515B2 JP 2803515 B2 JP2803515 B2 JP 2803515B2 JP 5040405 A JP5040405 A JP 5040405A JP 4040593 A JP4040593 A JP 4040593A JP 2803515 B2 JP2803515 B2 JP 2803515B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、特に光学機器や照明装
置などのカラーフィルタの用途に好適な染色ポリシラン
フィルムの製造方法に関する。
置などのカラーフィルタの用途に好適な染色ポリシラン
フィルムの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】光学機
器や照明装置などにおいて用いるカラーフィルタの製造
方法としては、従来、染色法、印刷法、顔料分散法、電
着法などが採用されている。
器や照明装置などにおいて用いるカラーフィルタの製造
方法としては、従来、染色法、印刷法、顔料分散法、電
着法などが採用されている。
【０００３】染色法は、ガラス基板表面に感光性の重ク
ロム酸塩を添加した高分子材料を塗布し、マスク露光を
行い、現像することによって所望のパターンのフィルム
を形成し、このフィルムを染料で染色した後、フィルム
上に防汚層を塗布する工程を複数回繰り返すことにより
カラーフィルタを製造する方法である。この染色法でカ
ラーフィルタを製造した場合、完成度が高いカラーフィ
ルタを得ることができるが、製造工程が複雑であり、コ
スト的にも不利であるという問題点がある。
ロム酸塩を添加した高分子材料を塗布し、マスク露光を
行い、現像することによって所望のパターンのフィルム
を形成し、このフィルムを染料で染色した後、フィルム
上に防汚層を塗布する工程を複数回繰り返すことにより
カラーフィルタを製造する方法である。この染色法でカ
ラーフィルタを製造した場合、完成度が高いカラーフィ
ルタを得ることができるが、製造工程が複雑であり、コ
スト的にも不利であるという問題点がある。
【０００４】また、印刷法としては孔版印刷法、オフセ
ット印刷法、グラビア印刷法などがあり、製造工程が簡
単である反面、精度及び安定性が課題となっている。
ット印刷法、グラビア印刷法などがあり、製造工程が簡
単である反面、精度及び安定性が課題となっている。
【０００５】顔料分散法はカラーレジスト法とも呼ば
れ、顔料を分散させた着色剤をフォトリソグラフィー技
術を用いてパターニングする工程を繰り返すことにより
カラーフィルタを製造する方法である。この方法で製造
されたカラーフィルタは耐熱性、耐光性に優れるもので
あるが、製造工程が複雑であり、コスト的にも不利であ
るという問題がある。
れ、顔料を分散させた着色剤をフォトリソグラフィー技
術を用いてパターニングする工程を繰り返すことにより
カラーフィルタを製造する方法である。この方法で製造
されたカラーフィルタは耐熱性、耐光性に優れるもので
あるが、製造工程が複雑であり、コスト的にも不利であ
るという問題がある。
【０００６】上記カラーフィルタの製造方法の問題点を
解決した方法として、ポリシランフィルムを用いてカラ
ーフィルタを製造する方法が提案されている。即ち、ポ
リシランフィルムは、紫外線を露光し、カチオン系染料
水溶液に浸漬することにより露光部分のみが染色され、
更に、単一のフィルムに対して多色パターン染色も可能
であることが見い出だされた（横山ら、日本化学会第６
３春季年会４Ｆ８ ０８）。この製造方法によれば、簡
略化された製造工程でカラーフィルタを製造することが
可能であり、従って、カラーフィルタの低コスト化が実
現できるものである。
解決した方法として、ポリシランフィルムを用いてカラ
ーフィルタを製造する方法が提案されている。即ち、ポ
リシランフィルムは、紫外線を露光し、カチオン系染料
水溶液に浸漬することにより露光部分のみが染色され、
更に、単一のフィルムに対して多色パターン染色も可能
であることが見い出だされた（横山ら、日本化学会第６
３春季年会４Ｆ８ ０８）。この製造方法によれば、簡
略化された製造工程でカラーフィルタを製造することが
可能であり、従って、カラーフィルタの低コスト化が実
現できるものである。
【０００７】しかしながら、上記カラーフィルタの製造
方法は、従来の製造方法と比較して簡略化されているも
のの、露光時間が長いこと、ポリシランフィルムが機械
的強度に劣ることという問題がある。
方法は、従来の製造方法と比較して簡略化されているも
のの、露光時間が長いこと、ポリシランフィルムが機械
的強度に劣ることという問題がある。
【０００８】本発明は上記事情に鑑みなされたもので、
露光時間が短くて済むため、簡単な製造工程で製造する
ことができ、かつ機械的強度に優れた染色ポリシランフ
ィルムを得ることができる染色ポリシランフィルムの製
造方法を提供することを目的とする。
露光時間が短くて済むため、簡単な製造工程で製造する
ことができ、かつ機械的強度に優れた染色ポリシランフ
ィルムを得ることができる染色ポリシランフィルムの製
造方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明者は上記
目的を達成するため鋭意検討を行った結果、下記一般式
（１） 〔（Ｒ1Ｒ2Ｓｉ）n（Ｒ3Ｒ4Ｓｉ）m〕P …（１） （但し、Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，Ｒ4は互に同一又は異種の非置
換もしくは置換の炭素数１〜１２のアルキル基又はアリ
ール基、ｎ，ｍ，ｐは０≦ｎ≦１０，０≦ｍ≦１０，ｎ
＋ｍ≧１０，ｐ≧１を満たす正数である。）で表される
ポリシランとエステル系化合物とを含有してなる染色性
ポリシラン組成物を有機溶媒に溶解するなどして基板表
面に塗布し、これを乾燥させてポリシランフィルムを形
成し、得られたポリシランフィルムに対して紫外線を露
光し、カチオン系染料で該露光部分を染色する方法によ
って染色ポリシランフィルムを製造した場合、紫外線照
射量が少なくてもポリシランフィルムが効率良く染色さ
れるため、露光工程が短時間で済み、かつ得られた染色
ポリシランフィルムは機械的強度に優れ、カラーフィル
タの用途に好適であることを知見し、本発明をなすに至
った。
目的を達成するため鋭意検討を行った結果、下記一般式
（１） 〔（Ｒ1Ｒ2Ｓｉ）n（Ｒ3Ｒ4Ｓｉ）m〕P …（１） （但し、Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，Ｒ4は互に同一又は異種の非置
換もしくは置換の炭素数１〜１２のアルキル基又はアリ
ール基、ｎ，ｍ，ｐは０≦ｎ≦１０，０≦ｍ≦１０，ｎ
＋ｍ≧１０，ｐ≧１を満たす正数である。）で表される
ポリシランとエステル系化合物とを含有してなる染色性
ポリシラン組成物を有機溶媒に溶解するなどして基板表
面に塗布し、これを乾燥させてポリシランフィルムを形
成し、得られたポリシランフィルムに対して紫外線を露
光し、カチオン系染料で該露光部分を染色する方法によ
って染色ポリシランフィルムを製造した場合、紫外線照
射量が少なくてもポリシランフィルムが効率良く染色さ
れるため、露光工程が短時間で済み、かつ得られた染色
ポリシランフィルムは機械的強度に優れ、カラーフィル
タの用途に好適であることを知見し、本発明をなすに至
った。
【００１０】従って、本発明は、上記一般式（１）で表
されるポリシランとエステル系化合物とを含有してなる
染色性ポリシラン組成物の溶液を基板表面に塗布し、得
られたポリシランフィルムに対して紫外線を露光し、該
露光部分をカチオン系染料で染色することを特徴とする
染色ポリシランフィルムの製造方法を提供する。
されるポリシランとエステル系化合物とを含有してなる
染色性ポリシラン組成物の溶液を基板表面に塗布し、得
られたポリシランフィルムに対して紫外線を露光し、該
露光部分をカチオン系染料で染色することを特徴とする
染色ポリシランフィルムの製造方法を提供する。
【００１１】以下、本発明を更に詳しく説明すると、本
発明は、下記一般式（１）で表されるポリシランとエス
テル系化合物とを含有する染色性ポリシラン組成物を使
用するものである。
発明は、下記一般式（１）で表されるポリシランとエス
テル系化合物とを含有する染色性ポリシラン組成物を使
用するものである。
【００１２】 〔（Ｒ1Ｒ2Ｓｉ）n（Ｒ3Ｒ4Ｓｉ）m〕P …（１） （但し、Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，Ｒ4は互に同一又は異種の非置
換もしくは置換の炭素数１〜１２のアルキル基又はアリ
ール基、ｎ，ｍ，ｐは０≦ｎ≦１０，０≦ｍ≦１０，ｎ
＋ｍ≧１０，ｐ≧１を満たす正数である。）
換もしくは置換の炭素数１〜１２のアルキル基又はアリ
ール基、ｎ，ｍ，ｐは０≦ｎ≦１０，０≦ｍ≦１０，ｎ
＋ｍ≧１０，ｐ≧１を満たす正数である。）
【００１３】ここで、Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，Ｒ4は互に同一又
は異種の非置換もしくは置換の炭素数１〜１２のアルキ
ル基又はアリール基である。アルキル基として具体的に
はメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシ
ル基などが挙げられる。アリール基としてはフェニル
基、トリル基など及びこれらの基の水素原子の一部又は
全部をアルキル基、アルコキシ基等で置換したアリール
基などが挙げられる。ｎ，ｍ，ｐは０≦ｎ≦１０，０≦
ｍ≦１０，ｎ＋ｍ≧１０，ｐ≧１を満たす正数である。
は異種の非置換もしくは置換の炭素数１〜１２のアルキ
ル基又はアリール基である。アルキル基として具体的に
はメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシ
ル基などが挙げられる。アリール基としてはフェニル
基、トリル基など及びこれらの基の水素原子の一部又は
全部をアルキル基、アルコキシ基等で置換したアリール
基などが挙げられる。ｎ，ｍ，ｐは０≦ｎ≦１０，０≦
ｍ≦１０，ｎ＋ｍ≧１０，ｐ≧１を満たす正数である。
【００１４】一方、エステル系化合物としては、フタル
酸エステル類等の芳香族カルボン酸エステル類、脂肪酸
エステル類、多価アルコールのエステル類、リン酸エス
テル類などが挙げられる。
酸エステル類等の芳香族カルボン酸エステル類、脂肪酸
エステル類、多価アルコールのエステル類、リン酸エス
テル類などが挙げられる。
【００１５】このエステル系化合物の配合量は上記ポリ
シラン１００部（重量部、以下同じ）に対して１〜１０
０部、特に３０〜４０部とすることが好ましい。
シラン１００部（重量部、以下同じ）に対して１〜１０
０部、特に３０〜４０部とすることが好ましい。
【００１６】本発明の染色性ポリシラン組成物は、上記
成分を混合することにより得ることができる。
成分を混合することにより得ることができる。
【００１７】上記染色性ポリシラン組成物を用いて染色
ポリシランフィルムを製造するには、まず、このポリシ
ラン組成物を有機溶媒に溶解するなどしてガラスなどの
透明基板上に塗布し、乾燥させることによりポリシラン
フィルムを形成する。
ポリシランフィルムを製造するには、まず、このポリシ
ラン組成物を有機溶媒に溶解するなどしてガラスなどの
透明基板上に塗布し、乾燥させることによりポリシラン
フィルムを形成する。
【００１８】この場合、有機溶媒としてはトルエン、キ
シレンなどを用いることができる。上記ポリシラン組成
物を有機溶媒に溶解するときの濃度は１〜３０％（重量
％、以下同じ）とすることが好ましい。また、ポリシラ
ン組成物の溶液を基板上に塗布する方法としては、スピ
ンコートなどの方法を採用することができる。
シレンなどを用いることができる。上記ポリシラン組成
物を有機溶媒に溶解するときの濃度は１〜３０％（重量
％、以下同じ）とすることが好ましい。また、ポリシラ
ン組成物の溶液を基板上に塗布する方法としては、スピ
ンコートなどの方法を採用することができる。
【００１９】なお、乾燥後のポリシランフィルムの厚さ
は、本発明に係る染色ポリシランフィルムをカラーフィ
ルタの用途に用いる場合、０．５〜２０μｍとすること
が好ましい。
は、本発明に係る染色ポリシランフィルムをカラーフィ
ルタの用途に用いる場合、０．５〜２０μｍとすること
が好ましい。
【００２０】次いで、得られたポリシランフィルムに対
して紫外線を露光する。この場合、必要に応じて所望の
マスクパターンを用いてパターン露光することができ
る。なお、紫外線照射線量は０．１〜１０Ｊ／ｃｍ2、
より望ましくは３〜５Ｊ／ｃｍ2とすることが好まし
い。その後、カチオン系染料のアセトニトリル水溶液に
浸漬するなどのことにより、染色されたポリシランフィ
ルムパターンを得ることができる。
して紫外線を露光する。この場合、必要に応じて所望の
マスクパターンを用いてパターン露光することができ
る。なお、紫外線照射線量は０．１〜１０Ｊ／ｃｍ2、
より望ましくは３〜５Ｊ／ｃｍ2とすることが好まし
い。その後、カチオン系染料のアセトニトリル水溶液に
浸漬するなどのことにより、染色されたポリシランフィ
ルムパターンを得ることができる。
【００２１】ここで、カチオン系染料としてはローダミ
ン６Ｇ、ローダミンＢ、サフラニンＴ、ブリリアントグ
リーン、マラカイトグリーン、クリスタルバイオレッ
ト、ベーシックブルー３、インドインブルーなどが挙げ
られる。これらカチオン系染料はアセトニトリルなどの
水溶液に０．０１〜１０％濃度で溶解することが好まし
い。この場合、アセトニトリル水溶液としてはアセトニ
トリル１００部に対して水５００〜２０００部を混合し
たものを用いることができる。
ン６Ｇ、ローダミンＢ、サフラニンＴ、ブリリアントグ
リーン、マラカイトグリーン、クリスタルバイオレッ
ト、ベーシックブルー３、インドインブルーなどが挙げ
られる。これらカチオン系染料はアセトニトリルなどの
水溶液に０．０１〜１０％濃度で溶解することが好まし
い。この場合、アセトニトリル水溶液としてはアセトニ
トリル１００部に対して水５００〜２０００部を混合し
たものを用いることができる。
【００２２】また、ポリシランフィルムのカチオン系染
料のアセトニトリルなどの水溶液への浸漬時間は１〜１
０分間とすることが好ましい。
料のアセトニトリルなどの水溶液への浸漬時間は１〜１
０分間とすることが好ましい。
【００２３】以上のようにして得られた染色ポリシラン
フィルムはカラーフィルタの用途に好適なものである。
フィルムはカラーフィルタの用途に好適なものである。
【００２４】
【実施例】以下、実施例と比較例を示し、本発明を具体
的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるも
のではない。
的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるも
のではない。
【００２５】［実施例１］ メチルフェニルポリシラン［（ＣＨ３Ｃ６Ｈ５Ｓ
ｉ）ｎ］１００部とｎ−ブチルオレート（エステル系化
合物）３０部を混合し、これをトルエンに溶解して濃度
が２０％のトルエン溶液を得た。次いで、この溶液を石
英基板上にスピンコートし、減圧乾燥を行い、厚さが約
３μｍのポリシランフィルムを形成した。次に、このフ
ィルムに対して、高圧水銀灯を用いて紫外線を３Ｊ／ｃ
ｍ２照射した。光照射後、ローダミンＢの０．１％アセ
トニトリル水溶液（アセトニトリル／水＝１０／１０
０）に１０分間浸漬し、ポリシランフィルムを染色し
た。
ｉ）ｎ］１００部とｎ−ブチルオレート（エステル系化
合物）３０部を混合し、これをトルエンに溶解して濃度
が２０％のトルエン溶液を得た。次いで、この溶液を石
英基板上にスピンコートし、減圧乾燥を行い、厚さが約
３μｍのポリシランフィルムを形成した。次に、このフ
ィルムに対して、高圧水銀灯を用いて紫外線を３Ｊ／ｃ
ｍ２照射した。光照射後、ローダミンＢの０．１％アセ
トニトリル水溶液（アセトニトリル／水＝１０／１０
０）に１０分間浸漬し、ポリシランフィルムを染色し
た。
【００２６】得られた染色フィルムの可視吸収スペクト
ルを測定したところ、染料の特性吸収（５５６ｎｍ）に
由来する透過率は０．０６％であり、ポリシランフィル
ムは十分に染色されていた。
ルを測定したところ、染料の特性吸収（５５６ｎｍ）に
由来する透過率は０．０６％であり、ポリシランフィル
ムは十分に染色されていた。
【００２７】［実施例２］エステル系化合物としてジエ
チレングリコールジベンゾエートを用いた以外は実施例
１と同様にして染色ポリシランフィルムを得た。得られ
た染色フィルムの可視吸収スペクトルを測定したとこ
ろ、染料の特性吸収（５５６ｎｍ）に由来する透過率は
０．０６％であり、十分に染色されていた。
チレングリコールジベンゾエートを用いた以外は実施例
１と同様にして染色ポリシランフィルムを得た。得られ
た染色フィルムの可視吸収スペクトルを測定したとこ
ろ、染料の特性吸収（５５６ｎｍ）に由来する透過率は
０．０６％であり、十分に染色されていた。
【００２８】［比較例１］エステル系化合物を添加しな
い以外は実施例１と同様にして染色ポリシランフィルム
を得た（紫外線照射量３Ｊ／ｃｍ2）。得られた染色フ
ィルムの可視吸収スペクトルを測定したところ、染料の
特性吸収（５５６ｎｍ）に由来する透過率は２８％であ
り、染色の程度が不十分であった。
い以外は実施例１と同様にして染色ポリシランフィルム
を得た（紫外線照射量３Ｊ／ｃｍ2）。得られた染色フ
ィルムの可視吸収スペクトルを測定したところ、染料の
特性吸収（５５６ｎｍ）に由来する透過率は２８％であ
り、染色の程度が不十分であった。
【００２９】［実施例３］エステル系化合物としてジエ
チレングリコールジベンゾエートを使用し、ポリシラン
１００部に対する添加量を１０，２０，３０，４０，５
０部と変化させたサンプルを用意し、高圧水銀灯を用い
て紫外線を３Ｊ／ｃｍ2照射し、染色ポリシランフィル
ムを得た。得られた染色フィルムの可視吸収スペクトル
を測定したところ、染料の特性吸収（５５６ｎｍ）に由
来する透過率はそれぞれ０．６０％、０．２４％、０．
０６％、０．１２％、０．３０％であり、十分染色され
ていた。
チレングリコールジベンゾエートを使用し、ポリシラン
１００部に対する添加量を１０，２０，３０，４０，５
０部と変化させたサンプルを用意し、高圧水銀灯を用い
て紫外線を３Ｊ／ｃｍ2照射し、染色ポリシランフィル
ムを得た。得られた染色フィルムの可視吸収スペクトル
を測定したところ、染料の特性吸収（５５６ｎｍ）に由
来する透過率はそれぞれ０．６０％、０．２４％、０．
０６％、０．１２％、０．３０％であり、十分染色され
ていた。
【００３０】［実施例４］エステル化合物としてアジピ
ン酸ジ（エチルヘキシル）を使用した以外は実施例１と
同様にしてポリシランフィルムを形成した。次に、線幅
が２０μｍの格子パターンマスクを用い、実施例１と同
様の照射条件でパターン露光を行い、得られたポリシラ
ンフィルムパターンを実施例１と同様にして染色したと
ころ、はっきりした染色パターンを得ることができた。
ン酸ジ（エチルヘキシル）を使用した以外は実施例１と
同様にしてポリシランフィルムを形成した。次に、線幅
が２０μｍの格子パターンマスクを用い、実施例１と同
様の照射条件でパターン露光を行い、得られたポリシラ
ンフィルムパターンを実施例１と同様にして染色したと
ころ、はっきりした染色パターンを得ることができた。
【００３１】
【発明の効果】本発明の染色ポリシラン組成物を染色ポ
リシランフィルムの製造に用いた場合、ポリシランフィ
ルムに対する光照射量が少なくても効率良く染色される
ため、露光工程が短時間で済み、また、得られた染色フ
ィルムは機械的強度に優れ、カラーフィルタの用途に好
適なものである。
リシランフィルムの製造に用いた場合、ポリシランフィ
ルムに対する光照射量が少なくても効率良く染色される
ため、露光工程が短時間で済み、また、得られた染色フ
ィルムは機械的強度に優れ、カラーフィルタの用途に好
適なものである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｇ０２Ｂ 1/10 Ｇ０３Ｆ 7/075 ５１１ Ｇ０３Ｆ 7/075 ５１１ Ｇ０２Ｂ 1/10 Ｚ (72)発明者 林田 章 神奈川県川崎市高津区坂戸３丁目２番１ 号 信越化学工業株式会社 コーポレー トリサーチセンター内 (72)発明者 梅原 寿 神奈川県川崎市高津区坂戸３丁目２番１ 号 信越化学工業株式会社 コーポレー トリサーチセンター内 (56)参考文献 特開 平６−172656（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C08L 83/16 C08J 5/18 C08K 5/10 C09D 183/16
Claims (1)
- 【請求項１】 下記一般式（１） 〔（Ｒ１Ｒ２Ｓｉ）ｎ（Ｒ３Ｒ４Ｓｉ）ｍ〕ｐ …（１） （但し、Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４は互に同一又は異種の
非置換もしくは置換の炭素数１〜１２のアルキル基又は
アリール基、ｎ，ｍ，ｐは０≦ｎ≦１０，０≦ｍ≦１
０，ｎ＋ｍ≧１０，ｐ≧１を満たす正数である。）で表
されるポリシランとエステル系化合物とを含有してなる
染色性ポリシラン組成物の溶液を基板表面に塗布し、得
られたポリシランフィルムに対して紫外線を露光し、該
露光部分をカチオン系染料で染色することを特徴とする
染色ポリシランフィルムの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5040405A JP2803515B2 (ja) | 1993-02-04 | 1993-02-04 | 染色ポリシランフィルムの製造方法 |
| US08/466,278 US5804257A (en) | 1992-10-09 | 1995-06-06 | Polysilane compositions |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5040405A JP2803515B2 (ja) | 1993-02-04 | 1993-02-04 | 染色ポリシランフィルムの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06228440A JPH06228440A (ja) | 1994-08-16 |
| JP2803515B2 true JP2803515B2 (ja) | 1998-09-24 |
Family
ID=12579758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5040405A Expired - Fee Related JP2803515B2 (ja) | 1992-10-09 | 1993-02-04 | 染色ポリシランフィルムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2803515B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6686104B1 (en) | 1993-11-24 | 2004-02-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Color filter, method for manufacturing it, and liquid crystal panel |
| TW417034B (en) | 1993-11-24 | 2001-01-01 | Canon Kk | Color filter, method for manufacturing it, and liquid crystal panel |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06172656A (ja) * | 1992-10-09 | 1994-06-21 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ポリシラン組成物 |
-
1993
- 1993-02-04 JP JP5040405A patent/JP2803515B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06228440A (ja) | 1994-08-16 |
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